JPS581743B2 - 屈折率分散測定装置 - Google Patents

屈折率分散測定装置

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Publication number
JPS581743B2
JPS581743B2 JP8062978A JP8062978A JPS581743B2 JP S581743 B2 JPS581743 B2 JP S581743B2 JP 8062978 A JP8062978 A JP 8062978A JP 8062978 A JP8062978 A JP 8062978A JP S581743 B2 JPS581743 B2 JP S581743B2
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JP
Japan
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angle
prism
refractive index
sample
measuring device
Prior art date
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Expired
Application number
JP8062978A
Other languages
English (en)
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JPS557654A (en
Inventor
井元信之
杉村陽
大黒一弘
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nippon Telegraph and Telephone Corp
Original Assignee
Nippon Telegraph and Telephone Corp
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Publication date
Application filed by Nippon Telegraph and Telephone Corp filed Critical Nippon Telegraph and Telephone Corp
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Publication of JPS557654A publication Critical patent/JPS557654A/ja
Publication of JPS581743B2 publication Critical patent/JPS581743B2/ja
Expired legal-status Critical Current

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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/41Refractivity; Phase-affecting properties, e.g. optical path length

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、物質の屈折率の分散をプリズム形試料を用い
て測定する屈折率分散測定装置に関するものである。
従来のこの種の装置は、プリズムによる光の最小偏角を
測定することにより屈折率nを波長λの関数としてもと
め、それを微分することによって屈折率の分散iをもと
める方法を利用していた。
つまり第1図のような頂角αのプリズムにおいて、角度
φ1で光が入射した時のプリズムによる光の偏角をεと
し、その他の記号を第1図に示したように定義すると、
これらの角度の間には、の関係がある。
εが最小εminになるとき、これらの式を解くと、 となり、この式を利用してn”=n(λ)を求める。
具体的装置として第2図に示したような装置が知られて
いる。
第2図において、1は波長可変光源、2は回転可能な試
料台、3は回転可能で、かつ回転角読み取り可能な光位
置検出器をとりつける台、4はその台3にとりつけられ
た光位置検出器、5はプリズム形の試料である。
この装置の動作は、まず波長可変光源1からの光が試料
5を通り光位置検出器4に入ると、偏角が最小になるよ
うに試料台2、台3を動かし、その時の台3の角度を読
むことによってε が求まる。
この装置はnを求めるために、ε面。とαだけの測定で
(5)式から求めることができるので便利であるが、波
長をΔλ変化させた時の屈折率の変化Δnと角度変化Δ
ε とは同程度となり、Oを刀の形で高精度に求める
場合には、角度読み取り精度をよくする必要があるとい
う欠点があった。
本発明は、上記従来例の欠点を解決するために、偏角を
読むことなく、最小偏角に近い所に固定した光位置検出
器に光が入るように試料台の方をまわし、その角を読む
ことによって波長分散値を求めるようにした屈折率分散
測定装置を提供するものである。
以下、図面により実施例を詳細に説明する。
第3図は、本発明の1実施例を示したもので、1は波長
可変光源、4は光位置検出器、5は試料のプリズム、6
は回転角読み取り町能な試料台である。
本実施例の動作は、まず波長可変光源からの光がプリズ
ム入射面に垂直にあたる時、試料台の読み取り角度が零
になるように調整してお匂次に試料台6をまわして、光
がプリズムによってふられる時の偏角が最小になるあた
りでこの試料台6を止め、この時の試料台6の角度φ1
を読む。
更に光位置検出器4をこの光を受ける位置に固定する。
波長可変光源1の波長をλからλ+Δλに変化させると
、偏角が変わるが、固定した光位置検出器4を利用して
偏角が動かないように試料台6の角度φ1をΔφ1だけ
動かす。
このφ1とΔφ,,Δλおよびαの測定から0を求める
前述したように、プリズムによる光の屈折は(1)〜(
4)式で記述される。
この式を波長をΔλ動かした時の変化量の形で書きなお
すと、 となる。
ここでΔφ1に関して2次項迄書いたのは、1次項の係
数が零になる近傍を考慮するからである。
最小偏角の場合、1 :== o・・・・・・α0)で
ある。この時、(9)式はΔn一 ・Uυとなる
が、(10)式をみたした時のαυ式の係数aをα−6
0゜の場合、φ1の関数としてあらわしたのが第4図の
aの曲線である。
これをみればわかるように、aはほぼ1のオーダーの量
でありΔnとΔεは同程度になる。
これに対してΔε一〇なる場合、つまり偏角が一定にな
るようにφ1を動かす場合を考えると(9)式はΔn−
Aへ+Δφ12・・・・・匝となる。
係数bをα=60°,n−1.45042(溶融石英の
1.0μmの屈折率)の場合に、φ1の関数としてあら
わしたのが第4図bの曲線である。
この第4図からbは最小偏角条件の付近に強い共鳴があ
ることがわかる。
例えば、角度φ1が46±5の範囲では、bは10以上
である。
大きなbを利用する程、Δnに対するΔφ1が大きくな
り、精度が向上するが、この間、Cは約1の値をとるの
で(Δφ)2による誤差を生じ、bが制限される。
この場合、Δφ1を小さくとれば、より大きなbを用い
ることができる。
例えばΔφ1〈く5度に選んだ場合、b=10の付近が
利用でき、Δnの精度として10−5が要求されても(
12)式からΔφ1の精度は0.35分で良いことにな
る。
具体的にφ1,Δφ1,Δλ1,αの測定から0を求め
るには、まず(i) , (2) , (3) , (
4)の式および(8) , (9)の式からφ1,αを
計算しておき、また試料物質の屈折率nを用いてb,c
を計算しておく。
次に、波長可変レーザではじめにλ。−±Δλのレーザ
光を出し、次にλ。
+1Δλのレーザ光に変え、偏角が変わらないようにプ
リズムを回転させ、Δφ1を測定する。
このΔλの選び方は、あらかじめ計算したbとCから(
Δφ1)2の誤差が無視できるようなΔφ1を与えると
いう制限のもとに、なるべく大きなΔλを選ぶ。
次に、(12)式を用いて測定したΔφ1か’12を計
算することにより、波長λ。
におけるnを求めることができる。上記の求め方はΔn
をΔφ1の一次式で表わし、Cl2+式で(Δφ1)2
を誤差として無視する方法であるが、(Δφ1)2まで
考慮して(Δφ1)3を誤差と見なし、Δnを計算すれ
ば、より精度の向上をはかることができる。
なおb,cの計算においてnの値を一定としているが、
これは第4図のbの曲線が発散する最小偏角では誤差の
原因になる。
しかし、実際には前記の例でb−10を利用するなどの
ように、最小偏角からずれたbを利用する。
この場合はnを一定としたことによる誤差は小さい。
以上説明したように、本発明によれば、屈折率の分散を
測定するためにプリズム形試料を用い、最小偏角付近に
光位置検出器を置き、波長を動かした時に偏角がかわら
ないように試料台を回転することによって回転角を拡大
して測定しているので、屈折率変化を高精度に測定でき
る利点がある。
【図面の簡単な説明】
第1図は、プリズムによる光の屈折を説明するための図
、第2図は、従来の屈折率測定装置の構成図、第3図は
、本発明の1実施例の構成図、第4図は、本発明の効果
を説明するための図である。 1・・・・・・波長可変光源、4・・・・・・光位置検
出器、5・・・・・・試料のプリズム、6・・・・・・
回転角読みとり可能な試料台。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1 波長可変光源と、回転角読み取り可能な試料台と、
    光位置検出器とを有し、プリズムへの入射光とプリズム
    からの出射光のなす角が最小偏角の近くになるように前
    記波長可変光源及び前記光位置検出器を固定し、試料プ
    リズムを載せた前記試料台のみを回転させることにより
    試料プリズムの屈折率分散を測定することを特徴とする
    屈折率分散測定装置。
JP8062978A 1978-07-03 1978-07-03 屈折率分散測定装置 Expired JPS581743B2 (ja)

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JP8062978A JPS581743B2 (ja) 1978-07-03 1978-07-03 屈折率分散測定装置

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JP8062978A JPS581743B2 (ja) 1978-07-03 1978-07-03 屈折率分散測定装置

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JPS557654A JPS557654A (en) 1980-01-19
JPS581743B2 true JPS581743B2 (ja) 1983-01-12

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JPH02244106A (ja) * 1989-03-17 1990-09-28 Hitachi Ltd 薄膜光学定数の測定方法及びそれを用いて作製した光集積回路もしくは半導体素子
KR200450894Y1 (ko) * 2008-06-11 2010-11-08 이언칠 고체의 굴절률 측정장치
KR101027756B1 (ko) 2009-08-27 2011-04-11 최제인 광섬유원리실험장치
CN103048118A (zh) * 2012-08-24 2013-04-17 王艳文 一种快速定位三棱镜最小偏向角的方法
CN105044032B (zh) * 2015-06-25 2017-12-05 陕西师范大学 液体折射率与温度关系的实验装置与实验方法
CN106404715B (zh) * 2016-08-29 2019-01-01 湖北新华光信息材料有限公司 测量折射率的方法

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