JPS58122408A - 追従手段を含む測定装置 - Google Patents
追従手段を含む測定装置Info
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- JPS58122408A JPS58122408A JP14861882A JP14861882A JPS58122408A JP S58122408 A JPS58122408 A JP S58122408A JP 14861882 A JP14861882 A JP 14861882A JP 14861882 A JP14861882 A JP 14861882A JP S58122408 A JPS58122408 A JP S58122408A
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- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/08—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers
- G11B7/09—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers with provision for moving the light beam or focus plane for the purpose of maintaining alignment of the light beam relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
- G11B7/0901—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers with provision for moving the light beam or focus plane for the purpose of maintaining alignment of the light beam relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following for track following only
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- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Testing Or Calibration Of Command Recording Devices (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はトラッキングによ〕物塩的量を測定する装置に
関し、さらに詳しくはこの様な装置における較正手段に
関するものである。
関し、さらに詳しくはこの様な装置における較正手段に
関するものである。
変動する物塩的量を間接的に一定するものとしては、デ
ィスク状紀録媒体上の情報トラックのトラック振れを一
定する装置がある。トラック振れを光学的に測定する装
置は、トラッキングミラーと呼ばれる可動鏡装置によ）
レーザ焦束スポットをトラック上に追従（以下トラッキ
ングという、）させ、この可動鏡装置に篇射しえ光の反
射部分の位置変化を検出する様に構成されている。光の
位置変化の検出にはフォトディテクタよ）なる−次元位
置センサー等によって電気的に検出されている。
ィスク状紀録媒体上の情報トラックのトラック振れを一
定する装置がある。トラック振れを光学的に測定する装
置は、トラッキングミラーと呼ばれる可動鏡装置によ）
レーザ焦束スポットをトラック上に追従（以下トラッキ
ングという、）させ、この可動鏡装置に篇射しえ光の反
射部分の位置変化を検出する様に構成されている。光の
位置変化の検出にはフォトディテクタよ）なる−次元位
置センサー等によって電気的に検出されている。
しかし、可動装置における可動部製ちミ゛ラー蕩は、比
較的大色な質量を有する為、比−的蛮化の遅いトラック
振れに対してはトラッキング可能であるが、比較的変化
の速いトラック振れに対しては十分な応答は一難である
。従ってトラック振れの低域成分につｉてＯ一定は正確
に行う事ができるが、高域成分についての測定は因難な
ものであった。
較的大色な質量を有する為、比−的蛮化の遅いトラック
振れに対してはトラッキング可能であるが、比較的変化
の速いトラック振れに対しては十分な応答は一難である
。従ってトラック振れの低域成分につｉてＯ一定は正確
に行う事ができるが、高域成分についての測定は因難な
ものであった。
本発明は上記欠点に艦みてなされ九４０であり、そのａ
的とするとζろは、広帯域にわ九って変動する物理酌量
のＩ＆１足を正確に行う事が可能な測定装置を提供する
事である。
的とするとζろは、広帯域にわ九って変動する物理酌量
のＩ＆１足を正確に行う事が可能な測定装置を提供する
事である。
本発明に係るａ１足装置において紘、一定する点と検出
点とのづれに応じた誤差信号をトラッキングアクチェエ
ータの変位に応じ良信号に所足Ｏ側合で加え九合威信号
を測定値とした事を特徴としている。
点とのづれに応じた誤差信号をトラッキングアクチェエ
ータの変位に応じ良信号に所足Ｏ側合で加え九合威信号
を測定値とした事を特徴としている。
さらに、本発明に係る装置において社、トラッキングを
行うトラッキングず−ボルーブに適当な周波数のテスト
信号を外乱として注入し。
行うトラッキングず−ボルーブに適当な周波数のテスト
信号を外乱として注入し。
そのトキトラッキングエラー信号中に含まれるテスト信
号と同一１［Ｉ波数の成分が零となる様に加算比率を設
定する較正手段を有する事を特徴としている。
号と同一１［Ｉ波数の成分が零となる様に加算比率を設
定する較正手段を有する事を特徴としている。
以下１本発明の実施例を図に従って説明する。
本実施例においては、光学式ディスク状記鍮媒体のトラ
ック振れを光学的に検出する装置によ）説明する。この
装置はトラック振れの測定を、トラッキングミラーの傾
きの変化を検出して行っている。すなわち第２０レーザ
ー光ａｌｌＯＸかも発せられたレーず一ビーム１０３ｉ
１ｋｌ定電ラー１０Ｓ、１０７を介しトラッキングミラ
ー１０９Ｋｌｌ射される。仁のトラッキングミラー１Ｇ
１１は、後述する橡に、ディスク１１１１０上のトラッ
クの振れに応じて角度を変化させる、仁のトラッキング
ずラー１０９により反射され九レープービーム１０３ｔ
ｉ、再び自足ミラー１０７．１０５で反射された後、固
定ミラー１１１．１１３を介して１次元センナ１１５Ｋ
ｉｌ射される。よってトラッキングミラー１０９の回動
は１次元センｔｉｉｓ上のビームの移動に変換され、そ
れに応じえ電気信号として検出される。一方％ｌＥ３の
レーザ光源１１７から発せられ先し−ザービームｌム９
は、ビームスプリッタ１２１．４分の１波長板１２３．
固犀ミラー１２５トラッキングミラー１０９を介してデ
ィスク１００上のトラックに蝋射され、トラッキングミ
ラー１０９．＆ｌ定ずシー１２５．４分の１ｍ長８１２
３．ビームスプリッタ１２１を介してフォトダイオード
勢よりなる信号検出装置１２６によ）検出される。そし
てこの検出された反射光蓋の変化中に含まれるトラッキ
ングエラーｔＡＮはトラッキングエラー信号検出装置１
２７によシ検出され、トラッキングサーボ装置１２９に
供給され、このトラッキングサーボ装置１１１１）１２
Ｇの出力はレーず−ビーム１１９が正しくトラッキング
する様トラッキングミラー１０３葡回動させる。ここで
、トラッキングサーボ装［１２９は％蘭紀トラッキング
ミラー属動信号を発生させる際に、指令により、−示せ
ぬスピンドルモータからｔ）１回転に付１ｍ尭生される
パルスに応シて、トラッキングミラーを微小角ｆ、ｔ１
ｍ動じ、いわゆるステル動作をさせる様なジャンプパッ
クパルスも発生する。このスチル動作により、同一トラ
ックＯ測定を績絖して行うことができる。
ック振れを光学的に検出する装置によ）説明する。この
装置はトラック振れの測定を、トラッキングミラーの傾
きの変化を検出して行っている。すなわち第２０レーザ
ー光ａｌｌＯＸかも発せられたレーず一ビーム１０３ｉ
１ｋｌ定電ラー１０Ｓ、１０７を介しトラッキングミラ
ー１０９Ｋｌｌ射される。仁のトラッキングミラー１Ｇ
１１は、後述する橡に、ディスク１１１１０上のトラッ
クの振れに応じて角度を変化させる、仁のトラッキング
ずラー１０９により反射され九レープービーム１０３ｔ
ｉ、再び自足ミラー１０７．１０５で反射された後、固
定ミラー１１１．１１３を介して１次元センナ１１５Ｋ
ｉｌ射される。よってトラッキングミラー１０９の回動
は１次元センｔｉｉｓ上のビームの移動に変換され、そ
れに応じえ電気信号として検出される。一方％ｌＥ３の
レーザ光源１１７から発せられ先し−ザービームｌム９
は、ビームスプリッタ１２１．４分の１波長板１２３．
固犀ミラー１２５トラッキングミラー１０９を介してデ
ィスク１００上のトラックに蝋射され、トラッキングミ
ラー１０９．＆ｌ定ずシー１２５．４分の１ｍ長８１２
３．ビームスプリッタ１２１を介してフォトダイオード
勢よりなる信号検出装置１２６によ）検出される。そし
てこの検出された反射光蓋の変化中に含まれるトラッキ
ングエラーｔＡＮはトラッキングエラー信号検出装置１
２７によシ検出され、トラッキングサーボ装置１２９に
供給され、このトラッキングサーボ装置１１１１）１２
Ｇの出力はレーず−ビーム１１９が正しくトラッキング
する様トラッキングミラー１０３葡回動させる。ここで
、トラッキングサーボ装［１２９は％蘭紀トラッキング
ミラー属動信号を発生させる際に、指令により、−示せ
ぬスピンドルモータからｔ）１回転に付１ｍ尭生される
パルスに応シて、トラッキングミラーを微小角ｆ、ｔ１
ｍ動じ、いわゆるステル動作をさせる様なジャンプパッ
クパルスも発生する。このスチル動作により、同一トラ
ックＯ測定を績絖して行うことができる。
崗本発明の説明に不畳と思われるキャリッジす−ボ装置
、フォーカスす−ボ装置や他の光学系については開示し
ない。
、フォーカスす−ボ装置や他の光学系については開示し
ない。
以上の橡な構成管したトラッキングサーボ装置は、ビデ
オディスクプレーヤ等で使用されているものであり、米
１ｉｉ１％許ＩＫ３月７６．８４２舛→に開示されて−
る。
オディスクプレーヤ等で使用されているものであり、米
１ｉｉ１％許ＩＫ３月７６．８４２舛→に開示されて−
る。
ところで、レーザービーム１０３は１次元センサ１１５
上を、）ラッキングミラー１０９の回動に応じて、移動
するが、この値は、トラック振れに比例している。よっ
て、１次元七ンヤ１１５の出力は、トラック撮れ量とし
てアンプ１３９で増幅されて出力される。
上を、）ラッキングミラー１０９の回動に応じて、移動
するが、この値は、トラック振れに比例している。よっ
て、１次元七ンヤ１１５の出力は、トラック撮れ量とし
てアンプ１３９で増幅されて出力される。
ま友、トラック振れ量は、２階微分回ｊｌ１３４、バン
ドパスフィルタ（例えば８０Ｈｚ〜２．２ＫＨｚＢＰＦ
）１３５’ｉ介し、それぞれアンプ１４１．１４３で増
幅された後、面峯れ加速度、中域加速度として出力され
る。
ドパスフィルタ（例えば８０Ｈｚ〜２．２ＫＨｚＢＰＦ
）１３５’ｉ介し、それぞれアンプ１４１．１４３で増
幅された後、面峯れ加速度、中域加速度として出力され
る。
また、トラック振れ量は、バイパスフィルター（例えば
、 ２．２ＫＨｚ ＨＰＦ） １３３によυ％所定の成
分を抽出され、アンプ１４３を介してｌ＆櫨酸成分して
出力される。このバイパスフィル−１３３の代りＫＭ々
の特性の吃のを用いる事ができ、ディスクの回転周波数
付近を選択的に抽出する様にすると、ディスクの備心量
の測足もできる。
、 ２．２ＫＨｚ ＨＰＦ） １３３によυ％所定の成
分を抽出され、アンプ１４３を介してｌ＆櫨酸成分して
出力される。このバイパスフィル−１３３の代りＫＭ々
の特性の吃のを用いる事ができ、ディスクの回転周波数
付近を選択的に抽出する様にすると、ディスクの備心量
の測足もできる。
さらに％高域におけるトラック振れを補償する為に、ト
ラッキングはラ一のトラックへの追従が不十分な事によ
り生じるトラッキングエラーを、１次元センサ１１５に
よル検出され九比叡的ゆつ〈シしえ蛇行成分に適当な割
合て加えでいる。すなわち、トラッキングエラー検出装
＆１２７の出力を、加変ポリューＡ１４５を介して１次
元センサ１１ ＩＣ）出力に加えているのである。仁の
加算比率を適当な値に保つＫは較正＋０１路を必要とし
、以下に′この回路につ−いて説明する。
ラッキングはラ一のトラックへの追従が不十分な事によ
り生じるトラッキングエラーを、１次元センサ１１５に
よル検出され九比叡的ゆつ〈シしえ蛇行成分に適当な割
合て加えでいる。すなわち、トラッキングエラー検出装
＆１２７の出力を、加変ポリューＡ１４５を介して１次
元センサ１１ ＩＣ）出力に加えているのである。仁の
加算比率を適当な値に保つＫは較正＋０１路を必要とし
、以下に′この回路につ−いて説明する。
ますｈ ｆＩ＃定前にキャリブレーションスイッチ１４
５を閉とし、比較的高い所定の周波数よシなる尭振器１
４７の出力をトラッキングサーボループ内に注入する。
５を閉とし、比較的高い所定の周波数よシなる尭振器１
４７の出力をトラッキングサーボループ内に注入する。
そして、この外乱の形番を受は九トラッキングミラーの
動！に起因して生じるトラック振れ信号から、注入し次
発１ｉｊ＃１皺数威分を、バンドパスフィルＪ１４９を
用いて抽出し、その値を表示器１５１に表示する。
動！に起因して生じるトラック振れ信号から、注入し次
発１ｉｊ＃１皺数威分を、バンドパスフィルＪ１４９を
用いて抽出し、その値を表示器１５１に表示する。
ここて測定看は、ζＯ表示器１５１Ｋｌ！示された値が
最少（好ましくは零）Ｋなる様に可変ポリニーム１４５
０値を調整し、ＩＩＲ正を終了すべくキャリブレーショ
ンスイッチ１４５ｔｌｉと−する。
最少（好ましくは零）Ｋなる様に可変ポリニーム１４５
０値を調整し、ＩＩＲ正を終了すべくキャリブレーショ
ンスイッチ１４５ｔｌｉと−する。
この原理を第２図に示すブロック図によって詳説する。
すなわち、−次元セン？１１５で検出したトラッキング
ミラー１０９の動きに略比飼し九電圧をＤｍ 、ディス
ク上のトラック蛇行を示すトラック信号をＤｔ、 ト
ラック振れ検出信号を臘、検出利得をＡ、利得制御装置
Ｏ利得をｋとすると。
ミラー１０９の動きに略比飼し九電圧をＤｍ 、ディス
ク上のトラック蛇行を示すトラック信号をＤｔ、 ト
ラック振れ検出信号を臘、検出利得をＡ、利得制御装置
Ｏ利得をｋとすると。
Ｄｘ ＝ Ｄｍ＋ Ａｋ（Ｄ ｔ −Ｄｍ ）と表る。
故ＫＡｋ＝１ ならば、Ｄｘ＝Ｄｔとなって、トラッ
ク振れ検出信号からトラック信号を得る事ができる。一
般に検出利得ムは温Ｉｋ変化等の影響をう叶て変動する
故較正する心壁がある。
ク振れ検出信号からトラック信号を得る事ができる。一
般に検出利得ムは温Ｉｋ変化等の影響をう叶て変動する
故較正する心壁がある。
今、スイッチ８を開いて適嶋な周波数のテスト信号ｅを
量−ｌループに注入してＤｉを調定すると、 であるから、・と同−周皺数威分を抜出せば、１＋ＡＧ
（１） であるから、この成分が零となる檄Ｋｋを１１隻すれば
、 Ａｋ＝１の条件を満す事ができる。
量−ｌループに注入してＤｉを調定すると、 であるから、・と同−周皺数威分を抜出せば、１＋ＡＧ
（１） であるから、この成分が零となる檄Ｋｋを１１隻すれば
、 Ａｋ＝１の条件を満す事ができる。
即ち、トラック振れ検出信号Ｄｘと実際のトラック蛇行
を示すトラツタ信号Ｄｔとは一敦するのである。
を示すトラツタ信号Ｄｔとは一敦するのである。
従って、トラック振れに対してトラッキングミラー１０
９の追従が不可能な高域における正確な一定が可能とな
るのである。
９の追従が不可能な高域における正確な一定が可能とな
るのである。
斜上の如く、本発明に係るＩＩＩＪ足装置においては％
瓜帯域にわたって変動する一物理量の調定を正確に行う
事が可能となり、また温ｆ変化尋の影響によプ変動する
観足誤差を容易く較正する事ができる。
瓜帯域にわたって変動する一物理量の調定を正確に行う
事が可能となり、また温ｆ変化尋の影響によプ変動する
観足誤差を容易く較正する事ができる。
尚、本発明の説明は、光学式ディスク状記録媒体のトラ
ック振れを光学的に検出するｉｋ＃Ｉｌを用いて行った
けれども、トラッキングにより物理量を掬足する装置に
おいて広い適用可能である。
ック振れを光学的に検出するｉｋ＃Ｉｌを用いて行った
けれども、トラッキングにより物理量を掬足する装置に
おいて広い適用可能である。
１１１図は本発明の一実施例を示すブロック図１餌２図
は本発明の詳細な説明する為のブロック図である。 １０９・・・・・・トラッキングミラー１１５・・・・
・・１次元センサ １２？・・・・・・トラッキングエラー信号検出装置１
４５・・・・・・加変ボリューム １４７・・・・・・発振器 １５１・・・・・・表示器 ％吐出１人 パイオニアビデオ株式会社代 理 人
弁理士 稲 本 義 雄第を図 待針庁長′１若杉和夫厳 ノ自１１ｑ−の表革 昭和５７年８月２７日付提出の％ｌｆ願２ 発明の名刷
− 離任手段を含む測定装置 、ゴ 補止ｔする名 φ汗との闘怪 時計出願人 住げ「 〒４０９−３８山梨県中巨麟郡出冨町西花輪２
０８０名句、 パイオニアビデオ株式伝社
代衣蟲ｔ＃Ａ 都 輝 誹 ４ 代理人 米示都大出区大森西４丁目１５＠５ぢパイ
オニア株式云社 大傘上場 時計部内＜８２１３）弁理
士 稲 本 −雄０３（７６３）２１ツノ（大枚＆
） （７）明細書の全文を別紙釘止明細書のとおり補正する
。 １２）図面（第１図、第２図）を別紙のとおり補正する
。 訂 正 明 細 書 ！ 発明の各部 ｍｌ従手段を含む測定装置 特許請求の範囲 （ノフ 時間の経過に伴って変動する物理的量に検出
点を追従させる追従手段を含む測定装置であって、ｍｔ
＋記変動する物理的量と前記検出点とのずれに応じた第
１の信号を発生する追従誤差発生手段と、前記検出点を
移動させるアクチュエータの変位に応じた第２の信号を
発生する変位検出手段と、別記第）の信号と前記第２の
信ηとをげ１足の−」合で合成した合成信号を測定値と
して出力する手段とを有する事を特徴とする測定装置。 し） 別記追従手段は、用足周波数の外甜を注入しこれ
に件う―り配合成偵方の変化を最小にする様に１１１ｊ
記げ「定の１１合を較正する手段を含む事を特徴とする
特計請＊の軛囲第１項記載の測定に！臘。 発明の詳細な説明 本発明はトラッキングにより物理的量を測定する装置に
関し、さらに詳しくはこの様な装置における較正手段に
関するものである。 変動する物理的量を間接的に測定するものとしては、デ
ィスク状記録媒体上の情報トラックのトラック振れを測
定する装置がある。トラック振れを光学的に測定する装
置は、トラッキングミラーを含む可動鏡装置と呼ばれる
電気値気概械変換アクチュエーターによりレーザ集束ス
ポットをトラック上に追従（以下トラッキングという。 ）させ、仁の可動鏡装置に照射した光の反射部分の位置
変化を検出する様に構成されている。光の位置変化の検
出にはフォトディテクタよりなる一次元位重センサー等
によって電気的に検出されている。 しかし、可動装置における可動部即ちミラ一部は、比較
的大きな質量を有する為、比較的変化の遅いトラック振
れに対してはトラッキング可能であるが、比較的変化の
速いトラック振れに対しては十分な応答は困難である。 従ってトラック振れの低域成分についての測定は正確に
行う事ができるが、高域成分についての測定は困難なも
のであつたつ 本発明は上目ピ欠点に麺みてなされたものであり、その
目的とするところは、広帯域にわたって変動する物理回
置の測定を正確に行う串かｏＪ能な測定表置を提供する
串である。 本発明に悌る測定装置においては、測定する点と検出点
とのづれに応じた誤差イｄ号をトラッキングアクナユエ
ータの変位に応じた（、ｆ９に固定の割付で加えた合成
信号を測定値とした拳を特徴としている。 ６らに、本発明に係る装−においては、トラッキングを
付うトラッキングサーボルー１に過当な周ｔ１ｋｋｌの
Ｔストイｄ方金外乱として注入し、そのときトラッキン
グエラー信号中に含まれるテスト信椎と１μＪ−Ｈ波数
の成分が最小となる様に加算比率を収電する較正手段を
有する事を％敞としている。 以下、本発明の実施例を図に従って説明する。 不実施レリにおいては、光学式ディスク状記餘媒体のト
ラック振れを光学的に検出する装置によりｌｌＩ２明す
る。この装置はトラック振れの測定を、トラッキングミ
ラーの傾きの変化を検出して行っている。すなわち第１
のレーザー光源１０）から発せられたレーザービーム１
０３は固定ミラー１０５，１０７を介しトラッキングミ
ラー１０９に照射される。このトラッキングミラー１０
９は、後述する様に、ディスク１ＯＯＴｋＪ上のトラッ
クの振れに応じて角度を変化させる。このトラッキング
ミラー１ｔ）９により反射されたレーザービーム１０３
は、再び固定ミラー１０７．１０５で反射された後、固
定ミラーＩＩＩ 。 １１３を介して１次元センサ１ノ５に照射される。よっ
てトラッキングミラー１０９の１動は１次元センサ１１
５上のビームの移動に変換され、それに応じた電気漬方
として検出される。一方、第２のレーザ光源１１７から
発せられたレーザービーム１１９は、ビームスプリッタ
１２１．４分の１波長板１２３、固定ミラー１２５、ト
ラッキングミラー１０９を介してディスク１００上のト
ラックに照射され、その反射光がトラッキングミラー１
０９、固定ミラー１２５．４分の１波長板Ｊ２３、ビー
ムスプリッタ１２１を介してフォトダイオード等よりな
る信号検出装置１７２０により検出される。そしてこの
検出された反射ｙＬ、−の変化中に含まれるトラッキン
グエラー情報はトラッキングエラー４ｒｌ−９検出装−
１２７により検用芒れ、会合トラッキングサーボ装置！
［１２９に供給され、このトラッキングサーボ装置）２
９の出力線レーザービーム１１９が止しくトラッキング
する様トラッキングミラー１０９を（ロ）動させる。こ
こで、トラッキングサーボ装置１２９は、別記トラッキ
ングミラー駆動信号を発生させる際に、指令により、図
４りせぬスピンドルモータからの１回転に付ｌｔｇ１発
生されるパルスに応じて、トラッキングミラーを倣小Ｎ
）ｊｔ急回動し、いわゆるスチル動作を芒せ心悼なジャ
ンプバックパルスも発生する。このスチル！ＩＩＩ＋／
１：により、同一トラックの測定を継続して汀うことか
できる。 面木発明の説明に不安と思われるキャリッジサーボ装置
、フォー・カスサーボ製筒や他の光学系につい−Ｃは１
不しない。 以上の様な構成をしたトラッキングサーボ製塩は、ビデ
オディスクプレーヤ等で使用されているものであり、米
国特許＠ Ｊ、 ８７６、８４２ ｇ略に開示されてい
る。 ところで、レーザービーム１０３は１次元センサ１１５
上を、トラッキングミラー１０９０回動に応じて移動す
るが、この値は、トラック振れに比例している。よって
、１次元センサノ１５の出力は、トラック振れ量として
アンプ１３９で増幅されて出力される。 また、トラック振れ量は、２階微分回路１３４゜バンド
パスフィルタ（−えば８０ Ｈｚ 〜２．２ Ｋ）ｉｚ
Ｂ Ｐ ｋ’ ）１３５を介し、それぞれアンプ１４
１ 、１４３で増幅すれた後、トラック振れ加速度、中
域加速度として出力される。 まり、トラック振れ蓋は、／バイパスフィルター（−え
ば、２．２ＫＨｚ ）ｉＰＦ ） １３３により、所定
の成分を抽出され゛、ア７１１３７を介して高域成分と
して出力される。このバイパスフィルタ１３３の代すに
檀々の特性のものを用いる事ができ、ディスクの回転周
波数付近を選択的に抽出する様にすると、ディスクの偏
心量の測定もできる。 さらに、高域におけるトラック振れを補償する為に、ト
ラッキングミラーのトラックへの追従か千１−分な半に
より生じるトラッキングエラーを、ｌび几セ／サノノ５
により検出式れた比較的ゆっくりした虹付成分に適当な
割合で加えている。すなわち、トラッキングエラー検出
装置ノ２７の出力を、可変ボリューム１４５を介して１
次元センサ１１５の出力に加えているのである。この加
算比率を適当な１直に保つには較正回路を必要とし、以
下にこの１（！１踊について説明する。 筐ず、測定側にキャリブレーションスイッチ１４０を閉
とし、比較重両いｍ定の周数数よりなる発１ｉＪ４７の
出力をトラッキングサーボループ内に注入する。そして
、この外乱の影−を受けたトラッキングミラーのＩＩＩ
ＩＪ ！に起因して生じるトラック振れイばぢから、注
入した発振周波数成分を、バンドパスフィルタノ４９を
用いて抽出し、その値を表４＜Ｈｔｓｔに表示する。こ
こで測定省は、この表示！：？１１５１に表示された値
が最少（好ましくは零）になる様に口■変ボリューム１
４５の値を調整し、較正を終了すべくキャリブレーショ
ンスイッチ１４６を−とする。 この原理を第２図に示すブロック図によって詳説する。 ｔｐＩ１図に示したトラッキングサーボループについて
考えると、ある瞬間におけるディスク上のトラックの位
置に対する照射されているレーザ県東スポットの位置の
偏差を検出し、この検出信号に応じてトラッキングミラ
ー１０９を回動させてレーザ県東スポットの位置をトラ
ックの位置と一致させる様にフィードバック制御がなさ
れている。 すなわち、ディスク上のトラックの蛇行を示すトラック
信号をＤｔｌ レーザ県東スポットの動きに対応した信
ｇ１ｋＤｍとすると、トラック位置に対するレーザ県東
スポット位置の偏差はＡ（Ｄｔ−Ｄｍ）として検出され
る。ここで、Ａはトラッキングエラー信号検出装置 １
２７の感度等に応じた検出利得である。この偏差信号は
トラッキングエラー信号に対応しており、この信号は、
伝達関数Ｇ（３）に基づいて、トラッキングミラー１０
９の回動によるレーザ県東スポットの運動に変換される
。トラッキングエラーノ０９の角度変化はトラッキング
ミラー１０９を耗出して一次元センサ１１５上に照射さ
れたし ザー ビーム１０３の動きとして検出される。 この動きとディスク１００上のレーザ集収スポットの動
きとは等価である為、−次元センサ１ノ５の出力（１ｑ
をｌ）ｍとしてとらえる事ができる。一方、トラッキン
グミラー１０９の回動による追従が完全に行われず偏差
が伐っている場合には、トラッキングエラー（ｄ−Ｑが
発生しており、この値に対応した距隘たけレーザ県東ス
ポットはトラックからずれている。従って、トラック振
れの検出信号Ｄｘは一次元センサ１１５の出力とトラッ
キングエラー信号に用足の制御利得ｋを乗じた信号とを
加え合わせたものとなる。制御利得には呵責ボリューム
１４５によって任意の値に設定可能なものとする。 以上述べた関係を人で表わすと、 Ｄｘ ＝ Ｄｍ 十Ａｋ （Ｄｉ−Ｄｍ）となる。ここ
でｌＪｔ −Ｄｒｒｔｔ トラッキングエラーに対応し
ている。 検出信−９［）ｘからトラック信ｇＤｔを得る拳ができ
る。 一般に検出利得Ａは温度変化等の影−をうけて変動する
故較正する必要がある。 今、キャリブレーションスイッチ１４６に対応したスイ
ッチＳを閉じて発振器７４７から出力される過当な周波
数のテスト信−１５ｅをサーボループに注入してＤｘを
測定すると、 であるから、ｅと四−周波数成分を抜出せば、であるか
ら、この成分が零となる様にｋを調整すれば、Ａｋ＝ｌ
の条件を満す争ができる。 即ち、トラック振れ検出信ｇＤｘと実際のトラック蛇行
を示すトラック信９Ｄｔとは一致するのであ・る。 従って、トラック振れに対してトラッキングミラー１０
９の追従が不可能な高域における正確な測軍か可能とな
るのである。 叙１の知く、本発明に係る測定製電においては、広帯域
にわたって変動する物＃！童の測定を止−にｒｒう季か
ｑｆ能となり、また温度変化等の影會により変動する測
定誤差を容易に較正する拳ができる。 尚、本発明の説８Ａ杜、光学式ディスク状記鰺媒体のト
ラック振れを光学的に検出する装置を用いてｔｒつたけ
れども、トラッキングにより物理蓋を測定する装＊ｒｃ
おいて広い適用可能である。 図面の簡単な説明 第１図は本発明の一実施例を不すブロック図、第２図は
本＠明のｍ埋を説明する為のブロック図である。 １０９・・・トラッキングミラー ツノ５・−・１次元センサ ノ２７・・・トラッキングエラー信号検出装麿１４５・
・・口■貴ボリューム ノ４７ ・・・ 発振器 １５１・・・表ボ器
は本発明の詳細な説明する為のブロック図である。 １０９・・・・・・トラッキングミラー１１５・・・・
・・１次元センサ １２？・・・・・・トラッキングエラー信号検出装置１
４５・・・・・・加変ボリューム １４７・・・・・・発振器 １５１・・・・・・表示器 ％吐出１人 パイオニアビデオ株式会社代 理 人
弁理士 稲 本 義 雄第を図 待針庁長′１若杉和夫厳 ノ自１１ｑ−の表革 昭和５７年８月２７日付提出の％ｌｆ願２ 発明の名刷
− 離任手段を含む測定装置 、ゴ 補止ｔする名 φ汗との闘怪 時計出願人 住げ「 〒４０９−３８山梨県中巨麟郡出冨町西花輪２
０８０名句、 パイオニアビデオ株式伝社
代衣蟲ｔ＃Ａ 都 輝 誹 ４ 代理人 米示都大出区大森西４丁目１５＠５ぢパイ
オニア株式云社 大傘上場 時計部内＜８２１３）弁理
士 稲 本 −雄０３（７６３）２１ツノ（大枚＆
） （７）明細書の全文を別紙釘止明細書のとおり補正する
。 １２）図面（第１図、第２図）を別紙のとおり補正する
。 訂 正 明 細 書 ！ 発明の各部 ｍｌ従手段を含む測定装置 特許請求の範囲 （ノフ 時間の経過に伴って変動する物理的量に検出
点を追従させる追従手段を含む測定装置であって、ｍｔ
＋記変動する物理的量と前記検出点とのずれに応じた第
１の信号を発生する追従誤差発生手段と、前記検出点を
移動させるアクチュエータの変位に応じた第２の信号を
発生する変位検出手段と、別記第）の信号と前記第２の
信ηとをげ１足の−」合で合成した合成信号を測定値と
して出力する手段とを有する事を特徴とする測定装置。 し） 別記追従手段は、用足周波数の外甜を注入しこれ
に件う―り配合成偵方の変化を最小にする様に１１１ｊ
記げ「定の１１合を較正する手段を含む事を特徴とする
特計請＊の軛囲第１項記載の測定に！臘。 発明の詳細な説明 本発明はトラッキングにより物理的量を測定する装置に
関し、さらに詳しくはこの様な装置における較正手段に
関するものである。 変動する物理的量を間接的に測定するものとしては、デ
ィスク状記録媒体上の情報トラックのトラック振れを測
定する装置がある。トラック振れを光学的に測定する装
置は、トラッキングミラーを含む可動鏡装置と呼ばれる
電気値気概械変換アクチュエーターによりレーザ集束ス
ポットをトラック上に追従（以下トラッキングという。 ）させ、仁の可動鏡装置に照射した光の反射部分の位置
変化を検出する様に構成されている。光の位置変化の検
出にはフォトディテクタよりなる一次元位重センサー等
によって電気的に検出されている。 しかし、可動装置における可動部即ちミラ一部は、比較
的大きな質量を有する為、比較的変化の遅いトラック振
れに対してはトラッキング可能であるが、比較的変化の
速いトラック振れに対しては十分な応答は困難である。 従ってトラック振れの低域成分についての測定は正確に
行う事ができるが、高域成分についての測定は困難なも
のであつたつ 本発明は上目ピ欠点に麺みてなされたものであり、その
目的とするところは、広帯域にわたって変動する物理回
置の測定を正確に行う串かｏＪ能な測定表置を提供する
串である。 本発明に悌る測定装置においては、測定する点と検出点
とのづれに応じた誤差イｄ号をトラッキングアクナユエ
ータの変位に応じた（、ｆ９に固定の割付で加えた合成
信号を測定値とした拳を特徴としている。 ６らに、本発明に係る装−においては、トラッキングを
付うトラッキングサーボルー１に過当な周ｔ１ｋｋｌの
Ｔストイｄ方金外乱として注入し、そのときトラッキン
グエラー信号中に含まれるテスト信椎と１μＪ−Ｈ波数
の成分が最小となる様に加算比率を収電する較正手段を
有する事を％敞としている。 以下、本発明の実施例を図に従って説明する。 不実施レリにおいては、光学式ディスク状記餘媒体のト
ラック振れを光学的に検出する装置によりｌｌＩ２明す
る。この装置はトラック振れの測定を、トラッキングミ
ラーの傾きの変化を検出して行っている。すなわち第１
のレーザー光源１０）から発せられたレーザービーム１
０３は固定ミラー１０５，１０７を介しトラッキングミ
ラー１０９に照射される。このトラッキングミラー１０
９は、後述する様に、ディスク１ＯＯＴｋＪ上のトラッ
クの振れに応じて角度を変化させる。このトラッキング
ミラー１ｔ）９により反射されたレーザービーム１０３
は、再び固定ミラー１０７．１０５で反射された後、固
定ミラーＩＩＩ 。 １１３を介して１次元センサ１ノ５に照射される。よっ
てトラッキングミラー１０９の１動は１次元センサ１１
５上のビームの移動に変換され、それに応じた電気漬方
として検出される。一方、第２のレーザ光源１１７から
発せられたレーザービーム１１９は、ビームスプリッタ
１２１．４分の１波長板１２３、固定ミラー１２５、ト
ラッキングミラー１０９を介してディスク１００上のト
ラックに照射され、その反射光がトラッキングミラー１
０９、固定ミラー１２５．４分の１波長板Ｊ２３、ビー
ムスプリッタ１２１を介してフォトダイオード等よりな
る信号検出装置１７２０により検出される。そしてこの
検出された反射ｙＬ、−の変化中に含まれるトラッキン
グエラー情報はトラッキングエラー４ｒｌ−９検出装−
１２７により検用芒れ、会合トラッキングサーボ装置！
［１２９に供給され、このトラッキングサーボ装置）２
９の出力線レーザービーム１１９が止しくトラッキング
する様トラッキングミラー１０９を（ロ）動させる。こ
こで、トラッキングサーボ装置１２９は、別記トラッキ
ングミラー駆動信号を発生させる際に、指令により、図
４りせぬスピンドルモータからの１回転に付ｌｔｇ１発
生されるパルスに応じて、トラッキングミラーを倣小Ｎ
）ｊｔ急回動し、いわゆるスチル動作を芒せ心悼なジャ
ンプバックパルスも発生する。このスチル！ＩＩＩ＋／
１：により、同一トラックの測定を継続して汀うことか
できる。 面木発明の説明に不安と思われるキャリッジサーボ装置
、フォー・カスサーボ製筒や他の光学系につい−Ｃは１
不しない。 以上の様な構成をしたトラッキングサーボ製塩は、ビデ
オディスクプレーヤ等で使用されているものであり、米
国特許＠ Ｊ、 ８７６、８４２ ｇ略に開示されてい
る。 ところで、レーザービーム１０３は１次元センサ１１５
上を、トラッキングミラー１０９０回動に応じて移動す
るが、この値は、トラック振れに比例している。よって
、１次元センサノ１５の出力は、トラック振れ量として
アンプ１３９で増幅されて出力される。 また、トラック振れ量は、２階微分回路１３４゜バンド
パスフィルタ（−えば８０ Ｈｚ 〜２．２ Ｋ）ｉｚ
Ｂ Ｐ ｋ’ ）１３５を介し、それぞれアンプ１４
１ 、１４３で増幅すれた後、トラック振れ加速度、中
域加速度として出力される。 まり、トラック振れ蓋は、／バイパスフィルター（−え
ば、２．２ＫＨｚ ）ｉＰＦ ） １３３により、所定
の成分を抽出され゛、ア７１１３７を介して高域成分と
して出力される。このバイパスフィルタ１３３の代すに
檀々の特性のものを用いる事ができ、ディスクの回転周
波数付近を選択的に抽出する様にすると、ディスクの偏
心量の測定もできる。 さらに、高域におけるトラック振れを補償する為に、ト
ラッキングミラーのトラックへの追従か千１−分な半に
より生じるトラッキングエラーを、ｌび几セ／サノノ５
により検出式れた比較的ゆっくりした虹付成分に適当な
割合で加えている。すなわち、トラッキングエラー検出
装置ノ２７の出力を、可変ボリューム１４５を介して１
次元センサ１１５の出力に加えているのである。この加
算比率を適当な１直に保つには較正回路を必要とし、以
下にこの１（！１踊について説明する。 筐ず、測定側にキャリブレーションスイッチ１４０を閉
とし、比較重両いｍ定の周数数よりなる発１ｉＪ４７の
出力をトラッキングサーボループ内に注入する。そして
、この外乱の影−を受けたトラッキングミラーのＩＩＩ
ＩＪ ！に起因して生じるトラック振れイばぢから、注
入した発振周波数成分を、バンドパスフィルタノ４９を
用いて抽出し、その値を表４＜Ｈｔｓｔに表示する。こ
こで測定省は、この表示！：？１１５１に表示された値
が最少（好ましくは零）になる様に口■変ボリューム１
４５の値を調整し、較正を終了すべくキャリブレーショ
ンスイッチ１４６を−とする。 この原理を第２図に示すブロック図によって詳説する。 ｔｐＩ１図に示したトラッキングサーボループについて
考えると、ある瞬間におけるディスク上のトラックの位
置に対する照射されているレーザ県東スポットの位置の
偏差を検出し、この検出信号に応じてトラッキングミラ
ー１０９を回動させてレーザ県東スポットの位置をトラ
ックの位置と一致させる様にフィードバック制御がなさ
れている。 すなわち、ディスク上のトラックの蛇行を示すトラック
信号をＤｔｌ レーザ県東スポットの動きに対応した信
ｇ１ｋＤｍとすると、トラック位置に対するレーザ県東
スポット位置の偏差はＡ（Ｄｔ−Ｄｍ）として検出され
る。ここで、Ａはトラッキングエラー信号検出装置 １
２７の感度等に応じた検出利得である。この偏差信号は
トラッキングエラー信号に対応しており、この信号は、
伝達関数Ｇ（３）に基づいて、トラッキングミラー１０
９の回動によるレーザ県東スポットの運動に変換される
。トラッキングエラーノ０９の角度変化はトラッキング
ミラー１０９を耗出して一次元センサ１１５上に照射さ
れたし ザー ビーム１０３の動きとして検出される。 この動きとディスク１００上のレーザ集収スポットの動
きとは等価である為、−次元センサ１ノ５の出力（１ｑ
をｌ）ｍとしてとらえる事ができる。一方、トラッキン
グミラー１０９の回動による追従が完全に行われず偏差
が伐っている場合には、トラッキングエラー（ｄ−Ｑが
発生しており、この値に対応した距隘たけレーザ県東ス
ポットはトラックからずれている。従って、トラック振
れの検出信号Ｄｘは一次元センサ１１５の出力とトラッ
キングエラー信号に用足の制御利得ｋを乗じた信号とを
加え合わせたものとなる。制御利得には呵責ボリューム
１４５によって任意の値に設定可能なものとする。 以上述べた関係を人で表わすと、 Ｄｘ ＝ Ｄｍ 十Ａｋ （Ｄｉ−Ｄｍ）となる。ここ
でｌＪｔ −Ｄｒｒｔｔ トラッキングエラーに対応し
ている。 検出信−９［）ｘからトラック信ｇＤｔを得る拳ができ
る。 一般に検出利得Ａは温度変化等の影−をうけて変動する
故較正する必要がある。 今、キャリブレーションスイッチ１４６に対応したスイ
ッチＳを閉じて発振器７４７から出力される過当な周波
数のテスト信−１５ｅをサーボループに注入してＤｘを
測定すると、 であるから、ｅと四−周波数成分を抜出せば、であるか
ら、この成分が零となる様にｋを調整すれば、Ａｋ＝ｌ
の条件を満す争ができる。 即ち、トラック振れ検出信ｇＤｘと実際のトラック蛇行
を示すトラック信９Ｄｔとは一致するのであ・る。 従って、トラック振れに対してトラッキングミラー１０
９の追従が不可能な高域における正確な測軍か可能とな
るのである。 叙１の知く、本発明に係る測定製電においては、広帯域
にわたって変動する物＃！童の測定を止−にｒｒう季か
ｑｆ能となり、また温度変化等の影會により変動する測
定誤差を容易に較正する拳ができる。 尚、本発明の説８Ａ杜、光学式ディスク状記鰺媒体のト
ラック振れを光学的に検出する装置を用いてｔｒつたけ
れども、トラッキングにより物理蓋を測定する装＊ｒｃ
おいて広い適用可能である。 図面の簡単な説明 第１図は本発明の一実施例を不すブロック図、第２図は
本＠明のｍ埋を説明する為のブロック図である。 １０９・・・トラッキングミラー ツノ５・−・１次元センサ ノ２７・・・トラッキングエラー信号検出装麿１４５・
・・口■貴ボリューム ノ４７ ・・・ 発振器 １５１・・・表ボ器
Claims (2)
- （１） 時間の経過に伴って変動する量に検出点を追
従させる追従手段を含む測定装置であって、錬配変動す
る量と麹配検出点とのずれに応じ九第１０信号を発生す
る追従誤差発生手段と、―紀検出点を移動させるアクチ
ュエータＯ変位に応じえ第２０ｆｉ号を発生する変位検
出手段と帥記第１の信号と前記第２０信号とを所定の割
合て合成した合成信号を測定値として出力する手段とを
有する事を特徴とする一定装置。 - （２） ＃紀追従手段紘、所定周波数の外乱を注入し
これに伴う―配合威信号の変化を最小にする様に前記所
定０割合を較正する手段を含む事を特徴とする特許請求
の範■第１項記載の一定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14861882A JPS58122408A (ja) | 1982-08-27 | 1982-08-27 | 追従手段を含む測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14861882A JPS58122408A (ja) | 1982-08-27 | 1982-08-27 | 追従手段を含む測定装置 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56082827 Division |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58122408A true JPS58122408A (ja) | 1983-07-21 |
| JPS6220484B2 JPS6220484B2 (ja) | 1987-05-07 |
Family
ID=15456806
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14861882A Granted JPS58122408A (ja) | 1982-08-27 | 1982-08-27 | 追従手段を含む測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58122408A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009009756A (ja) * | 2007-06-26 | 2009-01-15 | Panasonic Electric Works Co Ltd | マイクロリレー |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63139782U (ja) * | 1987-03-04 | 1988-09-14 | ||
| JPH046143Y2 (ja) * | 1987-03-04 | 1992-02-20 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS50104955A (ja) * | 1974-01-23 | 1975-08-19 |
-
1982
- 1982-08-27 JP JP14861882A patent/JPS58122408A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS50104955A (ja) * | 1974-01-23 | 1975-08-19 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009009756A (ja) * | 2007-06-26 | 2009-01-15 | Panasonic Electric Works Co Ltd | マイクロリレー |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6220484B2 (ja) | 1987-05-07 |
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