JPS58155756A - One-dimensional photosensor - Google Patents

One-dimensional photosensor

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Publication number
JPS58155756A
JPS58155756A JP57038031A JP3803182A JPS58155756A JP S58155756 A JPS58155756 A JP S58155756A JP 57038031 A JP57038031 A JP 57038031A JP 3803182 A JP3803182 A JP 3803182A JP S58155756 A JPS58155756 A JP S58155756A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
output
ccd
photodiode array
mosfets
odd
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP57038031A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Koichi Mayama
真山 晃一
Kiyoshi Inoue
清 井上
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP57038031A priority Critical patent/JPS58155756A/en
Publication of JPS58155756A publication Critical patent/JPS58155756A/en
Pending legal-status Critical Current

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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L27/00Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
    • H01L27/14Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
    • H01L27/144Devices controlled by radiation
    • H01L27/146Imager structures
    • H01L27/148Charge coupled imagers
    • H01L27/14825Linear CCD imagers

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)

Abstract

PURPOSE:To equalize the output levels of both channels by transferring output signals from the odd and even numbers elements of one-dimensional photodiode array by each CCD and forming MOSFETs with a common source at the output terminals. CONSTITUTION:Output signals from the odd and even numbers elements are each read in parallel with CCD analog shift registes 3a, 3b through transfer gates 2a, 2b. The transfer gates 2a, 2b represent the MOSFETs, and are controlled by a signal phiG. The registers 3a, 3b are subject to pulses phi1, phi2, transfer informations read in parallel in succession and output them in series. The MOSFETs Q1, Q2 using Si layers in the output terminals of the registers as drains are formed, sources are connected in common, and informations synthesized are amplified 4, and outputted. The impedance of the Q1, Q2 is adjusted by external control voltage OG1, OG2, and the variance of a signal level between both channels can be adjusted simply.

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は、−次元ホトセンサ#IC関する。[Detailed description of the invention] The present invention relates to a -dimensional photosensor #IC.

ホトダイオードアレイを用いた一次元センサにおいて、
1つのホトセンサの占有面積に対して転送部を構成する
CCD(電荷移送素子)の占有面積が大きい。したがっ
て、ホトダイオードアレイノヒツチな小さく構成するた
め、奇数番目のホトダイオードと、偶数番目のホトダイ
オードとに分割して、上記ホトダイオードアレイの上部
と下部にそれぞれの転送部を配置したものが公知である
In a one-dimensional sensor using a photodiode array,
The area occupied by a CCD (charge transfer element) constituting the transfer section is larger than the area occupied by one photosensor. Therefore, in order to make the photodiode array small and compact, it is known that the photodiode is divided into odd-numbered photodiodes and even-numbered photodiodes, and respective transfer sections are arranged at the upper and lower parts of the photodiode array.

このように、1つのホトダイオードアレイからの出力信
号を2つのチャンネルに振り分けて転送する場合、主と
して両チャンネル間でのCOD転送効率のバラツキによ
って、出力信号にアンバランスが生じるという欠点があ
った。
In this way, when the output signal from one photodiode array is divided into two channels and transferred, there is a drawback that the output signal becomes unbalanced mainly due to variations in COD transfer efficiency between the two channels.

こめ発明の目的は、両チャンネル間での出力信号アンバ
ランスを補正することのできる一次元ホトセンサを提供
するととにある。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a one-dimensional photosensor capable of correcting output signal imbalance between both channels.

この発明の他の目的は、以下の説明及び図面から明らか
Kなるであろう。
Other objects of the invention will become apparent from the following description and drawings.

以下、この発明を実施例とともに詳細ICNG2明する
Hereinafter, this invention will be explained in detail along with examples.

第1図には、この発明の一実施例のブロック図が示され
ている。
FIG. 1 shows a block diagram of one embodiment of the invention.

この実施例の各回路ブロックは、公知の半導体集積回路
技術によって、1つの半導体基板上において形成されて
いる。
Each circuit block in this embodiment is formed on one semiconductor substrate using known semiconductor integrated circuit technology.

同図において、ホトダイオード1が、その代表として示
され、−列に配列されるととによって一次元ホトダイオ
ードアレイを構成する。
In the figure, photodiodes 1 are shown as a representative photodiode, and when arranged in columns, they form a one-dimensional photodiode array.

このホトダイオードアレイのうち、奇数番目のホトダイ
オードの出力信号は、記号2aで示された転送ゲートを
通してCODアナログシフトレジスタ38に並列に続出
される。
Output signals of odd-numbered photodiodes in this photodiode array are successively outputted in parallel to the COD analog shift register 38 through a transfer gate indicated by symbol 2a.

一方、上記ホトダイオードアレイのうち、偶数番目のホ
トダイオードの出力信号は、記号2bで示された転送ゲ
ートを通してCCDアナログシフトレジスタ3bK並列
に続出される。
On the other hand, the output signals of the even-numbered photodiodes in the photodiode array are successively output in parallel to the CCD analog shift registers 3bK through the transfer gates indicated by symbol 2b.

上記転送グー)2a、2bは、MOSFET(絶縁ゲー
ト型電界効果トランジスタ)によって構成されている。
The above transfer devices 2a and 2b are constituted by MOSFETs (insulated gate field effect transistors).

タイミングパルスφ。は、その制御信号である。Timing pulse φ. is its control signal.

上記CCDアナログシフトレジスタ(以下、単KCCL
)レジスタと称す)3a、3bは、2相のクロックパル
スφ1.φ、を受けて、上記並列に続出された画素デー
タを順次転送l−て直列に出力する。この場合、例えば
クロックパルスφ、に同期してCCDレジスタ3aから
奇数番目の画素データが出力され、クロックパルスφ、
に1tflJtQLテc CDレジスタ3bから偶数番
目の画素データが出力されるので、上記ホトダイオード
アレイのホトダイオードの順列に従って画素データを得
ることができる。
The above CCD analog shift register (hereinafter simply KCCL)
) 3a and 3b are called registers 3a and 3b, which receive two-phase clock pulses φ1. In response to φ, the parallel pixel data are sequentially transferred and output in series. In this case, for example, odd-numbered pixel data is output from the CCD register 3a in synchronization with the clock pulse φ, and the clock pulse φ,
Since even-numbered pixel data is output from the CD register 3b, pixel data can be obtained according to the permutation of the photodiodes in the photodiode array.

この実施例では、上記2つのCCDレジスタ3a。In this embodiment, the two CCD registers 3a.

3bにおける出力信号レベルのアンバランスを補正する
ためK、可変インピーダンス手段としてのM OS F
 E T Q + −Q tが設けられている。
In order to correct the unbalance of the output signal level in 3b, K and MOS F as variable impedance means.
E T Q + −Q t is provided.

特K IIIJ限されないが、上記MO8FETQ、。Special K IIIJ including but not limited to the above MO8FETQ.

Q意は、上記CCDレジスタ3a、3bの出力ノードを
構成する半導体領域ケトレインとして用いることKより
、その占有面積を小さくしている。
Q is used as a semiconductor region ketone constituting the output nodes of the CCD registers 3a and 3b, and its occupied area is smaller than K.

また、半導体集積回路内で、上記奇数画素データと偶数
データとを合成するために、上記MO8FETQ、、Q
、のソース側が共通化されている。
In addition, in order to synthesize the odd number pixel data and the even number data in the semiconductor integrated circuit, the MO8FETQ, , Q
The source side of , is shared.

そして、上記共通化されたソースによっ℃合成された画
素データは、プリアンプ4によって増幅され、外部回路
に出力されるものである。上記MO8F E T Q+
 −Qtのゲート電極は、外部制御電圧OG、、OG、
が供給される外部端子に接続されているう 上記MO8FETQ、、Q、の働きを第2図の波形図に
従っ−C説明する。
The pixel data synthesized by the common source is amplified by the preamplifier 4 and output to an external circuit. Above MO8FET Q+
-Qt gate electrode is connected to external control voltage OG, OG,
The operation of the MO8FETs Q, , Q, which are connected to the external terminals to which the signals are supplied will be explained according to the waveform diagram in FIG.

同一の受光量に対するCODレジスタ3J1からの出力
信号aのレベルに対しC,CODレジスタ3bからの出
力信号すのレベルが大きい場合には。
When the level of the output signal C from the COD register 3b is higher than the level of the output signal a from the COD register 3J1 for the same amount of received light.

MO8FETQ、のインピーダンスを大きくして、その
抵抗値とプリアンプ40入力容量とにより、同図に点線
で示すように出力信号aと同一レベルになるようIIC
@整する。この調整は1例えば、制御電圧OG、  よ
りOG、を小さくすることにより極めて簡単に行なうこ
とができる。
By increasing the impedance of MO8FETQ, and using its resistance value and preamplifier 40 input capacitance, IIC
@Adjust. This adjustment can be made very easily by, for example, reducing the control voltage OG.

この実施例の一次元ホトセンサでは、上記M08 )”
 E i’ Q 1 、 Qtのレベル調整範囲内での
上記両チャンネル関に出力レベルのバラツキがあっても
、良品として扱うことができるので、製品歩留りを大f
&に向上でき、結果として大幅なコスト低eI1.4/
図ることがで貧る。
In the one-dimensional photosensor of this embodiment, the above M08)"
Even if there is variation in the output level between the above two channels within the level adjustment range of E i' Q 1 and Qt, it can be treated as a good product, so the product yield can be greatly reduced.
& as a result, significantly lower cost eI1.4/
I'm poor at trying.

fLM、上記両チシ′ンネル関での信号レベルのバラツ
キは、クロックパルスφ1.φ、の立ち上り特性のアン
バランスによっても生じる。したがって、使用者lIに
おいて、上記クロックパルスφ1゜φ、を形成する駆動
回路の特性バラツキがあっても、上記M OS F E
 T Qt −Qtへの制御電圧OGi、OQ*の調l
IKより、これを救済することができるという利点をも
有する。これにより、駆動回路の設計、調整が容易とな
って、全体とし・てのシステムコストを低下させること
ができる。
fLM, the variation in the signal level between the two channels is due to the clock pulse φ1. It also occurs due to an imbalance in the rise characteristics of φ. Therefore, even if there are variations in the characteristics of the drive circuit that forms the clock pulse φ1゜φ, the user II
Adjustment of control voltage OGi, OQ* to T Qt −Qt
It also has the advantage of being able to relieve this more than IK. This facilitates the design and adjustment of the drive circuit, and reduces the overall system cost.

さらに、経時変化によって、上記両チャンネル間でのレ
ベルパヂッキが生じても、簡単に^調整することができ
る。
Furthermore, even if level padding occurs between the two channels due to changes over time, it can be easily adjusted.

なおこの発明は、前記実施例に限定されない。Note that this invention is not limited to the above embodiments.

一方のMO8FETQ、のゲートには、内部電源電圧等
による固定バイアス電圧を与えておいて、他方のMO8
FETQ、のゲートに外部からの制御電圧OGを与える
ようにしてもよい。この場合には、半導体集積回路の外
部端子が1ピン削減できるという利点がある。
A fixed bias voltage, such as an internal power supply voltage, is applied to the gate of one MO8FETQ, and the gate of the other MO8FETQ is
An external control voltage OG may be applied to the gate of FETQ. In this case, there is an advantage that the number of external terminals of the semiconductor integrated circuit can be reduced by one pin.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は、この発明の一実施例を示すブロック図、第2
図は、その動作の一例を示す波形図である。 1・・・ホトダイオード、2a、2b・・・転送ゲート
、3a、3b、・・CCDレジスタ、4・・・プリアン
プ。
FIG. 1 is a block diagram showing one embodiment of the present invention, and FIG.
The figure is a waveform diagram showing an example of the operation. 1... Photodiode, 2a, 2b... Transfer gate, 3a, 3b,... CCD register, 4... Preamplifier.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1、−次元ホトダイオードアレイと、この−次元ホトダ
イオードアレイのうち奇数番目のホトダイオードからの
出力信号を受けて直列に出力するCCDで構成された第
1の転送部と、上記−次元ホトダイオードアレイ、のう
ち偶数番目のホトダイオードからの出力信号を受けて直
外に出力するCCDで構成された第2の転送部と、□上
記第1.第2の転送部の出力端子に直列にそれぞれ設け
られたMO8構造のインピーダンス手段とを含み、上記
インピーダンス手段の少なくとも一方を可俊インピーダ
ンスとして用いることを特徴とする一次元ホトセンサ。 2、上記インピーダンス手段は、上記第1.第2の転送
部の出力ノードをドレインとし、ソースが共通化された
MO8FETであることす4I黴とする特許請求の範囲
第1項記載の一次元ホトセンサ。
[Scope of Claims] 1. A first transfer section comprising a -dimensional photodiode array, a CCD that receives output signals from odd-numbered photodiodes of the -dimensional photodiode array and outputs them in series; a second transfer unit composed of a CCD that receives output signals from even-numbered photodiodes of the dimensional photodiode array and outputs them immediately; A one-dimensional photosensor, comprising: impedance means having an MO8 structure provided in series with the output terminals of the second transfer section, and at least one of the impedance means is used as a flexible impedance. 2. The impedance means is the same as the first impedance means. 2. The one-dimensional photosensor according to claim 1, wherein the output node of the second transfer section is a drain and the source is a common MO8FET.
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