JPH1186731A - ガス放電パネル用評価装置及びガス放電パネル用評価方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 放電開始電圧や放電維持電圧といった評価項
目についての測定を、自動的に高速に行うことのできる
ガス放電パネル用評価装置及び評価方法を提供する。 【解決手段】 放電開始電圧の測定は、電圧測定器１１
及び電流電圧変換器１２から出力される信号１１ａ，１
２ａをバンドパスフィルタ１４を通過させてロックイン
アンプ１５に送る。ロックインアンプ１５及びコンパレ
ータ１６で、信号１１ａの振動と信号１２ａの振動との
位相差が変化する時点を検出する。その検出タイミング
で、電圧記録器１３は、電圧信号１１ａをサンプリング
し、放電開始電圧として記録する。放電維持電圧の測定
は、ピークホールド回路１８，コンパレータ１９，信号
発生器２０において、電流信号１１ａが最大値に達した
後に初めて０になる時点を検出する。その検出タイミン
グで、電圧記録器１３は、電圧信号１１ａをサンプリン
グし、放電維持電圧として記録する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ＡＣ型プラズマデ
ィスプレイパネルをはじめガス放電パネルの性能を評価
するため、放電開始電圧，放電維持電圧或は誘電体層表
面の二次電子放出係数等の評価項目について測定するガ
ス放電パネル用評価装置及び評価方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、ハイビジョンをはじめとする高品
位で大画面のテレビに対する期待が高まっている中で、
ＣＲＴ，液晶ディスプレイ（ＬＣＤ），プラズマディス
プレイパネル（Plasma Display Panel，以下ＰＤＰと記
載する）といった各ディスプレイの分野において、これ
に適したディスプレイの開発が進められている。

【０００３】従来からテレビのディスプレイとして広く
用いられているＣＲＴは、解像度・画質の点で優れてい
るが、画面の大きさに伴って奥行き及び重量が大きくな
る点で４０インチ以上の大画面には不向きである。ま
た、ＬＣＤは、消費電力が少なく、駆動電圧も低いとい
う優れた性能を有しているが、大画面を作製するのに技
術上の困難性があり、視野角にも限界がある。

【０００４】これに対して、ＰＤＰは、小さい奥行きで
大画面を実現することが可能であって、既に４０インチ
クラスの製品も開発されている。ＰＤＰは、大別して直
流型（ＤＣ型）と交流型（ＡＣ型）とに分けられるが、
現在では大型化に適したＡＣ型が主流となっている。Ａ
Ｃ型のＰＤＰの一般的な構成は、図２に示されるよう
に、フロントカバープレート１上に表示電極２ａ，２ｂ
と誘電体ガラス層３が配され、一方、バックプレート５
上に、アドレス電極６と隔壁７と、赤，緑，青の紫外線
励起蛍光体からなる蛍光体層８とが配設され、放電空間
内に放電ガスが封入されている。

【０００５】また、誘電体ガラス層３の劣化を防止する
ため、その表面には保護層４が形成されている。保護層
４は、耐スパッタ性が良好で２次電子の放出量が大きい
ことが要求され、一般的にはＭｇＯ膜で形成される。と
ころで、一般的な機器においてそうであるように、ＰＤ
Ｐにおいても、製造時やメインテナンス時などにパネル
の性能を評価する必要がしばしば生じる。

【０００６】ＡＣ型のＰＤＰの性能並びに寿命は、保護
層４の成膜状態や劣化の状態によって大きく左右される
ので、保護層４の劣化状態でＰＤＰの性能を評価するこ
とも考えられるが、保護層の状態を直接モニターするこ
とは難しい。また、ＡＣ型のＰＤＰでは、放電開始電圧
と放電維持電圧の間の電圧を駆動時に印加する必要があ
るので、放電開始電圧や放電維持電圧の値からＰＤＰの
性能を評価することができるので、従来から、放電開始
電圧や放電維持電圧の測定結果に基づいてＰＤＰの性能
を評価する方法が広く用いられている。

【０００７】放電開始電圧や放電維持電圧の測定方法と
しては、測定者が目でＰＤＰの点灯状態を観察しなが
ら、ＰＤＰに印加する放電パルスの電圧を徐々に変化さ
せて、観測者が点灯或は消灯を認識した時点での電圧値
を記録するという方法が多く用いられている。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うに人の目を用いて測定する方法の場合、測定者の違い
に基づく測定結果のばらつきが生じやすいという問題が
ある。また、放電開始電圧や放電維持電圧を放電セルご
とに測定する場合、測定する時間と観測者の負担が大き
く、コストもかかるという問題もある。

【０００９】ところで、このような課題に対して、保護
層の表面の二次電子放出係数（以下、「γ係数」と記載
する）を測定することによって、保護層の成膜状態や劣
化状態を調べる方法も考えられる。しかし、従来の一般
的なγ係数の測定方法は、測定対象の表面にイオンビー
ムを照射しながら、当該表面から放出される電荷量をフ
ァラデーカップ等で計測するという方法であって、この
場合、ガス雰囲気下では測定ができず真空中で測定する
必要があるので、γ係数の測定値がＰＤＰの放電ガス中
での値と異なったものとなる。そのため、この測定値に
基づいてＰＤＰの評価をするのは困難なことである。

【００１０】なお、このような課題は、ＡＣ型のＰＤＰ
のみならず、一般的にガス放電パネルの性能を評価する
場合に共通する課題ということができる。本発明は上記
の課題に鑑み、放電開始電圧や放電維持電圧といった評
価項目についての測定を、自動的に高速に行うことので
きるガス放電パネル用評価装置及び評価方法を提供する
ことによって、ガス放電パネルの性能評価におけるばら
つきを少なくし、測定者に対する負担が少なく短時間で
評価できるようにすることを第１の目的とする。

【００１１】また、ＰＤＰの誘電体層の表面をはじめと
して、試料の表面のγ係数を、所望のガス雰囲気下でで
測定できる測定装置及び測定方法を提供することを第２
の目的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記第１の目的を達成す
るために、本発明のガス放電パネル用評価装置並びに評
価方法においては、ガス放電パネルに放電パルスを供給
するときに、評価項目に応じて定められている特性が所
定の条件を満たすか否かを経時的に判定し、条件を満た
すと判定した時点での評価項目に関連する特性を記録す
るようにした。

【００１３】これによって、所定の評価項目についての
測定を自動的に高速で行うことができ、その測定結果か
らガス放電パネルの性能を評価することができるので、
ガス放電パネルの評価を短時間で行うことができ、且
つ、測定者に対する負担が少なく、測定者による評価の
ばらつきも少なくすることができる。ガス放電パネルの
性能を評価するための所定の評価項目としては、放電開
始電圧や放電維持電圧がある。

【００１４】放電開始電圧を測定する場合は、ガス放電
パネルに供給する放電パルスに伴って生じる電圧及び電
流の波形の特徴が、所定の条件を満たすか否かを経時的
に判定し、条件を満たすと判定した時点でのガス放電パ
ネルへの供給電圧を記録すればよく、記録された電圧が
放電開始電圧に相当する。ここで、上記の電圧及び電流
の波形の特徴の具体例としては、電圧及び電流の振動の
位相差を挙げることができ、この位相差が所定の基準以
上に変化したか否かを経時的に判定するようにすればよ
い。

【００１５】一方、放電維持電圧を測定する場合は、ガ
ス放電パネルに供給する電流が、１つの放電パルスが供
給されている期間内で最大値に到達した後に初めて０と
なったか否かを経時的に判定し、その条件を満たしたと
判定した時点でのガス放電パネルへの供給電圧を記録す
ればよく、記録された電圧が放電維持電圧に相当する。

【００１６】また、評価しようとするガス放電パネルが
複数の放電セルを備える場合、評価項目の測定を行うに
際して、各放電セルに１つ以上の放電パルスを順次供給
しながら行えば、放電セルごとに性能の評価を行うこと
ができる。また、上記第１の目的を達成するために、本
発明では、プレート基板上に電極及び当該電極を覆う誘
電体層が配設されたガス放電パネル用プレートを、誘電
体層の表面にガスを接触させた状態で、当該誘電体層の
表面の二次電子放出係数を計測するようにした。

【００１７】ここで、二次電子放出係数の計測は、ガス
封入容器に、ガス放電パネル用プレートを収納すると共
にガスを封入し、ガス封入容器内でイオンを発生させて
誘電体層の表面に照射し、誘電体層表面にイオンが照射
されるときに、電荷供給源から電極に供給される電荷量
を測定することによって行うことができる。なお、ここ
でいう「誘電体層の表面」は、誘電体層の表面に保護層
が形成されている場合も含むものである。

【００１８】この測定結果に基づいて、ガス雰囲気下で
の誘電体層表面のγ係数を自動的に高速で測定すること
が可能で、測定したγ係数からガス放電パネルの性能を
評価することができる。イオンを照射する方法として
は、ガス中で火花放電を起こしたりガスに光束を照射し
てイオンを発生させる方法、更にそれを加速して照射す
る方法が考えられる。

【００１９】ここで、ガス封入容器に、ガス放電パネル
用プレートと共にその比較プレートを収納して、誘電体
層の表面と共に比較プレートの表面にイオンを照射しな
がら、電極に電荷供給源から供給される電荷及び比較プ
レートに電荷供給源から供給される電荷量を測定するよ
うにすれば、イオンを照射する量のバラツキにより電極
に供給される電荷の測定値が変動したとしても、比較プ
レートに供給される電荷の測定値によって変動分を補正
することができる。あるいは、イオン計測装置で誘電体
層の表面に照射されるイオン量を測定しても、同様の補
正を行うことができる。従って、これらによって、より
正確なγ係数の測定が可能となる。

【００２０】また、ガス放電パネル用プレートの電極
が、ストライプ状に配設された複数のライン電極部から
なる場合、電荷供給源から電荷供給するライン電極部を
選択し、選択されたライン電極部に供給される電荷量を
測定すれば、誘電体層表面の中で、選択されたライン電
極部に対向する領域についてのγ係数を測定することが
できる。そして、各ライン電極部に対向する領域ごとの
γ係数の分布を測定することができる。

【００２１】また、誘電体層の表面の一部の領域にイオ
ンを照射するようにすれば、誘電体層表面の中で、照射
領域についてのγ係数を測定することができる。更に、
誘電体層の表面におけるイオンの照射領域を変更しなが
ら行えば、各照射領域ごとのγ係数の分布を測定するこ
とができる。また、第２の目的を達成するために、本発
明では、試料の表面のγ係数を測定するのに、試料をガ
ス封入容器の内部に収納すると共に、試料に電荷供給源
から電荷供給が可能な状態とし、ガス封入容器内でイオ
ンを発生させて試料の表面に照射し、イオンが試料に照
射されるときに、試料に電荷供給源から供給される電荷
量を測定するようにした。この電荷の測定値から、ガス
雰囲気下における試料表面のγ係数を求めることができ
る。

【００２２】更に、上記の評価方法をガス放電パネルの
製造方法に応用して、電極及び当該電極を覆う誘電体層
が設けられた第１プレートを作製し、ガス封入容器の内
部に第１プレートを収納すると共に、電荷供給源から電
極に電荷供給を可能な状態とし、ガス封入容器内でイオ
ンを発生させて誘電体層の表面に照射し、イオンが照射
されるときに、電極に電荷供給源から供給される電荷量
を測定する。そして、その測定結果に基づいて、第１プ
レートの良否判定を行い、判定結果が良好な第１プレー
トと、第２プレートとを積層させると共に放電ガスを封
入するようにすれば、ガス放電パネルの製造を歩留りよ
く行うことができる。

【００２３】

【発明の実施の形態】

〔実施の形態１〕図１は、本発明の一実施の形態に係る
パネル評価装置の構成、並びにその使用状態を示す図で
ある。本図に示すように、放電パルス供給装置１００か
らガス放電パネル２００に放電パルスを供給し点灯でき
るようになっている。

【００２４】パネル評価装置１０は、放電パルスが供給
されるときに、その電圧及び電流の変動の特徴を経時的
に測定し、その特徴が所定の条件を満たしたときの電圧
を記録することによって、ガス放電パネル２００につい
ての放電開始電圧及び放電維持電圧を計測する装置であ
る。ガス放電パネル２００は、ＡＣ型面放電型のＰＤＰ
であって、図２はその要部組み立て図である。

【００２５】本図に示されるように、フロントカバープ
レート１上には、表示電極２ａ，２ｂがストライプ状に
配設され、その上から鉛ガラス［ＰｂＯ−Ｂ2Ｏ3−Ｓｉ
Ｏ2ガラス］からなる誘電体ガラス層３が覆っている。
そして、誘電体ガラス層３の表面には、酸化マグネシウ
ム［ＭｇＯ］からなる保護層４が形成されている。一
方、バックプレート５上には、アドレス電極６と隔壁７
が配され、更に隔壁７の間には、赤または緑または青の
紫外線励起蛍光体からなる蛍光体層８が配設されてい
る。

【００２６】ガス放電パネル２００は、このようなフロ
ントカバープレート１とバックプレート５とが平行に配
設され放電ガスが封入されてなり、放電セルが行列状に
形成されている。放電パルス供給装置１００は、通常Ｐ
ＤＰを駆動するのに用いられている放電パルス発生回路
と同様のものであって、以下に示すように、通常のＰＤ
Ｐの駆動と同様にアドレッシング及び放電パルスの印加
を行うことによって、ガス放電パネル２００の任意の第
ｍ行，第ｎ列（ただし、ｍ，ｎは自然数）の放電セルを
放電発光させることができるようになっている。

【００２７】図３は、ガス放電パネル２００における、
表示電極２ａ，２ｂ及びアドレス電極６のラインパター
ンの配線を示す図であり、図４は、放電パルス供給装置
１００から表示電極２ａ，２ｂに対して印加される放電
パルスの電圧波形を示すグラフである。ｍ行，第ｎ列の
放電セルを発光させる場合、放電パルス供給装置１００
は、第ｍ行の表示電極２ａと第ｎ列のアドレス電極６と
の間にアドレッシングのためのパルスを印加して、第ｍ
行，第ｎ列の放電セルに壁電荷を蓄積し、続いて、第ｍ
行の表示電極２ａ及び表示電極２ｂに対して、図４に示
されるように、一定の長さ（例えば５〜１０μｓｅｃ）
の放電パルスを交互に印加する。これによって、ｍ行，
第ｎ列の放電セルにおいて放電発光が生じる。

【００２８】そして、このように放電パルス供給装置１
００によって指定した放電セルで放電発光させるのと並
行して、パネル評価装置１０は、放電パルス供給装置１
００からガス放電パネル２００に供給される電圧及び電
流の波形の特徴を経時的に解析し、所定の条件を満たし
た時点での電圧をサンプリングすることによって、当該
放電セルの放電開始電圧並びに放電維持電圧の測定を行
う。

【００２９】〔パネル評価装置による測定についての原
理的な説明〕図５（ａ）は、図４に示される放電パルス
の１つの電圧波形を、時間ｔ方向に引き伸ばしたもので
あって、図５（ｂ）は、１つの放電パルスが供給されて
いる期間において、ガス放電パネル２００に供給される
電流の波形を示すものである。

【００３０】本図に示されるように、１つの放電パルス
が印加されている期間の中で、電流は初期に偏って流れ
ている。図５（ａ）の放電パルスの長さが５〜１０μｓ
ｅｃであるとすると、図５（ｂ）の電流の山形波形の幅
は、通常１〜２μｓｅｃ程度である。図６（ａ）及び図
６（ｂ）は、この電圧及び電流をより高感度で測定した
ときの波形を示しており、図５（ａ）の電圧波形及び図
５（ｂ）の電流波形のグラフが更に時間方向に引き伸ば
され、その初期に相当する部分だけを表示している。

【００３１】一般的に、１つの放電パルスの期間内にお
ける電圧及び電流の波形は、図６に示されるように共に
振動し、電圧の振動と電流の振動との間には位相差が存
在する。本発明者等は、この位相差と放電開始電圧との
関係に着目して調べた結果、位相差に急な変化が生じる
時点（図６中のＴ1）が存在し、その時点Ｔ1における電
圧Ｖ1が放電開始電圧と略一致することを見つけた。

【００３２】このような関係が成立する理由について以
下のように考察される。放電パルス供給装置１００が能
動的に印加しようとする放電パルスは矩形波であるけれ
ども、実際の駆動回路系には，等価的に抵抗，キャパシ
タ，インダクタが含まれているため、実際の電圧や電流
の波形は、過渡現象的に取り扱うことができる。

【００３３】一般的に、過渡現象的な取り扱いが可能な
場合、抵抗，キャパシタ，インダクタのないときに生じ
る理想的な波形の上に、一定の周期で振動しながらその
振幅が減衰していく波形、若しくは急峻に立ち上がって
急峻に立ち下がるパルス的な波形が加わった波形となる
ことが多いが、ＰＤＰのようなガス放電パネルに加えら
れるパルスの場合、前者の波形が加わって、電圧及び電
流に振動が生じるものと考えられる。また、放電セルに
おいて放電が起こる場合、放電パルスが印加され始めた
時点ではまだ放電は開始されておらず、ある程度時間が
たってから放電が開始されるが、放電が開始されると、
放電空間内の気体部分の抵抗，キャパシタ，インダクタ
が放電開始前と比べて変化して、電圧と電流の振動の位
相差に変化を引き起こすものと考えられる。

【００３４】従って、電圧と電流の振動の位相差に急な
変化が生ずる時点は、放電が開始される時点に相当し、
その時点における電圧が放電開始電圧とほぼ一致するも
のと考えられる。一方、電流が０になる時点と放電維持
電圧との関係にも着目して調べた結果、１つの放電パル
スの期間内で、電流が最大値に達した後に初めて０とな
る時点Ｔ2での電圧Ｖ2が、放電維持電圧と略一致するこ
ともわかった。

【００３５】なお、このような関係の存在は、後述する
ように実験によっても確認した。よって、この関係を利
用すれば、放電開始電圧の測定については、電圧の振動
と電流の振動の位相差が変化する時点で電圧を測定すれ
ばよく、放電維持電圧の測定については、電流が最大値
に達した後に初めて０となる時点での電圧を測定すれば
よいことがわかる。

【００３６】パネル評価装置１０では、上記の原理に基
づいて放電開始電圧並びに放電維持電圧の測定を行う。 〔装置の構成及び動作についての説明〕図１に示すよう
に、パネル評価装置１０には、放電パルス供給装置１０
０がガス放電パネル２００に印加する電圧を経時的に測
定する電圧測定器１１、放電パルス供給装置１００が供
給する電流値を電圧に変換する電流電圧変換器１２、指
示されたタイミングで電圧測定器１１の測定電圧をメモ
リ（不図示）に記録する電圧記録器１３が備えられ、そ
の他に、放電開始電圧を測定するためのバンドパスフィ
ルタ１４，ロックインアンプ１５，コンパレータ１６，
信号発生器１７、並びに放電維持電圧を測定するための
ピークホールド回路１８，コンパレータ１９，信号発生
器２０が備えられている。また、放電パルス供給装置１
００が放電パルスを印加するタイミングに合わせてこれ
らを作動させるための制御部（不図示）も備えられてい
る。

【００３７】電圧測定器１１は、例えばＡ／Ｄ変換器で
あって、放電パルス供給装置１００が放電パルスを印加
する際に生じる電圧の振動を感知する感度を持つもので
あり、測定結果を電圧信号１１ａとして出力する。電流
電圧変換器１２は、例えばカレントグローブであって、
放電パルスの印加に伴って発生する電流の振動を感知す
る感度を持つものであり、測定結果を電圧に換算した電
流信号１２ａとして出力する。

【００３８】電圧記録器１３は、例えばデジタイザであ
って、信号発生器１７，２０からのトリガ信号が入力さ
れるタイミングで電圧測定器１１からの電圧信号１１ａ
をサンプリングして上記メモリに記録する。パネル評価
装置１０の各部は、放電開始電圧を測定するために、制
御部の制御のもとで、１つの放電パルスが印加される期
間に次のように動作する。

【００３９】バンドパスフィルタ１４では、ロックイン
アンプ１５での位相差測定を容易にするために、電圧信
号１１ａの振動と電流信号１２ａの中の必要な周波数成
分だけを通過させ、低い周波数成分（例えば図４に示さ
れるもとの放電パルスの周波数成分）や高い周波数の成
分（位相差を測定する対象の周波数よりも高い周波数成
分）を除去する。

【００４０】ロックインアンプ１５は、バンドパスフィ
ルタ１４を通過して送られてくる電圧信号１１ａ及び電
流信号１２ａを参照信号探査信号として逐次入力し、こ
の２つの信号の位相差を検出し、位相差信号１４ａとし
て逐次出力する。コンパレータ１６には、位相差に変化
が発生する時点を判定するための基準値を予め設定して
おく。そして、コンパレータ１６は、ロックインアンプ
１５から逐次送られてくる位相差信号１４ａを受け取
り、設定されている基準値と逐次比較する。そして、位
相差信号１４ａが基準値以上になった時点で信号１６ａ
を発生して位相差に変化が生じたことを信号発生器１７
に知らせる。

【００４１】上記の基準値としては、例えば、ガス放電
パネル２００においてパルス放電期間の初期（位相差の
変化が発生する前）における位相差の平均値を予め測定
し、それに４５度を加えた値を設定する。このように４
５度程度を加えた値を設定すれば、放電開始前でも位相
差信号１４ａはノイズによって上記平均値からある程度
ずれるものの４５度の変化が生じることはないので、ノ
イズによる誤った判定をすることはない。また、位相差
の変化は急激であって、ごく短時間でこの基準値に到達
するので、位相差に変化が生じる時点を正確に検出する
ことができる。

【００４２】信号発生器１７は、コンパレータ１６から
の信号１６ａを受け取ったときには、トリガ信号１７ａ
を電圧記録器１３に送る。電圧記録器１３は、トリガ信
号１７ａを受け取ったタイミングで、電圧測定器１１か
らの電圧信号１１ａをサンプリングし、この値を放電開
始電圧として上記メモリに記録する。

【００４３】なお、本実施形態の放電パルス供給装置１
００では、上記のようにロックインアンプで位相差を経
時的に検出し、その位相差に変化が生じる時点Ｔ1を検
出するようにしたが、この時点Ｔ1を検出する方法とし
ては、位相差に変化が生じる時点の前後における電圧信
号１１ａ及び電流信号１２ａの波形の特徴を予め記憶し
ておき、逐次入力されてくる電圧信号１１ａ及び電流信
号１２ａの波形の特徴を逐次これと比較することによっ
ても検出することが可能と考えられる。

【００４４】一方、パネル評価装置１０の各部は、放電
維持電圧を測定するために、制御部のもとで、１つの放
電パルスが印加される期間に次のように動作する。電流
電圧変換器１２からの電圧に変換された電流信号１２ａ
は、ピークホールド回路１８及び信号発生器２０にも送
られる。ピークホールド回路１８は、逐次入力される電
流信号１２ａの最大値を保持し、その値を信号１８ａと
してコンパレータ１９に送る。

【００４５】コンパレータ１９は、初期において、まず
ピークホールド回路１８からの信号１８ａの値を比較対
照数値の初期値として保存する。続いて、ピークホール
ド回路１８から逐次入力される信号１８ａの値を、保存
されている比較対照数値と比較する。そして、信号１８
ａの値が保存されている比較対照数値より大きい場合に
は、信号１８ａの値を比較対照数値の値として更新する
と共に、信号発生器２０へリセット信号１９ａを送る。
一方、信号１８ａの値が保存されている比較対照数値よ
り小さいか同等の場合には、このような処理は行わな
い。

【００４６】信号発生器２０は、リセット信号１９ａを
受け取ったときには、それ自体をリセット状態にする。
そして、信号発生器２０は、リセット状態のときには、
電流電圧変換器１２からの電流信号１２ａの値が０であ
るか否かを監視し、０であれば電圧記録器１３に対して
トリガ信号２０ａを送ると共にリセット状態を解除す
る。

【００４７】電圧記録器１３は、トリガ信号２０ａを受
け取るタイミングで、電圧測定器１１からの電圧信号１
１ａをサンプリングし、放電維持電圧として記録する。
なお、電圧記録器１３が、１つの放電パルスの期間内に
おいてトリガ信号２０ａを２度以上受け取った場合に
は、前に記録した値の上に、後でサンプリングした電圧
信号１１ａの値を上書きする。従って、最後にサンプリ
ングされた電圧信号１１ａの値が放電維持電圧として記
録されることになる。

【００４８】以上説明した動作によって、電圧記録器１
３のメモリには、指定された放電セル（第ｍ行，第ｎ
列）の放電開始電圧及び放電維持電圧が記録される。従
って、順次これと同様の動作を放電セルごとに繰り返し
て行えば（例えば、第１列の第１行〜最終行の放電セ
ル、続いて第２列の第１行〜最終行の放電セル、……、
最終列の第１行〜最終行の放電セルといった順序で、各
放電セルごとに上記の測定を行う）、電圧記録器１３に
は、ガス放電パネル２００のすべての放電セルについ
て、放電開始電圧及び放電維持電圧が記録されることに
なる。

【００４９】そして、測定者は、電圧記録器１３に記録
された各放電セルの放電開始電圧や放電維持電圧を、例
えばモニタに表示させることによって、放電セルごとの
性能評価を行ったり、更に、パネル面における放電セル
の性能の分布を調べることもできる。また、最も性能の
悪い放電セルの性能を評価し、それによってパネルの寿
命を予測することもできる。

【００５０】なお、上記の説明では、指定した放電セル
に対して１つの放電パルスが供給される間に、パネル評
価装置１０で放電開始電圧及び放電維持電圧を求める例
を示したが、パネル評価装置１０に重畳積分器（不図
示）を設け、指定した放電セルに対して複数個の放電パ
ルスを供給し、重畳積分器でコンボリューション処理を
行いながら放電開始電圧及び放電維持電圧を求めるよう
にすることもでき、この場合、放電パルスごとのばらつ
きを抑えてより正確な放電開始電圧及び放電維持電圧の
測定を行うことができる。

【００５１】また、上記の説明では、パネル評価装置１
０で、放電セルを１つづつ発光させながら各放電セルに
対する放電開始電圧及び放電維持電圧を求める例を示し
たが、同様にして、ガス放電パネル２００の画面全体を
発光させながら、パネル全体についての放電開始電圧及
び放電維持電圧を求めることもできる。また、同様にし
て、画面をいくつかの領域に分割して、各領域ごとに発
光させながら、当該領域についての放電開始電圧及び放
電維持電圧を求めることもできる。

【００５２】また、本実施の形態では、ＡＣ型のＰＤＰ
の性能を評価する場合について述べたが、本発明はガス
放電パネルの性能評価に広く適用することができる。 ［従来の評価方法との比較］従来のガス放電パネルの評
価方法においては、一般的に、ガス放電パネルにパネル
駆動回路を接続し、以下のように各評価項目の測定を行
っていた。

【００５３】＊放電開始電圧：ガス放電パネルを目で観
察しながら、パネル駆回路からガス放電パネルに印加す
る電圧をわずかづつ増加させる。そして、ガス放電パネ
ルの放電セルの一つ或は規定個数（例えば３個）以上が
点灯し始めたときの印加電圧を読み取ってこれを放電開
始電圧として記録する。 ＊全放電開始電圧：更に、ガス放電パネルに印加する電
圧をわずかづつ増加させ、ガス放電パネルの放電セルの
全数（或は全数から規定個数を引いた数）が点灯し始め
たときの印加電圧を読み取ってこれを全放電開始電圧と
して記録する。

【００５４】＊全放電維持電圧：全てのセル以上が点灯
している状態から、ガス放電パネルに印加する電圧をわ
ずかづつ減少させる。そして、放電セルの一個或は規定
個数（例えば３個）以上が消灯し始めたときの印加電圧
を読み取って、これを全放電維持電圧として記録する。 ＊放電維持電圧：更に、ガス放電パネルに印加する電圧
をわずかづつ減少させ、ガス放電パネルの放電セルの全
数（或は全数から規定個数を引いた数）が消灯したとき
の印加電圧を読み取ってこれを放電維持電圧として記録
する。

【００５５】そして、このように測定した放電開始電
圧，全放電開始電圧，放電維持電圧，全放電維持電圧
が、所定の規格に適合するか否かで、パネルの性能を評
価したり、ガス放電パネルに印加する電圧を増減すると
きに生じる点灯面積の変化の状態を観察することによっ
てもパネルの性能評価がなされていた。このような従来
の評価方法の場合、目で点灯状態を観察しながら測定を
行うため、測定に時間がかかると共に、測定者の負担も
大きく、また、測定者によるばらつきも大きい。特に、
放電セルごとに性能を評価する場合は、その測定作業が
大変なものとなる。

【００５６】これに対して、上記実施の形態で説明した
パネル評価装置を用いた場合は、各放電セル及びパネル
全体の放電開始電圧や放電維持電圧を、高速で自動測定
することができるので、短時間で簡単にガス放電パネル
の評価を行うことができ、測定者によるばらつきも小さ
い。なお、実験によって以下の内容を確認した。

【００５７】上記実施の形態の方法で放電セルごとに求
めた放電開始電圧の中の最小値は、上記従来の方法で求
めた放電開始電圧とほぼ一致していた。また、上記実施
の形態の方法で放電セルごとに求めた放電維持電圧の中
の最小値は、上記従来の方法で求めた放電維持電圧とほ
ぼ一致していた。 〔実施の形態２〕図７は、本実施の形態に係るフロント
パネル表面のγ係数装置の概略斜視図である。

【００５８】このγ係数測定装置３００は、減圧下でガ
スを封入することのできる真空容器３１０の内部におい
て、γ係数を測定する試料（フロントパネル３０１）を
支持する支持台３２０が底面上に設けられ、その上方に
イオンを発生させるための放電電極３３０、更にその上
方に発生したイオンを誘導する電界を形成するための導
電板３４０が設けられて構成されている。なお、図７で
は、真空容器３１０の蓋３１１が開放された状態で示さ
れている。

【００５９】真空容器３１０には、その内部を減圧する
真空ポンプ３１２及びガス導入管３１３が連結されてい
る。ガス導入管３１３からは、ＰＤＰの作製に用いる放
電ガスと同様の組成のガスが供給され、ＰＤＰの放電空
間と同様の環境を形成できるようになっている（例え
ば、Ｎｅ−Ｘｅ混合ガスやＨｅ−Ｘｅ混合ガスで、圧力
３００〜６００Ｔｏｒｒ）。

【００６０】図８は、図７の要部組立図、図９は、図７
の装置構成を示す摸式図である。図８，図９に示される
ように、測定試料であるフロントパネル３０１は、ガラ
ス基板３０２上に複数のライン状の電極３０３がストラ
イプ状に配設され、その上から誘電体層３０４が被覆さ
れ、更に誘電体層３０４の表面をＭｇＯからなる保護層
３０５で被覆したものである。なお、このフロントパネ
ル３０１は、上記図２に示したものと同様の構成であっ
て、ＰＤＰを作製するためのものである。フロントパネ
ル３０１の各電極３０３は、指定された電極３０３だけ
に負電位を印加するための選択回路３２１に接続され、
更にケーブル３２２を経由して、真空容器３１０の外の
電圧印加部３２３に接続されている。

【００６１】図９に示すように、電圧印加部３２３に
は、各電極３０３に負電位を印加するための電源３２４
と、電源３２４から電極３０３に供給される電荷量を測
定する電荷量測定器３２５とが設けられている。電源３
２４の電圧〔−Ｖ0（Ｖ）〕は、任意に設定できるよう
になっているが、ここでは、実際にＰＤＰを駆動すると
きに維持電圧としてパネルに印加する電圧と同程度に設
定するものとする。

【００６２】電荷量測定器３２５は、ケーブル３２２を
流れる電荷量を測定すつものであって、図９に示す具体
例では電流グローブが用いられている。これは、ケーブ
ル３２２を流れる電流変化に伴ってその周りに生じる磁
場の変化を測定することによって電流を測定し、更にこ
の電流値を時間積分することによって所定時間内にケー
ブル３２２を流れる電荷量を算出する。

【００６３】選択回路３２１は、コントロール部３５０
の指示に従って、フロントパネル３０１の複数の電極３
０３の中から選択されたものを電源３２４と接続する。
図８に示すように、フロントパネル３０１は、その両側
部で電極３０３が露出しているが、その部分は、電極３
０３が直接ガスに触れるのを防止する一対の絶縁カバー
３２６（例えばセラミックからなる）で覆われている。

【００６４】なお、図示はしないが、支持台３２０に
は、フロントパネル３０１を加熱できるようにヒータが
設けられている。放電電極３３０は、一対の金属製の針
（例えば、ステンレス，タングステン，モリブデン製の
針）の両先端を対向させて配設したものであって、支持
台３２０の上方に距離を置いて設けられている。そし
て、他の系からは絶縁され、ケーブル３３１を経由して
真空容器３１０の外部の放電回路部３３２に連結されて
いる。

【００６５】この放電回路部３３２は、電源３３３と、
電気を貯めるコンデンサ３３４と、コンデンサ３３４の
蓄電・放電を切換えるための切換スイッチ３３５と、コ
ンデンサ３３４から放電された電気を高圧に変換するト
ランス３３６とからなり、放電電極３３０に瞬間的に高
電圧を印加して火花放電を発生する。そして、この火花
放電によってガスが電離し、イオン（正イオン）が生成
されるようになっている。

【００６６】導電板３４０は、支持台３２０の上面と平
行に設けられ、アース線で接地されている。このような
構成によって、図９に示すように、導電板３４０とフロ
ントパネル３０１の電極３０３との間の空間には、上下
方向に電位の勾配が形成される。従って、放電電極３３
０での火花放電に伴ってイオンが発生すると、そのイオ
ンは、図９の白抜矢印のように下方向に導かれて、保護
層３０５の表面に衝突する。なお、上記のように絶縁カ
バー３２６で電極３０３の露出部が覆われているので、
電極３０３にイオンが直接照射されることはない。

【００６７】（γ係数の測定方法について）このγ係数
測定装置３００を用いて、以下のように測定を行う。測
定試料であるフロントパネル３０１を支持台３２０上に
セットして、真空容器３１０内の真空度を上げて不純物
ガスを取り去った後、ＰＤＰ作製時に封入するガスと同
じ条件（混合比、圧力など）で真空容器３１０内を満た
す。

【００６８】ここで、上記ヒータを駆動してフロントパ
ネル３０１を加熱してもよい。なお、加熱する際は、Ｐ
ＤＰの作製時にガス封入前に加熱処理する温度時間プロ
ファイルと同じまたは類似の条件で行うことが好まし
く、通常は３００℃以上の温度に加熱する。そして、コ
ントロール部３５０の制御のもとに、フロントパネル３
０１の電極３０３に対して電圧印加部３２３で負電位を
印加しながら、放電回路部３３２を駆動させて放電電極
３３０で火花放電を起こしてイオンを発生し、その時に
電極３０３に供給される電荷量を測定する。そして、コ
ントロール部３５０は、この電荷量をもとに保護層３０
５表面のγ係数の測定を行う。

【００６９】ここで、電極３０３に供給される電荷の量
に基づいて、保護層３０５表面のγ係数を算出できる原
理について説明する。上記のように電極３０３に対して
負電位を印加しながら、放電電極３３０で火花放電を起
こしてイオンを発生させると、発生したイオンは、導電
板３４０と印加された電極３０３の間に形成される電界
により加速されて保護層３０５の表面に衝突する。そし
て、それに伴って保護層３０５からは二次電子（γ電
子）が放出される。

【００７０】このとき、負電位を印加されている電極３
０３に対しては、この電極３０３と対向する保護層３０
５の表面に衝突するイオンの電荷Ｉｉと、放出された二
次電子の電荷Ｉｅとの和(Ｉｉ＋Ｉｅ)に相当する電荷
が、電圧印加部３２３の電源３２４から供給される。図
１０は、電源３２４で負電位を印加されている電極３０
３と対向する保護層３０５の表面にイオンが衝突すると
きに生じるパネル３０１における電荷の出入りを摸式的
に表わす図である。

【００７１】（Ａ）は、イオン（Ｉ⁺）が保護層３０５
に衝突することにより、そのイオン（Ｉ+）が保護層表
面に付着するのに伴って、その電荷量（Ｉｉ）に相当す
る電荷が電源３２４から供給される様子を示している。
（Ｂ）は、二次電子（ｅ^-）が保護層３０５から放出さ
れるのに伴って、その電荷に相当する電荷Ｉｅが電源３
２４から供給される様子を示している。

【００７２】実際には、この（Ａ），（Ｂ）２つの課程
が同時に起こるため、電荷量測定器３２５では、上記の
ように（Ｉｉ＋Ｉｅ）が測定されることになる。従っ
て、このとき電荷量測定器３２５で測定される電荷量Ｉ
は、上記の電荷の和に相当する（Ｉ＝Ｉｉ＋Ｉｅ）。こ
れ式において、保護層３０５の表面に衝突するイオンの
電荷Ｉｉは、標準試料を用いて予め以下のようにして測
定することができるので、電荷量測定器３２５での測定
電荷量Ｉから、二次電子の電荷Ｉｅを求めることができ
る。

【００７３】標準試料として、上記のパネル３０１と同
様であるが、誘電体層３０４の表面に、保護層３０５の
代わりに、γ係数の極めて小さい材料（例えば鉄やガラ
ス）を配設したものを作製し、この標準試料を用いて、
上記と同様の条件で、電圧印加部３２３で電極に負電位
を印加しながら、放電電極３３０で火花放電を起こして
イオンを発生して、その時に電極３０３に供給される電
荷量を測定する。

【００７４】この標準試料においては、二次電子の放出
がほとんど０である以外は、上記のパネル３０１を用い
て測定した場合と同様の電荷の移動がなされるので、電
荷量測定器３２５における電荷量測定値は、標準試料表
面に衝突するイオンの電荷に相当する。従って、放電電
極３３０での放電ごとに発生するイオンが一定であるな
らば、標準試料についての電荷量測定器３２５における
電荷の測定値を、測定試料であるフロントパネル３０１
の保護層３０５の表面に衝突するイオンの電荷Ｉｉとし
て用いることができる。

【００７５】このような原理に基づき、コントロール部
３５０では、予め測定した電荷Ｉｉを記憶しておき、こ
の値Ｉｉと測定電荷量Ｉとから、Ｉ＝Ｉｉ（１＋γ）の
式に基づいてγ係数を算出する。 （保護層のγ係数の測定形態について）以上のような方
法を用いれば、保護層３０５全体についてのγ係数を測
定することもできるし、各電極３０３と対向する領域ご
とに保護層３０５のγ係数を測定することもできる。

【００７６】即ち、保護層３０５全体についてのγ係数
を測定する場合は、コントロール部３５０は、選択回路
３２１に指示してフロントパネル３０１の総ての電極３
０３に対して同時に負電位を印加しながら、放電回路部
３３２を駆動して火花放電を起こす。そのときの電荷量
測定器３２５の測定値に基づいて、保護層３０５の表面
全体についてγ係数を算出する。

【００７７】一方、各電極３０３と対向する帯状領域ご
とに保護層３０５のγ係数を測定する場合は、コントロ
ール部３５０は、選択回路３２１に指示してフロントパ
ネル３０１の複数の電極３０３に対して１本づつ順に負
電位を印加しながら、それに合わせて放電回路部３３２
を駆動して火花放電を繰返し起こす。そのときの電荷量
測定器３２５の各測定値に基づいて、各電極３０３と対
向する領域ごとに保護層３０５のγ係数を算出する。

【００７８】これによって、保護層３０５の全体を電極
３０３に対向する帯状領域に分割した各帯状領域ごとの
γ係数を測定し、保護層３０５の表面全体について帯状
領域ごとのγ係数の分布を測定することができる。 （ＰＤＰの製造工程への応用について）保護層を形成す
る条件を様々に変えて試験用のフロントパネルを作製
し、作製した各フロントパネルについて上述した方法で
保護層表面全体についてのγ係数を測定し、更にその各
フロントパネルを用い、共通のバックパネルを貼り合わ
せてＰＤＰを組み立て放電開始電圧を測定する実験を行
った。

【００７９】図１１は、その実験結果を示す特性図であ
って、各フロントパネルについて測定したγ係数と放電
開始電圧との関係をプロットしたものである。本図か
ら、ＰＤＰにおける保護層のγ係数と放電開始電圧との
間には強い相関関係があって、γ係数が大きいほど放電
開始電圧が低いことがわかる。このことから、ＰＤＰを
作製する上で、フロントパネルに形成する保護層のγ係
数によって、最終的に作製されるＰＤＰの放電開始電圧
が大きく影響されるこということ、並びに、保護層のγ
係数が適当な範囲にあるフロントパネルを用いてＰＤＰ
を作製すれば、作製されるＰＤＰの放電開始電圧を適当
な範囲に納められるということができる。

【００８０】従って、これをＰＤＰの製造工程に適用し
て、フロントパネルを作製した後に、上記のγ係数測定
装置３００を用いて、そのフロントパネルの保護層のγ
係数を測定し、その測定結果に基づいてフロントパネル
の良否判定を行い（例えば、保護層全体のγ係数の測定
値が所定の範囲にある場合にのみ良好と判定する）、判
定結果が良好なフロントパネルを用いて、これとバック
パネルとを積層させると共に放電ガスを封入するように
すれば、作製されるＰＤＰの放電開始電圧を適当な範囲
に納めることができる。即ち、ＰＤＰの製造工程におい
て、このようにフロントパネルの保護層表面のγ係数を
測定し、その良否を判定する工程を加えることによっ
て、ＰＤＰ製造時における歩留りの向上を図ることがで
きる。

【００８１】また、フロントパネルの保護層のγ係数の
領域ごとに測定すれば、フロントパネルの良否判定をよ
り細かく行うことができる。なお、フロントパネルの保
護層のγ係数が所定の範囲外にあって不良と判定された
場合、そのフロントパネルに対して保護層の形成を再度
行い、再試験してγ係数が所定の範囲内に入った場合は
良好と判定するようにしてもよい。

【００８２】（電荷量測定器３２５の変形例）なお、電
荷量測定器３２５として、図９に示したような電流グロ
ーブを用いるもの以外に、図１２（Ａ）に示すように単
純に抵抗を直列に挟んで、両端の電圧の時間変化を測
定、これを電流値に変換後、時間積分することによっ
て、電極３０３に供給される電荷量を測定してもよい。

【００８３】あるいは、図１２（Ｂ）に示すようにコン
デンサ等のキャパシタを直列に接続し、両端の電圧の時
間変化を測定し、同様に電流値に変換後、時間積分する
ことによって測定してもよい。 〔実施の形態３〕図１３は、本実施の形態にかかるγ係
数測定装置４００の構成を摸式的に示した構成図であっ
て、図９と共通の構成要素には同一の番号を付してあ
る。

【００８４】このγ係数測定装置４００は、上記実施の
形態２のγ係数測定装置３００と同様の構成であるが、
支持台３２０の上に、測定試料であるフロントパネル３
０１と並べて比較プレート４０１を置き、両者を比較測
定することによって、フロントパネル３０１のγ係数を
測定する点が異なっている。この比較プレート４０１と
しては、パネル３０１において、誘電体層３０４の表面
に、保護層３０５の代わりに、γ係数が既知の材料４０
５を配設したものを用いればよい。ここでは、実施の形
態２で説明した標準試料と同様の、パネル３０１におい
て保護層３０５の代わりにγ係数の極めて小さい材料４
０５を配設したものを用いることとす。。

【００８５】そして、この装置４００においては、フロ
ントパネル３０１の各電極に対しては、実施の形態２と
同様に負電位を印加でき、比較プレート４０１の電極に
対しても、電源３２４からケーブル４２２及び選択回路
４２１を介して負電位〔−Ｖ0（Ｖ）〕を印加できるよ
うになっている。なお、フロントパネル３０１と比較プ
レート４０１の間には、絶縁カバー３２６と同様の絶縁
カバー４２６が介挿されている。

【００８６】測定方法も、基本的に実施の形態２の場合
と同様であって、フロントパネル３０１の電極及び比較
プレート４０１の電極に対して、電圧印加部４２３で並
行して負電位を印加しながら、放電電極３３０で火花放
電を起こしてイオンを発生して、その時に、フロントパ
ネル３０１の電極に供給される電荷量を電荷量測定器３
２５で測定すると共に、比較プレート４０１の電極に供
給される電荷量を電荷量測定器４２５で測定する。

【００８７】このとき、電荷量測定器３２５での測定値
ｌａは、保護層３０５に衝突するイオンの電荷と保護層
３０５から放出される電荷の和（Ｉｉ＋Ｉｅ）に相当
し、電荷量測定器４２５での測定値Ｉｂは、材料４０５
の表面に衝突したイオンの電荷に相当するが、これは、
保護層３０５の表面に衝突するイオンの電荷Ｉｉと同等
である。

【００８８】従って、電荷量測定器３２５での測定値と
電荷量測定器４２５での測定値との差（ｌａ−ｌｂ）
が、保護層３０５から放出される二次電子の電荷Ｉｅに
相当する。よって、コントロール部４５０では、電荷量
測定器３２５での測定値Ｉａ及び電荷量測定器４２５で
の測定値Ｉｂから、保護層３０５のγ係数を算出するこ
とができる。γ＝（ｌａ−ｌｂ）／Ｉｂ。

【００８９】図１４は、１回の火花放電で照射されるイ
オンによって、測定試料（フロントパネル３０１）の電
極及びリファレンス（比較プレート４０１）の電極に流
れる電流の時間的変化を示すグラフであって、各々の電
流の積分値（各グラフの示す面積）が、測定試料に供給
される電荷量Ｉａ及びリファレンスに供給される電荷量
Ｉｂに相当する。

【００９０】本実施の形態においても、実施の形態２と
同様、各電極３０３と対向する領域ごとに保護層３０５
のγ係数を測定することもできるし、保護層３０５全体
についてのγ係数を測定することもできる。また、本実
施の形態の測定方法では、火花放電によってイオンを発
生し照射するごとに、比較プレートと比較を行いながら
測定しているため、仮に火花放電ごとに発生するイオン
量にバラツキが生じたとしても、測定結果がそれに左右
されにくい。従って、実施の形態２と比べてより正確な
測定が可能である。

【００９１】〔実施の形態４〕図１５は、本実施の形態
にかかるγ係数測定装置の構成を示す摸式図であって、
図９と共通の構成要素には同一の番号を付してある。こ
のγ係数測定装置５００は、上記実施の形態２のγ係数
測定装置３００と同様の構成であるが、真空容器３１０
の中には、放電電極３３０の火花放電で発生しフロント
パネル３０１の方に流れてくるイオン量を測定するため
のイオン計測器５０１が設けられている。

【００９２】イオン計測器５０１の具体例としては、フ
ァラデーカップを挙げることができる。本実施の形態に
おいても、火花放電ごとに発生するイオン量にバラツキ
が生じたとしても、コントロール部５５０は、イオン計
測器５０１からの出力信号（イオン量）に基づいて火花
放電ごとのイオン発生量を測定できるので、バラツキを
抑える補正を行うことができる。

【００９３】具体的には、コントロール部５５０は、実
施の形態２で説明したように、予め標準試料を用いてイ
オンの電荷Ｉｉを測定し記憶しておくが、その測定時の
イオン計測器５０１の出力Ｓａも記憶しておく。そし
て、フロントパネル３０１についてイオンの電荷Ｉを測
定するときに、イオン計測器５０１の出力Ｓｂを読み取
り、Ｓａ・Ｉ＝Ｓｂ・Ｉｉ（１＋γ）の式に基づいてγ
を算出する。

【００９４】〔実施の形態５〕図１６は、本実施の形態
にかかるγ係数測定装置の構成を示す概略斜視図であっ
て、図７と共通の構成要素には同一の番号を付してあ
る。このγ係数測定装置６００は、実施の形態４のγ係
数測定装置５００と同様の構成であるが、γ係数測定装
置５００では放電電極３３０が支持台３２０の上方に固
定されていたのに対して、γ係数測定装置６００では、
放電電極６３０が支持台３２０の表面近くにあって、図
示しない走査手段によって、フロントパネル３０１の表
面に沿って平行移動可能な状態で支持されている（図１
６の太線矢印の方向に移動可能）。

【００９５】この放電電極６３０は、放電電極３３０と
同様のものであるが、絶縁性の材料（例えばセラミッ
ク）からなる遮蔽枠板６３１で周囲が覆われており、当
該遮蔽枠板６３１は放電電極６３０と一体で移動するよ
うになっている。遮蔽枠板６３１には、放電電極６３０
の直下に小さな矩形の窓６３２が開設されている。この
窓６３２は、フロントパネル３０１の保護層３０５に近
接しており、放電電極６３０における火花放電によって
イオンが発生すると、保護層３０５の窓６３２と対向す
る領域にのみイオンが垂直に照射される。

【００９６】また、遮蔽枠板６３１内の窓６３２の横に
は、イオン計測器６０１が設けられ、イオン計測器６０
１からの信号によってコントロール部では、火花放電ご
とのイオン発生量を測定できるようになっている。この
イオン計測器６０１としては、実施の形態４で述べたイ
オン計測器５０１と同様のものを用いてもよいし、或は
実施の形態２で説明した標準試料の小型のものを作製
し、その電極に電圧印加部３２３で負電位を印加しなが
らこれに供給される電荷量を測定するようにしてもよ
い。

【００９７】このようなγ係数測定装置６００によれ
ば、保護層３０５の任意の小さな矩形領域について、γ
係数を測定することが可能である。即ち、選択回路３２
１と同様の選択回路に指示して、測定しようとする矩形
領域を通る電極に対してだけ負電位の印加を行うと共
に、上記走査手段に指示して、窓６３２が当該矩形領域
と対向するように、放電電極６３０及び遮蔽枠板６３１
を移動させる。そして、実施の形態４で説明したよう
に、放電回路部３３２を駆動して火花放電を起こし、こ
の矩形領域にイオンを照射しながら、電圧印加部３２３
から供給される電荷量を測定すれば、この矩形領域につ
いての保護層３０５のγ係数を測定することができる。

【００９８】また、放電電極６３０からイオンが照射さ
れる矩形領域までの距離は、ほぼ一定に保たれるので、
各矩形領域ごとに略同様のイオンの照射形態を保つこと
ができる。即ち、火花放電ごとのイオン発生量が一定で
あるなら、各矩形領域ごとに略同条件条件でイオンの照
射がなされることになる。また、火花放電ごとのイオン
発生量のバラツキについては、上記実施の形態４と同様
にして、イオン計測器６０１の出力を用いて補正するこ
とができる。

【００９９】本実施形態の測定方法によれば、保護層３
０５の表面全体を多数の矩形領域に分割して、このよう
な操作を各矩形領域ごとに順に行って各矩形領域ごとの
γ係数を測定すれば、保護層３０５全体についての矩形
領域ごとのγ係数の分布を測定することができるので、
保護層についてのより精密な評価を行うことができる。

【０１００】また、窓６３２を、ＰＤＰの画素に相当す
るように小さく設定すれば、画素ごとのγ係数の分布を
測定することも可能である。 （実施の形態２〜５についての変形例など）なお、上記
実施の形態２〜５では、真空容器内を減圧にした状態で
放電ガスを封入して測定する例を示したが、必ずしも減
圧状態で測定するものとは限られず、常圧或は加圧の状
態で放電ガスを封入して測定することも可能である。

【０１０１】また、上記実施の形態２〜５では、ガス中
で火花放電を起こすことによりイオンを発生させたが、
イオンを発生させる手段としては、この他にガスに光束
を照射することによってイオンを発生させても良い。こ
の光束としては、ガスの原子の特性波長の光束、特に紫
外側に比較的断面積の大きいラインを有する光（レーザ
光）を照射することが好ましい。例えば、レーザ光発振
装置で発生させたレーザ光を、光ファイバでイオンを発
生しようとする位置に導き、ガスに照射すればよい。こ
こで、レンズで集光してガスに照射すれば、小さな領域
内で集中的にイオンを発生できるので、測定精度を上げ
ることができる。

【０１０２】また、上記実施の形態２〜５では、ＰＤＰ
の誘電体層の表面に保護層が配されたフロントパネルに
ついて、当該保護層表面のγ係数を測定する例を示した
が、誘電体層に保護層が配されていない場合において
も、同様にして誘電体層表面のγ係数を測定することが
できる。例えば、保護層が形成される前のフロントパネ
ルについて、或は電極上にＭｇＯからなる誘電体層が形
成されているフロントパネルについて、同様に誘電体層
表面のγ係数を測定することができる。

【０１０３】更に、本発明は、ＰＤＰ用のパネルのみな
らず、以下のようにして、一般的な材料についてγ係数
を測定するのに適用することができる。図１７（ａ）に
示すように、電極（例えば金属板、導電性材料の板、金
属の薄膜電極）の上に誘電体層を設け、γ係数測定対象
の材料からなる試料層をその誘電体層の上に配設して、
電極に負電位を印加しながら試料層の表面にイオンを照
射し、そのときに、電極に供給される電荷量を測定す
る。

【０１０４】一方、電極の上に誘電体層を設け、γ係数
が既知の材料からなる比較材料層を誘電体層の上に配設
して、上記と同じ条件で電極に負電位を印加しながら比
較材料層の表面にイオンを照射し、そのときに、電極に
供給される電荷量を測定する。そして、試料層を配設し
たときに電極に供給される電荷量と、比較材料層を配設
したときに電極に供給される電荷量とからγ係数を算出
する。

【０１０５】ここで、γ係数測定対象の材料自体が誘電
体としての性質を持つものである場合は、図１７（ｂ）
のように、電極の上に、γ係数測定対象の材料からなる
試料層を形成して、同様に測定すればよい。このような
一般的な材料についてのγ係数の測定においても、上述
したようにファラデーカップなどの粒子測定器を設けて
イオンの照射量を測定したり、あるいはγ係数が既知の
標準試料を並べて測定する方法を用いれば、より正確な
測定を行うことができる。

【０１０６】また、真空容器の中に封入するガスの種類
は、ＰＤＰ用の放電ガスに用いられるもの限られず、例
えば、酸素、水素、窒素などを用いてもよい。

【０１０７】

【発明の効果】以上のように、本発明は、放電開始電圧
や放電維持電圧といったガス放電パネルの評価項目を測
定する評価装置並びに評価方法において、ガス放電パネ
ルに放電パルスを供給するときに、評価項目に応じて定
められている特性が所定の条件を満たすか否かを経時的
に判定し、条件を満たすと判定した時点での評価項目に
関連する特性を記録するようにしたことによって、ガス
放電パネルの評価を短時間で行うことができ、且つ、測
定者に対する負担が少なく、測定者による評価のばらつ
きも少なくすることができる。

【０１０８】そして、評価しようとするガス放電パネル
が複数の放電セルを備える場合、各放電セルに１つ以上
の放電パルスを順次供給しながら測定を行えば、放電セ
ルごとに性能の評価を行うことができる。この場合、パ
ネル内における放電セルの性能の分布を調べることがで
き、それにより、パネルにとって最適な駆動電圧を得る
こともできる。更に、最も性能の悪い放電セルの特性か
ら、最低必要な駆動電圧も求めることができるので、そ
れによってパネルの寿命を予測することも可能である。

【０１０９】また、このような本発明によるパネル評価
方法に基づいて、ガス放電パネルの評価基準の統一化を
図ることも可能と考えられる。また、本発明では、プレ
ート基板上に電極及び当該電極を覆う誘電体層が配設さ
れたガス放電パネル用プレートを、誘電体層の表面にガ
スを接触させた状態で、当該誘電体層の表面の二次電子
放出係数を計測するようにすることによって、測定した
γ係数からガス放電パネルの性能を従来の方法より正確
に評価することを可能とした。

【０１１０】ここで、二次電子放出係数の計測は、ガス
封入容器に、ガス放電パネル用プレートを収納すると共
にガスを封入し、ガス封入容器内でイオンを発生させて
誘電体層の表面に照射し、誘電体層表面にイオンが照射
されるときに、電荷供給源から電極に供給される電荷量
を測定することによって、自動的に高速で測定すること
が可能である。

【０１１１】ここで、ガス放電パネル用プレートと共に
その比較プレートを用いれば、あるいは、イオン計測装
置で誘電体層の表面に照射されるイオン量を測定すれ
ば、より正確なγ係数の測定が可能となる。また、ガス
放電パネル用プレートの電極が、ストライプ状に配設さ
れた複数のライン電極部からなる場合、電荷供給源から
電荷供給するライン電極部を選択し、選択されたライン
電極部に供給される電荷量を測定すれば、各ライン電極
部に対向する領域ごとのγ係数の分布を測定することが
できる。

【０１１２】また、誘電体層の表面の一部の領域にイオ
ンを照射するようにすれば、誘電体層表面の中で、照射
領域についてのγ係数を測定することができる。更に、
誘電体層の表面におけるイオンの照射領域を変更しなが
ら行えば、照射領域ごとのγ係数の分布を測定すること
ができる。また、本発明では、試料の表面のγ係数を測
定するのに、試料をガス封入容器の内部に収納すると共
に、試料に電荷供給源から電荷供給が可能な状態とし、
ガス封入容器内でイオンを発生させて試料の表面に照射
し、イオンが試料に照射されるときに、試料に電荷供給
源から供給される電荷量を測定するようにし、これによ
って、ガス雰囲気下における試料表面のγ係数を求める
ことを可能とした。

【０１１３】このような評価方法をガス放電パネルの製
造方法に応用して、電極及び当該電極を覆う誘電体層が
設けられた第１プレートを作製し、ガス封入容器の内部
に第１プレートを収納すると共に、電荷供給源から電極
に電荷供給を可能な状態とし、ガス封入容器内でイオン
を発生させて誘電体層の表面に照射し、イオンが照射さ
れるときに、電極に電荷供給源から供給される電荷量を
測定する。そして、その測定結果に基づいて、第１プレ
ートの良否判定を行い、判定結果が良好な第１プレート
と、第２プレートとを積層させると共に放電ガスを封入
するようにすれば、歩留りのよいガス放電パネルの製造
を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態に係るパネル評価装置の構
成、並びにその使用状態を示す図である。

【図２】上記実施の形態で用いるガス放電パネルの要部
組み立て図である。

【図３】上記ガス放電パネルにおける、表示電極２ａ，
２ｂ及びアドレス電極６のラインパターンの配線を示す
図である。

【図４】放電パルス供給装置から表示電極に対して印加
される放電パルスの電圧波形を示すグラフである。

【図５】図４に示される放電パルスの１つの電圧波形
を、時間ｔ方向に引き伸ばしたグラフ、並びに、１つの
放電パルスが印加されている期間における電流の波形を
示すグラフである。

【図６】図５の電圧及び電流を高感度で測定したときの
波形を示すグラフである。

【図７】実施の形態２に係るγ係数測定装置の概略斜視
図である。

【図８】図７の要部組立図である。

【図９】図７の装置構成を示す摸式図である。

【図１０】γ係数測定装置のパネルにおける電荷の出入
りを摸式的に示す図である。

【図１１】実施の形態２における実験結果を示す特性図
である。

【図１２】実施の形態２にかかる変形例を示す図であ
る。

【図１３】実施の形態３にかかるγ係数測定装置の構成
を示す摸式図である。

【図１４】１回の火花放電で照射されるイオンによっ
て、測定試料の電極及びリファレンスの電極に流れる電
流の時間的変化を示すグラフである。

【図１５】実施の形態４にかかるγ係数測定装置の構成
を示す摸式図である。

【図１６】実施の形態５にかかるγ係数測定装置の構成
を示す概略斜視図である。

【図１７】実施の形態に基づき一般的な材料についてγ
係数を測定する場合の説明図である。

【符号の説明】

２ａ，２ｂ 表示電極 ３ 誘電体ガラス層 ４ 保護層 ６ アドレス電極 １０ パネル評価装置 １１ 電圧測定器 １２ 電流電圧変換器 １３ 電圧記録器 １４ バンドパスフィルタ １５ ロックインアンプ １６ コンパレータ １７ 信号発生器 １８ ピークホールド回路 １９ コンパレータ ２０ 信号発生器 １００ 放電パルス供給装置 ２００ ガス放電パネル ３００ γ係数測定装置 ３０１ フロントパネル ３０３ 電極 ３０４ 誘電体層 ３０５ 保護層 ３１０ 真空容器 ３２０ 支持台 ３２１ 選択回路 ３２３ 電圧印加部 ３２４ 電源 ３２５ 電荷量測定器 ３３０ 放電電極 ３４０ 導電板 ４００ γ係数測定装置 ４０１ 比較プレート ５００ γ係数測定装置 ５０１ イオン計測器 ６００ γ係数測定装置 ６０１ イオン計測器 ６３０ 放電電極 ６３１ 遮蔽枠板 ６３２ 窓

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 佐々木 良樹 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 安井 秀明 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 工藤 眞壽 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内

Claims (50)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ガス放電パネルの性能を評価するため所
   定の評価項目について測定を行う評価装置であって、 放電パルス供給手段がガス放電パネルに放電パルスを供
   給するときに、上記評価項目に応じて定められている特
   性が所定の条件を満たすか否かを経時的に判定する経時
   判定手段と、 前記経時判定手段が条件を満たすと判定した時点での上
   記評価項目に関連する特性を記録する特性記録手段とを
   備えることを特徴とするガス放電パネル用評価装置。
2. 【請求項２】 前記所定の評価項目は、放電開始電圧で
   あって、 前記経時判定手段は、 前記放電パルス供給手段がガス放電パネルに供給する放
   電パルスに伴って生じる電圧及び電流の波形の特徴が、
   所定の条件を満たすか否かを経時的に判定し、 前記特性記録手段は、 前記前記経時判定手段が条件を満たすと判定した時点で
   前記放電パルス供給手段が供給する電圧を記録すること
   を特徴とする請求項１記載のガス放電パネル用評価装
   置。
3. 【請求項３】 前記経時判定手段は、 前記放電パルス供給手段がガス放電パネルに供給する放
   電パルスに伴って生じる電圧及び電流の振動の位相差
   が、所定の基準以上に変化したか否かを経時的に判定す
   ることを特徴とする請求項２記載のガス放電パネル用評
   価装置。
4. 【請求項４】 前記所定の評価項目は、放電維持電圧で
   あって、 前記経時判定手段は、 前記放電パルス供給手段がガス放電パネルに供給する電
   流が、１つの放電パルスが供給されている期間内で最大
   値に到達した後に初めて０となったか否かを経時的に判
   定し、 前記特性記録手段は、 前記経時判定手段が条件を満たすと判定した時点で前記
   放電パルス供給手段が供給する電圧を記録することを特
   徴とする請求項１記載のガス放電パネル用評価装置。
5. 【請求項５】 前記ガス放電パネルは、複数の放電セル
   を備えるものであって、 前記放電パルス供給手段は、 各放電セルに１つ以上の放電パルスを順次供給すること
   を特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のガス放電
   パネル用評価装置。
6. 【請求項６】 ガス放電パネルの性能を評価するため所
   定の項目についての測定を行う評価方法であって、 ガス放電パネルに放電パルスを供給する放電パルス供給
   ステップと、 放電パルス供給ステップで放電パルスを供給するとき
   に、上記評価項目に応じて定められている特性が所定の
   条件を満たすか否かを経時的に判定する経時判定ステッ
   プと、 前記経時判定ステップで条件を満たすと判定した時点で
   の上記評価項目に関連する特性を記録する特性記録ステ
   ップとを備えることを特徴とするガス放電パネル用評価
   方法。
7. 【請求項７】 前記所定の評価項目は、放電開始電圧で
   あって、 前記経時判定ステップでは、 ガス放電パネルに供給する放電パルスに伴って生じる電
   圧及び電流の波形の特徴が、所定の条件を満たすか否か
   を経時的に判定し前記特性記録ステップでは、 前記経時判定サブステップで条件を満たすと判定した時
   点でのガス放電パルスへの供給電圧を記録することを特
   徴とする請求項６記載のガス放電パネル用評価方法。
8. 【請求項８】 前記経時判定サブステップでは、 ガス放電パネルに供給する放電パルスに伴って生じる電
   圧及び電流の振動の位相差が、所定の基準以上に変化し
   たか否かを経時的に判定することを特徴とする請求項７
   記載のガス放電パネル用評価装置。
9. 【請求項９】 前記所定の評価項目は、放電維持電圧で
   あって、 前記経時判定ステップでは、 前記放電パルス供給ステップにおいてガス放電パネルに
   供給する電流が、１つの放電パルスが供給されている期
   間内で最大値に到達した後に初めて０となったか否かを
   経時的に判定し、 前記特性記録ステップでは、 前記経時判定手段が条件を満たすと判定した時点でのガ
   ス放電パネルへの供給電圧を記録することを特徴とする
   請求項６記載のガス放電パネル用評価方法。
10. 【請求項１０】 前記ガス放電パネルは、複数の放電セ
    ルを備えるものであって、 前記放電パルス供給ステップでは、 各放電セルに１つ以上の放電パルスを順次供給すること
    を特徴とする請求項６〜９のいずれか１項に記載のガス
    放電パネル用評価方法。
11. 【請求項１１】 プレート基板上に電極及び当該電極を
    覆う誘電体層が配設されたガス放電パネル用プレートを
    評価するためのガス放電パネル用評価装置であって、 内部に前記ガス放電パネル用プレートを収納すると共
    に、ガスを封入することのできるガス封入容器と、 前記ガス封入容器内でイオンを発生させて前記誘電体層
    の表面に照射するイオン照射手段と、 前記電極に電荷を供給する電荷供給源と、 前記イオン照射手段により誘電体層表面にイオンが照射
    されるときに、前記電極に電荷供給源から供給される電
    荷量を測定する電荷測定手段とを備えることを特徴とす
    るガス放電パネル用評価装置。
12. 【請求項１２】 前記イオン照射手段は、 前記ガス封入容器内のガスを電離させることによりイオ
    ンを発生させるイオン発生部を備えることを特徴とする
    請求項１１記載のガス放電パネル用評価装置。
13. 【請求項１３】 前記イオン発生部は、 前記ガス封入容器内で火花放電を発生させてガスを電離
    させることによりイオンを発生させることを特徴とする
    請求項１２記載のガス放電パネル用評価装置。
14. 【請求項１４】 前記イオン発生部は、 前記ガス封入容器内でガスに光束を照射して電離させる
    ことによりイオンを発生させることを特徴とする請求項
    １２記載のガス放電パネル用評価装置。
15. 【請求項１５】 前記イオン照射手段は、 発生するイオンを加速して前記誘電体層表面に衝突させ
    る加速機構を備えることを特徴とする請求項１１〜１４
    のいずれかに記載のガス放電パネル用評価装置。
16. 【請求項１６】 前記加速機構は、 イオン照射手段で発生するイオンを引きつけるよう前記
    電極に負電位を印加する印加部を備え、 当該印加部は、 前記電荷供給源を兼ねることを特徴とする請求項１５記
    載のガス放電パネル用評価装置。
17. 【請求項１７】 前記加速機構は、 前記ガス放電パネル用プレート側から見て前記イオン発
    生部の後方に、当該ガス放電パネル用プレートと平行に
    設けられた導電板を備えることを特徴とする請求項１６
    記載のガス放電パネル用評価装置。
18. 【請求項１８】 前記ガス封入容器内に、 前記イオン照射手段が前記誘電体層表面に照射するイオ
    ンの量を測定するイオン計測装置を備えることを特徴と
    する請求項１５〜１７のいずれかに記載のガス放電パネ
    ル用評価装置。
19. 【請求項１９】 前記ガス封入容器は、 その内部に前記ガス放電パネル用プレートと共に比較試
    料を収納し、 前記イオン照射手段は、 前記ガス封入容器内でイオンを発生させて前記誘電体層
    の表面と共に前記比較試料の表面に照射し、 前記電荷供給源は、 前記電極と共に前記比較試料に電荷を供給することがで
    き、 前記電荷測定手段は、 前記イオン照射手段により誘電体層表面にイオンが照射
    されるときに、前記電極に電荷供給源から供給される電
    荷及び前記比較試料に電荷供給源から供給される電荷量
    を測定することを特徴とする請求項１１〜１８のいずれ
    かに記載のガス放電パネル用評価装置。
20. 【請求項２０】 前記イオン照射手段で発生するイオン
    を引きつけるよう前記電極と比較試料とに負電位を印加
    する印加部を備え、 当該印加部は、 前記電荷供給源を兼ねることを特徴とする請求項１９記
    載のガス放電パネル用評価装置。
21. 【請求項２１】 前記ガス放電パネル用プレートの電極
    は、 プレート基板上にストライプ状に配設された複数のライ
    ン電極部からなり、 前記電荷測定手段は、 前記電荷供給源から電荷供給するライン電極部を選択す
    る選択部を備え、選択されたライン電極部に供給される
    電荷量を測定することを特徴とする請求項１１〜２０の
    いずれかに記載のガス放電パネル用評価装置。
22. 【請求項２２】 前記イオン照射手段は、 前記誘電体層の表面の一部の領域にイオンを照射するこ
    とを特徴とする請求項１１〜２１のいずれかに記載のガ
    ス放電パネル用評価装置。
23. 【請求項２３】 前記イオン照射手段は、 前記ガス封入容器内のガスを電離させることによりイオ
    ンを発生させるイオン発生部と、 前記イオン発生部で発生したイオンが、前記領域以外の
    前記誘電体層表面に照射されるのを防止する遮蔽部とを
    備えることを特徴とする請求項２２記載のガス放電パネ
    ル用評価装置。
24. 【請求項２４】 前記イオン照射手段は、 前記誘電体層の表面におけるイオンの照射領域を変更す
    る照射領域変更機構を備えていることを特徴とする請求
    項２２または２３記載のガス放電パネル用評価装置。
25. 【請求項２５】 前記照射領域変更機構は、 前記イオン発生部及び前記遮蔽部を、前記誘電体層の表
    面に沿って移動させることによってイオンの照射領域を
    変更することを特徴とする請求項２４記載のガス放電パ
    ネル用評価装置。
26. 【請求項２６】 前記ガス封入容器には、 当該ガス封入容器を減圧にする減圧手段が設けられてい
    ることを特徴とする請求項１１〜２５のいずれかに記載
    のガス放電パネル用評価装置。
27. 【請求項２７】 前記ガス放電パネル用プレートは、 誘電体層の表面に保護層が配設されていることを特徴と
    する請求項１１〜２６のいずれかに記載のガス放電パネ
    ル用評価装置。
28. 【請求項２８】 プレート基板上に電極及び当該電極を
    覆う誘電体層が配設されたガス放電パネル用プレートを
    評価するためのガス放電パネル用評価方法であって、 ガス封入容器の内部に前記ガス放電パネル用プレートを
    収納すると共に、前記電極に電荷供給源から電荷供給が
    可能な状態にする収納ステップと、 前記ガス封入容器内でイオンを発生させて前記誘電体層
    の表面に照射するイオン照射ステップと、 前記イオン照射ステップでイオンが誘電体層表面に照射
    されるときに、前記電極に電荷供給源から供給される電
    荷量を測定する電荷測定ステップとを備えることを特徴
    とするガス放電パネル用評価方法。
29. 【請求項２９】 前記イオン照射ステップでは、 前記ガス封入容器内のガスを電離させることによりイオ
    ンを発生させることを特徴とする請求項２８記載のガス
    放電パネル用評価方法。
30. 【請求項３０】 前記イオン照射ステップでは、 前記ガス封入容器内で火花放電を発生させてガスを電離
    させることによりイオンを発生させることを特徴とする
    請求項２９記載のガス放電パネル用評価方法。
31. 【請求項３１】 前記イオン照射ステップでは、 前記ガス封入容器内でガスに光束を照射して電離させる
    ことによりイオンを発生させることを特徴とする請求項
    ２９記載のガス放電パネル用評価方法。
32. 【請求項３２】 前記イオン照射ステップは、 発生するイオンを加速して前記誘電体層表面に衝突させ
    ることを有することを特徴とする請求項２８〜３１のい
    ずれかに記載のガス放電パネル用評価方法。
33. 【請求項３３】 前記イオン照射ステップ及び電荷測定
    ステップでは、 発生するイオンを引きつけるよう前記電極に負電位を印
    加することを特徴とする請求項３２記載のガス放電パネ
    ル用評価方法。
34. 【請求項３４】 前記ガス放電パネル用プレートと同様
    の構造の比較試料について、前記収納ステップ、イオン
    照射ステップ及び電荷測定ステップと同様のステップを
    行うことにより電荷供給源から供給される電荷量を測定
    する比較試料測定ステップと、 前記ガス放電パネル用プレートについて電荷測定ステッ
    プで測定した結果と、 前記比較試料について比較試料測定ステップで測定した
    結果とを比較することによって、前記誘電体層の表面の
    二次電子放出係数を算出する係数算出ステップとを備え
    ることを特徴とする請求項２８〜３３のいずれかに記載
    のガス放電パネル用評価方法。
35. 【請求項３５】 前記イオン照射ステップにおいて前記
    誘電体層表面に照射されるイオンの量を測定するイオン
    計測ステップを備えることを特徴とする請求項２８〜３
    ３のいずれかに記載のガス放電パネル用評価方法。
36. 【請求項３６】 前記収納ステップでは、 前記ガス封入容器の内部に前記ガス放電パネル用プレー
    トと共に比較プレートを収納し、 前記電極と共に前記比較プレートに電荷供給源から電荷
    供給が可能な状態にし、 前記イオン照射ステップでは、 前記ガス封入容器内でイオンを発生させて前記誘電体層
    の表面と共に前記比較試料の表面に照射し、 前記電荷測定ステップでは、 前記イオン照射ステップでイオンが誘電体層表面に照射
    されるときに、前記電極に供給される電荷及び前記比較
    プレートに供給される電荷量を測定することを特徴とす
    る請求項２８〜３３のいずれかに記載のガス放電パネル
    用評価方法。
37. 【請求項３７】 前記イオン照射ステップ及び電荷測定
    ステップでは、 発生するイオンを引きつけるよう前記電極と比較プレー
    トとに負電位を印加することを特徴とする請求項３６記
    載のガス放電パネル用評価方法。
38. 【請求項３８】 前記ガス放電パネル用プレートの電極
    は、 プレート基板上にストライプ状に配設された複数のライ
    ン電極部からなり、 前記電荷測定ステップでは、 電荷供給源から電荷供給するライン電極部を選択し、選
    択されたライン電極部に供給される電荷量を測定するこ
    とを特徴とする請求項２８〜３７のいずれかに記載のガ
    ス放電パネル用評価方法。
39. 【請求項３９】 前記イオン照射ステップでは、 前記誘電体層の表面の一部の領域にイオンを照射するこ
    とを特徴とする請求項２８〜３８のいずれかに記載のガ
    ス放電パネル用評価方法。
40. 【請求項４０】 前記イオン照射ステップでの前記誘電
    体層の表面に対するイオンの照射領域を変更する照射領
    域変更ステップを備えることを特徴とする請求項３９記
    載のガス放電パネル用評価方法。
41. 【請求項４１】 前記収納ステップでは、 ガス封入容器内にガスを封入するガス封入サブステップ
    を備えることを特徴とする請求項２８〜４０のいずれか
    に記載のガス放電パネル用評価方法。
42. 【請求項４２】 前記収納ステップでは、 ガス封入容器内を減圧にする減圧サブステップを備える
    ことを特徴とする請求項４１記載のガス放電パネル用評
    価方法。
43. 【請求項４３】 プレート基板上に電極及び当該電極を
    覆う誘電体層が配設されたガス放電パネル用プレートを
    評価するためのガス放電パネル用評価方法であって、 前記ガス放電パネル用プレートの誘電体層の表面にガス
    を接触させた状態で、当該誘電体層の表面の二次電子放
    出係数を計測する二次電子放出係数計測ステップを備
    え、 前記二次電子放出係数計測ステップでの計測結果に基づ
    いて前記ガス放電パネル用プレートを評価することを特
    徴とするガス放電パネル用評価方法。
44. 【請求項４４】 前記二次電子放出係数計測ステップで
    は、 前記ガス放電パネル用プレートの誘電体層の表面にガス
    を接触させた状態で、当該誘電体層の表面を分割した領
    域毎に二次電子放出係数を計測することを特徴とする請
    求項４３記載のガス放電パネル用評価方法。
45. 【請求項４５】 前記ガス放電パネル用プレートは、 誘電体層の表面に保護層が配設されていることを特徴と
    する請求項２８〜４４のいずれかに記載のガス放電パネ
    ル用評価方法。
46. 【請求項４６】 測定試料の表面の二次電子放出率を測
    定する方法であって、 電極上に前記測定試料の層を配設した状態でガス封入容
    器の内部に収納すると共に、前記電極に電荷供給源から
    電荷供給が可能な状態とする収納ステップと、 前記ガス封入容器内でイオンを発生させて前記試料の層
    表面に照射するイオン照射ステップと、 前記イオン照射ステップでイオンが測定試料表面に照射
    されるときに、前記電極に電荷供給源から供給される電
    荷量を測定する電荷測定ステップとを備えることを特徴
    とする二次電子放出率測定方法。
47. 【請求項４７】 前記収納ステップは、 前記測定試料を誘電体層を介して前記電極上に配設した
    状態でガス封入容器の内部に収納することを特徴とする
    請求項４６記載の二次電子放出率測定方法。
48. 【請求項４８】 比較試料について、前記収納ステッ
    プ、イオン照射ステップ及び電荷測定ステップと同様の
    ステップを行うことにより電荷供給源から供給される電
    荷量を測定する比較試料測定ステップと、 前記測定試料について電荷測定ステップで測定した結果
    と、前記比較試料について比較試料測定ステップで測定
    した結果とを比較することによって、前記測定試料の表
    面の二次電子放出係数を算出する係数算出ステップとを
    備えることを特徴とする請求項４６または４７記載の二
    次電子放出率測定方法。
49. 【請求項４９】 前記イオン照射ステップにおいて前記
    測定試料表面に照射されるイオンの量を測定するイオン
    計測ステップを備えることを特徴とする請求項４６また
    は４７記載の二次電子放出率測定方法。
50. 【請求項５０】 電極及び当該電極を覆う誘電体層が設
    けられた第１プレートを作製する第１プレート作製ステ
    ップと、 ガス封入容器の内部に前記第１プレートを収納すると共
    に、前記電荷供給源から電極に電荷供給を可能な状態と
    する収納ステップと、 前記ガス封入容器内でイオンを発生させて前記誘電体層
    の表面に照射するイオン照射ステップと、 前記イオン照射ステップでイオンが照射されるときに、
    前記電極に電荷供給源から供給される電荷量を測定する
    電荷測定ステップと、 前記電荷測定ステップでの測定結果に基づいて、第１プ
    レートの良否判定を行う判定ステップと、 前記判定ステップでの判定結果が良好な第１プレート
    と、第２プレートとを積層させると共に放電ガスを封入
    するパネル組立ステップとからなることを特徴とするガ
    ス放電パネルの製造方法。