JPS58160265U - 半導体製造用化学薬品保存装置 - Google Patents

半導体製造用化学薬品保存装置

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JPS58160265U
JPS58160265U JP5633682U JP5633682U JPS58160265U JP S58160265 U JPS58160265 U JP S58160265U JP 5633682 U JP5633682 U JP 5633682U JP 5633682 U JP5633682 U JP 5633682U JP S58160265 U JPS58160265 U JP S58160265U
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JP
Japan
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semiconductor manufacturing
storage equipment
chemical storage
container
chemical
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JP5633682U
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English (en)
Inventor
若菜　英幸
Original Assignee
沖電気工業株式会社
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図、第２図は本考案の一実施例の内部を示す正面図
および平面図、第３図、第４図は本考案の他の実施例の
内部を示す正面図および平面図である。 １・・・・・・容器、２・・・・・・半導体製造用化学
薬品、３゜３０・・・・・・水平軸、４・・・・・・羽
根、５，５ｏ・・曲プロ。 ベラ攪拌機、６・・・・・・ノズル、７・・・・・・安
全弁、８・・・・・・上部蓋、９・・・・・・支柱。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 外気が混入しないように密閉された容器内に液体の半導
    体製造用化学薬品を保存するための装置において１．前
    記容器内に保存される液体に浸漬されかつ容器に水平に
    軸支され下方のノズルから放出される不活性気体により
    駆動されて回転自在なプロペラ攪拌機を備えたことを特
    徴とする半導体製造用化学薬品保存装置。
JP5633682U 1982-04-20 1982-04-20 半導体製造用化学薬品保存装置 Pending JPS58160265U (ja)

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ID=30066867

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