JPH1174789A - A/d converter measuring device - Google Patents

A/d converter measuring device

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JPH1174789A
JPH1174789A JP23437797A JP23437797A JPH1174789A JP H1174789 A JPH1174789 A JP H1174789A JP 23437797 A JP23437797 A JP 23437797A JP 23437797 A JP23437797 A JP 23437797A JP H1174789 A JPH1174789 A JP H1174789A
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JP
Japan
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converter
voltage
error
output
transition voltage
Prior art date
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Application number
JP23437797A
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Japanese (ja)
Inventor
Akio Ota
明男 太田
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Rohm Co Ltd
Original Assignee
Rohm Co Ltd
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Filing date
Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an A/D converter measuring device capable of exactly measuring an integral nonlinearity error and/or a differential nonlinearity error of an A/D converter. SOLUTION: The A/D converter measuring device to measure the integral nonlinearity error and/or the differential nonlinearity error of the A/D converter is provided with a D/A converter 1 to supply inputted voltage to the A/D converter 15 as an object to be measured and to vary the inputted voltage and a CPU 5 to discriminate zero transition voltage and full transition voltage of the A/D converter 15 based on relation between the inputted voltage supplied from the D/A converter 1 and an output code of the A/D converter 15 and to calculate the integral nonlinearity error and/or the differential nonlinearity error by every output code of the A/D converter 15 from values of the zero transition voltage and the full transition voltage and the number of bits of the A/D converter 15.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本願発明は、A/Dコンバー
タの特性を測定するA/Dコンバータ測定装置に関す
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an A / D converter measuring device for measuring characteristics of an A / D converter.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来のA/Dコンバータ測定装置は、図
4に示すように、基準D/Aコンバータ21,22、お
よび演算増幅器23を備えており、測定対象としてのA
/Dコンバータ25を基準D/Aコンバータ21と基準
D/Aコンバータ22との間に接続する構成であった。
このA/Dコンバータ測定装置においては、LSIテス
タからの入力データが基準D/Aコンバータ21により
アナログ電圧に変換され、そのアナログ電圧がA/Dコ
ンバータ25によりディジタルデータに変換され、その
ディジタルデータが基準D/Aコンバータ22によりア
ナログ電圧に変換されて、そのアナログ電圧と基準D/
Aコンバータ21からのアナログ電圧との差が差動アン
プを構成する演算増幅器23により増幅されて、積分非
直線性誤差として出力される。A/Dコンバータ25の
測定に際しては、基準D/Aコンバータ21がたとえば
12ビットの場合、LSIテスタからの入力データを0
00(H)からFFF(H)まで順次変化させ、そのと
きの基準D/Aコンバータ21の出力と基準D/Aコン
バータ22の出力との差をモニタする。
2. Description of the Related Art As shown in FIG. 4, a conventional A / D converter measuring apparatus includes reference D / A converters 21 and 22 and an operational amplifier 23, and an A / D converter as an object to be measured.
The configuration is such that the / D converter 25 is connected between the reference D / A converter 21 and the reference D / A converter 22.
In this A / D converter measuring device, input data from an LSI tester is converted into an analog voltage by a reference D / A converter 21, and the analog voltage is converted into digital data by an A / D converter 25, and the digital data is converted. The reference voltage is converted into an analog voltage by the reference D / A converter 22, and the analog voltage and the reference D / A
The difference from the analog voltage from the A converter 21 is amplified by the operational amplifier 23 constituting the differential amplifier, and is output as an integral nonlinearity error. In the measurement of the A / D converter 25, when the reference D / A converter 21 has, for example, 12 bits, the input data from the LSI tester is set to 0.
The output is sequentially changed from 00 (H) to FFF (H), and the difference between the output of the reference D / A converter 21 and the output of the reference D / A converter 22 at that time is monitored.

【0003】また、別の従来のA/Dコンバータ測定装
置として、図5に示すように、基準D/Aコンバータ3
1、ディジタルコンパレータ32、および基準A/Dコ
ンバータ33を備え、測定対象としてのA/Dコンバー
タ35を基準D/Aコンバータ31とディジタルコンパ
レータ32との間に接続する構成のものが知られてい
る。このA/Dコンバータ測定装置においては、LSI
テスタからの入力データが基準D/Aコンバータ31に
よりアナログ電圧に変換され、そのアナログ電圧がA/
Dコンバータ35によりディジタルデータに変換される
とともに、基準A/Dコンバータ33によりディジタル
データに変換され、それらディジタルデータがディジタ
ルコンパレータ32により比較され、積分非直線性誤差
が出力される。A/Dコンバータ35の測定に際して
は、基準D/Aコンバータ31がたとえば12ビットの
場合、LSIテスタからの入力データを000(H)か
らFFF(H)まで順次変化させ、そのときのA/Dコ
ンバータ35の出力と基準A/Dコンバータ33の出力
との差をモニタする。
As another conventional A / D converter measuring device, as shown in FIG.
1, a digital comparator 32 and a reference A / D converter 33 are known, and an A / D converter 35 to be measured is connected between the reference D / A converter 31 and the digital comparator 32. . In this A / D converter measuring device, an LSI
The input data from the tester is converted into an analog voltage by the reference D / A converter 31, and the analog voltage is converted to an analog voltage.
The data is converted into digital data by the D converter 35, and is also converted into digital data by the reference A / D converter 33. The digital data is compared by the digital comparator 32, and an integral nonlinearity error is output. In the measurement of the A / D converter 35, when the reference D / A converter 31 has, for example, 12 bits, the input data from the LSI tester is sequentially changed from 000 (H) to FFF (H), and the A / D at that time is changed. The difference between the output of the converter 35 and the output of the reference A / D converter 33 is monitored.

【0004】しかし、上記のような従来のA/Dコンバ
ータ測定装置では、測定対象であるA/Dコンバータ2
5,35の入力と出力との差をアナログ電圧あるいはデ
ィジタルデータとして比較し、その結果を出力するだけ
であるので、個々のA/Dコンバータ25,35のゼロ
トランジション電圧およびフルトランジション電圧を測
定できなかった。このため、測定すべきA/Dコンバー
タ25,35の代表的なゼロトランジション電圧および
フルトランジション電圧を予め決定しておき、そのゼロ
トランジション電圧およびフルトランジション電圧に合
わせて基準D/Aコンバータ21,22,31や基準A
/Dコンバータ33のゼロトランジション電圧およびフ
ルトランジション電圧を調整していた。したがって、現
実の測定対象である個々のA/Dコンバータ25,35
のゼロトランジション電圧およびフルトランジション電
圧が代表的な値からずれており、理想的な入出力関係を
表す理想直線の傾きが代表的な値と異なる場合、正確な
積分非直線性誤差を測定することができなかった。しか
も、基準D/Aコンバータ21,22,31や基準A/
Dコンバータ33の入出力特性の非線型性、あるいは雰
囲気温度の変化などによる特性変化が、そのまま測定結
果に誤差として表れてしまう。この結果、測定したA/
Dコンバータ25,35が良品であるにも係わらず不良
品であると判定して、歩留りの低下を招くことがあっ
た。
However, in the conventional A / D converter measuring apparatus as described above, the A / D converter 2 to be measured is
Since only the difference between the input and output of the A / D converters 25 and 35 is compared as an analog voltage or digital data and the result is output, the zero transition voltage and the full transition voltage of the individual A / D converters 25 and 35 can be measured. Did not. For this reason, typical zero transition voltage and full transition voltage of the A / D converters 25 and 35 to be measured are determined in advance, and the reference D / A converters 21 and 22 are adjusted in accordance with the zero transition voltage and the full transition voltage. , 31 and standard A
The zero transition voltage and the full transition voltage of the / D converter 33 were adjusted. Therefore, the individual A / D converters 25 and 35, which are the actual measurement targets,
If the zero transition voltage and full transition voltage are different from the typical values, and the slope of the ideal straight line that represents the ideal input / output relationship is different from the typical value, measure the accurate integral nonlinearity error. Could not. Moreover, the reference D / A converters 21, 22, 31 and the reference A /
A non-linearity of the input / output characteristics of the D converter 33 or a characteristic change due to a change in the ambient temperature or the like appears as an error in the measurement result. As a result, the measured A /
In some cases, the D converters 25 and 35 are determined to be defective in spite of the fact that they are non-defective, resulting in a decrease in yield.

【0005】また、ゼロトランジション電圧およびフル
トランジション電圧ばかりでなく、微分非直線性誤差を
測定することもできなかった。
Further, not only the zero transition voltage and the full transition voltage but also the differential nonlinearity error cannot be measured.

【0006】なお、ゼロトランジション電圧とは、A/
Dコンバータがたとえば8ビットの場合、その出力コー
ドが00(H)から01(H)に変化したときのアナロ
グ入力電圧であり、フルトランジション電圧とは、A/
Dコンバータがたとえば8ビットの場合、その出力コー
ドがFE(H)からFF(H)に変化したときのアナロ
グ入力電圧である。(H)はその前の数値が16進数で
あることを表している。また、積分非直線性誤差とは、
図6に示すように、ディジタル出力コードに対するアナ
ログ入力電圧が、理想直線からどれだけずれているかを
表すものであって、微分非直線性誤差とは、図7に示す
ように、ディジタル出力コードに対するアナログ入力電
圧のステップ幅が、理想のステップ幅からどれだけずれ
ているかを表すものである。理想のステップ幅とは、最
小分解能すなわち1LSBのことであり、下記数式1ま
たは下記数式2により算出される。下記数式1または下
記数式2において、nはA/Dコンバータ15のビット
数である。
The zero transition voltage is defined as A /
When the D converter is 8-bit, for example, the analog input voltage when the output code changes from 00 (H) to 01 (H), and the full transition voltage is A /
When the D converter has, for example, 8 bits, it is an analog input voltage when the output code changes from FE (H) to FF (H). (H) indicates that the preceding numerical value is a hexadecimal number. The integral nonlinearity error is
As shown in FIG. 6, it indicates how much the analog input voltage for the digital output code deviates from the ideal straight line. The differential nonlinearity error is, as shown in FIG. This represents how much the step width of the analog input voltage deviates from the ideal step width. The ideal step width is the minimum resolution, that is, 1 LSB, and is calculated by the following equation (1) or (2). In the following Expression 1 or 2, n is the number of bits of the A / D converter 15.

【0007】[0007]

【数1】 (Equation 1)

【0008】[0008]

【数2】 (Equation 2)

【0009】[0009]

【発明の開示】本願発明は、上記した事情のもとで考え
出されたものであって、A/Dコンバータの積分非直線
性誤差および/または微分非直線性誤差を正確に測定で
きるA/Dコンバータ測定装置を提供することを、その
課題とする。
DISCLOSURE OF THE INVENTION The present invention has been conceived in view of the above circumstances, and has an A / D converter capable of accurately measuring an integral non-linearity error and / or a differential non-linearity error of an A / D converter. It is an object to provide a D converter measuring device.

【0010】上記の課題を解決するため、本願発明で
は、次の技術的手段を講じている。
In order to solve the above problems, the present invention takes the following technical measures.

【0011】本願発明の第1の側面によれば、A/Dコ
ンバータの積分非直線性誤差および/または微分非直線
性誤差を測定するA/Dコンバータ測定装置であって、
測定対象としてのA/Dコンバータに入力電圧を供給
し、その入力電圧を可変させる入力電圧供給手段と、入
力電圧供給手段から供給される入力電圧とA/Dコンバ
ータの出力コードとの関係に基づいて、A/Dコンバー
タのゼロトランジション電圧とフルトランジション電圧
とを判断し、それらの値とA/Dコンバータのビット数
とから、A/Dコンバータの出力コード毎に、積分非直
線性誤差および/または微分非直線性誤差を演算する誤
差演算手段を備えたことを特徴とする、A/Dコンバー
タ測定装置が提供される。
According to a first aspect of the present invention, there is provided an A / D converter measuring apparatus for measuring an integral nonlinearity error and / or a differential nonlinearity error of an A / D converter,
An input voltage supply unit for supplying an input voltage to an A / D converter to be measured and varying the input voltage, based on a relationship between the input voltage supplied from the input voltage supply unit and an output code of the A / D converter. Then, the zero transition voltage and the full transition voltage of the A / D converter are determined, and from these values and the number of bits of the A / D converter, for each output code of the A / D converter, the integral nonlinearity error and / or Alternatively, there is provided an A / D converter measuring device, comprising an error calculating means for calculating a differential nonlinearity error.

【0012】好ましい実施の形態によれば、誤差演算手
段は、ゼロトランジション電圧とフルトランジション電
圧とを用いてA/Dコンバータの理想的な入出力関係を
表す理想直線の傾きを演算し、その理想直線の傾きに基
づいて、A/Dコンバータの出力コード毎に積分非直線
性誤差を演算する。
According to a preferred embodiment, the error calculating means calculates a slope of an ideal straight line representing an ideal input / output relationship of the A / D converter by using the zero transition voltage and the full transition voltage, and calculates the slope of the ideal straight line. An integral non-linearity error is calculated for each output code of the A / D converter based on the slope of the straight line.

【0013】別の好ましい実施の形態によれば、誤差演
算手段は、A/Dコンバータのビット数とゼロトランジ
ション電圧およびフルトランジション電圧とを用いてA
/Dコンバータの最小分解能を演算し、その最小分解能
に基づいて、A/Dコンバータの出力コード毎に積分非
直線性誤差および/または微分非直線性誤差を演算す
る。
According to another preferred embodiment, the error calculating means uses the number of bits of the A / D converter and the zero transition voltage and the full transition voltage to perform A / D conversion.
The minimum resolution of the / D converter is calculated, and the integral non-linearity error and / or the differential non-linearity error are calculated for each output code of the A / D converter based on the minimum resolution.

【0014】別の好ましい実施の形態によれば、入力電
圧供給手段は、ディジタルの入力データをアナログ電圧
に変換してA/Dコンバータに供給する第1のD/A変
換手段を有し、誤差演算手段は、ディジタルの入力デー
タとA/Dコンバータの出力コードとの関係に基づい
て、A/Dコンバータのゼロトランジション電圧とフル
トランジション電圧とを判断するCPUにより実現され
ている。
According to another preferred embodiment, the input voltage supply means has first D / A conversion means for converting digital input data into an analog voltage and supplying the analog voltage to the A / D converter. The calculation means is realized by a CPU which determines a zero transition voltage and a full transition voltage of the A / D converter based on a relationship between digital input data and an output code of the A / D converter.

【0015】別の好ましい実施の形態によれば、測定対
象としてのA/Dコンバータは、それのみあるいは他の
回路を含んでIC化されており、CPUにより実現され
ている誤差演算手段の出力をアナログ電圧に変換して出
力する第2のD/A変換手段と、IC化されたA/Dコ
ンバータが装着されるICソケットとを有し、第1のD
/A変換手段とCPUと第2のD/A変換手段とICソ
ケットとが1個の基板上に搭載されている。
According to another preferred embodiment, the A / D converter to be measured is implemented as an IC including only the A / D converter or other circuits, and outputs the output of the error calculating means realized by the CPU. A second D / A converter for converting the voltage into an analog voltage and outputting the analog voltage; and an IC socket in which an integrated A / D converter is mounted.
The / A conversion means, the CPU, the second D / A conversion means, and the IC socket are mounted on one board.

【0016】別の好ましい実施の形態によれば、第2の
D/A変換手段は、誤差演算手段により判断されたゼロ
トランジション電圧およびフルトランジション電圧をア
ナログ電圧に変換して出力する。
According to another preferred embodiment, the second D / A converter converts the zero transition voltage and the full transition voltage determined by the error calculator into analog voltages and outputs the analog voltages.

【0017】本願発明によれば、誤差演算手段が、個々
のA/Dコンバータ毎に、ゼロトランジション電圧とフ
ルトランジション電圧とを判断し、それらを用いて積分
非直線性誤差および/または微分非直線性誤差を演算す
るので、A/Dコンバータの積分非直線性誤差および/
または微分非直線性誤差を正確に測定できる。
According to the present invention, the error calculating means determines, for each A / D converter, a zero transition voltage and a full transition voltage, and uses them to determine an integral nonlinearity error and / or a differential nonlinearity. , The integral nonlinearity error of the A / D converter and / or
Alternatively, the differential nonlinearity error can be accurately measured.

【0018】すなわち、ゼロトランジション電圧とフル
トランジション電圧とを用いて、個々のA/Dコンバー
タ毎の理想直線や最小分解能を求めることができるの
で、個々のA/Dコンバータの特性のばらつきに係わら
ず、積分非直線性誤差および/または微分非直線性誤差
を正確に測定できる。
That is, the ideal straight line and the minimum resolution for each A / D converter can be obtained by using the zero transition voltage and the full transition voltage, so that regardless of the variation in the characteristics of each A / D converter. , Integral nonlinearity error and / or differential nonlinearity error can be accurately measured.

【0019】したがって、良品を不良品と誤判定するこ
とによる歩留りの低下を避けることができ、しかも厳し
い規格値が要求される場合に、それを満たしているか否
かを正確に判断できる。
Therefore, it is possible to avoid a decrease in yield due to erroneously determining a non-defective product as a defective product, and when a strict standard value is required, it is possible to accurately determine whether or not the standard value is satisfied.

【0020】入力電圧供給手段の一部および誤差演算手
段は、たとえば所定のプログラムに基づいて動作するC
PUにより実現できる。
A part of the input voltage supply means and the error calculation means are operated, for example, by a predetermined program.
It can be realized by PU.

【0021】また、入力電圧供給手段に、ディジタルの
入力データをアナログ電圧に変換してA/Dコンバータ
に供給する第1のD/A変換手段を設け、誤差演算手段
をCPUにより実現すれば、CPUにより入力データと
A/Dコンバータの出力コードとを監視することによ
り、容易にゼロトランジション電圧とフルトランジショ
ン電圧とを判断できる。
If the input voltage supply means is provided with first D / A conversion means for converting digital input data into an analog voltage and supplying it to the A / D converter, and the error calculation means is realized by a CPU, By monitoring the input data and the output code of the A / D converter by the CPU, the zero transition voltage and the full transition voltage can be easily determined.

【0022】また、CPUにより実現されている誤差演
算手段の出力をアナログ電圧に変換して出力する第2の
D/A変換手段と、IC化されたA/Dコンバータが装
着されるICソケットとを設け、第1のD/A変換手段
とCPUと第2のD/A変換手段とICソケットとを1
個の基板上に搭載すれば、IC化されたA/Dコンバー
タをICソケットに装着するだけで、LSIテスタなど
を用いて容易に測定を行える。
A second D / A conversion means for converting the output of the error calculation means realized by the CPU into an analog voltage and outputting the analog voltage; and an IC socket on which an integrated A / D converter is mounted. And the first D / A converter, the CPU, the second D / A converter, and the IC socket are connected to one another.
When mounted on individual substrates, measurement can be easily performed using an LSI tester or the like simply by mounting an integrated A / D converter in an IC socket.

【0023】また、第2のD/A変換手段が、誤差演算
手段により判断されたゼロトランジション電圧およびフ
ルトランジション電圧をアナログ電圧に変換して出力す
るようにすれば、ゼロトランジション電圧およびフルト
ランジション電圧をアナログの電圧値として知ることが
できる。。
Further, if the second D / A conversion means converts the zero transition voltage and the full transition voltage determined by the error calculation means into an analog voltage and outputs the analog voltage, the zero transition voltage and the full transition voltage Can be known as an analog voltage value. .

【0024】本願発明のその他の特徴および利点は、添
付図面を参照して以下に行う詳細な説明によって、より
明らかとなろう。
[0024] Other features and advantages of the present invention will become more apparent from the detailed description given below with reference to the accompanying drawings.

【0025】[0025]

【発明の実施の形態】以下、本願発明の好ましい実施の
形態を、図面を参照して具体的に説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Preferred embodiments of the present invention will be specifically described below with reference to the drawings.

【0026】図1は、本願発明に係るA/Dコンバータ
測定装置の回路ブロック図であって、このA/Dコンバ
ータ測定装置は、D/Aコンバータ1、ローパスフィル
タ2、演算増幅器3、データセレクタ4、CPU5、R
AM6、ラッチ回路7、D/Aコンバータ8、ローパス
フィルタ9、リレー10a,10b、補正アンプ11、
および抵抗器R1 〜R4 を備えており、測定対象として
のA/Dコンバータ15は、図外のICソケットに装着
することにより、演算増幅器3とデータセレクタ4との
間に接続される。これらD/Aコンバータ1、ローパス
フィルタ2、演算増幅器3、データセレクタ4、CPU
5、RAM6、ラッチ回路7、D/Aコンバータ8、ロ
ーパスフィルタ9、リレー10a,10b、補正アンプ
11、抵抗器R1 〜R4 、およびICソケットは、1個
のプリント配線基板上に搭載されている。抵抗器R1
ローパスフィルタ2の出力端と演算増幅器3の非反転入
力端との間に接続されており、抵抗器R1 と演算増幅器
3の非反転入力端との接続点は抵抗器R2 を介して接地
されている。抵抗器R3 はリレー10aの接点とリレー
10bの接点との間に接続されており、抵抗器R3 とリ
レー10bの接点との接続点は抵抗器R4 を介して接地
されている。D/Aコンバータ1の特性とD/Aコンバ
ータ8の特性とが同じ場合は、抵抗器R1 の抵抗値と抵
抗器R3 の抵抗値とを等しくし、抵抗器R2 の抵抗値と
抵抗器R4 の抵抗値とを等しくする。
FIG. 1 is a circuit block diagram of an A / D converter measuring device according to the present invention. The A / D converter measuring device includes a D / A converter 1, a low-pass filter 2, an operational amplifier 3, and a data selector. 4, CPU5, R
AM6, latch circuit 7, D / A converter 8, low-pass filter 9, relays 10a and 10b, correction amplifier 11,
And resistor comprises a R 1 ~R 4, A / D converter 15 as the measurement object, by attaching in FIG outside of the IC socket is connected between the operational amplifier 3 and data selector 4. These D / A converter 1, low-pass filter 2, operational amplifier 3, data selector 4, CPU
5, RAM 6, latch circuit 7, D / A converter 8, the low pass filter 9, the relay 10a, 10b, the correction amplifier 11, resistors R 1 to R 4, and the IC socket is mounted on one printed circuit board ing. The resistor R 1 is connected between the output terminal of the low-pass filter 2 and the non-inverting input terminal of the operational amplifier 3. The connection point between the resistor R 1 and the non-inverting input terminal of the operational amplifier 3 is the resistor R 1. Grounded through two . Resistor R 3 is connected between the contact point of the contacts and relays 10b of the relay 10a, the connection point between the contacts of resistor R 3 and the relay 10b is grounded via a resistor R 4. If the characteristics of the D / A converter 1 properties and the D / A converter 8 are the same, a resistor equal to the resistance value of R 1 and the resistance value of the resistor R 3, the resistance value and the resistance resistor R 2 equal the resistance of the vessel R 4.

【0027】D/Aコンバータ1は、図外のLSIテス
タから入力されるディジタルの入力データをアナログ電
圧に変換してローパスフィルタ2に出力する。ローパス
フィルタ2は、D/Aコンバータ1からのアナログ電圧
に重畳されている所定周波数以上の不要周波数成分を除
去し、抵抗器R1 を介して演算増幅器3の非反転入力端
に供給する。演算増幅器3は、バッファアンプとして作
用し、D/Aコンバータ1からのアナログ電圧をインピ
ーダンス変換してA/Dコンバータ15の入力端に供給
する。データセレクタ4は、CPU5により制御され
て、A/Dコンバータ15からのディジタル出力とLS
Iテスタからの入力データとを選択的にCPU5に供給
する。CPU5は、LSIテスタからの命令コードに応
じて、データセレクタ4、ラッチ回路7、およびリレー
10a,10bを制御するとともに、データセレクタ4
により選択されたデータを演算処理し、その演算結果を
RAM6に書き込んだり、ラッチ回路7に出力したりす
る。RAM6は、CPU5により演算結果のデータを書
き込まれたり読み出されたりする。
The D / A converter 1 converts digital input data input from an unillustrated LSI tester into an analog voltage and outputs the analog voltage to the low-pass filter 2. Low-pass filter 2 removes a predetermined frequency or more unnecessary frequency component superimposed on the analog voltage from the D / A converter 1 is supplied to the non-inverting input of the operational amplifier 3 via a resistor R 1. The operational amplifier 3 acts as a buffer amplifier, impedance-converts the analog voltage from the D / A converter 1 and supplies the analog voltage to the input terminal of the A / D converter 15. The data selector 4 is controlled by the CPU 5 to control the digital output from the A / D converter 15 and the LS
The input data from the I tester is selectively supplied to the CPU 5. The CPU 5 controls the data selector 4, the latch circuit 7, and the relays 10a and 10b according to the instruction code from the LSI tester.
The selected data is subjected to arithmetic processing, and the arithmetic result is written to the RAM 6 or output to the latch circuit 7. The RAM 6 is used by the CPU 5 to write and read operation result data.

【0028】ラッチ回路7は、たとえば複数のDフリッ
プフロップ回路からなり、CPU5からのデータをラッ
チする。D/Aコンバータ8は、ラッチ回路7によりラ
ッチされたデータをアナログ電圧に変換してローパスフ
ィルタ9に出力する。ローパスフィルタ9は、D/Aコ
ンバータ8からのアナログ電圧に重畳されている所定周
波数以上の不要周波数成分を除去し、リレー10a,1
0bを介して補正アンプ11の入力端に供給する。リレ
ー10a,10bは、CPU5により制御されて、ロー
パスフィルタ9の出力端と補正アンプ11の入力端とを
直結する状態と、ローパスフィルタ9の出力端と補正ア
ンプ11の入力端とを抵抗器R3 を介して接続する状態
とに切り替わる。なお図示していないが、リレー10
a,10bはCPU5によりコイルへの通電を制御され
ることにより接続状態が切り替わる。補正アンプ11
は、D/Aコンバータ8からのアナログ電圧を増幅して
A/Dコンバータ測定装置の出力値として出力する。
The latch circuit 7 includes, for example, a plurality of D flip-flop circuits, and latches data from the CPU 5. The D / A converter 8 converts the data latched by the latch circuit 7 into an analog voltage and outputs the analog voltage to the low-pass filter 9. The low-pass filter 9 removes unnecessary frequency components higher than a predetermined frequency superimposed on the analog voltage from the D / A converter 8, and removes the relays 10a, 1
0b is supplied to the input terminal of the correction amplifier 11. The relays 10a and 10b are controlled by the CPU 5 to directly connect the output terminal of the low-pass filter 9 to the input terminal of the correction amplifier 11, and to connect the output terminal of the low-pass filter 9 and the input terminal of the correction amplifier 11 with a resistor R. Switch to the state of connecting via 3 . Although not shown, the relay 10
The connection states of a and 10b are switched by the CPU 5 controlling the energization of the coil. Correction amplifier 11
Amplifies the analog voltage from the D / A converter 8 and outputs it as an output value of the A / D converter measuring device.

【0029】次に上記A/Dコンバータ測定装置の動作
を説明する。測定対象が8ビットのA/Dコンバータ1
5である場合、たとえば12ビットのD/Aコンバータ
1を用いる。測定に際しては、図外のLSIテスタか
ら、CPU5に命令コードが供給されると共に、D/A
コンバータ1に入力データが供給される。これによりC
PU5が、データセレクタ4に供給しているセレクト信
号をネゲートしてA/Dコンバータ15の出力コードを
CPU5に入力させるとともに、リレー10a,10b
を制御してローパスフィルタ9の出力端と補正アンプ1
1の入力端とを直結させる。そしてLSIテスタが、D
/Aコンバータ1の入力端に供給している入力データを
所定の周期で増加させる。この入力データは、先ず00
0(H)から始まり、001(H),002(H),0
03(H)というように、順次1ずつ大きくなり、A/
Dコンバータ15の出力コードがFF(H)になった時
点で増加が終了する。(H)は、その前の数字列が16
進数であることを表している。このようにD/Aコンバ
ータ1への入力データを順次大きくしていくと、D/A
コンバータ1の出力でありかつA/Dコンバータ15の
入力でもあるアナログ電圧が順次増加し、いずれかの時
点でA/Dコンバータ15の出力コードが00(H)か
ら01(H)に変化する。これによりCPU5が、デー
タセレクタ4に供給しているセレクト信号をアサートし
て、LSIテスタからの入力データをCPU5に入力さ
せる。そしてCPU5が、入力データの値をRAM6に
記憶させる。
Next, the operation of the A / D converter measuring device will be described. A / D converter 1 whose measurement target is 8 bits
In the case of 5, for example, a 12-bit D / A converter 1 is used. At the time of measurement, an instruction code is supplied to the CPU 5 from an LSI tester (not shown) and the D / A
Input data is supplied to converter 1. This gives C
The PU 5 negates the select signal supplied to the data selector 4 to input the output code of the A / D converter 15 to the CPU 5, and to relay 10a, 10b
To control the output end of the low-pass filter 9 and the correction amplifier 1
1 is directly connected to the input terminal. Then, the LSI tester
The input data supplied to the input terminal of the / A converter 1 is increased at a predetermined cycle. This input data is first 00
0 (H), 001 (H), 002 (H), 0
03 (H), etc.
The increase ends when the output code of the D converter 15 becomes FF (H). (H) indicates that the preceding digit string is 16
It represents a decimal number. When the input data to the D / A converter 1 is sequentially increased as described above, the D / A
The analog voltage which is both the output of the converter 1 and the input of the A / D converter 15 sequentially increases, and the output code of the A / D converter 15 changes from 00 (H) to 01 (H) at some point. As a result, the CPU 5 asserts the select signal supplied to the data selector 4 and causes the CPU 5 to input the input data from the LSI tester. Then, the CPU 5 stores the value of the input data in the RAM 6.

【0030】以下同様に、A/Dコンバータ15の出力
コードが1ずつ増加する度に、そのときのLSIテスタ
からの入力データをRAM6に記憶させる。これにより
RAM6には、A/Dコンバータ15の出力コードが0
1(H)になったときの入力データX1 (H)からA/
Dコンバータ15の出力コードがFF(H)になったと
きの入力データX255 (H)までの255個の入力デー
タが記憶される。
Similarly, every time the output code of the A / D converter 15 increases by one, the input data from the LSI tester at that time is stored in the RAM 6. As a result, the output code of the A / D converter 15 becomes 0 in the RAM 6.
From input data X 1 (H) when it becomes 1 (H), A /
255 pieces of input data up to input data X 255 (H) when the output code of the D converter 15 becomes FF (H) are stored.

【0031】そしてCPU5が、RAM6に記憶された
255個の入力データX1 (H)〜X255 (H)に基づ
いて、A/Dコンバータ15の出力コード毎に積分非直
線性誤差を演算し、それらの演算結果をラッチ回路7に
順次ラッチさせる。具体的には、CPU5が、A/Dコ
ンバータ15の出力コードが00(H)から01(H)
に変化したときのアナログ入力電圧データX1 (H)を
ゼロトランジション電圧V0 とし、A/Dコンバータ1
5の出力コードがFE(H)からFF(H)に変化した
ときのアナログ入力データX255 (H)をフルトランジ
ション電圧VFとする。そしてCPU5が、、ゼロトラ
ンジション電圧V0 およびフルトランジション電圧VF
とA/Dコンバータ15のビット数とを用いて、A/D
コンバータ15の最小分解能である1LSBの値を演算
し、それをRAM6に記憶させる。そしてCPU5が、
ゼロトランジション電圧V0 とフルトランジション電圧
F と1LSBの値とに基づいて、A/Dコンバータ1
5の出力コード毎に、積分非直線性誤差を演算する。す
なわち、ゼロトランジション電圧V0 とフルトランジシ
ョン電圧VF と1LSBの値とから、A/Dコンバータ
15の出力コード毎に理想的な入力電圧データを演算で
きるので、その値と現実の入力データとの値とにより積
分非直線性誤差を求めていく。積分非直線性誤差を演算
したCPU5は、ラッチ回路7に供給しているラッチ信
号を所定時間アサートして、積分非直線性誤差をラッチ
回路7に順次ラッチさせる。またCPU5は、A/Dコ
ンバータ15の出力コード毎に演算した積分非直線性誤
差の最大値および最小値をRAM6に記憶させる。
Then, the CPU 5 stores the data stored in the RAM 6
255 input data X1(H) -X255Based on (H)
In addition, each time the output code of the A / D converter 15 outputs
Calculate the linearity error and store the calculation result in the latch circuit 7.
Latch sequentially. Specifically, the CPU 5 sets the A / D
The output code of the inverter 15 changes from 00 (H) to 01 (H).
Analog input voltage data X when it changes to1(H)
Zero transition voltage V0And A / D converter 1
5 output code changed from FE (H) to FF (H)
Analog input data X255(H) full transition
Voltage VFAnd Then, the CPU 5
Transition voltage V0And full transition voltage VF
And A / D converter 15 using the number of bits
Calculates the value of 1 LSB which is the minimum resolution of converter 15
Then, it is stored in the RAM 6. And the CPU 5
Zero transition voltage V0And full transition voltage
V FA / D converter 1 based on and 1LSB value
For each output code of No. 5, an integral nonlinearity error is calculated. You
That is, the zero transition voltage V0And full transient
Voltage VFA / D converter based on and 1LSB value
Calculation of ideal input voltage data for each of 15 output codes
Can be multiplied by that value and the value of the actual input data.
The minute nonlinearity error is calculated. Calculate integral nonlinearity error
The CPU 5 that has supplied the latch signal to the latch circuit 7
Signal for a predetermined time to latch the integral nonlinearity error
The circuit 7 sequentially latches. The CPU 5 has an A / D
Integral nonlinearity error calculated for each output code of inverter 15
The maximum value and the minimum value of the difference are stored in the RAM 6.

【0032】ラッチ回路7にラッチされた積分非直線性
誤差は、D/Aコンバータ8によりアナログ電圧に変換
され、ローパスフィルタ9、リレー10a,10b、お
よび補正アンプ11を介して出力される。すなわち、補
正アンプ11の出力端からは、A/Dコンバータ15の
出力コード毎に、積分非直線性誤差に応じた電圧が所定
のタイミングで順次出力される。この出力をたとえばデ
ィジタル・ストレージ・オシロスコープで観測すること
により、図2に示すような波形が得られる。図2の横軸
はA/Dコンバータ15の出力コード、縦軸は積分非直
線性誤差をLSB単位で表したものである。
The integral nonlinearity error latched by the latch circuit 7 is converted into an analog voltage by a D / A converter 8 and output via a low-pass filter 9, relays 10a and 10b, and a correction amplifier 11. That is, a voltage corresponding to the integral nonlinearity error is sequentially output from the output terminal of the correction amplifier 11 at a predetermined timing for each output code of the A / D converter 15. By observing this output with, for example, a digital storage oscilloscope, a waveform as shown in FIG. 2 is obtained. 2, the horizontal axis represents the output code of the A / D converter 15, and the vertical axis represents the integral nonlinearity error in LSB units.

【0033】一方、微分非直線性誤差の測定において
は、CPU5が、RAM6に記憶された1LSBの値と
255個の入力データX1 (H)〜X255 (H)とに基
づいて、A/Dコンバータ15の出力コード毎に、微分
非直線性誤差を演算し、ラッチ回路7に供給しているラ
ッチ信号を所定時間アサートして、微分非直線性誤差を
ラッチ回路7に順次ラッチさせる。またCPU5は、A
/Dコンバータ15の出力コード毎に演算した微分非直
線性誤差の最大値および最小値をRAM6に記憶させ
る。
On the other hand, in the measurement of the differential nonlinearity error, the CPU 5 calculates A / A based on the value of 1 LSB stored in the RAM 6 and 255 pieces of input data X 1 (H) to X 255 (H). The differential non-linear error is calculated for each output code of the D converter 15, the latch signal supplied to the latch circuit 7 is asserted for a predetermined time, and the differential non-linear error is sequentially latched by the latch circuit 7. Also, the CPU 5
The maximum value and the minimum value of the differential nonlinearity error calculated for each output code of the / D converter 15 are stored in the RAM 6.

【0034】ラッチ回路7にラッチされた微分非直線性
誤差は、D/Aコンバータ8によりアナログ電圧に変換
され、ローパスフィルタ9、リレー10a,10b、お
よび補正アンプ11を介して出力される。すなわち、補
正アンプ11の出力端からは、A/Dコンバータ15の
出力コード毎に、微分非直線性誤差に応じた電圧が所定
のタイミングで順次出力される。この出力をたとえばデ
ィジタル・ストレージ・オシロスコープで観測すること
により、図3に示すような波形が得られる。図3の横軸
はA/Dコンバータ15の出力コード、縦軸は微分非直
線性誤差をLSB単位で表したものである。
The differential nonlinearity error latched by the latch circuit 7 is converted into an analog voltage by the D / A converter 8 and output via the low-pass filter 9, the relays 10a and 10b, and the correction amplifier 11. That is, a voltage corresponding to the differential nonlinearity error is sequentially output at a predetermined timing from the output terminal of the correction amplifier 11 for each output code of the A / D converter 15. By observing this output with, for example, a digital storage oscilloscope, a waveform as shown in FIG. 3 is obtained. The horizontal axis in FIG. 3 represents the output code of the A / D converter 15, and the vertical axis represents the differential nonlinearity error in LSB units.

【0035】A/Dコンバータ15の出力コード毎の積
分非直線性誤差および微分非直線性誤差の出力が完了す
ると、CPU5が、積分非直線性誤差の最大値および最
小値をRAM6から読み出し、上記と同様の動作により
補正アンプ11の出力端からそれぞれ出力させる。さら
にCPU5が、微分非直線性誤差の最大値および最小値
をRAM6から読み出し、上記と同様の動作により補正
アンプ11の出力端からそれぞれ出力させる。
When the output of the integral nonlinear error and the differential nonlinear error for each output code of the A / D converter 15 is completed, the CPU 5 reads the maximum value and the minimum value of the integral nonlinear error from the RAM 6 and Are output from the output terminals of the correction amplifier 11 by the same operation as described above. Further, the CPU 5 reads the maximum value and the minimum value of the differential nonlinearity error from the RAM 6 and outputs the same from the output terminal of the correction amplifier 11 by the same operation as described above.

【0036】なお、積分非直線性誤差と微分非直線性誤
差とのうちのいずれの測定を行うかは、CPU5への命
令コードで決定される。測定順序としては、どちらの測
定からでもよく、また、積分非直線性誤差と微分非直線
性誤差とのうちのいずれか一方のみを測定してもよい。
また、上記各誤差は、1LSBの誤差が1Vになるよう
に、補正アンプ11の出力端から出力される。ただし、
ゼロトランジション電圧V0 およびフルトランジション
電圧VF を測定する場合には、そのまま電圧単位として
出力される。
It should be noted that which of the integral nonlinearity error and the differential nonlinearity error is to be measured is determined by an instruction code to the CPU 5. The order of measurement may be from either measurement, and only one of the integral non-linearity error and the differential non-linearity error may be measured.
Each of the above errors is output from the output terminal of the correction amplifier 11 so that an error of 1 LSB becomes 1 V. However,
When measuring the zero transition voltage V 0 and the full transition voltage V F , they are output as voltage units as they are.

【0037】また、LSIテスタからCPU5に所定の
命令コードを入力することにより、補正アンプ11の出
力端からゼロトランジション電圧V0 およびフルトラン
ジション電圧VF を出力させることもできる。この場
合、CPU5は、リレー10a,10bを制御して、ロ
ーパスフィルタ9の出力端と補正アンプ11の入力端と
を抵抗器R3 を介して接続させ、RAM6からゼロトラ
ンジション電圧V0 に対応するデータを読み出して、ラ
ッチ回路7のラッチ信号をアサートすることにより、ゼ
ロトランジション電圧V0 に対応するデータをラッチ回
路7にラッチさせる。このゼロトランジション電圧V0
に対応するデータは、D/Aコンバータ8によりアナロ
グ電圧に変換され、ローパスフィルタ9、リレー10
a、抵抗器R 3 、およびリレー10bを通って、補正ア
ンプ11の出力端から出力される。このとき、D/Aコ
ンバータ1およびD/Aコンバータ8として互いに同じ
特性のD/Aコンバータを使用した場合、補正アンプ1
1の出力電圧がゼロトランジション電圧V0 と等しくな
るように、抵抗器R3 の抵抗値と抵抗器R1 の抵抗値と
を等しく設定し、抵抗器R4 の抵抗値と抵抗器R2 の抵
抗値とを等しく設定する。
Also, the LSI tester sends a predetermined
By inputting the instruction code, the output of the correction amplifier 11
Zero transition voltage V from the power end0And full tran
Voltage VFCan also be output. This place
In this case, the CPU 5 controls the relays 10a and 10b to
Output terminal of the pass filter 9 and the input terminal of the correction amplifier 11
Is the resistor RThreeVia the RAM 6
Transition voltage V0Read the data corresponding to
By asserting the latch signal of the latch circuit 7,
Low transition voltage V0Latch data corresponding to
Latch on road 7. This zero transition voltage V0
Is converted to analog data by the D / A converter 8.
To the low-pass filter 9, relay 10
a, resistor R Three, And through the relay 10b,
Output from the output terminal of the amplifier 11. At this time, D / A
Same as inverter 1 and D / A converter 8
When using a D / A converter with characteristic
1 output voltage is zero transition voltage V0Equals
As shown, the resistor RThreeResistance and resistor R1And the resistance of
Are set equal, and the resistor RFourResistance and resistor RTwoNo
Set the resistance value equal.

【0038】ゼロトランジション電圧V0 の出力後、C
PU5は、RAM6からフルトランジション電圧VF
対応するデータを読み出して、ラッチ回路7のラッチ信
号をアサートすることにより、フルトランジション電圧
F に対応するデータをラッチ回路7にラッチさせる。
このフルトランジション電圧VF に対応するデータは、
D/Aコンバータ8によりアナログ電圧に変換され、ロ
ーパスフィルタ9、リレー10a、抵抗器R3 、および
リレー10bを通って、補正アンプ11の出力端から出
力される。このとき、D/Aコンバータ1およびD/A
コンバータ8として互いに同じ特性のD/Aコンバータ
を使用した場合、補正アンプ11の出力電圧がフルトラ
ンジション電圧VF と等しくなるように、抵抗器R3
抵抗値と抵抗器R1 の抵抗値とを等しく設定し、抵抗器
4 の抵抗値と抵抗器R2 の抵抗値とを等しく設定す
る。
After outputting the zero transition voltage V 0 , C
PU5 reads the data corresponding to the full transition voltage V F from the RAM 6, by asserting a latch signal of the latch circuit 7 to latch the data corresponding to the full transition voltage V F to the latch circuit 7.
Data corresponding to the full transition voltage V F is
The D / A converter 8 is converted to an analog voltage, the low pass filter 9, the relay 10a, the resistor R 3, and through the relay 10b, is output from the output terminal of the correction amplifier 11. At this time, D / A converter 1 and D / A
When using the D / A converter of the same characteristics with each other as a converter 8, so that the output voltage of the correction amplifier 11 is equal to the full transition voltage V F, the resistance value of the resistor R 3 and the resistance value of the resistor R 1 equally set, the resistor R the resistance value of 4 and the resistor is set equal to the resistance value of R 2.

【0039】また、量産したA/Dコンバータ15を連
続的かつ迅速に測定する場合、A/Dコンバータ15の
出力コード毎に積分非直線性誤差および微分非直線性誤
差を出力することなく、積分非直線性誤差および微分非
直線性誤差の最大値および最小値のみを出力させること
もできる。すなわち、LSIテスタからCPU5に所定
の命令コードが入力されると、CPU5は、RAM6か
ら積分非直線性誤差の最大値および最小値を読み出して
補正アンプ11の出力端から出力させ、その後、RAM
6から微分非直線性誤差の最大値および最小値を読み出
して補正アンプ11の出力端から出力させる。このと
き、ローパスフィルタ9の出力端と補正アンプ11の入
力端とをリレー10a,10bにより直結させておく。
なお、積分非直線性誤差および微分非直線性誤差の最大
値および最小値と共に、あるいは積分非直線性誤差およ
び微分非直線性誤差の最大値および最小値の代わりに、
所定の積分非直線性誤差および微分非直線性誤差の最大
値および最小値が所定の規格値の範囲内であるか否かの
判断結果を出力してもよい。
When the mass-produced A / D converter 15 is continuously and rapidly measured, the integration non-linearity error and the differential non-linearity error are not output for each output code of the A / D converter 15 and the integration is performed. It is also possible to output only the maximum value and the minimum value of the nonlinearity error and the differential nonlinearity error. That is, when a predetermined instruction code is input to the CPU 5 from the LSI tester, the CPU 5 reads the maximum value and the minimum value of the integral nonlinearity error from the RAM 6 and outputs the same from the output terminal of the correction amplifier 11.
The maximum value and the minimum value of the differential nonlinearity error are read from 6 and output from the output terminal of the correction amplifier 11. At this time, the output terminal of the low-pass filter 9 and the input terminal of the correction amplifier 11 are directly connected by relays 10a and 10b.
Note that together with the maximum and minimum values of the integral nonlinearity error and the differential nonlinearity error, or instead of the maximum and minimum values of the integral nonlinearity error and the differential nonlinearity error,
The determination result of whether or not the maximum value and the minimum value of the predetermined integral nonlinearity error and the differential nonlinearity error are within a range of a predetermined standard value may be output.

【0040】このように、個々のA/Dコンバータ15
のゼロトランジション電圧V0 とフルトランジション電
圧VF とを測定して積分非直線性誤差および微分非直線
性誤差を演算しているので、個々のA/Dコンバータ1
5の特性のばらつきやD/Aコンバータ1,8の雰囲気
温度の変化などによる特性変動に係わらず、相対的には
常に正確に積分非直線性誤差および微分非直線性誤差を
測定できる。また、ゼロトランジション電圧V0 および
フルトランジション電圧VF をアナログ電圧として正確
に出力できる。また、D/Aコンバータ1,8などの測
定回路の調整が不要であり、安定した測定を行える。ま
た、補正アンプ11の出力をディジタル・ストレージ・
オシロスコープなどで観測しつつ、その観測波形のハー
ドコピーを作成することにより、積分非直線性誤差や微
分非直線性誤差などを紙ファイルとして保存できる。も
ちろん、RAM6に記憶されている積分非直線性誤差や
微分非直線性誤差などを、ハードディスク装置や光磁気
ディスク装置などを用いてデータとして保存することも
できる。
As described above, each A / D converter 15
Since the integral non-linearity error and the differential non-linearity error are calculated by measuring the zero transition voltage V 0 and the full transition voltage V F of each A / D converter 1,
Regardless of variations in the characteristics of the D / A converters 1 and 8 due to variations in the characteristics of the D / A converters 1 and 8, the integral nonlinearity error and the differential nonlinearity error can always be measured relatively accurately. Further, it accurately outputs zero transition voltage V 0 and the full transition voltage V F as an analog voltage. Further, it is not necessary to adjust measurement circuits such as the D / A converters 1 and 8, and stable measurement can be performed. In addition, the output of the correction amplifier 11 is stored in a digital storage
By making a hard copy of the observed waveform while observing with an oscilloscope or the like, it is possible to save an integral nonlinearity error, a differential nonlinearity error, and the like as a paper file. Of course, the integral non-linearity error and differential non-linearity error stored in the RAM 6 can be stored as data using a hard disk device, a magneto-optical disk device, or the like.

【0041】なお上記実施形態においては、A/Dコン
バータ15の出力コードが01(H)になったときの入
力データX1 (H)からA/Dコンバータ15の出力コ
ードがFF(H)になったときの入力データX
255 (H)までの255個の入力データをRAM6に記
憶させた後に、A/Dコンバータ15の出力コード毎
に、積分非直線性誤差や微分非直線性誤差を出力した
が、入力データX1 (H)から入力データX255 (H)
までを取得しつつ、積分非直線性誤差あるいは微分非直
線性誤差を出力するように構成してもよい。この場合、
測定の初めの部分でゼロトランジション電圧V0 とフル
トランジション電圧VF とを測定し、それに基づいて1
LSBの値を演算しておき、この1LSBの値を用い
て、入力データX1 (H)から入力データX255 (H)
までの積分非直線性誤差あるいは微分非直線性誤差を、
入力データXを取得する度に演算し、補正アンプ11か
ら逐次出力させる。そして、演算した積分非直線性誤差
や微分非直線性誤差のうちの最大値および最小値をRA
M6に記憶させておき、A/Dコンバータ15の出力コ
ード毎の積分非直線性誤差あるいは微分非直線性誤差の
出力が終了した後に、RAM6から積分非直線性誤差あ
るいは微分非直線性誤差の最大値および最小値を読み出
して出力させる。
In the above embodiment, the output code of the A / D converter 15 changes from the input data X 1 (H) when the output code of the A / D converter 15 becomes 01 (H) to FF (H). Input data X when it becomes
After storing 255 pieces of input data up to 255 (H) in the RAM 6, the integral nonlinearity error and the differential nonlinearity error are output for each output code of the A / D converter 15, but the input data X 1 Input data X 255 (H) from (H)
It may be configured to output the integral non-linearity error or the differential non-linearity error while acquiring up to. in this case,
At the beginning of the measurement, the zero transition voltage V 0 and the full transition voltage V F are measured, and 1
The value of LSB is calculated, and the input data X 1 (H) is used to calculate the input data X 255 (H) using the value of 1 LSB.
The integral or differential nonlinearity error up to
The calculation is performed each time the input data X is obtained, and the correction data is sequentially output from the correction amplifier 11. Then, the maximum value and the minimum value of the calculated integral nonlinearity error and differential nonlinearity error are calculated by RA
After the output of the integral nonlinearity error or the differential nonlinearity error for each output code of the A / D converter 15 is completed, the maximum value of the integral nonlinearity error or the differential nonlinearity error is stored from the RAM 6. Read and output the value and the minimum value.

【0042】また上記実施形態においては、8ビットの
A/Dコンバータ15を測定するのに12ビットのD/
Aコンバータ1を用いたが、これらのビット数に限定さ
れるものでないことはもちろんである。基本的に、D/
Aコンバータ1のビット数はA/Dコンバータ15のビ
ット数よりも4ビット以上大きければよい。またD/A
コンバータ8のビット数も特に限定されるものではな
く、D/Aコンバータ1のビット数と同じであってもよ
いし、異なっていてもよい。またD/Aコンバータ1や
D/Aコンバータ8として、シリアル入力のD/Aコン
バータを用いてもよい。
In the above-described embodiment, a 12-bit D / D converter is used to measure the 8-bit A / D converter 15.
Although the A converter 1 is used, it is a matter of course that the number of bits is not limited to these. Basically, D /
The number of bits of the A-converter 1 may be at least 4 bits larger than the number of bits of the A / D converter 15. D / A
The number of bits of converter 8 is not particularly limited either, and may be the same as or different from the number of bits of D / A converter 1. Further, as the D / A converter 1 and the D / A converter 8, a serial input D / A converter may be used.

【0043】また上記実施形態においては、D/Aコン
バータ1の出力が必ずローパスフィルタ2を通り、D/
Aコンバータ8の出力が必ずローパスフィルタ9を通る
ように構成したが、ローパスフィルタ2あるいはローパ
スフィルタ9にバイパス経路を設け、必要に応じてロー
パスフィルタ2あるいはローパスフィルタ9をスルーで
きるように構成してもよい。またローパスフィルタ2,
9の次数は任意であり、複数種類のフィルタを並列また
は直列に設けるとともに、これらのうちから1つを任意
に選択可能なように、アナログマルチプレクサあるいは
リレーなどを設ける構成としてもよい。
In the above embodiment, the output of the D / A converter 1 always passes through the low-pass filter 2 and
Although the output of the A converter 8 is configured to always pass through the low-pass filter 9, a bypass path is provided in the low-pass filter 2 or the low-pass filter 9 so that the low-pass filter 2 or the low-pass filter 9 can be passed through as necessary. Is also good. Low-pass filter 2,
The order of 9 is arbitrary. A plurality of filters may be provided in parallel or in series, and an analog multiplexer or a relay may be provided so that one of the filters can be arbitrarily selected.

【0044】また上記実施形態においては、抵抗器R1
〜R4 を設けたが、これらは必ずしも設ける必要はな
い。また抵抗器R1 〜R4 を設ける場合、それらの抵抗
値は、各種設計条件に応じて適宜設定すればよい。ま
た、抵抗器R2 ,R4 を接地する代わりに、所定の電源
電圧を印加するように構成してもよい。
In the above embodiment, the resistor R 1
To R 4 and the provided, but these are not necessarily provided. When the resistors R 1 to R 4 are provided, their resistance values may be appropriately set according to various design conditions. Further, instead of grounding the resistors R 2 and R 4 , a predetermined power supply voltage may be applied.

【0045】また上記実施形態においては、データセレ
クタ4を設けたが、CPU5の入力ポートに余裕がある
場合には、データセレクタ4を設けずに、LSIテスタ
からの入力データとA/Dコンバータ15からの出力コ
ードとがCPU5の入力ポートに入力されるように構成
してもよい。データセレクタ4を設ける場合、データセ
レクタ4を汎用ロジック回路により構成してもよいし、
ゲートアレイにより構成してもよい。
Although the data selector 4 is provided in the above embodiment, if the input port of the CPU 5 has room, the data selector 4 is not provided and the input data from the LSI tester and the A / D converter 15 are provided. May be configured to be input to the input port of the CPU 5. When the data selector 4 is provided, the data selector 4 may be configured by a general-purpose logic circuit,
You may comprise by a gate array.

【0046】また上記実施形態においては、ラッチ回路
7を独立の回路として設けたが、CPU5あるいはD/
Aコンバータ8にラッチ回路が内蔵されている場合、そ
れを用いてもよい。ラッチ回路7を独立の回路として設
ける場合、ラッチ回路7を汎用ロジック回路により構成
してもよいし、ゲートアレイにより構成してもよい。
In the above embodiment, the latch circuit 7 is provided as an independent circuit.
If the A converter 8 has a built-in latch circuit, it may be used. When the latch circuit 7 is provided as an independent circuit, the latch circuit 7 may be configured by a general-purpose logic circuit or a gate array.

【0047】また上記実施形態においては、RAM6を
独立の回路として設けたが、CPU5に適切な容量のR
AMが内蔵されている場合、それを用いてもよい。CP
U5やRAM6の具体的な構成は特に限定されるもので
はないが、LSIテスタからの命令コードはCPU5に
応じて決定されることになる。
In the above embodiment, the RAM 6 is provided as an independent circuit.
When the AM is built in, it may be used. CP
Although specific configurations of the U5 and the RAM 6 are not particularly limited, the instruction code from the LSI tester is determined according to the CPU 5.

【0048】また上記実施形態においては、補正アンプ
11を設けたが、この補正アンプ11は必ずしも設ける
必要はない。
In the above embodiment, the correction amplifier 11 is provided, but the correction amplifier 11 is not always required.

【0049】また上記実施形態においては、LSIテス
タにより命令コードや入力データを供給したが、LSI
テスタの代わりに汎用のディジタル・ファンクション・
ジェネレータなどを用いてもよい。また、ROMなどか
らCPU5に命令コードを供給するように構成し、D/
Aコンバータ1に入力データを供給させてもよい。
In the above embodiment, the instruction code and the input data are supplied by the LSI tester.
A general-purpose digital function instead of a tester
A generator or the like may be used. In addition, an instruction code is supplied to the CPU 5 from a ROM or the like,
The A converter 1 may be supplied with input data.

【0050】また上記実施形態においては、積分非直線
性誤差と微分非直線性誤差との双方を出力するように構
成したが、いずれか一方のみを出力するように構成して
もよい。
In the above embodiment, both the integral non-linearity error and the differential non-linearity error are output, but only one of them may be output.

【0051】また上記実施形態においては、D/Aコン
バータ1への入力データを1ずつ大きくしたが、いくつ
ずつ大きくしていくかは任意であり、たとえば、001
(H)、003(H)、005(H)というように、1
ビットおきに大きくしていってもよい。
In the above embodiment, the input data to the D / A converter 1 is increased by one. However, the number of the input data may be increased by any number, for example, 001.
(H), 003 (H), 005 (H), etc.
It may be increased every bit.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本願発明に係るA/Dコンバータ測定装置の回
路ブロック図である。
FIG. 1 is a circuit block diagram of an A / D converter measurement device according to the present invention.

【図2】本願発明に係るA/Dコンバータ測定装置によ
る積分非直線性誤差の観測波形の説明図である。
FIG. 2 is an explanatory diagram of an observation waveform of an integral nonlinearity error by the A / D converter measurement device according to the present invention.

【図3】本願発明に係るA/Dコンバータ測定装置によ
る微分非直線性誤差の観測波形の説明図である。
FIG. 3 is an explanatory diagram of an observed waveform of a differential nonlinearity error by the A / D converter measurement device according to the present invention.

【図4】従来のA/Dコンバータ測定装置の回路ブロッ
ク図である。
FIG. 4 is a circuit block diagram of a conventional A / D converter measuring device.

【図5】別の従来のA/Dコンバータ測定装置の回路ブ
ロック図である。
FIG. 5 is a circuit block diagram of another conventional A / D converter measuring device.

【図6】積分非直線性誤差の説明図である。FIG. 6 is an explanatory diagram of an integral nonlinearity error.

【図7】微分非直線性誤差の説明図である。FIG. 7 is an explanatory diagram of a differential nonlinearity error.

【符号の説明】 1 D/Aコンバータ 2 ローパスフィルタ 3 演算増幅器 4 データセレクタ 5 CPU 6 RAM 7 ラッチ回路 8 D/Aコンバータ 9 ローパスフィルタ 10a,10b リレー 11 補正アンプ 15 A/Dコンバータ[Description of Signs] 1 D / A converter 2 Low-pass filter 3 Operational amplifier 4 Data selector 5 CPU 6 RAM 7 Latch circuit 8 D / A converter 9 Low-pass filter 10a, 10b Relay 11 Correction amplifier 15 A / D converter

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 A/Dコンバータの積分非直線性誤差お
よび/または微分非直線性誤差を測定するA/Dコンバ
ータ測定装置であって、 測定対象としての前記A/Dコンバータに入力電圧を供
給し、その入力電圧を可変させる入力電圧供給手段と、 前記入力電圧供給手段から供給される入力電圧と前記A
/Dコンバータの出力コードとの関係に基づいて、前記
A/Dコンバータのゼロトランジション電圧とフルトラ
ンジション電圧とを判断し、それらの値と前記A/Dコ
ンバータのビット数とから、前記A/Dコンバータの出
力コード毎に、積分非直線性誤差および/または微分非
直線性誤差を演算する誤差演算手段を備えたことを特徴
とする、A/Dコンバータ測定装置。
An A / D converter measuring device for measuring an integral nonlinearity error and / or a differential nonlinearity error of an A / D converter, wherein an input voltage is supplied to the A / D converter as a measurement target. An input voltage supply means for varying the input voltage; an input voltage supplied from the input voltage supply means;
A zero transition voltage and a full transition voltage of the A / D converter are determined based on a relationship with an output code of the A / D converter, and the A / D converter is determined based on these values and the number of bits of the A / D converter. An A / D converter measuring apparatus, comprising: an error calculating means for calculating an integral nonlinearity error and / or a differential nonlinearity error for each output code of a converter.
【請求項2】 前記誤差演算手段は、前記ゼロトランジ
ション電圧とフルトランジション電圧とを用いて前記A
/Dコンバータの理想的な入出力関係を表す理想直線の
傾きを演算し、その理想直線の傾きに基づいて、前記A
/Dコンバータの出力コード毎に積分非直線性誤差を演
算する、請求項1に記載のA/Dコンバータ測定装置。
2. The error calculation means according to claim 1, wherein said error transition means uses said zero transition voltage and full transition voltage to generate said A transition.
The slope of an ideal straight line representing the ideal input / output relationship of the / D converter is calculated, and based on the slope of the ideal straight line, the A
2. The A / D converter measuring device according to claim 1, wherein an integral nonlinearity error is calculated for each output code of the / D converter.
【請求項3】 前記誤差演算手段は、前記A/Dコンバ
ータのビット数と前記ゼロトランジション電圧およびフ
ルトランジション電圧とを用いて前記A/Dコンバータ
の最小分解能を演算し、その最小分解能に基づいて、前
記A/Dコンバータの出力コード毎に積分非直線性誤差
および/または微分非直線性誤差を演算する、請求項1
に記載のA/Dコンバータ測定装置。
3. The error calculating means calculates a minimum resolution of the A / D converter using the number of bits of the A / D converter and the zero transition voltage and the full transition voltage, and based on the minimum resolution. And calculating an integral nonlinearity error and / or a differential nonlinearity error for each output code of the A / D converter.
2. The A / D converter measuring device according to 1.
【請求項4】 前記入力電圧供給手段は、ディジタルの
入力データをアナログ電圧に変換して前記A/Dコンバ
ータに供給する第1のD/A変換手段を有し、 前記誤差演算手段は、前記ディジタルの入力データと前
記A/Dコンバータの出力コードとの関係に基づいて、
前記A/Dコンバータのゼロトランジション電圧とフル
トランジション電圧とを判断するCPUにより実現され
ている、請求項1ないし請求項3のいずれかに記載のA
/Dコンバータ測定装置。
4. The input voltage supply means has first D / A conversion means for converting digital input data into an analog voltage and supplying the analog voltage to the A / D converter. Based on the relationship between digital input data and the output code of the A / D converter,
4. The A according to claim 1, wherein the A / D converter is realized by a CPU that determines a zero transition voltage and a full transition voltage.
/ D converter measurement device.
【請求項5】 測定対象としての前記A/Dコンバータ
は、それのみあるいは他の回路を含んでIC化されてお
り、 前記CPUにより実現されている誤差演算手段の出力を
アナログ電圧に変換して出力する第2のD/A変換手段
と、 前記IC化されたA/Dコンバータが装着されるICソ
ケットとを有し、 前記第1のD/A変換手段と前記CPUと前記第2のD
/A変換手段と前記ICソケットとが1個の基板上に搭
載されている、請求項4に記載のA/Dコンバータ測定
装置。
5. The A / D converter to be measured is an IC including only the A / D converter or another circuit, and converts an output of an error calculating means realized by the CPU into an analog voltage. A second D / A converter for outputting the data; and an IC socket to which the A / D converter is integrated. The first D / A converter, the CPU, and the second D are provided.
The A / D converter measurement device according to claim 4, wherein the / A conversion means and the IC socket are mounted on one board.
【請求項6】 前記第2のD/A変換手段は、前記誤差
演算手段により判断された前記ゼロトランジション電圧
およびフルトランジション電圧をアナログ電圧に変換し
て出力する、請求項5に記載のA/Dコンバータ測定装
置。
6. The A / A converter according to claim 5, wherein said second D / A converter converts the zero transition voltage and the full transition voltage determined by the error calculator into analog voltages and outputs the analog voltages. D converter measurement device.
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