JPS58220437A - ワイヤボンダにおけるパタ−ン認識方法 - Google Patents

ワイヤボンダにおけるパタ−ン認識方法

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JPS58220437A
JPS58220437A JP57104353A JP10435382A JPS58220437A JP S58220437 A JPS58220437 A JP S58220437A JP 57104353 A JP57104353 A JP 57104353A JP 10435382 A JP10435382 A JP 10435382A JP S58220437 A JPS58220437 A JP S58220437A
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山崎　信人
Masayuki Nakamura
雅之 中村
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Shinkawa Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は半導体装置（ＩＣ，ＬＳＩ）、トランジスタ等
の試料の製造に用いるワイヤボンダにおけるパターン認
識方法に関する。
ワイヤボンダにおいてワイヤボンディングを全自動的に
遂行するためには、試料のパターンを検出するパターン
認識装置が不可欠である。パターン認識装置にはボンデ
ィングされる試料のパターンの基準パターンがメモリに
記憶されており、試料のパターンと基準パターンとを比
較して検出される。
ところで一般ｌこ、ペレットはリードフレーム等に対し
て曲って接着されているが、この曲りの範囲が大きくな
ると、従来のパターン認識方法では検出できなくなって
しまうという欠点があった。
このことを更に詳記すると、例えば第１図のような基準
パターンＩによって試料のパターンを認識させた場合、
基準パターンに対して検出する試料のパターンが曲って
いると、基準パターンとの一致度が減少し、目標とする
位置がずれて検出される。このずれ量がある一定の範囲
を越えた時の一致度をしきい値に設定することにより、
リードフレームに対するペレットの曲りが一般的には±
５゜の範囲までは検出可能であるが、これ以上曲ると検
出できなくなり、不良品として処理される。このため、
従来の方法では歩留りが悪い。
本発明は上記従来技術の欠点を除去したワイヤボンダに
おけるパターン認識方法を提供することを目的とする。
以下、本発明の一実施例について説明する。第１図に示
す基準パターン１をパターン認識装置のメモリに記憶さ
せる時に、基準パターン１を検出不可能な範囲一５°の
２倍の一１０°回転させた第２図に示す回転パターン２
と、基準パターン１を検出不可能な範囲＋５°の２倍の
＋１０°回転させた第３図に示す回転パターン３とをマ
イクロコンピュータで作ってメモリに記憶させておく。
そして、試料のパターン認識時に前記３種類のパターン
１．２．３を基準として検出させると、第２図及び第３
図に示すパターン２．３に対しても±５６の範囲で検出
可能であるので、リードフレームに対スるペレットの曲
りが±１５°の範囲まで検出できる。
なお、上記実施例は検出不可能な範囲の２倍の角度基準
パター７１を回転させた回転パターン２．３を作ったが
、２倍以下であれば特に限定されるものではなく、例え
ば１．８倍でもよい。
以上の説明から明らかな如く、本発明によれば、□ 検出範囲が広くなるので、歩留りも向上する。
【図面の簡単な説明】 第１図は基準パターンの説明図、第２図及び第３図はそ
れぞれ回転パターンの説明図である。 １・・・基準パターン、　　　２．３・・・回転パター
ン。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. ボッディングされる試料のパターンの基準となる基準パ
    ターンと、この基準パターンを一定角度回転させた回転
    パターンとを用いて試料のパターンを検出することを特
    徴とするワイヤボンダにおけるパターン認識方法。
JP57104353A 1982-06-17 1982-06-17 ワイヤボンダにおけるパタ−ン認識方法 Granted JPS58220437A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP57104353A JPS58220437A (ja) 1982-06-17 1982-06-17 ワイヤボンダにおけるパタ−ン認識方法

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Application Number Priority Date Filing Date Title
JP57104353A JPS58220437A (ja) 1982-06-17 1982-06-17 ワイヤボンダにおけるパタ−ン認識方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS58220437A true JPS58220437A (ja) 1983-12-22
JPH0139214B2 JPH0139214B2 (ja) 1989-08-18

Family

ID=14378510

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Application Number Title Priority Date Filing Date
JP57104353A Granted JPS58220437A (ja) 1982-06-17 1982-06-17 ワイヤボンダにおけるパタ−ン認識方法

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JP (1) JPS58220437A (ja)

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5214112A (en) * 1975-07-24 1977-02-02 Nissan Motor Co Ltd Torch iginition system internal combustion engine

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5214112A (en) * 1975-07-24 1977-02-02 Nissan Motor Co Ltd Torch iginition system internal combustion engine

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Publication number Publication date
JPH0139214B2 (ja) 1989-08-18

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