JPS58165049A - ガス検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は異なる既知の成分からなる混合ガスの成分ガス
の種類および濃度郷のガス情報をＩｌｌ定するガス検出
方法に係るものであ・シ、゛特にアルコール等の妨害ガ
スによる誤動作を発生しないガス検出装置Ｋｒ１ｌする
４のである。−従来、酸化スズ（ＳｎＯ曹）、へ酸化鉄
（”ｔ’ｓ）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）などの半導体素子は
ガス検出素子と５して使い易く安価であるために多く用
いられてきた。その動作原理は、上記半導体ガス検出素
子の活性部における吸着酸素との電子交換による該半導
体ガス検出素子導電′率″（以下、素子導電率と称す）
の変化を、第１図−に−例を示す検出回路で電圧出力と
して取〕出すものである。

第１図−で１１はガス検出素子、１２は固定抵抗体、１
３は検出電圧計である。

検出ガス濃度と素子導電・率の関係は、通常第１図φ）
Ｋ示すアルコール蒸気（’ｆ１３図１４）、水素−（同
図１５）、−酸化炭素（同図１６）、メタン（同図１７
）をＳｎＯ，系検出素子で検出した代表的な検出特性が
示すように、特定の関数特性を有している九めに実用的
測定に耐えるのである。

しかしながら、近年みられるような自動車の排気ガス、
化学プラン）Ｋおける漏洩ガスの検出な□どの混合ガス
の分離定量技術を必要とす為社会的ニーズに対して、上
記した従来形のガス検出素子には次に述べるよ゛う桑欠
点がある。すなわち、水素の検出素子であふパラジ瓢−
ム添加の酸化亜鉛（ＺｒＬＯ）系検出素子の検出特性（
第２図）を例として説明するならば、該素子は図示の如
く、水素（同図２１）、−酸化縦索（同図２２）、プロ
パン（同ｔｊｔＪ２Ｂ）に対し異なる検出特性を有す゛
るため、上記３種類のガスからなる混合ガスに−する検
出出力には各成分ガスの検出出力がほぼ相加されて検出
されることとな）、水素の検出精度が著しく劣化するの
である。この現象は水素以外のガスの吸着が水素の吸着
能に変動を与えるために生ずると考えられるが、上記し
た酸化亜鉛系検出素子に限らず、いずれのガス検出−子
材料に４多少はみられる一般的な現象であプ、従来の半
一体ガス検出素子の大きな欠点となっていたのである。

また４１　ｖｃ　ｓ市販のガス警報器に一般的に使用さ
れているメタンの検出−子＋ある酸化スズ（ＳルＯｓ）
系検出素子におい七も同様の現象、つま）メタンだけで
なくそれ、、竺外のガスをも検出する特性を有しておシ
、彎ヤ”１．、、、も一般居住家屋内において高い頻度
の発生が予想される調理、飲酒等の際に生ずるアルコー
ル蒸気に対する検出出力は、同濃度のメタンの検出出力
と同程度かもしくはそれ以上であるため、アルコール蒸
気を検出しているにもかかわらず、あたかもメタンを検
出したかの如＜Ｃｔ＠が発生されることがあ夛、前述の
誤動作は従来のガス警報器の大きな欠点となってい九の
である。

本発明の目的は、上記した従来技術の欠点をなくシ、既
知の成分からなる混合ガスの種類および一度等のガス情
報を迅速に検出する高精度かつ低価格々ガス検出装置を
提供することにある。　５ 本発明の要点は、半導体ガス検出素子（以下、検出素子
と称す４）における検出ガス濃度に対する検出特性の様
態を支配するｓａ値（以下、検出特性値と称す１．：）
の差異を逆に利用することにあ６・す７わち″針検６対
象”′を１類とＬ−九場合ＫＮ１’Ａ検ａｓ’ガスのそ
れぞれの濃度に対する□、、、ヵ８−″・−０５、。□
□□ １（ け、各検□出素子にづいて各検出ガス濃度に対する検出
特性値をあらかじめ測定しておき、各検出素子ごとに測
定される検出出力と各検出素子の有する各検出ガスに対
する既知の検出特性値よシ算出される係数（以下、特性
係数と称す）とから組立てられる１元−次連立方程式ｔ
Ｓ＜ことによ〕、混合ガスの成分ガスの種類、濃度、濃
度比、特定ガス成分の有無等のガス情報を定めるように
した点にある。

いｔ、ある特定種−の成分ガスからなる混合ガスに対す
ゐ゛・、半、導体ガス検出素子の導電率の変化は第３図
−における酸化スズ（ＳルＯｔ）系検出素子で検出した
メタンと水素（同図３１）、水素と一酸化縦索（以下Ｃ
０）（同図５２）、Ｃｏとメタン（同図３３）のそれぞ
れの混合比率に対する特性が示すように、成分ガスの混
合比率に対して直線的となるため、該混合ガスにかける
成分ガスの混合比率が既知であれば、成分ガス濃度の測
定が可能と々るのである。

また、混合ガスの成分中にアルコール蒸気が含まれる場
合は、第３図−におけるアルコール蒸気とメタンの混合
比率に対する、成分ガス濃度和を１０００７７）簿（同
図３４）、ｉｏｏｏｐ７ｍ　（同図５５）、５０００３
１１ｐｍ　（同図５６　）　、１００００７ｐＨｌ　（
同図５７）とした場合の酸化スズ（ＳｎＵ、）系検出素
子における検出特性が示すように、成分ガスの混合比率
に対して非直線的特性をもつため成分ガス一度の測定は
著しく困ｓＫなる。この現象は、半導体ガス検出素子の
活性、部においてメタン、水素、ＧＯなどのガス分子が
電子交換を行なう支配的な表面吸着酸素がＯ−であるの
に対し、アルコール蒸気に対応す′る表面吸着酸素かが
−であるためと考えられる。すなわち、素子活性部にお
いて表面吸着酸素Ｏ−が支配的に対応するメタン、水素
、ｃｏｌどのガス群については、それぞれのガスが検出
特性に与える影魯は、上記ガス群が表面吸着酸素Ｏ−と
支配的に電子交換する特性をもつため、相互に相加的と
なるのに対し、表面吸着酸素Ｏ″−が支配的に対応する
アルコール蒸気が介在する場合の検出特性は、Ｏ−と電
子交換する上記ガス群による効果と０１と電子交換する
アルコール蒸気の効果とが相乗的に作用至るのである。

しかしながら、本発明の実施例に示す如くアルコール蒸
気が検出特性に及ばず影響の関数化を実施し、アルコー
ル蒸気介在の場合には検出出力に含まれるアルコール蒸
気の効果を演算除去する方法によれば、検出特性が直線
的となる前記ガス群だけによる効果を算出することがで
き、前述と同様にして成分ガス濃度の測定が可能となる
のである。

以下本発明の理解を容易にするために、その原理を簡単
に説明すると、本発＠における基本的な技術思想は、各
素子導電率に対する混合ガスの各成分ガス湯度による寄
与がほぼ加法的であることを利用した点であみ。すなわ
ち、濃度Ｃの特定検出ガスｊＫ対す五・検出素子ｉの特
性係数ａｉｊは式（１）で算出され今、鷹ａすＷ　ｚｉ
ｊｆ）／Ｃ＋　ｎ＋ ここで％　ｙｉｊＩｃ”）は濃度Ｃの特定検出ガス）Ｋ
よる検出素子ｉの素子導電率であ）式（２）で算出され
る。

！ｌ’）　（’）−ｋｉｊ　（Ｃ＋　ｌｉｊ　）ｍ’）
　　　　　＠ここで、にり、ｌす°、ｍｉｊのそれぞれ
は検出ガスノ゛による検出素子ｉの素子導電率の変化の
様態を、濃度ＣＫ対する関数として表現した場合の特性
値である。し九がって、ａりは検出素子材料（ｉ）によ
シ変更することができる。さらに、被測定混合ガスによ
る検出素子−の素子導電率Ｇｉ祉式１３１．　（４）で
表わされる。

ここで−Ｃｊは成盆ガスｊの濃度である。

ここでは、成分ガスの濃度和が既知でない場合の解法に
ついて曖実施例５における説明で触れることとし、上記
−変相は既知であるとして説明を続ける。いオ、成分ガ
ス濃度和Ｃによシ決定すｔＬｂ各１４ｊ（ｃｌ／Ｃｔ　
（ｉ−ｊ）　成分トｆ；ｂ　Ｎ行Ｎ列行列を特性係数行
列４と表わすと、よく知られ丸線形演算による連立−次
方程式の解法に従い成分ガス濃度Ｃｊ″を式（２）から
算出することができる。

ここで、ｄｏｔ　４は行列ｌの行列式、ｑｉｊは行列Ａ
の全因子行列の（ｉｍｊ）成分である。

以上を要約すると、彼測定混合ガス？成分ガス―度Ｃｊ
　Ｉｔ、諌成盆ガスと同数個の異なる材料からなる半導
体ガス検出素子群を上記準合ガス中ＫｊｌｌｊｉＬ工１
個々のガス検出素子ごとに素子導電率を求め、それらの
値から行列演算によって一意的に求められるものである
。しかもこの計算は、各検出素子の成分ガス濃度に対す
る検出特性関数にかける特性値をあらかじめ記憶し？４
るマイク四コンビ為−タによって実施するので、実時間
処理が可能となる。

このように！−来のガス検出素子の検出特性に対する考
え方ｄＩ、被測′定混合ガス中の注目される特定成分ガ
スｊＫ対する特性係数！す＜ＣＩ／Ｃを極端に大きくす
る検出素子材料（ｉ＋を開発使用し、他の成分ガスの効
果は誤差として適当に補正して真らしい値を得ていたも
のであるのに対し、本発明は特定成分ガスｊＫ対する！
す（Ｑ／Ｃを比較的大きくして検出精度を向上させる一
方、他の成分ガスの検出出力に及ぼす効果を誤差として
無視することなく、その成分ガスの存在を示す確認値と
して利用する点が異なるのであ〕従来にない技術である
。

（５１発明のｌＩ論例とその効果 以下本発明にかかるガス検出方法および装置の実施例５
件について図面を用いて詳細に説明する０、５件の実施
例の内容を次に示す。

実施例１：６素子センサ体の構成および検出出力の演算
方法。

実施例２：センナ体の別途、の構成方法。

実施例３：実施例１および２にお妙る検出出力の演算処
理装置および方法。

実施例４：メタン、ＣＯ，アルコール蒸気湊度検出可能
な５素子センナ体の構成方法。

実施例ｓ：＊ｍ例４における検出出力の演算処理装置お
よび方法。

（実施例１）　　′ 一第４図−は本発明の混合ガス検出装置の要部であ為ガ
ス検出素子部を示す概略図である０本ガス検出素子部は
６個の検出素子（以下センナ）ａｏｌ、　ａ゛ｏ２．４
０５．４０４．４ｏｓ、　４０４がマトリックス状に配
置されている６個々のセンナは、共通の耐熱絶縁基板４
１１上にまず、金導体ペースト（例えばＤすＯルｔ　社
ｇ　Ｎｏ、　８７６０ペースト）を用いて６個の下部電
極４１２をよく知られた厚膜印刷技術によシ、所定の位
置に配、置するように形成し。

かつ下部電極４１２の接続導体４１５も形成する。

ついで下部電極４１２どとＦＩＣ６種類の１なう九検出
特性をもちうるような□レガスセンナペーストを所定厚
さく約１０電クロシ）だけ、下部電極４１２と同様の厚
膜印刷技術７′□−いて形成する。この後さらに上部電
極４１５を所定の形状、大きさに印刷形成す本、ついで
焼成温度９００℃保持時間１０分で一括焼成し、各ＡＫ
サンドイッチ構造な有し、所定の結線が施された多成分
ガス分析用センナ体が完成する。

本発明の技術的思想を実現するつぎの６種類のセンサペ
ーストを説明する。

本実施例の場合のセンナペーストは、センサ４０１　Ｋ
　Ｃ，Ｏ材料、センサ４０２１１ｃＩＦｃ）、＋Ｐｔ材
料、センサ４０３にＶＯ，＋Ａｇ材料、・センサ４０４
ＫＺルＯ＋７’ｄ材料、センサ４０５にＦ−ρ４材料、
センサ４０６にＳｎＯ，材料とし、各材料毎に高融点結
晶化ガラスを約１０囁加えて混合し、有機バインダを用
いて混練して作成した。

かかる構造のガス検出素子部からの信号（電圧値）は、
上部電極４１５と下部電極４１２との組合せによって傘
υ出される。たとえばセンサ４０２の信号は第１ｆ！目
の下部電極リード部４１６と。

第２列目の上部電極リード部４１５２とを選択して得る
とｂうごｒ”ｌ’、＜である、全体とし゛ては、上記電
極の行、および列ごとに走査して行った。第４図φ）は
第４図に）のＡ　Ａ’断面の概略構造図である。第５図
ないし第１０図は、混合ガス検出装置の要部の検出素子
部を構成するセンサ４０１ないし４０６のそれぞれ酸素
、”水素、二酸化ｌｌＩ素、−酸化炭素、・炭化水素、
水蒸気に対する検出出力電圧の夾ａ特性例を示すもので
ある。゛第５図で５１はＣｏＯ系′ガメ検出素子の酸素
（’置）に対する検出・出力特性、ＳＳは同系検出素子
の水蒸気ＣＴｏＯ）　Ｋ対する検出出力特性、５６は同
系検出素子の炭化水素に対する検出出力特性、鯖６図で
６２はＴｏ１＋Ｐｔ混合系ガス検出素子の水素（属）Ｋ
対する検出出力特性、６３は同系＼ガス検゛出素子の二
酸化電素（”％）に対する゛検出出力特性、６４は同系
ガス検知素子の・−酸化炭素＜　ＣＯ）に対する検出出
力特性、゛第７図で加祉Ｖ、Ｏ１＋７５混合系ガス検出
素子のＢ、に・対する検出出力特性、７３は同系ガス検
出素子のＮＯ，Ｋ対す、る検出出力特性。

７４は同系ガス検出素子のＣＯｋ対する検出出゛力”特
”性、７６は同系ガス検゛出素子の脚化水ご素に対′□
する検出出力特性、第８図で８２はＺ外０４−Ｐシ　混
合系ガス検出素子゛のＨ，に対する検出出力特性、８４
は同系ガス検出素子のＣＯに対′す漬”検出出力特性、
８６は同系ガス検出素子の炭化水素に対する検出出力特
性、第９−で９２はＳｎＱ、系ガ哀検出素子のＨｌに対
する検出出力特性、９４は同系ガス検出素子のＣＯＫ対
する検出出力特性、９６は同系ガス検出素子の炭化水素
に対する検出出力特性、第１０図で１０５はＦ〜ｑ系ガ
ス検出素子のＩＩＯＣｙｍｚ）ｌｔｃ対する検出出力特
性である。　　　　　　：以下本発−のガス検出装置な
使用して、ただしとこでは混゛谷ガ臘濃度；）ま〕各成
分ガス濃度め総和が５０００２−でＺ′るととが既知で
あ′暮として、６種類の成分ガスから゛な石混合ガスを
分析した例を′示す、各威容ガス濃度が５’ＯＯ’ＯＦ
’Ｆｌｌ　ｊあるときの前記各検出素子の特性係数を下
記の第１°゛表に示すン 、−１。第　１．−、表　・、−。

ガス検出゛装置の検出素子部のセンナに゛おいて分析す
べき混合ガス中のガス、すなわち酸素。

水素、二酸化窒素、−酸化炭素、水蒸気および炭化水素
によって変化した素子導電率は、検出回路および演算プ
ログラム（実施例５で示す）で信号処理された後、下記
第２表に示す値が得られた。

第　２　表　（単位：　１０１ｙｎｋｏ　）いま、各成
分ガス濃度を゛それぞれ ＣＯ，、Ｃｘ□Ｃｔｏ、　、　Ｃ’ｃｏ、　Ｃｘ、　ｏ
、　Ｃｃｒｐｓｘ旙（単位：　ｐｐｍ　）とすると、第
１表に示す４１１．′性係数を用いて次に示す６元連立
−次方程式の成立することが容易に理解されるであろう
、・） ｔ８２Ｘ１Ｇ−’・ＣＯ，＋０．７９ＸＩ　Ｇ−８＊Ｑ
Ｈ，０＋０４２Ｘ１０”＠ＣＣｙｘｚｎ＝ｔ５５Ｘ１０
　　−ｔｅｌ’Ｌ９８Ｘ１０−ａ・（：’Ｊ、＋０．４
１Ｘ１　（１”・ＣＮＯ，’＋０．７６ｘ１０　　　　
・（’ｃｏｅ−１４０Ｘ１０−”　　　　　　−１１）
α２４Ｘ１（１”・”＊＋１７８ＸＩＱ−Ｉ・ＣｒＯ。

＋Ｑ、２４ｘ１０−”＠（：’ＣＯ＋０．２４Ｘ１０−
Ｓ＠ＣＣＩ’ｌｋ１％＝α９９Ｘ１０１−Ｌ（８）ｔ９
ｄＸ１０−”　　ｓＣｒ、＋ｔ５８Ｘ１０−ａ　＊Ｃｃ
。

＋ＣＬ４１Ｘ１０　”＊Ｃｃａｌｎ；Ｑα９ｔｘ１ｏ１
　　　−Ｌ−（ＩＬＩＬ８０Ｘ１０−”＊ＣＨ＠　＋’
Ｌ４２Ｘ１０−”・Ｃｃ。

＋１．７２ＸＩ　　Ｑ−１・ＣＣＷ＆！１％ｔ＝α４３
’Ｘ１０−１　　　　　　　　　　−　　Ｈｌ、８０Ｘ
１０−”＠ＣＣ５ｚｓ＝０．０５Ｘ１０　”　　’　　
　　６１以上の連立方程式を演算手段（実施例３で示す
）を介して、解くことによって求めた各成分ガス濃度を
下記第３表に示′す。

第　５　表　（単位＝ＰＰ簿） （実施例〉）　・・・（ ＃１１図−は本島明の第２の！Ｉｌ！施例を示す混合ガ
ス検出装置の一出素子部の上面構造図を示したものであ
る。第１１図（６）はそのＡＡ・断面の概略図を示すも
のである。これらの図から明らかなごとく本実権例にお
いては６個のセンサー　１　（１１゜、１１０２．１１
０！、　１１０４．１１０５．１１０６　　がマトリッ
クス状に配置され、検出面が検出ガスに露出しているシ
ート形構造をなしている。また各電極は行かよ９列ごと
にそれぞれ接続され、電極間の接続導体の交叉部分はク
ロスオーバ材で絶縁されて′Ａ今・　　　　　　　　　
　　　・・本！Ｊ！施例の製造方法は、実施例１の場合
とはぼ類似して＞Ｄ、ｔず第１に耐熱絶縁基板１１１１
に金導体ペースト（例えば、八ｐＸｔｓ％ｔ　ｅｙ６ｏ
　）を用い、よく知られ九厚膜印刷技術によって電極１
１１２および電極間接続導体１１１ｓを形成する。つぎ
に個々のセンナごとに実施例１のごとく異なったセンナ
ペーストを用いてガスセンナ層１１１４−形牢する。　
　、　　　　　　　。

なお、電極間−１続導体が交叉する部分は、第１の接−
導体上に結晶化ガラスペースト（例えばＩｈｂｐｅｎ！
９４２？　）を用いて／ａスオーパ用Ｉ！ｌＩＩ＆層１
１１ｓを印刷形成し、その上に第２の接続導体を印刷し
た後、所定温１度で焼成して形成した。

実、施例２における各センｔ１１０１〜１１ｏ６によシ
成分−ｐｘＫ対する検出出方を測定し、これらから前記
第１の実施例にお妙るごとく成分ガス濃度を迅速に定量
できた。第１２図（−は第１の実施、例と同じ４−にン
サ構成のデンドイッテ構造で検出出力を取シ出す接続配
線部のみが異なったものである。・第１２図偽は同図の
Ａ　Ａ−断面の概略図である。第１５図−は第２のｌＩ
―例と同じシート形４素子センサ構造の４成分ガス分析
用検出素子部の上面構成図であ夛、第１ｓ図（句はその
ＡＡ＝断面ＷＪ″：Ｃある。概要を簡単に述べるならば
、ガラス基板１５１１表面にマスク蒸着法によりて金電
極１３１２および電極間接続導体１３１６を形成する。

つぎに個々のセンナごとに、スパッタ法にょシガスセン
サ層１３１４を形成し九、各センナ層１ｓ１４の材料に
は、センナ１３０１，１ｊ０２．１，５０３，１ｊｉ０
４について、それぞれ１．　Ｃ６０，ＺｎＯとＰｄ、　
Ｆｇ＠０６　、　Ｓｓ（％を使用した。さらに電極を形
成するＫあたりて、電極間接続導体が交叉する部分には
、第１の電極間接続導体１ｓ１３上にスパッタ法による
５ｉ（４膜を用いて絶縁層１ｓ１５を形成する。その上
に第２の電極および第２の電極間接続導体を！スフ蒸着
法によ〕形成した後、集積回路を配置し、信号電圧を増
幅処理するようＫした。

オた、信号電圧を演算処理するためにマイクロプロセッ
サ（実施例Ｓで説明する）を配置し。

最終段階の各ガス成分濃度がリアルタイムに得られるよ
うにしえ。

以上の本発明は混合ガスの特定成分ガスに対してガス選
択度の異なるガス検出素子材料を用いた検出素子を絶縁
性基体上に複数個配置して構成した構造のｊス検出素子
部であるが、Ｓ合ガスの特定成分ガスに対するガス選択
度は、本実施例のごとくセンナ材料を異ならしめるばか
シでなく、特定の検出素子材料の構成成分を同じｋして
、その製造法ヤそめ条件を変化させてもよく、ま九絶縁
性基体上＋なく、一体化してもよく、同一のソフト構成
１ｆ混合ガスの各成分′１１ ガス種類および濃度等のガス”情報を求められることは
特に実施例を挙げ々ｉが明らかである。

以上述べた如く１本発明による多成分ガス分析用センサ
体によシ、多成分から々るガスを精度良く、かつ迅速に
分離、定量することができる。

さらに、一枚の基板上に信号処理回路を設置することが
できるので、信号処理がリアルタイムで得られ多成分ガ
ス分析用センナ体として簡単かつ安価なガス分析装置が
得られ、斯界に対する効果の大なるものがある。

（実施例３） ここでは実施例１あるいは２で説明したセンサ体を用い
九ガス検出装置の構成、および誼竜ンサ体かもの検出信
号の演算処理方法について説明する。

第１４図−は本発明によるガス検出装置の概略構成であ
る。センナ体１４１は実施例１あるい祉２で説明したセ
ンサ体であシ、１４１に訃けるセンサ１４１１には第１
ｊ１．図φ）Ｋ示す如、く直列に固定抵抗体１４１２が
設けて一シ、ガス検出によｊ９１４１１の素子導電率に
変化が生じると、１４１１と１４１２が構成する回路を
流れる電圧１４１３による電流が変化するため、１４１
２にお妙る電位差１４１４が増減する。

ここで言うセンナの検出信号とは１４１４を意味する。

各センナととに得られる１４１４めうち、マイクロコン
ビエータ１４２からの制御信号１４２１で動作ｆ、＆マ
ルチプレクナ１４３によｊｊ）１４１４’ｌ逐次１個ず
つ選択し、演舞場＠＠ｉ４４で過賞に電圧増幅した後、
１４２からの制御信号１４２２で制御含れるＡ／Ｄ　：
１ンバータ１４Ｂにおいてアナ四グ・ディジタル変換を
施し、１４Ｓかものデーツタル倦号１４５１を１４２に
取シ込む、該ディジタル信号等の演算処理の詳細は後述
するが、処理プログラムＦｉＲＯＭｊ４６にあらかじめ
記憶されておシ、１４２の処理行程に従い逐次パスライ
ン１４■を介して１４２内部に読み込まれる。また演算
処理途中で一時記憶を要する数値は適時１４２３を介し
てル街１４７に格納され一必要・とされる場合には上記
の逆の糸路を経て１４２内部ＫＩＤ込まれる。１４２内
部での演算処理が終了して得られ九演算結果は、パスラ
イン１４２４を介してテレビインタフニーｘ１４ｓ１テ
ｔｌｉ処１ａ’ｊ５し＊後、ＣＫｒ　ｔ４Ｂ’Ｏｉｉ面
上に表示される。１４Ｂに表示されるデータの個数ある
いは糧類およびそれらの表示書式に関するプログラムは
、あらかじめ１４６に記憶されている。°さらに１４２
とバスツイン１４２５を介して接続される外部選択スイ
ッチ１４９により、１４２での演算処理に必要とされる
特殊表定数値すなわち特性値として代入されるべきであ
るあらかじめ１４６に記憶されている適数個の数値の中
から。

任意の１個を選択することができる。　′□次に本実施
例におけるマイクロコンビエータ内部での演算処理プロ
グラムにづいて第１５図で説明する。

「始゛め」１５１の指令で、ｔず１４９の「設定信号取
シ込みＪ　１５２１を行い、該設定信号に従い特性値と
して使用されるべき数値が格納されている番地を指示す
ることで「特性値の遺”択Ｊ”　１５’２’２を□実施
する０次に１４５および１４５′を制御して「ディジタ
ル検出信号取り込与」′１５３１を行い、”この値とら
ちかしめ１４６に記憶されて込る第１４図φ）に示す測
定回路中の□抵抗値等□の回路定数値とから逆算して１
４１１の「素子導電率の算出Ｊ　１５３２を実施する。

ところで、式（４）に示す如く行列演算を施す連立方程
式における特性係数は定数でなく、混合ガス濃度Ｃの関
数となっている点に演算上の困離が予想される。しかし
この問題は「混合ガス濃度Ｃを適宜に仮定」１５４する
ことで、ｆず特性係数行列４の「全因子行列ａｄノ°Ａ
と行列式ｄｏｔＡの算出Ｊ　１５４１を行い１次に艷（
６）よシ「成分ガス濃度Ｃｊの算出Ｊ　１５４２を行い
、さらに式−−＝＜Ｃを実施し、該ｇ！値を減少させる
方向にＣ値を変更しつつ以上の過程を反復する逐次近似
法を採用することによシ、「最Ｉトの一２値Ｊ　１５４
４を与えるＣノ°値を近似解として得るうことができる
ために解決することができるの工、ある６以上のように
して算出し九成分ガス濃度−むｊおよびその他必要な「
演算結果を表示Ｊ１５５して演算を「終了」１５６する
。

以上説明し九構成、および演算処理方法によｆム シ従来半導体ガス検出素子を用いては実現し得なかった
多成分混合ガスの成分ガス濃度定量を可能にしたばかシ
でなく、該定量演算を迅速に、しかもリアルタイムで実
施できる装置構成を実現したことの効果は非常に大であ
る。さらＫ、外部選択スイッチによる信号設定がＲＯＭ
容量が許す限シ多様Ｋｌ［施できるため、成分ガスの様
々な組合せからなる混合ガスの分析に′：）いても、成
分ガスの種類に応じて特性値を選択することＫよシ対応
することが可能となる、つま）簡単な選択スイッチ切換
操作で種々の混合ガスの分析を実施することができるた
め、汎用性およびコストの点で極めて効果大である。

（実施例４）　。

本発明による□・、アルコール蒸気が検出出力に及ぼす
影響を１簀除去することで、メタンに代表される都市ガ
身１．−酸化炭素の濃度を精度高く迅速に求めるガス検
出装置を構成するためＫは、アルコール蒸気だけを検出
するアルコール蒸気専用検出材料を必要とするが１本実
施例ではニッケル酸ランタン（Ｌａｔｉ偽）　　材料を
使用した場合に′）いて述べる。さらＫ、メタン、−酸
化炭素濃度を求めるために２個のガス検出素子を必要と
し、そのうち少くとも一方は上記ガスの両者を検出でき
る検出材料から作製されていなければｉらないが１本実
施例では一酸化炭素とアルコール蒸気を検出し、メタン
には反応しない酸化タングステン（鴨）材料、および前
記墨種類のガスのいずれも検出する酸化スズ（Ｓｒｔ）
、　）材料を使用口た場合について述べる。

またここで、ＬａＮ１（Ｊ、材料の検出特性について説
明を加えておくと、該材料拡３００℃前後の加熱下でア
ルコール蒸気等の強い還元性ガスに触れると組成中の酸
素が奪われ、Ｍ−０−Ｍ連結が切断され導電率が減少す
る。しかしアルコール蒸気を除去すると再び元の酸化物
組成比をとるため、初期の導電率を回復する。さらにＬ
ａｔｉｎ。

材料の特徴として、上記の現象がアルコール蒸気に対し
てだけ発生し、水素、メタン、プロパン、イソブタン、
−酸化炭素などのガスに対しては全く反応を示さない０
以上の原理にょシＬａｔｉＯ１材料はアルコール蒸気専
用検出素子として実用に耐えるのである。

ｆＱ　　ＬａＮｉ０．　　ペーストの作製濃縮・乾固し
たＬａおよびＮ−の酢酸塩を６ｃｃ℃の空気中で加熱分
解し１０００℃の空気中で焼成してＬａ１ｌ　鳴組成の
多結晶固形物となし、これを粉砕して黒色のＬａ＃ｉ　
０．微粉末を得る。この微粉末１０！に有機ベヒクルを
６ｃｃとＳ　ｉ　−Ｐｉ−２ｓ−Ｔ　ｉ系結晶化ガラス
を約１０ｗｔ憾加えて混練し、　　ＬｄＷｉＯ，ペース
トとなす。

＠　　ＷＯ，ペーストの作製　□ 粒径１μｍ以下に粉砕した純度９９９９饅のへ粉末１８
１に、Ｐｄ粉末α２！とバインダガラス２！と１０ｃｐ
ｚエチルセルロースの９１１）１７デカノール溶液７ｃ
ｃとを加えて混練し、感ガスペーストとなす。

１１ｉ　　５ｓ（Ａ、　　ペーストの作製。

°　純度９９９９慢の金属スズＳ％を湊硝酸で処理し。

水洗後スズ酸の白色沈澱物を蒸発・乾固し、粉砕後７０
０℃の空気中で焙焼してＳｎＱ、粉末とし、この粉末に
ＰｄＣｌ、水溶液を加え混練してＳ％嶋・１％Ｐｄ混合
の粉末を得る。この粉末を前記Ｌａｔｈｅ。

ペースト作製と同様の方法で処理し、感ガスペーストと
なす。

以下、上述の如く作製、した感ガスペーストを使用して
構成し九ガス検出素子部について説明する。

第１６図−）往水実施例の要点であるガス検出素子部の
概略図である０本ガス検出素子部にはそれぞれ、上述の
ＬａＮｉ０．、へ、Ｓｎらペーストを使用した５個の検
出素子（以下センサ）　１６０１．１＋６０２゜１６０
３が配置され、個々のセンナは共通の耐熱絶縁基板１６
１１上において、まず金導体ペースト（例えばＩｈｂｐ
　ｏ鶏ｔ　社製ＮＯ，８７６０ペースト）を用いて６個
の電極１６１２をよぐ）□知られた厚膜印刷技術によシ
所定の位置に配−５すゐように形成し。

エエ、７．。。。ｆｆ１．、ｌ、５９．−一〇、１，９
、でセンサベース）１６１！Ｓを電極１６１２と同様の
厚膜印刷技術を用いて所定の電極１６１２間に配置する
ように形成し、焼成温度９００℃保持時間１０分で焼成
し、鍛後に所定の結線が施されてガス検出用センナ体が
完成する。

第１６図φ）は同図−のＡ　Ａ’断面の概略構造図であ
る。第１−７図で１７１はセンナ１６０１のアルコール
蒸気に対する検出特性、第１８図で１８１．１８２はそ
れぞれセンサ１６０２のアルコール蒸気および一酸化炭
素に対する検出特性、第１９図で１９１，１９２゜１９
３はそれぞれセンサ１６０３のフルゴール蒸気、−酸化
炭素およびメタンに対する検出特性である。　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　、ここで第１７図ないし
第１９図に示した各センナの検出特性を式（ロ）の如き
関数で表現した場合の特性値を第４表に示す□、ただし
ｊに添字をらけた変数の値はガス濃度ｅに対する素子導
電率をガス濃度ＯＫ対′：する素子導電率（以下空気レ
ベルと称す）で除゛ｔ・たものである。

ｙ　＝　ｋ　（Ｃ＋　””ｌ”％ｗ　　　′　　　　　
　。

第　　４　　表 、　以下・本実施例に示すセンナ体を使用して、アルコ
ール蒸気、−酸化炭素、メタンからガる混合ガスを分析
した例を示す、ここで各センナの混合ガスに対する検出
特性に関する説明を容易゛に・するため゛にいくつかの
□記号を使用することとし、その詳細を第５表”Ｋｔと
め゛る。

、・、−５ゝ１１ □−４ ここで表中ＩＬＡな−Ｌ、　Ｉｓｘは式（２）−おける
左辺を意味し１、それに対応する右辺の特性値ｋ。

ｔ、ｖｓはすでに第４表−示し１いる。

本！−例に七いて構成したセンナ体の各センナの混合ガ
スに対する検出特性は式鰭ないし式ｔ９の如きであるよ
０．。

Ｇｔ＝ｇｔＡ、、、、、、、、　、、、Ｑ、　、　　−
。

Ｇｖ＝＝αＦ（ｇｒｉ＋ｙ、ｃ−１）＋（１−４ｒ）ｐ
４＠Ｉｖｔニー・尋Ｇｓ　＝’αｓ（１５１ｇ５ｃ＋１
ｓｘ−１）＋（１−６ｇ）　！Ｉｓｉ（ｇｓｃ＋ｇｘｘ
）　　□鰺いま混合ガスに対する各センナの検出出力は
次に示す式（鴫ないし式１・の如くであった。

ＧＬ＝０．２１　　　　　　　　　’　　　　＠・ω＝
４．９８　　　　　　　　　　　　　亀ηＧｓ＝＝７．
９ｏ　　　　　　　　　　　　　ＩＩここで上記混合ガ
スの成分であるアルコール蒸気、−酸化縦索、メタンの
濃度をそれぞれＣＩ。

Ｃｃ、’Ｃｓｉとして説明を続ける。Ｓ法の手順は次の
如くである。ｔず式鰭および大輪からＣＡを算出し、こ
のＣＡからｇｖｉを求め、ζ゛のｆＷＡと式鰭とを式１
４に導入すればＣｃが得られ、そして既知であるＣＩと
Ｃｃのそれぞれから算出しｆ５’ｌｚ＊およびｇｓｃ　
％式舖と併せて式ｕ２導入すればＣＸが得られるのであ
る。上述のよう′に演算の具体的内容はかなり煩雑であ
るが、Ｃ＾Ｃｃ、Ｃｍ　　のいずれＫついても一意解が
与えられ志、演算結果を下記の式鱈ないし式（財）に示
す、　　　　　ＣＡ＝ＩＳＯＯｐ７ｍ　　　　　　　　
ｎＣｃｗ　　５０ＯＦＦ嵩　　　　　　　　　′■Ｃｘ
＝２０ＤＤｐｐｐＩ＆ｆｌｆｊ 以上述べた如く１本実施例によるセンサ体によシ検出出
力がアルコール蒸気から受ける効果を演算除去し、アル
コール蒸気介在下の混合ガスの成分ガス濃度を精度高く
測定することができるため、多成分ガス分析用′センサ
体として簡単かつ安価なガス分析装置を得る仁とができ
る。

（実施例−５） ここでは実施例４で説明したセンナ体を用いたガス検出
装置の構成、および該センナ体からの検出信号の演算処
理方法について説明する。□第２０例は本発明によるガ
ス検出装置の概略構成である。セン量体２０１は実施例
４で説明したＬｔｔＮｉＯ，材料を使袖したセンナ２０
１１．鴨材料の２０１２、Ｓｎｇ材料め２Ｄ１３からな
るセンサ体であり。

２ｏ（Ｋおける２ｒｊ：’ゝ・１，２０１２，２０１３
にはそれぞれセンナに対して直列に゛°固定抵抗体２０
２１．２０２２．２０２５が設けてあシ、また２０１２
．２０１３のそれぞれに酸センサに対して並列に固定抵
抗体２０２４．２０２５が設けである。ガス検出によシ
センサの素子導電率に変化が生じ、ると、センナおよび
該センサに対して直列あるいは並列に設けられた固定抵
抗体が構成する回路を流れる電源２０２６による電流が
変化するため、２０２１．２０２２．２０２５における
電位差が増減する。該電位差は１．それぞれに設けられ
た演算増巾器２０２７．２０２８．２０２９によシ適宜
に電圧増巾されアナ四グ信号２０５１．２０５２．２０
！ｉ３　トナ、ｉｔ　。

腋３個のアナログ佛号は、ｆｆイクロコンビ、−！２０
４からの制御信号２０５１で動作するマルチプレクサ２
０５に、よシ逐次１．債ずつ選択され、演算増巾器２０
６１で◆宜忙電圧増中された後、２０４からの制御信号
２０５２で制御されるＡ７Ｄコンバータ２０６において
アナログ・ディジタル変換を總され、ディジタル信号２
０６２となるのである。該２０６２等入力信漫の演算処
理方法の詳細は後述することと、シ、ζこでは２０４内
部の構成について説明する。

マイクローンビエータ２０４の挙−のすさてはＭＰＵ　
（マイク、ｐプロ、セッサ）２０４１により統御される
。該２０４１で処理される機械語プログラムはＲ（ＪＭ
２０４２にあらかじめ記憶されておシ、パス２イン２０
４３を介して逐次２０４１　Ｋ取シ込まれ処理されるの
である。ｔた該処理中に発生する一時記憶を要する数値
は、随時２ｏ４３を介してＲＡＭ２０４４に格納される
。なお、２０４と周辺部品との信号の入出力は、それぞ
れ適数ビットを有する１７０ポー）Ｊ、Ｂ、Ｃを介して
行われる。前記し九２０６２ｈ　Ｉｌｏ　ホー　）　Ａ
　２０４５を介し２０４！ｉを経”（２０４１へ転送さ
れ、前記２０ｊｌおよび２ｏ５２はいずれも２ｏ４１か
ら発せられ２０４３を経てＩ１０ポー）　２０４６を介
して出力される。　　、　　　　１ また、　２０４１での演算結果によって発生されるガス
供給径路速断、警報発生等の判断信号は２ｏ４３を経テ
２０４６を介し制御信号２０５ｉＳ、　２０５４．２１
１１５５として出力される。　２０５Ｍはガス供給径路
遺断弁２０７を駆動する電源回路２ｏ７１中の接点大切
器（電磁り、レー）　２０７２の入切を制御し、　２０
７を通常は開放１７、ガス漏洩時には閉鎖するよ、５！
に動作させ。

一方２０５４は一酸化炭素（以下ｃｏと称す）書報プザ
ー２０８１をＣＯＯ生時に発音させ、ｔた２０５５はメ
タンガス警報ブザ−２０８２をメタンガス漏洩時に発音
させる。

さらに、　２０４１から２０４５．　ＩρポートＣ２０
４７およびパスライン２０５６を介して接続される外部
選択スイッチ２０９によｊ）、２０４内部で実施される
演算処理に使用する式（２）における特性値１式龜−お
よび−における加重因子、および前記判断信号の発生を
決定する判断基準値等の特殊な定数値のうちの適数個に
つき、そのそれぞれに対してあらかじめ２０４２に記憶
さ、れている適数個の定数値の中から適宜ｌＩＣ１側の
定数値を選択することができる。

次に１本実施例における、（アイクロコンピユータ２０
４内部での演算処理プ四グラムについて第１：、１′ ２１図で説明する。「始め」、、ｉ＊１１０指令で、ま
ず２０８の「設定信号取）込みｆｋ：’、、、、、２１
２１を行い、鋏設置＋ 定信号に従い特性値とじで使″用されるべき数値が格納
されている番地を指示することで［４Ｉ性値の選択Ｊ　
２１２２を実施する。つぎに２０５および２０６を制御
して「５ｎ（Ｊ、素子のディジタル検出信号取シ込みＪ
　２１５１を行い、この値とあらかじめ２０４２に記憶
されている第２０図に示すセンナ体２０１０周辺の測足
回路中の抵抗値等の回路定数値２０２も２０２５とから
逆算して「５ｒｂＯ，素子２０１５の素子導電率Ｇｓ　
２１３２の算出Ｊ　２１５５を奥施する。該２１３２と
あらかじめ２０４２に記憶されたメタンガス警報発生を
必要とする２１５２の最低値である判断基準値Ｔｓ２ｔ
　ｓａ　　とを「大小判断Ｊ２１５５シ、Ｇｓ　（Ｔｓ
ならば２１２１に戻？）　Ｇｘ≧Ｔｓならば後述の処理
を実施する。

まず、「ＬａＮｉ０．素子のディジタル検出信号取シ込
みＪ　２１４１を行い、２．１５３の場合と同様に２１
４１と回路定数値２０２１とから逆算して「ＬｄｉｉＵ
、素子２０１１の素子導電率、の算出Ｊ２１４２を行い
、紋算出値よシ「アルコール蒸気濃度Ｃノ２１４５１Ｃ
）算出Ｊ　２１４４を実施する＠　、　　、’（ｊｔ、
、４’次＜、ｒＦｃｚｓ素子のディジタル検出信号取シ
込みＪ　２１５１を行い、２１３３の場合と同様１２１
５１と回路定数値２０２２．２０２４とから逆算して「
嶋素子２０１２の素子導電率の算出Ｊ２１５２を行い、
該算出値ｚｂｒｃｏ濃ｇｃｃ２１６Ｂの算出Ｊ　２１５
４を実施する。該２１５Ｂとあらかじめ２０４２に記憶
されたＣＯ瞥瞥見発生必要とする２１５３の最低値であ
る判断基準値Ｔｃ２１５５との「大小判断Ｊ　２１５６
を行う、ここで、もしｃｃ≧ｒｃならば［ＣＯ書報発生
Ｊ　２１６１および「ガス供給径路線断Ｊ　２１４２を
夾施し、′演算を「終了」２１８する。ま九、Ｃｃ＜Ｔ
ｃならば後述の処理を行う。

２１３２よシ「メタンガス濃度ＣＭ２１７１の算出Ｊ２
１７２を行い、該２１７１とあらかじめ２０４２に記憶
されたメタンガス警報発生を必要とする２１ハの最低値
である判断基準値Ｔｗ２１ｙｓとの「大小判断Ｊ２’１
７４を実施する。ここで、Ｃｍ≧ＴＭならばメタンガス
警報発生２１６ｓおよび２１６２を奥施し、演算を「終
了」２１Ｂする。を九Ｃｍ　（ＴＭ　ｆｋらば２１２１
に戻る。

イマ１判断２１５４Ｔｈよび２１７４４０結果から２１
４１するいは２１６Ｓの警報発生およびガス供給径路麿
断２１６２を実施じた場合にそめ実施直後に″演算を終
了２１８するとしているが、演算終了後でも制御信号２
０５５．２０５４．２０５５は保持される丸めガス供給
径路纏断弁２０７および警報ブザー２０８１．２０８’
２の動作に変化はなｔｎ、ｔた。上述の場合に演算終了
ではな“＜２１２１に戻して無限処理を実施させれｄ、
各ガス濃度が判断基準値以下となシ次第にガス供給径路
を開放し、警報ブザーを停止するという制御動作を実現
することができる。

さらに、前記の判断基準値７’Ｃ２１５へ７Ｍ２１７Ｂ
を上述の１個ではなく段階的に適数個設けて、各判断基
準値に対する判断を逐次実線すれば、各ガス濃度の程度
に応じて興なる警報発生を実現することができる。

また１本実施例に示すアルコール蒸気の如く非直線的検
出特性をもたらす要因として、アルコールめ外に雰囲気
の温度、濃度等が考えられるが、この場合でも設置する
センナに感温あるいは感湿素子を追加し、その検出出力
に適畠な演算処理を施せば、温度あるｂは湿度の影響を
除去、較正した成分ガス濃度を得ることができることは
＃に実施例を挙げないが明らかである。

以上説明した構成、および演算処理方法により、従来半
導体ガス検出素子を用いては実現し得なかったアルコー
ル蒸気に妨害されることのない一酸化炭素およびメタン
ガスの濃度定量を可能にしたばかシでなく、該定量演算
を迅速に。

しかもリアルタイムで実施できる装置構成を実現したこ
との効果は非常に大であり、かくの如きガス濃度定量方
式および装置は国内、外を通じて類をみない。

さらＫ、外部選択スイッチによる多様な特性値設定が可
能であるため、成分ガスの様々な組合せからなる混合ガ
ス、例えば国内各地で使用されている程々の都市ガスの
濃度定量についても、簡単な選択スイッチ切換操作で都
市ガスの処 種類に応じ九ｌＦｆ性値を選択する仁とＫよる対応が可
能となるため、汎用性、）＝よび量産性等の点□　　１
１ について極めて効果大である。

以上述べた如く、本発明によるガス検出装置によシ、多
、成分から擾るガスの各成分ガス濃度を精度良く、かつ
迅速に分離、定量することができる。

さらに、一台の装置で株々の多成分ガスの分離定量を実
施することができるので、簡単かつ安価なガス検出装置
が得られ、斯界に対する効果の大なるものがある。

【図面の簡単な説明】

第１図は半導体ガス検出素子の検出回路結線図、第２図
は第１図に□□□示の検出回路によるガス濃度対素子導
電率特性（以下検出特性と称す）の−実施例を示す図、
第３図はＰｄ添加の酸化亜鉛（ＺｎＯ）系水素検出素子
の水素および他の検出特性図、第４図は検出特性図であ
って、−は酸化スズＣ３ｎＣＪａ）系検出素子のメタン
、水素、ＣＯか゛　　　　。 らなる混合ガスの、検出特性図、ψ）は同素子のメ２．
２アＡ−：ｆ−Ａ−ＩＪＩｆｉＦ）ｆｌ□８゜ゆ０．。 第５図は６個の一ンサを配置した本発明の第１の実施例
の要部を示す概略図であって、−は平面図、尚は−のＡ
　Ａ’断面の概略構造図、第６図〜第１１図は第１の実
施例の要部である検出素子部の６個のセンナによる６成
分混合ガスに対する検出特性図、第１２図〜第１４図は
それぞれ第２の実施例に示す第１の実施例要部の他の実
施例の概略構造図、第１５図は第２の実施例のガス検出
装置の概略構成図、第１６図は１５図に示すセンナ体に
おけるセンナに設ける測定回路概略図。 第１７図は第５の実施例のガス検出装置における演算処
理０７°−−ヤード図・第１８図は３個のセンナを配置
した第４の実施例の要部を示す概略図であって、−は平
面図、鋼は同図−のＡ　Ａ＝断面の概略構造図、第１９
図〜第２１図は第４の実施例の要部である検出素子部の
５個のセンナによる５成分混合ガスに対する検出特性図
、第２２図は＃Ｅ５の実施例のガス検出装置の概略構成
図。 第２！１図は第５の実施例のガス検出装置における演算
処理の７０−チャート図である。 ４０１　：　ＣｏＯ系ガス検出素子 ４０２：鴨＋ｐｔ　　系ガス検出素子 ａｏｓ　：　ｒｑｌｌ＋Ａｇ　系カｘ検出素子４０４　
：　ＺｎＯ＋Ｐｄ　　系ガス検出素子４０５　：　Ｆａ
ｓ晴ガス検出素子 ４０＋６　：　Ｓｎ偽系ガス検出素子 ４１１：耐熱絶縁基板　　４１２：下部電極４１３：下
部電極間接続導体 ４１４：ガスセン１す層　　４１５：上部電極４１５１
　：第１列目の上部電極リード部４１５２　：第２列目
の上部電極リード部４１５３二第３列目の上部電極リー
ド部４１６：第１行目の下部電極リード部 ４１７：第２行自の下部電極リード部 代珊人弁理士　薄　１）％％１ Ｎ　ノ　ｉ ＄２図 カ′スラＩｋ、ｌＩ＜ｐｐｍ） 第３図 第４閃 第４図 （４タツ プ昆イ計ｒヒ２ＩＰ（ｏ／−〕 第５図 ′（ａ、） ４１ど 第６図 力゛スラＪ！！Ｊ！Ｆ′（ＰＰｆＰＬ）第７図 刀゛′ス＃Ｆ　　＜ｐｐ机ノ 第８図 ｖ′ｘｆｉｔｌ　＜ｒＰ町 第９図 力゛ス儂度ｔＰＰ丸ノ 第７０図 〃ス轄＜ＰＦｆｓ−）　　　　　　　、第Ｎ図 力°′ス唄専崖（、ＰＰｔｐｔ） 第１２図 第１３図 （ｔトン （ｂ〕　　ｌｌ’１ｌｌｌ ＄１４図 １１１１１′ □ い・　　　　　　　　　　　　　　　　Ｃｂ）、・□・
１．。 第１５図 １４β 第１７図 第ｔａ図 １１ 占、（：。 、１：１：。 （ｂ〕　　　　・護 第１９図 ブスｍ１（ｒｒｎ） 第２θ図 ずスｉ＊’ｌｌ＜ＰＰｎλ 第１頁の続き ０発　明　者　岩永昭− 横浜市戸塚区吉田町２９２番地株 式会社日立製作所生産技術研究 所内 ０発　明　者　佐藤信夫 横浜市戸塚区吉田町２９２番地株 式会社日立製作所生産技術研究 所内 ０発　明　者　池上昭 横浜市戸塚区吉田町２９２番地株 式会社日立製作所生産技術研究 所内 ０発　明　者　磯貝時男 横浜市戸塚区吉田町２９２番地株 式会社日立製作所生産技術研究 所内　　　、；１゜

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. ガス・検出特性の異なる複数個の半導体ガス検出素子と
   −これら複数個の半導体ガス検出素子のガス検出特性に
   基すいて発生する検出信号を処理する演算手段とからな
   り、前記演算手段による演算結果からガス情報を検出す
   ることを特徴とするガス検出装置。