JPS5827011Y2 - 薄膜形成装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、抵抗加熱蒸着装置、電子ビーム蒸着装置、あ
るいはスパッタ装置などの薄膜形成装置に関する。

従来の薄膜形成装置に内蔵されている試料加熱板につい
て第１図および第２図を用いて説明する。

第１図および第２図において、１は薄膜形成装置のペル
ジャーであり、該ペルジャー１の内周面には、周方向等
間隔おきに４個の試料加熱板取付用板体２が一体に形成
されている。

３は矩形の熱反射板であり、ボルト４によって前記試料
加熱板取付用板体２に固着されている。

５はヒータ線取付用リブであり、ヒータ線を等間隔に巻
くために複数個の溝５ａ（第２図）が形成されている。

６は線状発熱体であり、前記ヒータ線取付用リブ５に形
成された溝５ａに挿入された絶縁管７に挿入されて、図
示のように蛇行状に配設されている。

この線状発熱体６の両端は、前記熱反射板３に固定され
た電極ターミナル絶縁体８，９にそれぞれ固定されてい
る。

１０は耐熱線で、絶縁管７をヒータ線取付用リブ５に固
定している。

１１は試料載置板、１２は試料である。

ところが、このような構成の試料加熱板を内蔵した従来
のデブ形成装置では、試料載置板１１上の温度分布差が
、設定温度５００℃に対して中心部と外周部との間で４
０℃程度生じ、このため試料１２に形成される薄膜の膜
厚が一定にならないという問題があった。

またヒータ線取付用リブ５の両端部が溶接等の方法で熱
反射板３に固着されているので、熱膨張によりヒータ線
取付用リブ５に反りを生じるため、該ヒータ線取付用リ
ブ５の溝５ａに挿入されている絶縁管７が破損し、線状
発熱体６とヒータ線取付用リブ５とがショートするとい
う問題があった。

本考案は上記の点に鑑み、各試料を均一に加熱すること
により、各試料に形成される薄膜の膜厚を均一化し得る
薄膜形成装置を提供するものであり、以下その一実施例
を図面に基づいて説明する。

第３図および第４図において、１３は薄膜形成装置のペ
ルジャーで円筒状を呈しており、その内周面には、周方
向適当間隔おきに４個の試料加熱板取付用板体１４が一
体に突設されている。

１５は環状フレームで、径方向に貫通しかつ下端面に開
口する複数の溝１５ ａが形成されており、ボルト１６
によって前記試料加熱板取付用板体１４に固定されてい
る。

１７は円板状の熱反射板で、外周部下面が前記環状フレ
ーム１５の上端面に接しており、ビス１８によって前記
環状フレーム１５に固定されている。

１９はヒータ線取付用リブで、前記熱反射板１７の中心
部下方に位置する軸２０の周りに放射状に複数個配置さ
れており、一端部は前記軸２０の外周面に溶接等の方法
で層着され、かつ他端部は前記環状フレーム１５に形成
された溝１５ａに緩挿されている。

２１はリブ保持板で、前記環状フレーム１５の下端面に
接して前記溝１５ａの開口を覆うように配置され、ビス
２２によって前記環状フレーム１５に固定されている。

前記軸２０は、放射状に設けた前記ヒータ線取付用リブ
１９のたわみを防止するために、ビス２３によって前記
熱反射板１７に固定されている。

前記ヒータ線取付用リブ１９には、厚み方向に貫通しか
つ下面に開口する複数の溝１９ ａが、温度分布を考慮
して長手方向適当間隔おきに形成されており、これらの
溝１９ ａには、隣接する前記ヒータ線取付用リブ１９
，１９に交差するごとく配置された多数の絶縁管２４の
端部がそれぞれ挿入されている。

この絶縁管２４は耐熱線２５によって前記ヒータ線取付
用リブ１９に固定されている。

２６．２７は線状発熱体で、前記多数の絶縁管２４に挿
入されて概略１つの渦巻きを形成するように配置されて
おり、内周部の線状発熱体２６の両端は前記熱反射板１
７に固定された電極ターミナル絶縁体２８．２９にそれ
ぞれ固定されかつ図外の第１の電力供給装置に接続され
ており、また外周部の線状発熱体２７の両端は前記熱反
射板１７に固定された電極ターミナル絶縁体３０．３１
にそれぞれ固定されかつ図外の第２の電力供給装置に接
続されている。

なお前記線状発熱体２６と該線状発熱体２６が挿入され
た絶縁管２４とによって内側ヒータ線が、また前記線状
発熱体２７と該線状発熱体２７が挿入された絶縁管２４
とによって外側ヒータ線がそれぞれ構成されており、ま
たこれらヒータ線、環状フレーム１５、熱反射板１７、
ヒータ線取付用リブ１９、軸２０、リブ保持板２１．お
よび前記第１、第２の電力供給装置によって試料加熱板
が構成されている。

また３２は試料載置板、３３は試料である。

上記構成の試料加熱板を備えた薄膜形成装置においては
、内側ヒータ線および外側ヒータ線に第１および第２の
電力供給装置からそれぞれ異なる負荷電圧を供給するこ
とにより、試料載置板３２上の温度分布を均一にでき、
したがって試料載置板３２上のすべての試料３３に均一
な膜厚の薄膜を形成することができるので、試料３３の
品質、性能、および歩留りが向上すると共に、試料３３
の試料載置板３２の外周縁近傍にまで載置できるので、
試料載置板３２上に多数の試料３３を載置でき、生産性
が向上する。

またヒータ線取付用リブ１９の他端部が、第５図に詳細
に示すように、環状フレーム１５に形成された溝１５ａ
に緩挿されているので、ヒータ線取付用リブ１９の熱膨
張を第６図に示すように吸収できる。

したがってヒータ線取付用リブ１９が熱にるって反るこ
とがないので、絶縁管２４の破損、およびそれによるヒ
ータ線のショートを防止でき、安全性が向上する。

なお上記実施例においては、２個のヒータ線を概略一つ
の渦巻きを形成するように配置し、この２個のヒータ線
をそれぞれ異なる電力供給装置に接続した例について説
明したが、３個以上のヒータ線を概略一つの渦巻きを形
成するように配置し、これら３個以上のヒータ線をそれ
ぞれ異なる電力供給装置に接続してもよい。

以上説明したように、本考案にかかる薄膜形成装置によ
れば、試料載置板上の試料を均一に加熱することができ
るので、試料に形成される薄膜の膜厚を均一化し得る。

このため、製品の品質、性能、および歩留りが向上する
。

また試料載置板上にその外周縁近傍まで試料を載置する
ことができるので、試料載置板上に多数の試料を載置す
ることが可能となり、生産性を向上し得る。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の薄膜形成装置の試料加熱板部分を示す底
面図、第２図は同縦断正面図、第３図〜第６図は本考案
の一実施例を示し、第３図はその底面図、第４図はその
縦断正面図、第５図は環状フレ−ムの溝とヒータ線取付
用リブとの嵌合状態を示す側面図、第６図は同下面図で
ある。 １５・・・・・・環状フレーム、１５ａ・・・・・・溝
、１７・・・・・・熱反射板、１９・・・・・・ヒータ
線取付用リブ、１９ ａ・・・・・・溝、２０・・・・
・・軸、２４・・・・・・絶縁管、２５・・・・・・耐
熱線、２６．２７・・・・・・線状発熱体、３２・・・
・・・試料載置板、３３・・・・・・試料。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. １．概略一つの渦巻きを形成するように配置された複数
   個のヒータ線と、該ヒータ線を保持する保持手段と、前
   記各ヒータ線にそれぞれ独立に電力を供給する電力供給
   手段とから威る試料加熱板を備えたことを特徴とする薄
   膜形成装置。 ２、保持手段は、軸と、該軸と同心状に配置されがつ周
   方向適当間隔おきに溝が形成された環状フレームと、一
   端部が前記軸に固着されかつ他端部が前記環状フレーム
   の溝に緩挿されしかも長手方向適当間隔おきにヒータ線
   を挿入保持するための溝が形成された複数のヒータ線取
   付用リブとから構成されていることを特徴とする実用新
   案登録請求の範囲第１項記載の薄膜形成装置。 ３、ヒータ線は、少なくとも２本以上のヒータ線取付用
   リブにまたがる長さを有しかつヒータ線取付用リブの溝
   に挿入されて耐熱線で個定された複数の絶縁管と、該絶
   縁管を貫通する線状発熱体とから構成されていることを
   特徴とする実用新案登録請求の範囲第２項記載の薄膜形
   成装置。