JPS5825405A - 高圧高温炉 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は、高圧高温ガス＃−気下で粉末成形焼結ある
いは拡散接合等の高圧高温処理を行なう際に使用する高
圧高温炉に関するものである。

近年、技゛術開発の進展にともなって、物体に高圧高温
ガス雰Ｉｍｆｉ下で種々の処理を施こす技術が研究され
、様々な分針で工業的に採用されようとしている。

粉体のｔｌＬ形と焼結を高圧高ｇのガス雰吐気の中で一
挙におこなって製品を得る熱間静水圧成形法（Ｈｏｔ　
ｌ５ｏｓｔａｔｉｃ　Ｃｏｍｐａｃｔｉｎｇ　Ｐｒｏｃ
ｅｓｓ　　あるいはＨｏｔ　ＩｓｏｓｔａｔｉｃＰｒｅ
ｓｓｉｎｇ　Ｐｒｏｃｅｓｓ　）もその１つであり、こ
の方法によつて成形、焼結された製品には、 １）従来の焼結法を用いる場合よりも低い温度で高密度
化が達せられ、したがって過度の結晶成長による粒粗大
化が防止されて、ち密な組織をうろことができる。

ｂ）あらゆる材料について、理論値に近い密度がえられ
、しかも組織が均一である。

Ｃ）金型成形にむかない球形粉末を十分に高密度化する
ことができる。

ｄ）粉体の機械的、物理的性質が改善される。

Ｃ）微細組織であるため、たとえば、高速度鋼の工具な
どで社性能が向上する。

ｆ）通常の金型成形プレスのように、プレス能力によっ
て制限されることがないので大きな寸法のものを製造で
きる。

ｇ）有害不安定な材料を取扱っても、保健上の被害を最
低におさえることができる。

ｈ）金属とセラミックスなどとの槓々の複合材料を製造
することができる。

１）材料歩留りの向上、欠陥品の減少によって、材料費
を低減することができる。

等の数々の利点がある。

又、粉体の成形焼結以外にも、物体を高圧高温ガス雰囲
気下におくと、その内部欠陥が除去できじん性及び抗折
力を増大させることができるという利点を利用して、焼
結工具材料等を高圧高温処理するという利用法、あるい
は、タービンブレードを本体と接合させる場合に、両者
を高圧高温ガス雰囲気下において拡散接合させて極めて
強固な結合を得るという利用法が考えられている。

しかしながら、このように幾多の利点を有しながら、現
在尚工業的に採用されないのは、この方法の最大の欠点
、すなわち生産性が極めて悪いという欠点がいまだに解
決されないまま残されているからである。

製品の製造コストの低減を計るために、サイクルタイム
の短縮は現今の緊急ａｊｉｉとなっているが、この課題
に対処する解決策として英国特許第１Ｊ９１，４５１）
号に示される技術が提案されている。

以下、第１図により、英国特許第１Ｊ　９１，４５９号
に示される技術を、この発明の先行技術として説明する
。

第１図において、高圧室（１）は高圧シリンダ（２）、
上部プラグ（３）および下部プラグ（４）によって構成
され、上部プラグ（３）に設けられた圧力導入孔（５）
を通して高圧室（１）内に導入されたガスは、上部密封
リング（６）および下部密封リング（７）によって高圧
室（１）内に気密に保持されている。高圧室（１）内に
は処理室（８）および加熱装置（９）を囲む側部、上部
および下部断熱外装αＱＳＱυ、（２）が配置され、側
部および上部断熱外装０１１、（ロ）はｂ部プラグ（３
）より懸垂され、さらに上部断熱外装σつには加熱装置
（９）が懸垂されている。上部プラグ（３）には加熱装
置（９）に電力を供給するための電極Ｈが電気的絶縁か
つ気密状態で設けられており、加熱装置（９）と電極０
１と社ブツシュ（ロ）を介して上部断熱外装（ロ）を貫
通する電力供給導体（至）によって接続されている。被
処理体（至）社下部断熱外装０■上に設置されている。

以上の構成を有する装置において、被処理体α呻を予じ
め高圧室（１）外で、別途用意した予熱炉（図示せず）
において予熱した後、下部プラグ（４）上に下部断熱外
装＠を介して載置し、高圧室（１，）の下方より被処理
体０・、下部断熱外装（２）、下部プラグ（４）を一体
的に高圧室（１）内に挿入し、しかるのち、圧力導入孔
（５）より高圧ガスを導入して、処理室（８）内に高圧
高温ガス雰囲気を作り出して被処理体０・を室（１）内
で加熱する以前に、予熱炉内で被処理体曽が予熱されて
いる為に、高圧室（１）内での加熱時間が短縮され、以
って、サイクルタイムの短細管計サイクルタイムの短縮
を計ることができるという利点＃ｉあるにしても、通常
の高圧高温処理設僅の他に、予熱炉が必費になり設備費
が高くなるという欠点の他に、予熱後の被処理体Ｑ・の
重送が大気中で行なわれる為に、その放熱による熱損失
が極めて大きくなるという欠点を有し、さらに致命的な
ことには、予熱後の高温処理体ＱＩＳを下部断熱外装（
ロ）を介して下部プラグ（４）上に載置して、高圧室（
１）内に挿入する際、被処理体０・の放熱にょシ高圧シ
リンダ（２）の下部内壁面が過熱され、さらに、高圧シ
リンダ（２）内壁面の過熱により下部密封リング（７）
が損傷をうけるという極めて重大な欠点を有しているの
である。

すなわち、この高圧高温処理装置が最もよく用いられる
圧力範囲は５ｏｏｏｒ４／Ｊ前後であるが、ｇｏｏ。

病という極めて高圧力を保持する必景のある高圧シリン
ダ（２）が過熱されることは、その寿命の大巾な低下を
きたし、破壊の危険性もある。高圧高温処理装置Ｎにお
いて、最も高価な部分は高圧シリンダ（２）であり、こ
の高圧シリンダ（２）の寿命の低下は設備費の増大と製
品コストの増大につながり、さらに、圧力媒体として高
圧ガスを使用する関係上、２００００／ｃＪという高圧
力の下での高圧シリンダの破壊による事故が、どのよう
なものであるかは想偉を絶するものである。

又、下部ｖｆｊ封リング（７）の損傷も高圧ガスのシー
ルが行なえなくなシ、高圧を発生できなくなるばかりか
、同様の事故につながる危険性がある。

わが国では１〇−以上のガスを高圧ガスと称し、取扱上
の保安について、高圧ガス取締法によって規制されてい
ることは周知のとおシである。仁の法律制定の趣旨は、
第１条に述べられているように１高圧ガスによる災害の
防止、公共の安全の確保を目的としている。したがって
、高圧ガス用装置の構造強ＫＫついては、きわめて詳細
な基準が設轄られ、とくに安全の面において二重三電の
厳重な規制をして災害事故の防止に万全を規するよう考
慮されている。しかし一般に高圧ガス取締法で明確な基
準が与えられているのは１０００騨濯までであって、こ
れをこえると製造装置が十分安全であることを通商産業
大臣が認めるに十分な設計、＃！造技術を示すことが心
安である。

現在、高圧高温処理装置が最もよく用いられる圧力範囲
は２０００　Ｖ６／前後であるが、この場合、設備が据
付轄られる都道府県が監督官庁であり、設備のための許
可中鎖をするとともに、と〈′に１０００蝉をこえる部
分の耐圧強度、安全性については通商産業省の確認を受
けなければなら々い。

すなわち、このように安全性をきびしく追求されるとの
棟装置において、いかにサイクルタイムの短縮を計るこ
とができるといえども、高圧シリすることは極めて問題
がある。

この発明は、叙上の間亀点に鑑みてなされたものであっ
て、サイクルタイムの翅縮が可能でしかも高圧シリンダ
等の装置各部への悪影響がない安全性の高い高圧高温炉
を提供することを目的とし、第１の発明における特徴は
、高圧シリンダ、同高圧シリンダの上下開口部をそれぞ
れ密封する上部プラグ、下部プラグとによって創成され
る高圧室内に、断熱外装と、同断熱外装の内側に加熱装
置とを有し、前記下部プラグ上に載置せる被処理体に高
圧為温ガス雰囲気下で焼結あるいは接合等の処理を行な
う高圧高温炉において、前記下部プラグ、加熱装置及び
断熱外装を前記高圧シリンダ外へ一体的に堆出し可能に
設けるとともに、前記断熱外装及び下部プラグによって
創成される処理室を開閉自在に設けた点に存し、さらに
第２の発明における特徴は、高圧シリンダ、同高圧シリ
ンダの上下開口部をそれぞれ密封する上部プラグ、下部
プラグとによって創成される高圧室内に、断熱外装と、
同断熱外鉄の内側に加熱装置とを有し、前記下部プラグ
上に載置せる被処理体に＾工高温ガス雰囲気下で焼結あ
るいｔｉ接合等の処理を打なう高圧高温炉において、前
記下部プラグ、加熱装置及び断熱外装を前記高圧シリン
ダ外へ一体的に取出し可能に設けるとともに、前記断熱
外鉄及び下部プラグによって創成される処理室を開閉自
在に設け、かつ、前記処理室の密封手段を設け、さらに
、前記下部プラグに前記処理室内へ通ずるガス通路を設
けた点に存する。

以下、図示の実施例によってこの発明を詳脱する０ 第２図は、この発明になる高圧高温炉の実施例を示すも
のであって、第２図によって第１の発明を説明する。

第２図において、高圧室ａ１は為圧シリンダ（財）、上
部プラグ（２）および下部プラグ（財）によって構成さ
れ、上部プラグ（２）に設けられた圧力導入孔（至）を
通して高圧室Ｑ船内に導入されたガスは、上部密封リン
グ（イ）および下部密封リング罰によって高圧室？り内
に気密に保持される。上部プラグ（２）および下部プラ
グ（財）に作用する軸方向力は、両プラグ（２）、（財
）を高圧シリンダ（５）にねしつけることによって支持
してもよく、あるいはプレスによって支持する機構を採
用してもよい。

下部プラグ（２）上に設置される加熱装置儲け、加熱畳
素四を金属性円筒−内に電気的絶縁状態で保持すること
によって構成される。又、加熱ｌ！素翰への電力供給は
、下部プラグ（財）に電気的絶縁かつ気密状態で設けら
れた電極＠υを通して行なわれる。加熱装置−を含め処
理室（財）を囲む断熱外装儲け、気体浸透性の小さな材
料のほぼ同心の倒立型コツプ（財）および−とりングー
とによって構成され、内部にはセラミックスファイバー
のような繊維状断熱材−が充填される。

以上の構成を有するこの発明になる高圧高温炉の１つの
使用例を以下に示す。

まず、下部プラグ（財）を断熱外装曲、加熱装置−とと
もに高圧室Ｑｌ外へ取出し、下部プラグ−上に載置せる
断熱外装−を下部プラグ（財）よシ持ち上げて、処理室
（財）内を開放し、断熱材−を介して下部プラグ（財）
上にＩＩｊｔ［せる被処理体−を取シ出して、新たな被
処理体−を挿入した後、断熱外装−を下部プラ／″（財
）上ＫＩＩ１１！直して処理室（至）を融断し、電極＠
υを通じて処理室（５）内の加熱賛１Ａ２１に電力を供
給して処ｍｕ（２）内を昇温させて、被処理体−を予熱
し、所定の温度まで被処理体−が予熱されたところで、
下部プラグ（財）、被処理体−１断熱外装（２）、加熱
装置−を一体的に高圧室伐υ内に挿入し、下部密封りン
グ罰によって高圧室＠船内を密封した後、上部プラグ（
至）に設けた圧力導入孔（至）より＾１０１１及び処理
室間の真空吸引を行ない、しかるのちガス置換を行なう
。ガス置換の終了後引続き圧力導入孔（至）よシガスを
供給するとともに加熱装置■に引続き電力を供給して高
圧烏温下での被処理体−の処理作業を行なう。

又、予熱用の加熱装置を別に備えている設備においては
、予じめ予熱された僅処理体−を高圧室伐り外で、下部
プラグ（財）と断熱外装儲とによってＩＩｕ成される処
理室は内に収容し、そのまま島圧室シυ内へ、あるいは
、加熱装ｗ―に電力を供給して被処理体−を保熱・加熱
してから高圧室２＋１内へ挿入することもでき、さらに
、予熱を必要としないような時には、高圧室体υ外で被
処理体−を処理室（５）内へ収容してそのｉま高圧室＠
ｐ内へ挿入するこ−ともでき、所望の使用法が採用でき
る。

すなわち、第ｌの発明によれば、予熱を行なう場合には
、その加熱装置として、高圧高温処理に用いる加熱装を
靜が利用できるので、別途予熱炉等の加熱手段を設ける
必要がなく、設備費が安価になり、さらに、予熱中、予
熱後も被処理体−が断熱外装儲と下部プラグ（財）とに
よって創成される処理室（至）内に置かれる為に、放熱
による熱郷失を着しく減少でき、しかも予熱後の高温被
処理体−を高圧室＠船内に押入する場合にも被処理体−
が断熱外装儲によって遮蔽されている為に、高圧シリン
ダ四の下部内壁面が過熱されることもなく、又、下部密
封りング罰が損傷をうけることもなく、高圧シリンダ圓
及び下部密封リング（財）の寿命も着しく伸びることに
なシ、安全性も飛躍的に向上する。

尚、断熱外装儲は、倒立渥コツグー、−によって一体的
に構成されたものを使用する例を示したが、筒状の側部
断熱外装と板状の上部断熱外装に分割構成されたものを
使用し、ても、同様の効果が得られるが、実施例の如く
倒立型コツプ−１（至）によって一体的に構成され九断
熱外装曽を使用すれば、断熱外装儲は伝導および輻射伝
熱に対する有効な熱遮蔽体としての役割を果すばかりで
なく、高温高圧下の熱伝達において主要な部分をなす対
流伝熱に対して特に優れた断熱機能を発揮する。

又、分割構成された断熱外装を使用する場合の被処理体
の出入れは、側部断熱外装及び上部断熱外装を下部プラ
グよシ持ち上げて行なってもよいし、上部断熱外装のみ
をとシはプして行なってもよい。

すなわち、第１の発明によれば、極めて短かいサイクル
タイムの高圧高温処理プロセスが、装置各部への悪影響
を与えることなく、安全にかつ経済的に行なえるのであ
る。

しかしながら、発明者等は、この成果に満足することな
く、適用分野の拡大とより安定してサイクル、タイムの
短縮が行なえる高圧高温炉を幾多の実験を通じて探求し
た。

すなわち、この第１の発明による効果は以上述べたとう
りであるが、第１の発明において本、いぜんとして解決
されぬｔま残されている問題がらる０ すなわち、特に被処理体を高圧室外で予熱した後、高圧
室内へ挿入して高圧高温処理を行なうというプロセスを
採用する場合、第１図に示した従来の高圧高温炉におい
て、予熱炉内で予熱された被処理体を高圧室内に挿入す
る□場合に、被処理体が大気中を搬送されることになシ
、又、第１の発明になる高圧高温炉においても、被処理
体が収容される処理室内は、断熱外装によって熱的に遮
蔽されてはいるものの処理室内外の気体の密封が行なわ
れていない為に、いずれの場合において４被処理体とし
て耐高温酸化性のあるものを選定する必要があシ、それ
だけ適用分野が限定されることになる。

この場合、被処理体をプレスあるい社金属のカプセルに
封入して内部を真空にする方法を採用すれば、この間Ｍ
ａ解決できるが、例えば焼結体を高圧高銀処理する場合
等には、カプセルに封入することなくそのｉま焼結体を
処理室内に挿入して高圧高温処理を行なうことができた
のに対し、第１図に示す従来の高圧高温炉あるいは第１
の発明になる高圧高温炉では、予熱を行なう関係上、耐
高温酸化性を考慮して、そのような場合でもカプセルに
封入して行なわざるを得なくなる。

又、さらに、加熱装置及び断熱外装にも耐高温酸化性が
要求されるこ１□とになる。

すなわち、第２図に示す第１の発明になる高圧高温炉に
おいて、加熱装置９！ｊにおける加熱１１’ｌｋ四は耐
高温酸化性を考慮してＰｃ　−（３ｒ　−ＡＩ系の電熱
脚を、金属性円筒−及び断熱外装−における内側倒立型
コツプ−もやはり耐高温酸化性を考慮して８Ｕ８８１０
ステンレスステイールあるいはＮｉ＆の超合金を使用す
るが、ｒｅ　−Ｏｒ−ムｌ系の電熱−が使用できるのは
、１２０Ｇ”ｃまでであり、又、８０８８１０　Ｘテン
レスステイールあるいｔｉＮ＋基の超合金が使用できる
のは１３００°０までであり、しかも融点が１４００１
Ｃ弱であるところから、１２０Ｇ”Ｃ付近でも高温強度
に間艶かある。

一方、高圧高温処理装置が最もよく用いられる温度領域
は１４００〜１５００℃であり、例えば従来処理室温度
１４００°Ｃ付近では、加熱要素、金属性円筒、内側倒
立型コツプとしては、モリブデンが採用されているが、
モリブデンは大気中給ｓｏｏ”ｏ以上で昇華してしまう
ために、第１図に示す従来の高圧高温炉あるいは第１の
発明になる高圧高温炉の場合には、酸化性雰囲気で予熱
する際には、全く使用することはできない。

従って、第１の発明になる高圧高温炉においては、サイ
クルタイムが短縮されるという利点の他に種々の利点を
有していながら、高圧高温処理が行なえる温度領域が１
８００℃以下という限定された範囲であるという問題点
が残っている。

すなわち、＠ｇの発明は第１の発明になる高圧高温Ｖに
お峙る上記問題点をも解決できる高圧高温炉を提供すべ
くなされたものである。

以下、第３図、縞４図＜ａ’）、（ｂ）によって、第２
の発明を鮮鋭する。

第８図、第４図において゛、高圧室１２１１は高圧シリ
ンダー、上部プラグ−および下部プラグ□□□によって
構成され、上部プラグ（２）に設ゆられた圧力尋人孔（
至）を通して高圧室ζυ内に導入されたガスは、上部密
封リング翰および下部密封リング−によって高圧室（財
）内に気密に保持される。上部プラグ（至）および下部
プラグ（財）に作用する軸方向力は、両プラグ（２）、
−を高圧シリンダ＠にねじつけることによって支持して
もよく、するいはプレスによって支持する機構を採用し
てもよい。

下部プラグ（財）上に設置され、る加熱装置＠は、加熱
賛素四を金属性円筒−内に電気的絶縁状態で保持するこ
とによって構成される。加熱要素−として杜、使用温度
によってＮｉ−０ｒ線、Ｆｅ　−Ｏｒ−人Ｉ線あるいは
Ｍｏ線などが用いられ、また金属性円筒−としては同じ
く使用温度によってステンレス鋼、耐熱用超合金あるい
はモリブデン等が用いられる。加熱４１１素四への電力
供給は、下部プラグ（２）に電気的絶縁かつ気密状態で
設けられた電極口υを通して行なわれる。

加熱装置轡を含め処理室■を囲む断熱性装甲は、気体浸
透性の小さな材料のほぼ同心の倒立型コツプ（財）およ
び（至）とリング（至）とによって構成され、内部には
セラミック、スフアイバーのよう表繊維状断熱材ｃ１７
１が充填される。このような構成をとるととＫより、断
熱外装９は伝導および輻射伝熱に対する有効な熱遮蔽体
としての役割を果すばかシでなく、高圧高温下の熱伝達
において主要な部分をなす対流伝熱に対しても優れた断
熱機能を発揮する。倒立屋コツグーおよび図を形成する
気体浸透性の小さな材料としては、ステンレス鋼、耐熱
用超合金あるいはモリブデン等の金属が使用される。倒
立型コツプ關はその下端部（至）をリング（至）に気密
に接合され、さらにリング（至）は下部プラグｔ２４１
に気密に接合された支持リング−に密封リング順を介在
させて気密状態に取９つけられる。従って、高圧室？υ
内においては、断熱外装−と下部プラグ（財）とで包囲
される処理室（ロ）と高圧室？２υ内の残部空間とが気
密に絶縁されることになる。

下部プラグ（財）と被処理体−との間には断熱材−が設
けられ、さらに下部プラグ（財）には、下部プラグ（財
）の外側と処理室（２）の内側の高圧室−とを連通ずる
ガス通路−と、下部プラグ−の外側と処理室ｃ（日の外
側の高圧室−とを連通するガス通路−とが設けられ、２
つのガス通路−１−は弁−を介して導管−によって連通
されている。

以上の構成を有する高圧高温炉における＾圧＾温処理の
例を工程順に説明する。

すなわち、第２の、発明になる高圧高温炉を用いて高圧
高温処理を実施する場合は、例えば、第４図（、）−第
４図（ｂ）−第８図の順序で以下に述べる工程で行なわ
れる。

０）高圧室（２１外において、下部プラグ（財）上の断
熱材−上に被処理体−を設置する。（第４図（ａ））＜
ｉｉ）断熱外装−を密封リング四を介して支持リング−
上に載置して、処理室闘内を密封する。

（第４図（ｂ）） 伽）弁−を開き、開口部−より処理室（２）内を真空吸
引あるいは特定雰囲気を形成するためのガス置換を行な
うことによって、処理室（至）内を所望の。

雰囲気にし、しかるのち弁■を閉塞する。

θうそのまま高圧室２１外において加熱装置＠に電力を
供給し、被処理体−２を所定の温度まで予熱する０ （ｖ）被処理体一温度が所定温度に到達した後、被処理
体−を断熱外装轡および加熱装置響とともに下部プラグ
（財）上に設置したまま一体的に高圧室！２ｆＩ内に移
設する。（第８図） ←）上部プラグ（至）に設けられた圧力導入孔−より高
圧室シ０内の残部空間−の真空吸引を行ない、しかるの
ち圧力媒体として用いるガスと置換する。

←）高圧室＠日内の残部空間−のガス置換終了後、弁−
を開放して、高圧室（財）内の空間−と処理室（２）と
を連通させ、全高圧室＠υ内のガス置換を行ない、ガス
置換終了後引続き圧力導入孔−よりガスを供給して昇圧
するとともに加熱装置りに引続龜電力を供給して、被処
理体−を高圧高温雰囲気下に置き、高圧高温処理を行な
う。

（ｖＩＯ被処理体−を所定時間高圧高温ガス雰囲気下に
置き、高圧高温処理を行なった後、高圧ガスを圧力導入
孔（ハ）より排出し、高圧室ρυ内が大気圧に低下した
後、弁−を閉１１Ｌ、続いて下部プラグ（財）を被処理
体−１断熱外装讐および加熱鉄置圀とともに一体的に高
圧室２１外へ取り出す。尚、高圧高温処理終了後の任意
の時点で加熱装置（ハ）への電力供給を断って被処理体
−の冷却を行なう。

（汰）処理室（財）内の温度が所定温度以下になった時
点で、断熱外装轡を下部プラグ−よ塾取９Ｌずし、処理
室−を解放して、被処理体−を取シ出して、新たな被処
理体を断熱材−上に載置する。

以上で高圧高温処理の１サイクルが完了したことになる
が、圧力媒体として使用するガスは、ヘリウム、あるい
はアルゴンを用い、又、予熱工程における処理室端内の
雰囲気は、単に真空に引いただけでもよく、あるいはア
ルゴン、ヘリウム等のガス雰囲気にしてもよい。

尚、加熱装置り用材料、内側倒立型プラグ痰用材料とし
てモリブデンを採用し、処理室国内外度１４００”Ｃに
て高圧高温処理する場合に、予熱は１０００−〇まで行
ない、その場合の処理室国内外雰囲気は、ｌＯ〜１０　
　Ｔｏｒｒに真空吸引後アルゴンガス置換を行なってア
ルゴンガス雰囲気下で予熱したが、予熱段階でも又、最
終処理温度の１４００’″０加熱の段階でも、モリプデ
ｙが昇華することなく安定した加熱が行なえた。

尚、第８図、第４図（ａＬ　（ｂ）に示した実施例では
処理室（至）と外側の高圧室−とをガス通路−１−と導
管−とによって弁■を介して連通させる構成を採ってい
るが、第８図に示す下部プラグ（財）を高圧シリンダ（
至）に嵌合させた状態で、ガス通路−と圧力導入孔（至
）とＫよって処理室国内外の＾圧室−リ、−の圧力を調
整するようにすれば、ガス通路＠は省略してもよい。

すなわち、第２の発明になる高圧高温炉によれば、被処
理体−を予熱し九場合でも、サイクルタイムの短縮ばか
りでなく、予熱した高温被処理体−を高圧室＠υ内に搬
送する場合に、被処理体−が処理室−内に断熱外装−及
び下部プラグ−とによって密封保持されている為に、被
処理体（至）の放熱を最小限におさえることができ、し
かも、放熱によシ高圧シリンダ固内壁面を過熱すること
もなく、高圧シリンダ固の寿命を伸ばすことができ、下
。部密封リング（ロ）を損傷することもなく、保安上極
゛′めて安全であるという第１の発明による数々の効果
が七つくり得られるばかシでなく、被処理体−の予熱を
真空あるいは特定雰囲気下で行なうことができるため、
被処理体−自体の耐高温酸化性が要求されることなく、
従って、焼結体の高圧高温処理を行なう場合に、焼結体
をカプセル中に封入する必要がなくなり、工程を著しく
簡略化することができ、しかも、加熱装置＠及び断熱外
装−にも耐高温酸化性が要求されなくなり、モリブデン
等の材料の使用が可能となり、よシ高温で安定した高圧
高温処理が行なえ、適用分野が飛躍的に拡大されるばか
シでなく、処理温度によって加熱装置−や断熱外装管の
材料を任意に選択できるために、設備愛社より安価とな
る。

又、下部プラグ痰、断熱外装９、加熱装置斐から成るユ
ニットを複数個用意して、高圧高温処理作業が行なわれ
ている時には、他のユニットでは予熱、あるいは、被処
理体−の取出し、挿入を行なうようにすれば、高圧高温
処理の終了門、ただちに別のユニットを高圧室２１）内
に挿入でき、サイクルタイムをさらに短縮でき、高圧高
温処理作業を１つの高圧シリンダ（至）を用いて半連続
的に実施することができるために、製品の価格をさらに
大巾に低減させることができる。

尚、第３図、第４図（、）、（ｂ）に示した実施例にお
いては、高圧室如）内の空間−と処′理室−とが高圧高
温処理作業中には弁−を介して導管−により連通されて
いるだけで、処理室翰内は導管−以外では高圧室シカと
完全に密封されている為に、対置による伝熱を最小にす
ることができ、装置各部への熱的悪影響もなくなるばか
りか熱効率も向上する。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の高圧高温炉を示す正断面図、第２図乃至
第４図（ａＬ　（ｂ）はこの発明の実施例を示す正断面
図であシ、６！Ｏは高圧室、（２）は高圧シリンダ、（
至）は上部プラグ、（財）は下部プラグ、（２）は圧力
導入孔、鴫は上部密封リング、（財）は下部密封リング
、（ハ）は加熱装置、明は電極、（ロ）は処理室、−は
断熱外装、（至）は支持リング、−は密封リング、−は
断熱材、−１−はガス通路、−は導管、鋤は弁、−は被
処理体をそれぞれ示している。 特詐出願人　　株式会社神戸製鋼所

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）高圧シリンダ、同高圧シリンダの上下開口部をそ
   れぞれ密封する上部プラグ、下部プラグとによって創成
   される高圧室内に、断熱外装と、同断熱外装の内側に加
   熱装置とを有し、前記下部プラグ上に載置せる被処理体
   に高圧高温ガス雰囲気下で焼結あるいは接合轡の処理を
   行なう高圧高温炉において、前記下部プラグ、加熱装置
   及び断熱外装を前記高圧シリンダ外へ一体的に取出し可
   能に設けるとともに、前記断熱外装及び下部プラグによ
   って創成される処理室を開閉自在に設けたと−とを特徴
   とする高圧高温炉。
2. （２）高圧シリンダ、同高圧シリンダの上下開口部をそ
   れぞれ密封する上部プラグ、下部プラグとによって創成
   される高圧室内に、・断熱外装と、同断熱外装の内側に
   加熱装置とを有し、前記下部プラグ上に載置せる被処理
   体に高圧高温ガス雰囲気下で焼結あるいＦｉ接合等の処
   理を行なう高圧高温炉において、前記下部プラグ、加熱
   装置及び断熱外装を前記高圧シリンダ外へ一体的忙取出
   し可能に設ける。とともに、前記断熱外装及び下部プク
   グによって創成される処理室を開閉自在に設け、かつ、
   前記処理室の密封手段を設け、さらに、前記下部プラグ
   に前記処理室内へ通ずるガス通路を設は九ことを特徴と
   する高圧高温炉０