JPS58211391A - Semiconductor storage device - Google Patents

Semiconductor storage device

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JPS58211391A
JPS58211391A JP57092890A JP9289082A JPS58211391A JP S58211391 A JPS58211391 A JP S58211391A JP 57092890 A JP57092890 A JP 57092890A JP 9289082 A JP9289082 A JP 9289082A JP S58211391 A JPS58211391 A JP S58211391A
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JP
Japan
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voltage
memory
cell
power supply
memory cell
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Application number
JP57092890A
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Japanese (ja)
Inventor
Satoshi Konishi
小西 「さとし」
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Tokyo Shibaura Electric Co Ltd
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Publication date
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Publication of JPS58211391A publication Critical patent/JPS58211391A/en
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    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C11/00Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
    • G11C11/21Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements
    • G11C11/34Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices
    • G11C11/40Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices using transistors
    • G11C11/41Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices using transistors forming static cells with positive feedback, i.e. cells not needing refreshing or charge regeneration, e.g. bistable multivibrator or Schmitt trigger
    • G11C11/412Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices using transistors forming static cells with positive feedback, i.e. cells not needing refreshing or charge regeneration, e.g. bistable multivibrator or Schmitt trigger using field-effect transistors only

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  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
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  • Semiconductor Memories (AREA)

Abstract

PURPOSE:To realize the high-speed reading, by switching one of two power supplies of a static memory cell to the third power supply during the reading of a memory cell and therefore increasing the potential difference of a memory compared with the potential difference of a pause mode period of the memory. CONSTITUTION:A memory cell consists of resistance element loads R1 and R2, transistors T1-T4 and a pair of bit lines BL and BL'. The high and low potential voltages of the memory cell are set at the VDDC and SDDC respectively, and the back gate voltage of transistors T1-T4 is set at VXBN respectively. Thus the potential difference between a power supply VDD and the other power supply -VB of the memory cell can be increased compared with the pause mode period of the memory. This ensures the high-speed reading.

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 不発り」は、果槓回路メモリとが1チツプマイクロコン
ピユータのメモリなどに適用されるスタティック型の半
導体記憶装置に閃する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Technical Field of the Invention] The problem of failure occurs in static semiconductor memory devices in which a circuit memory is used as a memory for a one-chip microcomputer.

〔発り」の技+トs的背以とその問題点〕メモリが篩集
積化、犬容重化するに伴ない、ビット線に4ukされる
メモリセルは微細化され、その1m m+ 能力は小さ
くなる。一方、一本のピント縁に脹続されるメモリセル
の数は増し、そのビット線の容■は増大する。そのため
、読み出し助に1つのメモリセルが一対のビット線を駆
動し、それらの間にでしみ出し0]能な電位差をつける
のに安する時間は増大し、そのため読み比し時間は長く
なる。さらにその上、低油*電力化のためにメモリの%
 or、 IIi出を一ドける必要も生じてきており、
この場合はさらに一1〜メモリセルの駆如j能力な下げ
ることになり、より−j曽絖入出し1梅間が長くなるよ
うになってきている。
[Departure technique + Tos behind and its problems] As memory becomes more integrated and bulkier, the memory cells connected to the bit line become smaller and their 1mm m+ capacity becomes smaller. Become. On the other hand, the number of memory cells connected to one focus edge increases, and the capacity of the bit line increases. Therefore, the time it takes for one memory cell to drive a pair of bit lines and create a potential difference between them that can be used for reading increases, and therefore the time required for reading data becomes longer. Furthermore, % of memory for low oil consumption and electricity consumption.
Or, it has become necessary to take a step out of IIi,
In this case, the capacity of the memory cell is further reduced, and the length of time between input and output of the memory cell is becoming longer.

これに約し−〔、(イ)負荷となるピント線の電気容量
を小さくするため、ビット線につながれたメモリセルの
転送用トランジスタのドレイン面積を極力小さくしてそ
の拡散容量な抑える方法や、迎に(l])セルの駆!t
III能力を尚めるためにセルのトランジスタのゲート
幅を大さくする方法が行なわれている。しかし、前者(
イ)の方法においては、転送用トランジスタの最小ドレ
イン白檀はドレインと金属配線鳩で形成されたビン)k
とのコンタクト面積以下にすることはできず、ビット線
の拡散容量は余り小さくできない。ところが、トランジ
スタが微小化されるに伴ない、トランジスタのパンチス
ルー耐圧が低(なるため、基板濃度を上ける必要があり
、これは転送用トランジスタのドレインの拡散容量ケ増
やし、ピント線の拡散容量は増える 傾向にある。これ
に対して、後者(ロ)の方法において、トランジスタの
ゲート幅を増やすことはセルサイズの増大につながり、
セルパターンに多少の面積余裕がある場合にの入可能で
、セル面積の余裕がない場合にはトランジスタのゲート
幅を10%増やすのがやっとのことであり、どのような
セルパターンを採用しても実現は非常に困難である。
In order to reduce the electrical capacitance of the focus line that acts as a load, there is a method to minimize the drain area of the transfer transistor of the memory cell connected to the bit line to reduce its diffusion capacitance. To meet you (l)) Cell no Kakeru! t
In order to improve the III capability, a method has been used to increase the gate width of the cell transistor. However, the former (
In method b), the minimum drain sandalwood of the transfer transistor is a bottle formed by the drain and the metal wiring dove)
Therefore, the diffusion capacitance of the bit line cannot be made very small. However, as transistors become smaller, the punch-through breakdown voltage of the transistor becomes lower, so it is necessary to increase the substrate concentration. On the other hand, in the latter method (b), increasing the gate width of the transistor leads to an increase in the cell size.
This can be done if the cell pattern has some extra area, but if there is no extra cell area, the only thing you can do is increase the gate width of the transistor by 10%. is also extremely difficult to realize.

〔発明の目的〕[Purpose of the invention]

本発明は上記の@盾に鑑みてなされたもので、従来のビ
ット線の電気容量を小さくする方法やセルのトランジス
タのゲート幅を大きくする方法が物理的に困難であるの
に比べ℃容易にしかも効果的に読み出し時間を短濁し得
る半導体記憶装置を提供するものである。
The present invention was made in view of the above-mentioned problem, and is easy to use compared to the conventional method of reducing the capacitance of a bit line or increasing the gate width of a cell transistor, which is physically difficult. Furthermore, the present invention provides a semiconductor memory device that can effectively shorten the read time.

〔発明の概太〕[Summary of the invention]

すなわち、本発明の半導体記憶装置は、スタティックメ
モリセルに供給すべき2を源のうち一方の*=をメモリ
セルの耽入出しに際して第30電諒に切り換えて、この
切り換えによってメモリの2電諒の電位差をメモリの休
止モード期間における電位差に比べて大きくする電源切
換手段をVHけたものである。
That is, in the semiconductor memory device of the present invention, one of the 2 power sources to be supplied to the static memory cell, *=, is switched to the 30th power supply when the memory cell is input/output, and this switching causes the 2 power supply of the memory to be switched to the 30th power supply. This is a power supply switching means for increasing the potential difference between the memory and the potential during the sleep mode period of the memory by an order of magnitude of VH.

したがって、読み!1しに際して、すなわちリードモー
ド時あるいはリードサイクルの全区間もしくは一部の期
間にメモリセルに供給される2電諒のX位差が休止モー
ド期間の電位差よりも大きくなるので、メモリセルによ
るピント線の駆′*)I能力が増し、高速の読み出し動
作が行なわれるようになる。
Therefore, read! 1, that is, the X potential difference between the two voltages supplied to the memory cell during the read mode or all or part of the read cycle is larger than the potential difference during the rest mode period, so the focus line by the memory cell is The drive'*)I capability is increased and high-speed read operations can be performed.

〔発明の実施例〕[Embodiments of the invention]

以下、図面を参照して本発明の実施例を旺細に説明する
。先ず本発明の原理を説明する。第1図は、スタティッ
クメモリセルの−?lL℃抵抗素子負荷とエンハンスメ
ント型IK動トランジスタを用いた所i1 E/R型メ
セメモリセル一対のビット線BL、BLと、ワードiW
Lとの接続を示している。ただしここではメモリセルの
駆動トランジスタも転送用トランジスタもNチャンネル
間O8)ランジスタが用いられている。メモリセルは行
方向および列方向に配列され℃おり、同一列のメモリセ
ルに共通に−2」のピントIfMBL、BL が接続さ
れ、同一行のメモリセルに共通に一本のワード線WLが
接続されている。
Embodiments of the present invention will be described in detail below with reference to the drawings. First, the principle of the present invention will be explained. Figure 1 shows the static memory cell -? lL℃ resistance element load and enhancement type IK dynamic transistor i1 A pair of E/R type mesememory cells bit lines BL, BL and word iW
It shows the connection with L. However, here, both the memory cell drive transistor and the transfer transistor are N-channel transistors. The memory cells are arranged in the row and column directions, and the pins IfMBL and BL of -2 are commonly connected to the memory cells in the same column, and one word line WL is commonly connected to the memory cells in the same row. has been done.

上記メモリセルにおいては、高電位側の第1の1kL源
VDDに抵抗索子R,、it、  の谷一端が接続され
、抵抗素子Iモ、の他端(ノードfl )と低電位側の
第2の電1M1(−VB)との間にエンハンスメント型
のNチャンネル間O8)ランジスタ(駆動トランジスタ
)Ttが接続され、前記抵抗素子鴇の他端(ノードL)
と第2の電源(VB)との間にエンハンスメントwのN
チャンネルMOSトランジスタ(駆動トランジスタ)T
2が接続され、このトランジスタ′1゛、のゲートは前
記ノードIIに接heされ、前記トランジスタIl’+
8のゲートは前記ノードLに接続されている。さらに、
Ail 1iI2ノードHとピントiBl、  との間
にエンハンスメント型のNチャンネル間O8)ランジス
タ(転送トランジスタ)T&が接続され、前日己ノード
Lとビット縁BLとの間にエンハンスメント型のNチャ
ンネル間O8)クンジスタ(転送トランジスタ)′r4
が接続され、これらの転送用) −y y i;yスタ
’、[’、 、T4ノゲートハワード@Wl、に接続さ
れている。また、上記各トランジスタ′I゛1〜T、の
パックゲート電圧とし又=’ll it己−vB電源が
印加されている。
In the above memory cell, one end of the valley of the resistive element R,, it, is connected to the first 1 kL source VDD on the high potential side, and the other end (node fl) of the resistive element Imo and the first 1 kL source VDD on the low potential side. An enhancement type N-channel transistor (O8) transistor (driving transistor) Tt is connected between the voltage 1M1 (-VB) of 2 and the other end (node L) of the resistor element 1M1 (-VB).
N of enhancement w between and the second power supply (VB)
Channel MOS transistor (drive transistor) T
2 is connected, the gate of this transistor '1' is connected to the node II, and the transistor Il'+
The gate of No. 8 is connected to the node L. moreover,
An enhancement-type N-channel transistor (transfer transistor) T& is connected between Ail 1iI2 node H and pinto iBl, and an enhancement-type N-channel transistor (O8) is connected between the previous node L and the bit edge BL. Kunster (transfer transistor)'r4
and for these transfers) -y y i;y star', [', , T4 nogate Howard @Wl,. Furthermore, the pack gate voltage of each of the transistors 'I'1 to T' is set to a voltage of -vB.

上i己メモリセルにおいて、いまトランジスタT、がオ
フ、トランジスタT2がオン状態となっていて、ノード
Hが尚レベル電信’、 Vn 、ノードLが低レベル転
位■Lになっているものとする。こノトサ、Vn ハV
DD * 圧−C: アtJ、VL+1−VB′y 圧
に灯い0ここで、ピット腺B17¥1人レベルー位■L
に引き込んでいる駆U+ )クンジスタ′1゛2のソー
スとドレイン間の電圧V対電bL I特性は第2図に示
すようになる。ここで、vTは駆動トランジスタT2の
閾値′電圧であって、閾値電圧の基板バイアス依存性は
d兄明の簡素化のため無祝しである。 Vn”OV ト
−VB=−VBI モL < ハVB2 トK オける
+ e 性の違いは、駆動トランジスタ′■゛2のソー
ス電位が異なることに外ならず、そのためゲート電位V
Hが一定でもソース電位に2」するゲート電位は異なり
、−VBの値によって躯動トランジスタ′J′茸の′I
[流駆動能力が大きく異なっている。
Assume that in the memory cell above, the transistor T is now off, the transistor T2 is on, the node H is still at a level 0, Vn, and the node L is at a low level transition 2L. Konotosa, Vn HaV
DD * Pressure - C: At J, VL + 1 - VB'y Pressure is 0 Here, pit gland B17 ¥ 1 person level - ■L
Figure 2 shows the characteristics of the voltage V versus the voltage bLI between the source and drain of the Kunister '1'2, which is drawn in by U+). Here, vT is the threshold voltage of the driving transistor T2, and the dependence of the threshold voltage on the substrate bias is ignored for the sake of simplicity. Vn"OV To-VB=-VBIMoL<HaVB2ToKOkiru+e The difference in characteristics lies in the fact that the source potential of the drive transistor '■'2 is different, and therefore the gate potential V
Even if H is constant, the gate potential differs depending on the source potential, and depending on the value of -VB, the 'I' of the spiral transistor 'J' mushroom
[The flow driving ability is significantly different.]

低レベル電位■LはVn VTより+Jるかに小さく、
したがって駆動トランジスタ′1゛2は3極管動作を行
なっており、−■B電位の違いによる駆動トランジスタ
T2のV−I  %性の違いは、第2図に示すようにソ
ース・ドレイン間の′屯出■がOv付近の立ち上りの違
いとなっている。そして、−vB電位がOvでなく負電
位になれはなる程、ビン) 祢IL K対する引き込み
駆WJ+能力が大きくなることか分る。
Low level potential■L is much smaller than VnVT by +J,
Therefore, the drive transistor '1'2 performs triode operation, and the difference in the V-I percentage of the drive transistor T2 due to the difference in the -■B potential is due to the difference in the V-I ratio between the source and drain as shown in FIG. Tonde■ is the difference in the rise near Ov. It can be seen that the more the -vB potential becomes a negative potential instead of Ov, the greater the ability to pull in the voltage WJ+ with respect to ILK.

第3図は、第1図のメモリセルにおけるーVB電位に灼
するビン)ililHLのプリチャージレベルから低レ
ベル電位側への引き込み時間Tを表わしており、−VB
を大きな負の電圧にすれはする程、セルの引き込み駆動
能力は増し、それたけビット測用き込み時間Tが小さく
なる・なお、負荷トランジスタと駆動トランジスタが互
いに逆導電型であるCMOSメモリセルにおいても第3
図に示す関係が成り立つ。
FIG. 3 shows the pull-in time T from the precharge level to the low level potential side of the bottle illilHL which burns to -VB potential in the memory cell of FIG. 1, and -VB
The larger the negative voltage is, the more the cell's pull-in driving ability increases, and the bit-reading time T becomes correspondingly shorter. Also the third
The relationship shown in the figure holds true.

そこで、本発明は、セルの一方の電源VDDと他方の′
亀諒(−VB)との電位差を、胱入山しに際してメモリ
の休止モード期間に比べて太さぐすることにより、重速
の読み出しを行なうようにしている。
Therefore, the present invention provides a power supply VDD for one side of the cell and a power supply for the other side.
By making the potential difference between the memory and the memory (-VB) larger than the memory's rest mode period when entering the bladder, high-speed reading is performed.

以下、柚々のタイプのスタテインクメモリセルに本発明
を適用した共体例について説明する。
Hereinafter, an example of a combination in which the present invention is applied to a Yuzu type state ink memory cell will be described.

先ず、メモリセルの命名法について述べて」・5く。First, let me explain the nomenclature of memory cells.''・5.

E/1も型セルのうちNチャンネル型のものをRNセル
、Pチャンネル型のものをRPセルと称し、CM(、l
S型セルのうち転送トランジスタがNナヤンネルのもの
をCNセル、PチャンネルのものをCPナセル称する〇 第4図(a)はf(、Nセルに対する適用例を簡略的に
示したもので、その詳細は第4図(b)の通りである。
Of the E/1 type cells, the N-channel type is called the RN cell, the P-channel type is called the RP cell, and the CM (, l
Among S-type cells, those with N-channel transfer transistors are called CN cells, and those with P-channels are called CP nacelles. Figure 4 (a) shows a simplified example of application to f(, N cells. The details are shown in FIG. 4(b).

なお、セルの高電位側電圧をVDDC1低1托位側′屯
圧をvSSCs  トランジスタ1゛1〜T、のバック
ゲート電圧をVXBN sワード線をWL、一対のピッ
ト線をBl、、i31.で表わしている。
Note that the voltage on the high potential side of the cell is VDDC1, the voltage on the low voltage side is vSSCs, the back gate voltage of transistors 1'1 to T is VXBN, the word line is WL, the pair of pit lines are B1, i31... It is expressed as

第5図(a)は几Pセルに対する適用例を簡略的にボし
たもので、その詳細は第5図(b)に示す通りである。
FIG. 5(a) is a simplified illustration of an example of application to a P-cell, and the details are as shown in FIG. 5(b).

ここで T、1〜Ill 、/はPチャンネルMO8)
ランジスタ、R,およびR,は抵抗索子であり、セルの
バンクゲート電圧をvxitpで表わしており、その他
は第4図と同体の表示を用いている。
Here T, 1~Ill, / is P channel MO8)
The transistors R and R are resistive wires, and the bank gate voltage of the cell is represented by vxitp, and the other representations are the same as in FIG.

第6図(a)はCNセルに対する適用例を簡略的に示し
たもので、その詳細は第6図(b)に示す通りである。
FIG. 6(a) simply shows an example of application to a CN cell, and the details are as shown in FIG. 6(b).

第7図(aJはCPナセル幻する適用例をfm略的に示
したもので、その詳細は第7図(b)に示す通りである
FIG. 7(aJ) schematically shows an example of application of the CP nacelle, and its details are as shown in FIG. 7(b).

なお、第6図および第7図において l115〜T8は
NチャンネルMO8) ランy、x、夕、1゛、′〜T
、′はPチャンネルMO8)ランジスタ、VDDCは高
電位111tl電諒、V SSCは低電位側を源、VA
NおよびVXJ3pはそれぞれ1Nチヤンネルトランジ
スタおよびPチャンネルトランジスタのパンクゲート′
屯源であって、半導体基板および半導体基板中に設けた
削1己半導体基板とは逆導電型の不純物拡散j−に供給
されている。
In addition, in Figures 6 and 7, l115~T8 are N channel MO8) Run y, x, evening, 1゛,'~T
, ' is a P-channel MO8) transistor, VDDC is a high potential 111tl voltage, V SSC is a low potential side source, VA
N and VXJ3p are the puncture gates of the 1N channel transistor and the P channel transistor, respectively.
The impurity is supplied to the semiconductor substrate and the impurity diffusion j-, which is of a conductivity type opposite to that of the semiconductor substrate and which is provided in the semiconductor substrate.

第8図乃至第11図は、上記第4図乃至第7図のメモリ
セルに選択的に培用される′東詠′電圧関保をホすもの
で、VDDおよびVSSはメモリセル以外の周辺回路で
用いられている2つの篭詠ノ電LE (VDD>VSS
) テアルo VBBS オヨヒVB13Dki’cれ
ぞれ上記2′th、源の1江圧範囲外の第3の霜、碑の
電圧−Cアラ1 、 VBBS<VSS 、 Vnnp
>Vr)D−Cアロ 。
Figures 8 to 11 show 'Toei' voltage control voltages selectively cultivated in the memory cells shown in Figures 4 to 7 above, and VDD and VSS are used in peripheral areas other than the memory cells. Two LEs used in the circuit (VDD>VSS
) Teal o VBBS Oyohi VB13Dki'c each above 2'th, 3rd frost outside the source's 1 pressure range, monument voltage -Cara 1, VBBS<VSS, Vnnp
>Vr) D-C Allo.

vDI)’ 、’VSS/は第4のisであって、Vs
s<VDD/<VDL) 、 VSS 、VssJ< 
Vvo−Cアロ。コノm 合、第3、第4の′電源の′
電位差I VDDIVBBS l 、l VBIID 
Vssiはメモリの休止モード期間におけるメモリセル
の2電稼の′1L位差、つまりl VIJD VSS 
lに比ベニ大きく設定されている。
vDI)', 'VSS/ is the fourth is, Vs
s<VDD/<VDL), VSS, VssJ<
Vvo-C allo. Conformation, 3rd and 4th 'power supply'
Potential difference I VDDIVBBS l, l VBIID
Vssi is the '1L level difference between the two voltages of the memory cell during the sleep mode period of the memory, that is, l VIJD VSS
It is set to be larger than l.

(1)第1実施例 第4図もしくは第6図に示すメモリセルを持ち、このメ
モリセルの′電源電比は第8図にボす電圧関係の′電源
が用意されていて、睨み出しにVA L テハVDDC
=VDD 、 VSSC=VXBN=VBBS K F
a定すれ、さらに第6図の場合はvxttp≧’l/n
ocに設定される。
(1) The first embodiment has a memory cell shown in FIG. 4 or 6, and the power supply voltage ratio of this memory cell is as shown in FIG. 8. VA L Teha VDDC
=VDD, VSSC=VXBN=VBBS KF
a, and in the case of Fig. 6, vxttp≧'l/n
set to oc.

(2)第2実施例 第5図もしくは第7図に示すメモリセルを持ち、このメ
モリセルの電源電比は第9図に示す電圧関係の′市原が
片j意されていて、読入出しに9 L テハVDLIC
=VXBP=VB13D + VSSC=VSS K 
e 定すれ、さらに第7図の場合はVXBN≦V8SC
に設定される。
(2) The second embodiment has a memory cell shown in FIG. 5 or FIG. 9 L Teha VDLIC
=VXBP=VB13D + VSSC=VSS K
In addition, in the case of Fig. 7, VXBN≦V8SC
is set to

上述した第1、第2実施・し0によれは、読み田しに際
してはメモリセルの尚電位側電蝕′屯比vDl)Cs低
箪位側電源鋤、圧■8SCの少なくとも一方がメモリセ
ル以外の周辺回路で用いられている駆動用の2電源の電
圧範12H(VDD〜VSS)外の第3の電源の′電圧
VBBSもしくはVBBD  となっていて、i モv
 セルノ2 VtX’l!V位M IVnD−Vnsl
 、 IVBBD−Vsslが休止モード期間のメモリ
セルの2電源の電位差I VDD VSS lに比べて
大きくなっているので、セルのヒントaに対するVss
Wt源電圧方向もしくはVDD電諒′屯出方同への引き
込ノ^秘動tjヒ力が増し、第3図を参照して前述した
ようにビット線引き込み時間Tか短がくなり、読み出し
時間が従来に比べて5〜20%短紬された。
According to the above-mentioned first and second embodiments, at the time of reading the memory cell, at least one of the electric potential side electric erosion ratio vDl) Cs low potential side power supply plow and pressure The voltage of the third power supply is outside the voltage range 12H (VDD to VSS) of the two power supplies for driving used in peripheral circuits other than VBBS or VBBD, and the iMov
Celno 2 VtX'l! V position M IVnD-Vnsl
, IVBBD-Vssl is larger than the potential difference IVDD VSS l between the two power supplies of the memory cell during the sleep mode period, so the Vss for the cell hint a
The pulling force in the direction of the Wt source voltage or VDD voltage output increases, and as described above with reference to FIG. 3, the bit line pulling time T becomes shorter, and the read time decreases. was 5 to 20% shorter than before.

(3)第3実施十シリ 第4図もしくは第6図に示すメモリセルを持ち、このメ
モリセルの電源電圧は第10図に示す電圧関係o〕4つ
の霜:碗が用意されていて、YJtみ出しに載してvI
)L)C=vl)J)’ 會■5SC=vXBN=VB
BSに設定され、さらに第6図の場合はVXBi’≧V
DL)Sに設定されている。
(3) The third embodiment has a memory cell shown in FIG. 4 or FIG. 6, and the power supply voltage of this memory cell is the voltage relationship shown in FIG. Put it on the protrusion vI
)L)C=vl)J)' 5SC=vXBN=VB
BS, and in the case of FIG. 6, VXBi'≧V
DL) is set to S.

(4)第4夾に例 第5図もしくは第7図に示すメモリセルを持ち、このメ
モリセルのK m、=圧は第11図に示す電圧関係の4
つの電源が用意されていて、読み吊しに際してvnoe
 = vX)3P =VBBD 、 VSSC=VSS
’に設定され、さらに第7図の場合はVXBN≦VSS
Sに設定される。
(4) The fourth example has a memory cell shown in FIG. 5 or FIG.
Two power supplies are provided, and the VNOE is available for reading and hanging.
= vX) 3P = VBBD, VSSC = VSS
', and in the case of Fig. 7, VXBN≦VSS
Set to S.

上述した第3、第4実施例によれは、読み出しに際して
はメモリセル以外の周辺回路で用いられている駆動用の
2′屯m Vno 、 Vssとは異なる第3の電源V
 nusもしくはVBBDおよび第4の電源VDD’も
しくはVSS’  がメモリセルの2篭源となり、この
第3、第4の電源の電位差は休止モード期間のメモリセ
ルの2′町源の電位差よりも大きく設定しておくため、
セルのビット線にiする引き込み駆動能力が増し、第3
図を参照して前述したようにビット線引き込み時間Tが
短かくなり、絖みt11シ時間が従来に比べて5〜20
饅短紬された。
According to the third and fourth embodiments described above, during reading, a third power supply Vno, which is different from the driving 2' mVno, Vss used in the peripheral circuits other than the memory cell, is used.
nus or VBBD and a fourth power supply VDD' or VSS' serve as two power sources for the memory cell, and the potential difference between the third and fourth power supplies is set to be larger than the potential difference between the 2' power sources of the memory cell during the sleep mode period. In order to keep
The ability to drive the i to the bit line of the cell increases, and the third
As mentioned above with reference to the figure, the bit line pull-in time T is shortened, and the threading time t11 is 5 to 20 minutes longer than before.
Mantan Tsumugi was made.

なお、前bピ第1、第3夾施例において、■ゆ、”” 
V BBSに設定したが、V BBSより低い電H二の
電源を設け、この電源の電圧をVXBN  としてもよ
い・また、第2、第4実施例において% VXliP”
’VBBDに設定したが、V BBDより筒い電圧の′
電源を設け、この電源の’rk圧をvXJ3pとしても
よい。
In addition, in the first and third examples of the previous b pi, ■yu,””
Although it is set to VBBS, it is also possible to provide a power supply with a voltage lower than VBBS and set the voltage of this power supply to VXBN.Also, in the second and fourth embodiments, %VXliP"
'I set it to VBBD, but the voltage is higher than VBBD'
A power supply may be provided, and the 'rk pressure of this power supply may be set to vXJ3p.

次に、メモリセルの読み出しに際してメモリセルの一方
のIIQをりJ IJ mえてメモリセルの2電諒の電
位差を休止モードJQI間のそれよりも大きくするため
の電129切候十段をイコし、もって読み出し速度を速
くするようにした第5〜第8の実施例をh兄明する。
Next, when reading the memory cell, one of the memory cells' IIQ is set to equalize the voltage difference between the two voltages of the memory cell to make it larger than that between the sleep mode JQI. We will now explain fifth to eighth embodiments in which the reading speed is increased.

(5)第5実施例 第12図にホj−ようにRNセルを持ち、第8図にボし
たような関W、(V 1)L)>V SS>V Bns
 )  の′>w yx 亀+−t−を使用し、VDi
x:=Vr)■)、Vxb+1=Vnns トL 、 
VSS ラ(7ト(ルノVSSCラインとの曲に?′1
ill (Ilil ’M’4.圧Vin、+によりゲ
ート制御されるNチャンネル間08)ランジスタN1を
接続し% VBBSラインとセル0’) V sscラ
インとの間に割切1電出V in2によりゲートT+1
lHjilされるNチャンイ・ルMss )ランジスタ
N2を接続したものである。休止モード期間はV in
(5) Fifth Embodiment With an RN cell as shown in Fig. 12, and an RN cell as shown in Fig. 8, (V 1) L)>V SS>V Bns
)'>w yx Kame+-t-, and VDi
x:=Vr)■), Vxb+1=Vnns,
VSS La (7t) (for a song with Luno VSSC line?'1
ill (Illil 'M'4. Between the N channels gated by the voltage Vin, + 08) Connect the transistor N1 between the VBBS line and the cell 0') V ssc line by the divisible voltage Vin2 Gate T+1
N channel Mss) is connected with a transistor N2. The rest mode period is V in
.

が篩レベル電圧、Vin2が低レベル電圧にあつ1、 
)クンジスタN、がオン、トランジスタN2がオフであ
り、■5sc−VSSである。これに文」して読み出し
に除しては、Vin、が低レベル電圧、 Vin2  
が局しベル電出になって、トランジスタN8がオフ、ト
ランジスタN、がオンになり、V 88C””V B]
3Sとなり、メモリセルの2電諒VDDC・v ssc
の電位差が大きくなる・(6)第6実施例 第13図に示すようにCNセルを持ち、第14 図ニ示
! ヨウナl1m%ノ(vol)>Vss/>Vss)
 91諒電圧を使用し、vI)DC=vXBP=vDD
 、 VXBN−vssとし、’VSS・ラインとセル
のv sscラインとの間にNチャンネルトランジスタ
N、を接続してそのゲートに前述したよプなVin、を
印加し、VSSSSフィンルのv sscラインとの間
にNチャンネルトランジスタN2を接続してそのゲート
に前述したようなV in、、を印加したものである。
is the sieve level voltage, Vin2 is the low level voltage 1,
) The Kunister transistor N is on, the transistor N2 is off, and the voltage is 5sc-VSS. If we divide this into a statement and read it out, Vin is the low level voltage, and Vin2 is the low level voltage.
becomes a bell voltage, transistor N8 turns off, transistor N turns on, and V 88C""V B]
3S, and the memory cell's 2nd line voltage VDDC・v ssc
(6) Sixth embodiment has a CN cell as shown in FIG. 13, and as shown in FIG. 14! Yona l1m%ノ(vol)>Vss/>Vss)
Using 91 volts, vI)DC=vXBP=vDD
, VXBN-vss, connect an N-channel transistor N between the 'VSS line and the v ssc line of the cell, apply the above-mentioned Vin to its gate, and connect it to the v ssc line of the VSSSS fin. In this case, an N-channel transistor N2 is connected between them, and V in, as described above, is applied to its gate.

したがって、休止モード期間におけるセルの2電諒の電
位差(l Vl)D−VSS/ l )に比べて読み出
しに際してそれはVDD−vssとなり、相対的に大き
くなる。
Therefore, compared to the potential difference (lVl)D-VSS/l) between the two voltages of the cell during the sleep mode period, it becomes VDD-vss during reading, which is relatively large.

(7)第7実施例 第15図に不ずようにRPセルを持ち、第9図に示した
ような関係(VBBD>VDD>VSS)の電源電圧を
使用L −vssc=vss、v)a3p=viD ト
L 、 VDD ラインとの間に開側1電圧Vin1に
よりゲート開側)されるPチャンネルトランジスタP1
を接続し、V BBDラインとセルのVDDCラインと
の間に開側1電比V in2によりゲート市り側1され
るPチャンネルトランジスタp2を接続したものである
。休止モード期間はV in、が低レベル電圧、Vin
2が筒レベル電圧にあって、トランジスタPKがオン、
トランジスタP2がオフであり、 VDDC”VDDで
ある。
(7) Seventh embodiment As shown in Fig. 15, it has an RP cell, and uses the power supply voltage with the relationship (VBBD>VDD>VSS) shown in Fig. 9L - vssc = vss, v) a3p =viD, P-channel transistor P1 whose gate is opened by voltage Vin1 between VDD line and VDD line
, and a P-channel transistor p2 whose gate is turned on by an open-side voltage ratio Vin2 is connected between the VBBD line and the cell's VDDC line. During the sleep mode period, Vin is a low level voltage, Vin
2 is at cylinder level voltage, transistor PK is on,
Transistor P2 is off and VDDC''VDD.

これに対して睨人出しに際しては、 Vin、が尚レベ
ル電圧、Vin2が低レベル電圧になって、トランジス
タP、がオフ、トランジスタP2がオンになり、VDD
C=VBBI) トナIJ、J モIJ セルノ2 電
mtVDDC、V SSCの電位差が大きくなる。
On the other hand, when the public is turned on, Vin is still at a level voltage, Vin2 is at a low level voltage, transistor P is turned off, transistor P2 is turned on, and VDD
C=VBBI) Tona IJ, J MoIJ Cellno 2 Electricity mtVDDC, V SSC The potential difference becomes large.

(8)第8実施例 第16図にボすようにCPセルを持ち、第17図に示す
ような関係(VDD>VDD ・> Vss )の電蝕
′電圧を使用し%VsSC=VXBN=VSS 、VX
IJP =VDD  とし、VDD’ラインとセルのV
DDCラインとの間にPチャンイ・ルトランジスタP1
を接続し又そのゲートに前述したような〜in、を印加
し、VL)DラインとセルのVDDCラインとの間にP
チャンネルトランジスタP2を接続してそのゲートに前
述したよ5なVin2を印加したものである。したがっ
て休止モード期間におけるセルの2vL源の電位差IV
DD/Vsslに比べて読み出しに際してのそれはIV
DI)−VSSI  となり、相対的に大きくなる。
(8) Eighth Embodiment A CP cell is provided as shown in FIG. 16, and the electrolytic erosion voltage with the relationship (VDD>VDD ・> Vss) as shown in FIG. 17 is used. %VsSC=VXBN=VSS ,VX
IJP = VDD, and VDD' line and cell V
A P-channel transistor P1 is connected to the DDC line.
and apply ~in to its gate as described above, and connect P between the VL)D line and the VDDC line of the cell.
The channel transistor P2 is connected and the aforementioned Vin2 of 5 is applied to its gate. Therefore, the potential difference of the 2vL source of the cell during the rest mode period IV
Compared to DD/Vssl, it is IV when reading.
DI) - VSSI, which becomes relatively large.

次に、メモリセルの読み出しに除してメモリセルの2電
源とも切り換えてセルの2電源の電位差を休止モード期
間のそれよりも太き(し、もって読み出し速度を速くす
るよ5にした第9〜第14実施例を説明する。
Next, when reading the memory cell, the two power supplies of the memory cell are switched to make the potential difference between the two power supplies of the cell wider than that in the sleep mode period (and thus the read speed is increased). - A fourteenth embodiment will be described.

(9)第9実施例 第18図に示すように1−CNセルを持ち、第21図V
C示T 、J: 5 すIN 4A (VBBD>’V
DD>VSS>VBBS)のIli 源’F’6.圧を
使用し、vXjJN=VB23Sとし−VSSラインと
セルのv sscラインとの間に制御電圧Vin、によ
りゲート市IllされるNチャンネルトランジスタN、
を接続し% VBiiSラインとセルのVSSCライン
との間に割切j電圧■団。によりゲー) fblJ m
ilされるNチャンネルトランジスタN、を接続し、V
DDラインとセルのVDDCラインとの間に制御電圧V
 in、によりゲート制御されるPチャンネルトランジ
スタP3を接続し、VIIBDラインとセルのVD1℃
ラインとの間に開側1電圧Vin、によりゲー) ft
tlJ御されるPチャンネルトランジスタP4を接続し
たものである。休止モード期間はV in。
(9) Ninth embodiment As shown in FIG. 18, it has a 1-CN cell, and as shown in FIG.
C: T, J: 5 IN 4A (VBBD>'V
DD>VSS>VBBS) Ili source 'F'6. N-channel transistor N, gated by a control voltage Vin, between the VSS line and the Vssc line of the cell, using VXjJN = VB23S,
Connect a voltage group between the VBiiS line and the cell's VSSC line. by game) fblJ m
Connect the N-channel transistor N, which is
A control voltage V is applied between the DD line and the VDDC line of the cell.
Connect a P-channel transistor P3 whose gate is controlled by in, and connect the VIIBD line and the cell's VD1℃
Open side 1 voltage Vin between line and gate) ft
A P-channel transistor P4 controlled by tlJ is connected. The rest mode period is V in.

とVin4とが篩レベル電圧、V in、とV in、
とが低レベル電圧にあって、トランジスタN、とP3が
オン、トランジスタN、とP4がオフであり、VSSC
=vss−VDDC=VDDである。これに対してVt
入出しに除しては、Vin3とVin、とが低レベル′
咀比、V in、とV in、とが高レベル電比になっ
て、トランジスタN、とP、がオフ、トランジスタN4
とP4が:t ンにすjJ 、 VSSC=VBBS、
VDDC=VBBD  トナ+J 、 メモリセルの2
寛諒Vptx: 、Vsscの電位差が大きくなる。
and Vin4 are sieve level voltages, V in, and V in,
is at a low level voltage, transistors N and P3 are on, transistors N and P4 are off, and VSSC
=vss-VDDC=VDD. On the other hand, Vt
In terms of input and output, Vin3 and Vin are at a low level.
The switching ratios V in and V in become high-level voltage ratios, transistors N and P are turned off, and transistor N4
and P4 is: t njJ, VSSC=VBBS,
VDDC=VBBD Toner+J, memory cell 2
Permissive Vptx: The potential difference between Vssc increases.

(10)第10実施例 第19図にボすよ5にRPセルを(守も、第21図に4
クシ/こよ5な関係の′電界電圧を使用し、VXBP 
=V BBDとしたものであり、上記第9実施例に比べ
て使用セルのfIli類およびセルのパンクゲート印加
電圧が異なるだけであって、第9実施例に準じた動作が
行なわれる。
(10) 10th Embodiment In Fig. 19, add the RP cell to Boss 5 (Mamoru also shows 4 in Fig. 21).
VXBP
=V BBD, and the operation according to the ninth embodiment is performed, except that the fIli of the cell used and the voltage applied to the puncture gate of the cell are different from those of the ninth embodiment.

(11)第11実施例 第20図に示すようにCIすυSセル(第6図のCNセ
ルあるいは第7図のCPセル)を持ち、第21図に2ド
したような関係の電蝕電圧を使用し、Vxin=VBn
s 、VXBP=VBBL) トL fc モノテアッ
テ、前記h4’ 9実施世」に比べて使用セルの種類ツ
dよびセルクンバンクゲート印加知、圧が異なるたけで
あって、第9夾施例に命じた動作が行なわれる。
(11) Eleventh embodiment As shown in FIG. 20, it has a CI υS cell (CN cell in FIG. 6 or CP cell in FIG. 7), and the electrolytic erosion voltage has a relationship as shown in FIG. 21. and Vxin=VBn
s, VXBP=VBBL) t L fc Monoteatte, compared to the above-mentioned H4'9th Example, the only difference is the type of cell used and the cell bank gate application pressure, and the order of the 9th Example is different. The action is performed.

(12)第12実施例 第22図に示すようにRNセルを持ち、第25図に示す
ような関係(VDp>VnoI>Vsy >Vss)の
電蝕電圧を使用するものであり、第18図および第21
図を参照して前述した第9夾施例のVBBI)、VDD
、VSS、VBBsヲ% N 応L テ第23図のVD
D、VDD/’、Vss’ 、Vss  に置き換えた
ものであッテ、第9実施例に早した動作が行なわれる。
(12) Twelfth Embodiment This device has an RN cell as shown in FIG. 22, and uses an electrolytic erosion voltage having the relationship (VDp>VnoI>Vsy>Vss) shown in FIG. 25, and as shown in FIG. and the 21st
VBBI), VDD of the 9th example described above with reference to the figure
, VSS, VBBswo%N
D, VDD/', Vss', and Vss, the operation is faster than that of the ninth embodiment.

(13)第13実施例 第23図に不すよ5にIt Pセルを持ち、第25図に
不しだよプな関係の電源′電圧を使用するものであり、
第19図および第21図を参照して前述した第10実施
例の電源電圧を第23図の電源′屯田に1aき換えたも
のであって、第10実施例に準ピた即J作が行なわれる
(13) 13th Embodiment The circuit shown in FIG. 23 has an It P cell at 5, and the power supply voltage used is similar to that shown in FIG. 25.
The power supply voltage of the 10th embodiment described above with reference to FIGS. 19 and 21 is replaced by the power source 1A shown in FIG. It is done.

(14)第14実施例 第24図に不すようにCMOSセル(第6図のCNセル
あるいは第7図のCPセル)を持ち、第25図に示した
ような関係の電源電圧を使用するもQ〕であり、第20
図および第21図を参工県して前述した第11実施例の
tkj *it電圧を第23図の電#を電[I:に置き
換えたものであって、第11実施例にl■じたV)作が
付なわれる。
(14) 14th embodiment As shown in Fig. 24, it has a CMOS cell (CN cell in Fig. 6 or CP cell in Fig. 7), and uses power supply voltages as shown in Fig. 25. is Q], and the 20th
The tkj *it voltage of the 11th embodiment described above with reference to FIG. V) Crops are made.

次に、前記第5〜第14実施例における開側1電圧Vi
n、〜Vin、の発生回路について説り」する。
Next, the open side 1 voltage Vi in the fifth to fourteenth embodiments
The generation circuit for n, ~Vin, will be explained.

第26し1において、20は開側1電比発生回路、21
はカラムテコーダ、22はl(、ハ(畝C出/晋込)制
御回路、N、およびN6はビットlfM選択用のペチャ
ンネルトランジスタ、SLおよびSLはセンス1N、N
vおよびN、はセンス線チャージ用のペチャンネルトラ
ンジスタ、23はセンスアンプであり、セルの電蝕線の
表示は省略しであるが−ilのピン)iBL、Bl、 
 に共辿に接続されているセルは同一の%L源供給線に
接続される。上記制御電圧発生回路20は、Pチャンネ
ルトランジスタP、とNチャンネルトランジスタN、と
からなるCMO8インバータC1,と、Pチャンネルト
ランジスタP、。とNチャンネルトランジスタNIoと
からなるC〜108インバータC■2とが二段接続され
てなり、ここで上記前段のインバータCI、の出力をV
o、 、後段のインバータC1□の出力をVo、と表わ
すものとする。
In the 26th 1, 20 is an open side 1 electric ratio generation circuit, 21
22 is a column decoder, 22 is l(, C (ridge C output/input) control circuit, N and N6 are channel transistors for bit lfM selection, SL and SL are sense 1N, N
v and N are channel transistors for charging the sense line, 23 is a sense amplifier, and although the electrolytic lines of the cell are not shown, -il pins) iBL, Bl,
Cells connected in co-trace are connected to the same %L source supply line. The control voltage generation circuit 20 includes a CMO8 inverter C1 consisting of a P-channel transistor P and an N-channel transistor N, and a P-channel transistor P. and an N-channel transistor NIo are connected in two stages, and the output of the previous stage inverter CI is set to V.
o, , and the output of the subsequent inverter C1□ is expressed as Vo.

いま、第26図の回路において、セル電蝕接続関係がi
II記第5実九例(第12図)あるいは第6実施例(2
4S 13図)のものである場合、制御′電圧発生回路
20の電源電圧VDD、 、 vss、およびセンス線
プリチャージ用トランジスタN7. N。
Now, in the circuit shown in Fig. 26, the cell electrolytic connection relationship is i.
II, No. 5, Ninth Example (Fig. 12) or No. 6 Example (2
4S (Fig. 13), the power supply voltages VDD, , vss of the control voltage generation circuit 20 and the sense line precharge transistor N7. N.

の電源電圧V’DD、およびバンクゲート電比v’ b
s1カ’c レソレ%J rr−1L テ死12 図ノ
VDD、VBBS 、VDD。
power supply voltage V'DD, and bank gate voltage ratio v' b
s1ka'c Resole%J rr-1L Te death 12 Figure no VDD, VBBS, VDD.

VBBS アルイLL m 13 図ノvI)D、vS
S、 Vl)D、Vssトするように%諒配線をし、V
O,= V in、 、 V(,2= V in2  
となるように配線する。前記1t/W制側1面側12は
、書き込入時および休止モード時に出力ノードCが低レ
ベル電位となり、VOI=VDD、 (烏しベ/+1圧
) 、VO2=VSS□(低レベル電圧)となる。これ
に対して、h元み出し時には出力ノードCがカラムデコ
ーダ2ノの出力Vcと同じ電位となり、カラム選択時に
Vcが高レベル電位になるとV。1−Vss、 、VO
2−VDD  となる。したかつて、改C人出し時には
、カクム込択された一対のビン)籾BL。
VBBS Alui LL m 13 Figure no vI) D, vS
S, Vl) D, Vss.
O,= V in, , V(,2= V in2
Wire it so that On the 1t/W control side 12, the output node C becomes a low level potential during write input and sleep mode, and VOI=VDD, (Rashibe/+1 pressure), VO2=VSS□ (low level voltage ). On the other hand, when extracting the h element, the output node C has the same potential as the output Vc of the column decoder 2, and when Vc becomes a high level potential when selecting a column, the output node C becomes V. 1-Vss, ,VO
2-VDD. Once upon a time, when I took out the people, I used a pair of bins (BL) that were carefully selected.

BL  に接続−された全てのセルVこ供給される2m
電源比σ)市位差が太き(なり、それらのセルが接続さ
れたワード腺WLのうち電位が尚レベル′電圧となった
1本の選択ワード腺に接和Cされた1 1111]]の
選択セルにおける一対の転送用トランジスタがメンにな
り、この選択セルの大きな駆動力″CビンF 7 BL
 、 ljL  のいずれか一方が低′咀圧11111
に引き込まれ、−とのピントkA ’tl、比かヒント
選択用トランジスタN、、N、を介して一対のセンス&
!sL、l に伝わり、さらにセンスアンプ23により
増幅され読み出し信号とし又出力される◎また、上記第
26図において、セル電yA接続関係が第9実釉例(第
18図)あるいは第12実施例(第22図)のものであ
る場合、第26図σ)Vss1.VDDl、v′ss1
.v′DD□  がそれぞれ対応し”Cm 18 図ノ
VBBS、VBBD +VBBS+VBBDアロ イハ
m22図のvss、VDD、vss、VDD  となる
ようにis配ように配線する。前記R/W  制御回路
22は、誓キ込み時および休止モード時に出力ノードC
が低レベル’に圧となりk VOIoVDDt 5vQ
2”’Vs$1となる。これに対して、読入山し時かつ
カラム選択時には出力ノードCが尚レベル′市4圧とな
り、Vo+ =V8S11VO2=VDD1  となる
Oこの読み出し時Q〕動作は上述した第5、第6実施例
の動作と同様である。
All cells connected to BL are supplied with 2m
The power supply ratio σ) has a large level difference (1111), and the voltage is connected to one selected word gland whose potential is still at level ' voltage among the word glands WL to which those cells are connected. The pair of transfer transistors in the selected cell becomes the main element, and the large driving force of this selected cell "C bin F 7 BL
, ljL has low mastication pressure 11111
A pair of sense &amp;
! sL, l, and is further amplified by the sense amplifier 23 and output as a read signal. ◎In addition, in the above FIG. (Fig. 22), Fig. 26 σ) Vss1. VDDl, v′ss1
.. The R/W control circuit 22 is wired so that v'DD□ corresponds to "Cm 18". Output node C during power-on and sleep mode
becomes low level'k VOIoVDDt 5vQ
2'''Vs$1.On the other hand, when the read peak is reached and a column is selected, the output node C is still at level 4 voltage, and Vo+=V8S11VO2=VDD1. The operation is similar to that of the fifth and sixth embodiments.

さらに、P1]iiに第26図において、セル′屯6吠
接続関係が苑11実施例(第20図)あるいは第14実
施例(第24図)のものであつ又、それぞれ第6図にボ
したようなCNセルを用いる場合には、それぞれ対応し
て上ソ卜した第9実施例あるいは第12実施例における
電源系統および開側]電圧系統と同様に接続すればよい
Furthermore, in FIG. 26, in P1]ii, the cell connection relationship is that of the 11th embodiment (FIG. 20) or the 14th embodiment (FIG. 24), and the cells are shown in FIG. 6, respectively. When such a CN cell is used, it may be connected in the same manner as the power supply system and the open-side voltage system in the ninth or twelfth embodiment, respectively, which are respectively installed above.

第27図においては、ビット選択用にPチャンネルトラ
ンジスタP、およびPいセンス線チャージ用にPチャン
ネルトランジスタP7およびP、を用い、カラムデコー
ダ21′および1し■ 開側j回路22 ’ ((低レ
ベル論理型のものを用い、制御電圧発生回路20の前段
インバータC11の出力な■。1、伏設インバータC■
2の出力なV。、で表わし、各部の電似矩、lEを図示
のR11< Vl)l)2゜vss2IV’ DD2 
、V’ SS2で表わすも0)とし、そc/)他−ゴ第
26図と同じである。
In FIG. 27, a P-channel transistor P is used for bit selection, and P-channel transistors P7 and P are used for charging the P sense line, and column decoders 21' and 1 are used. A level logic type is used, and the output of the inverter C11 at the front stage of the control voltage generation circuit 20 is 1.
2 output V. , and the electrical rectangle of each part, lE, is expressed as R11<Vl)l)2゜vss2IV' DD2
, V' SS2 is also 0), so is c/), and so is the same as in FIG.

いま、第27しjにおいて、セル電源接続関係が第7実
施例(第15図)あるいは第8実施例(第1614)の
ものである場合、第27図のVDD2*■SS2+v′
1JD2−”8S2 カッtLソtlljlc、 L 
テm15図のvBBD、■ss、VBBt)、VsSあ
るいは第16図のVDD、Vss、VD19.VsSと
なるように電4k Qt 13をし、■ox=Vムnt
 、Vo、 = V in2  となるように配線する
。前記1尤ハ制御回銘22′は、曹き込み時および休止
モード時に出力ノードCが市レベル電位とな1ハVoa
 = V SS2 (低レベル電圧) VO4=VDl
)2(bレベル電圧)となる。これに対して、FUみ出
し時には出力ノードCがカラムデコーダ21′の出力■
c  ど同ビ電位となり、カラム選択時にはvcが低レ
ベルになるとVos ”” VDl)2 、 VO4−
VSS2となる。
Now, in step 27, if the cell power supply connection relationship is that of the seventh embodiment (FIG. 15) or the eighth embodiment (step 1614), VDD2*■SS2+v' in FIG.
1JD2-”8S2 cut L sotlljlc, L
vBBD, ■ss, VBBt), VsS in Figure 15 or VDD, Vss, VD19. in Figure 16. Apply voltage 4k Qt 13 so that it becomes VsS, ■ox=Vmnt
, Vo, = V in2 . The above-mentioned 1st power control cycle 22' is 1st power Voa when the output node C is at the city level potential during cooling and in the rest mode.
= V SS2 (low level voltage) VO4=VDl
)2 (b level voltage). On the other hand, when extracting the FU, the output node C is the output of the column decoder 21'
c is at the same potential, and when vc is at a low level when selecting a column, Vos "" VDl)2, VO4-
It becomes VSS2.

したかつて、絖人出しく侍には、カラム選択されたーえ
」のピッl−lIMBL 、BL  に接続された全て
のセルに供給される2電W電圧の′…:位差が人きくな
り、それらのセルが接続されたワード線WLのうち電位
が低レベル電圧となった1本の選択ワード線に接続され
た1個の選択セルにおける一対の転送用トランジスタが
オンとなり、そのセルの大きな駆動力でピント線HL、
BL  のいずれか一方がiTh ’rW圧側に引き込
まれ、そり)ヒ゛ット線′屯田はトランジスタP5.P
6を弁してセンス線SL、SL  に伝わり、センスア
ンノ゛23 V(−より増幅され117rみ出し島号と
して出力される。
Once upon a time, a samurai who was going to make an appointment had to select a column. , a pair of transfer transistors in one selected cell connected to one selected word line whose potential has become a low level voltage among the word lines WL to which those cells are connected are turned on, and the large Focus line HL with driving force,
Either one of BL is pulled to the iTh'rW voltage side, and the hit line' is connected to the transistor P5. P
6 and is transmitted to the sense lines SL, SL, and is amplified by the sense amplifier 23 V (-) and output as a signal 117r.

また、」二i己第27区1にJdいて、セル電源接続関
係が第1O夾廁例(第19図)あるいは第13大施例(
第23図)のものである場合、第271zlc’) V
SS2.VDD2.V’5S21V’DD2 カソレソ
iiI;J応L テ’720 lea ノVBBS、V
BBD、VSS、VIJDアルイハ第24 m ノVS
S、VDD、V’SS、V’DD トナ7、、) ヨ’
l K*mQtよ5に配線すれはよい。
In addition, if you are located in the 27th Ward 1 and the cell power supply connection is the 1st example (Figure 19) or the 13th example (
271zlc') V
SS2. VDD2. V'5S21V'DD2 Kasoreso iii; J OL Te'720 lea ノVBBS, V
BBD, VSS, VIJD Aluiha 24th m VS
S, VDD, V'SS, V'DD Tona7,,) Yo'
It is good to wire K*mQt to 5.

さらに、t11He第27図において、セル′逝偽ξ関
係が第11実施例(第2()図)あるいは第14実施例
(X!24図)のものであって、それぞれ第7図に示し
たようなCPナセル用いる場合には、それぞれ刈地して
上述した第11実施例あるいは第12実施例における電
源系統および制御′市圧系統ど同様に接続ずれはよい。
Furthermore, in t11He FIG. 27, the cell 'passage/false ξ relationship is that of the 11th embodiment (FIG. 2()) or the 14th embodiment (X!24), and is shown in FIG. 7, respectively. When such a CP nacelle is used, connection misalignment can be avoided in the same way as in the power supply system and the control 'public pressure system in the eleventh or twelfth embodiments described above when mowing the land.

なお、上述した第26図、第27図における1till
 filll ′重比発生回路20は、0〜108回路
(114成のもの’、s′74< L kが、エンハン
スメント型トクンジ;(夕とアインレンゾヨン型トラン
ジスタとからなる所mlE/J)回h’=?s構成のも
のでもよいことは勿1itjfである。
In addition, 1till in FIGS. 26 and 27 mentioned above
fill 'Gravity ratio generating circuit 20 is 0 to 108 circuits (114 circuits'), s'74<L k is enhancement type transistor; Of course, it may be of the '=?s configuration.

また、前記各実施例において、メモリセル以外の周辺回
路で用いもλ李ている電源電比VDDおよびVSSのほ
かにメモリセルで用いられる*m電圧VBBD 、VB
BS 、V’ DD 、V’ SSは、メモリ外部から
供給してもよいが、以下に述べるような基板バイアスづ
6生回路の出力を用いてもよい。
In addition, in each of the above embodiments, in addition to the power supply voltage ratios VDD and VSS, which are also used in peripheral circuits other than memory cells, *m voltages VBBD and VB used in memory cells are also used.
BS, V'DD, and V'SS may be supplied from outside the memory, or may be output from a substrate bias generating circuit as described below.

第28図において、インバータ11〜13 ハ’J 7
グメゾレータケ構成(−でおり、このA°シレータの出
力端はインバータ14およびコンナンッーCIヲは列に
ブ1゛シてVBIJSノードに接にされ、このノードは
Nチャン不ルトクンジスタにより+114成されたダイ
オードD□を順方向に介してVsst源(接地ル、位)
に接地され、このダイオードDIに並列に平滑コンデン
サC2が接続されている。したがって、オシレータのu
1力はインバータ■4により増1咄され、この出刃はコ
ンデンサC1をブ「してVBBSノードにチャージポン
プを行ノJい、こV)ノードではVSS電圧より而い止
ILJ、圧がダイオードD・1によりVSSSS電数電
し、VSS電圧より低い負電圧が平滑ロンチン+C2に
より平滑される。こ5して、V BBSノードには、メ
モリセル以伺の周辺回路の2′屯源VI)D、VSSの
電圧範囲外にあるVlIB81M、源電圧が侮られる。
In Fig. 28, inverters 11 to 13
The output terminal of this A oscillator is connected to the inverter 14 and the VBIJS node in the column, and this node is connected to the diode D formed by +114 by the N channel fault circuit. Vsst source (ground point) via □ in the forward direction
A smoothing capacitor C2 is connected in parallel to this diode DI. Therefore, u of the oscillator
1 power is increased by 1 by inverter 4, and this output turns off capacitor C1 and performs a charge pump to the VBBS node.・The VSSSS voltage is increased by 1, and the negative voltage lower than the VSS voltage is smoothed by smoothing Rontin +C2.Thus, the 2' voltage source of the peripheral circuits from the memory cell onward is applied to the VBBS node. , VlIB81M, which is outside the voltage range of VSS, the source voltage is underestimated.

第29図において、インバータ11′〜13′はリング
オンレータを構成しており、このオシレータの出力端は
インバータL/およびコンデンサC1を直列に介してV
 BBDノードに接続され、このノードはPチャンネル
トランジスタにより構成されたダイオード、IJ2を逆
方向に介してVDI) IN Gitに接続され、この
ダイオードD2に並列に平/けコンデンサC2が接続さ
れている。したがって、オシレータのm力はインバータ
l/、により増幅され、この出力はコンデンサC1を弁
してVBBDノードにチャージポンプを行ない、このノ
ードではVDD ’に圧より低い11圧がダイオード1
)2を介してVDD電諒電蝕光電され、VDD電出電比
市い電圧が平滑コンチン−9−02により平滑される。
In FIG. 29, inverters 11' to 13' constitute a ring-on latrator, and the output terminal of this oscillator is connected to the voltage V via inverter L/ and capacitor C1 in series.
It is connected to the BBD node, and this node is connected to VDI) IN Git via a diode IJ2 formed by a P-channel transistor in the reverse direction, and a leveling capacitor C2 is connected in parallel to this diode D2. Therefore, the oscillator's m power is amplified by the inverter l/, whose output valves the capacitor C1 to charge pump to the VBBD node, where a voltage of 11 lower than the pressure at VDD' is applied to the diode 1.
)2, and the voltage difference between the VDD output and the output voltage is smoothed by smoothing Contin-9-02.

こうしてVIIHDノードには、メモリセル以外の周辺
回路の2篭源VDD、VSSの電圧範囲外にあるV B
HD電源電圧が優られる。
In this way, the VIIHD node has two sources of peripheral circuits other than memory cells, VDD and VSS, which are outside the voltage range.
HD power supply voltage is superior.

第30図において、i個のNチャンネルトランジスタN
11〜N11が直列接続され、各トランジスタ”II〜
N目のバンクゲート紙圧としてVss tt圧が印加さ
れ、上i6+:: FランジスタNII のドレインに
■DD電源が接ゼCされている。したがつ又、谷トクン
ジスタN1.〜Nliは5極管動作を行ない、谷トラン
ジスタN、、−Nliのドレイン電圧のソース知、圧に
対する閾値1alE降下り)ために、トランジスタN目
のソースからVDDとVSSの中間領域の電圧V’DD
が得られる。
In FIG. 30, i N-channel transistors N
11 to N11 are connected in series, and each transistor "II to
Vss tt pressure is applied as the Nth bank gate paper pressure, and the DD power supply is connected to the drain of the upper i6+::F transistor NII. However, Tani Tokunjista N1. ~Nli performs a pentode operation, and the voltage V' from the source of the Nth transistor to the intermediate region between VDD and VSS increases because the drain voltage of the valley transistor N, -Nli is lowered by the threshold value 1alE with respect to the source voltage and voltage. DD
is obtained.

刺′531図において、j個のPチャンネルトランジス
タPII〜p l Jが直列接続され、各トランジスタ
pH〜Ptjのパンクゲート電圧として7面電圧が印加
され、トランジスタpHのソースにVSS電源が接続さ
れている。したがって、各トランジスタPII〜P+j
は5極管動作を行ない、谷トランジスタ’II〜p I
 Jのドレイン電圧のソース′電圧に2」する閾値電圧
上昇のために、トランジスタPIJのドレインからVS
SとVDD の中間積載の電圧V’Ssが得られる。
In Figure 531, j P-channel transistors PII to PlJ are connected in series, a seven-plane voltage is applied as a puncture gate voltage to each transistor pH to Ptj, and a VSS power supply is connected to the source of the transistor pH. There is. Therefore, each transistor PII~P+j
performs pentode operation, and the valley transistor 'II~p I
VS from the drain of transistor PIJ due to a threshold voltage increase of 2'' to the source voltage of the drain voltage of transistor PIJ.
An intermediate load voltage V'Ss between S and VDD is obtained.

また、本発明は上記実施例のRA M以外に)t(JM
(リードオンリーメモリ)にも通用できる0 〔発明の効果〕 上述し7たよ5に本発明の半導体記憶装置によれは、ス
タティックメモリセルに供給する2つの電源の電位差を
断み出しに際して休止モード期間に比べて大きくするよ
うにしたので、便来り)ビット線の蛋気谷址を小さくす
る方法やセルのトランジスタのゲート幅を大きくする方
法におけるような問題点を伴なわずに容易にしかも効果
的に計【、み出し時間を短組することかでさる。
In addition to the RAM of the above embodiment, the present invention also provides t(JM
0 [Effects of the Invention] In accordance with the above-mentioned points 7 and 5, the semiconductor memory device of the present invention has the advantage that when the potential difference between the two power supplies supplied to the static memory cell is determined, This makes it easier and more effective without the problems associated with methods of reducing the bit line gap or increasing the gate width of cell transistors. This can be done by shortening the overflow time.

すなわち、本発明の実施結果として成人出しに際し又メ
モリセルの2電源の電位差を切り換えない従来のメモリ
に比べて5〜209bの読み出し時間の短縮化が実現で
きた。
That is, as a result of implementing the present invention, the read time can be shortened by 5 to 209b as compared to the conventional memory in which the potential difference between the two power supplies of the memory cell is not switched when the memory cell comes of age.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図乃至第3図トコ本発明の詳細な説明するために示
すもので、第1図はh:/R型スタテインクメ七リセル
と一幻のピント線とワード線を示す回路図、紬2図は第
1図のメモリセルの駆動トランジスタの電圧同電流特性
を示す図、第3図は第1図のメモリセルの電源を圧(−
VB)対ビツト線引き込み時間Tの131係を汀くす図
、第4図fa)(b)乃至第7図(a) 、 (b)は
本発明の第1乃至第4実JM例な示すもので、それぞれ
(a)図は簡略的に示す回路図、(b)図は詳細な回路
図、第8図乃至第11図は上記第1乃至第4実施例にお
ける電源′rは圧の大きさ関係を示す図、第12図は第
5実施例を示す回路図、第13図は第6実施例を示す回
路図、第14因は第13図の電源電圧関係を示す図、第
15図は第7実施例を示す回路図、第16図は第8実施
例を下す回路図、第17図は第16図の電源′重圧関係
をン5ず図、第18図乃至第20図はそれぞれ対応して
第9乃至第11実施例を示す回路図、第21図は第18
図乃至第20図の電源電圧関係を示す図、第22図乃至
第24図はそれぞれ対応して第12乃至第14実b(!
l何を小す回路図、第25図は第22図乃至第24図の
1Ji源電圧関係を示す図、第26図および第27図は
第12図乃至第25図の谷東施例における制御電圧の光
生・供給ホ統を説明fるために不す回路図、第28図乃
至第31図は第4図乃主第25図の谷実施例におけるV
DD、VSS以外の′電数電圧の発圧回路を不す回路図
である。 T、 、 11% 、 LL+、) A+、1+I+、
1・・・転送用トランジスタ、Bl、 、LIL ・、
ヒン) 6J、Wl、1.、’7− ト+lff1、V
DD。 Vss 、VBBD 、VBllS 、vDtf 、V
SS’ −’rbi、 源’亀LE、VXIIN 、v
xap・・・バックゲート電源電圧、へl + N2 
+ PI + P2・・・電源供給I7I挨用トクンジ
スタ、N5 + NO+ p511’6・・・ビット紛
選択用トランジスタ、20・・・1ト1]御屯田発生回
路、2ノ・・・カラムテコーダ。 出顧人代坤人 弁理士  廊 江 武 彦第1図 vB 第2図 ト〜μmノ1v 第3図 第4図 (a)(b) VX胞   VSSC SSC 第6図 (a)      (b) 第8図     第9図 第12図 第13図     第14図 第15図 第18図 第19図 第20図 第21図 1        VDD l        vss □   VBBS 第22図 第23図 第24図 第25 r;: 鮭 今 第26図 第27図 第28図
Figures 1 to 3 are shown to provide a detailed explanation of the present invention. Figure 1 is a circuit diagram showing the h:/R type state ink cell, Ichigen's focus line and word line, and Figure 2 is a circuit diagram showing the focus line and word line. is a diagram showing the voltage and current characteristics of the drive transistor of the memory cell in FIG. 1, and FIG.
VB) Figure 4 fa) (b) to Figure 7 (a) and (b) show the first to fourth practical JM examples of the present invention. Figure (a) shows a simplified circuit diagram, Figure (b) shows a detailed circuit diagram, and Figures 8 to 11 show the magnitude of the voltage of the power source 'r in the first to fourth embodiments. 12 is a circuit diagram showing the fifth embodiment, FIG. 13 is a circuit diagram showing the sixth embodiment, the 14th factor is a diagram showing the power supply voltage relationship in FIG. 13, and FIG. A circuit diagram showing the seventh embodiment, FIG. 16 is a circuit diagram for the eighth embodiment, FIG. 17 is a diagram showing the power supply's pressure relationship in FIG. 16, and FIGS. 18 to 20 correspond to each other. FIG. 21 is a circuit diagram showing the ninth to eleventh embodiments, and FIG.
The diagrams illustrating power supply voltage relationships in FIGS. 20 to 20 and FIGS. 22 to 24 correspond to the 12th to 14th figures b (!
Figure 25 is a diagram showing the 1Ji source voltage relationship in Figures 22 to 24, and Figures 26 and 27 are control diagrams for the Tanihigashi example in Figures 12 to 25. The circuit diagrams shown in FIGS. 28 to 31 are shown in order to explain the voltage generation and supply system.
It is a circuit diagram that does not include a voltage generation circuit for electric voltages other than DD and VSS. T, , 11%, LL+,) A+, 1+I+,
1... Transfer transistor, Bl, , LIL ・,
Hin) 6J, Wl, 1. ,'7-t+lff1,V
D.D. Vss, VBBD, VBllS, vDtf, V
SS'-'rbi, Gen'kame LE, VXIIN, v
xap... Back gate power supply voltage, + N2
+ PI + P2...Power supply I7I dust transistor, N5 + NO+ p511'6... Bit error selection transistor, 20...1 to 1] Mitunta generation circuit, 2... Column Tecoder. Client representative Patent attorney Takehiko E Takehiko Ryo Figure 1 vB Figure 2 - μm 1v Figure 3 Figure 4 (a) (b) VX cell VSSC SSC Figure 6 (a) (b) Figure 8 Figure 9 Figure 12 Figure 13 Figure 14 Figure 15 Figure 18 Figure 19 Figure 20 Figure 21 Figure 1 VDD l vss □ VBBS Figure 22 Figure 23 Figure 24 Figure 25 r: Salmon NowFigure 26Figure 27Figure 28

Claims (1)

【特許請求の範囲】 fl)  行方向および列方向に配列された複数のスタ
テインクメモリセルと、同一列のメモリセルそれぞれに
おける一対の転送用iVi OS )ランジスタの各一
端に共通接続される一対のピント線と、同一行のメモリ
セルそれぞれにおける上記転送用MO8)ランジスタの
谷ゲートに共通接続されるワード線と、前ムCメモリセ
ルに供給すべさ2を源の5も一方の1Jii+をメモリ
セルの読み出しに際して第3の電源に切り換え、この切
り換えによってメモリセルの2電源の電位差をメモリの
休止モード期間における電位差に比べて大きくする電源
切換手段とを其倫することを%徴とする半壱体記1息装
置。 (2ン  前記第3の電源は、メモリセル以外の周辺回
路で用いられている2′屯源とは異なり、この2電Wの
電圧範囲外の電圧を持つことを特徴とする特許請求の範
囲第1項記載の半導体記憶装置。 (3ン  前記第3の電源は、メモリセル以外の周辺回
路で用いられている2篭諒の一方篭諒であることを特徴
とする特許請求の範囲第1項記載の半導体記憶装置。 (4)  削記竜諒切換手段は、前記メモリセルに供給
すべさ2電源の他方の電源を第4の電源にさらに切り換
えることを特徴とする特許ml氷の範囲第1項記載の牛
導体記1.は装置。 (5)  前記@40電諒は、メモリセル以外の周辺回
路で用いられている2電源とは異なり、こ17) 2電
諒の電圧範囲外であって前記第3の電源とは異なる側の
電圧であることを特徴とする特許請求の範囲第4項記載
の半導体記憶装置0 (6)前記第4の電源は、メモリセル以外の周辺回路で
用いられている2篭諒とは異なり、この2箪諒の′電圧
範囲の中間領域の電圧であることを特徴とする特許ml
氷の範囲第4項記載の半導体記憶装置。 (7)A’tJ記第3の電源は、半導体基板もしくは半
導体基板中に設けた上記半導体基板とは逆導電型の不純
物拡散層にパンクゲート電源として供給されることを特
徴とする特許請求の範囲第1項記載の半導体記憶装置。 (8)前記第4の電源は、パンクゲート電源として供給
されることを特徴とする特許請求の範囲第4項記載の半
導体記憶装置。 (9)前記第3の電源は、メそり外部から供給されもし
くは前記メモリセル以外の周辺回路で用いられている2
電源により動作する′i、圧発生回路により作られるこ
とを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の半導体記憶
i隨。 (10)前記第4の電源は、メモリ外部から供給されも
しくは前記メそりセル以外の周辺回路で用いられている
2′魁源により動作する電圧発生回路により作られるこ
とを特徴とする特許請求の範囲第4項記載の半導体記憶
装置。 (11)前記スタティンクメモリセルはE/R型メセメ
モリセルって、これに使用されているエンハンスメント
型トランジスタの全てがNチャンネルあるいはPチャン
ネル型であることを特徴とする特許請求の範囲第1項記
載の半導体記憶装置。 (12)前bビスタテイックメモリセルはCMO8メモ
リセルであることを特徴とする特許請求の範囲第1項記
載の牛導体配ti装置。 (13)前記電源切換手段を切換割切」するための開側
」′耐圧を、前ロビー幻のビット線に接続されたピント
線選択用トランジスタのゲートに印加されるカラムデコ
ーダ出力に基いて発生することを特徴とする特許請求の
範囲第1.LJt記載の半導体記憶装置。
[Claims] fl) A plurality of state ink memory cells arranged in the row and column directions, and a pair of transfer iVi OS in each of the memory cells in the same column; The focus line, the word line commonly connected to the valley gate of the transistor in each of the memory cells in the same row, and the source 2 which should be supplied to the memory cell 1Jii+ of the memory cell. A half-unit body comprising a power supply switching means that switches to a third power supply when reading the memory cell, and makes the potential difference between the two power supplies of the memory cell larger than the potential difference during the sleep mode period of the memory by this switching. 1 Breathing device. (2) The third power source is different from a 2' power source used in peripheral circuits other than memory cells, and has a voltage outside the voltage range of this 2 W. 2. The semiconductor memory device according to claim 1. (3) The third power source is one of two circuits used in peripheral circuits other than memory cells. (4) The semiconductor memory device described in Patent No. (5) The above @40 power supply is different from the 2 power supply used in peripheral circuits other than memory cells, and this 17) 2 power supply is outside the voltage range of the 2 power supply. (6) The fourth power source is a peripheral circuit other than a memory cell, and the voltage is on a different side from that of the third power source. The patent ml is characterized in that the voltage is in the middle region of the 'voltage range of these two lines, unlike the two lines used in this patent.
Ice range: The semiconductor storage device according to item 4. (7) The third power source of A'tJ is supplied as a puncture gate power source to a semiconductor substrate or an impurity diffusion layer of a conductivity type opposite to that of the semiconductor substrate provided in the semiconductor substrate. A semiconductor memory device according to scope 1. (8) The semiconductor memory device according to claim 4, wherein the fourth power source is supplied as a puncture gate power source. (9) The third power supply is supplied from outside the memory or used in a peripheral circuit other than the memory cell.
The semiconductor memory device according to claim 1, characterized in that it is produced by a voltage generating circuit operated by a power source. (10) The fourth power source is generated by a voltage generating circuit operated by a 2' source supplied from outside the memory or used in a peripheral circuit other than the mesori cell. The semiconductor memory device according to scope 4. (11) The static memory cell is an E/R type mesememory cell, and all of the enhancement type transistors used therein are N-channel or P-channel type. semiconductor storage device. (12) The conductor arrangement device according to claim 1, wherein the front b vistatic memory cell is a CMO8 memory cell. (13) An open-side breakdown voltage for switching the power supply switching means is generated based on the column decoder output applied to the gate of the focus line selection transistor connected to the bit line in the front lobby. Claim 1. The semiconductor memory device described in LJt.
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