JPS58156839A - Optical measuring apparatus - Google Patents

Optical measuring apparatus

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JPS58156839A
JPS58156839A JP4113982A JP4113982A JPS58156839A JP S58156839 A JPS58156839 A JP S58156839A JP 4113982 A JP4113982 A JP 4113982A JP 4113982 A JP4113982 A JP 4113982A JP S58156839 A JPS58156839 A JP S58156839A
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JP
Japan
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light
sample
aperture
lens
spot
Prior art date
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Application number
JP4113982A
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Japanese (ja)
Inventor
Hirofumi Enomoto
榎本 弘文
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Fujifilm Holdings Corp
Original Assignee
Fuji Photo Film Co Ltd
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Publication date
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    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
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    • G02B5/0221Diffusing elements; Afocal elements characterised by the diffusing properties the diffusion taking place at the element's surface, e.g. by means of surface roughening or microprismatic structures the surface having an irregular structure
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    • G02B5/0273Diffusing elements; Afocal elements characterized by the use
    • G02B5/0278Diffusing elements; Afocal elements characterized by the use used in transmission

Abstract

PURPOSE:To make an apparatus simple and inexpensive, by constituting so that a light diffusion means diffusing and passing through incident light is included and this means is inserted into an optical axis of a main illuminating system crossing nearly vertically. CONSTITUTION:A diffuser for spot magnification 60 is provided between a light shading plate 40 and a condenser lens 50 and is inserted into an optical axis of a main illuminating system crossing nearly vertically as shown by an arrow mark E. On this occasion, the diffuser 60 is made of flat board sand scattered glass etc. and incident light from its one hand face is diffused and is transmitted to the other face by the diffuser 6. An auxiliary light source or lens for spot magnification for illumination of monitoring is not used for this optical measuring apparatus and construction of the apparatus is simplified by using the simple diffuser, and also the price of the apparatus is reduced.

Description

【発明の詳細な説明】 料、印刷物等の被測定サンプルの光学的特性、たとえば
光学的濃度、透過率、反射率等を測定する光学測定装置
に関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to an optical measuring device for measuring optical properties, such as optical density, transmittance, reflectance, etc. of samples to be measured such as materials and printed matter.

このような光学測定装置は、たとえばスキャナ、濃度計
、マイクロフォトメータ等に使用されているが、一般に
、光源と、光学的特性を測定すべき被測定サンプルの照
明領域を規定する開口を有する遮光板と、光源からの光
束を遮光板の開口に集束する第1のレンズ手段と、遮光
板の開口の像を被測定サンプルの上に結像する第2のレ
ンズ手段とを有する。
Such optical measurement devices are used, for example, in scanners, densitometers, microphotometers, etc., and generally include a light source and a light-shielding device having an aperture that defines an illuminated area of a sample to be measured whose optical properties are to be measured. It has a plate, first lens means for focusing the light beam from the light source onto the aperture of the light shielding plate, and second lens means for forming an image of the aperture of the light shielding plate onto the sample to be measured.

これによって、被測定サンプルの光学的特性を測定する
ときは、遮光板の開口に集束された光によって形成され
る開口の像が、第2のレンズ手段によって被測定サンプ
ルの上に投影され、被測定サンプルの表面における所望
の面積の領域が光源によって照明される。
Accordingly, when measuring the optical characteristics of the sample to be measured, the image of the aperture formed by the light focused on the aperture of the light shielding plate is projected onto the sample to be measured by the second lens means. A region of desired area on the surface of the measurement sample is illuminated by the light source.

被測定サンプルの所望の領域を探したり、まだそのサン
プルに形成された画像の焦点を合せたりするためには、
被測定サンプルの上におけるこの照明スポットの位置や
焦点合わせの程度をモニタ装置によって観察しなければ
ならない。しかし一般に、ザンブル上に形成された照明
スポットは径が非常に小さいので、通常、測定用照明ス
ポットより径の大きなモニタ用スポットでサンプルの上
を照明する方法が用いられている。
In order to locate the desired area of the sample to be measured or to focus the image formed on that sample,
The position and degree of focusing of this illumination spot on the sample to be measured must be observed by means of a monitoring device. However, since the diameter of the illumination spot formed on the sample is generally very small, a method is generally used in which the sample is illuminated with a monitoring spot having a larger diameter than the measurement illumination spot.

このだめの従来技術では、モニタ用に主照明系とは別な
補助照明系を設けた光学測定装置がある。この補助照明
系は、主照明系とは別に補助光源、コンデンサレンズ、
ミラーおよびハーフミラ−等が配設され、モニタを行な
う場合のみ主照明系の光軸に交わるようにハーフミラ−
をその中に挿入し、このハーフ1     ミラーを介
して補助光源によってサンプルの上に径の大きなモニタ
用スポットを投影するものである。このような主照明系
の他に補助照明系を用いる従来の光学測定装置では、補
助照明系があるだめに光学系の構成が非常に複雑になり
、装置自体が大型になる。
In the prior art, there is an optical measuring device that is provided with an auxiliary illumination system separate from the main illumination system for monitoring. This auxiliary lighting system includes an auxiliary light source, a condenser lens,
Mirrors, half mirrors, etc. are installed, and the half mirror is used so that it intersects with the optical axis of the main illumination system only when monitoring.
is inserted into the sample, and a large-diameter monitoring spot is projected onto the sample by an auxiliary light source through this half-1 mirror. In a conventional optical measurement apparatus that uses an auxiliary illumination system in addition to the main illumination system, the configuration of the optical system becomes extremely complicated due to the presence of the auxiliary illumination system, and the apparatus itself becomes large.

このような補助照明系を設ける代りに、主照明系の光路
中に、照明スポットを拡大するだめのレンズをモニタ時
のみ挿入する光学測定装置がある。しかしレンズは、そ
れ自体高価であり、また、モニタのためにレンズを挿入
したときにこのレンズの光軸と主照明系の光軸を一致さ
せる困難さもある。
Instead of providing such an auxiliary illumination system, there is an optical measuring device that inserts a lens in the optical path of the main illumination system to enlarge the illumination spot only during monitoring. However, the lens itself is expensive, and there is also the difficulty of aligning the optical axis of the lens with the optical axis of the main illumination system when the lens is inserted for monitoring.

別な方法として、前述の遮光板を、モニタ時と測定時と
では異なった径のものに取り替える光学測定装置がある
。すなわち、モニタのときは測定のときに用いる開口よ
り径の犬き々開口を有する遮光板を主光学系の光軸に挿
入する。しかしこれは、その開口の径が大きいために、
その開口全体を均一に照明するコンデンサレンズを前述
の第1のレンズ手段として用いなければならない。
Another method is an optical measuring device in which the aforementioned light shielding plate is replaced with one having a different diameter for monitoring and measuring. That is, when monitoring, a light-shielding plate having an aperture with a diameter larger than the aperture used for measurement is inserted into the optical axis of the main optical system. However, this is because the diameter of the opening is large.
A condenser lens that uniformly illuminates the entire aperture must be used as the first lens means.

したがって本発明は、このような従来技術の欠点を解消
し、構成が簡単で操作性のよい光学測定装置を提供する
ことを目的とする。
Therefore, it is an object of the present invention to overcome the drawbacks of the prior art and to provide an optical measurement device that is simple in structure and easy to operate.

この目的は次のような本発明による光学測定装置によっ
て達成される。すなわちこの装置は入射光を拡散して通
過させる光拡散手段を含み、この光拡散手段は、遮光板
の開口から第2のレンズ手段に至る光軸と交差する第1
の位置と、この開口から第2のレンズ手段に至る光を妨
げない第2の位置とを択一的にとり、第1の位置にある
ときは遮光板の開口から第2のレンズ手段に至る光を拡
散させることによって被測定サンプル上の比較的広い領
域を照明するものである。
This object is achieved by an optical measuring device according to the invention as follows. That is, this device includes a light diffusing means for diffusing and passing incident light, and the light diffusing means includes a first optical axis extending from the aperture of the light shielding plate to the second lens means.
and a second position that does not block the light from the aperture to the second lens means, and when in the first position, the light from the aperture of the light shielding plate to the second lens means is selectively selected. By diffusing the light, a relatively wide area on the sample to be measured is illuminated.

次に添付図面を参照して本発明の詳細な説明する。The present invention will now be described in detail with reference to the accompanying drawings.

第1図は本発明による光学測定装置を適用することので
きるスキャナを例として示す概念図である。同図におい
て、仮想線で抽かれた回転ドラム100円筒表面は実際
には透明な材料で形成され、その上に写真感光材料また
は印刷物など光学的濃度、透過率、反射率などを測定す
るサンプル3をセットする。この回転ドラム10の内部
には、同じく仮想線で図示されたコの字形の筐体12の
一方のアーム16がドラムの軸方向に挿入され、他方の
アーム14はドラム10の表面に沿ってこれと平行に配
置されている。図示のように筐体12の一方のアーム1
6の内部には光源1が配置され、他方のアーム16には
たとえばフォトダイオードなどの受光器8が配置されて
いる。アーム16および14の内部には適当なレンズお
よびミラーからなる光学系が配設され、その光軸は実線
18で示すように光源1から出てドラム10のサンプル
3を通過し、受光器8に到達するように、筐体12とは
逆向きのコの字形を形成している。これによって、サン
プル3の光学的濃度、透過率および反射率に応じた光が
受光器8によって受光され、サンプル3のこのような光
学的特性を測定することができる。
FIG. 1 is a conceptual diagram showing, as an example, a scanner to which an optical measuring device according to the present invention can be applied. In the same figure, the cylindrical surface of the rotating drum 100 drawn by the imaginary line is actually formed of a transparent material, and a sample 3, such as a photographic material or a printed matter, whose optical density, transmittance, reflectance, etc. are to be measured is placed on top of it. Set. Inside this rotating drum 10, one arm 16 of a U-shaped casing 12, also shown in phantom lines, is inserted in the axial direction of the drum, and the other arm 14 is inserted along the surface of the drum 10. is placed parallel to. As shown, one arm 1 of the housing 12
A light source 1 is arranged inside the arm 6, and a light receiver 8 such as a photodiode is arranged in the other arm 16. An optical system consisting of suitable lenses and mirrors is arranged inside the arms 16 and 14, the optical axis of which emerges from the light source 1, passes through the sample 3 of the drum 10, as indicated by the solid line 18, and enters the receiver 8. It forms a U-shape in the opposite direction to the housing 12 so as to reach the target. Thereby, light corresponding to the optical density, transmittance, and reflectance of the sample 3 is received by the light receiver 8, and such optical characteristics of the sample 3 can be measured.

受光系には図示のようにその光軸−ヒに斜めにハーフミ
ラ−などのミラー61が配設され、サンプル3」−の照
明領域の像をモニタ装置62のスクリーン上に結像させ
る。モニタ装置62は、後に第2図について説明するよ
うに、サンプル3の上の特定の被測定領域を探すために
ドラム10を回転させて光軸18上に移動させたり、照
明系および受光系の焦点を合わせたりするために、サン
プル3上の結像状態をモニタする装置である。
As shown in the figure, a mirror 61 such as a half mirror is disposed obliquely to the optical axis of the light receiving system, and an image of the illuminated area of the sample 3'' is formed on the screen of a monitor device 62. As will be explained later with reference to FIG. 2, the monitor device 62 rotates the drum 10 to move it onto the optical axis 18 in order to search for a specific measurement area on the sample 3, and monitors the illumination system and light receiving system. This is a device that monitors the state of imaging on the sample 3 in order to adjust the focus.

なお、この例では、サンプル3が光学的に透過型である
場合を示したが、光学的に反射型のサンプルを測定する
場合には光学系の照明系および受光系の双方ともドラム
の外側に位置する方式が使用される。
Note that this example shows the case where sample 3 is optically transmissive, but when measuring an optically reflective sample, both the illumination system and the light receiving system of the optical system should be placed outside the drum. A location method is used.

とのようなスキャナに適用され、丑だ本発明を適用する
ことのできる従来の光学測定装置の例を第2図に示す。
FIG. 2 shows an example of a conventional optical measurement device that is applied to a scanner such as the above, and to which the present invention can be applied.

この図では説明の便宜」二、第1図の光m18を直線と
して示してあり、第1図に示す要素と同様の要素は同じ
参照符号で示されている。この従来の装置では、光源1
から発生した光はコンデンサレンズ30および50、な
らびに照明アパーチャ42によってサンプル3の上に集
光し、所望の径の光スポットがその上に形成される。こ
の光スポットで照明されたサンプル30部分は、ピック
アップレンズ4および拡大レンズ5によって撮像され、
その像は円板6の上に結像する。これはピックアップレ
ンズ4を矢印Aで示すように光軸方向に動かすことによ
って円板6の表面における焦点合わせが行われる。
In this figure, for convenience of explanation, the light m18 in FIG. 1 is shown as a straight line, and elements similar to those shown in FIG. 1 are designated by the same reference numerals. In this conventional device, the light source 1
The light generated is focused onto the sample 3 by the condenser lenses 30 and 50 and the illumination aperture 42, and a light spot of the desired diameter is formed thereon. The part of the sample 30 illuminated by this light spot is imaged by the pickup lens 4 and the magnifying lens 5,
The image is formed on the disk 6. Focusing on the surface of the disk 6 is performed by moving the pickup lens 4 in the direction of the optical axis as shown by arrow A.

円板6は、図示のように、径の異なる複数の(この実施
例では9個の)アパーチャ81〜S9を有し、矢印Bで
示すように円板6を回転することによって所望の径のア
パーチャを選択することができる。円板6全体は光学的
に不透明で光を遮断し、アパーチャ81〜S9の部分の
みが光学的に透明である。たとえばこの図ではアパーチ
ャS9が光軸上に位置し、これによって円板60面上に
結像したサンプル3の像のうちアパーチャS9の開口の
部分のみが集束レンズIによって受光器8に集光されろ
。たとえばアパーチャ81〜S9の径の寸法は1〜32
間であり、サンプル3からアパーチャ81〜S9までの
受光系の倍率を100とすると、サンプル3の一ヒの測
定領域の径は10〜320μmとなる。
As shown in the figure, the disc 6 has a plurality of apertures 81 to S9 (nine in this example) having different diameters, and by rotating the disc 6 as shown by arrow B, a desired diameter can be obtained. Aperture can be selected. The entire disk 6 is optically opaque and blocks light, and only the apertures 81 to S9 are optically transparent. For example, in this figure, the aperture S9 is located on the optical axis, so that out of the image of the sample 3 formed on the surface of the disk 60, only the opening of the aperture S9 is focused onto the light receiver 8 by the focusing lens I. reactor. For example, the diameter of the apertures 81 to S9 is 1 to 32 mm.
If the magnification of the light receiving system from the sample 3 to the apertures 81 to S9 is 100, the diameter of the measurement area of the sample 3 is 10 to 320 μm.

第2図から明らかなように、この例ではミラー61がピ
ックアップレンズ4と拡大レンズ5との間に配設され、
サンプル3上の像がモニタ装置62のスクリーン上に結
像する。
As is clear from FIG. 2, in this example, the mirror 61 is disposed between the pickup lens 4 and the magnifying lens 5,
The image on the sample 3 is formed on the screen of the monitor device 62.

また、前述のように2つのコンデンサレンズ30と50
の間には照明アパーチャ42を有する遮光板40が設け
られ、これはアパーチャ42以外の部分は光学的に不透
明である。
Also, as mentioned above, two condenser lenses 30 and 50
A light-shielding plate 40 having an illumination aperture 42 is provided between the two, and is optically opaque except for the aperture 42.

照明アパーチャ42はたとえば円形の開口でアリ、コン
デンサレンズ50を介してサンプル3の面にたとえば1
閣の径の照明スポットを形成する。測定者はモニタ装置
62のスクリーンに投影されるサンプル3上の像の結像
状態を観察しながら、ピックアップレンズ4を矢印Aの
方向に移動させて受光系の焦点合わせ操作を行ない、捷
たドラム10を回転させたり軸方向に摺動させたりして
サンプル3上の被測定領域を光学系の光軸上に移動させ
る操作をする。
The illumination aperture 42 is, for example, a circular aperture, and the illumination aperture 42 is, for example, a circular opening.
Forms a lighting spot along the path of the temple. While observing the imaging state of the image on the sample 3 projected on the screen of the monitor device 62, the measurer moves the pickup lens 4 in the direction of arrow A to focus the light receiving system. 10 is rotated or slid in the axial direction to move the region to be measured on the sample 3 onto the optical axis of the optical system.

第3図および第4図は従来技術による光学測定装置の例
を示すもので、第2図と同様の要素は同じ参照符号で示
されている。まず第3図に示す例では、光源1からサン
プル3に至る主照明系とは別に、補助照明系が設けられ
、補助照明系は、補助光源2と、補助照明用コンデンサ
レンズ32と、ミラー34と、ハーフミラ−36とから
なる。ハーフミラ−36は矢印Cで示すように主照明系
の光軸に挿入したり、これから出したりすることができ
る。主照明系によってサンプル3の上に形成される照明
スポットは、通常、その径が非常に小さく、モニタ装置
62によって観測するには不適当である。したがってサ
ンプル3の特定の位置を探したり、主照明系の焦点合わ
せをする場合には、ハーフミラ−36を主照明系の光軸
に交わるように挿入して、補助光源2からの光を第3図
の点線に示すように主照明系に導く。これによってサン
プル3の表面には、主照明系の照明アパーチャ42の像
64が形成されるとともに、これに重ねてスポット64
より径の大きいスポット66が形成される。この従来の
装置では、コンデンサレンズ32の焦点距離を変えてモ
ニタ用スポット66の径を調節することができる。
3 and 4 show examples of optical measuring devices according to the prior art, in which elements similar to those in FIG. 2 are designated with the same reference numerals. First, in the example shown in FIG. 3, an auxiliary illumination system is provided separately from the main illumination system extending from the light source 1 to the sample 3. and a half mirror 36. The half mirror 36 can be inserted into the optical axis of the main illumination system as shown by arrow C, or can be taken out from there. The illumination spot formed on the sample 3 by the main illumination system usually has a very small diameter and is inappropriate for observation by the monitor device 62. Therefore, when searching for a specific position on the sample 3 or when focusing the main illumination system, insert the half mirror 36 so as to intersect the optical axis of the main illumination system to direct the light from the auxiliary light source 2 to the third It leads to the main illumination system as shown by the dotted line in the figure. As a result, an image 64 of the illumination aperture 42 of the main illumination system is formed on the surface of the sample 3, and a spot 64 is superimposed on this.
A spot 66 with a larger diameter is formed. In this conventional device, the diameter of the monitoring spot 66 can be adjusted by changing the focal length of the condenser lens 32.

このような補助照明系を用いる代りに、第4図の従来技
術の例では、コンデンサレンズ50とサンプル3との間
にスポット拡大用のレンズ52が設けられ、サンプル3
0表面における照明アパーチャ42の像をモニタ装置d
n     62でモニタするときは、このスポット拡
大用レンズ52を第4図に示す矢印りの方向に(11) 移動させて主照明系の光軸と交わるようにその中に挿入
する。これによって、測定用のスポット640代りにモ
ニタ用のスポット66がサンプル30表面に形成される
。このスポット拡大用レンズ52はアパーチャ42の像
のピントをぼかす機能を有する。
Instead of using such an auxiliary illumination system, in the prior art example shown in FIG. 4, a spot enlarging lens 52 is provided between the condenser lens 50 and the sample 3.
A monitor device d monitors the image of the illumination aperture 42 on the 0 surface.
When monitoring with n 62, this spot enlarging lens 52 is moved in the direction of the arrow shown in FIG. 4 (11) and inserted into the main illumination system so that it intersects with the optical axis. As a result, a monitoring spot 66 is formed on the surface of the sample 30 instead of the measurement spot 640. This spot enlarging lens 52 has a function of blurring the focus of the image of the aperture 42.

しかし、これら第3図および第4図に示す従来技術の光
学測定装置は、サンプル30表面上にモニタ用のスポッ
ト66を形成するために、補助照明系を配設したり(第
3図)、スポット拡大用の別なレンズを設けたシしてい
る(第4図)。しかし、このような補助照明系は構成が
複雑であり、捷だスポット拡大用レンズはその光軸を照
明系の光軸に一致させる困難さもあり、これらを是正す
るために、別なレンズを一枚使用することも得策ではな
い。
However, the conventional optical measuring devices shown in FIGS. 3 and 4 are equipped with an auxiliary illumination system (FIG. 3) in order to form a monitoring spot 66 on the surface of the sample 30. A separate lens for spot magnification is provided (Figure 4). However, such an auxiliary illumination system has a complicated configuration, and it is difficult to align the optical axis of the narrow spot enlarging lens with the optical axis of the illumination system. It is also not a good idea to use one.

第5図は本発明による光学測定装置の実施例の構成を概
念的に示す図である。同図において、第2図と同様の要
素は同じ参照符号で(12) 示されている。図示の実施例では遮光板4゜とコンデン
サレンズ50との間にスポット拡大用ディフ1−ザ60
が設けられ、これは同図に矢印Eで示すように主照明系
の光軸とほぼ垂直に交わるようにその中に挿入すること
ができる。ディフューザ60は、たとえば平板状の砂か
けガラス等であり、その一方の面から入射した光を拡散
させて他方の面に透過させるものである。
FIG. 5 is a diagram conceptually showing the configuration of an embodiment of the optical measuring device according to the present invention. In this Figure, elements similar to those in Figure 2 are designated by the same reference numerals (12). In the illustrated embodiment, a spot enlarging diffuser 60 is provided between the light shielding plate 4° and the condenser lens 50.
is provided, which can be inserted into the main illumination system so as to be substantially perpendicular to the optical axis of the main illumination system, as shown by arrow E in the figure. The diffuser 60 is, for example, a flat plate of sand-glazed glass or the like, and diffuses light incident on one surface thereof and transmits the light to the other surface.

実際に受光器8によって光学測定を行なう場合には、デ
ィフューザ60は第5図に実線で示す位置に引き込めら
れており、このため、光源1から出た光束はコンデンサ
レンズ30によって照明アパーチャ40の位置に結像す
る。実際には光源1のフィラメント像が結像されるので
多少焦点位置がずらせである。
When actually performing optical measurements using the light receiver 8, the diffuser 60 is retracted to the position shown by the solid line in FIG. image at the position. In reality, the filament image of the light source 1 is formed, so the focus position is slightly shifted.

この照明アパーチャ像はコンデンサレンズ50によって
サンプル3の上に結像され、測定用照明スポット64を
その上に形成する。
This illumination aperture image is imaged onto the sample 3 by a condenser lens 50 to form a measurement illumination spot 64 thereon.

測定用照明スポット64の径の大きさは、たとえば受光
側のアパーチャ81〜s9の径として300μm以下の
ものを選択した場合、1閾程度に設定されるのが普通で
ある。
The diameter of the measurement illumination spot 64 is usually set to about 1 threshold, for example, when a diameter of 300 μm or less is selected as the diameter of the apertures 81 to s9 on the light receiving side.

次に、サンプル3の上の特定の領域を探したり、サンプ
ルに形成された画像の焦点合わせをするために、前述の
ようにディフューザ60を主照明系の光軸にほぼ垂直に
交わるように挿入すると、コンデンサレンズ50はディ
フューザ60の上に形成された照明スポットを大きくぼ
かした形でサンプル3の表面に投影する。従ってサンプ
ル30表面には測定用のスポット64より径の大きなモ
ニタ用スポット66が形成され、モニタ装置62によっ
て拡大投影された画像を容易にモニタすることができる
。モニタ装置62のスクリーン上に投影されたスポット
66の像の大きさとしては直径25w++程度は必要で
ある。
Next, in order to search for a specific area on the sample 3 or to focus the image formed on the sample, the diffuser 60 is inserted almost perpendicularly to the optical axis of the main illumination system as described above. Then, the condenser lens 50 projects the illumination spot formed on the diffuser 60 onto the surface of the sample 3 in a largely blurred form. Therefore, a monitoring spot 66 having a larger diameter than the measuring spot 64 is formed on the surface of the sample 30, and the image enlarged and projected by the monitoring device 62 can be easily monitored. The size of the image of the spot 66 projected on the screen of the monitor device 62 needs to be about 25w++ in diameter.

測定用スポット64の直径を1mmとして、ピックアッ
プレンズ4に倍率5倍のレンズを使用したとすれば、モ
ニタ時本発明に係るディフユーザ60が光路中に挿入さ
れる結果、ザンブル上でのスポット径も5(転)程度に
拡大されると共にモニタ装置620ヌクリーン上では約
25Wn径に拡大投影されるから、画像の観察に十分な
照明スポットを得ることができる。
If the diameter of the measurement spot 64 is 1 mm and a lens with a magnification of 5 times is used as the pickup lens 4, the spot diameter on the sample will be Since the image is enlarged to about 5 (twice) and projected to a diameter of about 25 Wn on the monitor device 620, a sufficient illumination spot for image observation can be obtained.

なお、モニタ用スポット66の明るさは、ディフューザ
60のために測定用スポット64より暗くなる。しかし
、通常測定用スポット64はモニタ装置62で観測する
には明かる過キるので、スポット66の明かるさが観察
に適したレベルになるようにディフューザ60の拡散度
、すなわち砂かけガラスの粗さを選択することができる
。またディフューザ60を主光学系の光軸に挿入したと
きに、モニタ用スポット66と同時に測定用スポット6
4を投影させたい場合には、ディフューザ60の砂かけ
ガラスの粗さの程度を低くすればよい。
Note that the brightness of the monitoring spot 66 is darker than the measurement spot 64 because of the diffuser 60. However, since the measurement spot 64 is normally too bright to be observed with the monitor device 62, the degree of diffusion of the diffuser 60 is adjusted so that the brightness of the spot 66 is at a level suitable for observation. Roughness can be selected. Furthermore, when the diffuser 60 is inserted into the optical axis of the main optical system, the measurement spot 6
4, the degree of roughness of the sand-glazed glass of the diffuser 60 may be reduced.

本発明による光学測定装置は、モニタ用の(15) 照明に補助光源やスポツ、ト拡犬用レンズを使用せず、
単なるディフューザを用いているので、装置構成が非常
に簡単になり、装置価格が低下する。またディフューザ
は正確な光軸合せを必要としないので、製作、保守にお
ける調整も非常に簡単になる。
The optical measuring device according to the present invention does not use an auxiliary light source, a spot, or a magnification lens for monitoring (15) illumination.
Since a simple diffuser is used, the configuration of the device is extremely simple and the cost of the device is reduced. Additionally, since the diffuser does not require precise optical axis alignment, adjustments during manufacturing and maintenance are also very simple.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明による光学測定装置を適用することがで
きるスキャナの例を示す概念図、第2図は第1図に示す
スキャナの構成を説明するだめの概念図、 第3図および第4図は従来技術による光学測定装置の例
を示す概念図、 第5図は本発明による光学測定装置の実施例の構成を概
念的に示す図である。 主要部分の符号の説明 1・・・光源、  30.50・・コンデンサレンズ、
40・・遮光板、  42・・・照明アパーチャ。 (16) 第1図
FIG. 1 is a conceptual diagram showing an example of a scanner to which the optical measurement device according to the present invention can be applied, FIG. 2 is a conceptual diagram illustrating the configuration of the scanner shown in FIG. 1, and FIGS. The figure is a conceptual diagram showing an example of an optical measuring device according to the prior art, and FIG. 5 is a diagram conceptually showing the configuration of an embodiment of the optical measuring device according to the present invention. Explanation of symbols of main parts 1...Light source, 30.50...Condenser lens,
40... Light shielding plate, 42... Lighting aperture. (16) Figure 1

Claims (1)

【特許請求の範囲】 光源と、 光学的特性を測定すべき被測定サンプルの照明領域を規
定する開口を有する遮光板と、前記光源からの光束を該
遮光板の開口に集束する第1のレンズ手段と、 該遮光板の開口の像を該被測定サンプルの上に結像する
第2のレンズ手段とを含む光学測定装置において、該装
置は、 入射光を拡散して通過させる光拡散手段を含み、 該光拡散手段は、前記遮光板の開口から第2のレンズ手
段に至る光軸と交差する第1の位置と、該開口から第2
のレンズ手段に至る光を妨げない第2の位置とを択一的
にとり、第1の位置にあるときは該遮光板の開口から第
2のレンズ手段に至る光を拡散させることによって該被
測定サンプル上の比較的広い領域を照明することを特徴
とする光学測定装置。
[Scope of Claims] A light source, a light-shielding plate having an aperture that defines an illumination area of a sample to be measured whose optical properties are to be measured, and a first lens that focuses a light beam from the light source onto the aperture of the light-shielding plate. and second lens means for forming an image of the aperture of the light shielding plate onto the sample to be measured, the apparatus comprising: a light diffusing means for diffusing and passing incident light. The light diffusing means has a first position intersecting the optical axis extending from the aperture of the light shielding plate to the second lens means, and a second position extending from the aperture to the second lens means.
and a second position that does not block light reaching the lens means, and when in the first position, diffuses the light reaching the second lens means from the aperture of the light shielding plate. An optical measurement device characterized by illuminating a relatively wide area on a sample.
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