JPS58106519A - 光走査光学系 - Google Patents

光走査光学系

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JPS58106519A
JPS58106519A JP56205583A JP20558381A JPS58106519A JP S58106519 A JPS58106519 A JP S58106519A JP 56205583 A JP56205583 A JP 56205583A JP 20558381 A JP20558381 A JP 20558381A JP S58106519 A JPS58106519 A JP S58106519A
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diffraction grating
scanning
grating
laser beam
center
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    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/10Scanning systems
    • G02B26/106Scanning systems having diffraction gratings as scanning elements, e.g. holographic scanners

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  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
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  • Facsimile Scanning Arrangements (AREA)
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 に沿って所定の間隔で配置したホログラムティスクと、
該ディスクを前記円周の中心全N転軸線として回転させ
る1駆動手段と、前記ホログラムレンズヘ同けてレーザ
光束を出射てるレーザ装置と、前記ホログラムレンズに
て回折、偏向さnたレーザ光束が走肴ζnる走査面とを
有する光走査光学系VC関する。
ホログラムレンズに対するレーザ光束Q)照射位置ケ変
化ζぜることにより、ホログラムレンズの空間周波数に
応じてレーザ光束全回折,偏向させ。
かく偏向したレーザ光束によって走査面を走査する上記
形式の光走査光学系は従来より周知である。
この種の光走査光学系においては.レーザ光束が走査面
にて直線走査を・為丁ことが望ましく,このため、従来
よりこの要求を満た丁べく各種の構成が提案さn,てい
る。ところが従来の提案にかかる光走査光学系において
は,こ、f+.[用いら汎る光学素子を,高い精度をも
って正確に位置決めする必要があり、このためこの光学
系全実用化することは芥易なことではなかった。
本発明は上記従来の欠点を軽減し,且つ構成を簡素化し
得る光走査光学系を提供しようとするものである。
本発明は、ホログラムディスクと走査面とり間に、回折
格子数勾配全潰する回折格子を配置し。
該[四桁格子によってレーザ光束を回折し、もって、@
線走査全可能とすると共に、光学系の構成の簡素化全達
成する点をその特徴とするもq)である。
以下,本発明の有利な実施例を図面に従って説明する。
第1図において.円板状に形成さfLLホログラムティ
スクlは,回転軸2を介して,モータ3か3一 ら成る駆動手段に取付けら几,該モータ3Vcよって回
転軸線4のまわり全回転駆動さ肛る。ホログラムディス
ク1(以下,単にディスクという)は。
その回転軸線4を中心とした円周1aに沿って。
等間隔で配置さn*:適数の、本例では6個のホログラ
ムレンズ5を有している。各ホログラムレンズは場所に
より異なる空間周波数を有し,こ扛らホログラムレンズ
5のt峙1牛は全て等しく作製さnている。6ほ,レー
ザ光束が主走査さ几る走査面であり,この走査面6と,
ディスク1との間には。
本発明により,回折格子7が配置ζnている。
今,既述の円周1aに沿った各ホログラムレンズ5のデ
ィスク周方同長さを1」とし、1つのホログラムレンズ
5におけるティスフ周方向σノ中心hの位置、即ちーの
位置に、図示していないレーザ′装置を出射した微小径
レーザ光束8.より正確に言えばこのレーザ光束8の横
断面中心を通る光線カニ照射した場合全一例として考え
ると.このレー勺゛光束はホログラムレンズ5によって
回折さ几,かく回折さn−iレーザ光束9は既述の回折
格子7に4− よってもI′n!I折さ扛回折レーザ光束10となって
,走査面6上の点Sに集束し、ここにビームスポツトを
生せしめる。
レーザ装置からのレーザ光束は上に例示した如くして走
査面6上に至るが,このときディスク1げ,矢印Aで示
す方間に等速で回転しており、しかもレーザ光束8がホ
ログラムレンズ5を照射する位置は不動である。こI/
)ため実際には,レーザ装置からのレーザ光束8は.1
つのホログラムレンズ5に対して、レンズ5の一万の端
部領域の初期位置1」1を照射した後、ディスタ1の回
転に伴って,上述したレンズ中心h2照射し,次いでレ
ンズ5の他方の端部領域の終端位置]・2を照射する。
こ′!′LVCより,ホログラムレンズ5を出射したレ
ーザ光束ほ,ホログラムレンズ5の空間周波数に応じて
回折され.矢印B方向に偏向される。こn,に伴って、
回折格子7にて回折きれたレーザ光束10も偏向さ几,
走査面6上のビームスボッ)U走査線11ケ生せしめつ
つ矢印C方向に移動し,こnによって所定の主走査が行
わ扛る(このときの走査面上での主走査開始点2X、走
査終了点=2Yとし、有効走査範囲がXYで示す領域で
あるとする)。
こσ〕ような動作が各ホログラムレンズ5毎に行ワl1
、しカ・も走査面が副走査方向Zに移層1するため、所
定の走査が連続的に行わ1.ることになる。この場合、
もしも第1図に示す回折格子7が無いとすると、各ホロ
グラムレンズ5を出射したレーザ光束ばそnぞ扛矢印1
2で示す如く直進し、こnにょジ生ぜしめらf15るビ
ームスボッIn−II、13で示す如き円弧状の走査線
を描くことになるが、第1図に示す光学系においては本
発明により、既述の回折格子7が設けられ、その格子間
隔が後述する如く構成さ汎ているため、走査面6上の走
査線11は亘線吠となり、かくしてこの種光走査光学系
に課せられ、る要求を確実に満足させることができる。
伺、1つのホログラムレンズに対するレーザ光束8の位
置が初期位置1・1と終端位置し2との間の範囲外に存
するときも、走査面上にビームスポットが形成さn得る
が、そのときのビームスポットの光強要は低く、かかる
光強度の低いビームスポットは一般に有効なビームスポ
ットとして用いらn、ないので、本例では、レーザ光束
8がホログラムレンズにおける図示した初期位置1・、
を照射したときから、終端位置■J2を照射したときま
でを、1回の主走査として考えている。
次に、上述の如く直線走査金高し得るようにするための
回折格子のより具体的な構成1%にその格子間隔につい
て説明する。
第2図は、第1図に示す光学系にて用いら九る回折格子
7全模式化して示す説明図であり、この回折格子7は、
回折格子間隔D (cl)が第2図に示す如く変化する
直線回折格子である。−万、第3図は第1図に示す構成
全模式的に示した平面原理図であり、第4図は第3図の
il1面図である。尚、本明細書では、レーザ光束にお
けるその横断面中心を通る光線を、中心光線と称するこ
とにする。
第3図及び第4図において、符号■−1は第1図に示す
ホログラムレンズ5を出射したレーザ光束の中心光線と
、ホログラムレンズ5との交点を示す。
従って、ホログラムレンズを出射するレーザ光束7− の中心光線は全て点11がら回折格子7へ同がうこトi
c;’!る。17を符号9a[、ホログラムレンズ5に
おける既述のディスク周方向中心h(第1図)會レーザ
光束8が照射したとき、該レンズ5′ff:出射したレ
ーザ光束9の中心光線全示し、以下の説明ではこの中心
光線9ai第1中心光線と称することにする。また、ホ
ログラムレンズ7の中心り以外の個所全照射して、走査
面上(1)有効走査範囲XY内の位titに至るレーザ
光束のうち、任意の1つのレーザ光束全労え、このレー
ザ光束が点Hがら回折格子7へ至る捷での、該レーザ光
束の中心光線を、14aで示す線分であるとし、この中
心光線を第2中心光線と称することにする。また既述の
如く第1図に示1−ディスク1が回転することにより、
ホログラムレンズを出射したレーザ光束は、第3図に矢
印Bで示す方向に偏向され2次いで回折格子7にて回折
ζn、でるが、その際1回折格子7にて回折さnた後の
第1及び第2中心光線をそn、ぞ扛第1及び第2回折中
心光線9b、14bと言うことにする。
8− 一方、既述の如き回折格子数勾配を有する回折格子7ば
、その格子の方向1)(第2図ケも参照)が、ホログラ
ムディスク1の日朝の接線方向と平行な方向に配置さn
、ている。換言1几ば、第3図に示す平面図で見たとき
に、格子の方向りは、第1中心光線9aないしは第1回
折中心光線9bvC対し直交している。
さて、回折格子7にて回折さ几た第1及び第2回折中心
元線9b、14bが、走査面6に至り、ここに走査線1
1が生ぜしめらnるが、このときの第2中心光線14 
aと第2回折中心光線141〕と全第3図の側面から見
ると、こ几らば、第4図に符号14a’、 14b’で
示す如く、回折格子7の表面15に対して垂直な垂線1
6と線分S I−Jと全含む平面への正射影線として表
わさn、る(点Sfi、第1図に関連した既述の説明か
らも判るように、第1回折中心光線9bと走査線11と
の交点である)。
ところで、もしも回折格子7が無いと仮定すると1点1
−1から発した第1及び第2中心光線9a、]4 aは
第3図及び第4図に破線+23で示1−如く直進して1
円弧状の走査線13(第1図上も参照)に至る。ところ
が、実際には回折格子7が設けら扛ているため、先にも
説明したように、該格子7にて回折さ彊、た第1及び第
2回折中心光線9b、14bは、直線状の走査@11に
至ることになる。以下に、この作用が得ら几るための条
件を説明する・伺、本例では回折格子7における基板(
例え(・」゛ガラス基板)の、第4図における下側の表
面15に格子が形成さ几ているものとし、この下側の表
面15を基準として、以下の考察全行うことにする。
先ず第3図に示す如く点l(から出射した第1中心光線
9aと、回折格子7の表面]5との交点−qOとし、同
様に第2中心光線14 aと回折格子7v表面15との
交点2 Pとする。そして交点Qi通り格子の方向りに
延びる仮想線17ヲ、回折格子中心線と称することにし
、この回折格子中心線17から上記交点Pまでの距離全
dと丁z(線17上回折格子中心線と名付けたのは、ホ
ログラムレンズ5の「中心h」を通った第1中心光線9
aがこの線17上の点0全通ることによる)〇一方、第
3図に示した第2中心光線34 aの正射影線である、
第4図に示した線14a′と回折格子70表面15との
交点をP′とすると、01’/−dとなる。
次に、第4図において、点1[と交点0との距離1−’
I O2Rg、走査線1]と回折格子中心線17との距
離SO全Rsとすると共に、回折格子7の平面15に垂
直な垂線16と、線分01−1との成1−角全α。、同
様に垂線16と線分SOとの成丁角葡β0.更に垂線1
6と線分P/ I−1との5y、丁角全α、線分S P
/と垂線16との成丁角全βとすると、第4図から明ら
かなように、次式が得らnる。
sb+ α= (”Lgsin α。  ’ ) / 
 (”g 5in(:16−d )’l−(]Qcos
dO−了二ミー     (1)sinβ−(1もS 
sinβ。十d)/(R8s1nβo+d )2+(f
(+5cosβO)2   (2)−万1回折格子中心
線17がらdだけ離fLi、同断格子上での位置(P又
はP′)における回折格子の間隔1) (d)は次(1
)、J:うに表わ丁ことができる。
但し、λCは、使用するレーザ光束の光波長である。
換言1几ば1式(3)を満埴するように格子間隔D (
d)を定めることができ旧、ば、走査線11ヲ直線にす
ることかできる。そこで式(1)及び(2)ヲ式(3)
に代入する昌 が得らnる。即ち1回折格子中心線17がら、回折格子
7の格子方向りに垂@な方向へ距離dだけ離′f1.た
位置での格子間隔D(a)が1式(4)で表わさ扛るよ
うな回折格子7全用い扛ば、点■」から発せら扛た光線
、換言丁nはホログラムレンズ全出射したレーザ光束を
、走査面11上にて直線走査させることができる。
上述した構成によ几ば1回折格子7盆用いることによっ
て、簡単に直線走査をな丁ことができ。
その構成も至って簡単であり、かかる光走査光学系は、
レーザプリンタや光学式読取装置等の情報処理機器に特
に有利に用いることができる。ただ。
上述した構成において、レーザ光束8が一定以上のビー
ム径を有していると、若干の非点収差を伴うことになり
、これに基き走査面上での像がぼけてしまう不都合を生
ずることも考えら几る。即ち、レーザ光束8が第1図に
示すディスク10円周方向に広がりを有していても、収
差を伴うことなく走査面6」二に集束されるが、レーザ
光束がディスク1の半径方向に広がりを有していると、
このレーザ光束は走査面6.J:りもやや手@側に集束
することになる。
そこでこの非点収差について検討してみる。第3図にお
いて、既述の点1−1から出射した第1中心光線9aが
ディスク1(第1図)の回転に伴って、第2中心光線]
4 aまで偏向されるが、そのときの第3図で見た状態
での中心光線の回転角をθとする。一方、第1図に示す
如く、ホログラムレンズ5全照射したレーザ光栄の中心
からディスク10回転軸線4捷での距離をγとすると、
第3図に示す第2中心光線14 aが回折格子7へ入射
した点Pから、既述の回折格子中心線17捷での距離d
ば。
次の如く表わさnる。
d=(几gsin偽十γ)(1cosθ)(5)但し、
 Rg、α0は式(4)におけるRg、α。と同じであ
る従って回転角θが判れば、式(5)により距離d、即
ち°g2中心元線光線折格子7を照射する位置を知るこ
とができる。一方、この距離dが判れば5式(4)によ
って、距離dの位置における格子間隔1.) (d)、
ひいては第2中心光電9+4aの回折角度β全知ること
ができ、第2回折光線14 bの集束位置全知ることが
できる。上の説明では第2中心光線14 bについての
み考察した。ところか実際には成る広がりを持ったレー
ザ光束が回折格子7Vc−入射し、か〃・る光束の各光
線についても、上述した考えと同じ考えによって、その
回折角βを知ることができ、よって、こ几ら各光線が、
回折格子7で回折さn。
た後、いかなる位置にて集束するかを知ることができる
。このような手法によって、各光線の最良像点(最小錯
乱円つと走査線11とのずnδ、及び回転角θの関係を
求め、こfl、iグラフ化して示すと、第5図の如くな
る。そしてこ(1)第5図を見れば判るように、回転角
θが比較的小なる範囲では。
走査線からの最良[象点のすn+q無視できる程小さく
、J:って非点収差による影響を考慮せずとも特に問題
に生じない。もつとも回転角θが非常に太きくな肛ば、
走査線11からの最良像点のず几が太きくなり、こ′n
を無視できなくなることもあるが。
このような場合には、ホログラムレンズ5を出射し7?
:光が、第5図に示したずれδと逆の非点収差ケもって
集束するように、ホログラムレンズ 5ヶ予め作製して
おけは何ら問題は生じない。
同、図示した回折格子7は、けい線を引くこと[、J:
す形成1−ることもできるし、或いにホログラフィク技
術によって作製することもできる。即ち2けい線によっ
て格子を形成するl/i″は1例えば、そ■自体公知な
ルーリングエンジンに、Kljがき。
或いは電子ビームによってけがくことがで′き、またホ
ログラフィク技術により格子全作製するときに+r:J
二、例えば第61スに示す如く、凹面を有する円柱レン
ズ20からの発散円筒波2]と、凸面を有する円柱レン
ズ22からの収束円筒波23と全干渉させ、ホログラム
記録伺料107に記録3− n rff、、−Iい〔各
レンズ20.22に入射する光は同一光源(図示せず)
から出たものであることは当然である〕。
またホログラフィック技術によって回折格子シ・χメ會
作製する場合、使用する光束の波長に感するホログラム
記録材料を用いる必要があるが。
この光束として、半導体レーザからのレーザ光束の如く
、近赤外より長波長の光を用いたときVC−ば、かかる
波長域で感するホログラム記録材料に適当なものが無い
。ところが1本発明に係る回折格子は、上述の如く、ホ
ログラフィク技術以外の技術、即ちはい線を引くことに
よっても作製できるので5上述した事央によって特に不
都合が生ずることはない。
同、上述した説明では2回折格子基板の一万の表面15
介基準とし、距離Rg、 Rs等全定め、各式(1)、
(2)、(4)ヲ導ひいたが、回折格子基板の他方の而
(第4図における上側0面)15aを基準とし、或い1
’I回折格子基板の上下の表面15,152の中間的な
位置を基準として上記距離H,g、Rs等を定め、式(
4)を導びき、こfLVc基いて回折格子の格子間隔D
 (d)k定めても、本発明の目的は達成できる。但し
、格子の形成された回折格子表面全基準とすることが望
ましいことは当然である。従って回折格子7(/′I第
4図に訃ける」二側σ〕表面152に格子を形成した場
合Vr:、ば、この表面15a’i基準とすることか有
利である。
I以上q)説明からも判るように1本発明に、を二n(
げ簡羊な構成によって@騨走査tな丁ことプバ可能とな
る。
伺、本発明に係る光走査光学系は1例えばレーザプリン
タ、読取装置等に広く利用できるが、レーザプリンタに
用いらfしたときには、走査面が感光体として構成ζn
、読取装置に利用さ′nたときには、走査面は原稿等の
被読取体となることば周知の通りである。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に係る光走査光学系の概略斜視図、第2
図は回折格子を模式化して示す説明図。 第;う図は第1図に示す光学系を更に模式化して示す平
面説明図、第4図は第3図(/、l ]V −IV線方
向から見た側面図、第5図は、走査線から最良結像点捷
でのずれと1回転角との関係を示1グラフ、第6図は回
折格子全ホログラフイク技術によって作製する際の一例
を示す斜視図である。 1・・ディスタ、1a・・・円周;4・・軸線;5・・
ホログラムレンズ:6・走査面、7・・・回折格子18
゜9.10・レーザ光束;9a・・中心光線;16・・
・垂線;17・・・回折格子中心線; D・・・格子方向;h・・・中心;0・・・交点;Rg
・・・長さ; d、 R,s・・・距離、α。、β・・
・角;T)(d)・・・格子間隔。 代理人 弁理士 星 野 則 夫 19− 126− 第3図 第4図 第5図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 (1)  複数のホログラムレンズをほぼ円周に沿って
    所定の間隔で配置したホログラムディスクと、該ディス
    クを、前記円周の中心を回転軸線として回転させる駆動
    手段と、@記ホログラムレンズへ回けてレーザ光束を出
    射するレーザ装置とt MJ記ホログラムレンズにて回
    折。 偏向さfL7’(レーザ光束が主走査a 、n、る走査
    面とを肩する光走査光学系において。 前記ホログラムディスクと走査面との間に、回折格子全
    配全有する回折格子全配置し。 該回折格子によってレーザ光束を回折きせること全特徴
    とする前記光走査光学系。 折格子全配置したこと、及び ホログラムディスクの周方向における。]−■−哩^鴫 つび)ホログラムレンズの中心を出射したレーザ光束の
    横断面中心を通る中心光線が前記回折格子と交わる交点
    全考え、この交点を通り且つ回折格子の格子方向に延び
    る直線を回折格子中心線とし、該回折格子中心線上にお
    ける前記交点と、ホログラムレンズのm前記中心とを結
    んだ線分の長さif(、g、該線分と、回折格子の表面
    に垂直な垂線とのな丁角全α0、ホログラムレンズの前
    記中心を出射したレーザ光束の中心光線が、前記交点か
    ら走査面に至る壕での線分の距離2Rs、該線分と前記
    垂線とのな丁角ケβ。、レーザ光束の光波長をλCとし
    たとき、前記回折格子中心線から1回折格子の格子方間
    に垂直な方向へ距離dだけ離nた位置での格子間隔D 
    (d)が となるように1回折格子の格子間隔を設定したことを特
    徴とする特許請求の範囲第1項に記載の光走査光学系。 2− (3)  前記回折格子が、けい線を引くことに、に!
    ll形成さ几ている特許請求の範囲第1項又は第2項に
    記載の光走査光学系。 (4)  前記回折格子が、ホログラフィク技術によっ
    て形成ζn、ている特許請求の範囲第1項又は第2項に
    記載の光走査光学系。
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