JPS5835693U - ２段式油回転真空ポンプ - Google Patents

２段式油回転真空ポンプ

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Publication number
JPS5835693U
JPS5835693U JP13022581U JP13022581U JPS5835693U JP S5835693 U JPS5835693 U JP S5835693U JP 13022581 U JP13022581 U JP 13022581U JP 13022581 U JP13022581 U JP 13022581U JP S5835693 U JPS5835693 U JP S5835693U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
stage
vacuum pump
rotary vacuum
oil rotary
hole
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP13022581U
Other languages
English (en)
Inventor
国松　常次
Original Assignee
株式会社島津製作所
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社島津製作所 filed Critical 株式会社島津製作所
Priority to JP13022581U priority Critical patent/JPS5835693U/ja
Publication of JPS5835693U publication Critical patent/JPS5835693U/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図はこの考案の２段式油回転真空ポンプの縦断面図
、第２図は第１図の■−■線の断面図、第３図は一部の
平面図である。 １・・・ケース、４・・・第１固定子、５・・・中間壁
、６・・・第２固定子、２・・・前ふた、７・・・第１
０−タ、８・・・第２０−夕、１８・・・排気孔、１９
・・・排気通路、３１・・・支管、３０・・・逃がし孔
、２７・・・弁、２６・・・排気孔。　　。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 第１段のロータ及び第２段のロータを同一回転軸に有し
    、第１段の排気孔を第２段の吸気孔に連絡してなる２段
    式油回転真空ポンプにおいて、第１段の排気孔と第２段
    の吸気孔とを連絡する排気通路に枝管を設け、この枝管
    を第２段の排気孔の隣接位置に導き、この排気孔に隣接
    して設けたチェック弁付きの逃がし孔に連絡したことを
    特徴とする２段式油回転真空ポンプ。
JP13022581U 1981-08-31 1981-08-31 ２段式油回転真空ポンプ Pending JPS5835693U (ja)

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JP13022581U JPS5835693U (ja) 1981-08-31 1981-08-31 ２段式油回転真空ポンプ

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JP13022581U JPS5835693U (ja) 1981-08-31 1981-08-31 ２段式油回転真空ポンプ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS5835693U true JPS5835693U (ja) 1983-03-08

Family

ID=29923866

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP13022581U Pending JPS5835693U (ja) 1981-08-31 1981-08-31 ２段式油回転真空ポンプ

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JP (1) JPS5835693U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0442289U (ja) * 1990-08-10 1992-04-09

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5373609A (en) * 1976-12-14 1978-06-30 Ulvac Corp Oil feeding device for use in oil rotation vacuum pump
JPS5654293B2 (ja) * 1977-08-26 1981-12-24

Patent Citations (2)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5373609A (en) * 1976-12-14 1978-06-30 Ulvac Corp Oil feeding device for use in oil rotation vacuum pump
JPS5654293B2 (ja) * 1977-08-26 1981-12-24

Cited By (1)

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