JPS58214103A - 反射鏡面体の製造方法 - Google Patents
反射鏡面体の製造方法Info
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- JPS58214103A JPS58214103A JP9629082A JP9629082A JPS58214103A JP S58214103 A JPS58214103 A JP S58214103A JP 9629082 A JP9629082 A JP 9629082A JP 9629082 A JP9629082 A JP 9629082A JP S58214103 A JPS58214103 A JP S58214103A
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- Japan
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- polymer composite
- composite material
- metal film
- resin
- paraboloid
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/08—Mirrors
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
寸法精度が高く、反射率、平滑度等を含む光学特性、温
度安定性、および量産性に優れた反射鏡面体の製造方法
を提供するものである。
度安定性、および量産性に優れた反射鏡面体の製造方法
を提供するものである。
一般に、各種レーザの集光鏡や赤外線集中加熱炉等には
、反射鏡面体が使用されているが、これらは、金属ある
いはガラス等を所望の形状に形成し反射曲面部分を研磨
し、これに光反射率の高い金属（ ＡＩ 、Ａｇ，Ａｕ
，Ｃｕ，Ｒ山等）等をメッキ、蒸着、あるいはスパッタ
等により被着形成して反射鏡面を形成している。この場
合、光学的特性の良い曲面（特に放物面等の非球面）の
研磨面を得るために、高精度の成型や長時間の研磨工程
が一品毎に必要とされ、量産性が悪く、製品が高価格と
なる。
、反射鏡面体が使用されているが、これらは、金属ある
いはガラス等を所望の形状に形成し反射曲面部分を研磨
し、これに光反射率の高い金属（ ＡＩ 、Ａｇ，Ａｕ
，Ｃｕ，Ｒ山等）等をメッキ、蒸着、あるいはスパッタ
等により被着形成して反射鏡面を形成している。この場
合、光学的特性の良い曲面（特に放物面等の非球面）の
研磨面を得るために、高精度の成型や長時間の研磨工程
が一品毎に必要とされ、量産性が悪く、製品が高価格と
なる。
量産性を高めるために、たとえば研磨作業時間を短縮す
ると、精度が低下する。また、凹面鏡の場合、寸法が小
型化するに伴って寸法精度、面精度を確保することが困
難となり、優れた光学特性の反射鏡面体の製造が困難と
なる。さらに、このような反射鏡面体の使用に際し、温
度等が種々に変動することがあり、この温度変化に対し
て安定な特性を有する基体材料を用いる場合に、上記の
加工等がより困難となることがある。
ると、精度が低下する。また、凹面鏡の場合、寸法が小
型化するに伴って寸法精度、面精度を確保することが困
難となり、優れた光学特性の反射鏡面体の製造が困難と
なる。さらに、このような反射鏡面体の使用に際し、温
度等が種々に変動することがあり、この温度変化に対し
て安定な特性を有する基体材料を用いる場合に、上記の
加工等がより困難となることがある。
ところで、反射鏡とは凹凸を逆にした反射曲面形状が形
成されたガラス等の母型材（成型）を用い、この母型材
の上記反射曲面部分に剥離剤を塗布し、この剥離剤上に
反射鏡用の金属膜を蒸着等により形成し、これを接着剤
硬化体に転写することによって反射鏡面体を得るような
製法が、たとえば特開昭５２−８４７５２号において提
案されている。しかしながら、この製法によれば、母型
材（新型）の曲面上に剥離剤を塗布することが必要とさ
れているため、この剥離剤上に鏡面形成用の金属を蒸着
する際に、その熱により剥離剤が分離し、金属膜と反応
し、所望の高精度の鏡面を得ることが極めて困難である
。また、反射鏡面体の基体材料となる接着剤にどのよう
なものを選ぶかについては何等開示されておらず、たと
えば通常使用されるエポキシ系接着剤を用いた場合には
、硬化収縮率が数チ以上と大きく、熱膨張係数も約１０
−４程度と大きいため、高精度の光学特性は期待てきす
、また温度特性も悪い。
成されたガラス等の母型材（成型）を用い、この母型材
の上記反射曲面部分に剥離剤を塗布し、この剥離剤上に
反射鏡用の金属膜を蒸着等により形成し、これを接着剤
硬化体に転写することによって反射鏡面体を得るような
製法が、たとえば特開昭５２−８４７５２号において提
案されている。しかしながら、この製法によれば、母型
材（新型）の曲面上に剥離剤を塗布することが必要とさ
れているため、この剥離剤上に鏡面形成用の金属を蒸着
する際に、その熱により剥離剤が分離し、金属膜と反応
し、所望の高精度の鏡面を得ることが極めて困難である
。また、反射鏡面体の基体材料となる接着剤にどのよう
なものを選ぶかについては何等開示されておらず、たと
えば通常使用されるエポキシ系接着剤を用いた場合には
、硬化収縮率が数チ以上と大きく、熱膨張係数も約１０
−４程度と大きいため、高精度の光学特性は期待てきす
、また温度特性も悪い。
本発明は、このような従来の実情に鑑み、反射鏡面体の
基体材料として、ガラスピーズ等の無機充填材を合成樹
脂に混入して成る高分子複合材料を用い、その熱硬化過
程を制御することにより、剥離剤を使用することなく、
寸法精度が高く、反射”−率、平滑度等の光学特性に優
れ、安定した温度特性を有し、しかも量産性に優れて製
品の安価な供給を可能とするような反射鏡面体の製造方
法の提供を目的とする。
基体材料として、ガラスピーズ等の無機充填材を合成樹
脂に混入して成る高分子複合材料を用い、その熱硬化過
程を制御することにより、剥離剤を使用することなく、
寸法精度が高く、反射”−率、平滑度等の光学特性に優
れ、安定した温度特性を有し、しかも量産性に優れて製
品の安価な供給を可能とするような反射鏡面体の製造方
法の提供を目的とする。
すなわち、本発明に係る反射鏡面体の製造方法の特徴は
、高精度の反射曲面形状を有する硬度の高いガラス等の
母型材の表面に金属膜を被着形成する工程と、樹脂に無
機充填材を混入して成る高分子複合材料に上記金属膜の
被着された母型材を接触させる工程と、上記母型材と高
分子複合材料とを加熱し冷却する工程と、上記母型相を
尚分子接合材料より分離して硬化樹脂表面に上記金属膜
を転写する工程とより成ることである。
、高精度の反射曲面形状を有する硬度の高いガラス等の
母型材の表面に金属膜を被着形成する工程と、樹脂に無
機充填材を混入して成る高分子複合材料に上記金属膜の
被着された母型材を接触させる工程と、上記母型材と高
分子複合材料とを加熱し冷却する工程と、上記母型相を
尚分子接合材料より分離して硬化樹脂表面に上記金属膜
を転写する工程とより成ることである。
以下、本発明に係る好ましい実施例について、図面を参
照しながら説明する。
照しながら説明する。
本発明の実施例においては、小型固体レーザ励起光の集
光ミラーとなる反射鏡面体を製造するものとし、反射曲
面形状は回転放物面であり、縦断面（中心軸に沿った断
面）形状はたとえは第１図に示すように放物線として表
われる。具体的寸法は、たとえは、焦点距離Ｊ＝０．６
２５ノｒｕｎ 、口径り一９ ＩＪＩＪｒｌ 、 Ｑ！
ｌ１１方向深さｌ ＝ ８ｎｕｎとする。
光ミラーとなる反射鏡面体を製造するものとし、反射曲
面形状は回転放物面であり、縦断面（中心軸に沿った断
面）形状はたとえは第１図に示すように放物線として表
われる。具体的寸法は、たとえは、焦点距離Ｊ＝０．６
２５ノｒｕｎ 、口径り一９ ＩＪＩＪｒｌ 、 Ｑ！
ｌ１１方向深さｌ ＝ ８ｎｕｎとする。
先ず、第２図へに示ずように、直径がたとえば１、 Ｑ
ＴＩＪＨのガラス棒１の先端を、第１図に示す回転放
物面形状（たたし凸面）に加工形成する。これは、予め
先端を概略的な回転放物面形状に形成したものを、→ノ
−ンドペーハ、 Ａｌ２Ｏ３、Ｃｅ２Ｏ：＋ 等の研
磨洞て精密研磨し、曲面精度を高めてゆけばよい。
ＴＩＪＨのガラス棒１の先端を、第１図に示す回転放
物面形状（たたし凸面）に加工形成する。これは、予め
先端を概略的な回転放物面形状に形成したものを、→ノ
−ンドペーハ、 Ａｌ２Ｏ３、Ｃｅ２Ｏ：＋ 等の研
磨洞て精密研磨し、曲面精度を高めてゆけばよい。
この研磨工程終了後に、仙磨面である凸面の回転放物面
２を洗浄する。この洗浄工程は、エタノールをつけたレ
ンズベータや中性洗剤等により比較的太きｆｆ汚れを落
とした後に、エタノールで置換し、トリクレンて常温か
らたとえは１５分間煮沸すること等により行なえばよい
。
２を洗浄する。この洗浄工程は、エタノールをつけたレ
ンズベータや中性洗剤等により比較的太きｆｆ汚れを落
とした後に、エタノールで置換し、トリクレンて常温か
らたとえは１５分間煮沸すること等により行なえばよい
。
次に、上記高精度に研磨され表面が洗浄された回転放物
面２を有、するガラス棒１を母型材（マスター）として
用い、この凸面の回転放物面である反射曲面２の表面に
高反射率の金属（ＡＩ、Ａｇ、Ａｕ。
面２を有、するガラス棒１を母型材（マスター）として
用い、この凸面の回転放物面である反射曲面２の表面に
高反射率の金属（ＡＩ、Ａｇ、Ａｕ。
Ｃｕ 、 Ｒｈ等）の薄膜を蒸着等により被着形成する
。
。
本実施例ではＡｕ（金）を蒸着して、第２図Ｂに示すよ
うな反射鏡面形成用の金属膜３を、たとえば５０００′
Ａの厚さに蒸着形成している。この場合に、族Ｎ膜厚か
均一となるように、ガラス棒１を回転させて蒸着を行な
うのが好ましい。
うな反射鏡面形成用の金属膜３を、たとえば５０００′
Ａの厚さに蒸着形成している。この場合に、族Ｎ膜厚か
均一となるように、ガラス棒１を回転させて蒸着を行な
うのが好ましい。
このように、母型材としてのガラス棒１の反射曲面２に
蒸着形成された金属膜３を、第２図Ｃ９Ｄに示すように
高分子複合材料４に転写する。この高分子複合材料４は
、本件出願人が特願昭５２−１４４２３０号（％開昭５
４−ＬＧ６９２号）や特願昭５３−１６４０８０号（特
開昭５５−８９３１６号）等に開示したように、エポキ
シイル（脂、不飽和ポリニスデル樹脂等の合成１＋ｓ’
ｌ脂にアルミナ、グラフアイ１−、ガラスピーズ等の無
機材料フィラーを混入して成るものであり、ＢＭＣ（Ｂ
ｕｌｋＭｏｌｄｉｎｇ Ｃｏｍｐｏｕｎｄ ）とも称さ
れる。第３図は、この無機充填材と゛してのガラスピー
ズをエポキシ樹脂に混入して成る高分子複合材料の熱膨
張係数α（単位ｐｐｍ／’Ｃ；）を縦軸に、ガラスピー
ズ充填比率（体積比）を横軸にとったグラフである。こ
のグラフから明らかなように、ガラスピーズの体積比が
増大するほど熱膨張係数αが減少している。
蒸着形成された金属膜３を、第２図Ｃ９Ｄに示すように
高分子複合材料４に転写する。この高分子複合材料４は
、本件出願人が特願昭５２−１４４２３０号（％開昭５
４−ＬＧ６９２号）や特願昭５３−１６４０８０号（特
開昭５５−８９３１６号）等に開示したように、エポキ
シイル（脂、不飽和ポリニスデル樹脂等の合成１＋ｓ’
ｌ脂にアルミナ、グラフアイ１−、ガラスピーズ等の無
機材料フィラーを混入して成るものであり、ＢＭＣ（Ｂ
ｕｌｋＭｏｌｄｉｎｇ Ｃｏｍｐｏｕｎｄ ）とも称さ
れる。第３図は、この無機充填材と゛してのガラスピー
ズをエポキシ樹脂に混入して成る高分子複合材料の熱膨
張係数α（単位ｐｐｍ／’Ｃ；）を縦軸に、ガラスピー
ズ充填比率（体積比）を横軸にとったグラフである。こ
のグラフから明らかなように、ガラスピーズの体積比が
増大するほど熱膨張係数αが減少している。
この第１実施例においては、エポキシ系接着剤とガラス
ピーズとを重量比１対１の割合で混合したものを、金属
膜転写媒体である高分子複合材料４として用いている。
ピーズとを重量比１対１の割合で混合したものを、金属
膜転写媒体である高分子複合材料４として用いている。
この高分子複合材料４は、たとえば第４図に示すような
反射鏡基台５の凹部６に流し込んで、この部分に母型と
なるガラス棒１先端の反射曲面２を挿入するようｌこし
てもよい。この反射鏡基台５は、たとえばＡ１等を用い
、ダイキャスト成形あるいは切削加工等により、回転放
物面（凹面）に近似した形状の凹部６を設けて成るもの
であり、この凹部６に流し込まれた高分子複合材料４を
介して金属膜３が転写される。
反射鏡基台５の凹部６に流し込んで、この部分に母型と
なるガラス棒１先端の反射曲面２を挿入するようｌこし
てもよい。この反射鏡基台５は、たとえばＡ１等を用い
、ダイキャスト成形あるいは切削加工等により、回転放
物面（凹面）に近似した形状の凹部６を設けて成るもの
であり、この凹部６に流し込まれた高分子複合材料４を
介して金属膜３が転写される。
ここで転写作業は、ガラス棒１の先端に被着形成された
金属膜３を高分子複合材料４に接触させる工程と、この
接触させた状態で加熱して樹脂を硬化させた後に冷却す
る工程と、母型としてのガラス棒１を高分子複合材料４
から剥離する工程とから成る。この剥離後には、金属膜
３が高分子複合材料４に接着されて高精度の回転放物面
形状が転写される。
金属膜３を高分子複合材料４に接触させる工程と、この
接触させた状態で加熱して樹脂を硬化させた後に冷却す
る工程と、母型としてのガラス棒１を高分子複合材料４
から剥離する工程とから成る。この剥離後には、金属膜
３が高分子複合材料４に接着されて高精度の回転放物面
形状が転写される。
上記転写作業の各工程についてさらに説明すると、上記
接触工程前に、ガラス棒１の金属膜３の形成部分から連
続する外周部分に、シリコングリス（蒸着用高真空グリ
ス）を塗布しておき、高分子複合材料４の樹脂がはみ出
した時【・こ付着しないようにするのが好ましい。次に
、樹脂の硬化工程においては、常温で約１時間放置して
ツル化させた後に、９０℃のオーブンにより約１時間加
熱していイつゆるベーキングを行なう。このベーキング
により硬化が完了した後、常温程度にまで冷却し、上記
シリコングリスを塗布した場合にはトリクレン等で洗浄
する。次に、上記剥離工程においては、ガラス棒１を単
に機械的に引張ることにより金属膜３との剥離がなされ
るが、水中で超音波を数分〜数十分程度かけることによ
り、略１００チの成功率で上記剥離が行なえる。
接触工程前に、ガラス棒１の金属膜３の形成部分から連
続する外周部分に、シリコングリス（蒸着用高真空グリ
ス）を塗布しておき、高分子複合材料４の樹脂がはみ出
した時【・こ付着しないようにするのが好ましい。次に
、樹脂の硬化工程においては、常温で約１時間放置して
ツル化させた後に、９０℃のオーブンにより約１時間加
熱していイつゆるベーキングを行なう。このベーキング
により硬化が完了した後、常温程度にまで冷却し、上記
シリコングリスを塗布した場合にはトリクレン等で洗浄
する。次に、上記剥離工程においては、ガラス棒１を単
に機械的に引張ることにより金属膜３との剥離がなされ
るが、水中で超音波を数分〜数十分程度かけることによ
り、略１００チの成功率で上記剥離が行なえる。
ところで、一般にエポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂は、加
熱時に膨張することにより内圧を筒めて、樹脂と金属膜
３との接着を強くするが、冷却時に収縮して母型のガラ
ス棒１（！：の接着が弱まるため、上記剥離が良好に行
なえず、ガラス棒１と金属膜３との間に剥離剤層を設け
ることが必要となる。
熱時に膨張することにより内圧を筒めて、樹脂と金属膜
３との接着を強くするが、冷却時に収縮して母型のガラ
ス棒１（！：の接着が弱まるため、上記剥離が良好に行
なえず、ガラス棒１と金属膜３との間に剥離剤層を設け
ることが必要となる。
これに対して、本発明のように、ガラスピーズ等の無機
材料フィラーを混入した高分子複合材料４を用いた場合
には、第３図に示すように熱膨張係数が小さく、上記加
熱、冷却に伴なう熱変形が少ないため、上記剥離が容易
に行なえ、しかも高精度の曲面転写が行なえる。さらに
、樹脂硬化温度を２段階に、たとえば２０℃で１時間、
９０℃で１時間のように設定するカカ序、９０℃で２時
間ベーキングしたものに比べて剥離か容易に行なえる。
材料フィラーを混入した高分子複合材料４を用いた場合
には、第３図に示すように熱膨張係数が小さく、上記加
熱、冷却に伴なう熱変形が少ないため、上記剥離が容易
に行なえ、しかも高精度の曲面転写が行なえる。さらに
、樹脂硬化温度を２段階に、たとえば２０℃で１時間、
９０℃で１時間のように設定するカカ序、９０℃で２時
間ベーキングしたものに比べて剥離か容易に行なえる。
これは、硬化時に温度差を与えることにより、樹脂が熱
伸縮してＡｕ金属膜３が伸縮するため、ガラス棒１の表
面との接着力が低下するからである。
伸縮してＡｕ金属膜３が伸縮するため、ガラス棒１の表
面との接着力が低下するからである。
このような実施例の製造方法により得られた反射鏡面体
によれば、波長８００１ｍの光に対し、９５％前後の高
い反射率が得られ、Ａｕ蒸着ミラーに期待される上限に
近い値となる。また、Ｈｅ−Ｎｅレーザからの平行光を
入射させた放物面鏡の集束点におけるビームスボッ１−
径は、ナイフェツジ法により測定した結果、半値幅１０
〜２０μ）ｒＬが得られ、高精度の放物面が形成されて
いることが確認できた。
によれば、波長８００１ｍの光に対し、９５％前後の高
い反射率が得られ、Ａｕ蒸着ミラーに期待される上限に
近い値となる。また、Ｈｅ−Ｎｅレーザからの平行光を
入射させた放物面鏡の集束点におけるビームスボッ１−
径は、ナイフェツジ法により測定した結果、半値幅１０
〜２０μ）ｒＬが得られ、高精度の放物面が形成されて
いることが確認できた。
ところで、実施例と同形、同寸法の反射鏡面体の製造時
に、母型材となるガラス棒の反射曲面部分に対して、ワ
ックス、油、ステアリン酸亜鉛、コロジオン等の剥離剤
を塗布した後りこ、Ａｕの金属膜を蒸着形成した場合に
は、得られた反射鏡面体の反射率の低下が生じ、良質の
ミラーの製造が困難であることが知られた。これは、金
属蒸着時の加熱により、剥離剤が分離して金属膜と反応
することから、高い反射率の実工］′！カＳ困難となる
ためである。
に、母型材となるガラス棒の反射曲面部分に対して、ワ
ックス、油、ステアリン酸亜鉛、コロジオン等の剥離剤
を塗布した後りこ、Ａｕの金属膜を蒸着形成した場合に
は、得られた反射鏡面体の反射率の低下が生じ、良質の
ミラーの製造が困難であることが知られた。これは、金
属蒸着時の加熱により、剥離剤が分離して金属膜と反応
することから、高い反射率の実工］′！カＳ困難となる
ためである。
以上の説明からも明らかなように、本発明に係る反射鏡
面体の製造方法によれは、高精度の鏡面性が得られるガ
ラス等の高硬度の母型材に直接的に、光反射率の高い金
属膜を蒸着形成し、この金属膜を、寸法精度、硬度、熱
膨張等に優れた特性を有するがラスビーズ添加樹脂等の
高分子複合材料（いわゆるＢＭＣ）に転写することによ
り、熱硬化時の体積膨張を利用して剥離を容易に行ない
、高精度かつ高反射率の反射鏡面体を得ている。特に、
カラス母型材との接着力が比較的弱いＡｕ膜の場合、二
段階の熱硬化プロセスを経ることにより、Ａｕ膜のガラ
ス母型材からの剥離および樹脂側への転写が無理なく行
なえ、さらに、剥離時に水中で超音波振動を印加するこ
とにより、略１．００係の成功率で剥離が行なえる。ま
た、高分子複合材料自体の特長より、温度特性の安定、
な、高精度の光学ミラーを得ることができる。
面体の製造方法によれは、高精度の鏡面性が得られるガ
ラス等の高硬度の母型材に直接的に、光反射率の高い金
属膜を蒸着形成し、この金属膜を、寸法精度、硬度、熱
膨張等に優れた特性を有するがラスビーズ添加樹脂等の
高分子複合材料（いわゆるＢＭＣ）に転写することによ
り、熱硬化時の体積膨張を利用して剥離を容易に行ない
、高精度かつ高反射率の反射鏡面体を得ている。特に、
カラス母型材との接着力が比較的弱いＡｕ膜の場合、二
段階の熱硬化プロセスを経ることにより、Ａｕ膜のガラ
ス母型材からの剥離および樹脂側への転写が無理なく行
なえ、さらに、剥離時に水中で超音波振動を印加するこ
とにより、略１．００係の成功率で剥離が行なえる。ま
た、高分子複合材料自体の特長より、温度特性の安定、
な、高精度の光学ミラーを得ることができる。
なお、本発明は上記実施例のみに限定されるものではな
く、たとえば、反射鏡面形状としては、回転放物面以外
にも、球面、回転楕円面、回転双曲面等の種々の曲面形
状が実現可能である。また、鏡面体の各部寸法も実施例
に限定されず、鏡面形成用金属もＡｕ以外に、ＡＩ 、
Ａｇ、 Ｃｕ 、 Ｒｈ等を使用できる。この他、本
発明の要旨を逸脱しない範囲において、種々の変更が可
能である。
く、たとえば、反射鏡面形状としては、回転放物面以外
にも、球面、回転楕円面、回転双曲面等の種々の曲面形
状が実現可能である。また、鏡面体の各部寸法も実施例
に限定されず、鏡面形成用金属もＡｕ以外に、ＡＩ 、
Ａｇ、 Ｃｕ 、 Ｒｈ等を使用できる。この他、本
発明の要旨を逸脱しない範囲において、種々の変更が可
能である。
図はすべて本発明の詳細な説明するためのものであり、
第１［ｉｌは反射曲面の縦断面曲線を示すグラフ、第２
図Ａ−Ｄは製造工程に治った要部断面図、′第３図は筒
分子複合材料の熱膨張係数を示すグラフ、第４図は反射
鏡基台を示す斜視図である０ １・・・・・・・・・かラス棒（母型材）３・・・・・
・・・・金属膜 ４・・・・・・・・・高分子複合材料 特許出願人 ツク−株式会社 代理人 弁理士 ｌＪＳ 曲 見回 １）
村 榮 −
第１［ｉｌは反射曲面の縦断面曲線を示すグラフ、第２
図Ａ−Ｄは製造工程に治った要部断面図、′第３図は筒
分子複合材料の熱膨張係数を示すグラフ、第４図は反射
鏡基台を示す斜視図である０ １・・・・・・・・・かラス棒（母型材）３・・・・・
・・・・金属膜 ４・・・・・・・・・高分子複合材料 特許出願人 ツク−株式会社 代理人 弁理士 ｌＪＳ 曲 見回 １）
村 榮 −
Claims (1)
- 高精度の反射曲面形状を有する硬度の高い母型制の表面
に金属膜を被着形成する工程と、樹脂に無機充填材を混
入して成る高分子複合材料に上記金属１１カの被着され
た母型材を接触させる工程と、上記母型材と高分子複合
材料とを加熱し冷却する工程と、上記母型材を高分子複
合材料より分離して硬化樹脂表面に上記金属膜を転写す
る工程とより成る反射鏡面体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9629082A JPS58214103A (ja) | 1982-06-07 | 1982-06-07 | 反射鏡面体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9629082A JPS58214103A (ja) | 1982-06-07 | 1982-06-07 | 反射鏡面体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58214103A true JPS58214103A (ja) | 1983-12-13 |
Family
ID=14160937
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9629082A Pending JPS58214103A (ja) | 1982-06-07 | 1982-06-07 | 反射鏡面体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58214103A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0722099A1 (en) * | 1995-01-13 | 1996-07-17 | Hughes Aircraft Company | Plastic mirrors having enhanced thermal stability |
-
1982
- 1982-06-07 JP JP9629082A patent/JPS58214103A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0722099A1 (en) * | 1995-01-13 | 1996-07-17 | Hughes Aircraft Company | Plastic mirrors having enhanced thermal stability |
| US5864434A (en) * | 1995-01-13 | 1999-01-26 | Raytheon Company | Plastic mirrors having enhanced thermal stability |
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