JPS5810355Y2 - ビシヨ−ブツノケンサソウチ - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は例えばＩＣマスクの如きパターン状微小物の検
査に使用する装置に間し、特に被検査資料と標準資料と
の対応する位置に同時に光を走査照明し、透過した光を
光電変換し、得られた信号を比較判定して被検査資料を
検査する装置に関するものである。

図面により本考案を詳細に説明すれば、第１図に示す如
く移動台１は移動機構２によりゆっくりと等速で縦方向
に移動されるようになっている。

この移動台１の等速移動により被検査資料３及び標準資
料３′のパターンの縦方向のスキャニングを行うもので
ある。

移動台１上には資料３及び３′を載置するマウント４．
４’が設けられ、被検査資料３を載置するマウント４に
は該マウント４を縦方向に微摺動させるネジ５、横方向
に微摺動させるネジ６、微回転させるネジ７が設けられ
、標準資料３′に対して被検査資料３を対応する正確な
位置に調節可能になっている。

マウント４．４’上部には資料３，３′を拡大視する対
物レンズ８，８′、接眼レンズ９，９′がそれぞれ設け
られており、接眼レンズ９，９′から肉眼で資料３，３
′が拡大視されるようになっている。

これ等の光学系を収納する筒１０．１０には焦点を合わ
せるためのネジ（図示せず）が設けられている。

この接眼レンズ９，９′より資料３，３′を見ながらマ
ウント４のネジ５，６．７を調節し、該拡大機構内に設
けられた位置合わせ用罫線（図示せず）により標準資料
３′に対する被検査資料３の位置を正確に合わせる。

対物レンズ８，８′、接眼レンズ９，９′間にはハーフ
ミラ−より成るビームスプリッタ−１２，１２’が設け
られ、該ビームスプリッタ−１２，１２’に対向して光
を振るスキャニング機構が設けられている。

スキャニング機構は光源１４．１４’、フィルター１５
．１５’アパーチャ１６．１６’、集光レンズ１７．１
７’及び適当な動力により同期回転する回転ミラー１８
゜１８′等よりなるものである。

この回転ミラー１８．１８’が同期して回転することに
より点光源が移動台１の移動方向と直角方向に振られ、
被検査資料３及び標準資料３′のパターンの横方向のス
キャニングを行う。

一方、マウンＩ−４，４’の下部には光源２０．２０’
及び焦光レンズ２１．２１’よりなる照明機構が設けら
れている。

又マウント４，４′と焦光レンズ２１．２１’間にはビ
ームスプリッタ−２２，２２’が設けられ、該ビームス
プリッタ−２２，２２’に対向して焦光レンズ２３゜２
３′及び光電変換する充電素子２４．２４’が設けられ
ている。

該光電素子２４．２４’には比較判定機構２５が接続さ
れている。

該比較判定機構２５は光電素子２４．２４’より得られ
た電気信号を比較し、一致しているかどうかを判定し、
適正か否かをアウトプットする電気回路である。

本装置の使用法を説明すれば、まず標準資料３′をマウ
ント４′に固定し、被検査資料３をマウント４に載置す
る。

次に光源２０．２０’を入れ、接眼レンズ９，９′より
見ながらマウント４の位置調節用のネジ５，６．７を調
節して被検査資料３の位置と標準資料３′との位置を合
わせる。

次に光源２０．２０’を切り、検査作動用のスイッチ（
図示せず）を入れると移動機構２が作動して移動台１が
ゆっくりと移動し始め、光源１４．１４’が点燈し、回
転ミラー１８．１８’が回転し始め、比較判定機構２５
が作動して検査が自動的に行われる。

本検査装置の検査構成は次の如くである。

即ち、光源１４．１４’より発せられる光は回転ミラー
１８゜１８′、ビームスプリッタ−１２，１２’、対物
レンズ８，８を通して、資料３，３′のパターンの相対
応する微小点を照明し、該資料３，３′を通過して充電
素子２４゜２４′に入光する。

そして回転ミラー１８．１８’が回転することにより資
料３，３′を照明する微小点の位置は左右に振られる。

同時に移動台１がゆっくりと移動することにより照明さ
れる資料３，３′の位置が前後方向にゆっくりと移動し
、結局資料３，３′の相対応する点を同時にスキャニン
グしながら被検査資料３標準資料３′全面をスキャニン
グする。

このようにして資料３，３′を透過する光を光電素子２
４．２４’により受光し、もし被検査資料３にピンホー
ル、傷があれば光電素子２４．２４’に入光する光量に
差が生じ、これを比較判定機構２５で判定して被検査資
料３のピンホール、傷等の有無を判定するのである。

このようにして１枚の被検査資料３の検査が終了した後
、次の被検査資料に取換え、同様にして順次検査を行う
のである。

本考案は以上の如き構成であって、下記に示す如き優れ
た実用上の効果を有する。

即ち被検査資料及び標準資料を載置するそれぞれのマウ
ントに個々に拡大機構を有するので、被検板資料に肉眼
では発見できないが拡大機構によって見ることにより発
見できる程度の欠陥があった場合に、スキャニングして
比較判定機構により判定するまでもなくそのような被検
査資料を欠陥製品として判定し取除くことができ、又、
被検板物に実用上さしつかえない程度の欠陥又は塵埃等
が付着していた場合、そのような被検査資料はスキャニ
ングすることにより比較判定機構で欠陥製品として判定
されるが、このように判定された被検査物につき拡大機
構により検査員が注意してみることによりその欠陥が実
用上さしつかえない程度の欠陥か否かを判断できるので
、ＩＣマスク等の検査に於いて極めて効率良くしかも適
正な検査が可能となる。

又、光学系の中に一体にスキャニング機構が組み込まれ
ているので、機械構造的に簡易にしがも精度良く設計し
得るのみならず、上記の如き比較判定機構による検査と
、拡大機構による視的判断による検査が平行して行なう
ことができる。

又、比較判定機構は２つの電気信号の一致不一致を検出
すれば良く記憶回路、判断回路等を必要としないから安
価に製作し得る。

【図面の簡単な説明】

図面は本考案の一実施例を示すもので、第１図は本装置
の説明図である。 １・・・・・・移動台、２・・・・・・移動機構、３・
・・・・・被検査資料、３′・・・・・・標準資料、４
．４′・・・・・・マウント、８，８′・・・・・・対
物レンズ、９，９′・・・・・・接眼レンズ、１２．１
２′・・・・・・ビームスプリッタ−１２０，２０’・
・・・・・光源、２２．２２’・・・・・・ビームスプ
リッタ−１２４，２４’・・・・・光電素子、２５・・
・・・・比較判定機構。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. ＩＣマスク等のパターン状微小物の検査装置に於いて、
   移動台、該移動台をゆっくりと等速で縦方向に移動させ
   る移動機構、移動台上に設けられた被検査資料及び標準
   資料をそれぞれを載置するマウント、該マウントの一方
   を縦及び横方向に微摺動させるネジ、被検査資料及び標
   準資料それぞれのマウント上に配置された対物レンズ、
   接眼レンズ、筒等よりなる拡大機構、前記拡大機構それ
   ぞれの接眼レンズ、対物レンズ間に設けられたビームス
   プリッタ−１該ビームスプリッタ−に対向して設けられ
   た回転ミラーを含む横方向に光を振るスキャニング機構
   、前記それぞれのマウントの下部に配置された光電素子
   を含む充電変換機構、該光電変換機構からの電気信号を
   比較し判定する比較判定機構よりなる微小物の検査装置
   。