JPS5832314U - 位置検出器 - Google Patents

位置検出器

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Publication number
JPS5832314U
JPS5832314U JP12383281U JP12383281U JPS5832314U JP S5832314 U JPS5832314 U JP S5832314U JP 12383281 U JP12383281 U JP 12383281U JP 12383281 U JP12383281 U JP 12383281U JP S5832314 U JPS5832314 U JP S5832314U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
substrate
electrode
photoconductive film
light beam
model registration
Prior art date
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Pending
Application number
JP12383281U
Other languages
English (en)
Inventor
栗田　良夫
松本　高治
Original Assignee
株式会社横河電機製作所
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Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社横河電機製作所 filed Critical 株式会社横河電機製作所
Priority to JP12383281U priority Critical patent/JPS5832314U/ja
Publication of JPS5832314U publication Critical patent/JPS5832314U/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Length Measuring Devices Characterised By Use Of Acoustic Means (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来の位置検出器の原理説明図、第２図は本考
案実施例の構成説明図、第３図は本考案実施例の動作に
係るタイムチャート、第４図は本考案の他の実施例を示
す構成説明図、第５図は本、考案の別の実施例を示す構
成説明図である。 １．１１．２１・・・基板、２・・・くさび、３・・・
圧電素子、４．１６・・・電源、３・・・指示体、７．
１８ａ。 １８ｂ−・・弾性波、１２ａ、　１２　’　ａ、　１２
ｂ。 ２２ａ〜２２ｄ・・・電極、１３・・・光導電膜、１４
・・・透明電極、１５・・・スイッチ、１７・・・光線
、１９ａ。 ２３１〜２３ｇ（＝１．　２．・・・、　ｎ）・・・分
割電極、１９ｂ・・・隙間。 オ　　４１ １．ｆ１５ ／　／ ｎ　　　＜ｚｂ オ　　　ｆ　　図

Claims (2)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. （１）圧電物質でなる基板と、該基板上に着設され光線
    が照射された部分の抵抗値が低下する光導電膜と、該光
    導電膜上に着設された透明電極と、前記基板の下面に被
    着された共通電極と、前記基板上の両端部分に着設され
    た第１および第２の電極とを具備し、前記透明電極上か
    ら照射された光線によって前記基板中に生じた弾性波が
    該基板の両端部まで至る伝播時間を、前記第１電極、第
    ２電極、および前記共通電極で検出することにより、上
    記光線の照射された位置を検出することを特徴とする位
    置検出器。
  2. （２）　　前記光線のスポット径よりも小さい所定のピ
    ッチを有する複数個の分割電極が、前記基板と前記光導
    電膜に挟着されるようにして設けられた実用新案登録請
    求の範囲第（１）項記載の位置検出器。
JP12383281U 1981-08-21 1981-08-21 位置検出器 Pending JPS5832314U (ja)

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JP12383281U JPS5832314U (ja) 1981-08-21 1981-08-21 位置検出器

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JP12383281U JPS5832314U (ja) 1981-08-21 1981-08-21 位置検出器

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JPS5832314U true JPS5832314U (ja) 1983-03-02

Family

ID=29917720

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0189714U (ja) * 1987-11-27 1989-06-13
JPH01242922A (ja) * 1988-03-24 1989-09-27 Japan Radio Co Ltd 回転体の回転角度測定装置
JPH01242923A (ja) * 1988-03-24 1989-09-27 Japan Radio Co Ltd 移動体の移動位置測定装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0189714U (ja) * 1987-11-27 1989-06-13
JPH01242922A (ja) * 1988-03-24 1989-09-27 Japan Radio Co Ltd 回転体の回転角度測定装置
JPH01242923A (ja) * 1988-03-24 1989-09-27 Japan Radio Co Ltd 移動体の移動位置測定装置

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