JPH1191118A - Ink-jet recording head and its manufacture - Google Patents

Ink-jet recording head and its manufacture

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Publication number
JPH1191118A
JPH1191118A JP25529297A JP25529297A JPH1191118A JP H1191118 A JPH1191118 A JP H1191118A JP 25529297 A JP25529297 A JP 25529297A JP 25529297 A JP25529297 A JP 25529297A JP H1191118 A JPH1191118 A JP H1191118A
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JP
Japan
Prior art keywords
ink
cavity
recording head
jet recording
supply chamber
Prior art date
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Pending
Application number
JP25529297A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hideo Yasutomi
英雄 保富
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Minolta Co Ltd
Original Assignee
Minolta Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Minolta Co Ltd filed Critical Minolta Co Ltd
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Publication of JPH1191118A publication Critical patent/JPH1191118A/en
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  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent generation of air bubbles in a cavity, by carrying out a hydrophilic treatment to inner faces of an ink inlet for supplying ink to the cavity to be formed laminating a plurality of members and an ink feed chamber. SOLUTION: A hydrophilic film is formed at inner faces of a cavity 40 and an ink feed chamber 42 to prevent generation of air bubbles at the cavity 40 and ink feed chamber 42. While the cavity 40, etc., is wet with a coat liquid, an ink-jet recording head is subjected to a heat treatment in an electric furnace. Because of this application of thermal energy, a hydrophilic film 55 is formed to the inner faces of cavity 40, ink feed chamber 42, an ink inlet 44 and a nozzle 46, and an adhesive facing the cavity 40, ink feed chamber 42, ink inlet 44 and nozzle 46.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、画像信号に応じて
複数のノズルからインク滴を吐出させ、用紙等の記録媒
体に上記インク滴を付着させて画像を記録するインクジ
ェット記録ヘッド、及びその製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ink jet recording head for recording an image by ejecting ink droplets from a plurality of nozzles in accordance with an image signal and attaching the ink droplets to a recording medium such as paper. About the method.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来より、圧電素子からなる加圧手段を
駆動することによりキャビティに収容されたインクを加
圧し、ノズルから吐出させて記録媒体に画像を形成する
インクジェット記録ヘッドが使用されている。上記イン
クジェット記録ヘッドは、インクを吐出するノズル等が
形成された天板と、該天板と貼り合わされることで該貼
り合わされた面に上記ノズルに連通するキャビティ、及
び該キャビティに連通するインクインレットと該インク
インレットにインクを供給するインク供給室を形成する
隔壁と、加圧手段である振動板を接着剤により貼り合わ
せて構成されている。また、上記接着剤はインクに侵さ
れることがない撥水性を有するものが使用されている。
これにより、天板と隔壁を貼り合わせた際にキャビティ
やインク供給室に面する上記接着剤(キャビティの内面
やインク供給室の内面にはみ出た接着剤)がインクによ
って侵されることが無く、したがって、天板と隔壁との
接着強度の低下が防止される。
2. Description of the Related Art Conventionally, an ink jet recording head has been used in which an ink contained in a cavity is pressurized by driving a pressurizing means composed of a piezoelectric element and ejected from a nozzle to form an image on a recording medium. . The inkjet recording head includes a top plate on which a nozzle or the like for discharging ink is formed, a cavity connected to the top plate by being bonded to the top plate, and a cavity communicating with the nozzle, and an ink inlet communicating with the cavity. And a partition wall forming an ink supply chamber for supplying ink to the ink inlet, and a diaphragm serving as a pressurizing unit are bonded together with an adhesive. Further, the adhesive used is one having water repellency that is not affected by ink.
Accordingly, when the top plate and the partition wall are bonded to each other, the adhesive facing the cavity and the ink supply chamber (the adhesive that has protruded to the inner surface of the cavity and the inner surface of the ink supply chamber) is not affected by the ink. In addition, a decrease in the adhesive strength between the top plate and the partition is prevented.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】ところが、撥水性を有
する接着剤にインクが接触すると、インクは空気を抱き
込んで気泡を発生させる場合がある。具体的に、上記イ
ンクジェット記録ヘッドでは、キャビティやインク供給
室に面する接着剤にインクが接触すると、インクはキャ
ビティやインク供給室において気泡を発生させる。一
方、上記インクジェット記録ヘッドでは、加圧手段であ
る振動板の振幅を調整することによりインクに対する加
圧力を調節し、吐出するインク滴の量を変更して形成さ
れる画像の色調を所望のものにしているが、上述のよう
にしてキャビティの内部で発生した気泡は、キャビティ
の内部においてインクに伝達される加圧力を減少させる
ダンパー(緩衝材)として機能してしまう。そして、イ
ンクジェット記録ヘッドにおいてキャビティの内部に気
泡が発生した場合、振動板の振幅とインク滴の吐出量の
相関関係が崩れてしまうので、所望の大きさのインク滴
を吐出することができず、また、気泡はノズルを塞いで
インク滴の吐出不良を発生させる場合があるので良好な
画像を形成できないという問題点があった。
However, when the ink comes into contact with the adhesive having water repellency, the ink may embrace air and generate bubbles. Specifically, in the ink jet recording head, when the ink comes into contact with the adhesive facing the cavity or the ink supply chamber, the ink generates bubbles in the cavity or the ink supply chamber. On the other hand, in the above-described ink jet recording head, the color tone of an image formed by adjusting the pressure of the ink by adjusting the amplitude of the vibrating plate, which is a pressing means, and changing the amount of ink droplets to be ejected is adjusted. However, the air bubbles generated inside the cavity as described above function as a damper (buffer) that reduces the pressure applied to the ink inside the cavity. Then, when bubbles are generated inside the cavity in the ink jet recording head, the correlation between the amplitude of the vibration plate and the ejection amount of the ink droplets is broken, so that an ink droplet of a desired size cannot be ejected, In addition, there is a problem that a good image cannot be formed because the bubble may block the nozzle and cause ejection failure of the ink droplet.

【0004】また、気泡は撥水性を有する接着剤に対し
て強固に付着する性質があるため、吸引手段によりノズ
ルからキャビティ内の気泡を吸引して排除する方法では
効率よく気泡を排除することができない。
Further, since air bubbles have a property of firmly adhering to a water-repellent adhesive, a method of sucking air bubbles in a cavity from a nozzle by a suction means to eliminate the air bubbles can eliminate the air bubbles efficiently. Can not.

【0005】さらに、天板、隔壁等を親水処理すること
によりキャビティの内面やインク供給室の内面に親水膜
を形成し、インクが空気を抱き込むことを防止して気泡
の発生を抑制する方法が考えられるが、天板等を親水処
理した後、これらを接着剤で貼り合わせて形成されるイ
ンクジェット記録ヘッドでは、インク供給室やキャビテ
ィに面する接着剤は親水処理が施されることがないの
で、気泡の発生を防止できないという問題点がある。
Furthermore, a hydrophilic film is formed on the inner surface of the cavity and the inner surface of the ink supply chamber by subjecting the top plate, partition walls, and the like to hydrophilic treatment, thereby preventing the ink from engulfing air and suppressing the generation of bubbles. However, in the ink jet recording head formed by bonding the top plate and the like with an adhesive after the top plate and the like are hydrophilically treated, the adhesive facing the ink supply chamber and the cavity is not subjected to the hydrophilic treatment. Therefore, there is a problem that generation of bubbles cannot be prevented.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】そこで本発明は、キャビ
ティ内における気泡の発生を防止することを目的として
なされたもので、請求項1に記載のインクジェット記録
ヘッドの製造方法では、複数の部材を接着剤で貼り合わ
せて一体的に組み立てるインクジェット記録ヘッドの製
造方法において、上記複数の部材を貼り合わせた後に、
上記複数の部材を貼り合わせたて形成されるキャビテ
ィ、及び該キャビティにインクを供給するインクインレ
ットとインク供給室のそれぞれの内面に親水処理を施し
て親水膜を形成することを特徴としている。
SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, the present invention has been made to prevent the generation of air bubbles in a cavity, and in the method of manufacturing an ink jet recording head according to claim 1, a plurality of members are formed. In a method of manufacturing an ink jet recording head that is integrally assembled by bonding with an adhesive, after bonding the plurality of members,
A hydrophilic film is formed by performing hydrophilic treatment on a cavity formed by laminating the plurality of members and an inner surface of each of an ink inlet for supplying ink to the cavity and an ink supply chamber.

【0007】請求項2に記載のインクジェット記録ヘッ
ドでは、複数の部材からなるインクジェット記録ヘッド
であって、接着剤により貼り合わされた一組の部材の該
貼り合わせた面に、キャビティ、及び該キャビティにイ
ンクを供給するインク供給室が形成され、上記キャビテ
ィの内面、上記インク供給室の内面、上記キャビティに
面する上記接着剤、及び上記インク供給室に面する上記
接着剤に親水膜が形成されていることを特徴としてい
る。
The ink jet recording head according to the present invention is an ink jet recording head comprising a plurality of members, wherein a cavity is formed on a surface of the pair of members bonded by an adhesive, and a cavity is formed on the cavity. An ink supply chamber for supplying ink is formed, and an inner surface of the cavity, an inner surface of the ink supply chamber, the adhesive facing the cavity, and a hydrophilic film formed on the adhesive facing the ink supply chamber. It is characterized by having.

【0008】請求項3に記載のインクジェット記録ヘッ
ドでは、上記一組の部材が多孔質セラミックス材料であ
ることを特徴としている。
According to a third aspect of the present invention, the set of members is made of a porous ceramic material.

【0009】請求項4に記載のインクジェット記録ヘッ
ドでは、複数の部材からなるインクジェット記録ヘッド
であって、上記複数の部材の中で、圧電セラミックス材
料からなる一組の部材の当接する面にキャビティ、及び
該キャビティにインクを供給するインク供給室が形成さ
れ、上記一組の部材は焼結により一体化され、かつ、上
記キャビティの内面、及び上記インク供給室の内面に親
水膜が形成してあることを特徴としている。
According to a fourth aspect of the present invention, there is provided an ink jet recording head comprising a plurality of members, wherein a cavity is formed on a surface of the plurality of members which is in contact with a pair of members made of a piezoelectric ceramic material. And an ink supply chamber for supplying ink to the cavity is formed, the set of members is integrated by sintering, and a hydrophilic film is formed on the inner surface of the cavity and the inner surface of the ink supply chamber. It is characterized by:

【0010】[0010]

【発明の効果】請求項1に記載のインクジェット記録ヘ
ッドの製造方法では、複数の部材を接着剤で貼り合わせ
た後、キャビティの内面、インクインレットの内面及び
インク供給室の内面に親水処理を施して親水膜を形成し
ているので、キャビティの内面、インクインレットの内
面、及びインク供給室の内面のみならず、キャビティの
内面にはみ出る等によってキャビティに面する接着剤、
インクインレットの内面にはみ出る等によってインクイ
ンレットに面する接着剤及びインク供給室の内面にはみ
出る等によってインク供給室に面する接着剤の表面にも
親水膜が形成される。このように、当該製造方法で製造
されたインクジェット記録ヘッドでは、キャビティの内
面、インクインレットの内面及びインク供給室の内面は
全て親水膜が形成されているので、キャビティの内面、
インクインレットの内面及びインク供給室の内面におい
て、インクが空気を抱き込んで気泡を発生させることが
ない。したがって、上記インクジェット記録ヘッドで
は、キャビティ内のインクを加圧してインクを吐出する
場合、上記加圧力とインク滴の吐出量の相関関係が保た
れるので所望のインク滴を吐出することができ、また、
ノズルが気泡によって塞がれることがないので良好な画
像を形成することができる。また、インク供給室に混入
した気泡がキャビティに侵入した場合、気泡はインク供
給室、インクインレット及びキャビティに強固に付着す
ることが無いので吸引手段によりノズルから吸引するこ
とができる。
According to the method of manufacturing an ink jet recording head according to the first aspect, after a plurality of members are bonded with an adhesive, the inner surface of the cavity, the inner surface of the ink inlet, and the inner surface of the ink supply chamber are subjected to a hydrophilic treatment. Since the hydrophilic film is formed, not only the inner surface of the cavity, the inner surface of the ink inlet, and the inner surface of the ink supply chamber, but also the adhesive facing the cavity by protruding into the inner surface of the cavity,
A hydrophilic film is also formed on the surface of the adhesive facing the ink inlet by protruding into the inner surface of the ink inlet and the surface of the adhesive facing the ink supply chamber by protruding from the inner surface of the ink supply chamber. Thus, in the inkjet recording head manufactured by the manufacturing method, since the inner surface of the cavity, the inner surface of the ink inlet and the inner surface of the ink supply chamber are all formed with the hydrophilic film, the inner surface of the cavity,
On the inner surface of the ink inlet and the inner surface of the ink supply chamber, the ink does not trap air and generate bubbles. Therefore, in the ink jet recording head, when the ink in the cavity is ejected by pressurizing the ink, the correlation between the pressing force and the ejection amount of the ink droplet is maintained, so that the desired ink droplet can be ejected, Also,
A good image can be formed because the nozzles are not blocked by bubbles. Further, when air bubbles mixed into the ink supply chamber enter the cavity, the air bubbles do not firmly adhere to the ink supply chamber, the ink inlet and the cavity, and can be sucked from the nozzle by the suction means.

【0011】請求項2に記載のインクジェット記録ヘッ
ドでは、キャビティの内面、インク供給室の内面、キャ
ビティの内面にはみ出る等によってキャビティに面する
接着剤、及びインク供給室の内面にはみ出る等によって
インク供給室に面する上記接着剤の表面に親水膜が形成
されているのでキャビティの内面及びインク供給室の内
面において、インクが空気を抱き込んで気泡を発生させ
ることがない。したがって、上記インクジェット記録ヘ
ッドでは、キャビティ内のインクを加圧してインクを吐
出する場合、上記加圧力とインク滴の吐出量の相関関係
が保たれるので所望のインク滴を吐出することができ、
また、ノズルが気泡によって塞がれることがないので良
好な画像を形成することができる。また、インク供給室
に混入した気泡がキャビティに侵入した場合、気泡はイ
ンク供給室、上記キャビティに強固に付着することが無
いので吸引手段によりノズルから吸引することができ
る。
In the ink jet recording head according to the present invention, the adhesive which faces the cavity by protruding into the inner surface of the cavity, the inner surface of the ink supply chamber, the inner surface of the cavity, and the like, and the ink is supplied by protruding into the inner surface of the ink supply chamber. Since the hydrophilic film is formed on the surface of the adhesive facing the chamber, the ink does not trap air and generate bubbles on the inner surface of the cavity and the inner surface of the ink supply chamber. Therefore, in the ink jet recording head, when the ink in the cavity is ejected by pressurizing the ink, the correlation between the pressing force and the ejection amount of the ink droplet is maintained, so that the desired ink droplet can be ejected,
Further, a good image can be formed since the nozzle is not blocked by the bubble. Further, when air bubbles mixed into the ink supply chamber enter the cavity, the air bubbles do not firmly adhere to the ink supply chamber and the cavity, and can be sucked from the nozzle by the suction means.

【0012】請求項3に記載のインクジェット記録ヘッ
ドでは、上記インク供給室と上記キャビティとを構成す
る一組の部材が多孔質セラミックス材料で形成されてい
るため、キャビティの内面、インク供給室の内面、キャ
ビティに面する上記接着剤、及びインク供給室に面する
上記接着剤の表面に形成されている親水膜の親水性が良
好なものとなる。
In the ink jet recording head according to a third aspect of the present invention, since a pair of members constituting the ink supply chamber and the cavity are formed of a porous ceramic material, the inner surface of the cavity and the inner surface of the ink supply chamber are formed. The hydrophilicity of the hydrophilic film formed on the surface of the adhesive facing the cavity and the surface of the adhesive facing the ink supply chamber is improved.

【0013】請求項4に記載のインクジェット記録ヘッ
ドでは、キャビティとインク供給室を構成する一組の部
材が圧電セラミクッス材料からなり、これらは焼結によ
り一体的に組み立てられている。このように、撥水性を
有する接着剤を使用していないので、キャビティの内
面、インク供給室の内面に形成されている親水膜の親水
性が良好なものとなる。
In the ink jet recording head according to the fourth aspect, a set of members constituting the cavity and the ink supply chamber is made of a piezoelectric ceramic material, and these are integrally assembled by sintering. Since the adhesive having water repellency is not used, the hydrophilicity of the hydrophilic film formed on the inner surface of the cavity and the inner surface of the ink supply chamber is improved.

【0014】[0014]

【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照して本発明
の実施の形態を説明する。図1は、本発明に係るインク
ジェット記録ヘッド10を備えた装置の一態様であるイ
ンクジェットプリンタ1の一部分を示している。上記イ
ンクジェットプリンタ1は、記録媒体である用紙5をy
方向に送り出すための送り出し機構7と、インクジェッ
ト記録ヘッド10が取り付けられたキャリッジ11をx
方向に移動させるための移動機構9とを備えている。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 shows a part of an inkjet printer 1 which is an embodiment of an apparatus having an inkjet recording head 10 according to the present invention. The ink jet printer 1 converts the paper 5 as a recording medium into y
And a carriage 11 to which the ink jet recording head 10 is attached.
And a moving mechanism 9 for moving in the direction.

【0015】図2、図3にそれぞれインクジェット記録
ヘッド10の正面、図2のIII−III断面を示す。
これらの図に示すように、インクジェット記録ヘッド1
0は第1ヘッド部26と、第2ヘッド部28からなり、
天板30、隔壁32、振動板34及びベースプレート3
6を一体的に組み合わせて構成されている。本実施の形
態においては、第1ヘッド部26と第2ヘッド部28は
記録ヘッド10の移動方向に並んでおり、中央の一点鎖
線38に関して左右対称な構成をしている。なお、一点
鎖線38に関して第1ヘッド部26と第2ヘッド部28
を千鳥状に配置すればインクジェット記録ヘッド10の
高密度化が図れる。
FIGS. 2 and 3 show a front view of the ink jet recording head 10 and a cross section taken along line III-III of FIG. 2, respectively.
As shown in these figures, the ink jet recording head 1
0 comprises a first head section 26 and a second head section 28,
Top plate 30, partition wall 32, diaphragm 34, and base plate 3
6 are integrally combined. In the present embodiment, the first head section 26 and the second head section 28 are arranged in the direction of movement of the recording head 10 and have a symmetrical configuration with respect to a central one-dot chain line 38. Note that the first head section 26 and the second head section 28
Are arranged in a staggered manner, the density of the ink jet recording head 10 can be increased.

【0016】ニッケル材からなる天板30は、用紙5と
対向する面であるその表面側がフッ素系の撥水剤を塗布
することで撥水処理されており、また、隔壁32との対
向面を電鋳あるいはフォトリソグラフィー等の方法によ
り微細加工して複数の凹部を形成し、第1ヘッド部2
6、第2ヘッド部28のそれぞれに、インクを収容する
複数のキャビティ40と、補給用のインクを収容するイ
ンク供給室42と、各キャビティ40をインク供給室4
2に連結するインクインレット44が形成されている。
第1ヘッド部26と第2ヘッド部28のキャビティ40
は、これらのヘッド部26、28が対向する方向に向か
って伸びる長溝状に且つ平行に形成されている。
The top plate 30 made of a nickel material is water-repellent by applying a fluorine-based water-repellent agent on the surface side, which is the surface facing the paper 5. A plurality of concave portions are formed by fine processing by a method such as electroforming or photolithography, and the first head portion 2 is formed.
6, a plurality of cavities 40 for accommodating ink, an ink supply chamber 42 for accommodating ink for replenishment, and an ink supply chamber 4 for each of the second head portions 28.
2 are formed.
Cavities 40 of first head section 26 and second head section 28
Are formed in a long groove shape extending in the direction in which the head portions 26 and 28 face each other and in parallel.

【0017】また、天板30には、キャビティ40の長
手方向に対して、インクインレット44が形成された位
置と反対側の位置に、キャビティ40に連通するノズル
46がキャビティ40の長手方向に直交する1つの直線
上に所定の間隔を置いて複数形成されている。ノズル4
6は外側に向かって細くなるテーパ状をしており、吐出
側の内径が25μmとしてある。
On the top plate 30, a nozzle 46 communicating with the cavity 40 is orthogonal to the longitudinal direction of the cavity 40 at a position opposite to the position where the ink inlet 44 is formed with respect to the longitudinal direction of the cavity 40. Are formed at predetermined intervals on one straight line. Nozzle 4
Numeral 6 has a tapered shape tapering outward, and has an inner diameter of 25 μm on the ejection side.

【0018】隔壁32はSUS304材を加工した薄肉
フィルムが用いられており、天板30と振動板34との
間に固定されている。この隔壁32は後述する圧電部材
48の変形を阻害するものでなく、圧電部材48の変形
に応じて変形する。
The partition 32 is made of a thin film made of SUS304 material, and is fixed between the top plate 30 and the diaphragm 34. The partition 32 does not hinder the deformation of the piezoelectric member 48 described later, but deforms according to the deformation of the piezoelectric member 48.

【0019】振動板34は、一枚の圧電セラミックス材
料からなる板材の上面及び下面に金属を蒸着して導電層
を形成したもので、ベースプレート36に接着固定した
後、ダイシング加工により縦横に切断して、キャビティ
40に対向する圧電部材48と各圧電部材48を囲む壁
50とに分離し、高温下で各圧電部材48に高圧を印加
して分極処理してある。
The vibration plate 34 is formed by depositing a metal on the upper and lower surfaces of a single plate made of a piezoelectric ceramic material to form a conductive layer. After being adhered and fixed to the base plate 36, it is cut vertically and horizontally by dicing. Then, the piezoelectric member 48 is separated into a piezoelectric member 48 facing the cavity 40 and a wall 50 surrounding each piezoelectric member 48, and a polarization process is performed by applying a high voltage to each piezoelectric member 48 at a high temperature.

【0020】ベースプレート36は振動板34との対向
面に複数の導電リード部(図示せず)を備えており、各
導電リード部は圧電部材48に対向している。
The base plate 36 has a plurality of conductive leads (not shown) on the surface facing the vibration plate 34, and each conductive lead faces the piezoelectric member 48.

【0021】上記構成からなる天板30と隔壁32は撥
水性を有する接着剤、例えば、コニシ(株)製のエポキ
シ接着剤E30Hで接着され、隔壁32と振動板34、
振動板34とベースプレート36はそれぞれが導電線の
接着剤により接着されており、天板30、隔壁32、振
動板34及びベースプレート36は一体化されインクジ
ェット記録ヘッド10を構成している。
The top plate 30 and the partition 32 having the above configuration are adhered with an adhesive having water repellency, for example, an epoxy adhesive E30H manufactured by Konishi Co., Ltd.
The vibration plate 34 and the base plate 36 are bonded to each other with a conductive wire adhesive, and the top plate 30, the partition 32, the vibration plate 34, and the base plate 36 are integrated to constitute the ink jet recording head 10.

【0022】上記構成からなるインクジェット記録ヘッ
ド10では、各ヘッド部26、28のインク供給室42
に対して、図示しないインクタンクからインクが供給さ
れると、インク供給室42のインクは、インクインレッ
ト44を介して各キャビティ40に分配される。また、
図1に示すように、記録ヘッド10はモータ20の駆動
に基づいて矢印x方向に往復移動する。そして、圧電部
材48に所定の電圧(印字信号)が印加されると該圧電
部材48はキャビティ40に向かって変形し、その変形
が隔壁32に伝えられる。その結果、キャビティ40内
のインクが加圧されてノズル46よりインク滴が飛翔
し、記録ヘッド10の対向部を矢印y方向に送られる用
紙5に付着して画像が記録される。
In the ink jet recording head 10 having the above configuration, the ink supply chambers 42 of the respective head portions 26 and 28 are provided.
In contrast, when ink is supplied from an ink tank (not shown), the ink in the ink supply chamber 42 is distributed to each cavity 40 via the ink inlet 44. Also,
As shown in FIG. 1, the recording head 10 reciprocates in the direction of the arrow x based on the driving of the motor 20. When a predetermined voltage (print signal) is applied to the piezoelectric member 48, the piezoelectric member 48 is deformed toward the cavity 40, and the deformation is transmitted to the partition 32. As a result, the ink in the cavity 40 is pressurized, the ink droplets fly from the nozzles 46, and adhere to the sheet 5 fed in the direction of the arrow y in the opposite portion of the recording head 10 to record an image.

【0023】次に、キャビティ40及びインク供給室4
2において、気泡の発生を防止するためにキャビティ4
0の内面及びインク供給室42の内面に親水膜を形成す
る工程について説明する。上記工程は、図4に示す工程
(i〜v)に基づいて行われる。以下、工程順序に従って
説明する。
Next, the cavity 40 and the ink supply chamber 4
In FIG. 2, the cavity 4 is used to prevent the generation of air bubbles.
The step of forming a hydrophilic film on the inner surface of the ink supply chamber 42 and the inner surface of the ink supply chamber 42 will be described. The above steps are performed based on the steps (i to v) shown in FIG. Hereinafter, description will be made in accordance with the process order.

【0024】(i)親水処理剤注入:図5に示す真空置
換装置60は、真空ベルジャー62の内部に装入された
被処理部材の表面に所望の材質からなる膜を形成する装
置で、本工程では、インクジェット記録ヘッド10のキ
ャビティ40、インク供給室42及びインクインレット
44に親水処理材を注入するために使用される。真空置
換装置60は、真空ベルジャー62の天井部分に親水処
理材であるコート液64(シランカップリング剤:ビニ
ルトリエトキシシラン)が満たされたタンク66を備え
ている。上記タンク66の底面には、コート液64を真
空ベルジャー62内に導入するための導入管68がコッ
ク70を介して取り付けてある。また、真空ベルジャー
62の天井部分には大気リーク弁72を備えた大気連通
管74が取り付けてあり、真空ベルジャー62内の圧力
を常圧に復帰できるようになっている。
(I) Injection of hydrophilic treatment agent: The vacuum displacement device 60 shown in FIG. 5 is a device for forming a film made of a desired material on the surface of the member to be treated inserted inside the vacuum bell jar 62. In the process, it is used to inject a hydrophilic treatment material into the cavity 40, the ink supply chamber 42, and the ink inlet 44 of the inkjet recording head 10. The vacuum displacement device 60 includes a tank 66 filled with a coating liquid 64 (silane coupling agent: vinyltriethoxysilane), which is a hydrophilic treatment material, on the ceiling of the vacuum bell jar 62. An introduction pipe 68 for introducing the coating liquid 64 into the vacuum bell jar 62 is attached to the bottom surface of the tank 66 via a cock 70. An atmosphere communication pipe 74 having an atmosphere leak valve 72 is attached to the ceiling of the vacuum bell jar 62 so that the pressure inside the vacuum bell jar 62 can be returned to normal pressure.

【0025】また、真空ベルジャー62の側壁には真空
ベルジャー62内を減圧するための真空ポンプ(図示せ
ず。)に接続された排気管76がバルブ78を介して取
り付けてある。上記バルブ78と真空ポンプとの間に
は、上記排気管76と大気とを連通する大気連通管80
がリーク弁82を介して接続されるとともに、モノマー
回収用のコールドトラップが接続されている(図示せ
ず。)。
An exhaust pipe 76 connected to a vacuum pump (not shown) for reducing the pressure inside the vacuum bell jar 62 is attached to a side wall of the vacuum bell jar 62 via a valve 78. Between the valve 78 and the vacuum pump, an atmosphere communication pipe 80 for communicating the exhaust pipe 76 with the atmosphere.
Are connected via a leak valve 82, and a cold trap for monomer recovery is connected (not shown).

【0026】上記構成からなる真空置換装置60では、
インクジェット記録ヘッド10をビーカー84に入れた
状態で真空ベルジャー62の内部に装入し、リーク弁7
2、82を閉じた状態で真空ポンプで真空ベルジャー6
2内を所定の圧力に減圧した後、コート液64をタンク
66からビーカ84に注いでインクジェット記録ヘッド
10をコート液に浸漬する。このように、インクジェッ
ト記録ヘッド10は減圧された雰囲気下でコート液に浸
漬されるため、キャビティ40、インク供給室42及び
インクインレット44にコート液が注入される。なお、
コート液が重合度の高い液体である場合は天板30の撥
水処理が施された表面を粘着テープによりマスキングし
てコート液との接触を防止する。
In the vacuum displacement device 60 having the above configuration,
With the inkjet recording head 10 placed in the beaker 84, the inkjet recording head 10 is inserted into the vacuum bell jar 62,
With the vacuum pump, vacuum bell jar 6 with 2 and 82 closed
After the pressure in the chamber 2 is reduced to a predetermined pressure, the coating liquid 64 is poured into the beaker 84 from the tank 66, and the ink jet recording head 10 is immersed in the coating liquid. As described above, since the inkjet recording head 10 is immersed in the coating liquid under a reduced-pressure atmosphere, the coating liquid is injected into the cavity 40, the ink supply chamber 42, and the ink inlet 44. In addition,
When the coating liquid is a liquid having a high degree of polymerization, the surface of the top plate 30 on which the water repellent treatment has been performed is masked with an adhesive tape to prevent contact with the coating liquid.

【0027】(ii):前処理加熱 コート液が注入されたインクジェット記録ヘッド10
は、真空置換装置60から取り出された後、ビーカー8
4内でコート液に浸漬された状態で、75°C程度に加
熱される。これにより、後の工程で行われる本加熱処理
時においてコート液が良好に親水膜55を形成する(図
6参照)。なお、コート液が重合度の高い液体である場
合は、前処理加熱を省略してもよい。
(Ii): Pretreatment heating ink-jet recording head 10 into which coating liquid has been injected
Is removed from the vacuum displacement device 60, and then
In the state of being immersed in the coating liquid in 4, it is heated to about 75 ° C. Thus, the coating liquid favorably forms the hydrophilic film 55 during the main heat treatment performed in a later step (see FIG. 6). When the coating liquid is a liquid having a high degree of polymerization, the pretreatment heating may be omitted.

【0028】(iii):親水処理剤排出 前処理加熱が終了したところで、ビーカ84からインク
ジェット記録ヘッド10を取り出し、キャビティ40等
に注入されたコート液をインクジェット記録ヘッド10
から排出する。
(Iii) Discharging of the hydrophilic treatment agent When the pretreatment heating is completed, the ink jet recording head 10 is taken out from the beaker 84 and the coating liquid injected into the cavity 40 and the like is discharged.
Discharged from

【0029】(iv):本加熱処理 コート液を排出し、キャビティ40等がコート液で濡れ
ている状態で、インクジェット記録ヘッド10を電気炉
で加熱処理する(150°C、30分)。このようにし
て、熱エネルギを付与することによりキャビティ40の
内面、インク供給室42の内面、インクインレット44
の内面、ノズル46の内面、及びこれらキャビティ4
0、インク供給室42、インクインレット44、ノズル
46に面する接着剤56に親水膜55が形成される(図
6参照)。
(Iv): Main heat treatment The ink jet recording head 10 is heat-treated in an electric furnace (150 ° C., 30 minutes) while the coating liquid is discharged and the cavity 40 and the like are wet with the coating liquid. In this manner, by applying heat energy, the inner surface of the cavity 40, the inner surface of the ink supply chamber 42, and the ink inlet 44
Inner surface of the nozzle, the inner surface of the nozzle 46, and these cavities 4
A hydrophilic film 55 is formed on the adhesive 56 facing the ink supply chamber 42, the ink inlet 44, and the nozzle 46 (see FIG. 6).

【0030】(v):洗浄処理 インクジェット記録ヘッド10を水洗することで、親水
膜55として成膜されなかったコート液を取り除く。な
お、コート液の種類に応じてアルコール洗浄を行うよう
にしてもよい。
(V): Cleaning treatment The coating liquid not formed as the hydrophilic film 55 is removed by washing the ink jet recording head 10 with water. Note that alcohol cleaning may be performed according to the type of the coating liquid.

【0031】以上のようにして親水処理が施されたイン
クジェット記録ヘッド10では、インク供給室42の内
面、キャビティ40の内面、インクインレット44の内
面、ノズル46の内面、及びインク供給室42、キャビ
ティ40、インクインレット44、ノズル46にはみ出
る等によって面している接着剤56に親水膜55が形成
されているため、インク供給室42、キャビティ40、
インクインレット44において、インクが空気を抱き込
んで気泡を発生させることが防止される。これにより、
インクジェット記録ヘッド10では、キャビティ40内
のインクに対して圧電部材48の変形による加圧が直接
的に伝達される。すなわち、上記加圧力とインク滴の吐
出量の相関関係が変化することなく保たれるので所望の
インク滴を吐出することができ、また、ノズル46が気
泡によって塞がれることがないので良好な画像を形成す
ることができる。
In the ink jet recording head 10 subjected to the hydrophilic treatment as described above, the inner surface of the ink supply chamber 42, the inner surface of the cavity 40, the inner surface of the ink inlet 44, the inner surface of the nozzle 46, and the ink supply chamber 42, the cavity Since the hydrophilic film 55 is formed on the adhesive 56 facing the ink inlet 44, the ink inlet 44, and the nozzle 46, the ink supply chamber 42, the cavity 40,
In the ink inlet 44, it is prevented that the ink embraces air and generates bubbles. This allows
In the ink jet recording head 10, pressurization due to deformation of the piezoelectric member 48 is directly transmitted to the ink in the cavity 40. That is, the correlation between the pressure and the ejection amount of the ink droplets is maintained without change, so that a desired ink droplet can be ejected. Further, since the nozzle 46 is not blocked by bubbles, a favorable An image can be formed.

【0032】上記の親水処理によって天板30、隔壁3
2、接着剤56における水に対する接触角度がどのよう
に変化したかを下記の表1に示した。本発明者らは、接
触角度と気泡の発生についての実験から接触角度が60
度以下である場合、気泡の発生が防止され、また気泡が
強固に付着することが無いことを知見している。表1に
示すように、天板30、隔壁32、接着剤の接触角度が
60度以下であることから、これらによって形成される
インク供給室40等においては気泡の発生が防止され、
またインク供給室42等において気泡が強固に付着しな
いことが確認できた。したがって、例えば、インクタン
クから供給されたインクに気泡が混入しており、該気泡
がインク供給室42に移動した場合、気泡は吸引手段に
よりノズル46から容易に吸引することができる。
The top plate 30 and the partition walls 3 are formed by the above hydrophilic treatment.
2. Table 1 below shows how the contact angle of the adhesive 56 with water changed. The present inventors found that the contact angle was 60
It has been found that when the temperature is below the degree, the generation of bubbles is prevented and the bubbles do not adhere firmly. As shown in Table 1, since the contact angle of the top plate 30, the partition wall 32, and the adhesive is 60 degrees or less, generation of bubbles is prevented in the ink supply chamber 40 formed by these components.
It was also confirmed that bubbles did not adhere firmly in the ink supply chamber 42 and the like. Therefore, for example, when bubbles are mixed in the ink supplied from the ink tank and the bubbles move to the ink supply chamber 42, the bubbles can be easily sucked from the nozzle 46 by the suction means.

【0033】[0033]

【表1】 [Table 1]

【0034】また、インクジェット記録ヘッド10の天
板30は、上記ニッケルやSUS304に限るものでは
なく、多孔質セラミックスや酸化物セラミックスまたは
圧電セラミックス等の親水性に優れたセラミックス、も
しくは加工性に優れたシリコン等の半導体材であっても
よい。なお、シリコンは、表面にリンをドープして親水
性を高めた異方性材料として使用してもよい。また、隔
壁は、上記材質に加えて、耐久性に優れたアラミドフィ
ルムであってもよい。
The top plate 30 of the ink jet recording head 10 is not limited to nickel or SUS304, but may be made of porous ceramics, oxide ceramics, piezoelectric ceramics or other highly hydrophilic ceramics, or excellent in workability. A semiconductor material such as silicon may be used. Note that silicon may be used as an anisotropic material whose surface is doped with phosphorus to increase hydrophilicity. Further, the partition wall may be an aramid film having excellent durability in addition to the above materials.

【0035】下記の表2に示すように、ステアタイトセ
ラミックス(ポア率約12%)、及び未分極PZT(圧
電セラミックス:ポア率約3.8%)からなる天板3
0、アラミドフィルムからなる隔壁32は、いずれもが
親水処理によって接触角度の低減を図ることができた。
特にステアタイトセラミックスからなる天板30では、
35度の接触角度が得られた。なお、接触角度は45度
以下の角度であれば完全に気泡の発生を防止することが
できる。また、天板30を構成するセラミックス材料の
ポア率(空孔の体積率)が3%以上であれば接触角度を
60度以下に抑えることができる。なお、上記セラミッ
クス材料が酸化物である場合、接触角度の抑制に寄与す
ることから、セラミックス材料は酸化物であることが好
ましい。また、天板30をセラミックス材料で構成した
場合、エキシマレーザ加工によりノズル46等を形成す
る。
As shown in Table 2 below, a top plate 3 made of steatite ceramics (pore ratio: about 12%) and unpolarized PZT (piezoelectric ceramics: pore ratio: about 3.8%)
0, all of the partition walls 32 made of aramid film were able to reduce the contact angle by the hydrophilic treatment.
Particularly, in the top plate 30 made of steatite ceramics,
A contact angle of 35 degrees was obtained. If the contact angle is 45 degrees or less, generation of bubbles can be completely prevented. If the ceramic material constituting the top plate 30 has a pore ratio (volume ratio of holes) of 3% or more, the contact angle can be suppressed to 60 degrees or less. When the ceramic material is an oxide, the ceramic material is preferably an oxide because it contributes to suppressing the contact angle. When the top plate 30 is made of a ceramic material, the nozzles 46 and the like are formed by excimer laser processing.

【0036】[0036]

【表2】 [Table 2]

【0037】さらに、インクジェット記録ヘッド10
は、天板30、隔壁32、振動板34及びベースプレー
ト36の全てを未分極PZTで構成し、焼結によりこれ
らを一体化したものであってもよい。上記インクジェッ
ト記録ヘッド10では、天板30と隔壁32の一体化に
際して接着剤が使用されていないので、キャビティ42
等が接着剤と面することがない。したがって、親水処理
されたキャビティ42等におけるインクとの接触角度が
上記したように39度となり、気泡の発生が防止される
のでインクジェット記録ヘッド10では良好な画像を形
成することができる。なお、上記の効果はキャビティ4
2等と接着剤が面していなければ得られるので、インク
ジェット記録ヘッド10は、天板30と隔壁32を未分
極PZTで形成し、これらを焼結により一体化した構成
としてもよい。
Further, the ink jet recording head 10
The top plate 30, the partition wall 32, the diaphragm 34, and the base plate 36 may all be made of unpolarized PZT, and may be integrated by sintering. In the ink jet recording head 10, since the adhesive is not used when the top plate 30 and the partition wall 32 are integrated, the cavity 42 is not used.
Etc. do not face the adhesive. Therefore, the contact angle with the ink in the cavity 42 and the like subjected to the hydrophilic treatment becomes 39 degrees as described above, and the generation of bubbles is prevented, so that a good image can be formed with the ink jet recording head 10. In addition, the above effect is obtained by using the cavity 4
Since the ink jet recording head 10 can be obtained if the adhesive does not face 2 etc., the inkjet recording head 10 may have a configuration in which the top plate 30 and the partition 32 are formed of non-polarized PZT, and these are integrated by sintering.

【0038】上記親水処理においては、コート液にビニ
ルトリエトキシシランシランからなるシランカップリン
グ剤を使用したが、シランカップリング剤は、上記ビニ
ルトリエトキシシランシランに限るものではなく、ビニ
ルトリス(2−メトキシエトキン)シラン、3−メタク
リロキシプロピルトリメトキシシラン、3−グリシドキ
シプロピルトリメトキシシラン、2−(3.4−エポキ
シシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、N−2
−(アミノエチル)3−アミノプロピルトリメトキシシ
ラン、N−2−(アミノエチル)3−アミノプロピルメ
チルジメトキシシラン、3−アミノプロピルトリエトキ
シシラン、N−フェニルー3−アミノプロピルトリメト
キシシラン、3−メルカプトプロピルトリメトキシシラ
ン、及び3−クロロプロピルトリメトキシシランであっ
てもよい。
In the above hydrophilic treatment, a silane coupling agent made of vinyltriethoxysilanesilane was used in the coating solution. However, the silane coupling agent is not limited to the above vinyltriethoxysilanesilane, but may be vinyltris (2- (Methoxyethoxyquin) silane, 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 2- (3.4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane, N-2
-(Aminoethyl) 3-aminopropyltrimethoxysilane, N-2- (aminoethyl) 3-aminopropylmethyldimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, N-phenyl-3-aminopropyltrimethoxysilane, 3- Mercaptopropyltrimethoxysilane and 3-chloropropyltrimethoxysilane may be used.

【0039】また、コート液は、Na2O・nSiO2
またはK2O・nSiO2(n=2〜3、好ましくは2.
1〜3.5)で表される水ガラス、もしくはポリシロキ
サン((−O−Si−O−Si−)n)であってもよ
い。
The coating solution is Na 2 O.nSiO 2 ,
Or K 2 O.nSiO 2 (n = 2 to 3, preferably 2.
Water glass represented by formulas (1) to (3.5) or polysiloxane ((-O-Si-O-Si-) n) may be used.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 本発明に係るインクジェット記録ヘッドを備
えたインクジェットプリンタの部分斜視図である。
FIG. 1 is a partial perspective view of an inkjet printer including an inkjet recording head according to the present invention.

【図2】 インクジェット記録ヘッドの平面図である。FIG. 2 is a plan view of the ink jet recording head.

【図3】 図2に示すインクジェット記録ヘッドのIII
−III線断面図である。
FIG. 3 is a perspective view of the inkjet recording head shown in FIG.
FIG. 3 is a sectional view taken along line III.

【図4】 親水処理の工程を示す説明図である。FIG. 4 is an explanatory view showing a hydrophilic treatment step.

【図5】 真空置換装置の概略図である。FIG. 5 is a schematic view of a vacuum replacement device.

【図6】 図3の部分拡大図である。FIG. 6 is a partially enlarged view of FIG. 3;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10…インクジェットヘッド、30…天板、32…隔
壁、40…キャビティ、42…インク供給室、46…ノ
ズル、55…親水膜、56…接着剤。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Ink-jet head, 30 ... Top plate, 32 ... Partition, 40 ... Cavity, 42 ... Ink supply chamber, 46 ... Nozzle, 55 ... Hydrophilic film, 56 ... Adhesive.

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 複数の部材を接着剤で貼り合わせて一体
的に組み立てるインクジェット記録ヘッドの製造方法に
おいて、 上記複数の部材を貼り合わせた後に、上記複数の部材を
貼り合わせて形成されるキャビティ、及び該キャビティ
にインクを供給するインクインレットとインク供給室の
それぞれの内面に親水処理を施して親水膜を形成するこ
とを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
1. A method for manufacturing an ink jet recording head in which a plurality of members are bonded together with an adhesive to assemble them integrally, wherein after bonding the plurality of members, a cavity formed by bonding the plurality of members; And a hydrophilic film is formed by performing hydrophilic treatment on each inner surface of the ink supply chamber and the ink inlet for supplying ink to the cavity.
【請求項2】 複数の部材からなるインクジェット記録
ヘッドであって、接着剤により貼り合わされた一組の部
材の該貼り合わせた面に、キャビティ、及び該キャビテ
ィにインクを供給するインク供給室が形成され、上記キ
ャビティの内面、上記インク供給室の内面、上記キャビ
ティに面する上記接着剤、及び上記インク供給室に面す
る上記接着剤に親水膜が形成されていることを特徴とす
るインクジェット記録ヘッド。
2. An ink jet recording head comprising a plurality of members, wherein a cavity and an ink supply chamber for supplying ink to the cavity are formed on the bonded surface of a set of members bonded by an adhesive. An ink jet recording head, wherein a hydrophilic film is formed on the inner surface of the cavity, the inner surface of the ink supply chamber, the adhesive facing the cavity, and the adhesive facing the ink supply chamber. .
【請求項3】 上記一組の部材が多孔質セラミックス材
料であることを特徴とする請求項2に記載のインクジェ
ット記録ヘッド。
3. The ink jet recording head according to claim 2, wherein said one set of members is a porous ceramic material.
【請求項4】 複数の部材からなるインクジェット記録
ヘッドであって、上記複数の部材の中で、圧電セラミッ
クス材料からなる一組の部材の当接する面にキャビテ
ィ、及び該キャビティにインクを供給するインク供給室
が形成され、上記一組の部材は焼結により一体化され、
かつ、上記キャビティの内面、及び上記インク供給室の
内面に親水膜が形成してあることを特徴とするインクジ
ェット記録ヘッド。
4. An ink jet recording head comprising a plurality of members, wherein a cavity is provided on a surface of the plurality of members which is in contact with a pair of members made of a piezoelectric ceramic material, and ink for supplying ink to the cavity is provided. A supply chamber is formed, and the set of members are integrated by sintering,
An ink jet recording head, wherein a hydrophilic film is formed on the inner surface of the cavity and the inner surface of the ink supply chamber.
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Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6866366B2 (en) 2002-04-23 2005-03-15 Hitachi, Ltd. Inkjet printer and printer head
JP2008100460A (en) * 2006-10-20 2008-05-01 Kyocera Mita Corp Inkjet recording system and recorder
JP2008100461A (en) * 2006-10-20 2008-05-01 Kyocera Mita Corp Inkjet recording system and recorder
JP2010217251A (en) * 2009-03-13 2010-09-30 Seiko Epson Corp Electrooptical device, electronic equipment and driving method for electrooptical device
US7950780B2 (en) * 2006-09-01 2011-05-31 Ricoh Company, Ltd. Liquid jet head and image forming apparatus configured to obtain air bubble discharging properties
JP2013166382A (en) * 2013-04-26 2013-08-29 Kyocera Document Solutions Inc Manufacturing method of inkjet recording system, and recording apparatus
JP2013166381A (en) * 2013-04-26 2013-08-29 Kyocera Document Solutions Inc Manufacturing method of inkjet recording system, and recording apparatus

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6866366B2 (en) 2002-04-23 2005-03-15 Hitachi, Ltd. Inkjet printer and printer head
US7950780B2 (en) * 2006-09-01 2011-05-31 Ricoh Company, Ltd. Liquid jet head and image forming apparatus configured to obtain air bubble discharging properties
JP2008100460A (en) * 2006-10-20 2008-05-01 Kyocera Mita Corp Inkjet recording system and recorder
JP2008100461A (en) * 2006-10-20 2008-05-01 Kyocera Mita Corp Inkjet recording system and recorder
JP2010217251A (en) * 2009-03-13 2010-09-30 Seiko Epson Corp Electrooptical device, electronic equipment and driving method for electrooptical device
JP2013166382A (en) * 2013-04-26 2013-08-29 Kyocera Document Solutions Inc Manufacturing method of inkjet recording system, and recording apparatus
JP2013166381A (en) * 2013-04-26 2013-08-29 Kyocera Document Solutions Inc Manufacturing method of inkjet recording system, and recording apparatus

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