JPS58190117A - 音響表面波装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は圧電材料の本体を具え、その−表面上に少なく
とも１個のアポダイズされた櫛形の電極のアレーを員備
する音響表面波トランスデユーサが形成され、第１の組
の電極と第２の組の電極とが２個の対向する母線の対応
づる一方に夫々接続され、それか動作時には少なくとも
１個の母線が接地されず、それ数少なくとも前記音響表
面波トランスデユーサの近傍で前記本体の電極担持表面
領域上又はその周りで確立されている準定常大地電位に
対し信号周波数で電圧が変化することができるようにな
っており、従って音響表面波伝播方向に沿って向けられ
た音響表面波が音響表面波トランスデユーサの通信端を
介して伝播させられ又は受信させられ、その又は各接地
されていない母線の当前表面波トランスデユーサの通信
端に近接する部分が内側に音響表面波ビーム内にほぼア
ポダイズされたアレーの中心軸線の方に向けられ、前記
トランスデユーサが櫛形アレーの電極に平行で且つ接地
された母線に接続されているダミー電極を具備する速度
補正領域を具え、この速度補正領域の外側通信端が音響
表面波伝播方向に直角である音響表面波装置に関するも
のである。このような装置はここでは前述した種類の音
響表面波装置と称する。

前述した種類の音響表面波装置はドイツ国特許第２８５
４０７２号の第２図に開示されており、これはれたＡｌ
Ａ、０１ｉｎｅｒ編ｒ　Ａ　ｃｏｕｓｔ　ｉｃ　　３　
ｕｒｒａｃｅＷａＶｅＳＪの第７１頁の第３．８図に示
されているようにフィルタ装置で使用できるアボダイズ
された櫛形トランスデユーサの一般的形態を発展させた
ちのぐあり、アポダイズされた送信側トランスデ１−＋
Ｊが多重細条カブラを介−してアポダイズされた受信側
トランステ１−サと結合されている。この例で多重細条
カブラを用いることはこれまた櫛形電極アレーにより発
信させられたバルク波を介する不所望な信号転送を小さ
くするないし実効的に除去することを可能にする。多重
細条カブラはまた送信側及び受信側トランスデユーサを
所望とあらばアポダイズさせて対称的な配置を形成する
ことができる。

この種類の８響表面波フィルタは計算することができ、
理想的な条件の干で、ツー９Ｉ合成及び計算機の最適化
を用いる技術により所定の近似内で所望の帯域幅応答を
満足させる。このようにし【トランスデユーサに沿って
のトランスデユーサ要素の必要な分布及び強さを規定す
る計算機のプログラムか既に考案されている。７ボダイ
ズされた櫛形アレーでは、このような要素は実際には各
々の組が２個の対向する母線の対応する一つに接続され
ている２個の重なり合う組の櫛形電極の各々から〜つを
とって隣接する電極を重なり合わせることにより実現で
きる。各要素の変換の大きさは、考察する要素の大きさ
に依存して端効果及び最近傍電極の影響も考慮に入れね
ばならないが、主として上記中なり合いの音響表面波伝
播方向に直角な長さの関数℃ある。

アボダイズされたトランスデユーサに沿っての重なり合
いの分布は、便宜上、櫛形アレーに沿っての隣接づる電
極間の重なり合いの夫々の端を追って描かれた一対の線
を具える重なり合い外側線により略式表示できる。波の
伝播方向に直角な方向での重なり合いの外側線の外側限
界はトランスデユーサの音響間［］の境界を画成するの
に使用される。

いくつかの場合では、側面の母線からアレーの中心軸線
へ延在（る可成り長く細い導体が知い重なり合いにより
形成される小さな変換政素に直列に渥乱させる屡の抵抗
を導入することが判明しているが、英国特許第１，４３
０，７２５号及び第１，５１２，６８６号は発射された
音響表面波の波頭を歪ませることなくこの直列抵抗弁を
減らせ１、る配置を記載している。

実際にｆ４響表向波フィルタを作るに当っては、況乱さ
せる信号が発生し、これが送信側１〜ランスｆ１−サか
ら受信側トランスデユーサへの主信号のめ接の通過に対
して遅れることが判明しており、またノーリ■変換の考
察から明らかなようにこのような信号が加わるとフィル
タの位相及び周波数特性が８１紳された理想からはずれ
る。

これらの不所望な遅延信号の多くは原因がよく理解され
ており、これらの効果を小さくづる解決策が既に提案さ
れている。例えば、個々の電極の現前での友躬の効果は
二重電極及びダミー電極を使用づることにより小さくさ
せられており、１〜ランスｆ」−りの後の表面密度の変
化による不所望な後方への波の反射の効果は例えば英国
特許願第ＧＢ　２０００９３２Ａ号に開示されているよ
うに補正により又は英国特許第１，５７４，０６２号明
細書に開示されているように波頭に対し斜めの境界セッ
トを有する吸収材料を塗布することにより小さくさせら
れており、圧電体の縁からの反射の効果は、縁を波頭に
対して斜めに形成し且つ縁とトランスデユーサとの間の
表面に吸収材料を塗布することにより小さくされている
。もう一つの不所望な遅延の源は音響表面波の速度と異
なる速度を有するバルク波モードのような別のモードを
介するエネルギーの伝播である。しかし、トラックの切
り替えに対する多重細条カプラの使用及び圧電体を形成
する結晶ウェハの下側を粗くしたり、溝を設ける技術に
よりこのバルク波の効果も小さくさせられている。

別の形態の不所望な遅延は容量性結合による電気的な誤
点孤（ｂｒｅａｋ　ｔｈｒｏｕｇｈ　）　ニよるもノテ
する。これは普通の表面波伝播遅延に対する負の遅延と
みなすことができる。この電気的な原点孤はレイアウト
と設計を注意深く行い且つアースに接続された適当なス
クリーンを設けることにより小さくすることができる。

しかし、これらの注意を全て尽くした時でさえ、不所望
な′Ｍ延信号が生じ、通過帯域内に成る量の群遅延リッ
プルが生じ、この量が、例えば、放送カラーテレビジョ
ン装置におけるような成る種の厳しい用途に対して嚇受
は容れ難゛い程大きい。この効果はドイツ国特許第２８
５４０７号で同定され−Ｃおり、ス１〜リップ電極のト
ランスデユーサの端、主として外側境界縁の部分（これ
は互に重なり合わず、こ口で（ま縁要素と称する）によ
り形成される不所望なトランスデユーサ要素により作ら
れる、送イ５信号に対する付加によるものであるとされ
ている。ドイツ国特許第２８５．４０７２号の第２図は
トランスデ」−りの通信端で接地されていない母線をノ
７レーの中心軸線の方へ内側に向け、この内側に向けら
れた母線に近接するアレー電極に平行なダミー電極の速
度補正領域を設けることによりこの困難を克服する方法
を提案している。

しかし、不幸にしてここに開示されている装置は期待す
る程の群遅延リップルを与えないことが判明している。

本発明の目的は１個又は複数個のアボダイズされた櫛形
電極アレーの形態をした音響表面波トランスデユーサを
採用する改良された音響表面波装置を提供するにある。

本発明によれば、前述した種類の音響表面波装置におい
て、接地された母線部を音響開口内に位置する接地され
ていない母線の前記の内側に向けられた部分に近接して
位置させ、これから音響表面波伝播方向内でほぼ均一な
距離だけ離し、音響表面波が装置内で対応する音響表面
波伝播方向に沿って有効に伝播するためにトランスデユ
ーサの通信開口内に位置する接地されていない母線と接
地された母線の近接する部分の対向する境界縁を音響表
面波伝播方向に対して直角な方向に対して傾けさせ、８
夫々の前記縁の最内側の端と最外側の端とを互に対して
音響表面波伝播方向内で少なくとも０．８人だけずらし
、いずれかの前記縁の傾きを如何なる点でも伝播方向に
０．８人だけ隔っている対応する観念的な最内側点と最
外側点とを結ぶ観念的な直線の傾きよりも小さくし、配
置を通信開口内に位置する母線の前記対向する境界縁に
より形成される音響表面波トランスデユーサ要素により
発生させられ又は受信される不所望な音響表面波に対づ
る主応答ローブが音響表面波伝播方向に対して斜めに向
けるようにしたことを特徴とづる。

このような本発明は内側に向けられた接地されＣいない
母線部の外側縁とドイツ国特許第２８５４０７２月の第
２図の装置内のダミー電極の最も近い接地された導電縁
との間に形成される不所望な１〜ランスデユーサ要素が
実は主として母線の傾けられた縁に垂直な方向には変換
せず、可成り大きなトランスデユーサ軸に平行な成１分
を有し、これが接地されたダミー電極の、伝播方向に対
し直角で、接地されていない母線部の傾斜する隣接縁か
ら延在する電界に直接さらされる縁部に由来することを
自覚し、音響表面開口両端間で加え合わされた全効果は
群遅延応答の重要な不利な混乱をひき起すことを認識し
たことに基づいている。進歩した解決策は、接地された
導体の、内側に向けられた信号母線部の外側の縁にすぐ
近接する縁が全ての点で前記外側縁として伝播軸線に垂
直な方向に同じような傾きを有し、うまいことに接地さ
れた母線であり、これに速度補正領域を形成する少なく
ともいくつかの接地されたダミー電極を直接電気的に接
続することにより上述した不利な効果を克服することを
提案している。

このようにして本発明に係る音響表面波′ｉＡ置では、
接地されていない信号母線部と接地された母線との夫々
の対向する境界縁により形成される不所望なトランスデ
ユーサ要素を所望の波の伝播方向に対して傾いている方
向に向けるように又は５響表面波に応答するように配置
し、アレーにとっての伝播方向では相当に小さくなるよ
うに又はできるだけ小さい応答をするようにし、他方所
望の音響表面波ビームは波頭がほとんど歪まないように
しＣ所望の方向に沿って伝播するようにする。

波トランスデユー妙アレーの前部、即ち通信端から出る
線要素信号１４大きさが相当に小さくなる。

７レーの後万端面から同じように発生し、主アレー信号
に対して遅延させられる線型糸信号も後述するように小
さくできる。

好適な通イ＾ｂ向を有するトランスデユーサの後部の対
応する線要素からの同じような混乱させる効果は信号で
駆動される母線の各々の後部をトランスデユーサ−の通
信端に隣接する内側に向けられた母線部の対向覆る境界
縁の点で規定された少なくとも最少蟻の傾きでアレーの
中心、軸線の方に内側に面けることにより小さくするこ
とができる。

後部の境界要素による効果を小さくできる代りの装置は
ダミー電極を用いてトランスデユーυを後方に伸ばし、
これらのダミー電極を音響表面波吸収材料で覆い、不所
望な応答を減衰させるものである。通常の計算機プログ
ラムはいくつかの最近傍要素を考慮に入れるから、この
アレーの後方への延長はアレーの通信端、即ら速度補正
領域にいくつかのダミー電極を付加し、アレーの対称性
を保も、従って、周波数と共に変わる位相の遅延の線形
性を保つことが必要なこともある。

外側縁要素が真直ぐな場合は、通常の５ｉｎｘ応答が起
こり、要素の端が伝播通路に沿って距離人だけ離れてい
る傾きが伝播方向に沿って応答の最初のゼロを向ける。

このゼロは狭い。そして比較的狭い帯域幅の装置の場合
は通過帯域の適当な側で０．８人の最小距離を用いれば
十分であるが、広い帯域の装置は第１０番目又はそれ以
上のゼロが伝播方向に沿って向けられているような大き
な傾斜角を採用した方が好適であろう。蓋し、減衰させ
られた応答はゼロの存在よりもサイドローブの低くされ
たピークに依存する必要があるからである。

また、実際の装置では対向する境界縁が伝播軸線に対し
て余りに小さな角を張らないようにすることが望ましい
。それ故、伝播方向に対する垂線に対しての傾きが５度
ないし８０度の範囲に入るようにづると好適である。

ＶＲ＠の好適な形態では、トランスデユーサの通信端で
・の内側に向けられている接地されていない母線部の両
端間の距離と隣接する接されている母線の両端間の距離
との和がトランスデユーりの通信開口内で♀るとこる同
一になるようにする。但し、全ての距離は伝播り向に対
して平行に測る。

装置の一寅施例では、上記の和の前記両母線の縁間の対
応する間隔に対する化を電極幅の櫛形アレーの間隔に対
する平均比と同一にする。

トランスデユーサの通信開口とは音響表面波伝播方向に
沿って向けられた任意の音響表面波が多Φ細条カプラの
ような装置の他の要素と相互に作用するように発射でき
、又はこのような要素（多Φ細条カプラ若しくは他のト
ランスデユーサ）により発射される時は、外側境界縁要
素を含むトランスデユーサの任意のトランスデユーサ要
素と相ｎに作用できるようなトランスデユーサに関連す
る幅の−ＸＪ払を意味するものとここでは理解すべきて
゛ある。

接地されていない信号母線はその端の方向に向ってテー
パをつけ、例えばアレーの端電極に接続されている時伝
播方向に対して直角に走る端境界の一切の不所望な部分
をできるだけ短く又は除去するようにすることができる
。

本発明に係る音響表面波フィルタ装置では、各トランス
デユーサを対称的にし、受信側トランスデユーサも送信
側トランスデユーサと同じように対称的にし、位相遅延
が一層容易に線形になり、群遅延が一層一定になるよう
にすると好適である。

両方のトランスデユーサをアボダイズすれば、１者は各
車細条カプラにより結合しなければならないことになる
。このようにして単一の端で送信側トランスデ」−サ又
は受信側トランスデユーサへ信号接続する場合は、接地
された組の電極に接続される母線を同じように内側にア
レーの中心軸線の方向へ向け、速度補正領域の隣接する
端での対応する母線を同じように接地された信号電極の
母線から離し、対称性を保つようにする。

図面につき本発明の実施例を詳細に説明する。

既知の形態の音響表面波フィルタを第１図に示すが、こ
れは圧電体１を具える。これは、例えばリチウム結晶の
ウェハの表面にアポダイズされた櫛形の送受信アレー２
．３を設け、これらを多重細条カプラ５により結合した
ものである。夫々の櫛形電極対の重なり合う外側線には
１９号８及び９を（４した。アレー２により多重細条カ
プラ５がら離れるｆｊ向に発射された不所望な音響表面
波は少なくとも一部アレー２の端と縁６との間の表面に
塗布されている減衰剤１０により吸収される。表面波伝
播方向１１及び１２に沿って縁６及び７に入射する音響
表面波エネルギーは縁６及び７を表面波伝播り向１１及
び１２に対し傾けであることにより斜に反射される。

送缶１〜ランスｆコーサ２に短い入力信号パルスを加え
に時受信トランスデｌ−サ３がら得られる出力信号は第
２図のグラフに示した形態をとる。

時刻ｔ。のパルス２０は電気的な誤点孤を示し、遅延ｊ
ス１一時に人−［的°に大きくして時刻ゼロ基準を与え
る。送信］ヘランスデューサ２により発射され、受信ト
ランスデユーサ３により受信された主信号は符号２１で
示した。明らかに後信号２２の多くは主信号２１に対し
て振幅が十分に低く、全く意義があるビーク２３が主信
号に先立って現われ、主信号の後に一層低いビーク２４
が続く、後に生ずる２個の別のパルス２５６目で視るこ
とができる。

主応答に先立ってビーク２３の一部は母線１４を介して
信号電圧源に接続されている電極の組の前方境界線１８
′　により発生させられる。本例の装置では反対側の母
線１５（受信側アレーの母１ｉ１１７も同じ）は接地し
、電気的誤点孤を小さくする。このようにして多重細条
カプラが通常接続さ−れずにいる時アレー２に最も近い
電極は信号電極縁１８′　と接地された電極縁との間の
容爆竹分圧器の一部を形成づる。そして生ずる信号場は
波頭が伝播方向１１に重重な音響波を変換する。発生゛
した時は第１図で−／Ｊは右方向に、他方は左方向に伝
播する。

、　アレー２の後側の信号駆動電極の縁１９′　により
別の波が発生づる。これは一部第２の不所望な応答２４
の原因となる。

適当な電気信号により駆動された時任意のトランスｆ」
−サ要索が音響表面波を送イにできるから、音響表面波
の通過に応答して電気信号を発生させ、検出することも
できる。明らかに、送信側トランスデユーサ２の中心で
発生した主パルスは、受信側トランスデユーサ３の通信
端で対応する外側境界壁要素により予め検出されるが、
これは検出器アレーの中心部で主応答２１が発生ｊる前
であり、応答２３に貢献する。主パルスは受信側アレー
３の遠りの端も通過して伝播するから、対応づる後方境
界縁要素によりもう一度検出され応答２４に寄与ζる。

２個の別の不所望な応答２５も振幅が下がるが、これら
は夫々一方の場合は第１図で送信側アレー２ぐｈ万に伝
播し、送信側アレー２の後側で反射され、その後で受信
側トランスデユーサ３に走行する送信側シル−２からの
主信号によるものであり、他りの場合は主応答２１を発
生した後、主信号が受信側トランスデユーサの右側の端
で反射され、アレーを通して戻ってくるものによる。し
かし、図示した例ではこれらの小さな応答２５はよく制
御される。蓋し、母線の両端は互に近づけられて電極接
続部を短くし、アレーの後側でトランスデユーサ要素を
小さくし、またウェハの表面に減衰剤１０を設けである
からである。

本発明の一実施例を第３図に示すが、ここでは送信側ト
ランスデユーサ３２、受信側トランスデユーサ３３及び
通常の多重細条カブラ５を圧電体、できれば回転させら
れたＹ−カット、Ｘ−伝播ニオブ酸リチウムの結晶ウェ
ハ１の表面上に形成しである。トランスデユーサ３２．
３３及び多重細条カブラを金属の蒸着層からホトリドグ
ラ、フイにより形成すると好適である。

送信側トランスデユーサ３２は２組の電極のアポダイズ
された櫛形のアレーを具え、各組の電極は２個の対向づ
る母線４４．４５の対応する一方に接続され、これらの
母線は夫々端末接続部４８．４９を有する。本例では母
線４４が動作時に信号電圧源に接続され、母線４５が接
地される。しかし、所望とあらば、夫々の組の電極及び
対応する母線４４．４５を信号電圧源により逆相で駆動
することができる。

しかし、この場合は直接的な電気的な誤点孤を下げるス
クリーンとして接地された別の導電性材料パターンをｆ
ｆｉ線４５に隣接させることができる。

７レーの長さに比較して幅とスペースとが狭いため７ポ
ダイズされた櫛形アレーを作る２組の各々の電極は詳細
に示していないが、長さに重みをつ番ノられた、即らア
ポダイズされたトランスデユーサ要素の７レーの重なり
合う外側線は線８により示されている。１９７２年１０
月のＩＥＥＥの超呂波シンポジウムのプロシーディンゲ
スにのっているＴ、　Ｗ、　［３ｒｉｓｔｏｌ他の［△
ｐｐｌ　１Ｃａｔ　１ｏｎｓｏｒ　　ｄｏｕｂｌｅ　　
ｅｌｅｃｔｒｏｄｅｓ　　ｉｎ　　ａｃｏｕｓｔｉｃｓ
ｕｒｆａｃｅ　　ｗａｖｅ　　ｄｅｖｉｃｅ　　ｄｅｓ
ｉｇｎｊと題する論文にのっているように、個々の電極
を二重電極として構成し、電極からの悪い反射作用を小
さくすると好適である。所定の組の電極どうしの間の空
間はこの組の電極と同一の母線に接続されたダミー電極
で充たすことができる。これについては１９７１年１２
月１日発行のＡｐｐｌｉｅｄ　　ＰｈｙｓｉｃｓＬ　ｅ
ｔｔｅｒｓ、第１９巻第１１号（１１月号）の第４５６
ない６４５９頁に記載されている。

ドイツ国特許公報第２８５４０７２号の第２図に開示さ
れているように、母線４４の、送信側トランスデユーサ
３２の通信端３４に近接する部分４４′　は内側に曲げ
られて音響開口にくい込む。音響開口の境界は一点鎖線
５５．５６で示され、これはアポダイズされたアレーの
中心軸線１１にほぼ平行である。また速度補正領域３６
を設けるが、これは送信側トランスデユーサ３２を形成
する櫛形アレーの電極と平行で接地されているダミー電
極３７を具える。

本発明によれば、ダミー電極３７が接続されている接地
された母線３８を接地されていない母線４４の内側に向
いている部分４４′　に近接して設け、信号母線の縁３
５と接地された母線３８の近接する縁との間のスペース
を音響表面波伝播方向にほぼ一様にする。母線部４４′
　と近接する接地された母線３８の対応する距離の和の
信号母線の縁３５と接地された母線３８の近接する縁と
の間のスペースに対する比を、全ての距離を音響表面波
の伝播方向で測るものとして、電極の幅の送信側アレー
内のスペースに対する平均の比と同じにすると好適であ
る。

母線の部分４４′　はその端３９に向ってテーパをっけ
、伝播り向に直角な不所望の端境界を有する接続部を必
要とせずに、短い電極４０を装着できるようにづると好
適である。母線部４４′　にテーパをつける時、接地さ
れた母線３８の対応する部分には逆向きのテーパをつけ
、音響表面波方向での２個の母線４４’　、３８の匝離
の和が音響開口内でいたるとこ６同　ぐあるようにする
必要がある。

接地されていない母線部４４′　の隣接する部分の対向
する境界縁、即ら３５と、接地された母線３８の対向づ
る境界縁とは、夫々音響波ビーム開口５５．５６内にた
り（１′／置づるのではなく、トランスデユーサの全通
信量［］５７．５８内にも位置し、軸線１１に沿う簀響
表面波の伝播方向に対し直角な横方向へ各々傾むかせ、
その罐はいずれもトランスデユーサの通信開口内に位置
する夫々の内側の端、例えば３９と対応する外側の端、
例えば５０が音響表面波伝播方向で距１１ａだ（）ηに
ずれ、この距ｌ１ｌａが装置の通過帯域内では少なくと
も０．８人であり、広い通過帯域が必要な時はこの量の
数倍にするようにする。

実際の装置では、横方向への傾き角は５度以下から８０
度迄の範囲に入れることができる。８０度より大きくす
ると伝播方向での信号母線部４４′の縁と、接地された
母ｗｉＡ３８の縁との間の距離を所定の値に保つことに
困難を生ずる。

前述したように、各場合で選択される角度は装置の必要
な帯域幅に依存する。狭い帯域の装置では５ｉｎｘ応答
の中央帯滅零方向（ｍｉｄ　−ｂａｎｄ　　ｎｕｌｌｄ
ｉｒｅｃｔｉｏｎ　）に対応し、広い帯域の装置では適
当ｉｎｘ に減縮されたーサイドローブ振幅に対応する。

このようにして、この角度は一般に開口帯域幅積に依存
する。実際の装置で採用される傾き角は約５０［であり
、こうすると対向する境界縁により形成される線要素に
より発生した不所望の音響表面波は斜めに走り、軸線１
１に沿う音響表面波伝播方向からはずれる。

前述したように、櫛形アレーの対称性を保ち、線形の位
相−周波数応答を保つようにすると好適線４５の外側境
界縁４１がこれまた大地電位にある取り巻く要素と組ん
で音響表面波トランスデユーサ要素を形成づるＣとはで
きないが、それにもかかわらず母線４５の端４５′　を
母線４４の端４４′　に対して対称的に形成し、第４図
に示すように接地された母線３８が対応づる態様で音響
開口の残りの部分を横切り続けるようにすると好適であ
る。この時接地された母線３８は橋絡部４２を介して導
電的に母線４５に結合し、他方前方に向ってアレーの縁
と平行に延合し、速曵補正領域の残りの電極３７′　が
接続される部分４３を形成する。

所望とあらば、接地された母線４５の前部を異なるよう
に配設することもできる。但し、発射された音響表面波
の波頭が軸線１１と一点鎖［１１５６とにより限られる
音響開口の下部に口ってこれにより歪まず、且つ、装置
が位相−周波数応答が装置に対し設定されｔこ所望の限
界外に落らることがないことが判明してるいことを条件
とする。

２個の母線４４及び４５に対し逆相信号による駆動を与
えたい時は、第３図に示した装置を採用する必要がある
。但し、橋絡部４２はこわす。蓋し、この場合は両方の
母線４４と４５が大地電位に対する信号電圧により駆動
されるからである。

本例では、信号で駆動される母線４４の後部４４′を内
側にほぼアポダイズされた櫛形アレーの中心軸線１１の
方向に向け、外側境界縁４６を縁３５と類似の態様で音
響表面波伝播方向に垂直な方向に傾け、境界４６に沿っ
て形成される音響表面波減衰剤により発生した不所望の
音響表面波エネルギーを音響表面波伝播方向に対し斜め
に向ける。前方墳界３５の場合にように、最小の傾きは
実際には当該装置の開口−帯域幅積に依存する。しかし
、伝播方向に沿っての各線の夫々の内端と外端との間の
距離ａ’　、ｂ、ｂ’　は少なくとも０．８人とする。

トランスデユーサ３２の後部のウェハ１の表面に音響表
面波減衰剤１０を塗る。製造時に櫛形電極の重なり合う
部分により占められる領域に食し）込む危険を伴なわず
にトランスデユーサに近づｉブるように閉じると好適で
ある。

接地された母線４５も中心軸線１１の方に向け、軸線１
１につき対称的な構成にする。

第３図の装置にも多重細条カプラ５及び受信側トランス
デユーサ３３を設ける。受信側ｌ−ランスデ１−りは、
装置の対称性のため、送信側トランスデユーサ３２に類
似するＢ様で構成できる。そして同じように対応する接
地されていない母線の前り及び後方外側境界で対応する
境界縁要素により発停した不所望な信号応答を小さくす
る。また、送信側及び受信側のトランスデユーサ上の両
方の母線の後部の斜めの境界は半メタライズ層と自由な
表面との変り目で反射された任意の音響表面波エネルＶ
−を音響表面波伝播方向から離れさせるように向け、散
乱されると共にウェハ表面の縁の周りに塗られた減衰剤
１０により吸収されるようにする。

第６図は第３図に示した実施例の変形例を形成する送信
側ｉ〜ランスデューサの前端部と後端部の拡大した詳細
図である。この変形された装置Ｇよ他の点ひは第３．４
及び５図と同しである。第６図では、送信側７レーの後
端にある縁！！素の効果が異なる態様で小ざくなってい
る。

信号母線４４及び接地された母線４５は後方に延在させ
られ、送信側アレーを所望の送信方向とは反対の方向に
延長するように構成されている対応するダミー電極５２
に接続させられる。ダミー電極５２は両側の母線４４．
４５から中心軸線１１の方に延在させられるが、音響表
面波減衰剤１０でカバーされる。

この減衰剤は櫛形電極の送信側アレー３２の後部に向う
重なり合わない部分にも塗ると好適である。

こうすると、最も後部のダミー電極５２′の後縁により
発射された不所望な音響表面波で音響表面波伝播方向に
向うものは送信側アレーの自由な伝播領域に到達する前
に後部に塗られている減衰剤１０により殆んど減衰させ
られてしまう。

第６図の装置で、送信側アレーの後部にダミー電極を付
加することは１２個もの最近接要素を具え得る各アレー
要素の計算を僅かながら混乱させる。

このためアレーの電気的対称性を保つためには、速度補
正領域３６の手前に数個の余分なダミー電極３７″を設
けることが望まれる。

この場合も受信側トランスデユーサは送信側トランスデ
ー１−りと同一形態とし、装置の対称性を保つと共に、
後部縁要素の作用を小さくすることかで・きる。

ここに記載した装置で・は音響表面波トランスデユーサ
が各々中−のアボダイズされた櫛形電極アレーで形成さ
れ−Ｃいるが、本発明によれば、他方のトランス−Ｆｌ
−１＋がアボダイズされたトランスＴ’−１−サの＠響
開口にまたがって延在する電極が同−良さをもするよう
に形成され、一様なトランスデユーサの端電極が接地さ
れ−（いるならば、多重細条カプノを欠くように構成す
る口とができる。

駆動又はイム号回路とのインピータンス整合のため及び
／′又は指電極に沿っての直列抵抗損失を小さくするた
め狭い櫛形アレーを電気的に並列に接続することが時と
して望まれる。これは本発明装置の場合は第４図及び第
５図又は第４図及び第６図に示したような２個以上の同
じ櫛形７レーを共通多Φ細条力１うの方に向う平（ｉな
通路に沿っての方向で並んで配置することにより簡単に
実行することができる。

、ト述した実施例は音響表面波が−ｈ向にだけ送信され
及び／又は受信されることを必要とする装置に関するも
のであるが、本発明は音響表面波が少なくとも１個のア
ポダイズされた櫛形アレーを具えるトランスデユーサに
より２個の互に反対向きの方向に送信され及び／又は受
信されることを必要とする装置にも等しく適用できる。

このような場合は１〜ランスデユーサの両端を第４図に
示したように形成することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は既知の形態の音響表面波フィルタ装置の略式説
明図、 第２図は第１図の装置の受信応答を表わす縮図、第３図
は本発明を用いる音響表面波フィルタ装置の説明図、 第４図は第３図のｉｉｉの一部の拡大図、第５図は第３
図の装置の別の一部の拡大図、第６図は本発明の変形実
施例の２個の部分の拡大図である。 １・・・１１電体 ２．３・・・送受信アレー（２・・・送信トランスデユ
ーサ、３・・・受信トランスデユーサ） ５・・・多Φ細条力／ラ　　６．７・・・縁８．９・・
・外側線　　　　１０・・・減衰剤１１、１２・・・表
面波伝播方向 １４〜１７・・・母線　　　　　１８．１８’・・・前
方境界縁１９、４９’　・・・後方境界縁　２０・・・
誤点弧のパルス２１・・・１信号　　　　　　２２・・
・後信号２３・・・意義のあるビーク　２４・・・−１
■いビーク２５・・・後に生ずるパルス ３２・・・送信側１〜ランスデユーサ ３３・・・受信側トランスゲ１−サ ３４・・・通信端　　　　　　３５・・・信号母線の縁
３６・・・速度補正領域　　　３１・・・ダミー電極３
８・・・接地された母線　　３９・・・母線の部分４４
′　の端４０・・・短い電極　　　　　４２・・・橋絡
部４３・・・電極３７′が接続される部分４４、４５・
・・母線（４４・・・信号母線、４５・・・接地された
母線） ４４′　・・・通信端に近接する部分（母線４４の端）
４５′　・・・母線４５の端　　　４８．４９・・・端
末接続部５０・・・端３９に対応する外側の端 ５２・・・ダミー電極　　　　５５．５６・・・音響開
口の境界５７、５８・・・通信開口。 特許出願人　　　エヌ・ベー・フィリップス・フルーイ
ランペンフ７ブリヶン

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、圧電材料の本体を具え、その−表面上に少なくとも
   １個のアボダイズされた櫛形の電極のアレーを具備する
   音響表面波トランスデユーサが形成され、第１の組の電
   極と第２の組の電極とが２個の対向する母線の対応する
   一方に夫々接続され、それが動作時には少なくとも１個
   の母線が接地されず、それ数少なくとも前記音響表面波
   トランスデユーサの近傍で前記本体の電極相持表面領域
   上又はその周りで確立されている準定常大地電位に対し
   信号周波数で電圧が変化することができるようになって
   おり、従って音響表面波伝播方向に沿って向けられた音
   響表面波が音響表面波トランスデユーサの通信端を介し
   て伝播させられ又は受信させられ、その又は各接地され
   ていない母線の音響表面波トランスデユーサの通信端に
   近接する部分が内側に音響表面波ビーム内にほぼアポダ
   イズされたアレーの中心軸線の方に向けられ、前記トラ
   ンスデユーサが櫛形アレーの電極に平行で且つ接地され
   た母線に接続されているダミー電極を具備する速度補正
   領域を具え、この速度補正領域の外側通信端が音響表面
   波伝播方向に直角である＠響表面波装置において、接地
   された母線部を音響開口内に位置する接地されていない
   母線の前記の内側に向けられた部分に近接して位置させ
   、これから音響表面波伝播方向内でほぼ均一な距離だけ
   離し、音響表面波が装置内で対応する音響表面波伝播り
   向に沿って有効に伝播するためにトランスデユーサの通
   信開口内に位置する接地されていない母線と接地された
   母線の近接する部分の対向する境界縁を音響表面波伝播
   方向に対して直角な方向に対して傾けさせ、各人々の前
   記縁の最内側の端と最外側の端とを互に対して音響表面
   波伝播方向内で少なくとも０．８人だけずらし、いずれ
   かの前記縁の傾きを如何なる点でも伝播方向に０．８人
   だけ隔っている対応づる観念的な最内側点と最外側点と
   を結ぶ観念的な直線の傾きよりも小さくし、配置を通信
   開口内に位置する母線の前記対向する境界縁により形成
   される音響表面波トランスデユーサ要素により発生させ
   られ又は受信される不所望な音響表面波に対する主応答
   ローブを音響表面波伝播方向に対して斜めに向けるよう
   にしたことを特徴とする音響表面波装置。 ２、前記母線部の、音響表面波用装置の通信開口内に位
   置する前記の対向する境界縁を輿直ぐにしたことを特徴
   とする特許請求の範囲第１項記載の音響表面波装置。 ３、前記母線部の、音響表面波用装置の通信開口内に位
   置する前記の対向する境界縁を音響表面波伝播方向に直
   角な方向に対し、少なくとも５度、多くとも８０度の角
   度で傾けたことを特徴とする特許請求の範囲第１項又は
   第２項記載の音響表面波装置。 ４、音響表面波伝播方向に平行な方向において、内側に
   向けられた接地されていない母線部両端間と隣接する接
   地された母線の両端間との対応する距離の和を通信開口
   内で一定にしたことを特徴とする特許請求の範囲前記各
   項のいずれか一項に記載の音響表面波装置。 ５、音響表面波伝播方向に平行な方向において、内側に
   向（Ｊられた接地されていない母線部両端間と隣接する
   接地された母線両端間との対応する距離の和の両者の間
   の間隔に対する比を青胃表面波アレー内での電極幅の間
   隔に対する平均比と同一にしたことを特徴とする特許請
   求の範囲前記各項のいずれか一項に記載の音響表面波装
   置。 ６、昌胃表面波トランスデユーサがトランスデユーサの
   一端を介してだけ通信する必要がある特許請求の範囲前
   記各項のいずれか一項に記載の音響表面波装置において
   、その又は各接地されていない母線の、呂響表面波トラ
   ンスデ］−サの非通信端に隣接する部分を内側に、はぼ
   アポダイズされたアレーの中心軸線の方に向け、その外
   側境界縁を、少なくともトランスデユーサの通信端に隣
   接する内側に向けられた母線部の対向する境界縁の点で
   規定される最少量だけ、音響表面波伝播方向に対し垂直
   な方向に傾けたことを特徴とする音響表面波装置。 ７、音響表面波トランスデユーサがトランスデユーサの
   一端を介してだけ通信する必要がある特許請求の範囲第
   １．２．３．４及び５項のいずれか一項に記載の音響表
   面波装置において、音響表面波トランスデユーサを通信
   端と逆の端で複数個のダミー電極だけ延在させ、アレー
   のこの非通信端にあるダミー電極部に音響表面波吸収材
   料の層を］−トしたことを特徴とする音響表面波装置。 ８、その又は各接地されていない母線の内側に向けられ
   ている部分を７ポダイズされたアレーの中心軸線の方に
   デーパをつけたことを特徴とする特許請求の範囲前記各
   項のいずれか一項に記載の音響表面波装置。 ９、別の類似の音響表面波トランスデユーサと、前記表
   面上に配置された多重細条カプラとを具え、前記トラン
   スデユーサの一方から−っの通路に沿って発射されたＮ
   前表面波エネルギーを多重細条カプラにより相当に変換
   し、Φなり合っていない通路に沿って伝播し、他方の前
   記ｉ−ランスデ１−サの音響開口により受信ヴることを
   特徴とする特許請求の範囲前記各項のいずれか一項に記
   載の音響表面波装置。 １０、特許請求の範囲第９項に記載の音響表面波装置を
   具えることを特徴とする帯域フィルタ。