JPS585341U - ウエハホルダの固定装置 - Google Patents
ウエハホルダの固定装置Info
- Publication number
- JPS585341U JPS585341U JP9845381U JP9845381U JPS585341U JP S585341 U JPS585341 U JP S585341U JP 9845381 U JP9845381 U JP 9845381U JP 9845381 U JP9845381 U JP 9845381U JP S585341 U JPS585341 U JP S585341U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer holder
- fixing device
- flange
- main body
- holder fixing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本案装置の１例の截断側面図、第２図は治具本
体の平面図、第３図はウェハホルダの平面図である。 １・・・・・・治具本体、２・・・・・・透孔、ａ・・
・・・・ウェハ、３・・・・・・つ土ハホルダ、４・・
・・・・フランジ、５，５・・・・・・スリット、６・
・・・・・遊離舌片。
体の平面図、第３図はウェハホルダの平面図である。 １・・・・・・治具本体、２・・・・・・透孔、ａ・・
・・・・ウェハ、３・・・・・・つ土ハホルダ、４・・
・・・・フランジ、５，５・・・・・・スリット、６・
・・・・・遊離舌片。
Claims (1)
- プラネタリ式その他の治具本体１に形成される透孔２内
に、ウェハａを出入自在に収容する皿状のウェハホルダ
３を嵌合すると共にこれを外周のフランジ４において該
本体１に重合してスポット溶接その他で結着する式のも
のにおいて、該フランジ４に左右１対のスリット５．５
間の遊離舌片６を適宜間隔の複数個に形成させ、該フラ
ンジ４を該舌片６において該本体１に重轡七で結着する
ことを特徴とするウェハホルダの固定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9845381U JPS585341U (ja) | 1981-07-03 | 1981-07-03 | ウエハホルダの固定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9845381U JPS585341U (ja) | 1981-07-03 | 1981-07-03 | ウエハホルダの固定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS585341U true JPS585341U (ja) | 1983-01-13 |
Family
ID=29893211
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9845381U Pending JPS585341U (ja) | 1981-07-03 | 1981-07-03 | ウエハホルダの固定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS585341U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2573202A1 (en) * | 2011-09-22 | 2013-03-27 | Shincron Co., Ltd. | Thin film forming apparatus |
-
1981
- 1981-07-03 JP JP9845381U patent/JPS585341U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2573202A1 (en) * | 2011-09-22 | 2013-03-27 | Shincron Co., Ltd. | Thin film forming apparatus |
| US9499897B2 (en) | 2011-09-22 | 2016-11-22 | Shincron Co., Ltd. | Thin film forming apparatus |
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