JPS58173474A - マイクロ波距離測定装置 - Google Patents
マイクロ波距離測定装置Info
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- JPS58173474A JPS58173474A JP57057606A JP5760682A JPS58173474A JP S58173474 A JPS58173474 A JP S58173474A JP 57057606 A JP57057606 A JP 57057606A JP 5760682 A JP5760682 A JP 5760682A JP S58173474 A JPS58173474 A JP S58173474A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- microwave
- circuit
- frequency
- distance
- waveguide
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S13/00—Systems using the reflection or reradiation of radio waves, e.g. radar systems; Analogous systems using reflection or reradiation of waves whose nature or wavelength is irrelevant or unspecified
- G01S13/02—Systems using reflection of radio waves, e.g. primary radar systems; Analogous systems
- G01S13/06—Systems determining position data of a target
- G01S13/08—Systems for measuring distance only
- G01S13/32—Systems for measuring distance only using transmission of continuous waves, whether amplitude-, frequency-, or phase-modulated, or unmodulated
- G01S13/34—Systems for measuring distance only using transmission of continuous waves, whether amplitude-, frequency-, or phase-modulated, or unmodulated using transmission of continuous, frequency-modulated waves while heterodyning the received signal, or a signal derived therefrom, with a locally-generated signal related to the contemporaneously transmitted signal
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Radar Systems Or Details Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はマイクロ波を用いて距離測定を行うＦ Ｍ−Ｃ
Ｗ （Ｆｒｔ％ｕｅｖｑｃｙ Ｍａｄｕｌａｔａｄ−Ｃ
ａｎｔｔｎすｏｕｓＷα、Ｊｅ ）方式の測定装置に
関し、特に導波管中でのマイクロ波の伝搬速度変化を補
正して精密測定を行なえるように改良した測定装置に関
するものである。
Ｗ （Ｆｒｔ％ｕｅｖｑｃｙ Ｍａｄｕｌａｔａｄ−Ｃ
ａｎｔｔｎすｏｕｓＷα、Ｊｅ ）方式の測定装置に
関し、特に導波管中でのマイクロ波の伝搬速度変化を補
正して精密測定を行なえるように改良した測定装置に関
するものである。
マイクロ波を用いた距離測定装置には、マイクロ波干渉
針を使い、周波数の異なるマイクロ波を同時に発生して
、各々のマイクロ波の干渉信号を検出し、干渉信号の位
相差から距離を測定するようにしたものが試みられてい
るが、干渉を原理としているため、マイクロ波部品が多
く経済的に不利であり、かつ測定範囲が広くとれない等
汎用的ではない。
針を使い、周波数の異なるマイクロ波を同時に発生して
、各々のマイクロ波の干渉信号を検出し、干渉信号の位
相差から距離を測定するようにしたものが試みられてい
るが、干渉を原理としているため、マイクロ波部品が多
く経済的に不利であり、かつ測定範囲が広くとれない等
汎用的ではない。
一方、ＦＭＣＷ方式の装置は、マイクロ波部品が比較、
的少なく経済的に有利であるが、周波数を計数すると、
ステップ誤差という固有の誤差が存在し、例えば溶鋼の
レベル等を取り扱う範囲の近距離への適用が阻まれてい
た。
的少なく経済的に有利であるが、周波数を計数すると、
ステップ誤差という固有の誤差が存在し、例えば溶鋼の
レベル等を取り扱う範囲の近距離への適用が阻まれてい
た。
このステップ誤差を解消することを目的として本願出願
人は先に、特開昭５２−２７３９５号公報に記載された
装置を開示した。
人は先に、特開昭５２−２７３９５号公報に記載された
装置を開示した。
即ち、マイクロ波を連続的に周波数変調して送信し被測
定面で反射してきた波を受信して送信波とミキシングし
そのビート周波数から被測定面までの距離を測定する装
置において、ビート周波数の周期を測定し、除算器でそ
の逆数を計算して距離を算出することを特徴とする距離
測定装置である。
定面で反射してきた波を受信して送信波とミキシングし
そのビート周波数から被測定面までの距離を測定する装
置において、ビート周波数の周期を測定し、除算器でそ
の逆数を計算して距離を算出することを特徴とする距離
測定装置である。
ところで、上述した従来の装置は、アンテナから導波管
を介してミキシングポイントまでの距−゛を固定距離と
して一定とし、この固定距離を測定された被測定面まで
の距離から減算して算出しているものである。
を介してミキシングポイントまでの距−゛を固定距離と
して一定とし、この固定距離を測定された被測定面まで
の距離から減算して算出しているものである。
ところが、マイクロ波はその性質上、空気中では光速で
伝搬するが、マイクロ波を伝送する媒体として装置内に
用いられる導波管中においては、光速よりも遅（しかも
周波数によって変化する。
伝搬するが、マイクロ波を伝送する媒体として装置内に
用いられる導波管中においては、光速よりも遅（しかも
周波数によって変化する。
即ち、導波管中でのマイクロ波の伝搬速度Ｖ（、（ｆ）
は周波数ｆの関数となり次の（１１式で表わされる。
は周波数ｆの関数となり次の（１１式で表わされる。
ｖＧｌ（ｔ）＝ｃ π７下旨フ〒巨−Ｉｌｌ但し、Ｃ；
自由空間でのマイクロ波の伝搬速度（３ｘ１０８ （
ｍ／５）） ｆｃＨ導波管の遮断周波数 従って、実際のアンテナから導波管を介してミキシング
ポイントまでの固定距離Ｌ （ｆｌは次の１２）式％式
％ 但し、ｌＩ ；既知の導波管実長 １、Ｉ；導波管以外のアンテナ等の実長このように、従
来の装置では、導波管中におけるマイクロ波の周波数変
化によって、固定距離ＬＴｆｌは変化するので、導波管
が短い場合には測定距離にさほどの影響を与えないもの
の、導波管が長い場合には、無視できない測定誤差にな
るという問題があり、精密測定を行うまでには至ってい
ない。
自由空間でのマイクロ波の伝搬速度（３ｘ１０８ （
ｍ／５）） ｆｃＨ導波管の遮断周波数 従って、実際のアンテナから導波管を介してミキシング
ポイントまでの固定距離Ｌ （ｆｌは次の１２）式％式
％ 但し、ｌＩ ；既知の導波管実長 １、Ｉ；導波管以外のアンテナ等の実長このように、従
来の装置では、導波管中におけるマイクロ波の周波数変
化によって、固定距離ＬＴｆｌは変化するので、導波管
が短い場合には測定距離にさほどの影響を与えないもの
の、導波管が長い場合には、無視できない測定誤差にな
るという問題があり、精密測定を行うまでには至ってい
ない。
本発明は上述した問題点を解消し、導波管中におけるマ
イクロ波の周波数変化による固定距離Ｌ＜ｒ、＋の変化
を補正し、、導波管が長い場合にでも距離の精密測定が
できるように改良した測定装置を提供することを目的と
するものである。
イクロ波の周波数変化による固定距離Ｌ＜ｒ、＋の変化
を補正し、、導波管が長い場合にでも距離の精密測定が
できるように改良した測定装置を提供することを目的と
するものである。
この発明はマイクロ波を連続的に周波数変調して被測定
面に送信する装置と、該装置より送信された送信波と被
測定面で反射した波とをミキシングして、そのビート周
波数のビート周期を測定することにより、ミキシングポ
イントから被測定面までの距離を演算する装置と、前記
ビート周期測定時の任意の時刻における周波数変調され
たマイクロ波の周波数から、その周波数の関数であるミ
キシングポイントから導波管を通ってアンテナまでの固
定距離を演算する装置と、該装置で演算された固定距離
を前記ミキシングポイントから被測定面までの距離より
減算してアンテナから被測定面までの距離を演算する装
置と、該装置により演算された距離を外部に出力する装
置とから構成したことを特徴とするマイクロ波距離測定
装置に係るものである。
面に送信する装置と、該装置より送信された送信波と被
測定面で反射した波とをミキシングして、そのビート周
波数のビート周期を測定することにより、ミキシングポ
イントから被測定面までの距離を演算する装置と、前記
ビート周期測定時の任意の時刻における周波数変調され
たマイクロ波の周波数から、その周波数の関数であるミ
キシングポイントから導波管を通ってアンテナまでの固
定距離を演算する装置と、該装置で演算された固定距離
を前記ミキシングポイントから被測定面までの距離より
減算してアンテナから被測定面までの距離を演算する装
置と、該装置により演算された距離を外部に出力する装
置とから構成したことを特徴とするマイクロ波距離測定
装置に係るものである。
以下、本発明を図面に示す実施例に基いて説明すれば、
第１図は本発明に係る装置の一実施例を示すブロック図
であり、（１）はクロックパルスを発生するクロック回
路、（２）は同クロ７り回路（ｌｌで発生したクロック
パルスを計数する８ビツトのカウンタ回路、（３）は同
カウンタ回路の８ビツトのパルス信号をアナログ信号に
変換するＤ／Ａ変換ｌｌ］ｉ１３、（４）はマイクロ波
発振器が内部に設けられており、前記Ｄ／Ａ変換回路（
３）のアナログ信号に応じて周波数変調すると共に、送
信波と受信波とをミキシングするミキシング回路を内部
に設けたマイクロ波回路、（５）は同マイクロ波回路（
４）で周波数変調されたマイクロ波を導波管（６）を介
して被測定面（７）に発射する送信アンテナ、（８）は
被測定面（７）から反射した波を受信する受信アンテナ
、＋９１は同受信アンテナ（８）より受信した波をマイ
クロ波回路（４）のミキシング回路に導く導波管、ＯＩ
は同ミキシング回路で送信波と受信した波とをミキシン
グしてビート周波数に変換して後、このビート周波数を
所要の帯域を有するフィルターで雑音等の不要な周波数
成分を除去すると共に、ビート周波数の周期に対応した
パルス信号に変換するアナログ信号処理回路、（１１）
は内部にクロックパルス発生回路が設けられており、こ
のクロックパルスで前記ビート周波数の周期に対応した
パルス信号のパルス幅 −Ｔｂを計数し、同パルス信
号の立上り時（計数開始時）にマイクロ波スタート周波
数検出回路（１２）にラッチ信号αを出力し、前記パル
ス信号の立下り時（針数終了時）にエンド周波数検出回
路（１３）にラッチ信号βを出力する周期針数回路、（
１４）は同周期針数回路＜ １１）の計数結果より前記
マイクロ波回路（４）のミキシングポイントから被測定
面（７）までの距離Ｘを演算する距離演算回路、（１５
）は前記ラッチ信号α、β出力時に、それぞれスタート
周波数検出回路（１２）、エンド周波数検出回路（１３
）が、周波数変調されたマイクロ波の周波数に対応した
カウンタ回路（２）の信号を読み取ることにより測定さ
れたそれぞれα、β出力時のマイクロ波周波数ｆα、【
βを平均し、この平均周波数に応じてマイクロ波回路（
４）のミキシングポイントより導波管を通ってアンテナ
までの固定距離Ｌ （ｆｌを演算する固定距離演算回路
、’ （１６ンは前記距離演算回路（１４）で演算さ
れた距離Ｘより、固定距離演算回路（１５）で演算され
た固定ｌｌ１ｌＩＩＩ、（ｆ）を減算して、アンテナよ
り被測定面（７）まで距離Ｒを算出する減算器、（１７
）は同減算器（１６）より算出された測定結果を外部に
出力する出力回路（本実施例ではＤ／Ａ変換回路を使用
）を示す。
第１図は本発明に係る装置の一実施例を示すブロック図
であり、（１）はクロックパルスを発生するクロック回
路、（２）は同クロ７り回路（ｌｌで発生したクロック
パルスを計数する８ビツトのカウンタ回路、（３）は同
カウンタ回路の８ビツトのパルス信号をアナログ信号に
変換するＤ／Ａ変換ｌｌ］ｉ１３、（４）はマイクロ波
発振器が内部に設けられており、前記Ｄ／Ａ変換回路（
３）のアナログ信号に応じて周波数変調すると共に、送
信波と受信波とをミキシングするミキシング回路を内部
に設けたマイクロ波回路、（５）は同マイクロ波回路（
４）で周波数変調されたマイクロ波を導波管（６）を介
して被測定面（７）に発射する送信アンテナ、（８）は
被測定面（７）から反射した波を受信する受信アンテナ
、＋９１は同受信アンテナ（８）より受信した波をマイ
クロ波回路（４）のミキシング回路に導く導波管、ＯＩ
は同ミキシング回路で送信波と受信した波とをミキシン
グしてビート周波数に変換して後、このビート周波数を
所要の帯域を有するフィルターで雑音等の不要な周波数
成分を除去すると共に、ビート周波数の周期に対応した
パルス信号に変換するアナログ信号処理回路、（１１）
は内部にクロックパルス発生回路が設けられており、こ
のクロックパルスで前記ビート周波数の周期に対応した
パルス信号のパルス幅 −Ｔｂを計数し、同パルス信
号の立上り時（計数開始時）にマイクロ波スタート周波
数検出回路（１２）にラッチ信号αを出力し、前記パル
ス信号の立下り時（針数終了時）にエンド周波数検出回
路（１３）にラッチ信号βを出力する周期針数回路、（
１４）は同周期針数回路＜ １１）の計数結果より前記
マイクロ波回路（４）のミキシングポイントから被測定
面（７）までの距離Ｘを演算する距離演算回路、（１５
）は前記ラッチ信号α、β出力時に、それぞれスタート
周波数検出回路（１２）、エンド周波数検出回路（１３
）が、周波数変調されたマイクロ波の周波数に対応した
カウンタ回路（２）の信号を読み取ることにより測定さ
れたそれぞれα、β出力時のマイクロ波周波数ｆα、【
βを平均し、この平均周波数に応じてマイクロ波回路（
４）のミキシングポイントより導波管を通ってアンテナ
までの固定距離Ｌ （ｆｌを演算する固定距離演算回路
、’ （１６ンは前記距離演算回路（１４）で演算さ
れた距離Ｘより、固定距離演算回路（１５）で演算され
た固定ｌｌ１ｌＩＩＩ、（ｆ）を減算して、アンテナよ
り被測定面（７）まで距離Ｒを算出する減算器、（１７
）は同減算器（１６）より算出された測定結果を外部に
出力する出力回路（本実施例ではＤ／Ａ変換回路を使用
）を示す。
第２図はその実施例におけるタイムチャートを示したも
ので、まず、送信波について説明する。
ので、まず、送信波について説明する。
クロック回路＋１１で発生した同図１ａ）に示すクロッ
クパルスをカウンタ回路（２）に入力し、同カカウンタ
回路（２）により出力される同図（ｂ）、（Ｃ）、ｌｄ
ｌに示すような８ビツトのデータ信号（一部のみ図示す
る）をＤ／Ａ変換回路（３）に入力することにより、同
図（ｅｌに示すような三角波のアナログ信号に変換する
。この三角波をマイクロ波回路（４）のマイクロ波発振
器に人力すると、マイクロ波は三角波のレベルに応じて
連続的に周波数変調され、導波管（６）を通って送信ア
ンテナ（５）より被測定面（７）に発射される。ここで
、上述の周波数変調されたマイクロ波の周波数はＤ／Ａ
変換回路（３）より出力される三角波の・レベルに応じ
て変化し、三角波のレベルはカウンタ回路（２）より出
力される８ビ・ノドデータ信号によって定まるので、刻
々と変化する周波数変調されたマイクロ波の周波数は、
その時々のカウンタ回路（２）の８ビツトデ一タ信号を
読み取ることにより検出することができる。
クパルスをカウンタ回路（２）に入力し、同カカウンタ
回路（２）により出力される同図（ｂ）、（Ｃ）、ｌｄ
ｌに示すような８ビツトのデータ信号（一部のみ図示す
る）をＤ／Ａ変換回路（３）に入力することにより、同
図（ｅｌに示すような三角波のアナログ信号に変換する
。この三角波をマイクロ波回路（４）のマイクロ波発振
器に人力すると、マイクロ波は三角波のレベルに応じて
連続的に周波数変調され、導波管（６）を通って送信ア
ンテナ（５）より被測定面（７）に発射される。ここで
、上述の周波数変調されたマイクロ波の周波数はＤ／Ａ
変換回路（３）より出力される三角波の・レベルに応じ
て変化し、三角波のレベルはカウンタ回路（２）より出
力される８ビ・ノドデータ信号によって定まるので、刻
々と変化する周波数変調されたマイクロ波の周波数は、
その時々のカウンタ回路（２）の８ビツトデ一タ信号を
読み取ることにより検出することができる。
次に、被測定面（７）で反射した反射波は受信アンテナ
（８）に受信され、導波管（９）に導かれてマイクロ波
回路（４）内のミキシング回路に入力される。このミキ
シング回路で送信波と反射波とをミキシングし、同図（
ｆｌに示すようなビート信号を得ることができる。この
ビート信号をアナログ信号処理回路Ｑｌで不要な周波数
成分を除去して後、同図（沿に示すようなビート信号の
周期に対応したパルス幅Ｔｂのパルス信号に変換する。
（８）に受信され、導波管（９）に導かれてマイクロ波
回路（４）内のミキシング回路に入力される。このミキ
シング回路で送信波と反射波とをミキシングし、同図（
ｆｌに示すようなビート信号を得ることができる。この
ビート信号をアナログ信号処理回路Ｑｌで不要な周波数
成分を除去して後、同図（沿に示すようなビート信号の
周期に対応したパルス幅Ｔｂのパルス信号に変換する。
このパルス信号を人力された周期計数回路（１１）では
、内部のクロ・ツクパルス発生器のクロックを計数して
、前記パルス幅Ｔｂを測定し、同図（ｈｌに示すような
１６ビ・ノドのデータ信号（斜線部分はデータを含んで
いる部分、ｘ部分は含まない部分を示す。以下同じ）を
得る。また、同パルス信号の立上り時に同図（１１に示
ずようなラッチ信号αをスタート周波数検出回路（１２
）に出力すると共に、同パルス信号立「り時には同図（
」）に示すようなランチ信号βをエンド周波数検出回路
（１３）に４出力する。スタート周波数検出回路（１２
）、エンド周波数検出、回路（１３）では上述のように
α、β出力時のカウンタ、回路（２）のデータ信号をラ
ンチすることにより１．周波数変調されたマイクロ波の
周波数ｆα、「βを検出し、それぞれ同図（ｋｌ、 ｉ
ｌｌに示すようなデータ信号を出力する。
、内部のクロ・ツクパルス発生器のクロックを計数して
、前記パルス幅Ｔｂを測定し、同図（ｈｌに示すような
１６ビ・ノドのデータ信号（斜線部分はデータを含んで
いる部分、ｘ部分は含まない部分を示す。以下同じ）を
得る。また、同パルス信号の立上り時に同図（１１に示
ずようなラッチ信号αをスタート周波数検出回路（１２
）に出力すると共に、同パルス信号立「り時には同図（
」）に示すようなランチ信号βをエンド周波数検出回路
（１３）に４出力する。スタート周波数検出回路（１２
）、エンド周波数検出、回路（１３）では上述のように
α、β出力時のカウンタ、回路（２）のデータ信号をラ
ンチすることにより１．周波数変調されたマイクロ波の
周波数ｆα、「βを検出し、それぞれ同図（ｋｌ、 ｉ
ｌｌに示すようなデータ信号を出力する。
周期針数回路（１１）のデータ信号を人力された距離演
算回路（１４）は前記ビート周期Ｔｂよりマイクロ波回
路（４）のミキシングポイントから被測定面までの距離
Ｘを次の（３）式で演算し、同図（ホ）に示すようなデ
ータ信号を出力する。
算回路（１４）は前記ビート周期Ｔｂよりマイクロ波回
路（４）のミキシングポイントから被測定面までの距離
Ｘを次の（３）式で演算し、同図（ホ）に示すようなデ
ータ信号を出力する。
ｘ −２Ｒ＋ Ｌ（ｆｌ ＝ （Ｔ ｅ ／ΔＦ）
・ （Ｃ／’ｒｂ）（３） 但し、Ｔｅ；マイクロ波周波数の変調周期ΔＦ；最大周
波数偏移 Ｒ；アンテナより被測定面までの距離 ｆα、ｆβを入力された固定距離演算回路（１５）では
、まず、ｆα、ｆβの平均周波数ｆを演算し、上述の１
２）式に（１１式を代入した次の（４）式により、マイ
クロ波回路（４）′のミキシングポイントからアンテナ
までの固定距離Ｌ （ｆ）を演算し、同図（ｎ）に示す
ような固定距離データ信号を出力する。
・ （Ｃ／’ｒｂ）（３） 但し、Ｔｅ；マイクロ波周波数の変調周期ΔＦ；最大周
波数偏移 Ｒ；アンテナより被測定面までの距離 ｆα、ｆβを入力された固定距離演算回路（１５）では
、まず、ｆα、ｆβの平均周波数ｆを演算し、上述の１
２）式に（１１式を代入した次の（４）式により、マイ
クロ波回路（４）′のミキシングポイントからアンテナ
までの固定距離Ｌ （ｆ）を演算し、同図（ｎ）に示す
ような固定距離データ信号を出力する。
Ｌ（ｆしく１１７５７１７７７石”）＋Ｌ＋−・−（４
） 但し、ｆ＝％・ （ｆα＋ｆβ） 減算器（１６）ではアンテナより被測定面までの距離Ｒ
を次の（５）式で演算し、同図（０）に示すような距離
データ信号を出力回路（１７）に入力して、同出力回路
（１７）よりアナログ信号に変換して外部に出力する。
） 但し、ｆ＝％・ （ｆα＋ｆβ） 減算器（１６）ではアンテナより被測定面までの距離Ｒ
を次の（５）式で演算し、同図（０）に示すような距離
データ信号を出力回路（１７）に入力して、同出力回路
（１７）よりアナログ信号に変換して外部に出力する。
Ｒ＝％・ （ｘ−Ｌ（ｆ））
＝’Ａ ・（Ｃ−Ｔｏ） ／ （ΔＦ−Ｔｂ）’Ａ−Ｌ
（ｆｌ −（５１このよう
に、導波管中におけるマイクロ波の周波数変化による誤
差を補正し・た結果、第３図に示すように、従来の装置
では周波数の変化に依存して測定距１１１１Ｒは変化し
ていたが、本発明では周波数が変化しても測定距離Ｒは
ほぼ一定となり、周波数の影響を受けないことがわかる
。尚、この測定結果は導波管長をＩｏｎとし、最大周波
数偏移ΔＦを９．０から１０．０ Ｇ ＨｚまでのＩＧ
Ｈｚとして測定したものである。従って、従来性じてい
た固定距離の変化による誤差を補正することができる。
（ｆｌ −（５１このよう
に、導波管中におけるマイクロ波の周波数変化による誤
差を補正し・た結果、第３図に示すように、従来の装置
では周波数の変化に依存して測定距１１１１Ｒは変化し
ていたが、本発明では周波数が変化しても測定距離Ｒは
ほぼ一定となり、周波数の影響を受けないことがわかる
。尚、この測定結果は導波管長をＩｏｎとし、最大周波
数偏移ΔＦを９．０から１０．０ Ｇ ＨｚまでのＩＧ
Ｈｚとして測定したものである。従って、従来性じてい
た固定距離の変化による誤差を補正することができる。
上述したように本発明によれば、導波管中におけるマイ
クロ波の周波数変化による測定誤差を補正したので、導
波管が長い場合にでも距離の精密測定を行なえる効果を
奏するものである。
クロ波の周波数変化による測定誤差を補正したので、導
波管が長い場合にでも距離の精密測定を行なえる効果を
奏するものである。
第１１１Ｉ４は本発明に係る装置の一実施例のブロック
図、第２図はその実施例におけるタイムチャート、第３
図は従来の装置と本発明装置とで距離を測定したＶ、巣
を示す特性図である。 （１）；り鬼ドック回路 （２）；カウンタ回路＋３１
ｉＤ／Δ変換回路 （４）；マイクロ波回路（５）：送
信アンテナ （６）、・（９）；導波管（７）；被測定
面 （８）；受信アンテナａ・；アナログ信号処理回路 （１１） ｉ周期針数回路 （１２） ｉスタート周波数検出回路（１３） ：
エンド周波数検出回路 （１４） ；距離演算回路 （１５） ？固定距離演算回路 （１６） ｉ減算器 （１７） ｉ出力回路 特許出願人 株式会社 安川電機製作所代理人 伊東
９忠（ほか２名）
図、第２図はその実施例におけるタイムチャート、第３
図は従来の装置と本発明装置とで距離を測定したＶ、巣
を示す特性図である。 （１）；り鬼ドック回路 （２）；カウンタ回路＋３１
ｉＤ／Δ変換回路 （４）；マイクロ波回路（５）：送
信アンテナ （６）、・（９）；導波管（７）；被測定
面 （８）；受信アンテナａ・；アナログ信号処理回路 （１１） ｉ周期針数回路 （１２） ｉスタート周波数検出回路（１３） ：
エンド周波数検出回路 （１４） ；距離演算回路 （１５） ？固定距離演算回路 （１６） ｉ減算器 （１７） ｉ出力回路 特許出願人 株式会社 安川電機製作所代理人 伊東
９忠（ほか２名）
Claims (1)
- １、マイクロ波を連続的に周波数変調して被測定面に送
信する装置と、該装置より送信された送信波と被測定面
で反射した波とをミキシングして、そのビート周波数の
ビート周期を測定することにより、ミキシングポイント
から被測定面までの距”離を演算する装置と、前記ビー
ト周期測定時の任意の時刻における周波数変調されたマ
イクロ波の周波数から、その周波数の関数であるミキシ
ングポイントから導波管を通ってアンテナまでの固定距
離を演算する装置と、該装置で演算された固定距離を前
記ミキシングポイントから被測定面までの距離より減算
してアンテナから被測定面までの距離を演算する装置と
、該装置により演算された距離を外部に出力する装置と
から構成したことを特徴とするマイクロ波距離測定装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57057606A JPS58173474A (ja) | 1982-04-06 | 1982-04-06 | マイクロ波距離測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57057606A JPS58173474A (ja) | 1982-04-06 | 1982-04-06 | マイクロ波距離測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58173474A true JPS58173474A (ja) | 1983-10-12 |
| JPH0131595B2 JPH0131595B2 (ja) | 1989-06-27 |
Family
ID=13060515
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57057606A Granted JPS58173474A (ja) | 1982-04-06 | 1982-04-06 | マイクロ波距離測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58173474A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5830607A (en) * | 1992-11-21 | 1998-11-03 | Ulvac Coating Corporation | Phase shift mask and manufacturing method thereof and exposure method using phase shift mask |
| JP2003090876A (ja) * | 2001-09-17 | 2003-03-28 | Nec Eng Ltd | Ｆｗ−ｃｗ距離測定装置 |
-
1982
- 1982-04-06 JP JP57057606A patent/JPS58173474A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5830607A (en) * | 1992-11-21 | 1998-11-03 | Ulvac Coating Corporation | Phase shift mask and manufacturing method thereof and exposure method using phase shift mask |
| JP2003090876A (ja) * | 2001-09-17 | 2003-03-28 | Nec Eng Ltd | Ｆｗ−ｃｗ距離測定装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0131595B2 (ja) | 1989-06-27 |
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