JPS5815658U - エツチング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】

第１図はワーク形状を示す立体図、第２図は本考案の一
実施例を示す立体図、第３図は本考案の揺動腕の動作を
示すモデル図、第４図は揺動動作を行なう機構部を示す
立体図、第５図は揺動動作を行なう機構部の断面図、第
６図は揺動動作を行なう機構部の上面図である。 １・・・・・・ワーク、２・・・・・・本体、３・・・
・・・旋回中心軸、４・・・・・・揺動腕、も・・・・
・・揺動中心軸、６・・・・・・ワークホルダー、７・
・・・・・エッチ槽、８・・・・・・洗浄槽、９・・・
・・・恒温槽、１０・・・・・・ツマミ、１１・・・・
・・回転可能な部材、１２・・・・・・制御箱、１３・
・・・・・揺動回転軸、１４・・・・・・フォロアー支
え軸、１５・・・・・・カムフォロアー、１６・・・・
・・カム。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 浸漬揺動自動エツチング装置において、ワークホルダー
   を２１軸を中心に０１方向に回転後、逆転する動作を繰
   り返し行なうと同時にＺ□軸方向にΔｚ１の変位を与え
   ながら前記動作を繰り返し行なう機能を備えた腕部を配
   設した旋回軸が、角度θ旋回後、ワークホルダーが槽の
   中へ入るべくＺ軸方向に移動し、次に定めた時間の経過
   後に元の位置に戻り、次に前記角度θだけ逆方向に旋回
   後、ワークホルダーが槽の中へ入るべくＺ軸方向に移動
   し、次に定めた時間の経過後にＺ軸方向に元の位置へ戻
   るが如く移動し、動作開始初めの位置に戻るよう移動す
   る機能を備えたことを特徴とするエツチング装置。