JPS58469U - 基板保持具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は従来一般に用いられている基板取付治具を備え
た蒸着装置の垂直断面図、第２図は同水平断面図、第３
図は同分解斜視図、第４図は来者　案の一実施例に係る
基板保持具の正面図、第５図は同側面図、第６図は上記
の実施例におけるクリップ状板ばねの斜視図である。 １・・・モータ、２・・・ベルト、３・・・軸受箱、４
・・・軸、５・・・バックボード、６ａ、　６ｂ・・・
基板の押え板、７・・・基板、８．３０・・・基板保持
板、９・・・取手、−１０・・・ターゲット、１１・・
・チャンバ、１２川真空排気継手、１９．２１・・・ね
じ、３１・・・テーパ板、３２・・・ストッパピン、３
３・・・クリップ状板ば耗、３４・・・凹部、３５・・
・ダミー板、３６・・・係着ピン、３７・・・切欠き、
３８・・・コの字形板ばね。 ？　　１　　図 才　Ｊ　図

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 基板保持板に、基板を所定位置に取りつける手段と、該
   基板保持板をバックボードに取りつける手段とを備えて
   なる基板保持具において、基板保持板の所定位置に置か
   れた基板の一辺に当接して該基板を抱持するように、側
   面にテーパを付したテーパ板を基板保持板に固着すると
   ともに、上記基板がテーパ板に当接する辺と隣接する辺
   に対向するストッパを基板保持板に固着し、上記と別体
   に、基板を基板保持板に対して挾みつけるクリップ状の
   板ばねを備え、かつ、前記のバックボードに、頭部を大
   径に形成した係着ピンを植設すると、　ともに、基板保
   持板の一辺に上記係着ピンに係合する切欠を設け、上記
   基板保持板の切欠を設けた辺の対辺の近傍に、・前記の
   バックボードを挾持する板ばねを取付けたことを特徴と
   する基板保持具。