JPS58145534U - 電離真空計制御装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例を示す構成概略図、第２図は
その原理構成図、第３図は他の一実施例を示す構成概略
図、第４図は第３図を説明するための原理構成図、第５
図は第４図の変形例構成図、第６図は、本考案の他の一
実施例を示す構成概略図、第７図は、第６図を説明する
ための原理構成図である。 １３．１４・・・三極管形電離真空計測定子、１５．−
１６・・・ゲージソケット、１７・・・真空計制御回路
、１８・・・・真空度表示器、１９．１９’・・・熱フ
ィラメント、２０．２０’　・・・グリッド、２１．２
１’　・・・コレクター、２２・・・真空計切換器、２
３，２３ａ。 ２３ｂ、２３Ｃ・・・フィラメント制御回路、２４・・
・真空度ホールド回路、２５・・・フィラメント電源、
２６．２６ａ、−２６ｂ、２６Ｃ−・・可変抵抗、２７
−・・グリッド電源、２８，２８ａ、２８ｂ、２８Ｃ−
・・ニーミッション電流計、２９・・・コレクター電源
、３０・・・コレクター電流計、３１・・・Ｂ−Ａゲー
ジ、３３・・・真空容器、３４・・・ゲージソケット、
３５・・・コレクタ一端子用ソケット、３６・・・フィ
ラメント切換制御回路、３７−・・測定子、１９ａ、１
９ｂ、１９Ｃ・・・熱フィラメント。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 １　使用中のフィラメントが断線したことを検出して、
   自動的に他のフィラメントに切り替える手段を有してい
   る熱陰極形電離真空計において、断線時の真空度をホー
   ルドする制御手段を設けたことを特徴とする電離真空計
   制御装置。 ２　使用中のフィラメントが断線１、次の新しいフィラ
   メントに切り換った際に、断線したときの真空度をホー
   ルドするとともに、新しいフィラメントによる真空度が
   、前記ホールド値に対し、ある所定の範囲内に達したら
   ホールドを解除する手段を設けたことを特徴とする請求
   の範囲第１項に記載の電離真空計制御装置。 ３　前記熱陰極形電離真空計の測定子は、少なくとも２
   個以上の熱フィラメントを内蔵していることを特徴とす
   る請求の範囲第１項に記載の電離真空計制御装置。