JPS5815729B2 - タジユウカンシヨウケイ - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は光線測定装置に関し、更に特別には、電磁周
波数スペクトル分析に使用される光学干渉計に関する。

干渉計は電磁放射線の周波数スペクトルを測定し分析す
るために多年使用されて来た。

特に光学干渉計は線位置、強さ、吸収係数のような分光
学的データの計算に普通使用されている。

干渉計もまた化学プロセスの監視、極めて低濃度のガス
状標本の組成の検証および遠隔放出ブルーム（ｐｌｕ−
ｍｅｓ）と熱源のスペクトル・シダニチュアのグラフ作
成にも使用される。

今日使用されるている一つの型の干渉計は、マイケルソ
ン干渉計である。

マイケルソン干渉計は測定される電磁放射線に対し４５
°の角度に置かれた半鍍銀反射鏡または光線分割器を含
む、光線分割器は放射線を２部分に分割し、各部分は干
渉計内で別々の垂直路に向けられる。

放射線の一部分は固定反射鏡から反射されるが他の部分
は可動反射鏡から反射される。

２部分はその後光線分割器で再び結合され、それらの位
相変位に比例する程度で相互に光学的に干渉する。

２部分間の位相変位は可動反射鏡と固定反射鏡間の光路
長の不等により発生する。

マイケルソン干渉計の基本原則と一般作動は公知のもの
であるけれども、これらの計器はたいて、い機械的な制
約と操作上のハンディキャップをもっている。

例えは、操作中、たいていの干渉計はスペクトル測定に
干渉する実質的な振動を起す。

これらの振動は可動反射鏡用の電動機と駆動系統による
か、または可動反射鏡を支持する軸受かのいずれかによ
り起される。

更に、従来の干渉計はこれらの振動が−たん起ると迅速
にそれを減衰させることはできない。

またこれらの従来の干渉計は粗雑な環境、機械的衝撃も
しくは広範囲の温度変動のいずれにも堪えられず、それ
らが起ればすべて計器の再調節と測定のやり直しが通常
必要となる。

多重干渉計は、可動反射鏡が２個の空気軸受により支持
される可動往復台上に取付けられているマイケルソン干
渉計である。

反射鏡と往復台の結合重心が可動反射鏡の運動範囲全体
にわたり軸受支持の中心と絶えず合致するように空気軸
受は可動反射鏡と往復台に対し配置されている。

更に、干渉計はハウジング内に取付けられ、このハウジ
ングはこの装置の堅牢な支持体となるはかりでなくまた
熱膨張をも対処し、この計器に対する一切の機械的衝撃
をも吸収する。

スペクトル測定を容易ならしめるために、この干渉計は
また光線分割器に向けられ周期的縞模様を発生するガス
レーザーと、この方式の基準点を提供する白色光源とを
結合している。

従ってこの発明の主目的は干渉計用の堅牢な管状枠構造
と、可動反射鏡用の対称的につりあった往復台とを提供
することにある。

管状枠と対称的につりあった往復台により可動反射鏡は
厳密に制御される。

この発明の第２の目的は干渉計光学から傾斜、不整合、
振動を排除し、それにより可動反射鏡が長い通路の長さ
を切抜け、干渉模様の中心の運動が認められないように
することにある。

この発明の附加目的と特性は次の説明から明白となろう
が、この説明においてはこの発明の好適実施例が添付図
面に関連して詳細に記述されている。

一般に第１〜第４図についていえば、参照番号２０は、
リニアモータ２２と、′固定反射鏡アーム２４と可動反
射鏡アーム２６を含む多重干渉計を指示する。

このリニアモータは、例えば通常電子計算機の円板記憶
装置上に磁気読取／書込みヘッドを置くために使用され
る普通の電磁１７ニア・アクチュエータである。

このリニア・モータは以下説明する電気制御回路を有し
、可動反射鏡アーム２６に固定される。

可動反射鏡アームは片端部にリニア・モータを取付ける
フランジをもち他端部に４５°フランジをもつ円筒管で
ある。

多重干渉計２０は可動反射鏡２６の下方に配置された３
脚２５とリニアモータ２２上のモータ取付台（図示なし
）により支持される。

脚２５は安定し傾斜しない支持体となるように設計され
ている。

固定反射鏡アーム２４はまた円筒管であるが、片端部に
端板２９を有し他端部に補足４５°フランジをもつ。

固定反射鏡アーム上の端板２９はアームの端部全体を被
覆し、以下説明する固定反射鏡取付台の内部取付基部と
なる。

２個の補足４５°フランジ２８．３０は、アーム２４．
２６を直角に組合せ、それぞれ、極めて精密な公差で機
械加工され、固定反射鏡アーム２４と可動反射鏡アーム
２６間に必要な光学的の心合せを維持するようになって
いる。

４５°フランジはそれぞれ、盛上げられて矩形のみそを
形成する中央部分をもつ。

２個の４５°フランジが一緒に組合される場合、この二
つの矩形みぞは光線分割器保持器３２を形成する。

この光線分割器保持器は各アーム２４．２６の縦軸線に
対し４５°の角度で配置された矩形のみぞ穴である。

第１および第２図についていえば、光線分割器保持器３
２は光線分割器板３３の装脱を可能にするように設計さ
れている。

光線分割器板は、一次光線分割器３４と二次光線分割器
３５の矩形の不透明保持器である。

一次光線分割器は、測定されている入射電磁放射線を以
下説明する２部分に分割する一部透明で一部反射性の材
料である。

二次光線分割器３５は白色光線を以下説明する２部分に
分割する一部透明で一部反射性の材料である。

光線分割器は、反英フフ化カルシウム、臭化カリウム、
マイラー（Ｍｙ・ｆａｒ ）を含む、色々な材料から製
作さイ９る。

光線分割器保持器３２が障害のない矩形みぞ穴をもって
いるので、各種の光線分割器か容易に交換できるように
なっている。

４５°フランジ３０の近くの固定反射鏡アーム２４の側
壁に入口３８か配置され、その入口を通り、測定される
入射電磁放射線か多重干渉計２０に入る。

入口３８は一次光線分割器３４の平面に対して精密に４
５°の角度で電磁放射線が入射するように一次光線分割
器３４に対して配置される総体的に円形の孔である。

４５°フランジ２８に近く可動反射鏡アーム２６の側壁
で入口とは反対側に出口４０が配置され、それを通って
再結合された電磁放射線が干渉計から出て行く。

出口４０はまた総体的に円形の孔であり、一次光線分割
器から再結合され反射された電磁放射線が出口４０を通
って送り出されるように一次光線分割器に対して配置さ
れている。

２個のブラケット４２上で、出口４０に近い可動反射鏡
アーム２６の側壁に普通のレーザー４４が取付けられて
いる。

このレーザーは測定されている放射線に干渉しない周波
数範囲内の放射線を発生するものを選定しなければなら
ない。

この発明の一実施例では、ヘリウム−ネオンレーザ−が
使用され６３２８アンゲストロムで作動した。

このレーザーは４５°フランジ２８に向は可動反射鏡ア
ーム２６の縦軸線に平行の方向に本質的に単色電磁放射
線を放出する。

この放射線はその後、ブラケット４８上に取付けたレー
ザープリズム４６により反射され出口４０を通過する。

このレーザープリズムは普通の偏向プリズムで、レーザ
ー光線を反射して一次光線分割器３４に向ける。

これとは反対側で入口３８の近くで固定反射鏡アーム２
４の側壁上にレーザー縞計数器５０が取付けられている
。

レーザーからの光線は以下説明する縞模様を干渉計に発
生させるのに使用され、レーザー縞計数器５０は可動反
射鏡が動くのにつれて、これらの縞模様の発生を数える
。

端板２９の内側における、固定反射鏡アーム２４内には
固定反射鏡６０用の調節自在の取付台５８がある。

固定反射鏡は出口４０と、４５°の角度をなす一次光線
分割器３４の平面とに整合するように配置された円形の
第１平面鏡である。

光学的測定中、固定反射鏡は静止しているが、２個の補
足２重楔６２．６４により調節することができる。

この２重楔はそれに取付けた２個のウオームホイール６
６により相互に個々に回転されるようになっている。

ウオームホイールはそれぞれ軸７０に取付けたウオーム
歯車６８により回転される。

この軸は端板２９を貫通し、ねじ廻しまたは他の普通の
手段により回転される。

２個の反対に回転する２重楔６２．６４は多重干渉計に
必要な唯一の調節手段となる。

レーザー４４と可動反射鏡アーム２６の側壁との間に白
色光線源７６が配置される。

この白色光線源は第２光線分割器８５に向けられる平行
化白色光線を提供する。

固定反射鏡アーム２４の端板２９には白色光線源７６の
真向いに、固定白色光線反射鏡７８が取付けられる。

この固定白色光線反射鏡は二次光線分割器３５と白色光
線源７６と整合するように配置される。

白色光線源７６と固定白色光線反射鏡７８の間で直交線
上で、二次光線分割器３５の真向いに可動白色光線反射
鏡８０が配置される。

可動白色光線反射鏡は以下説明する可動反射鏡と共功す
るように取付けられる。

可動白色光線反射鏡８０と固定白色光線反射鏡７８は両
方共、普通の第１而反射鏡であって、白色光線源７６か
らの光線を二次光線分割器３５に反射し返えすものであ
る。

レーザー縞計数器５０と、固定反射鏡アーム２４の側壁
間に白色光線検知器８２が配置される。

この白色光線検知器は二次光線分割器３５と可動白色光
線反射鏡８０と整合するように配置された光電池である
。

この白色光線検知器はその感光面に入射する白色光線の
量を測定する。

白色光線源、関連反射鏡および検知器はスペクトル測定
のための基準点の提供に使用される。

多重干渉計２０はまた可動反射鏡アーム２６の中に可動
反射鏡９０を含んでいる。

この可動反射鏡は普通の第１面反射鏡であって入口３８
と、４５°の角度をなす一次光線分割器３４の平面と整
合するように配置されている。

可動反射鏡は正面板９２上に固定され、その運動中は絶
えず固定反射鏡６０と精密に直角に整合するように維持
される。

正面板９２上にはまた、以下説明する可動白色光線反射
鏡８０が固定されている。

この正面板は運搬シリンダ９４に固定されている。

リニアモーフ２２は可動反射鏡アーム２６の縦軸線に沿
うて運搬シリンダ９４を往復１駆動するか、２個の反射
鏡間の精密な直交整合は維持する。

運搬シリンダ９４の内部でそれと同軸線に運搬俸９６が
配置されかつ取付けられ、以下説明する可動反射鏡の速
度の測定に使用される。

更に特別に第２〜第４図についていえば、可動；反射鏡
９０、正面板９２、運搬シリンダ９４および運搬棒９６
は往復台１００により支持され光学的に整合するように
維持される。

この往復台は対向して運搬シリンダ９４に固定された２
個の支持アーム１０２を含む。

この支持アームは可動反射鏡アーム２６の側壁の２個の
縦方向みぞ穴１０３を貫通し、可動反射鏡９０か水平往
復運動を行うことができるようにする。

それぞれの支持アーム内に空気軸受１０４があり、往復
台１００を２本の横棒１０６のまわりに支持する。

可動反射鏡９０が可動反射鏡アーム２６内で走行する時
に往復台１００は固定横棒に沿うですべるが２個の空気
軸受のため、その横棒と摩擦接触をすることはない。

空気軸受はそれぞれ横棒と支持アーム間に空気のクッシ
ョンを提供する。

参照番号１１６は２個の空気取付具を指示するが、これ
らは空気源（図示なし）に連結され、空気を空気軸受に
提供するものである。

２本の横棒１０６は、ステンレス鋼の心無し研削棒であ
って干渉計に対し可動反射鏡を光学的に整合し続けるも
のである。

横棒は両方共、可動反射鏡アーム２６の縦軸線に対し隔
置されそれに平行に心合せされている。

２本の横棒１０６の精密な心合せは可動反射鏡アーム２
６の側壁の部分となる４個のＶブロック１０８により維
持される。

このＶブロックはそれぞれ一対の対向傾斜縁部１１０を
有し、この縁部１１０は正確に機械加工され、横棒１０
６の光学的な心合せを維持する。

各縁部は更に盛上げられ縁部と横棒とが唯の一点で接触
するようになっている。

各横棒は■ブロック１０８上の保持キャップ１１４内に
収容した、ばね込めピン１１２によりＶブロック縁部１
１０の各組に押当てられる。

横棒は縦方向には抑制されず、可動反射鏡アーム２６と
は無関係に熱により膨張し得ることは理解する必要があ
る。

第５図についていえば、参照文字Ｗは可動組立体１１８
の重心（Ｃ７０）１１７を通って作用する合成重力を指
す。

可動組立体はりニアモータ２２が運搬したり、空気軸受
１０４がまた支持する両方の構成成分を全部含む。

これらの構成成分は可動反射鏡９０、可動白色光線反射
鏡８０、正面板９２、空気軸受１０４、運搬シリンダ９
４および運搬棒９６を含む。

可動組立体の全重量Ｗは２個の軸受で担持され、支持ア
ーム１０２上のこれらの軸受が加える支持力は参照文字
Ｆ１で指示されている。

支持アーム１０２に作用する二つの支持力Ｆ１はベクト
ル加算により１１７における支持中心（Ｃ／Ｓ ）と呼
ぶ点に作用する一つの合成支持力Ｆに変えられる。

理解する必要のあることは、支持アーム１０２が可動組
立体の耳軸の如く作用することである。

可動組立体の縦軸線に沿う支持アームの位置は精密にき
められ、組立体の重心（、Ｃ７０）が厳密に支持中心（
Ｃ／Ｓ ）と合致し、合成支持力Ｆが厳密に重力Ｗとつ
りあうようになっている。

例えば、可動組立体の正面における可動反射鏡９ｏがも
っと重くつくられる場合、支持中心か新しい重心と合致
するまで支持アームが前の方に移されよう。

支持中心が重心と合致するように配置されることにより
、干渉計に作用する一切の加速力または振動は作動中、
可動反射鏡を傾ける偶力やトルクを形成しない。

リニアモータ２２は、可動組立体１１８に参照文字ＦＡ
で示す力を加えてそれを運搬する。

支持アーム１０２は可動組立体の耳軸の如き作用をなす
ので、支持アームはまた垂直に置かれ力ＦＡは１１７に
おける支持中心（Ｃ／Ｓ）と重心（ｃ／Ｇ）を通して加
えられる。

力ＦＡがこれらの２中心を通して作用する場合、それに
より、反射鏡が作用中運動路に沿うて駆動さねでも反射
鏡を傾ける何等の偶力もしくはトルクも起されない。

理解する必要かあるのは、可動組立体１１８の両側の２
本の横棒１０６の幾何学的配置が可動組立体のための対
称的な支えを提供することである。

各棒は可動組立体１１８の縦方向通路に精密に平行に心
合せされている。

両横棒は共に可動反射鏡９０をその運動全体にわたり案
内かつ支持し、可動組立体の重心（Ｃ７０）が運動全体
にわたり支持中心（、Ｃ／Ｓ ）に絶えず合致するよう
に配置されている。

第６図についていえば、リニアモータ２２は運搬シリン
ダ９４を動かし、順に、可動反射鏡９０を主１駆動コイ
ル１２４により動かす。

リニアモータが可動反射鏡を運搬する速度は、検知コイ
ル１２６により測定される。

検知コイルは運搬棒９６を包囲し、検知コイルを通過す
る運搬棒の運動は速度信号を発生する。

検知コイルの出力は前置増巾器１２８に接続され、前置
増巾器１２８は検知コイルからの速度信号を基準電圧と
比較する。

前置増巾器は可動反射鏡の走行が速過ぎるか、もしくは
遅過ぎるかのいずれかを示す誤差信号を発生する。

前置増巾器からの出力はりニアモータの主駆動コイル１
２４を励振する電力増巾器１３０に接続される。

前置増巾器からの速度誤差信号により、電力増巾器は可
動反射鏡の速度を修正する前述の如く、検知コイル１２
６と前置増巾器１２８を含む回路は、リニアモータ用の
閉ループ駆動方式を形成する速度タクト（ｔａｃｔ）で
ある。

この回路は可動反射鏡組立体１１８の運動から高周波振
動を排除し、可動反射鏡６０の速度を安定させるのに使
用される。

干渉計２０を作動させるためには、光線分割器板３３を
先づ光線分割器保持器３２に挿入する。

光線分割器板は測定される波長範囲用に選定した一次光
線分割器３４を納めている。

入射放射線は入口３８を通って干渉計に入り、その後４
５°の角度で一次光線分割器３４に入射する。

一次光線分割器は入射放射線を２部分に分離する。

各部分の放射線は干渉計内で異る通路に沿うて送られる
。

一部分の放射線は一次光線分割器を通過し可動反射鏡９
０に入射する。

他部分の放射線は一次光線分割器から反射され、固定反
射鏡６０に入射するその後、各部分の放射線はそれぞれ
の反射鏡から反射されて一次光線分割器に戻り、そこで
画部分の放射線は再結合される。

固定反射鏡から反射された放射線が走行した通路の長さ
は一定である。

これに対して可動反射鏡から反射された放射線が走行し
た通路の長さは、その反射鏡が干渉計内で縦方向に動く
ので変わる。

二つの別の部分が走行した通路が長さを同じくする場合
再結合された放射線はもとの入射放射線と同じになる。

すべての波は位相を同じくシ、エネルギー損失は最小と
なる。

然し一部分が他部分よりも遠い距離を走行した場合、再
結合した時に波は放射線の波長によりある程度まで位相
を異にする。

一部分からの波は他部分からの波に干渉しそれを弱める
。

通路の長さが不等となり特定波長をもつ波が１８０°位
相を異にする場合、特定波長をもつ波は再結合すると相
互に打消し合い、その波長をもつ放射線のエネルギー損
失は最大となる。

実際の場合、干渉計に入射する放射線は多数の波長をも
っており、可動反射鏡が可動反射鏡アーム２６を通って
運搬されるにつれ、最初は最短の、次には段々と長くな
る波長をもつ波が以下説明する減衰と消去を展示する。

再結合された放射線は一次光線分割器３４により反射さ
れ出口４０を通って干渉計から出て集束反射鏡１３６に
向けられる。

この集束反射鏡は放射線を感光検知器１３８に反射する
。

この検知器はそれに入射する放射線のエネルギーに比例
する変動電気信号を発生する。

検知器の出力はインターフェログラムと呼ばれ、可動反
射鏡９０が干渉計内を縦方向に走行する時に検知器が受
けるエネルギーを表わす。

可動反射鏡組立体１１８はリニアモータ２２により可動
反射鏡アーム２６を縦方向に通り運搬される。

可動反射鏡組立体の運動は円滑で連続する。可動組立体
の速度は、リニアモータに行く電力増巾器１３０の出力
を調節する速度−タクト（とより制御される。

可動組立体は２本の横棒１０６上の空気軸受１０２によ
り支持される。

この横棒は可動組立体の運動全体を通して固定反射鏡６
０に対する可動反射鏡９０の直交整合を維持する。

反射鏡、光線分割器および横棒１０６を除き、干渉計の
全構成成分は同じアルミニウム合金で製作されている。

全体にわたって同じ合金を利用することにより熱膨張の
補正は排除される。

白色光線源７６は二次光線分割器３５に入射する平行化
白色光線を発生する。

以上に説明したのと同じ方法により、白色光線は２部分
に分離されこの２部分は固定白色光線反射鏡７８と可動
白色光線反射鏡８０から反射される。

この２部分はその後、二次光線分割器に反射し返さイ９
、再結合され、白色光線検知器８２に伝達される。

白色光線検知器はその上に入射する放射線のエネルギー
に比例する信号を発生する。

白色光線の波長の分布は公知のもので一貫して反復され
るインターフエコグラムがつくられるので、白色光線源
、検知器および関連反射鏡はスペクトル測定中基準点を
提供する。

ヘリウム−ネオンレーザ−４４は本質的に単色放射線を
発生する。

レーザー反射鏡４６は単色放射線を一次光線分割器３４
に向ける。

前記の説明と同様に、単色放射線は測定されている入射
放射線と厳密に同じ通路を逆に走行する。

再結合されたレーザー光線は人口３８を通って縞計数器
５０に伝達される。

レーザー縞計数器は、反射鏡が可動反射鏡アーム２６を
通って走行するにつれて、可動反射鏡・９０の運動によ
り発生した干渉縞の数を数える。

第７図についていえば、参照番号１４０はこ（７）発明
の代替実施例による干渉計を指す。

この代替実施例においては、リニアモータ２２は可動反
射鏡アーム２６内に完全に収容される。

干渉計１４０は単なる３脚２５上に支持され、リニア・
アクチェータ・モータの取付台は排除されている。

干渉計１４０の残余機素の構造と作動は以前に開示した
干渉計２０と同じである。

可動反射鏡アーム内にリニアモータを取付けることによ
り、アームの長さは実質的に短縮される。

長さが短縮される場合、干渉計は単に３脚上に支持され
振動に対する実質的な安定性と抵抗かそれにより得られ
る。

両実施例において理解する必要があるのは、反射鏡アー
ム２４．２６の２本の円形円筒管と２個の４５０フラン
ジ２８．３０が干渉計の堅牢な不撓性構造を形成するこ
とである。

前述のように円形円筒管を使用することにより、干渉計
は物理的衝撃や、また測定されている放射線の波長程短
い波長をもつ振動にも耐えることができる。

更に、連続して支持中心と合致する重心と、これらの２
中心を悪って作用する加速力ＦＡの両方維持する対称的
につりあった可動組立体１１８を使用することにより、
トルクと偶力は可動反射鏡のまわりに形成されることは
ない。

従って、干渉計の光学から傾斜、不整合、振動が排除さ
れる。

本文では特別な開示と実施例が示されたが、理解する必
要があることは、この発明の意図から逸脱せずに多数の
変形と変化を公知の通り行うことができることである。

例えば、多数の棒と支持アームを２個の横棒１０６と関
連支持アーム１０２の代りに使用しながらなお連続して
支持中心に可動反射鏡組立体１１８の重心を合致させて
維持することができる。

従って、前述例に照して解釈される特許請求の範囲によ
ってのみ制限されるもつと広い文脈で理解されるものと
する。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この発明による可動反射鏡用の対称的往復台
と、光線分割器に向けられるガスレーザーとをもつ多重
干渉計の斜視図。 第２図は、第１図の多重干渉計内の構成成分の内部配置
を示す部分水平断面の平面図。 第３図は、第２図の線３−３に沿うてとった横断面図。 第４図は、第１図の多重干渉計の端量面図。 第５図は、第１図の多重干渉計の可動反射鏡の往復台上
に作用する力の相対的な配置と方向を示す水力図。 第６図は、第１図の多重干渉計の電気構成成分と光路を
示し、ある部品を取り去った一部断面の概略平面図。 第７図は、この発明の代替実施例による、内部モータと
モータ取付組立体とをもつ多重干渉計の平面図である。 ２０・・・・・・多重干渉計、２２・・・・・・リニア
モータ、２４・・・・・・固定反射鏡アーム、２６・・
・・・・可動反射鏡アーム、３３・・・・・・光線分割
器板、３４・・・・・・一次光線分割器、３５・・・・
・・二次光線分割器、４４・・・・・・レーザー、６０
・・・・・・固定反射鏡、７６・・・・・・白色光線源
、７８・・・・・・固定白色光線反射鏡、８０・・・・
・・可動白色光線反射鏡、９０・・・・・・可動反射鏡
、１００・・・・・・往復台、１０２・・・・・・支持
アーム、１０４・・・・・空気軸受、１０６・・・・・
・横棒、１１８・・・・・・可動組立体、１４０・・・
・・・干渉計。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 入射電磁放射線のスペクトルを測定するための干渉
   計において： （ａ） その干渉計を支持する堅牢な枠と：（ｂ）
   前記の堅牢な枠上に調節自在に取付けた反射面を表面
   にもつ固定反射鏡組立体と： （ｃ） 前記の堅牢な枠に運動自在に取付けられ前記
   固定反射鏡組立体に直角に配置された反射面を表面にも
   つ可動反射鏡組立体と： （ａ） 前記の堅牢な枠上に取付けられ、入射放射線
   を２部分に分離し、後でその２部分を固定反射鏡組立体
   と運動自在に取付けた可動反射鏡組立体とから反射させ
   た後再結合する光線分割器と（ｅ） 前記枠上に前記
   の運動自在に取付けた可動反射鏡組立体を支持し、可動
   反射鏡組立体の重心と合致する支持中心を提供し、その
   支持中心が前記可動反射鏡組立体の運動範囲全体にわた
   り連続して前記重心と合致し続けるようにする支持装置
   と： （ｆ） 前記堅牢な枠上に取付けられ、支持中心及び
   重心の合致点を介して可動反射鏡組立体に力を加えて可
   動反射鏡組立体を固定反射鏡組立体及び光線分割器に対
   して動かす装置と： を含むことを特徴とする干渉計。