JPS58167437A - 気相反応ガラス製造装置の原料ガス供給器 - Google Patents
気相反応ガラス製造装置の原料ガス供給器Info
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- JPS58167437A JPS58167437A JP4757682A JP4757682A JPS58167437A JP S58167437 A JPS58167437 A JP S58167437A JP 4757682 A JP4757682 A JP 4757682A JP 4757682 A JP4757682 A JP 4757682A JP S58167437 A JPS58167437 A JP S58167437A
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- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01413—Reactant delivery systems
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
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- C03B2207/80—Feeding the burner or the burner-heated deposition site
- C03B2207/81—Constructional details of the feed line, e.g. heating, insulation, material, manifolds, filters
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- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/80—Feeding the burner or the burner-heated deposition site
- C03B2207/85—Feeding the burner or the burner-heated deposition site with vapour generated from liquid glass precursors, e.g. directly by heating the liquid
- C03B2207/86—Feeding the burner or the burner-heated deposition site with vapour generated from liquid glass precursors, e.g. directly by heating the liquid by bubbling a gas through the liquid
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、単成分乃至多成分ガラスを気相から製造する
装置の反応槽への原料ガス供給器の改良に関する。
装置の反応槽への原料ガス供給器の改良に関する。
気相反応を利用しガラスを製造する一つの方法として、
プラズマトーチなどＫよって内部を高温に保った反応槽
内に原料ガスと反応ガスを別々の口よ）導入しガラス状
反応物を得る方法がある。その代表的例としては、８ｉ
Ｃ１＋と０１の反応によるＳ＜Ｏｓガラスの合成が挙げ
られる。この場合、室温で液体状である８ｉＣ１４にＡ
デなどの輸送用ガス上吹き込み、ＡデガスＫ ８ｉＣ１
番ガスを飽和させ、得られた混合ガスを輸送管を通じて
反応槽に導入し、反応ガスとして酸素プラズマ炎あるい
は酸素を含むアルゴンプラズマ炎と反応させｓｈｏ、ガ
ラスを得る方法がとられている。
プラズマトーチなどＫよって内部を高温に保った反応槽
内に原料ガスと反応ガスを別々の口よ）導入しガラス状
反応物を得る方法がある。その代表的例としては、８ｉ
Ｃ１＋と０１の反応によるＳ＜Ｏｓガラスの合成が挙げ
られる。この場合、室温で液体状である８ｉＣ１４にＡ
デなどの輸送用ガス上吹き込み、ＡデガスＫ ８ｉＣ１
番ガスを飽和させ、得られた混合ガスを輸送管を通じて
反応槽に導入し、反応ガスとして酸素プラズマ炎あるい
は酸素を含むアルゴンプラズマ炎と反応させｓｈｏ、ガ
ラスを得る方法がとられている。
而して、従来は、上述のような具体的原料の如何に係ら
ず、輸送管からガラス原料ガスと輸送用ガスからなる混
合ガスを反応槽に導入する場合、細管から直接噴出させ
ていた。しかし、この方法を用いると、細管先端部で反
応用ガスと混合ガスが直接接触する九めに１細管光電部
に、生成されたガラスがツララ状に堆積し、この堆積物
がガス流を乱すとともに１ノズルを目詰ｔ、ｂさせるこ
とになシ長時間のガラス製造は不可能になるという欠点
があった。
ず、輸送管からガラス原料ガスと輸送用ガスからなる混
合ガスを反応槽に導入する場合、細管から直接噴出させ
ていた。しかし、この方法を用いると、細管先端部で反
応用ガスと混合ガスが直接接触する九めに１細管光電部
に、生成されたガラスがツララ状に堆積し、この堆積物
がガス流を乱すとともに１ノズルを目詰ｔ、ｂさせるこ
とになシ長時間のガラス製造は不可能になるという欠点
があった。
本発明は、基本的にはこの点に龜てなされたもので、反
応槽へ原料ガスを正に噴出する吹出口を形成するノズル
に改良を施し、目詰シを防いで長時間連続運転の可能な
原料ガス供給器を開示せんとしたものである。
応槽へ原料ガスを正に噴出する吹出口を形成するノズル
に改良を施し、目詰シを防いで長時間連続運転の可能な
原料ガス供給器を開示せんとしたものである。
更にまた、本発明は、付随的には上記目的に加え、従来
は使用の難しかつえ高融点及び／或いは低蒸気圧原料も
合理的に用い得るように図っている。
は使用の難しかつえ高融点及び／或いは低蒸気圧原料も
合理的に用い得るように図っている。
この付随的な目的に就き説明すると、先に例を挙げ九８
ｉＣｌ＋のような原料では、融点がｉｉ！温以下で、か
つ十分な蒸気圧を持つため、輸送に特に間ｍはないが、
これと異なり、融点が室温以上で、かつ、蒸気圧が低い
物質を原料とする場合には、輸送ガス中にガラス合成に
必要な原料ガス量を飽和させるために、原料物質を高温
に加熱し、かつ、輸送中の結露、凍結を防ぐために輸送
管も高温に保持する必要がある。このことは輸送路′を
豪雑化し、かつ、加熱用ヒーター、輸送管および断熱材
の材質など材料の制約、加熱の九めの大きなエネルギ消
費をきたす。
ｉＣｌ＋のような原料では、融点がｉｉ！温以下で、か
つ十分な蒸気圧を持つため、輸送に特に間ｍはないが、
これと異なり、融点が室温以上で、かつ、蒸気圧が低い
物質を原料とする場合には、輸送ガス中にガラス合成に
必要な原料ガス量を飽和させるために、原料物質を高温
に加熱し、かつ、輸送中の結露、凍結を防ぐために輸送
管も高温に保持する必要がある。このことは輸送路′を
豪雑化し、かつ、加熱用ヒーター、輸送管および断熱材
の材質など材料の制約、加熱の九めの大きなエネルギ消
費をきたす。
そこで、本発明では、折角、ノズルに改良を施し友供給
器を新たに作るのであるから、これに際し、こうした高
融点、低蒸気圧のガラス原料物質も、長丸−の、しかも
加熱しながらの輸送路を用いることなく採用できる供給
機を提供せんとしたのである。
器を新たに作るのであるから、これに際し、こうした高
融点、低蒸気圧のガラス原料物質も、長丸−の、しかも
加熱しながらの輸送路を用いることなく採用できる供給
機を提供せんとしたのである。
以下、添付の図面に即し本発明の実施例に就き説明する
。この実施例は、先の基本的表課題に加え、付随的課題
をも解決する望ましい実施例である。
。この実施例は、先の基本的表課題に加え、付随的課題
をも解決する望ましい実施例である。
一般に、この種のガラス製造装置は、内部にプラズマ炎
／を生ずるプラズマトーチを有する石英ガラス製等の反
応槽３を持ち、この反応槽には、一般に半径方向に対向
して一対の側壁開口乃至ガス導入ロ弘、弘がアシ、この
ガス導入日参、参に対してガス供給器を機械的に位置決
め固定するための枝管ｊ、！が設けられている、本発明
のガス供給器は必要に応じてこれ等両独管ｊｔ、ｊ内に
収めても良いが、以下では片方に就いてのみ説明する。
／を生ずるプラズマトーチを有する石英ガラス製等の反
応槽３を持ち、この反応槽には、一般に半径方向に対向
して一対の側壁開口乃至ガス導入ロ弘、弘がアシ、この
ガス導入日参、参に対してガス供給器を機械的に位置決
め固定するための枝管ｊ、！が設けられている、本発明
のガス供給器は必要に応じてこれ等両独管ｊｔ、ｊ内に
収めても良いが、以下では片方に就いてのみ説明する。
尚、反応槽内には生成したガラスの支持棒コ岬もある。
本発明のガス供給器６の外殻構造乃至ノ・ウジング７及
びこれを石英枝管ｊ：て収めて固定する手段は公知のも
のと同様で喪い。例えば、ハウジング７は石英製の管状
乃至筒状のもので良く、枝管ｊ内に同心状に略々密に刺
入するもので良く、公知の接続ジョイン５（でＵ液管に
取外し可能に固定されていて良い。また、この供給器の
ハウジング端末には、同じく公知適当な接続ジョイント
タを介して輸送ガス供給管（テフロ′ン製Ｉｆ）１０の
出力端末が接続されている。この輸送ガス供給管は後述
の具体的製作例に応じて、バブラ／／を介するとか或い
は直接に輸送ガス刺入ボンベ／コに接続される。
びこれを石英枝管ｊ：て収めて固定する手段は公知のも
のと同様で喪い。例えば、ハウジング７は石英製の管状
乃至筒状のもので良く、枝管ｊ内に同心状に略々密に刺
入するもので良く、公知の接続ジョイン５（でＵ液管に
取外し可能に固定されていて良い。また、この供給器の
ハウジング端末には、同じく公知適当な接続ジョイント
タを介して輸送ガス供給管（テフロ′ン製Ｉｆ）１０の
出力端末が接続されている。この輸送ガス供給管は後述
の具体的製作例に応じて、バブラ／／を介するとか或い
は直接に輸送ガス刺入ボンベ／コに接続される。
本発明の特徴の一つは、ガス供給器乙の噴出端に設けら
れるノズル／３に見られる。このノズル１３は、別体に
製作された後、ノ・ウジング７内に千の一口端から挿入
、固定されても良く、材質も本来は任意適当なものを選
べるが、この実施例では後述の耐熱性を満たすためにも
ノズル材質に石英ガラスを考え、従って、同じ材質であ
るハウジング７の成形時に一体成形している。
れるノズル／３に見られる。このノズル１３は、別体に
製作された後、ノ・ウジング７内に千の一口端から挿入
、固定されても良く、材質も本来は任意適当なものを選
べるが、この実施例では後述の耐熱性を満たすためにも
ノズル材質に石英ガラスを考え、従って、同じ材質であ
るハウジング７の成形時に一体成形している。
ノズル／３は、半径方向内方に肉厚となって軸方向透孔
を細管／≠として形成しているが、出口乃至噴出端にお
いてはラッパ状乃至テーパ状噴出口／ｊを形成している
。このテーパ状噴出口の幽骸テーパ角は、本来任意であ
るが、一般には９０°±４５°１！度が考えられ、更に
成形の容易性を加味すると７（ｆ±２０°稚度が望まし
い。但し、単一のテーパ角に拘わることはなく、エクス
ポネンシャルホーン状にテーバ曲率が部位毎に変化して
いくものでも良い。
を細管／≠として形成しているが、出口乃至噴出端にお
いてはラッパ状乃至テーパ状噴出口／ｊを形成している
。このテーパ状噴出口の幽骸テーパ角は、本来任意であ
るが、一般には９０°±４５°１！度が考えられ、更に
成形の容易性を加味すると７（ｆ±２０°稚度が望まし
い。但し、単一のテーパ角に拘わることはなく、エクス
ポネンシャルホーン状にテーバ曲率が部位毎に変化して
いくものでも良い。
而して、このように、原料ガスを細管／Ｉ／Ｌから直接
にではなく、テーパ状噴出口／！を介して噴出するよう
に図ると、例えはＯｓのような反応ガスが細管１４Ａ内
に侵入する程度を大きく減少でき、この細管内で原料ガ
スと反応ガスとが接触して生成した反応物がこの細管を
目詰りさせる不都合を防ぐことができる。実際上、噴出
口がテーバ状となっていると、この部分に反応物が多少
付着して本、細管からの原料ガスの噴出は続行でき、現
に、在来の供給器ではせいぜい５０分輌の連続成形時間
しか得られなかったものが、本発明を適用した開口角７
０°のノズルを持つ供給器では、最低でも６時間以上の
連続成形を可能としている。
にではなく、テーパ状噴出口／！を介して噴出するよう
に図ると、例えはＯｓのような反応ガスが細管１４Ａ内
に侵入する程度を大きく減少でき、この細管内で原料ガ
スと反応ガスとが接触して生成した反応物がこの細管を
目詰りさせる不都合を防ぐことができる。実際上、噴出
口がテーバ状となっていると、この部分に反応物が多少
付着して本、細管からの原料ガスの噴出は続行でき、現
に、在来の供給器ではせいぜい５０分輌の連続成形時間
しか得られなかったものが、本発明を適用した開口角７
０°のノズルを持つ供給器では、最低でも６時間以上の
連続成形を可能としている。
次に、この実施例の更に望ましい構成に就き述べると、
ハウジング７内に、あって、ノズル／３の近傍には、高
融点、低蒸気圧のガラス原料物質を収めておくのに特に
望ましい原料気化容器乃至ボート／４が取出可能に配さ
れている。そして、このボート／Ａのある部分のハウジ
ング周囲ＫＦｉ、公知の温度調節可能なヒータ等の加熱
源１７が配されている。
ハウジング７内に、あって、ノズル／３の近傍には、高
融点、低蒸気圧のガラス原料物質を収めておくのに特に
望ましい原料気化容器乃至ボート／４が取出可能に配さ
れている。そして、このボート／Ａのある部分のハウジ
ング周囲ＫＦｉ、公知の温度調節可能なヒータ等の加熱
源１７が配されている。
従って、この部分で原料物質を加熱気化させてやれば、
ハウジング７内に送られてくる輸送ガスに対してこの部
分で飽和条件を作シ、反応槽Ｊ内に直ぐに送シ込んでや
ることがで事る。
ハウジング７内に送られてくる輸送ガスに対してこの部
分で飽和条件を作シ、反応槽Ｊ内に直ぐに送シ込んでや
ることがで事る。
即ち、在来のように結寓乃至凍結の虞れもなく、輸送管
１０をその長さの全長に亘って加熱する大規模、高価な
加熱手段も景らず、高融点物質をも使用することができ
る。尚、温度調節により、気相反応が所定の割合で起き
るように蒸気圧を調節できることは言うまでもない。
１０をその長さの全長に亘って加熱する大規模、高価な
加熱手段も景らず、高融点物質をも使用することができ
る。尚、温度調節により、気相反応が所定の割合で起き
るように蒸気圧を調節できることは言うまでもない。
また、このような配置の場合、先に述べたように、ノズ
ル１３をハウジングと一体成形した石英ガラス製の肉厚
部材とすることは、反応槽３からの輻射熱により一ロが
変形するのを防止し１１ 得る外、ヒータ勢の加熱源１７に対しても熱的機械的抵
抗力を強く採ることができて望ましい。
ル１３をハウジングと一体成形した石英ガラス製の肉厚
部材とすることは、反応槽３からの輻射熱により一ロが
変形するのを防止し１１ 得る外、ヒータ勢の加熱源１７に対しても熱的機械的抵
抗力を強く採ることができて望ましい。
以下には、本装置を用いてのガラス製造の実際例を示し
ておく。
ておく。
一例として、Ｓｉｏ２とＮｄ、Ｏ，からなる二成分ガラ
スを製造する場合、原料に５ｉＣ１６とＮｔｔＣｌｍ、
輸送用ｋｒガスからなる混合ガスを作り、これを１０，
０００〜２０，０００℃の酸素プラズマ炎ｌの発生（７
ている反応槽３に送り込み ＳｓＣｌ ４ ＋Ｏ！→ＳｓＯ龜＋２Ｃ１＊４ＮｄＣＬ
ｍ ＋ ５０ｍ→２ＮｄｔＯｍ ＋ ６Ｃｌ＠なる気相
反応を起させ、生成した酸化物をガラス化させる方法を
とる。この場合、Ｓｉ（：：！４の方は、その室温付近
の蒸気圧が２００ ｔｏｒｒ程度はあるので、ボンベ／
、２からＡｔをバプラ／／中の５ｉＣ１゜内に吹き込む
ことによって、５ｉＣ１４ガスとＡｒの混合ガスを得る
ことができ、従ってこの混合ガスに就いては、在来通シ
、バプラ／／から反応槽Ｊへ輸送管ｔｏｔ通して輸送し
得る。しかし、ＮｄＣ１５の蒸気圧は室温で１０’−″
ｔｏｎ−程度であって極めて低く、室温での輸送は困難
である。そこで、何らかの方法を用いてＮｔＣｔ、を加
熱して蒸気圧管上げて（１ｏｓ□℃で１ｔｏｗ）、反応
槽に送ｐ込む必要がある。しかるに本装置では、供給器
６内に石英ガラス製尋のボート／孟が反応槽３に近接し
て配置しであるので、この中にＮｄＣｔ ａｔ入れ、嬌
囲より電気炉乃至加熱源／７でＮｄＣｌ ｓの所定蒸気
圧が発生する温度を設定すれば、このように加熱された
ＮｄＣｌ ｓ上にＡｒとＳ＜（ｊ４からなる混合ガスを
流すと、ＮｄＣ１５ガスがさらにこの混合ガスに飽和し
、結露、凍結することなくラッパ状噴出口／ｊから反応
槽３に噴出されていく。本出願人の実用化例ではノズル
／３は石英ガラス製で、直径１１ＩＩＩφ、長さ１０■
の細管／参、開口角が７０°のラッパ状噴出口／Ｊを持
つ。混合ガス噴出時に、反応槽は、酸素プラズマ流が上
部より流れているため、混合ガス中の塩化物は、九だち
に酸化物となる。酸素はノズル噴出端がラッパ型にｍ成
されているため、ガス吹き出し口までは到達できず、細
管出口での酸化物の堆積はない。したがって、長時間の
混合ガスの供給が可能である。既述のように、反応槽に
半径方向に対向して本装置を一対用い、二個のＮｄｅ
ｌ 。
スを製造する場合、原料に５ｉＣ１６とＮｔｔＣｌｍ、
輸送用ｋｒガスからなる混合ガスを作り、これを１０，
０００〜２０，０００℃の酸素プラズマ炎ｌの発生（７
ている反応槽３に送り込み ＳｓＣｌ ４ ＋Ｏ！→ＳｓＯ龜＋２Ｃ１＊４ＮｄＣＬ
ｍ ＋ ５０ｍ→２ＮｄｔＯｍ ＋ ６Ｃｌ＠なる気相
反応を起させ、生成した酸化物をガラス化させる方法を
とる。この場合、Ｓｉ（：：！４の方は、その室温付近
の蒸気圧が２００ ｔｏｒｒ程度はあるので、ボンベ／
、２からＡｔをバプラ／／中の５ｉＣ１゜内に吹き込む
ことによって、５ｉＣ１４ガスとＡｒの混合ガスを得る
ことができ、従ってこの混合ガスに就いては、在来通シ
、バプラ／／から反応槽Ｊへ輸送管ｔｏｔ通して輸送し
得る。しかし、ＮｄＣ１５の蒸気圧は室温で１０’−″
ｔｏｎ−程度であって極めて低く、室温での輸送は困難
である。そこで、何らかの方法を用いてＮｔＣｔ、を加
熱して蒸気圧管上げて（１ｏｓ□℃で１ｔｏｗ）、反応
槽に送ｐ込む必要がある。しかるに本装置では、供給器
６内に石英ガラス製尋のボート／孟が反応槽３に近接し
て配置しであるので、この中にＮｄＣｔ ａｔ入れ、嬌
囲より電気炉乃至加熱源／７でＮｄＣｌ ｓの所定蒸気
圧が発生する温度を設定すれば、このように加熱された
ＮｄＣｌ ｓ上にＡｒとＳ＜（ｊ４からなる混合ガスを
流すと、ＮｄＣ１５ガスがさらにこの混合ガスに飽和し
、結露、凍結することなくラッパ状噴出口／ｊから反応
槽３に噴出されていく。本出願人の実用化例ではノズル
／３は石英ガラス製で、直径１１ＩＩＩφ、長さ１０■
の細管／参、開口角が７０°のラッパ状噴出口／Ｊを持
つ。混合ガス噴出時に、反応槽は、酸素プラズマ流が上
部より流れているため、混合ガス中の塩化物は、九だち
に酸化物となる。酸素はノズル噴出端がラッパ型にｍ成
されているため、ガス吹き出し口までは到達できず、細
管出口での酸化物の堆積はない。したがって、長時間の
混合ガスの供給が可能である。既述のように、反応槽に
半径方向に対向して本装置を一対用い、二個のＮｄｅ
ｌ 。
源を用いて、炉の温度を９６０℃、ノズル−個への輸送
用アルゴン流量を０．４ｔ／ｌｎｉ％、５＝Ｃｔ、の温
度を４℃としたとき、得られた５ｓｏｔガラス中に含ま
れるＮｄ、Ｏ，は０．１ ｍｏ Ｌ ％であった。Ｎｄ
Ｃ１，用炉の温度をさらに上昇させ、かつ、５ｊＣｊ、
の温度を下げた場合は、さらに、ＮｄｔＯｉが高濃度に
混入した５ｉｏｔガラスが得られる。
用アルゴン流量を０．４ｔ／ｌｎｉ％、５＝Ｃｔ、の温
度を４℃としたとき、得られた５ｓｏｔガラス中に含ま
れるＮｄ、Ｏ，は０．１ ｍｏ Ｌ ％であった。Ｎｄ
Ｃ１，用炉の温度をさらに上昇させ、かつ、５ｊＣｊ、
の温度を下げた場合は、さらに、ＮｄｔＯｉが高濃度に
混入した５ｉｏｔガラスが得られる。
上記実施例から推して理解されるように、一つの反応槽
の周囲に周方向に適宜な角度間隔を置いて三つ以上の本
発明ガス供給器を配することもでき、それぞれに別の原
料を入れて更に他の゛多成分ガラスを製造することも可
能である。
の周囲に周方向に適宜な角度間隔を置いて三つ以上の本
発明ガス供給器を配することもでき、それぞれに別の原
料を入れて更に他の゛多成分ガラスを製造することも可
能である。
勿論、いくつかには同じ原料、残シには他の原料、とい
う組み合せも可能である。
う組み合せも可能である。
以上のように、本発明の原料ガス供給器によれば、反応
生成物のガス噴出口への堆樵−いう問題を十分に解決で
き、長時間のメインテナンスなしの連続製造が可能であ
るという大きな効果が得られる。また、付随的目的にも
沿って新たなガス供給器として内部へのボート設置、加
熱源の配備をもすれば、従来は気相送シ込みが困難とさ
れてい友低蒸気圧原料物質の援用も可能となる優位性を
示す。
生成物のガス噴出口への堆樵−いう問題を十分に解決で
き、長時間のメインテナンスなしの連続製造が可能であ
るという大きな効果が得られる。また、付随的目的にも
沿って新たなガス供給器として内部へのボート設置、加
熱源の配備をもすれば、従来は気相送シ込みが困難とさ
れてい友低蒸気圧原料物質の援用も可能となる優位性を
示す。
図面は本発明の原料ガス供給器の望ましい一実施例の概
略構成図、である。 図中、Ｊは反応種、参は反応槽側壁開口、乙は全体とし
ての原料ガス供給器、７はそのハウジング、／Ｊはノズ
ル、ｌ弘は細管、／ｊはテーバ状乃至ラッパ状噴出口、
１４は原料気化容器乃至ボート、／７Ｆｉ、加熱源、で
ある。
略構成図、である。 図中、Ｊは反応種、参は反応槽側壁開口、乙は全体とし
ての原料ガス供給器、７はそのハウジング、／Ｊはノズ
ル、ｌ弘は細管、／ｊはテーバ状乃至ラッパ状噴出口、
１４は原料気化容器乃至ボート、／７Ｆｉ、加熱源、で
ある。
Claims (2)
- （１） 気相反応ガラス製造装置の反応槽へ原料ガス
噴出口を１壕せる原料ガス供給器であって、上記原料ガ
ス噴出口が細管の出口からテーパ状に開いた開口となっ
ていることを４！黴とする原料ガス供給器。 - （２） 気相反応ガラス製造装置の反応槽への原料ガ
ス供給器であって、 骸反応檜へ取付けられるハウジングと、該ハウジング内
に収められ、上記反応槽へ原料ガス噴出口を臨ませると
共に１該噴出口を細管の出口からテーバ状に用いた開口
として形成するノズルと、 該ハウジング内に収められ、該ノズルの後方近傍に位置
する原料物質気化客器と、該ハウジングの周囲に設けら
れ、該気化容器中の原料物質を加熱する加熱源と、 から成ることを特徴とする原料ガス供給器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4757682A JPH0234894B2 (ja) | 1982-03-25 | 1982-03-25 | Kisohannogarasuseizosochinogenryogasukyokyuki |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4757682A JPH0234894B2 (ja) | 1982-03-25 | 1982-03-25 | Kisohannogarasuseizosochinogenryogasukyokyuki |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58167437A true JPS58167437A (ja) | 1983-10-03 |
| JPH0234894B2 JPH0234894B2 (ja) | 1990-08-07 |
Family
ID=12779066
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4757682A Expired - Lifetime JPH0234894B2 (ja) | 1982-03-25 | 1982-03-25 | Kisohannogarasuseizosochinogenryogasukyokyuki |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0234894B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62256737A (ja) * | 1986-04-24 | 1987-11-09 | ブリテイシユ・テレコミユニケ−シヨンズ・パブリツク・リミテツド・カンパニ | 光フアイバ母材の製造方法 |
-
1982
- 1982-03-25 JP JP4757682A patent/JPH0234894B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62256737A (ja) * | 1986-04-24 | 1987-11-09 | ブリテイシユ・テレコミユニケ−シヨンズ・パブリツク・リミテツド・カンパニ | 光フアイバ母材の製造方法 |
| JPH0575704B2 (ja) * | 1986-04-24 | 1993-10-21 | British Telecomm |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0234894B2 (ja) | 1990-08-07 |
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