JPS5840697B2 - humidity detection circuit - Google Patents

humidity detection circuit

Info

Publication number
JPS5840697B2
JPS5840697B2 JP5315278A JP5315278A JPS5840697B2 JP S5840697 B2 JPS5840697 B2 JP S5840697B2 JP 5315278 A JP5315278 A JP 5315278A JP 5315278 A JP5315278 A JP 5315278A JP S5840697 B2 JPS5840697 B2 JP S5840697B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
voltage
circuit
humidity
pulse
humidity detection
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
JP5315278A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPS54145178A (en
Inventor
武彦 鵜ノ口
昭彦 吉田
敦 西野
省朗 長谷川
克行 藤戸
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP5315278A priority Critical patent/JPS5840697B2/en
Priority to GB7915164A priority patent/GB2020434B/en
Priority to US06/035,331 priority patent/US4282480A/en
Publication of JPS54145178A publication Critical patent/JPS54145178A/en
Publication of JPS5840697B2 publication Critical patent/JPS5840697B2/en
Expired legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は容量変化型の湿度検出素子を用いた湿度検出回
路に関するもので。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a humidity detection circuit using a capacitive humidity detection element.

詳しくは精度が高く、しかも温度が変動した場合にも正
確な相対湿度の検出が可能な湿度検出回路を提供するも
のである。
Specifically, the present invention provides a humidity detection circuit that has high accuracy and is capable of accurately detecting relative humidity even when the temperature fluctuates.

従来、相対湿度の検出器としては、毛髪を利用したもの
や、湿度による潮解性塩のイオン伝導の変化や、導電性
微粒子を含む合成樹脂の膨潤性を利用した電気抵抗値の
変化を利用したもの等があるが、精度や応答性、安定性
、価格の点で満足できるものがない。
Conventional relative humidity detectors have used hair, changes in the ionic conduction of deliquescent salts due to humidity, and changes in electrical resistance based on the swelling properties of synthetic resins containing conductive particles. There are some, but none that satisfy me in terms of accuracy, responsiveness, stability, and price.

本発明はこのような問題を解決するもので、弁作用金属
基体の上に誘電体性陽極酸化皮膜が形成され、その上に
二酸化マンガンのような半導体性金属酸化物皮膜を形成
することにより作製された容量変化型の湿度検出素子を
用いた湿度検出回路を提供するものである。
The present invention solves this problem by forming a dielectric anodic oxide film on a valve metal base, and then forming a semiconducting metal oxide film such as manganese dioxide on top of the dielectric anodic oxide film. The present invention provides a humidity detection circuit using a variable capacitance type humidity detection element.

以下、本発明の内容について、第゛1図〜第5図の図面
を用いて説明する。
Hereinafter, the content of the present invention will be explained using the drawings of FIGS. 1 to 5.

第1図・に本発明の一実施例による湿度検出回路のブロ
ック回路を示し、図において1は容量・時間変換回路と
しての第4のパルス発生回路で、この第1のパルス発生
回路1は容量変化型の湿度検出素子2を充放電し、充電
(または放電)開始時より湿度検出素子2の両端電歪が
スライスレベル電圧に達する1での時間幅のパルスを発
生する回路である。
FIG. 1 shows a block circuit of a humidity detection circuit according to an embodiment of the present invention. In the figure, 1 is a fourth pulse generation circuit as a capacitance/time conversion circuit; This circuit charges and discharges the variable humidity detecting element 2, and generates a pulse with a time width of 1 when the electrostriction at both ends of the humidity detecting element 2 reaches the slice level voltage from the start of charging (or discharging).

この第1のパルス発生回路1は湿度検出素子2、第4の
充放電回路3、第1の電圧発生回路4および第1の電圧
比較回路5により構成されており、湿度検出素子2は第
1の充放電回路3によう充放電をし、そしてその湿度検
出素子2の両端電圧が第1の電圧比較回路5の一方の入
力となり、第1の電圧発生回路4の出力がスライスレベ
ル電圧として第4の電圧比較回路5のもう一方の入力と
なる。
The first pulse generation circuit 1 is composed of a humidity detection element 2, a fourth charge/discharge circuit 3, a first voltage generation circuit 4, and a first voltage comparison circuit 5. The voltage across the humidity detection element 2 becomes one input of the first voltage comparison circuit 5, and the output of the first voltage generation circuit 4 is used as the slice level voltage. This becomes the other input of the voltage comparator circuit 5 of No. 4.

6は第2のパルス発生回路で、この第2のパルス発生回
路6には、固定の容量値を示すコンデンサ7が使用され
、第2の充放電回路8、第2の電圧発生回路9および第
2の電圧比較回路10により構成されている。
Reference numeral 6 designates a second pulse generation circuit, and a capacitor 7 having a fixed capacitance value is used in the second pulse generation circuit 6, and a second charge/discharge circuit 8, a second voltage generation circuit 9, and a second The voltage comparison circuit 10 is composed of two voltage comparison circuits 10.

コンデンサ7は第2の充放電回路8により充放電を行う
が、第2の電圧発生回路9のスライスレベル電圧は温度
により変化するので、第2゛の電圧比較回路10の出力
は温度によりパルス幅が変化することになる。
The capacitor 7 is charged and discharged by the second charging/discharging circuit 8, but since the slice level voltage of the second voltage generating circuit 9 changes depending on the temperature, the output of the second voltage comparing circuit 10 changes in pulse width depending on the temperature. will change.

11は演算回路で、この演算回路11は第4、第2のパ
ルス発生回路1,6の出力の時間的な差(または和)を
作る回路であり、この演算回路11により第1、第2の
パルス発生回路1,6の出力パルスの差(または和)を
とった最終出力パルスが発生される。
11 is an arithmetic circuit, and this arithmetic circuit 11 is a circuit that creates a temporal difference (or sum) between the outputs of the fourth and second pulse generating circuits 1 and 6; A final output pulse is generated by taking the difference (or sum) of the output pulses of the pulse generation circuits 1 and 6.

第2図に前述の湿度検出素子の特性例を示しており、第
2図の横軸は相対湿度、縦軸は静電容量(任意目盛で示
す)である。
FIG. 2 shows an example of the characteristics of the humidity detecting element described above, in which the horizontal axis is the relative humidity, and the vertical axis is the capacitance (shown on an arbitrary scale).

渣た第2図中、3本の特性曲線a、b、cは、温度をパ
ラメータとして釦す、a、b、cの順に温度が低くなっ
ている。
In Fig. 2, the three characteristic curves a, b, and c are pressed using temperature as a parameter, and the temperature decreases in the order of a, b, and c.

この特性より、各温度に対する相対湿度(Xに))と容
量C1の関係を直線で近似させると、と表わされる。
From this characteristic, the relationship between the relative humidity (X) and the capacitance C1 for each temperature can be approximated by a straight line.

前述の第1のパルス発生回路1のパルス長ハ、静電容量
に比例するので、相対湿度とパルス幅とを正確に比例さ
せるためには、湿度検出素子2を含む第1のパルス発生
回路1の出力より、上記(1)式のC6(T)に対応す
る時間だけ差し引けば良い。
Since the pulse length of the first pulse generation circuit 1 described above is proportional to the capacitance, in order to accurately make the relative humidity and pulse width proportional, the first pulse generation circuit 1 including the humidity detection element 2 must be It is sufficient to subtract the time corresponding to C6(T) in the above equation (1) from the output of .

な釦、Co(T)は近使直線の0係時の値であるため、
負になることもありうるので、その場合はその分を加え
る。
Since Co(T) is the value at 0 coefficient of the Kinshi line,
It may be negative, so in that case, add that amount.

つ1す、第1図の構成とするとにより、相対湿度と、パ
ルス幅C時間)が正確に比例することになる。
First, by adopting the configuration shown in FIG. 1, the relative humidity and the pulse width C (time) are accurately proportional.

第1、第2の充放電回路3,8には、容量を定電流充放
電させる回路と、容量に直列に抵抗を接続して定電圧を
印加するCR充放電回路とが考えられる。
The first and second charging/discharging circuits 3 and 8 may include a circuit that charges and discharges a capacitor with a constant current, and a CR charging/discharging circuit that connects a resistor in series with the capacitor and applies a constant voltage.

lず定電流方式では、定電流電源により容量素子を充電
する方式や、演算増幅器の帰還回路に容量素子を付ける
積分器方式等があり、この場合、出力パルス長は、スラ
イスレベル電圧をVsとすると、 となり、出力パルス幅は、容量値、電流値、スライスレ
ベル電圧に正比例することになる。
The constant current method includes a method in which a capacitive element is charged by a constant current power supply, and an integrator method in which a capacitive element is attached to the feedback circuit of an operational amplifier. In this case, the output pulse length is determined by changing the slice level voltage to Vs. Then, the output pulse width is directly proportional to the capacitance value, current value, and slice level voltage.

また、容量素子に直列に抵抗を接続して定電圧で充放電
させるCR充放電方式では、 というパルス長になり、容量値、抵抗値には比例するが
、スライスレベル電圧には比例しない。
In addition, in the CR charging/discharging method in which a resistor is connected in series to a capacitive element and charged/discharged at a constant voltage, the pulse length becomes as follows, which is proportional to the capacitance value and resistance value, but not proportional to the slice level voltage.

ところで、湿度検出素子の電気的特性を見ると容量素子
としてのtanδがかなり大きく、等価的には直列抵抗
値によるtaoδがほとんどを占めている。
By the way, looking at the electrical characteristics of the humidity detection element, tan δ as a capacitive element is quite large, and equivalently, tao δ due to the series resistance value occupies most of it.

そこで、この素子の容量をC2、等個直列抵抗をrとす
ると、定電流充電方式ではiXrに対応する分が誤差と
して含まれる。
Therefore, if the capacitance of this element is C2 and the equal series resistance is r, then in the constant current charging method, an error corresponding to iXr is included.

このような場合、CR充放電方式では出力パルス長は となる。In such a case, in the CR charging/discharging method, the output pulse length is becomes.

第3図にlogVrを横軸にとり、α=Vs/Vccを
パラメータとした時のパルス特性を示す。
FIG. 3 shows the pulse characteristics when logVr is plotted on the horizontal axis and α=Vs/Vcc is used as a parameter.

100はα= (1−1/ e ) =0.6321・
・・・・・、101がα=0.7,102がα=0.6
,103はα>0.7,104がα<0.6であり、0
.6≦α≦0.7という範囲が、T/C2RがlogR
7γの広範囲な値に対して一番誤差が少ない。
100 is α= (1-1/e) =0.6321・
..., 101 is α=0.7, 102 is α=0.6
, 103 is α>0.7, 104 is α<0.6, and 0
.. In the range of 6≦α≦0.7, T/C2R is logR
7γ has the least error over a wide range of values.

湿度検出素子は、低湿度側でrが大きく、高温度側でば
γはかなり小さくなるので、湿度検出素子をCR充放電
し、スライスレベル電圧Vsを充放電電圧Vccの0.
6〜0.7倍に選ぶことで、測定誤差を小さくすること
ができる。
In the humidity detection element, r is large on the low humidity side, and γ is considerably small on the high temperature side. Therefore, the humidity detection element is charged and discharged in CR, and the slice level voltage Vs is set to 0.0% of the charging and discharging voltage Vcc.
By selecting 6 to 0.7 times, the measurement error can be reduced.

なお、放電させる場合の電圧カーブは充電時と同じであ
るので放電時のスライスレベル電圧Vsは充放電電圧V
ccの0.3〜0.4倍となる。
Note that the voltage curve when discharging is the same as when charging, so the slice level voltage Vs during discharging is the charging/discharging voltage V
It becomes 0.3 to 0.4 times cc.

第4図に具体的な回路構成の一例を示す。FIG. 4 shows an example of a specific circuit configuration.

Cは湿度検出素子、Rは充電抵抗で、スイッチS1が閉
じることにより湿度検出素子Cが充放電される。
C is a humidity detecting element, R is a charging resistor, and when the switch S1 is closed, the humidity detecting element C is charged and discharged.

なお、この回路では充電時にパルスが出力される。Note that this circuit outputs pulses during charging.

R1,R2はスライスレベル電圧発生用抵抗で、2 αF■S/Vcc= の式でαが0.6〜0
.7R1+R2 になるように抵抗値を設定している。
R1 and R2 are resistances for generating slice level voltage, and α is 0.6 to 0 according to the formula 2αF■S/Vcc=
.. The resistance value is set to be 7R1+R2.

12は第1の電圧比較器である。12 is a first voltage comparator.

これらが第1のパルス発生回路を構成している。These constitute the first pulse generating circuit.

また、第2のパルス発生回路は抵抗R3# R4゜R6
および正特性サーミスタR6よりなるスライスレベル電
圧発生部と抵抗R′、コンデンサC′(固定容量)スイ
ッチS2 よりなる第2OCR充放電部と第2の電圧比
較器13とによう構成されている。
In addition, the second pulse generation circuit has a resistor R3# R4゜R6
and a slice level voltage generating section consisting of a positive characteristic thermistor R6, a second OCR charging/discharging section consisting of a resistor R', a capacitor C' (fixed capacitance) switch S2, and a second voltage comparator 13.

14はゲート等よりなるパルス幅の差をとる演算回路、
15はコントロール回路である。
14 is an arithmetic circuit that calculates the difference in pulse width, which includes a gate, etc.;
15 is a control circuit.

第5図A−Eの各部の波形をタイムチャートで表わして
おり、第5図のA−Eの記号は、第4図のA−Eの部分
の波形であることを示す。
The waveforms of each part of FIG. 5A to E are shown in a time chart, and the symbols AE of FIG. 5 indicate the waveforms of the part of A to E of FIG. 4.

人は湿度検出素子C端の波形を示し、一点鎖線はスライ
スレベル電圧を示している。
The figure shows the waveform at the humidity detection element C end, and the dashed line shows the slice level voltage.

Bは固定容量であるコンデンサC′端の電圧波形を示し
、Cは第1の電圧比較器12の出力波形を示し、Dは第
2の電圧比較器13の出力波形を示し、Eは最終出力波
形を示している。
B shows the voltage waveform at the end of capacitor C' which is a fixed capacitor, C shows the output waveform of the first voltage comparator 12, D shows the output waveform of the second voltage comparator 13, and E shows the final output. It shows the waveform.

この第4図の回路では第1.第2の電圧比較器12.1
3の出力はパルス出力ではないが、第1の電圧比較器1
2出力と第2の電圧比較器13出力との差をとることに
より、各電圧比較器出力が、充電開始時より各々定めら
れたスライスレベル電圧に達するまでのパルスを出力す
る場合と全く同じ結果が得られる。
In this circuit of FIG. 4, the first. Second voltage comparator 12.1
3 is not a pulse output, but the output of the first voltage comparator 1
By taking the difference between the 2nd output and the 2nd voltage comparator 13 output, the result is exactly the same as when each voltage comparator output outputs a pulse from the start of charging until it reaches its respective determined slice level voltage. is obtained.

なお、第4図の回路では第2のスライスレベル電圧発生
に正特性サーミスタR6を使用した回路例である。
The circuit shown in FIG. 4 is an example of a circuit in which a positive temperature coefficient thermistor R6 is used to generate the second slice level voltage.

このようにCR充電方式を用いれば回路構成が非常に簡
単であり、また第4図からも明らかなようにスライスレ
ベル電圧発生部とCR充放電部とはブリッジ構成になっ
ており、電源電圧が変動しでもパルス出力幅は変化しな
いという利点をも有している。
If the CR charging method is used in this way, the circuit configuration is very simple, and as is clear from Figure 4, the slice level voltage generation section and the CR charging/discharging section are in a bridge configuration, so that the power supply voltage is It also has the advantage that the pulse output width does not change even if it fluctuates.

充電方式として定電流方式を用いた場合でも、相対湿度
に比例したパルス幅を得ることができるのは言う1でも
ないことである。
Even when a constant current method is used as a charging method, it is possible to obtain a pulse width proportional to relative humidity.

このようにして相対湿度に比例したパルス幅が得られれ
ば、このパルス幅の間、一定周期のクロックパルスをカ
ウントすることにより直ちにディジタル的に湿度表示を
することができる。
If a pulse width proportional to relative humidity is obtained in this way, humidity can be immediately displayed digitally by counting clock pulses of a constant period during this pulse width.

また、このパルス信号を用いて積分法等により電圧に変
換して外部の電気機器を制御することもできる。
Furthermore, this pulse signal can be converted into a voltage using an integral method or the like to control external electrical equipment.

以上のように本発明の湿度検出回路によれば、容量変化
型湿度検出素子の湿度特性を簡単な回路構成により補償
でき、高し精度で相対湿度を検出することができる非常
に実用的価値の高い効果を得ることができる。
As described above, according to the humidity detection circuit of the present invention, the humidity characteristics of the capacitive humidity detection element can be compensated for with a simple circuit configuration, and relative humidity can be detected with high accuracy, which is of great practical value. High effects can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明の一実施例による湿度検出回路のブロッ
ク回路図、第2図は本発明の湿度検出回路に用いた湿度
検出素子の相対湿度に対する静電容量の変化を示す等性
図、第3図はCR充放電回路の直列抵抗によるパルス出
力を示す特性図、第4図は本発明の湿度検出回路の具体
的回路構成の一例を示す電気回路図、第5図A−Eは第
4図の入〜E部の電圧波形を示すタイムチャートである
。 1・・・・・・第1のパルス発生回路、2・・・・・・
湿度検出素子、3・・・・・・第1の充放電回路、4・
・・・・・第1の電圧発生回路、5・・・・・・第1の
電圧比較回路、6・・・・・・第2のパルス発生回路、
7・・曲コンデンサ、8・・・・・・第2の充放電回路
、9・曲・第2の電圧比較回路、10・・・・・・第2
の電圧比較回路、 R6・・・・・・正特性サーミスタ。 11・・・・・・演算回路、
FIG. 1 is a block circuit diagram of a humidity detection circuit according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is an isostatic diagram showing changes in capacitance with respect to relative humidity of a humidity detection element used in the humidity detection circuit of the present invention. Fig. 3 is a characteristic diagram showing the pulse output due to the series resistance of the CR charging/discharging circuit, Fig. 4 is an electric circuit diagram showing an example of a specific circuit configuration of the humidity detection circuit of the present invention, and Figs. FIG. 4 is a time chart showing the voltage waveforms at sections I to E in FIG. 4. FIG. 1...First pulse generation circuit, 2...
Humidity detection element, 3...First charging/discharging circuit, 4.
...first voltage generation circuit, 5 ...first voltage comparison circuit, 6 ...second pulse generation circuit,
7... Curved capacitor, 8... Second charging/discharging circuit, 9... Curved second voltage comparison circuit, 10... Second
Voltage comparison circuit, R6...Positive characteristic thermistor. 11... Arithmetic circuit,

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1 湿度によう静電容量が変化する湿度検出素子を充放
電させかつその湿度検出素子の両端電圧と第1の電圧発
生回路のスライスレベル電圧とを比較する第1の電圧比
較回路により前記湿度検出素子の充電または放電開始時
より前記湿度検出素子の両端電圧が前記スライスレベル
電圧にiする1での時間幅のパルスを発生する第1のパ
ルス回路と、固定容量を充放電させかつその固定容量の
両端電圧と第2の電圧発生回路の温度により変化するス
ライスレベル電圧を比較する第2の電圧比較回路によう
前記固定容量の充電または放電開始時より前記固定容量
の両端電圧が前記スライスレベル電圧に達する1での時
間幅のパルスを発生する第2のパルス発生回路と、前記
第1のパルス発生回路の出力パルスと前記第2のパルス
発生回路の出力パルスとの和又は差をとる演算回路とを
有することを特徴とする湿度検出回路。 2 湿度検出素子を、前記湿度検出素子に直列接続され
た抵抗ならびに並列接続されたスイッチで構成されるC
R充放電回路により充電する場合に、藁1の電圧発生回
路のスライスレベル電圧を充放電電圧の0.6〜0.7
倍にしたことを特徴とする特許請求の範囲第1項に記載
の湿度検出回路。 3 湿度検出素子を、前記湿度検出素子に直列接続され
た抵抗ならびに並列接続されたスイッチで構成されるC
R充放電回路によシ放電させる場合に第1の電圧発生回
路のスライスレベル電圧を充放電電圧の0.3〜0.4
倍にしたことを特徴とする特許請求の範囲第1項に記載
の湿度検出回路。 4 第2の電圧発生回路に温度により抵抗値が変化する
温度検出素子を用いたことを特徴とする特許請求の範囲
第1項に記載の湿度検出回路。
[Scope of Claims] 1. A first voltage for charging and discharging a humidity detecting element whose capacitance changes with humidity and comparing the voltage across the humidity detecting element and the slice level voltage of the first voltage generating circuit. a first pulse circuit that generates a pulse with a time width of 1 such that the voltage across the humidity sensing element reaches the slice level voltage i from the start of charging or discharging of the humidity sensing element; and a first pulse circuit that charges a fixed capacitor. A second voltage comparator circuit compares the voltage across the fixed capacitor with the slice level voltage that changes depending on the temperature of the second voltage generating circuit. a second pulse generation circuit that generates a pulse with a time width of 1 for the voltage to reach the slice level voltage; and a sum of the output pulse of the first pulse generation circuit and the output pulse of the second pulse generation circuit. or an arithmetic circuit that calculates a difference. 2. The humidity detection element is composed of a resistor connected in series to the humidity detection element and a switch connected in parallel.
When charging with the R charge/discharge circuit, the slice level voltage of the voltage generation circuit of straw 1 is set to 0.6 to 0.7 of the charge/discharge voltage.
The humidity detection circuit according to claim 1, characterized in that the humidity detection circuit is doubled. 3. The humidity detection element is composed of a resistor connected in series to the humidity detection element and a switch connected in parallel.
When discharging through the R charging/discharging circuit, the slice level voltage of the first voltage generating circuit is set to 0.3 to 0.4 of the charging/discharging voltage.
The humidity detection circuit according to claim 1, characterized in that the humidity detection circuit is doubled. 4. The humidity detection circuit according to claim 1, wherein the second voltage generation circuit uses a temperature detection element whose resistance value changes depending on temperature.
JP5315278A 1978-05-02 1978-05-02 humidity detection circuit Expired JPS5840697B2 (en)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5315278A JPS5840697B2 (en) 1978-05-02 1978-05-02 humidity detection circuit
GB7915164A GB2020434B (en) 1978-05-02 1979-05-01 Apparatus for humidity detection
US06/035,331 US4282480A (en) 1978-05-02 1979-05-01 Apparatus for humidity detection

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5315278A JPS5840697B2 (en) 1978-05-02 1978-05-02 humidity detection circuit

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS54145178A JPS54145178A (en) 1979-11-13
JPS5840697B2 true JPS5840697B2 (en) 1983-09-07

Family

ID=12934855

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP5315278A Expired JPS5840697B2 (en) 1978-05-02 1978-05-02 humidity detection circuit

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS5840697B2 (en)

Also Published As

Publication number Publication date
JPS54145178A (en) 1979-11-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4931737A (en) Circuit for measuring the capacity of a battery
US4282480A (en) Apparatus for humidity detection
JPS60104263A (en) Detector measuring parameter
GB2222261A (en) Humidity measuring apparatus
JPH05500716A (en) Voltage-digital converter
JPS5840697B2 (en) humidity detection circuit
US4793187A (en) Circuit arrangement for the compensation of temperature-dependent and temperature-independent drift and for the compensation of the sensitivity of a capacitive sensor
US4550308A (en) Signal converting apparatus
JPH05172877A (en) Measuring device for resistance value and capacitance value
JPS5856818B2 (en) density and kay
JP3802431B2 (en) Capacitive sensor
SU900217A1 (en) Digital resistance meter
JPS5823900B2 (en) Ripple detection circuit
JPS6117300B2 (en)
JPS5823893B2 (en) humidity detection circuit
JPH02216442A (en) Humidity measuring instrument
JPS5828176Y2 (en) signal conversion circuit
JP3689838B2 (en) Ferroelectric property evaluation system
JPS649581B2 (en)
JPH08159752A (en) Integrating circuit
JPS635011Y2 (en)
SU1744617A1 (en) Device for measuring environment parameters
SU752189A1 (en) Resistance measuring device
JPH0334028B2 (en)
SU864201A1 (en) Microfluxmeter