JPS5815658U - エツチング装置 - Google Patents
エツチング装置Info
- Publication number
- JPS5815658U JPS5815658U JP10919581U JP10919581U JPS5815658U JP S5815658 U JPS5815658 U JP S5815658U JP 10919581 U JP10919581 U JP 10919581U JP 10919581 U JP10919581 U JP 10919581U JP S5815658 U JPS5815658 U JP S5815658U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- work holder
- etching device
- axis direction
- rotated
- original position
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- ing And Chemical Polishing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図はワーク形状を示す立体図、第2図は本考案の一
実施例を示す立体図、第3図は本考案の揺動腕の動作を
示すモデル図、第4図は揺動動作を行なう機構部を示す
立体図、第5図は揺動動作を行なう機構部の断面図、第
6図は揺動動作を行なう機構部の上面図である。 1・・・・・・ワーク、2・・・・・・本体、3・・・
・・・旋回中心軸、4・・・・・・揺動腕、も・・・・
・・揺動中心軸、6・・・・・・ワークホルダー、7・
・・・・・エッチ槽、8・・・・・・洗浄槽、9・・・
・・・恒温槽、10・・・・・・ツマミ、11・・・・
・・回転可能な部材、12・・・・・・制御箱、13・
・・・・・揺動回転軸、14・・・・・・フォロアー支
え軸、15・・・・・・カムフォロアー、16・・・・
・・カム。
実施例を示す立体図、第3図は本考案の揺動腕の動作を
示すモデル図、第4図は揺動動作を行なう機構部を示す
立体図、第5図は揺動動作を行なう機構部の断面図、第
6図は揺動動作を行なう機構部の上面図である。 1・・・・・・ワーク、2・・・・・・本体、3・・・
・・・旋回中心軸、4・・・・・・揺動腕、も・・・・
・・揺動中心軸、6・・・・・・ワークホルダー、7・
・・・・・エッチ槽、8・・・・・・洗浄槽、9・・・
・・・恒温槽、10・・・・・・ツマミ、11・・・・
・・回転可能な部材、12・・・・・・制御箱、13・
・・・・・揺動回転軸、14・・・・・・フォロアー支
え軸、15・・・・・・カムフォロアー、16・・・・
・・カム。
Claims (1)
- 浸漬揺動自動エツチング装置において、ワークホルダー
を21軸を中心に01方向に回転後、逆転する動作を繰
り返し行なうと同時にZ□軸方向にΔz1の変位を与え
ながら前記動作を繰り返し行なう機能を備えた腕部を配
設した旋回軸が、角度θ旋回後、ワークホルダーが槽の
中へ入るべくZ軸方向に移動し、次に定めた時間の経過
後に元の位置に戻り、次に前記角度θだけ逆方向に旋回
後、ワークホルダーが槽の中へ入るべくZ軸方向に移動
し、次に定めた時間の経過後にZ軸方向に元の位置へ戻
るが如く移動し、動作開始初めの位置に戻るよう移動す
る機能を備えたことを特徴とするエツチング装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10919581U JPS5815658U (ja) | 1981-07-24 | 1981-07-24 | エツチング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10919581U JPS5815658U (ja) | 1981-07-24 | 1981-07-24 | エツチング装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5815658U true JPS5815658U (ja) | 1983-01-31 |
Family
ID=29903578
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10919581U Pending JPS5815658U (ja) | 1981-07-24 | 1981-07-24 | エツチング装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5815658U (ja) |
-
1981
- 1981-07-24 JP JP10919581U patent/JPS5815658U/ja active Pending
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