JPS5835447A - 電解x線試料台とその使用方法 - Google Patents
電解x線試料台とその使用方法Info
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- JPS5835447A JPS5835447A JP56134421A JP13442181A JPS5835447A JP S5835447 A JPS5835447 A JP S5835447A JP 56134421 A JP56134421 A JP 56134421A JP 13442181 A JP13442181 A JP 13442181A JP S5835447 A JPS5835447 A JP S5835447A
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/20—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by using diffraction of the radiation by the materials, e.g. for investigating crystal structure; by using scattering of the radiation by the materials, e.g. for investigating non-crystalline materials; by using reflection of the radiation by the materials
- G01N23/207—Diffractometry using detectors, e.g. using a probe in a central position and one or more displaceable detectors in circumferential positions
- G01N23/2076—Diffractometry using detectors, e.g. using a probe in a central position and one or more displaceable detectors in circumferential positions for spectrometry, i.e. using an analysing crystal, e.g. for measuring X-ray fluorescence spectrum of a sample with wavelength-dispersion, i.e. WDXFS
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は電解法によりて試料へ水素チャージ宜たはメッ
キなどの処理が容易に行なえるX−試料台及び七〇S用
方法に関するものである。
キなどの処理が容易に行なえるX−試料台及び七〇S用
方法に関するものである。
金属材料における水素ぜい化の問題および水素数IRK
よって生じる籍変化は工業的に重要な問題である[株]
それゆ見に、その問題解決of#、めには数多くの研究
が行なわれているが、基礎的な研究は充分であるとは論
えない状況にある。
よって生じる籍変化は工業的に重要な問題である[株]
それゆ見に、その問題解決of#、めには数多くの研究
が行なわれているが、基礎的な研究は充分であるとは論
えない状況にある。
従来、上記の研究の−りKは、陰極電解法にようて試料
へ強制的に水素を吸蔵させ、水素の拡散および逸散にと
4なう試料内部の時々刻々変化すゐ踏現象をX曽關新法
によって調査し、水素割れのメカJLJeムを解明しよ
うとする試みがなされて−る。l!来O研究で紘、次の
ような方過て試験を行なりている。
へ強制的に水素を吸蔵させ、水素の拡散および逸散にと
4なう試料内部の時々刻々変化すゐ踏現象をX曽關新法
によって調査し、水素割れのメカJLJeムを解明しよ
うとする試みがなされて−る。l!来O研究で紘、次の
ような方過て試験を行なりている。
予め、xI!l試料台に11L付けることO可能な寸法
に試料を切断し、そO試料表面が光沢11になゐように
パラ研磨、化学研磨および電解研磨などがほどζされる
、−次いで、試料を角度分散mx*回折装置の試料台に
取付て、水素吸蔵前の試料内部状態を測定・解析する。
に試料を切断し、そO試料表面が光沢11になゐように
パラ研磨、化学研磨および電解研磨などがほどζされる
、−次いで、試料を角度分散mx*回折装置の試料台に
取付て、水素吸蔵前の試料内部状態を測定・解析する。
そO後、試料台から堆夛外され九試料は電解液を入れえ
容器中KlFされ、白金線を陽極として電解を行ない、
水嵩を黴*−aせる。水素をaRした試料は電解容器の
中から取出し、直ちに水などで洗浄し、乾燥する。そし
て、再び試料をX線試料台KIIL付で水素侵入にとも
表う試料内部変化を測定する。
容器中KlFされ、白金線を陽極として電解を行ない、
水嵩を黴*−aせる。水素をaRした試料は電解容器の
中から取出し、直ちに水などで洗浄し、乾燥する。そし
て、再び試料をX線試料台KIIL付で水素侵入にとも
表う試料内部変化を測定する。
以上のように従来法は、水素吸蔵後の時効島履における
試料内部変化を検出しようとするものであるが、次のよ
うな難点がある。
試料内部変化を検出しようとするものであるが、次のよ
うな難点がある。
水素r&蔵中の試料からCJHIRX線を検出すること
ができないので、水素侵入時の急激な試料内部変化を明
らかKすることができない、宜九水嵩吸蔵終了後、X線
試料台に試料を取付けるまでに時間を要するので、時効
処理開始直前、直ILO回折X@も検出することができ
ない。
ができないので、水素侵入時の急激な試料内部変化を明
らかKすることができない、宜九水嵩吸蔵終了後、X線
試料台に試料を取付けるまでに時間を要するので、時効
処理開始直前、直ILO回折X@も検出することができ
ない。
その丸め、従来法は水素吸蔵中および水素吸蔵後、測定
を開始する責での期間、水嵩侵入にともなう111現象
を明らかにすゐことが不可能である。
を開始する責での期間、水嵩侵入にともなう111現象
を明らかにすゐことが不可能である。
まえ、角度分散mxma新法Fi特性X纏を用いて一定
角度関係にある試料とX線検出器を広−角度範1!IK
わたりて連続走査する丸め、橢定躇蛤角度位置と終了角
度位置で時間的なずれがあるので、時効処理中の試料内
部に訃ける短時間に生じる動的変化に追随して回折X線
を検出するヒとはできない。
角度関係にある試料とX線検出器を広−角度範1!IK
わたりて連続走査する丸め、橢定躇蛤角度位置と終了角
度位置で時間的なずれがあるので、時効処理中の試料内
部に訃ける短時間に生じる動的変化に追随して回折X線
を検出するヒとはできない。
以上の理由から、従来法は水素の吸蔵、拡散および逸散
する試料内部変化過程に追随して回折X蒙を測定するこ
とができないので、水素割れのメカニズム牌明の九めに
はほとんど役に立うてぃなかった。
する試料内部変化過程に追随して回折X蒙を測定するこ
とができないので、水素割れのメカニズム牌明の九めに
はほとんど役に立うてぃなかった。
そとで、本発明者らは種々の研究0結果、試料に水素吸
蔵させながら回折X線を測定できる電解試料台を発明し
た。を九本電解試料台をエネルギ分散11X*ll折装
置に組み込むととくよ)、従来法OJI点を解消しえ。
蔵させながら回折X線を測定できる電解試料台を発明し
た。を九本電解試料台をエネルギ分散11X*ll折装
置に組み込むととくよ)、従来法OJI点を解消しえ。
エネルギ分散X1lil!折法は通常の特性X線を用i
て検出器を連続走査する角度分散形式と異なル、連続X
@を用いて一定角度位置に設定した半導体検出器を通し
て多重波高分析器によ1分光するエネルギ分散形式によ
るものである。しかしながら、エネルギ分散形式では、
螢光X線および多数の回FrxI/aを同時に検出でき
ゐが角度分lk形式と同等の充分な回折強度を得る九め
Kは約5分以上の調定時間が必要であ)、電解時の試料
表面で短時間におきる動的変化に追随して回折X線を検
出すること唸困難である。しかしながら本出願者ら社、
既にこの難点を解消した方法を発明し九(411願唱5
5−43135)が、本発明はその方法を利用すること
により、一層有効にし良ものである。11述の発明の要
点はエネルギ分散xlI−新法において、対陰極として
;Δルト、鉄、クロムOiずれかを用い九回転対陰ll
X線管球を使用して強力な連続X線平行ビームを試料に
照射し、かつ回折X線の測定に際して、下限および上限
ディスクリ電ネータを用いて必要な回折線のみを約30
秒以内の極短時間に検出を行な54のである。
て検出器を連続走査する角度分散形式と異なル、連続X
@を用いて一定角度位置に設定した半導体検出器を通し
て多重波高分析器によ1分光するエネルギ分散形式によ
るものである。しかしながら、エネルギ分散形式では、
螢光X線および多数の回FrxI/aを同時に検出でき
ゐが角度分lk形式と同等の充分な回折強度を得る九め
Kは約5分以上の調定時間が必要であ)、電解時の試料
表面で短時間におきる動的変化に追随して回折X線を検
出すること唸困難である。しかしながら本出願者ら社、
既にこの難点を解消した方法を発明し九(411願唱5
5−43135)が、本発明はその方法を利用すること
により、一層有効にし良ものである。11述の発明の要
点はエネルギ分散xlI−新法において、対陰極として
;Δルト、鉄、クロムOiずれかを用い九回転対陰ll
X線管球を使用して強力な連続X線平行ビームを試料に
照射し、かつ回折X線の測定に際して、下限および上限
ディスクリ電ネータを用いて必要な回折線のみを約30
秒以内の極短時間に検出を行な54のである。
本発明の電解試料台は、演算装置によjIIII定・解
析が自動化したエネルイ分歌mx、ma折装置に組み込
虜れる。・以下にその装置の内容をl1両をもとに詳細
に説明する。
析が自動化したエネルイ分歌mx、ma折装置に組み込
虜れる。・以下にその装置の内容をl1両をもとに詳細
に説明する。
第1図は本発明電解試料台を含むエネルイ分散mX11
1回折鉄量0構成図である0図面において、1はX1l
i管l、2はがニオメータ、3はソー2スリF)、4は
試料台、5は半導体検出器、6は増幅器、7は多、重波
高分析器、8はインターフニス9は定電流安定電源装置
、1oは演算装置および11は操作盤である。
1回折鉄量0構成図である0図面において、1はX1l
i管l、2はがニオメータ、3はソー2スリF)、4は
試料台、5は半導体検出器、6は増幅器、7は多、重波
高分析器、8はインターフニス9は定電流安定電源装置
、1oは演算装置および11は操作盤である。
この装置では試料の水素吸蔵条件、回折X線の調定条件
などのナベて0情報、指令は操作盤11を経由して演算
装置10とヤ〕と〕を行なう、すなわち、X線管球lか
もの連続X線をソーラスリ、ト3によりて平行ビーム状
にし、そのビームを試料台40試料に照射し、暉!fr
X@はソー2スリツト3を通して半導体検出!5によっ
て検出−し、電気信号に変換される。その信号は増幅器
6によって増幅され、多重波高分析器7ではエネルギ分
光するとともに、その信号を所定時間まで計数する拳そ
の結果はインターフニス8を通して演算装置10に記憶
し、随時、解析結果を演算装置O1−’If口、り上に
打出す。演算装置10には波高分析器OS定結果を連続
的に記憶することができるので、単位時間尚)の一定を
数多くできる。
などのナベて0情報、指令は操作盤11を経由して演算
装置10とヤ〕と〕を行なう、すなわち、X線管球lか
もの連続X線をソーラスリ、ト3によりて平行ビーム状
にし、そのビームを試料台40試料に照射し、暉!fr
X@はソー2スリツト3を通して半導体検出!5によっ
て検出−し、電気信号に変換される。その信号は増幅器
6によって増幅され、多重波高分析器7ではエネルギ分
光するとともに、その信号を所定時間まで計数する拳そ
の結果はインターフニス8を通して演算装置10に記憶
し、随時、解析結果を演算装置O1−’If口、り上に
打出す。演算装置10には波高分析器OS定結果を連続
的に記憶することができるので、単位時間尚)の一定を
数多くできる。
なお、演算装置lOは、操作盤110指令にし九がうて
、インターフニス8を経由し、定電流安定装置9の電解
条件を調節することは言うまでもない。
、インターフニス8を経由し、定電流安定装置9の電解
条件を調節することは言うまでもない。
次に試料台4について、第2図および第3図に示す実施
例によ)詳細に説明をする。第2図は本発明の電解試料
台の構成図の一例である。 IIIIにおいて12は電
解チャージカブセル、13は自動温度調節器を備え九電
解液貯蔵容器、14は一ング、15と1ダは細管、16
は定電流安定電源である。第3図(a)はカブセルO正
面図、第3図伽)はカブセルの横方向の断面図である0
図Wにおいて、17は試料、18社試料保持具、1sは
白金線、20は入射X@窓、21は電解液、22と23
は定電流安定電源に接続する9−)’#、24は入射X
線、2sは回折X*″cある。
例によ)詳細に説明をする。第2図は本発明の電解試料
台の構成図の一例である。 IIIIにおいて12は電
解チャージカブセル、13は自動温度調節器を備え九電
解液貯蔵容器、14は一ング、15と1ダは細管、16
は定電流安定電源である。第3図(a)はカブセルO正
面図、第3図伽)はカブセルの横方向の断面図である0
図Wにおいて、17は試料、18社試料保持具、1sは
白金線、20は入射X@窓、21は電解液、22と23
は定電流安定電源に接続する9−)’#、24は入射X
線、2sは回折X*″cある。
力!セル12には、Iyf14によりて任意の一定温度
の電解液21が細管Isを通して送)こまれ、その電解
液拡力!セルから溢れ為ことなく細管1ダを通りて電解
液貯蔵容器13に戻る。
の電解液21が細管Isを通して送)こまれ、その電解
液拡力!セルから溢れ為ことなく細管1ダを通りて電解
液貯蔵容器13に戻る。
この貯蔵容器には容器の底Fc城付られ九ヒータにより
て常に電解液が一定の任意温j[K調節される。
て常に電解液が一定の任意温j[K調節される。
そして、試料17拡所定の温度に保九れた電解液を満し
九カ!セルの中に試料保持臭18によって固定され、試
料表面、すなわち測定間はがニオメータ2の軸上にある
。その測定面と平行に対面するX線入射*20にはX線
吸収係数が小さく、電解液の圧力および酸などに充分耐
えることができるマイラー箔などが張シ付けである。箔
の力!セルの内側0jlI囲には、入射X線24および
回折X$128をさt九げることなく白金線19がルー
グ状に取付である。白金線〇一端にはリード線23、試
料の一端にもリーFP@22が溶着されている。
九カ!セルの中に試料保持臭18によって固定され、試
料表面、すなわち測定間はがニオメータ2の軸上にある
。その測定面と平行に対面するX線入射*20にはX線
吸収係数が小さく、電解液の圧力および酸などに充分耐
えることができるマイラー箔などが張シ付けである。箔
の力!セルの内側0jlI囲には、入射X線24および
回折X$128をさt九げることなく白金線19がルー
グ状に取付である。白金線〇一端にはリード線23、試
料の一端にもリーFP@22が溶着されている。
リード線23は定電流安定電源16の陽極、リード線2
2は陰極にそれぞれ接続される・定電流安定電源16は
演算装置によって調節され、一定電**度で試料に陰極
電解がほどこされゐが、試料と白金線との間隔線陰極電
解時に試料表wに生じる水素の気泡が充分く大気中へ逸
散で自る最小魚の距離である。それゆえ試料に対して一
角度で照射される入射X線および回折X@の電解液によ
ゐ吸収効果が小さい、したがりて半導体検出1f)Kよ
って信号/雑音比のよい数多く 0FIAWX線が同時
に得られる。なお、電解時の試料電流密度が低い場合に
は、電解液の酸濃度変化が少&%Aので、電解液を循環
するととなく試験がで曹ゐ。
2は陰極にそれぞれ接続される・定電流安定電源16は
演算装置によって調節され、一定電**度で試料に陰極
電解がほどこされゐが、試料と白金線との間隔線陰極電
解時に試料表wに生じる水素の気泡が充分く大気中へ逸
散で自る最小魚の距離である。それゆえ試料に対して一
角度で照射される入射X線および回折X@の電解液によ
ゐ吸収効果が小さい、したがりて半導体検出1f)Kよ
って信号/雑音比のよい数多く 0FIAWX線が同時
に得られる。なお、電解時の試料電流密度が低い場合に
は、電解液の酸濃度変化が少&%Aので、電解液を循環
するととなく試験がで曹ゐ。
以上のような本発明試料台を含むエネルゼ分散X線回折
装置では、力f4aルの中に試料を固定することによっ
て、水素吸蔵前、吸蔵中および時効処塩中の水素侵入に
ともなう試料内部O動的資化過程を測定・解析で倉るの
みならず、水素チャージ用電解液をメッキ用電鱗液に交
換することによって、メッキ時の試料表面のメッキ層の
生成過程において容易く測定・解析することもで龜る。
装置では、力f4aルの中に試料を固定することによっ
て、水素吸蔵前、吸蔵中および時効処塩中の水素侵入に
ともなう試料内部O動的資化過程を測定・解析で倉るの
みならず、水素チャージ用電解液をメッキ用電鱗液に交
換することによって、メッキ時の試料表面のメッキ層の
生成過程において容易く測定・解析することもで龜る。
さらにまた極性を変換して0III定も可能である。
まえ、エネルギ分散mxts回折装置では、螢光X線と
回折xIIを同時に検出できる。その螢光X線の強度は
回折X線の強度に比較して極めて強−0それゆえ、轟装
置はメッキ用電解液中に會まれる金属からの螢光X線を
検出し、その金属の元素分析を同時に行なうこともでき
る。前述の本発明者らが発明した方法1願昭55−43
135)では、ディスクリンネータを用いることなく1
秒以内の極短時間に溶液中の金属からの螢光X線を検出
できるので、本発明はその方法を利用するととKより、
さらに有効にすることができる。
回折xIIを同時に検出できる。その螢光X線の強度は
回折X線の強度に比較して極めて強−0それゆえ、轟装
置はメッキ用電解液中に會まれる金属からの螢光X線を
検出し、その金属の元素分析を同時に行なうこともでき
る。前述の本発明者らが発明した方法1願昭55−43
135)では、ディスクリンネータを用いることなく1
秒以内の極短時間に溶液中の金属からの螢光X線を検出
できるので、本発明はその方法を利用するととKより、
さらに有効にすることができる。
以上のように本発明の試料台は、各種電解試験時におけ
る試料の動的変化過程を測定・解析できるのみならず、
電解液などの溶液中に含まれる金属元素の分析も可能で
あ夛、その効果は極めて大きい・ 実施例1 第2図、第3図に示し九電解X線試料台を組み込んだ第
1図の構成の装置を用いて、18”8ステンレス鋼板に
水素を吸蔵せしめたときに一起された相変態の動的変化
過程を調べ丸、なお、電解液紘ム120.を340II
P/L加え九Q、1規定町so4溶液で、その液温は3
0′cである。電流密度はα05 Amp/csa2と
しえ0回折X線の測定には、クロ五対陰極の強力X線源
を有するエネルギ分散gX線回折装置を用いて行なり九
、そO際O管電圧は50kV、管電流は16G−とし、
測定時間は1s秒である。
る試料の動的変化過程を測定・解析できるのみならず、
電解液などの溶液中に含まれる金属元素の分析も可能で
あ夛、その効果は極めて大きい・ 実施例1 第2図、第3図に示し九電解X線試料台を組み込んだ第
1図の構成の装置を用いて、18”8ステンレス鋼板に
水素を吸蔵せしめたときに一起された相変態の動的変化
過程を調べ丸、なお、電解液紘ム120.を340II
P/L加え九Q、1規定町so4溶液で、その液温は3
0′cである。電流密度はα05 Amp/csa2と
しえ0回折X線の測定には、クロ五対陰極の強力X線源
を有するエネルギ分散gX線回折装置を用いて行なり九
、そO際O管電圧は50kV、管電流は16G−とし、
測定時間は1s秒である。
第4図(a)は18−8ステンレス鋼板を試料カプセル
の中に固定し、鋼板と白金線との間に電圧を付加しない
場合、すなわち水素吸蔵前、(b)は電解液を循環させ
ながら鋼板と白金線との間に電圧を付加して10分後、
(@)はe)と同様に30分後、す゛なわち水素吸蔵中
、(10は30分間の水素吸蔵後、鋼板と白金線との間
の付加電圧を切ってから5分後、すなわち水素吸MEN
了後の時効処理中OX線回折図形を示す6図中の回折x
II上の印は素地と変態相を示し、O印は素地、x印線
水素誘起変態相を示す0図から、すでに水素吸蔵中に変
態相が認められるとともに素地において回折X@O位置
が変化したり、半倒幅がひろがるものがあ〉、水素侵入
にともなう変形挙動の結晶方位依存性が認められる。t
た、時効処理において、ある特定の変態相および素地の
回折強度が増加して−るが、これは水嵩の拡散および逸
fkKともなう試料厚み深さ方向の変態領域が変化して
いゐことを示している。
の中に固定し、鋼板と白金線との間に電圧を付加しない
場合、すなわち水素吸蔵前、(b)は電解液を循環させ
ながら鋼板と白金線との間に電圧を付加して10分後、
(@)はe)と同様に30分後、す゛なわち水素吸蔵中
、(10は30分間の水素吸蔵後、鋼板と白金線との間
の付加電圧を切ってから5分後、すなわち水素吸MEN
了後の時効処理中OX線回折図形を示す6図中の回折x
II上の印は素地と変態相を示し、O印は素地、x印線
水素誘起変態相を示す0図から、すでに水素吸蔵中に変
態相が認められるとともに素地において回折X@O位置
が変化したり、半倒幅がひろがるものがあ〉、水素侵入
にともなう変形挙動の結晶方位依存性が認められる。t
た、時効処理において、ある特定の変態相および素地の
回折強度が増加して−るが、これは水嵩の拡散および逸
fkKともなう試料厚み深さ方向の変態領域が変化して
いゐことを示している。
実施例2
実施例1と同一のX線回折装置を用いて、F−2鳳電気
メ、キ試験を行なった。メッキ液はハ804・7![2
0、(NH,)21104、Fe2O2などから構成さ
れておプ、そO液温は50℃である。電流密度は20に
4−とし九〇 以上のような!自−2I&電気メ、キ時Oメ、キ液に含
まれるFeとzmの元素分析を行なうえ。なお、螢光X
線の測定には実施例1と同一〇条件を用いえ、ただし、
測定時間は2秒である。
メ、キ試験を行なった。メッキ液はハ804・7![2
0、(NH,)21104、Fe2O2などから構成さ
れておプ、そO液温は50℃である。電流密度は20に
4−とし九〇 以上のような!自−2I&電気メ、キ時Oメ、キ液に含
まれるFeとzmの元素分析を行なうえ。なお、螢光X
線の測定には実施例1と同一〇条件を用いえ、ただし、
測定時間は2秒である。
J15図はメッキ開始直後の螢光X1lll形を示す。
図中の螢光X線上の印は元素を示し、Δ印はr@、0印
はzlを示す。図から、メッキto主威分であるr・と
Km O螢光X線は、短時間の測定にもかかわらず検出
できゐので、メッキ時Or・とzlの淡度変化が容易に
解析できる。
はzlを示す。図から、メッキto主威分であるr・と
Km O螢光X線は、短時間の測定にもかかわらず検出
できゐので、メッキ時Or・とzlの淡度変化が容易に
解析できる。
以上のように本発明O装置を用いることにょうて18−
8ステンレス鋼板の水素allEKともなう誘起変態相
、結晶格子歪などの動的炭化遥IIO一定・解析ができ
る例、シよびメ、dP液中<tまれる金属元素分析がで
きる例、などを示し九。
8ステンレス鋼板の水素allEKともなう誘起変態相
、結晶格子歪などの動的炭化遥IIO一定・解析ができ
る例、シよびメ、dP液中<tまれる金属元素分析がで
きる例、などを示し九。
4、簡単な図面の説明
第1図は本発明装置の構成図、菖2FIJ−は電解第4
図は18−8ステンレス鋼板の本尭羽装置による測定結
果〇−例を示す図で、伽)は水嵩@、蔵前、(b)は1
0分間の水素吸蹴、(@)は30分間の水素吸蔵、(4
)は30分間の水素吸蔵後、5分間0時効処理の回折1
g図形を示す。
図は18−8ステンレス鋼板の本尭羽装置による測定結
果〇−例を示す図で、伽)は水嵩@、蔵前、(b)は1
0分間の水素吸蹴、(@)は30分間の水素吸蔵、(4
)は30分間の水素吸蔵後、5分間0時効処理の回折1
g図形を示す。
第5図は本発明装置によるr・−Zm電気メ、キ時のメ
ッキ液に含まれる金属元素の分析結果の一例を示す図で
ある。
ッキ液に含まれる金属元素の分析結果の一例を示す図で
ある。
1:X@管球 2 : fgLtJ−/ −3
:ソークスリ、ト 4:試料台 5:半導体検出器 6:増幅器 7:多重波高分析器 8:インターフニス9;定電
流安定電源 lO:演算装置11 ;操作盤
12:電鱗チャージカグセル13:自動温度調節@
14:ポン!15:細管 16:定
電流安定電源17:試料 18:試料保持具
1s;白金線 20:X線入射線窓21:電解
液 22.23:リード線24;入射X線
25:回折X線第1図 第211 第3図 (9) 第4図 ((n 工考ルヘ゛ (12) 1゜ エイルへ゛ 4m (C) エイルに ■ 工オルに 手続補正書 昭和56年12月8 特許庁長官 島田春材 殿 1、事件の表示 昭和り乙年持 許願第#/AgJ/号 4G件との関係 出 願 人 4、代理人 住 所 東京部下代田区丸の内2丁目6番2号丸の内
へ重洲ビル330補 正 書 本願明細書及び図面中下記事項を補正いたしますO 記 1、第2頁15行目に 「光沢面」と必るを 「平滑」と訂正する。
:ソークスリ、ト 4:試料台 5:半導体検出器 6:増幅器 7:多重波高分析器 8:インターフニス9;定電
流安定電源 lO:演算装置11 ;操作盤
12:電鱗チャージカグセル13:自動温度調節@
14:ポン!15:細管 16:定
電流安定電源17:試料 18:試料保持具
1s;白金線 20:X線入射線窓21:電解
液 22.23:リード線24;入射X線
25:回折X線第1図 第211 第3図 (9) 第4図 ((n 工考ルヘ゛ (12) 1゜ エイルへ゛ 4m (C) エイルに ■ 工オルに 手続補正書 昭和56年12月8 特許庁長官 島田春材 殿 1、事件の表示 昭和り乙年持 許願第#/AgJ/号 4G件との関係 出 願 人 4、代理人 住 所 東京部下代田区丸の内2丁目6番2号丸の内
へ重洲ビル330補 正 書 本願明細書及び図面中下記事項を補正いたしますO 記 1、第2頁15行目に 「光沢面」と必るを 「平滑」と訂正する。
2、第7真15行目に
r20F1入射X線窓、」とあるを
「20はX線窓(マイ5−箔)、」と訂正する。
3、第8頁8行目に
rxs入射窓20Jとあるを
「X線窓20」と訂正する。
4、第8頁10行目に
[マイラー箔などが張シ付けである。箔の」とらるを
[物質の薄膜(例えばマイラー、鉄、アル!ニウムなど
)が張り何秒である。薄膜側の」と訂正する。
)が張り何秒である。薄膜側の」と訂正する。
&第12頁19行目と20行目の間に次文を加入する。
「 また、上記のpe−Zn電気メツ+条件で5秒間メ
ツ士したときの鋼板表面に生成し九F・−ム系合金相の
測定を行なった。なお、回折X線の測定には、実施例1
と同一φ件を用いた。
ツ士したときの鋼板表面に生成し九F・−ム系合金相の
測定を行なった。なお、回折X線の測定には、実施例1
と同一φ件を用いた。
その測定時間は10秒でろる〇
第6図(a)はメツ+時間零秒、第6図(b)酸5秒後
の回折X線図形を示す。図の中のΔ印は一〇10印はr
e−zn系金属間化合物を示す。
の回折X線図形を示す。図の中のΔ印は一〇10印はr
e−zn系金属間化合物を示す。
このように、電気メツ+時のメツ中層の合金相も容易に
解析できる。」 6、第13頁4行目に 「分析ができる例、などを示した・」とめゐを「分析が
できる例、メツ十層のメツ中層の解析ができる例、など
を示した。」と訂正する◎7、第13頁16行目と17
行目の間に次文を加入する。
解析できる。」 6、第13頁4行目に 「分析ができる例、などを示した・」とめゐを「分析が
できる例、メツ十層のメツ中層の解析ができる例、など
を示した。」と訂正する◎7、第13頁16行目と17
行目の間に次文を加入する。
「 纂6因は本発明装置によるy’e−zmm電気メツ
待時メツ牛層のFe−Zn系金属間化合物の解析結果の
一例を示す区で、(a)メツ午前、伽)は5秒間のメツ
+処理の回折X艇図形を示す0」8、第14頁6行目に r20:X線入射線窓」とあるを r20:X線窓」と訂正する0 9、図面中[第6図(a)、(b)]を本日新たに追加
する0f)S6図 工オルへ(にev) 第6図 工オルベー(xav)
待時メツ牛層のFe−Zn系金属間化合物の解析結果の
一例を示す区で、(a)メツ午前、伽)は5秒間のメツ
+処理の回折X艇図形を示す0」8、第14頁6行目に r20:X線入射線窓」とあるを r20:X線窓」と訂正する0 9、図面中[第6図(a)、(b)]を本日新たに追加
する0f)S6図 工オルへ(にev) 第6図 工オルベー(xav)
Claims (2)
- (1) 外周部の一部に開口部を設は皺開口部にX線
透過可能な物質の薄膜をとシフは九容器内に試料保持機
構と対極を設置し、さらに容器内へO電解液供給機構と
、試料と対極間でO電解機構を設は九ことを一善黴とす
る電解X@試料台。 - (2)外周部の一部に開口部を設は諌躇口部KX線透過
可能な物質の薄膜をと〕つけ九゛容器内に試料と対極を
一部し、電解液を容器内に入れるか★九はさらに電解液
を循*−gせりつ試料と対極とO関に電圧を印加しまえ
は電圧を印加した後中断し、試料からの回折X線ととも
に電tII4IKから011党X線を検出することを特
徴とす為電解X@試料台O使用方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP56134421A JPS5835447A (ja) | 1981-08-27 | 1981-08-27 | 電解x線試料台とその使用方法 |
DE19813139128 DE3139128A1 (de) | 1981-08-27 | 1981-10-01 | Verfahren und vorrichtung zur roentgenbeugungsspektrokopie |
NL8104483A NL8104483A (nl) | 1981-08-27 | 1981-10-01 | Werkwijze en inrichting voor x-straaldiffractometrie. |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP56134421A JPS5835447A (ja) | 1981-08-27 | 1981-08-27 | 電解x線試料台とその使用方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5835447A true JPS5835447A (ja) | 1983-03-02 |
JPS632461B2 JPS632461B2 (ja) | 1988-01-19 |
Family
ID=15127989
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP56134421A Granted JPS5835447A (ja) | 1981-08-27 | 1981-08-27 | 電解x線試料台とその使用方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5835447A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0196542A (ja) * | 1987-10-09 | 1989-04-14 | Hitachi Ltd | 結晶構造解析法 |
-
1981
- 1981-08-27 JP JP56134421A patent/JPS5835447A/ja active Granted
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0196542A (ja) * | 1987-10-09 | 1989-04-14 | Hitachi Ltd | 結晶構造解析法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS632461B2 (ja) | 1988-01-19 |
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