JPS58124949U - 半導体ウエハ− - Google Patents
半導体ウエハ−Info
- Publication number
- JPS58124949U JPS58124949U JP2112882U JP2112882U JPS58124949U JP S58124949 U JPS58124949 U JP S58124949U JP 2112882 U JP2112882 U JP 2112882U JP 2112882 U JP2112882 U JP 2112882U JP S58124949 U JPS58124949 U JP S58124949U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor wafer
- temperature detection
- semiconductor
- detection circuit
- utility
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は、半導体ウェハー上に作製された半導体記憶装
置とセンサー回路を表わす。第２図はプローバの半導体
ウェハー搭載台に乗せた半導体ウェハー上のセンサー回
路をテスターで温度測定している様子を表わす。第３図
は半導体ウェハー上に作製するセンサー回路の回路図で
ある。 図中、１・・・・・・センサー回路、２・・・・・・半
導体記憶装置、３・・・・・・半導体ウェハー、４・・
・・・・探針部、５ −・・・・・・ブローブカ＝ド、
６・・・・・・プローバ、７・・・・・・半導体ウェハ
ー搭載台、８・・・・・・温度制御装置、９・・・・・
・テスター、１０・・・・・・位相補正内蔵形増幅器、
１１・・・・・・温度センサー、１２・・・・・・基準
電圧、１′・・・・・・温度検出回路又は温度検出素子
を含む半導 、体記憶装置、である。
置とセンサー回路を表わす。第２図はプローバの半導体
ウェハー搭載台に乗せた半導体ウェハー上のセンサー回
路をテスターで温度測定している様子を表わす。第３図
は半導体ウェハー上に作製するセンサー回路の回路図で
ある。 図中、１・・・・・・センサー回路、２・・・・・・半
導体記憶装置、３・・・・・・半導体ウェハー、４・・
・・・・探針部、５ −・・・・・・ブローブカ＝ド、
６・・・・・・プローバ、７・・・・・・半導体ウェハ
ー搭載台、８・・・・・・温度制御装置、９・・・・・
・テスター、１０・・・・・・位相補正内蔵形増幅器、
１１・・・・・・温度センサー、１２・・・・・・基準
電圧、１′・・・・・・温度検出回路又は温度検出素子
を含む半導 、体記憶装置、である。
Claims (2)
- （１） 半導体ウェハーがあらかじめ定められた温度
に達しているか否かを検出するために該半導体ウェハー
上に温度検出用の検出回路が形成されていることを特徴
とする半導体ウェハー。 - （２）前記半導体ウェハー上の全半導体装置内に温度検
出用回路として温度検出回路あるいは温度検出素子を作
製したことを特徴とする実用新案登録請求の範囲第（１
）項記載の半導体ウエノ１−０
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2112882U JPS58124949U (ja) | 1982-02-17 | 1982-02-17 | 半導体ウエハ− |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2112882U JPS58124949U (ja) | 1982-02-17 | 1982-02-17 | 半導体ウエハ− |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58124949U true JPS58124949U (ja) | 1983-08-25 |
| JPS6236282Y2 JPS6236282Y2 (ja) | 1987-09-16 |
Family
ID=30033259
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2112882U Granted JPS58124949U (ja) | 1982-02-17 | 1982-02-17 | 半導体ウエハ− |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58124949U (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5387669A (en) * | 1977-01-12 | 1978-08-02 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Inspecting system for integrated circuit device |
| JPS5497376A (en) * | 1978-01-18 | 1979-08-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Inspection method semiconductor device |
| JPS57102009A (en) * | 1980-12-17 | 1982-06-24 | Nec Corp | Semiconductor device |
-
1982
- 1982-02-17 JP JP2112882U patent/JPS58124949U/ja active Granted
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5387669A (en) * | 1977-01-12 | 1978-08-02 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Inspecting system for integrated circuit device |
| JPS5497376A (en) * | 1978-01-18 | 1979-08-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Inspection method semiconductor device |
| JPS57102009A (en) * | 1980-12-17 | 1982-06-24 | Nec Corp | Semiconductor device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6236282Y2 (ja) | 1987-09-16 |
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