JPS5827746U - 半導体センサをもつ圧力計 - Google Patents

半導体センサをもつ圧力計

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Publication number
JPS5827746U
JPS5827746U JP12226381U JP12226381U JPS5827746U JP S5827746 U JPS5827746 U JP S5827746U JP 12226381 U JP12226381 U JP 12226381U JP 12226381 U JP12226381 U JP 12226381U JP S5827746 U JPS5827746 U JP S5827746U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pressure
semiconductor sensor
pressure gauge
chamber
gauge
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP12226381U
Other languages
English (en)
Inventor
稲葉　洋治
伊藤　幸福
福田　隆平
野口　利雄
Original Assignee
株式会社山武
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社山武 filed Critical 株式会社山武
Priority to JP12226381U priority Critical patent/JPS5827746U/ja
Publication of JPS5827746U publication Critical patent/JPS5827746U/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第゛１図は従来例の半導体センサをもつ圧力計を示す断
面図、第２図はこの考案に係わる半導体センサをもつ圧
力計の一実施例を示す断面図、第３図は同上圧力吸収部
の他の実施例を示す拡大断面図である。 １．２・・・・・・本体、３・・・・・・受圧ダイヤフ
ラム、４・・・・・・導圧細孔、５・・・・・・導圧室
、６・・・・・・受圧室、７・・・・・・受圧細孔、９
・・・・・・半導体センサ、１１・・・・・・圧力吸収
室、１２・・・・・・感圧素子、１３・・・・・・コイ
ルばね、１４・・・・・・ストッパ。

Claims (2)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. （１）被検出液を導く導圧室と、この導圧室に受圧ダイ
    ヤフラムを挾んで対峙する受圧室とを有し、受圧室の圧
    力を圧力伝達液により半導体センサの受圧ダイヤフラム
    部に導くようにした圧力計において、前記圧力伝達液の
    系路中に圧力吸収室を介在させ、この圧力室に前記半導
    体センサの許容負荷圧力以上の圧力を吸収する感圧素子
    を設けたことを特徴とする半導体センサをもつ圧力計。
  2. （２）感圧素子としてベローズを用い、半導体センサの
    許容負荷圧力よりも僅かに小さい弾圧のバネにより、前
    記ベローズをストッパに接圧保持させたことを特徴とす
    る実用新案登録請求の範囲第１項記載の半導体センサを
    もつ圧力計。
JP12226381U 1981-08-17 1981-08-17 半導体センサをもつ圧力計 Pending JPS5827746U (ja)

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JP12226381U JPS5827746U (ja) 1981-08-17 1981-08-17 半導体センサをもつ圧力計

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JP12226381U JPS5827746U (ja) 1981-08-17 1981-08-17 半導体センサをもつ圧力計

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Publication Number Publication Date
JPS5827746U true JPS5827746U (ja) 1983-02-22

Family

ID=29916187

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP12226381U Pending JPS5827746U (ja) 1981-08-17 1981-08-17 半導体センサをもつ圧力計

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60120341U (ja) * 1984-01-25 1985-08-14 イ−グル工業株式会社 ベロ−ズを用いた圧力応動装置
JP2018536150A (ja) * 2015-09-30 2018-12-06 ローズマウント インコーポレイテッド 過圧保護付き圧力送信器
KR20230156404A (ko) 2021-04-15 2023-11-14 아사히 가세이 가부시키가이샤 현상 매체, 열현상 방법, 및 열현상 시스템
KR20240013244A (ko) 2021-10-06 2024-01-30 아사히 가세이 가부시키가이샤 인쇄판의 제조 방법 및 인쇄 방법

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5445187A (en) * 1977-09-16 1979-04-10 Nec Corp Pressure detector

Patent Citations (1)

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