JPS58105024A - 受光素子アレイ - Google Patents
受光素子アレイInfo
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- JPS58105024A JPS58105024A JP20398681A JP20398681A JPS58105024A JP S58105024 A JPS58105024 A JP S58105024A JP 20398681 A JP20398681 A JP 20398681A JP 20398681 A JP20398681 A JP 20398681A JP S58105024 A JPS58105024 A JP S58105024A
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- 239000006185 dispersion Substances 0.000 claims abstract description 10
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 20
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 3
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 claims 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 abstract description 21
- 239000000203 mixture Substances 0.000 abstract 1
- 238000002835 absorbance Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 3
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 3
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000011481 absorbance measurement Methods 0.000 description 2
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 2
- 235000014676 Phragmites communis Nutrition 0.000 description 1
- 239000012468 concentrated sample Substances 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
発明の技術分野
この発明は、分光光度計の技術分野に属し、分光された
単色光を光電変換する受光素子多数を各単色光の分散し
ている方向に配列してなる多波長測定の可能な受光素子
アレイに関する。
単色光を光電変換する受光素子多数を各単色光の分散し
ている方向に配列してなる多波長測定の可能な受光素子
アレイに関する。
発明の技術的背景およびその問題点
従来、受光素子アレイたとえばフォトダイオードアレイ
１は、第１図および第２図に示すように、ケース１Ａの
上面に設けられた凹陥部２内に、紫外領域から可視領域
までの所定の波長に感応する多数の受光素子３たとえば
フオトダ・イオードを配列し、フォトダイオードの酸化
を防止するために凹陥部２内に不活性ガスたとえば窒素
ガスを保護部材４たとえばガラス板、プラスチック板で
密封するようにして構成したデュアルインピン型のもの
である。なお、５で示すのは出力ピンである。
１は、第１図および第２図に示すように、ケース１Ａの
上面に設けられた凹陥部２内に、紫外領域から可視領域
までの所定の波長に感応する多数の受光素子３たとえば
フオトダ・イオードを配列し、フォトダイオードの酸化
を防止するために凹陥部２内に不活性ガスたとえば窒素
ガスを保護部材４たとえばガラス板、プラスチック板で
密封するようにして構成したデュアルインピン型のもの
である。なお、５で示すのは出力ピンである。
そして、第３図に示すように、スリット６を介して直進
する光を分散素子７たとえば回折格子で各単色光に分光
し、各単色光が分散している方向において前記構成を有
するフォトダイオードアレイ１を配置し、たとえば試料
液中を透過する光につき種々の波長での吸光度を前記フ
ォトダイオードアレイ１で測定する。
する光を分散素子７たとえば回折格子で各単色光に分光
し、各単色光が分散している方向において前記構成を有
するフォトダイオードアレイ１を配置し、たとえば試料
液中を透過する光につき種々の波長での吸光度を前記フ
ォトダイオードアレイ１で測定する。
前記フォトダイオードアレイ１において重要なことは、
配列されている各フォトダイオードに所定の波長の単色
光のみが入射することである。もし、所定の波長の単色
光が入射すべもフォトダイオードに他の波長の光が入射
すれば、フォトダイオードアレイ１により測定する吸光
度値に誤差が生ずることとなるからである。特に、分散
素子７で分光した単色光には高次元が迷光として混入し
てくるので、この迷光全除去するために、前記フォトダ
イオードアレイ１には、通常、高次光カット用フィルタ
やバンドパスフィルタ等のフィルタが前置されている。
配列されている各フォトダイオードに所定の波長の単色
光のみが入射することである。もし、所定の波長の単色
光が入射すべもフォトダイオードに他の波長の光が入射
すれば、フォトダイオードアレイ１により測定する吸光
度値に誤差が生ずることとなるからである。特に、分散
素子７で分光した単色光には高次元が迷光として混入し
てくるので、この迷光全除去するために、前記フォトダ
イオードアレイ１には、通常、高次光カット用フィルタ
やバンドパスフィルタ等のフィルタが前置されている。
しかしながら、フォトダイオードアレイを装備する自動
化学分析装置で３４０ｙｃｍ等の紫外領域の増色光を使
用して試料の吸光度を高精度に測定しようとする場合、
紫外領域ではランプの元エネルギが小さいので、可視領
域のわずかの光がたとえば散乱光として入射すると大き
な迷光となる結果、吸光度測定に大きな誤差が生ずると
ころ、前記フィルタを前置して分散素子により生ずる迷
光を除去しているにもかかわらず、フォトダイオードに
入射する単色光にごくわずかの迷光が混入していた。こ
の迷光の混入原因につき、この発明者らが種々検討した
ところ、フォトダイオードアレイ１の上面に配置された
保護部材４が迷光の原因であることが判明した。すなわ
ち、前置するフィルタにより高次光等の迷光を除去した
単色光が保護部材４に入射すると、保護部材４、凹陥部
２内に封じられた窒素ガスおよび空気の屈折率それぞれ
が相違することにより、入射した単色光の一部が、第２
図に示すように透明部材４全ライトガイドとして遊走し
、他のフォトダイオードに出射し、その結果、迷光全除
去したはずであるのに単色光に迷光が混入してしまった
のである０といって、かかる迷光全除去するために、多
波長分光光度計１に装着されている保護部材４を除去し
てしまうと、フォトダイオードが空気に直接曝露される
ことによりフォトダイオードの酸化が著しくなフ、フォ
トダイオードアレイ１の寿命が短縮されることになる。
化学分析装置で３４０ｙｃｍ等の紫外領域の増色光を使
用して試料の吸光度を高精度に測定しようとする場合、
紫外領域ではランプの元エネルギが小さいので、可視領
域のわずかの光がたとえば散乱光として入射すると大き
な迷光となる結果、吸光度測定に大きな誤差が生ずると
ころ、前記フィルタを前置して分散素子により生ずる迷
光を除去しているにもかかわらず、フォトダイオードに
入射する単色光にごくわずかの迷光が混入していた。こ
の迷光の混入原因につき、この発明者らが種々検討した
ところ、フォトダイオードアレイ１の上面に配置された
保護部材４が迷光の原因であることが判明した。すなわ
ち、前置するフィルタにより高次光等の迷光を除去した
単色光が保護部材４に入射すると、保護部材４、凹陥部
２内に封じられた窒素ガスおよび空気の屈折率それぞれ
が相違することにより、入射した単色光の一部が、第２
図に示すように透明部材４全ライトガイドとして遊走し
、他のフォトダイオードに出射し、その結果、迷光全除
去したはずであるのに単色光に迷光が混入してしまった
のである０といって、かかる迷光全除去するために、多
波長分光光度計１に装着されている保護部材４を除去し
てしまうと、フォトダイオードが空気に直接曝露される
ことによりフォトダイオードの酸化が著しくなフ、フォ
トダイオードアレイ１の寿命が短縮されることになる。
したがって、フォトダイオードアレイ１においては、保
護部材４を除外することなく、この保護部材４によシ生
ずる迷光の混入を９伺に防止するかが大きな問題点であ
る。
護部材４を除外することなく、この保護部材４によシ生
ずる迷光の混入を９伺に防止するかが大きな問題点であ
る。
発明の目的
この発明は、受光素子の酸化を防止するために不活性ガ
スを封止している保護部材を除去することなく、各受光
素子に入射する単色光中への迷光の混入を有効に防止し
て、測定精度の向上を図った受光素子プレイを提供する
ことを目的とするものである。
スを封止している保護部材を除去することなく、各受光
素子に入射する単色光中への迷光の混入を有効に防止し
て、測定精度の向上を図った受光素子プレイを提供する
ことを目的とするものである。
発明の概要
前記目的を達成するためのこの発明の概要は、受光素子
プレイにおいて多舷のガラスフィルタを単色光の分散方
向に沿って配列し、接合することにより保護部材を形成
したことにある０発明の実施例 第４図はこの発明の一実施例を示す斜視図であシ、第５
図はこの発明の一実施例を示す断面図であり、第６図は
保護部材として使用するガラスフィルタの透過率と波長
との関係を示すグラフおよび第７図はこの発明の作用を
示す説明図である。
プレイにおいて多舷のガラスフィルタを単色光の分散方
向に沿って配列し、接合することにより保護部材を形成
したことにある０発明の実施例 第４図はこの発明の一実施例を示す斜視図であシ、第５
図はこの発明の一実施例を示す断面図であり、第６図は
保護部材として使用するガラスフィルタの透過率と波長
との関係を示すグラフおよび第７図はこの発明の作用を
示す説明図である。
第４図に示すように、この発明の一実施例である受光素
子アレイたとえばフォトダイオードアレイ１０は、従来
におけるフォトダイオードアレイ１と同じくデュアルイ
ンピン型で６ＪＤ、従来におけるフォトダイオードアレ
イ１と相違するところは保護部材１１でアシ、他の各部
たとえばケースＩＡ 、凹陥部２．受光素子３．出力ピ
ン５については従来のものと同様である０保護部材１１
は、第５図に示すように、光透過帯域が波長によ如相違
する複数のガラスフィルタｉｉＡ’を単色光の分散方向
すなわち受光素子６たとえばフォトダイオードの配列方
向に沿って配列し、接合することによシ構成されている
。ガラスフィルタ１１Ａは、たとエババンドパスフィル
タ、シャープカットフィルタであり、第６図に示すよう
に、フォトダイオードの配列方向に沿って短波長側から
長波長側へと順次に光透過帯域が変化するように、特、
性の異なるフィルタＦｌ ｐ Ｆ２ ａ・・・・・・が
配列される。ガラスフィルタ１１Ａの形状、厚みは、フ
ォトダイオードに応じて適宜に決定することができる０ 以上のように保護部材１１を、特性の異なるガラスフィ
ルタ１１Ａｔ−組み合わせることによシ構成しているの
で、保護部材１１に入射する光が第７図に示すようにガ
ラスフィルタ１１Ａ内を遊走、進行するとしても、ガラ
スフィルタ１１Ａ内体が遊走する光を吸収してしまうの
で、所定の受光素子６に入射すべき単色光が他の受光素
子３に迷光として混入するのを防止することができる。
子アレイたとえばフォトダイオードアレイ１０は、従来
におけるフォトダイオードアレイ１と同じくデュアルイ
ンピン型で６ＪＤ、従来におけるフォトダイオードアレ
イ１と相違するところは保護部材１１でアシ、他の各部
たとえばケースＩＡ 、凹陥部２．受光素子３．出力ピ
ン５については従来のものと同様である０保護部材１１
は、第５図に示すように、光透過帯域が波長によ如相違
する複数のガラスフィルタｉｉＡ’を単色光の分散方向
すなわち受光素子６たとえばフォトダイオードの配列方
向に沿って配列し、接合することによシ構成されている
。ガラスフィルタ１１Ａは、たとエババンドパスフィル
タ、シャープカットフィルタであり、第６図に示すよう
に、フォトダイオードの配列方向に沿って短波長側から
長波長側へと順次に光透過帯域が変化するように、特、
性の異なるフィルタＦｌ ｐ Ｆ２ ａ・・・・・・が
配列される。ガラスフィルタ１１Ａの形状、厚みは、フ
ォトダイオードに応じて適宜に決定することができる０ 以上のように保護部材１１を、特性の異なるガラスフィ
ルタ１１Ａｔ−組み合わせることによシ構成しているの
で、保護部材１１に入射する光が第７図に示すようにガ
ラスフィルタ１１Ａ内を遊走、進行するとしても、ガラ
スフィルタ１１Ａ内体が遊走する光を吸収してしまうの
で、所定の受光素子６に入射すべき単色光が他の受光素
子３に迷光として混入するのを防止することができる。
しかも、保護部材１１は、それ自体がフィルタであるの
で、従来におけるように分散素子７により生ずる迷光を
除去するため、フォトダイオードアレイ１０に前置する
フィルタを省略することができる。つまし、この発明に
おいては、保護部材１１は、分散素子７によシ生ずる迷
光および保護部材１１自体により生ずる迷光の両者をほ
ぼ完全に除去することがでへるのである。
で、従来におけるように分散素子７により生ずる迷光を
除去するため、フォトダイオードアレイ１０に前置する
フィルタを省略することができる。つまし、この発明に
おいては、保護部材１１は、分散素子７によシ生ずる迷
光および保護部材１１自体により生ずる迷光の両者をほ
ぼ完全に除去することがでへるのである。
この発明者らの実験によると、フィルタを前置せずに従
来のフォトダイオードアレイ１を使用した場合、波長３
４０ ｎｕについての迷光の混入割合は約５％であり、
バンドパスレイルタＵ−３４０全前置して従来のフォト
ダイオードアレイ１を使用した場合、前記波長について
の迷光の混入割合は約０．７９６であフ、フィルタを前
置せずにこの発明の一実施例である前記フォトダイオー
ドアレイ１０を使用した場合、前記波長についての迷光
の混入割合は約０．０２％であった。
来のフォトダイオードアレイ１を使用した場合、波長３
４０ ｎｕについての迷光の混入割合は約５％であり、
バンドパスレイルタＵ−３４０全前置して従来のフォト
ダイオードアレイ１を使用した場合、前記波長について
の迷光の混入割合は約０．７９６であフ、フィルタを前
置せずにこの発明の一実施例である前記フォトダイオー
ドアレイ１０を使用した場合、前記波長についての迷光
の混入割合は約０．０２％であった。
以上、この発明の一実施例について説明したが、この発
明は前記実施例に限定されるものではなく、前記実施例
における各部を同一機能を有す・る他の部材に置き換え
て実施することができるのはいうまでもない。
明は前記実施例に限定されるものではなく、前記実施例
における各部を同一機能を有す・る他の部材に置き換え
て実施することができるのはいうまでもない。
たとえば、第８図に示すように、通常のガラス１２０表
面に多数のガラスフィルタ１１Ａ’ｅ貼着して、保護部
材１１を二層構造にしてもよい。このような二層構造に
しておくと、フォトダイオードアレイ１１の凹陥部２内
に封入している不活性ガスがガラスフィルタ１１Ａ相互
の接合面よりリークするのを防止することができる。
面に多数のガラスフィルタ１１Ａ’ｅ貼着して、保護部
材１１を二層構造にしてもよい。このような二層構造に
しておくと、フォトダイオードアレイ１１の凹陥部２内
に封入している不活性ガスがガラスフィルタ１１Ａ相互
の接合面よりリークするのを防止することができる。
また、第９図および第１０図に示すように、受光素子６
を配列する方向に直交するガラスフィルタ１１Ａ同志の
接合面が斜向するように、あるいは段違いとなるように
、ガラスフィルタ１１Ａ同志全綴合して保護部材１１を
構成してもよい。このようにガラスフィルタ１１Ａの接
合面を形成すると、接合面から迷光が混入するのを防止
することができる。
を配列する方向に直交するガラスフィルタ１１Ａ同志の
接合面が斜向するように、あるいは段違いとなるように
、ガラスフィルタ１１Ａ同志全綴合して保護部材１１を
構成してもよい。このようにガラスフィルタ１１Ａの接
合面を形成すると、接合面から迷光が混入するのを防止
することができる。
また、フィルタは、ガラス以外に、合成樹脂（プラスチ
ック）で形成してもよい。
ック）で形成してもよい。
発明の効果
この発明によると、受光素子アレイにおける保護部材に
よシ生ずる迷光が他の単色光に混入するのを有効に防止
することができる。しかも、この発明における保護部材
は、それ自体がフィルターであるので、分散素子によシ
生ずる迷光をも吸収遮断することができる。したがって
、この発明に係る受光素子アレイは、フィルタの前置を
省略することができる。この発明に係る受光素子アレイ
たとえばフォトダイオードアレイを自動化学分析装置に
装備すると、感度の低い紫外部における吸光度測定や、
高濃度の試料液の吸光度測定を高精度で行なうことがで
きる０
よシ生ずる迷光が他の単色光に混入するのを有効に防止
することができる。しかも、この発明における保護部材
は、それ自体がフィルターであるので、分散素子によシ
生ずる迷光をも吸収遮断することができる。したがって
、この発明に係る受光素子アレイは、フィルタの前置を
省略することができる。この発明に係る受光素子アレイ
たとえばフォトダイオードアレイを自動化学分析装置に
装備すると、感度の低い紫外部における吸光度測定や、
高濃度の試料液の吸光度測定を高精度で行なうことがで
きる０
第１図は従来のフォトダイオードアレイを示す斜視図、
第２図は従来の７オトダイオードアレイを示す断面図、
第６図はフォトダイオードアレイの使用状態を示す説明
図、第４図はこの発明の一実施例を示す斜視図、第５図
はこの発明の一実施例を示す断面図、第６図は保護部材
として使用するガラスフィルタの透過率と波長との関係
を示すグラフ、第７図はこの発明の作用を示す説明図並
びに第８図、第９図および第１０図はこの発明の他の実
施例を示す説明図である。 ３・・・受光素子、 １０・・・フォトダイオードア
レイ、 １１・・・保護部材、１１Ａ・・・ガラスフ
ィルタ〇１０ −５１ 第７図 第９図 ″パ゛パ″″パ、
第２図は従来の７オトダイオードアレイを示す断面図、
第６図はフォトダイオードアレイの使用状態を示す説明
図、第４図はこの発明の一実施例を示す斜視図、第５図
はこの発明の一実施例を示す断面図、第６図は保護部材
として使用するガラスフィルタの透過率と波長との関係
を示すグラフ、第７図はこの発明の作用を示す説明図並
びに第８図、第９図および第１０図はこの発明の他の実
施例を示す説明図である。 ３・・・受光素子、 １０・・・フォトダイオードア
レイ、 １１・・・保護部材、１１Ａ・・・ガラスフ
ィルタ〇１０ −５１ 第７図 第９図 ″パ゛パ″″パ、
Claims (1)
- 単光色が分散する方向に配列された複数の受光素子と受
光素子の劣化を防止するために受光素子の光入射面前方
に配置された保護部材とを有して多波長測定可能な受光
素子アレイにおいて、保護部材が、少なくとも光透過帯
域が短波長から長波長へと変化するように単色光の分散
方向に沿って複数のフィルタを一体に接合してなり、こ
の保護部材により受光素子への迷光入射を防止したこと
を特徴とする受光素子アレイ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20398681A JPH0239726B2 (ja) | 1981-12-17 | 1981-12-17 | Jukososhiarei |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20398681A JPH0239726B2 (ja) | 1981-12-17 | 1981-12-17 | Jukososhiarei |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58105024A true JPS58105024A (ja) | 1983-06-22 |
| JPH0239726B2 JPH0239726B2 (ja) | 1990-09-06 |
Family
ID=16482888
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20398681A Expired - Lifetime JPH0239726B2 (ja) | 1981-12-17 | 1981-12-17 | Jukososhiarei |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0239726B2 (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6140520A (ja) * | 1984-06-13 | 1986-02-26 | アボツト ラボラトリ−ズ | 分光光度計 |
| US4687329A (en) * | 1985-03-21 | 1987-08-18 | Abbott Laboratories | Spectrophotometer |
| JPS62267623A (ja) * | 1986-05-15 | 1987-11-20 | Minolta Camera Co Ltd | 分光測定センサ |
| DE4223212A1 (de) * | 1992-07-15 | 1994-01-20 | Bodenseewerk Perkin Elmer Co | Gitter-Polychromator |
| DE19706050A1 (de) * | 1997-02-07 | 1998-08-27 | Inst Chemo Biosensorik | Verfahren und Vorrichtung zur Spektralmessung von schnell bewegten Objekten |
| US5962853A (en) * | 1995-02-24 | 1999-10-05 | Institut Fuer Chemo- Und Biosensorik Muenster E.V. | Process for determining the surface state of highways in particular, and device for carrying out this process |
| JP2008051822A (ja) * | 2007-10-09 | 2008-03-06 | Toshiba Corp | 化学分析装置 |
| JP2021071651A (ja) * | 2019-10-31 | 2021-05-06 | キヤノン株式会社 | 光学系、それを備える撮像装置及び撮像システム |
-
1981
- 1981-12-17 JP JP20398681A patent/JPH0239726B2/ja not_active Expired - Lifetime
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| JP2021071651A (ja) * | 2019-10-31 | 2021-05-06 | キヤノン株式会社 | 光学系、それを備える撮像装置及び撮像システム |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0239726B2 (ja) | 1990-09-06 |
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