JPS58217016A - 流体配管系の流量制御方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は単数又は複数台の、ポンプ又はプロ−７− ワの如き流体機械による圧送源から、集合管を経て２系
列の、曝気槽などの如き処理プロセス状態へ流体を分岐
送入する流体配管系の流量制御方法に関するものである
。

従来のものの例として、流体機械としてブロワを用い、
処理プロセス装置として曝気槽を用いたものを第１図に
示す。

ここにＩＡ、ＩＢは曝気槽であり、被処理水としての下
水は下水入口２Ａ、２Ｂから供給される。この曝気槽Ｉ
Ａ、ＩＢに曝気用気体（酸素又は空気）を送入するため
、複数（図では２個）のブロワ８Ａ、８Ｂが、その吐出
側を一本の集合管４に接続されている。ブロワ３Ａ、３
Ｂの吸込側にはブロワ吐出圧−量制御のための吸込弁５
Ａ、５Ｂが設けられている。集合管４からは複数本（２
本）の分岐管６Ａ、６Ｂが分岐し、曝気槽ＩＡ、ＩＢに
接続している。分岐管６Ａ、６Ｂには、送入気体の流量
を制御する送入流量制御機構としての流量制御弁７Ａ、
７Ｂ及び風量計８Ａ、８Ｂが設けられている。

制御関係としては、ブロワ流量制御機構として、集合管
４の圧力を検出する圧力計９、圧力設定器】０からの設
定値と、圧力計９からの検出値とを比較し、その偏差に
よりブロワ流量制御要素である吸込弁５Ａ、５Ｂの一度
を調節してブロワ流量を制御し集合管４の圧力を一定に
保つようにする圧力調節計１１が設けられている。送入
流量制御機構に関しては、風量計８Ａ。

８Ｂの検出値と設定値とを比較し、その偏差により送入
流量制御要素である流量制御弁７Ａ。

７Ｂの開度を調節して送入流量を設定値に保つ流量調節
計１２Ａ、１２Ｂか設けられ、さらに曝気槽ＩＡ、ＩＢ
中の下水の溶存酸素量を検出する溶存酸素計１３Ａ、１
３Ｂ、溶存酸素量設定器１４Ａ、１４Ｂからの設定値と
溶存酸素計］　３Ａ、１３Ｂからの検出値とを比較し、
その偏差により、流量調節計１２Ａ、１２Ｂに与える流
量設定値を変更調節し、カスケード制御をする溶存酸素
量調節計１５Ａ、１５Ｂが備えられている。

　９− このような従来のものにおいて、曝気槽Ｉ　Ａ。

ＩＢ内のプロセスの状態を検出する溶存酸素計１：ｌＡ
、１８Ｂはその検出端が目詰りを起こし易く、検出の精
度を欠き、また１〜２箇月程度の短期間ごとに、点検、
清掃などの保守作業を行なわねばならず信頼性の低いも
のであった。

発明者らは、従来の方法の上記の欠点を除くために研究
を重ね、その折に得られた以下の如き知見に基づき本発
明がなされたものである。

即ち、例えば曝気槽か必要とする風量は、流入する下水
量にほぼ比例するが、その流入量の、−日の間の時間的
変化は、天候（雨か、晴か。

またその天候の続く時間、雨量）、季節、平日か休日か
、その地域が、住宅地域か工場地域力＼などの環境状態
賛素がＦ水の発生量を左右する下水発生状態要素であり
、それらの要素の状態により、必要風量の時系列的ノ９
ターンがほぼ定まっていることが確かめられた。

また、この考えは、以上の如き下水の曝気方法に限らず
、圧送源から複数の装置に各々の装１０− 置が必要とする流量の流邦°制御を行う方法、例えは加
熱炉燃焼用空気、工場換気、ビル空調などにも適用でき
ることがわかった。

本発明は以上の如き点に着目してなされたもので、天候
、季節、平日か休日か、地域、などの環境条件に応じて
流入流量設定値Ｑａ＊、　Ｑｂ＊を選択し、集約制御機
構に人力せしめ演算を行ない、全体流量制御と流量配分
制御とを行なって送入流量を制御することにより、従来
の方法の欠点を除き、プロセス状態の検出器が信頼性の
低いものであっても確実に、制御する流体配管系の流量
制御方法を提供することを目的とする。

また、第２の発明は、以上の第１の発明のはかに、曝気
槽への流入下水量、溶存酸素１などのプロセス状態検出
を行ない、所定のプロセス状態から差がある場合に前記
時系列ノ（ターン機＊ 構における送入流量設定値Ｑａ、Ｑｂ＊を修正して修正
値により制御を行なうようにしてさらに精度の高い制御
を行なうことを目的としたものである。

−１１一 本発明は、単数又は複数台並列運転される流体機械の吐
出側が集合管に接続され、該集合管から分岐した分岐管
に接続された２系列の処理プロセス装置へ流体を送入す
るように構成され、前記分岐管には送入流体の流量を制
御する送入流量制御機構が設けられ、前記流体機械には
流体機械流Ｉ・制御機構が設けられている流体配管系の
流量制御方法において、 該流体配管系の流量制御を司る年約制御機構と、 ＊ 送入流量設定値Ｑａ　　及びＱｂ＊を時系列的に接続し
て作成した流量設定値時系列パターンを単数又は複数系
列記憶せしめた時系列／ｅターン機構とを備え、 環境条件に応じて、前記時系列パターン機構より、対応
する送入流量設定値Ｑａ＊及びＱｂ＊を選択して、これ
らを前記集約制御機構に人力せしめ、 前記各分岐管における実際の流量に相当するＱＪＩＸ及
びＱｂｘを前記集約制御機構に入力せし成核集約制御機
構においては送入流量全体の総和流量の制御を行なう全
体流量制御と、２系列の処理ゾロセヌ装置への流量配分
の制御を行なう流ｌ配分制御とが行なわれ、 前記全体流量制御は、前記送入流量設定値＊ Ｑａ　　及びＱｂ＊の和に基づいて、前記扉体機構流量
制御機構を制御して行なわれ、 前記流量配分制御は、前記送入流量制御機構と前記流体
機械流量制御機構とを、 ここに、ｉ、ｊ：　二つの処理プロセ セス装置系列及び 流体機械系列の三 つの系列のうち何 れか二つの系列を 示す記号 △Ｒ：　成る系列の配管系 の抵抗修正量 ＝１６− Ｑ　：　成る系列の風量 なる関係にて調節して行なう ことを特徴とする流体配管系の流量制御方法である。

本発明の実施例を下水睡気装置を例にとって図面を用い
て説明する。

第２図は流体機械として２台のブロワ３Ａ。

３Ｂが用いられ、流体機械流量制御機構として吸込弁５
Ａ、５Ｂが用いられ、送入流量制御機構として流量制御
弁７Ａ、７Ｂが用いられている。

２５は後述の如く、この流体配管系を全体的に把握して
流量制御を司る集約制御機構である。

４１は環境条件設定機構であり、天候（雨か、晴か。ま
た、その天候の続く時間、雨量）、季節、平日か休日か
、その地域が住宅地域か工場地域か、などの環境条件の
各要素の状態を、制御時点において（制御時点は３０分
、１時間、６時間、１日間隔など適当な間隔で選ばれる
）観測を行ない該当する条件を設定し、その出力１４− を時系列ＩＱターン機構４２に人力せしめるようになっ
ている。

時系列ＩＱターン機構４２においては、送入流量設定値
Ｑａ＊、　Ｑｂ＊を、それぞれアナログ的な任意の定才
った複数個の値を選ぶか、又はディジタル的に段階的に
任意の定まった複数個の値を選び、それらの値の単数又
は複数種類の流入流量設定値時系列／耐ターンを記憶せ
しめておく。

例えば、第１の時系列、Ｑターンは、 ６〜８時　　Ｑａ＊＝　３　ＯＮ　　　Ｑｂ＊＝　２　
ＯＮ８〜１０　　　　　５０％　　　　　４０％１０−
１２　　　　　　９　（１’　　　　　　６０Ｘ１２−
１４　　　　　　８０％　　　　　　７０％第２の時系
列）（ターンは −１５− ６〜　８時　　Ｑａ＊　＝　１０Ｘ　　Ｑｂ＊　＝　］
　ＯＸ８〜１０時　　　　　２０％　　　　　２０％１
０〜１２　　　　　　　　　　５０％　　　　　　　　
４０％１２−１４　　　　　　　　　　　４０％　　　
　　　　　　３（１などの如くである。

これらの時系列パターンは計算及び過去のデータにより
定める。

この時系列）（ターンは単数でも複数でもよい。

しかして、環視条件設定機構４１からの入力により、対
応する時系列ＩＱターンが選び出され、記憶された時刻
に従って、記憶された送入流量設定値Ｑａ　　及びＱｂ
＊が順次出力され、集約制御＊ 機構２５に入力される。

２９Ａ、２９Ｂは処理プロセヌ装置におけるプロセス状
態量、例えば溶存酸素量や下水流入量など、を検出する
プロセる検出器、３０Ａ。

３０Ｂはプロセス状態量の設定値を定めるプロセス設定
器であり、プロセス状態量の検出値と設定値とを比較し
、プロセス状態部がプロセス設定値となるのに必要な流
体の送入流１−を演算し、送入流量設定値Ｑａ＊、　Ｑ
ｂ＊を時系列）（ターン機構４２に送るようにしたプロ
セス調節計３］Ａ、３１Ｂが備えられている。これらの
系統はフィードバック修正用に用いられる。風量計８Ａ
、８Ｂにて検出された実際の送入流量検出値Ｑａ、Ｑｂ
　も集約制御機構２５に送られる。

Ｑａ　、　Ｑｂ　　を測定せずに、制御時点での送入流
量設定値Ｑａ＊、’　Ｑｂ＊を集約制御機構２５に送る
場合もある。

分岐管６Ａに関する系統なＡ系統、６Ｂに関する系統を
Ｂ系統、ブロワ３Ａ、３Ｂに関する圧送源の系統をＣ系
統と称す。

集約制御機構２５は、Ｑａ＊、　Ｑｂ＊　を入力し、演
算を行なって全体風量制御と流量配分制御を行なうもの
であり、全体流量制御は、流量制御弁７Ａ、７Ｂおよび
吸込弁５Ａのうち、全体風量を増大する場合はどの弁を
操作してもよいが、３個の内被数を操作する場合には開
閉方向は全１７− で同一方向とするのが望ましい。一方全体風量を減小す
る場合は殴込弁５Ａを操作する方が望ましい。流量制御
弁７Ａ、７Ｂを絞るとプロ９３Ａ側から見ると吐出絞り
となりブロワ３Ａは余分な動力を要することとなる。

流体機械流量制御機構としては、吸込弁５Ａ。

５Ｂの代りに、ブロワインレットベーン、ディフューザ
ーベーン或いはブロワ３Ａ、８Ｂの回転数制御機構、台
数制御機構などを用いることができる。

流量調節計３２の動作は、第３図に示す如く、送入流量
設定値ＱＩＬ＊（又はＱｂ＊或いはＱｂ＊／　Ｑａ＊）
と送入流量検出値Ｑａ　（又はＱｂ或いはＱｂ　／　Ｑ
ａ）との偏差Ｅｒを求め、通常の比例＋積分動作、或い
は必要であればさらに高級な演算を行なうなどの動作を
行ない操作量△ＭＹ　　を出力する。

第３図に示す装置の作用を説明すれは、上述の如く、送
入流量設定値Ｑａ＊などにより必要とする操作量△Ｍｙ
を演算して出力し、この操作量△Ｍｖに基づいて、流量
制御弁７Ａ、７Ｂの倒れ１８− か一方と、吸込弁５Ａとを、流量制御弁７Ａと７Ｂとの
相互干渉を消去するように、次の如く組み合わせて調節
する。

分岐管６Ａ、６Ｂの流量制御弁７Ａ、７Ｂの内、どちら
を調節するかを選択器３３により選択する。選択は以下
の如くとする。すなわち、７Ａ、７Ｂの内で開度な開方
向に調節する側の弁を選択する。２者の内どちらか一方
が全開（あるいは最大設定開度）であれば、他方の弁を
選択し、両者とも全開（あるいは最大設定開度）であれ
ば、どちらか一方とする。

７Ａ、７Ｂの内どちらが開方向になるかは、どちらの分
岐管の風量を増大するかによって決まる。すなわち例え
ばＡ系の風量を増大するときはＡ系の流量調節弁を開方
向に調節する。このときＢ系の７Ｂを閉方向に調節して
も風量配分を調整することも出来るが、絞るとブロワ側
から見て吐出側絞りの状態となるので７Ａを開くように
する。

上記、選択器３３の実施例を第４図、第５図−１９− に示す。

同図中、Ｘは流量制御弁７Ａ、７Ｂの開度、Ｘｍ　ａ　
ｘ　はその最大設定開度である。

このように調節すべき弁が決定された後に、以下の方式
で７Ａと５Ａ（あるいは７Ｂと５　Ａ）を組合せて調節
する。すなわち例えば７Ａと５Ａを調節する場合には、
第６図の如く圧送源抵抗の修正量とＡ光分岐管路抵抗の
修正量の比（１−Ｒｃ／△Ｒａ）を風量比（Ｑａ／Ｑｃ
　）の三乗に比例するようにする。但し、符号は反対と
なる。７Ａが開方向であれば５Ａ（５Ｂ）は閉方向、７
Ａが閉方向であれば５Ａ（５Ｂ）は閉方向となる。

即ち、 となる。これは次の如き根拠による。

即ち、一般に配管中の流れが乱流であるときには配管中
の圧力損失ｐｔ、は配管内流量Ｑの二乗に比例する。即
ち Ｐ　　＝　　ＲＱ”　　　・・・・・・・・・　（２）
この場合、全体流量を変えないという条件丁において、
抵抗Ｒの変化分△Ｒと流量比Ｑａ／Ｑｅとは　（１）式
の如き関係となる。

７Ｂと５Ａを調節する場合には同様にての関係で各抵抗
の修正量を決定する。

示す。演算器３４Ａ、３４Ｂにおいて△ＲＢ−１ｉ１’
ｊｌ）＝△Ｍｖ　でありＱａとＱｂのちがいだけである
場合には両者は共通とすることもできる。

次に換算器３５Ａ、３５Ｂ、３５Ｇを用いて上述の方式
で得られた各々の抵抗の修正量から調節すべき開度変更
量を求める。

一般に弁を含む配管系の抵抗は第７図の如く非２１− 線形性を有している。

換算器８５Ａ、８５Ｂ、３５Ｃはそれぞれの配管系の第
７図の関係を補償するものである。

例えば同図で当初Ｐの状態であり抵抗の修正量が△Ｒで
あるときは弁の開度変更量は△ＸでありＱの開度に調節
する。

なお、設定風量の変化中が小さく、流量制御弁７Ａ、７
Ｂの開度変更量が小で抵抗と弁開度の非線形性が無視し
える場合は換算器３５Ａ。

３５Ｂ、３５Ｃは不用となる。弁の形状を工夫すること
により上述の非線形性を補償する方法もある。

また、抵抗と弁開度の関係がほとんど同一であるときは
換算器３５Ａ、３５Ｂ、３５Ｃは共通とすることができ
る。

第８図は別の実施例の集約制御機構２５を示し、先に選
択器３３により選択を行なった後に信号をＡ回路３６Ａ
１又はＢ回路３６Ｂに入れるようにしたものである。

前述までの実施例は全体風量制御を先行し、２２− その制御が整定した後に風量配分制御を行う例であるが
これとは逆に、風量配分制御先行するようにしてもよい
。この場合の風量配分制御において、全体風量を一定に
保って風量配分制御するときは前述の方式で風量配分制
御すればよい。

前述までの実施例においては、風量配分制御において流
量制御弁と吸込弁、即ち７Ａと５Ａ或いは７Ｂと５Ａを
組合せて制御していたが、第９図の如く二つの流量制御
弁７Ａと７Ｂとを組み合わせてもよい。

流量調節計３２は前述の例と同一である。

選択器３３は流量制御弁７Ａ、７Ｂの内、開度小の弁が
開方向に調節する選択器である。

風量配分を変化させるとき、例えばＡ系分岐管風量を増
大させるときは７Ａを開方向操作するか、７Ｂを閉方向
操作すればよい。

本実施例では両者の弁が出来るだけ開度大となるように
するために、開度小の方の弁を開方向に調節する方式と
する。

−２３− 具体的には△Ｍｙの符号（正、負）を切換える方式が考
えられる。

演ｙ器３４Ｃの特性は とする。

換算器３５Ａ、３５Ｂは前述の例と同様である。

流量制御弁７Ａ、７Ｂは制御性あるいは制御弁の構造を
簡単にするたぬに被数台の並列あるいは、直列配置とし
てもよい。

以上の如く、この時系列パターン（プログラムパターン
）方式は、プロセス調節計３１Ａ。

３１Ｂからの信号がなくとも運転を行なうことができる
ので、溶存酸素計におけるが如き目詰りによるトラブル
や、保守の手間などを除去することができる。

才たプロセス調節計３１Ａ、３１Ｂを用いる運転であっ
ても、その運転の途中で、溶存酸素計や下水流量計など
のプロセス検出器２９Ａ。

２９Ｂが故障した場合に自動的又は手動にてこのプログ
ラムノ（ターン方式に切替えて流！−副制御続行するこ
とができる。例えば、下水処理の場合（こは、プロセス
検出器２９Ａ、２９Ｂが故障しても雨の降り具合により
その後の〕（ターンはほぼ定めることができるのでプロ
グラムパターン方式を用いることができる。

通常は、プログラム、ｅターン方式（時系列〕（ターン
方式）により流量制御を行ない、適当な時点で、プロセ
スの状態として例えばＤＯ値を検出し、実際のＤＯ値と
Ｄｏ　の設定値を比較し、両者の偏差が大きいときには
、ＤＯの設定値となるよう設定風量の段階又は時系列を
修正してもよい。才だ、プロセス状態検出として実際の
Ｆ水流入量を検出し、これとプログラム作成時に想定し
た下水流入量とを比較し、両者の偏差が太きいときには
、その偏差に応じて設定風量の段階を修正する。

以上の如く設定風量を修正される場合は、当初プログラ
ムで指定された設定風量ではなく、修正された設定風量
に対応するパターンに従つ２５− て風量制御を行う。

このようなプログラム／（ターン制御にフィードバック
修正を加える方式は次の如き利点を有する。

即ち、例えばＦ水の曝気装置の場合では、曝気槽でのプ
ロセスは、活性汚泥法による下水処理であり、生物化学
的反応に基づくものであり、送風量、流入下水量、水値
、ＤＯ値などの動的な関係は複雑であり、また応答時間
が長いプロセスである。従って、ＤＯ値などでプロセス
の状態を検出して、風量を制御するフィードバック方式
ではプロセスの応答時間が長くなり、制御は常に遅れを
生ずる。

これに対し、本実施例は、プログラム、ｅターン制御で
、曝気槽が必要とする風量を予め予測制御した上で、必
要な修正をフィードバック方式で行なうため、制御のお
くれが改善され、かつ修正により必要な風量が曝気槽に
送風される。

修正を行なうには、適当な制御周期ごとに溶存酸素計、
下水流量計などのプロセス検出器２６− ２９Ａ、２９Ｂの検出を行ない、その状態での必要施蓋
に基づく設定流量Ｑａ＊　、　Ｑｂ＊をプ。セス調節計
３］Ａ、３１Ｂにて演算して出力する。

時系列ノＱターン機構４２においてはこれを受け、＊ 設定風量Ｑａ、Ｑｂ＊或いは時系列の並べ方を修正する
。

本発明により、信頼性の低い溶存酸素計などのプロセス
状態検出器を用いず、簡単な方法で確実に風量制御を行
なうことができ、また、設定流量に基づいて演算を行な
うので１．Ｑイブの紅年変化による抵抗値の変化、曝気
槽の散気管における目詰りによる抵抗値の変化などを、
現場で直ちに修正ができる、流体配管系の流量制御方法
を提供することができ実用上極めて大なる効果を有する
ものである。

【図面の簡単な説明】

、第１図は従来例のフロー図、第２〜９図は本発明の実
施例に関するもので、第２図は、本発明の実施例のフロ
ー図、第３図は流量調節計の作用説明図、第４図及び第
５図は選択器の作用−２７− を示すフローシート、第６図は□　と、△Ｒａ の作用を示すグラフ、第８図、第９図は集約制御機構の
異なる実施例のフロー図である。 ＩＡ、ＩＢ・・・降気相、　　２Ａ、２Ｂ・・・下水入
口、　　３Ａ、３Ｂ・・ブロワ、　　４・・・巣合管、
５Ａ、５Ｂ・・・吸込弁、　　６Ａ、６Ｂ・・分岐管、
７Ａ、７Ｂ・・・流量制御弁、　　８Ａ、８Ｂ・・・風
量計、　　９・・・圧力計、　　１０・・・圧力設定器
、】】・・・圧力調節計、　　１２Ａ、１２Ｂ・・・流
量調節計、１３Ａ、］：（ＩＢ・・溶存酸素計、　　１
４Ａ、１４Ｂ・・・溶存酸素量設定器、　　１５Ａ、１
５Ｂ・・・溶存酸素量調節計、　２５・・・集約制御機
構、　２９Ａ。 ２９Ｂ・・・プロセス検出器、　　３０Ａ、３０Ｂ・・
・フロセス設定Ｂ、　　３１Ａ、３１Ｂ・・・プロセス
調節計、　　３２，３２Ａ、３２Ｂ・・・流量調節計、
３３・・・選択器、　３４Ａ、３４Ｂ、３４Ｃ’・・・
演算器、　　８５Ａ、３５Ｂ、３５Ｃ・・・換算器、３
６Ａ・、・Ａ回路、　　３６Ｂ・・・８回路、　４１・
・環境条件設定機構、　４２・・・時系列パターン機構
。 特許出願人　　株式会社荏原製作所 特許出願人　　株式会社荏原　電産 代理人　弁理士　　　　端　　山　　　五　　　−同　
　　弁理士　　　　千　　　　１）　　　　稔手続補正
書 昭和５７年８　月３０日 特許庁長官　若杉和夫　殿 １、事件の表示　　昭和５７年　特　許　願オ９９３５
４号２、発　明　の名称　　ンル木配管不のメン１剰戦
ｒオ域３、補正をする者 事件との関係　　　　特許出願人 住所（居所） ４、代理人 ６、補正により増加する発明の数 ７、補正の対象　明細書・訃文及べ図　面；委任駄８、
補正の内容　別紙の通り ・（３）委任ｕ　　　　　　　　　　１通１０７−

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、単数又は複数台並列運転される流体機械の吐出側が
   集合管（こ接続され、該集合管から分岐した分岐管に接
   続された２系列の処理プロセヌ装置へ流体を送入するよ
   う構成され、前記分岐管には送入流体の流量を制御する
   送入流量制御機構か設けられ、前記流体機械には流体機
   械流量制御機構が設けられている流体配管系の流量制御
   方法において、 該流体配管系の流量制御を司る集約制御機構と、 送入流量設定値Ｑ及びＱｂ＊を時系列的に接続して作成
   した流量設定値時系列）（ターンを単数又は複数系列記
   憶せしめた時系列パターン機構とを備え、環境条件に応
   じて、前記時系列パターン機構より、対応する送入流量
   ゛　２− 設定値Ｑａ＊及びＱｂ＊を選択して、これらを前記集約
   制御機構に入力せしめ、 前記各分岐管における夾際の流量に相当する和光流量Ｑ
   ａｘ及びＱｂｘを前記集約制御機構に入力せしめ、 該集約制御機構においては送入流量全体の総和流量の制
   御を行なう全体流量制御と、２系列の処理プロセス装置
   への流量配分の制御を行なう流量配分制御とが行なわれ
   、 前記全体流量制御は、前記送入流量設定値＊　　　　　
   　　＊ Ｑａ　　及びＱｂ　　の和に基づいて、前記流体機構流
   量制御機構を制御して行なわれ、 前記流量配分制御は、前記送入流量制御機構と前記流体
   機械流量制御機構とを、 ここに％ｉｌｊ：　　二つの処理プロセス装置系列及び
   流体機械系列の 三つの系列のうち例れか −３− 二つの系列を示す信号 △Ｒ：　成る系列の配管系の抵抗 修正量 Ｑ　：　成る系列の風量 なる関係にて調節して行なう ことを特徴とする流体配管系の流量制御方法。 ２　前記時系列ノ々ターン機構中に記憶せしぬられてい
   る送入流量設定値Ｑａ＊及びＱｂｘが、段階的数値によ
   り設定されている特許請求の範囲第１項記載の方法。 ３、前記相当流量Ｑａｘ及びＱｂｘが、それぞれ前記分
   岐管における実際の流量を検出した検出値をＱａ及びＱ
   ｂである特許請求の範囲第１項記載の方法。 ４、　前記相当流量Ｑａｘ及びＱｂｘが、それぞれ制御
   時点における送入流量設定値Ｑａ＊及びＱｂｘである特
   許請求の範囲第１項記載の方法。 ５、単数又は複数台並列運転される流体機械の吐出側が
   集合管に接続され、該集合管から分岐した分岐管に接続
   された２系列の処理ゾロセヌ装置へ流体な送入するよう
   構成され、前記分岐管には送入流体の流量を制御する送
   入流ｌ制御機構が設けられ、前記流体機械には流体機械
   流量制御機構が設けられている流体配管系の流量制御方
   法において、 該流体配管系の流量制御を司る集約制御機構と、 送入流量設定値Ｑａ　　及びＱｂｘを時系列的に＊ 接続して作成した流量設定値時系列、ｅターンを単数又
   は複数系列記憶せしめた時系列パターン機構とを備え、 環境条件に応じて、前記時系列ＩＱターン機構より、対
   応する送入流量設定値Ｑａ及びＱｂｘ＊ を選択して、これらを前記集約制御機構に入力せしめ、 前記各分岐管における実際の流量に相当する相当流量Ｑ
   λＸ及びＱｂｘを前記集約制御機構に人力せしめ、 該集約制御機構においては送入流量全体の−５＝ 総和流量の制御を行なう全体流量制御と、２系列の処理
   プロセス状態への流量配分の制御を行なう流量配分制御
   とが行なわれ、 前記全体流量制御は、前記送入流量設定値Ｑａ　　及び
   Ｑ♂の和に基づいて、前記流体機構＊ 流量制御機構を制御して行なわれ、 前記流量配分制御は、前記送入流量制御機構と前記流体
   機械流量副側機構とを、 ここに％　　ｔ、ｊ：　　二つの処理プロセヌ装置系列
   及び流体機 械系列の三つの系列 のうち何れか二つの 系列を示す記号 △Ｒ：　成る系列の配管系の 抵抗修正量 Ｑ　：　成る系列の風量 なる関係番こて調節して行ない、 　６− かつ、処理プロセス中のゾロセヌ状態ヲ検出し、所定の
   プロセス状態との差が認められた場合には、前記時系列
   ノｑターン機構における流入流量設定値Ｑａ”及び／又
   はＱｂｘを修正する ことを特命とする流体配管系の流１制御方法。 ６、　前記時系列、Ｑターン機構中に記憶せしめら＊ れている送入流量設定値Ｑａ　　及びＱｂｘが、段階的
   数値により設定されている特許請求の範囲第５項記載の
   方法。 ７、　前記相当流量Ｑａｘ及びＱｂｘが、それぞれ前記
   分岐管における実際の流量を検出した検出値をＱａ及び
   Ｑｂである特許請求の範囲第５項記載の方法。 ８、前記相当流量Ｑａｘ及びＱｂｘが、それぞれ制御時
   点における送入流量設定値Ｑａ　　及びＱｂｘ＊ である特許請求の範囲第５項記載の方法。