JPS58101705A - コ−ルドトラツプ - Google Patents
コ−ルドトラツプInfo
- Publication number
- JPS58101705A JPS58101705A JP19792081A JP19792081A JPS58101705A JP S58101705 A JPS58101705 A JP S58101705A JP 19792081 A JP19792081 A JP 19792081A JP 19792081 A JP19792081 A JP 19792081A JP S58101705 A JPS58101705 A JP S58101705A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- outer container
- lid
- vacuum pump
- partition wall
- cold trap
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Landscapes
- Vaporization, Distillation, Condensation, Sublimation, And Cold Traps (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
ガスの流入を防止するコールドトラノプに関するもので
ある。
ある。
半導体製造装置などで塩素系などの反応ガスを流し、真
空ポンプで減圧しながら反応させる装置では吸引された
反応ガスが真空ポンプの油と反応して油の粘度が増し、
または反応固形物が出来て真空ポンプの隙間に入り込み
、ポンプ故障の大きな原因となる。さらに反応ガスによ
りポンプ内壁が腐食されて真空ポンプの寿命を著しく短
くする。
空ポンプで減圧しながら反応させる装置では吸引された
反応ガスが真空ポンプの油と反応して油の粘度が増し、
または反応固形物が出来て真空ポンプの隙間に入り込み
、ポンプ故障の大きな原因となる。さらに反応ガスによ
りポンプ内壁が腐食されて真空ポンプの寿命を著しく短
くする。
このような問題を解決するために従来から減圧する容器
と真空ポンプの間にコールドトラップを設け、ここを、
通過する反応ガスの温度を下げてガス分子の熱運動量を
減少させ、コールドトラップの内壁に反応ガスを付着さ
せて真空度を良くするとともに、真空ポンプに反応ガス
が流入するのを防いでいる。
と真空ポンプの間にコールドトラップを設け、ここを、
通過する反応ガスの温度を下げてガス分子の熱運動量を
減少させ、コールドトラップの内壁に反応ガスを付着さ
せて真空度を良くするとともに、真空ポンプに反応ガス
が流入するのを防いでいる。
従来この目的のために使用されているコールドトラップ
は例えば第１図のように反応ガスの導入口２１および排
出口２２を設けた外部容器２３の中に冷却媒体を入れる
内部タンク２４を設けたものか、もしくはこの内部のガ
ス通路に簡単な障壁を設けて冷却効率を増してガスの付
着率を増した程度のものが使用されていた。なお、第１
図において、２５は冷却体供給部、２６は冷却体センサ
、２７はバッフルである。
は例えば第１図のように反応ガスの導入口２１および排
出口２２を設けた外部容器２３の中に冷却媒体を入れる
内部タンク２４を設けたものか、もしくはこの内部のガ
ス通路に簡単な障壁を設けて冷却効率を増してガスの付
着率を増した程度のものが使用されていた。なお、第１
図において、２５は冷却体供給部、２６は冷却体センサ
、２７はバッフルである。
しかしこの程度のものでは未だガスの付着率が高くなく
、シかも定期的な内部清掃が困難である上に、最近のよ
うに使用する反応ガスの量が多くなって来ると従来のコ
ールドトラップでは処理しきれない問題が生じて来た０ 本発明はこのような問題を解決するためになされたもの
で、付着率を向上させるとともに、定期的な内部清掃も
簡単な気体清掃と分解して水洗し易い構造としたコール
ドトラップを提供するものである。
、シかも定期的な内部清掃が困難である上に、最近のよ
うに使用する反応ガスの量が多くなって来ると従来のコ
ールドトラップでは処理しきれない問題が生じて来た０ 本発明はこのような問題を解決するためになされたもの
で、付着率を向上させるとともに、定期的な内部清掃も
簡単な気体清掃と分解して水洗し易い構造としたコール
ドトラップを提供するものである。
以下図面により詳細に説明する０第２図は本発明の一実
施例の横断面円形のコールドトラップで、２枚の隔壁を
設けたものの縦断面図、第３図はこのコールドトラップ
のＡ−Ａ面の横断面図である。
施例の横断面円形のコールドトラップで、２枚の隔壁を
設けたものの縦断面図、第３図はこのコールドトラップ
のＡ−Ａ面の横断面図である。
図において１は外部容器で上端開口で、その周囲には蓋
２を取付けるフランジ１０があり、側面下方にガス導入
口１１が、反対側の側面上方にガス排出口ｌ２が設けち
れている。２は蓋で、この蓋に固定された冷却媒体供給
管６、冷却媒体センサ７の挿入管８および３本のヒータ
挿入管９により、蓋の下面よ一！ｌｌ一定距離をおいて
固定された環状の内部タンク３と、この内部タンクに固
定されて上下方向に設けられ、かつ１枚は下端がほぼ外
部容器の底面に接し、上端は内部タンクの上端とほぼ一
致し、別の１枚は下端がほぼ内部タンクの下端と一致し
、上端は蓋に接するようにした２枚のほぼ平行な隔壁４
および５を有し、この隔壁の固定される水平方向の位置
は上下方向のガス通路の断面積がほぼ等しくなるよう゛
に設けである。
２を取付けるフランジ１０があり、側面下方にガス導入
口１１が、反対側の側面上方にガス排出口ｌ２が設けち
れている。２は蓋で、この蓋に固定された冷却媒体供給
管６、冷却媒体センサ７の挿入管８および３本のヒータ
挿入管９により、蓋の下面よ一！ｌｌ一定距離をおいて
固定された環状の内部タンク３と、この内部タンクに固
定されて上下方向に設けられ、かつ１枚は下端がほぼ外
部容器の底面に接し、上端は内部タンクの上端とほぼ一
致し、別の１枚は下端がほぼ内部タンクの下端と一致し
、上端は蓋に接するようにした２枚のほぼ平行な隔壁４
および５を有し、この隔壁の固定される水平方向の位置
は上下方向のガス通路の断面積がほぼ等しくなるよう゛
に設けである。
このような構造のコールドトラップのガス導入口を減圧
する容器に接続し、ガス排出口を真空ポンプに接続する
。冷却媒体供給管から冷却媒体として例えば液化窒素を
注入する。冷却媒体の内部タンク内の液面は挿入管８よ
シ所定液面の位置に挿入された冷却媒体センサにより知
ることができる０ この状態にしてから真空ポンプを運転すると、反応ガス
はガス導入口より流入し隔壁間をジグザグ状に流れてガ
ス排出口よシ真空ポンプに吸引されて行くが、この途中
に冷却されている内部タンりおよび隔壁などに接触して
冷却され、有害成分はこれらの冷却部分に付着して真空
度を増すと共に、有害成分が極端に少くなった反応ガス
は真空ポンプに吸引されて行く。
する容器に接続し、ガス排出口を真空ポンプに接続する
。冷却媒体供給管から冷却媒体として例えば液化窒素を
注入する。冷却媒体の内部タンク内の液面は挿入管８よ
シ所定液面の位置に挿入された冷却媒体センサにより知
ることができる０ この状態にしてから真空ポンプを運転すると、反応ガス
はガス導入口より流入し隔壁間をジグザグ状に流れてガ
ス排出口よシ真空ポンプに吸引されて行くが、この途中
に冷却されている内部タンりおよび隔壁などに接触して
冷却され、有害成分はこれらの冷却部分に付着して真空
度を増すと共に、有害成分が極端に少くなった反応ガス
は真空ポンプに吸引されて行く。
次に付着した有害成分の除去、清掃方法について説明す
る。第４図は清掃用配管を含めた接続例である。図にお
いて１３は清掃用気体（例えば窒素）導入管の弁、１４
は被減圧容器（例えば反応性スパッタエツチング装置の
反応炉）からの反応ガス導入管の弁、１５は冷却媒体導
入管の弁、１６は清掃時の排気管の弁、１７は真空ポン
プ１８により排気する排気管の弁である。
る。第４図は清掃用配管を含めた接続例である。図にお
いて１３は清掃用気体（例えば窒素）導入管の弁、１４
は被減圧容器（例えば反応性スパッタエツチング装置の
反応炉）からの反応ガス導入管の弁、１５は冷却媒体導
入管の弁、１６は清掃時の排気管の弁、１７は真空ポン
プ１８により排気する排気管の弁である。
反応炉を動作させる場合は弁１５を開いて冷却媒体を所
定量注入し、以後は蒸発減量を補充して行く。弁１３．
１６は閉塞し、弁１４．１７を開放ｔ〜で真空ポンプを
運転する。
定量注入し、以後は蒸発減量を補充して行く。弁１３．
１６は閉塞し、弁１４．１７を開放ｔ〜で真空ポンプを
運転する。
清掃する方法は気体による簡易清掃と、分解して水洗す
る方法とがあるが、簡易清掃は例えば毎日終了後に１回
程度で良く、水洗は例えば１月に１回位で充分である。
る方法とがあるが、簡易清掃は例えば毎日終了後に１回
程度で良く、水洗は例えば１月に１回位で充分である。
簡易清掃の場合は先ず弁１４および１７を閉塞し、弁１
６を開放する。次に弁１５を通して図示してない吸引ポ
ンプにより冷却媒体を吸取るか、もしくは弁１５を閉塞
し、ヒータ挿入管９に挿入したヒータに通電して内部タ
ンクを加熱して冷却媒体を蒸発させる。何れの場合でも
内部タンクが空になった後もヒータにより加熱を続行す
ると内部タンクの外面や隔壁などに付着した有害な反応
ガスは気化する。この時に弁１３を開放して窒素などの
清掃用ガスを導入して、気化した反応ガスと共に弁１３
を通して排出する。
６を開放する。次に弁１５を通して図示してない吸引ポ
ンプにより冷却媒体を吸取るか、もしくは弁１５を閉塞
し、ヒータ挿入管９に挿入したヒータに通電して内部タ
ンクを加熱して冷却媒体を蒸発させる。何れの場合でも
内部タンクが空になった後もヒータにより加熱を続行す
ると内部タンクの外面や隔壁などに付着した有害な反応
ガスは気化する。この時に弁１３を開放して窒素などの
清掃用ガスを導入して、気化した反応ガスと共に弁１３
を通して排出する。
水洗の場合はすべての弁は閉塞したままで蓋２とこれに
固定された内部タンクや隔壁などを外部容器１から抜取
り水洗すれば良い。この場合も第２図のような構造であ
るので、水洗は極めて容易である。
固定された内部タンクや隔壁などを外部容器１から抜取
り水洗すれば良い。この場合も第２図のような構造であ
るので、水洗は極めて容易である。
以上の説明の実施例では外部容器は円筒形であるが、角
筒形でも良いことは勿論である。また隔壁の数も１枚も
しくは３枚以上でも良く、この隔壁の枚数および上下方
向の取付位置に応じてガス導入口およびガス排出口の取
付位置が外部容器の側面の上側または下側に決るもので
ある。これらの関係を第５図に示す。
筒形でも良いことは勿論である。また隔壁の数も１枚も
しくは３枚以上でも良く、この隔壁の枚数および上下方
向の取付位置に応じてガス導入口およびガス排出口の取
付位置が外部容器の側面の上側または下側に決るもので
ある。これらの関係を第５図に示す。
冷却媒体供給は手動での供給でも良く、また図示してな
いが冷却媒体センサにより動作する自動冷却媒体供給装
置により自動供給でも良いことは勿論である。
いが冷却媒体センサにより動作する自動冷却媒体供給装
置により自動供給でも良いことは勿論である。
以上のように本発明によるコールドトラップを使用すれ
ば反応ガスの付着効率が向上すると共に、付着した反応
ガスの除去清掃が容易であるので、作業効率が向上し、
かつ反応ガスによる真空ポンプの劣化を防ぐことが出来
るなど、実用上極めて有効である。
ば反応ガスの付着効率が向上すると共に、付着した反応
ガスの除去清掃が容易であるので、作業効率が向上し、
かつ反応ガスによる真空ポンプの劣化を防ぐことが出来
るなど、実用上極めて有効である。
第１図は従来のコールドトラップの一例の縦断面図であ
る。第２図は本発明のコールドトラップの一実施例の縦
断面図、第３図は第２図のＡ−Ａ’面の横断面図、第４
図は本発明のコールドトラップの外部接続の配管図、第
５図は隔壁が１枚および３枚の場合の隔壁およびガス導
入口、ガス排出口の配置図である。 １は外部容器、２は蓋、３は内部タンク、４゜５は隔壁
、６は冷却媒体供給管、１２はガス導入口、１３はガス
排出口である。 特許出願人 国際電気株式会社 代理人 弁理士 山 元 俊 仁
る。第２図は本発明のコールドトラップの一実施例の縦
断面図、第３図は第２図のＡ−Ａ’面の横断面図、第４
図は本発明のコールドトラップの外部接続の配管図、第
５図は隔壁が１枚および３枚の場合の隔壁およびガス導
入口、ガス排出口の配置図である。 １は外部容器、２は蓋、３は内部タンク、４゜５は隔壁
、６は冷却媒体供給管、１２はガス導入口、１３はガス
排出口である。 特許出願人 国際電気株式会社 代理人 弁理士 山 元 俊 仁
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、上面開口の筒形の外部容器の側面にガス導入口を設
け、これと反対側の側面にガス排出口を設け、上面の蓋
にはこれより垂下し、かつ蓋および外部容器の底面から
一定の距離をへだてて設けられた筒形環状の内部タンク
を設け、この内部タンクには前記外部容器の側面内壁に
ほぼ接する大きさの１枚もしくは複数枚の隔壁と、蓋を
貫通して冷却媒体供給管、冷却媒体センサの挿入管およ
びヒータ挿入管を設けたことを特徴とするコールドトラ
ップ。 ２、特許請求の範囲第１項記載の隔壁として１枚のみと
して外部容器の中央部に設け、かっこの隔壁の上端は蓋
に接し、下端は内部タンクの下端とほぼ一致させ、ガス
導入口およびガス排出口は外部容器の側面上方に設けた
ことを特徴とする前記コールドトラップ。 ３、特許請求の範囲第１項記載の隔壁として１枚のみと
して外部容器の中央部に設け、かつこの隔壁の上端は内
部タンクの上端とほぼ一致させ、下端は外部容器の底面
にほぼ接する位置とし、ガス導入口およびガス排出口は
外部容器の側面下方に設けたことを特徴とする前記コー
ルドトラップ。 ４、特許請求の範囲第１項記載の隔壁を２枚とし１枚は
上端が蓋に接し、下端が内部タンクの下端とほぼ一致さ
せ、他の１枚は上端が内部タンクの上端とほぼ一致させ
、下端は外部容器の底面にほぼ接する位置とし、上側閉
塞の隔壁側のガス導入口（またはガス排出口）は外部容
器側面の上側に設け、下側閉塞の隔壁側のガス排出口（
またはガス導入口）は外部容器側面の下側に設けたこと
を特徴とする前記コールドトラップ。 ６６ 特許請求の範囲第１項記載の隔壁を３枚とし、
中央の１枚は上端が蓋に接し、下端が内部タンクの下端
とほぼ一致させ、かつ外部容器の中ノロ？ＩＩＪを含む
面にほぼ一致させ、他の２枚は上端が内部タンクの上端
とほぼ一致させ、下端は外部容器の底面にほぼ接するよ
うに中央の１枚の隔壁の両側に設け、ガス導入口および
ガス排出口はそれぞれ外部容器の側面の下側に設けたこ
とを特徴とする前記コールドトラップ。 ６、特許請求の範囲第１項記載の隔壁を３枚とし、中央
の１枚は上端が内部タンクの上端とほぼ一致させ、下端
が外部容器の底面にほぼ接して外部容器の中心線を含む
面にほぼ一致させ、他の２枚は上端が蓋に接し、下端が
内部タンクの下端とほぼ一致させて、かつ中央の隔壁の
両側に設け、ガス導入口およびガス排出口はそれぞれ外
部容器の側面の上側に設けたことを特徴とする前記コー
ルドトラップ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19792081A JPS58101705A (ja) | 1981-12-09 | 1981-12-09 | コ−ルドトラツプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19792081A JPS58101705A (ja) | 1981-12-09 | 1981-12-09 | コ−ルドトラツプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58101705A true JPS58101705A (ja) | 1983-06-17 |
| JPS6220841B2 JPS6220841B2 (ja) | 1987-05-09 |
Family
ID=16382468
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19792081A Granted JPS58101705A (ja) | 1981-12-09 | 1981-12-09 | コ−ルドトラツプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58101705A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60115501U (ja) * | 1984-01-13 | 1985-08-05 | 日立工機株式会社 | 油回転真空ポンプの吸入ガス冷却清浄化装置 |
-
1981
- 1981-12-09 JP JP19792081A patent/JPS58101705A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60115501U (ja) * | 1984-01-13 | 1985-08-05 | 日立工機株式会社 | 油回転真空ポンプの吸入ガス冷却清浄化装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6220841B2 (ja) | 1987-05-09 |
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