JPS58111942U - Ｌｐｅ膜成長用基板ホルダ - Google Patents
Ｌｐｅ膜成長用基板ホルダInfo
- Publication number
- JPS58111942U JPS58111942U JP923182U JP923182U JPS58111942U JP S58111942 U JPS58111942 U JP S58111942U JP 923182 U JP923182 U JP 923182U JP 923182 U JP923182 U JP 923182U JP S58111942 U JPS58111942 U JP S58111942U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate holder
- film growth
- substrates
- lpe film
- holder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来のＬＰＥ膜成長用基板ホルダの斜視図、第
２図は本考案にかさる基板ホルダの側面図、第３図、第
４図は保持用リングの正面図である。 図において、２． ８． ９は長い支柱、３は短い支柱
、４． ５． １０は保持用リング、７，１３は固定治
具、１１．１２は切り込み部。
２図は本考案にかさる基板ホルダの側面図、第３図、第
４図は保持用リングの正面図である。 図において、２． ８． ９は長い支柱、３は短い支柱
、４． ５． １０は保持用リング、７，１３は固定治
具、１１．１２は切り込み部。
Claims (1)
- 複数個の単結晶薄層基板を階層状に保持し乍ら高温の融
液中に浸漬することにより該基板上にエピタキシャル成
長を行う基板ホルダにおいて、該基板がホルダの支柱に
設けられている切り込み部と保持リング上に設けられて
いる保持具とにより固定されてなることを特徴とするＬ
ＰＥ膜成長用基板ホルダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP923182U JPS58111942U (ja) | 1982-01-26 | 1982-01-26 | Ｌｐｅ膜成長用基板ホルダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP923182U JPS58111942U (ja) | 1982-01-26 | 1982-01-26 | Ｌｐｅ膜成長用基板ホルダ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58111942U true JPS58111942U (ja) | 1983-07-30 |
| JPS6226459Y2 JPS6226459Y2 (ja) | 1987-07-07 |
Family
ID=30021884
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP923182U Granted JPS58111942U (ja) | 1982-01-26 | 1982-01-26 | Ｌｐｅ膜成長用基板ホルダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58111942U (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53157661U (ja) * | 1977-05-17 | 1978-12-11 | ||
| JPS5540209U (ja) * | 1978-09-07 | 1980-03-14 |
-
1982
- 1982-01-26 JP JP923182U patent/JPS58111942U/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53157661U (ja) * | 1977-05-17 | 1978-12-11 | ||
| JPS5540209U (ja) * | 1978-09-07 | 1980-03-14 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6226459Y2 (ja) | 1987-07-07 |
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