JPS58113956U - 真空機器のガス導入装置 - Google Patents
真空機器のガス導入装置Info
- Publication number
- JPS58113956U JPS58113956U JP1089482U JP1089482U JPS58113956U JP S58113956 U JPS58113956 U JP S58113956U JP 1089482 U JP1089482 U JP 1089482U JP 1089482 U JP1089482 U JP 1089482U JP S58113956 U JPS58113956 U JP S58113956U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- shutoff valve
- gas introduction
- introduction device
- vacuum equipment
- vacuum chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来の装置の概略を示す図、第２図は本考案の
一実施例を示す概略図、第３図は第２図の主要部電気等
価回路。である。 １：真空室、２：ガスボンベ、３：パイプ、６：遮断弁
、８：圧力計、９：コントローラ、１θ：蓋、１１：リ
ミットスイッチ、１２：第２の遮断弁、１３：バイパス
、１４：可変スリット、１５：ボタンスイッチ、１６：
電源。
一実施例を示す概略図、第３図は第２図の主要部電気等
価回路。である。 １：真空室、２：ガスボンベ、３：パイプ、６：遮断弁
、８：圧力計、９：コントローラ、１θ：蓋、１１：リ
ミットスイッチ、１２：第２の遮断弁、１３：バイパス
、１４：可変スリット、１５：ボタンスイッチ、１６：
電源。
Claims (1)
- 真空室に遮断弁を介してガス供給源よりガスを導入する
装置において、前記遮断弁を真空室の圧力によって閉ピ
る如くなし、真空室の蓋或いは窓を開けたとき閉じるよ
うに構成された第２の遮断′ 弁を前記遮断弁のガス
供給側に直列に接続し、該第２の遮断弁に並列にコンダ
クタンスの小さなバイパスを設けてなる真空機器のガス
導入装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1089482U JPS58113956U (ja) | 1982-01-29 | 1982-01-29 | 真空機器のガス導入装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1089482U JPS58113956U (ja) | 1982-01-29 | 1982-01-29 | 真空機器のガス導入装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58113956U true JPS58113956U (ja) | 1983-08-04 |
Family
ID=30023518
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1089482U Pending JPS58113956U (ja) | 1982-01-29 | 1982-01-29 | 真空機器のガス導入装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58113956U (ja) |
-
1982
- 1982-01-29 JP JP1089482U patent/JPS58113956U/ja active Pending
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