JPH1167486A - Esd protection circuit and package including esd protection circuit - Google Patents

Esd protection circuit and package including esd protection circuit

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JPH1167486A
JPH1167486A JP9219565A JP21956597A JPH1167486A JP H1167486 A JPH1167486 A JP H1167486A JP 9219565 A JP9219565 A JP 9219565A JP 21956597 A JP21956597 A JP 21956597A JP H1167486 A JPH1167486 A JP H1167486A
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protection circuit
esd protection
signal
inductor
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Sunao Mizunaga
直 水永
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Oki Electric Industry Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To protect a circuit dealing with signals in a high frequency range by providing a first circuit of which one end is connected to an input signal line connected to a signal input terminal and a signal processing circuit and the other end is connected to the ground and a second circuit of which one end is connected to the input signal line and the other end is connected to a power source line. SOLUTION: When a negative potential high voltage pulse is applied to an input terminal 23, the input in-potential is clamped by the on-potential of a diode D1. When a positive potential high voltage pulse is applied, the input in-potential is clamped by the on-potential of a diode D2. When an ordinary level signal is input, the GND (ground) side circuit and the VDD side circuit function as a series resonance circuit together and each circuit exhibits an impedance corresponding to a parasitic capacitance of the diodes D1, D2 for a signal in a low frequency range and an impedance corresponding to inductors L1, L2 for a signal in a high frequency range. An object circuit is protected from electrostatic destruction by using proper inductors so as to reduce the variation of the high frequency signal to be transmitted to the circuit.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、無線周波
数帯(RF)を目的周波数とする高周波増幅器など、高
周波領域の信号を対象とする信号処理回路を、静電気に
よる破壊から保護するためのESD(electrostatic dis
charge)保護回路と、そのような信号処理回路を備え、
ESD保護回路を含むパッケージに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ESD for protecting a signal processing circuit for a signal in a high frequency region, such as a high frequency amplifier for a target frequency in a radio frequency band (RF), from damage caused by static electricity. (electrostatic dis
charge) protection circuit and such a signal processing circuit,
The present invention relates to a package including an ESD protection circuit.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来より、静電気によって回路が破壊さ
れるのを防ぐために、当該回路の入力部分にESD保護
回路を付加することが行われている。以下、高周波増幅
器を保護する場合を例に、図6を用いて、従来のESD
保護回路の構成、動作を説明する。
2. Description of the Related Art Conventionally, an ESD protection circuit has been added to an input portion of a circuit in order to prevent the circuit from being damaged by static electricity. Hereinafter, an example of protecting a high-frequency amplifier will be described with reference to FIG.
The configuration and operation of the protection circuit will be described.

【0003】図示したように、従来のESD保護回路2
1は、保護対象である高周波増幅器(RF Amp)22
の入力inと入力端子23を結ぶ信号線(以下、入力信
号線と表記する)のいずれかの部分に、カソードが接続
され、GNDにアノードが接続されたダイオードD1
と、やはり入力信号線のいずれかの部分にアノードが接
続され、電源VDDにカソードが接続されたダイオード
D2とから構成されている。図示した回路では、入力端
子23に、負電位の高電圧パルス状サージが印加された
場合、ダイオードD1がONする。その結果、入力in
の電位は、ダイオードD1のON電圧でクランプされ
る。一方、入力端子23に、正電位の高電圧パルス状サ
ージが印加された場合には、ダイオードD2がONし、
入力inの電位は、ダイオードD2のON電圧でクラン
プされる。
As shown in the figure, a conventional ESD protection circuit 2
1 is a high frequency amplifier (RF Amp) 22 to be protected
A diode D1 having a cathode connected to any part of a signal line (hereinafter referred to as an input signal line) connecting the input in of the input terminal 23 and the input terminal 23, and an anode connected to GND.
And a diode D2 whose anode is connected to any part of the input signal line and whose cathode is connected to the power supply VDD. In the illustrated circuit, when a negative high-voltage pulse-like surge is applied to the input terminal 23, the diode D1 is turned on. As a result, the input in
Is clamped by the ON voltage of the diode D1. On the other hand, when a positive high-voltage pulse-shaped surge is applied to the input terminal 23, the diode D2 is turned on,
The potential of the input in is clamped by the ON voltage of the diode D2.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】このように、ESD保
護回路を設けておけば、入力端子に高電圧パルスが入力
されても、保護対象回路に、その高電圧パルスが直接入
力されることを防ぐことが出来る。しかしながら、従来
のESD保護回路を用いて、高周波増幅器のような高周
波領域の信号を対象とする回路を保護した場合、ESD
保護回路を構成するダイオードの寄生容量の影響によ
り、回路の通常動作時の性能が劣化してしまうことがあ
った。
By providing an ESD protection circuit in this manner, even if a high voltage pulse is input to the input terminal, the high voltage pulse is directly input to the circuit to be protected. Can be prevented. However, when a conventional ESD protection circuit is used to protect a circuit that targets signals in a high-frequency region, such as a high-frequency amplifier,
The performance of the circuit during normal operation may be deteriorated due to the influence of the parasitic capacitance of the diode constituting the protection circuit.

【0005】すなわち、ダイオードは寄生容量を有して
いるため、図6に示したESD保護回路は、実際には、
図7に示したように、ダイオードD1、D2にそれぞれ
並列にキャパシタC1、C2が接続されている回路とみ
なせるものとなっている。ESD保護回路によって保護
される回路が、低周波領域の信号を対象とする回路であ
った場合、入力信号線上を伝搬する信号は低周波信号で
あるので、キャパシタC1、C2は、高インピーダンス
素子として機能することになる。このため、キャパシタ
C1、C2の存在は、入力信号線の信号伝送にほとんど
影響を与えない。
That is, since the diode has a parasitic capacitance, the ESD protection circuit shown in FIG.
As shown in FIG. 7, the circuit can be regarded as a circuit in which capacitors C1 and C2 are connected in parallel to diodes D1 and D2, respectively. If the circuit protected by the ESD protection circuit is a circuit intended for a signal in a low-frequency region, the signal transmitted on the input signal line is a low-frequency signal. Therefore, the capacitors C1 and C2 are used as high-impedance elements. Will work. Therefore, the presence of the capacitors C1 and C2 hardly affects the signal transmission of the input signal line.

【0006】これに対して、保護対象回路が高周波増幅
器である場合、通常動作時に入力信号線上を伝搬される
信号は高周波信号であるので、キャパシタC1、C2
は、低インピーダンス素子として機能することになる。
従来のESD保護回路を用いた場合には、その結果とし
て入力信号線上を伝搬される信号が乱されることとな
り、保護対象回路の性能の劣化等が生じていた。
On the other hand, when the circuit to be protected is a high-frequency amplifier, the signals propagated on the input signal line during normal operation are high-frequency signals, so that the capacitors C1, C2
Will function as a low impedance element.
When a conventional ESD protection circuit is used, as a result, a signal propagated on an input signal line is disturbed, and the performance of a circuit to be protected is deteriorated.

【0007】そこで、本発明の課題は、例えば、高周波
増幅器などの高周波領域の信号を対象とする回路の保護
に適したESD保護回路を提供することにある。また、
本発明の他の課題は、そのようなESD保護回路を含む
パッケージを提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide an ESD protection circuit suitable for protecting a circuit for a signal in a high frequency region such as a high frequency amplifier. Also,
Another object of the present invention is to provide a package including such an ESD protection circuit.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明の第1の態様によ
るESD保護回路は、インダクタとダイオードを直列に
接続した第1回路であって、一方の端が、信号処理回路
への信号入力端子と信号処理回路を接続する信号線であ
る入力信号線と接続され、他方の端がグラウンドに接続
された第1回路と、インダクタとダイオードを直列に接
続した第2回路であって、一方の端が、入力信号線と接
続され、他方の端が電源線に接続された第2回路とを備
える。
An ESD protection circuit according to a first aspect of the present invention is a first circuit in which an inductor and a diode are connected in series, one end of which is a signal input terminal to a signal processing circuit. A first circuit connected to an input signal line which is a signal line connecting the signal processing circuit and the other end, and a second circuit in which an inductor and a diode are connected in series; Includes a second circuit connected to the input signal line and the other end connected to the power supply line.

【0009】すなわち、第1の態様のESD保護回路
は、信号入力端子に通常のレベルの信号が入力されてい
るときに、直列共振回路として機能する第1及び第2回
路を備える。より具体的には、第1、第2回路は、正あ
るいは負の高電圧パルスをグラウンド(GND)あるい
は電源線(VDD)に逃がすためのダイオードと、その
ダイオードに直列に接続されたインダクタとからなるた
め、ダイオードがONとなっていない状態では、ダイオ
ードの寄生容量とインダクタを直列に接続した直列共振
回路として機能する。周知のように直列共振回路のイン
ピーダンスは、ある周波数で極小値を示し、信号の周波
数の、その周波数からの隔たりが大きくなるほど高いイ
ンピーダンスを示す。このため、適当な大きさのインダ
クタの設けた本ESD保護回路を用いれば、信号処理回
路の目的周波数領域においてESD保護回路のインピー
ダンスが低くなることを防止できるので、通常動作時の
性能に大きな悪影響を与えることなく、高周波増幅器な
どの高周波信号を対象とする信号処理回路を静電気によ
る破壊から保護できることになる。
That is, the ESD protection circuit according to the first aspect includes first and second circuits that function as a series resonance circuit when a signal of a normal level is input to the signal input terminal. More specifically, the first and second circuits include a diode for releasing a positive or negative high voltage pulse to ground (GND) or a power supply line (VDD), and an inductor connected in series with the diode. Therefore, when the diode is not turned on, the diode functions as a series resonance circuit in which the parasitic capacitance of the diode and the inductor are connected in series. As is well known, the impedance of the series resonance circuit has a minimum value at a certain frequency, and the impedance increases as the distance between the signal frequency and the frequency increases. For this reason, if the present ESD protection circuit provided with an inductor of an appropriate size is used, it is possible to prevent the impedance of the ESD protection circuit from lowering in the target frequency region of the signal processing circuit, so that the performance during normal operation is greatly adversely affected. Thus, a signal processing circuit for a high-frequency signal, such as a high-frequency amplifier, can be protected from destruction by static electricity without giving a signal.

【0010】本発明の第2の態様によるESD保護回路
は、一方の端が、信号処理回路への信号入力端子と信号
処理回路を接続する信号線である入力信号線に接続され
たインダクタと、インダクタの他方の端とグラウンドと
を接続する第1ダイオードと、インダクタの他方の端と
電源線とを接続する第2ダイオードとを備える。
An ESD protection circuit according to a second aspect of the present invention includes an inductor having one end connected to an input signal line which is a signal line connecting the signal input terminal to the signal processing circuit and the signal processing circuit; A first diode connects the other end of the inductor to the ground, and a second diode connects the other end of the inductor to the power supply line.

【0011】すなわち、本発明の第2の態様によるES
D保護回路は、第1の態様のESD保護回路において、
2個設けられていたインダクタを1個にしたものとなっ
ている。この構成のESD保護回路によっても、目的周
波数領域においてESD保護回路のインピーダンスが低
くなることを防止できるので、第1の態様のESD保護
回路と同様に、通常動作時の性能に大きな悪影響を与え
ることなく、高周波増幅器などの高周波信号を対象とす
る信号処理回路を静電気による破壊から保護できること
になる。しかも、ESD保護回路を構成するために形成
することが必要なインダクタの数が、第1の態様のES
D保護回路に比して少なくなっているので、第2の態様
のESD保護回路は、第1の態様のESD保護回路より
も、小さな占有面積で実現できることになる。
That is, the ES according to the second aspect of the present invention
The D protection circuit is the ESD protection circuit according to the first aspect,
The two inductors are reduced to one. With the ESD protection circuit having this configuration, it is possible to prevent the impedance of the ESD protection circuit from lowering in the target frequency region. Therefore, similarly to the ESD protection circuit of the first embodiment, the ESD protection circuit has a large adverse effect on the performance during normal operation. In addition, a signal processing circuit for high-frequency signals such as a high-frequency amplifier can be protected from destruction due to static electricity. Moreover, the number of inductors that need to be formed to configure the ESD protection circuit is smaller than the number of inductors of the first embodiment.
Since the number is smaller than that of the D protection circuit, the ESD protection circuit of the second embodiment can be realized with a smaller area than the ESD protection circuit of the first embodiment.

【0012】本発明の第1の態様によるESD保護回路
を含むパッケージは、高周波領域の信号を対象とする信
号処理回路と、信号処理回路と接続された信号処理回路
用パッドと、ESD保護回路用パッドと、ESD保護回
路用パッドに一方の端が接続されたインダクタと、イン
ダクタの他方の端とグラウンドとを接続する第1ダイオ
ードと、インダクタの他方の端と電源線とを接続する第
2ダイオードとからなるESD保護回路とが形成された
チップを備える。さらに、第1の態様によるパッケージ
は、信号処理回路への入力信号が入力されるリードあっ
て、信号処理回路用パッドと接続されたリードと、リー
ドとESD保護回路用パッドとを接続するボンディング
ワイヤーとを備える。
A package including an ESD protection circuit according to the first aspect of the present invention includes a signal processing circuit for a signal in a high frequency range, a signal processing circuit pad connected to the signal processing circuit, and a package for the ESD protection circuit. A pad, an inductor having one end connected to the ESD protection circuit pad, a first diode connecting the other end of the inductor to ground, and a second diode connecting the other end of the inductor to a power supply line And a chip on which an ESD protection circuit is formed. The package according to the first aspect further includes a lead for inputting an input signal to the signal processing circuit, a lead connected to the signal processing circuit pad, and a bonding wire connecting the lead and the ESD protection circuit pad. And

【0013】このように、本発明の第1の態様のパッケ
ージは、本発明の第2の態様のESD保護回路と同様の
構成のESD保護回路と、信号処理回路への信号入力端
子である、パッケージに設けられたリードとをボンディ
ングワイヤーで接続した構成を有する。すなわち、第1
の態様のパッケージは、当該ボンディングワイヤーの寄
生インダクタ成分をも回路要素として含む直列共振回路
を有するように構成される。
As described above, the package according to the first aspect of the present invention includes an ESD protection circuit having the same configuration as the ESD protection circuit according to the second aspect of the present invention, and a signal input terminal to a signal processing circuit. It has a configuration in which leads provided on a package are connected by bonding wires. That is, the first
The package according to the aspect is configured to have a series resonant circuit that also includes a parasitic inductor component of the bonding wire as a circuit element.

【0014】このような構成を有するパッケージによれ
ば、チップ上にESD保護回路の構成要素として形成し
なければならないインダクタは、第2の態様のESD保
護回路内のインダクタよりも小さなインダクタンスの素
子であって良いことになる。すなわち、本構成を採用す
れば、より占有面積の小さなインダクタをチップ上に形
成するだけで、その通常動作時の性能に悪影響を与える
ことなく、信号処理回路を静電気による破壊から保護で
きることになる。
According to the package having such a configuration, the inductor to be formed on the chip as a component of the ESD protection circuit is an element having a smaller inductance than the inductor in the ESD protection circuit of the second embodiment. That would be good. That is, if this configuration is adopted, the signal processing circuit can be protected from destruction due to static electricity without adversely affecting the performance during normal operation only by forming an inductor having a smaller area on the chip.

【0015】本発明の第2の態様によるESD保護回路
を含むパッケージは、高周波領域の信号を対象とする信
号処理回路と、信号処理回路と接続された信号処理回路
用パッドと、ESD保護回路用パッドと、ESD保護回
路用パッドに一方の端が接続されたインダクタと、イン
ダクタの他方の端とグラウンドとを接続する第1ダイオ
ードと、インダクタの他方の端と電源線とを接続する第
2ダイオードとからなるESD保護回路とが形成された
チップを備える。さらに、第2の態様によるパッケージ
は、信号処理回路への入力信号が入力されるリードあっ
て、信号処理回路用パッドと第1ボンディングワイヤー
によって接続されたリードと、信号処理回路用パッドと
ESD保護回路用パッドとを接続する第2ボンディング
ワイヤーとを備える。
A package including the ESD protection circuit according to the second aspect of the present invention includes a signal processing circuit for a signal in a high frequency region, a signal processing circuit pad connected to the signal processing circuit, and a package for the ESD protection circuit. A pad, an inductor having one end connected to the ESD protection circuit pad, a first diode connecting the other end of the inductor to ground, and a second diode connecting the other end of the inductor to a power supply line And a chip on which an ESD protection circuit is formed. Further, the package according to the second aspect has a lead for inputting an input signal to the signal processing circuit, a lead connected to the signal processing circuit pad and the first bonding wire, a signal processing circuit pad and the ESD protection pad. A second bonding wire for connecting to the circuit pad.

【0016】このように、本発明の第2の態様によるパ
ッケージは、チップ上に形成されるESD保護回路のイ
ンダクタと、信号処理回路への信号入力端子であるリー
ドとの接続が、当該リードと信号処理回路用パッドとを
接続する第1ボンディングワイヤーと、信号処理回路用
パッドとESD保護回路用パッドとを接続する第2ボン
ディングワイヤーとを介して行われるように構成され
る。すなわち、第2の態様のパッケージは、第1、第2
ボンディングワイヤーの寄生インダクタ成分をも回路要
素として含む直列共振回路を有するように構成される。
従って、本構成を採用した場合、通常、第3の態様のE
SD保護回路内のインダクタよりも占有面積の小さなイ
ンダクタをチップ上に形成するだけで、その通常動作時
の性能に悪影響を与えることなく、信号処理回路を静電
気による破壊から保護できることになる。
As described above, in the package according to the second aspect of the present invention, the connection between the inductor of the ESD protection circuit formed on the chip and the lead which is the signal input terminal to the signal processing circuit is connected to the lead. It is configured to be performed via a first bonding wire connecting the signal processing circuit pad and a second bonding wire connecting the signal processing circuit pad and the ESD protection circuit pad. That is, the package according to the second aspect includes the first and second packages.
It is configured to have a series resonance circuit that also includes a parasitic inductor component of a bonding wire as a circuit element.
Therefore, when this configuration is adopted, usually, E of the third mode is used.
By simply forming on the chip an inductor occupying a smaller area than the inductor in the SD protection circuit, the signal processing circuit can be protected from destruction due to static electricity without adversely affecting the performance during normal operation.

【0017】また、第1の態様によるパッケージを構成
するに際して、リードとESD保護回路用パッドとの接
続が、1つ以上の中継点で電気的に接続された複数本の
ボンディングワイヤーによって行われるようにしても良
く、第2の態様によるパッケージを構成するに際して、
信号処理回路用パッドとESD保護回路用パッドとの接
続が、1つ以上の中継点で電気的に接続された複数本の
ボンディングワイヤーによって行われるようにしても良
い。このようにより多くのボンディングワイヤーによっ
てESD保護回路とリードの接続が行われるようにした
場合には、チップ上により小さなサイズのインダクタを
形成するだけで所望の特性を有するパッケージが得られ
ることになる。なお、中継点としては、例えば、パッケ
ージに設けられている、信号の入出力のために使用する
必要がないリード等を利用することが出来る。
In configuring the package according to the first aspect, the connection between the lead and the pad for the ESD protection circuit is performed by a plurality of bonding wires electrically connected at one or more relay points. When configuring the package according to the second aspect,
The connection between the signal processing circuit pad and the ESD protection circuit pad may be performed by a plurality of bonding wires electrically connected at one or more relay points. When the connection between the ESD protection circuit and the lead is made by a larger number of bonding wires, a package having desired characteristics can be obtained only by forming an inductor having a smaller size on a chip. As the relay point, for example, a lead provided in the package and not required to be used for inputting and outputting signals can be used.

【0018】[0018]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して具体的に説明する。 <第1実施形態>図1に、本発明の第1実施形態による
ESD保護回路の構成を示す。図示したように、第1実
施形態のESD保護回路11は、インダクタL1、L2
とダイオードD1、D2とからなる。なお、図中に示し
てあるC1、C2は、それぞれ、ダイオードD1、D2
の寄生容量である(キャパシタが別途設けられている訳
ではない)。
Embodiments of the present invention will be specifically described below with reference to the drawings. <First Embodiment> FIG. 1 shows the structure of an ESD protection circuit according to a first embodiment of the present invention. As illustrated, the ESD protection circuit 11 of the first embodiment includes inductors L1 and L2.
And diodes D1 and D2. Note that C1 and C2 shown in the figure are diodes D1 and D2, respectively.
(The capacitor is not separately provided).

【0019】インダクタL1の一端は、保護対象である
高周波増幅器(RF Amp)22の入力inと入力端子
23とを結ぶ信号線に接続されている。ダイオードD1
のカソードは、インダクタL1の他端に接続されてお
り、ダイオードD1のアノードは、GNDに接続されて
いる。また、インダクタL2の一端も、同じ信号線に接
続されており、ダイオードD2のアノード、カソード
は、それぞれ、インダクタL2の他端、VDDに接続さ
れている。なお、第1実施形態では、インダクタL1、
L2、ダイオードD1、D2は、高周波増幅器22と共
に同一のチップ上に形成されており、インダクタL1、
L2と高周波増幅器22の入力inとの接続も、チップ
上で行われている。また、インダクタL1、L2は、寄
生容量C1、C2の大きさと、高周波増幅器22が対象
とする信号の周波数に基づき決定されたインダクタンス
を有する素子となっている。
One end of the inductor L1 is connected to a signal line connecting the input terminal of the high frequency amplifier (RF Amp) 22 to be protected and the input terminal 23. Diode D1
Is connected to the other end of the inductor L1, and the anode of the diode D1 is connected to GND. One end of the inductor L2 is also connected to the same signal line, and the anode and cathode of the diode D2 are connected to the other end of the inductor L2 and VDD, respectively. In the first embodiment, the inductor L1,
L2 and the diodes D1 and D2 are formed on the same chip together with the high-frequency amplifier 22.
The connection between L2 and the input in of the high-frequency amplifier 22 is also performed on the chip. The inductors L1 and L2 are elements having inductances determined based on the magnitudes of the parasitic capacitances C1 and C2 and the frequency of a signal targeted by the high-frequency amplifier 22.

【0020】このESD保護回路11は、入力端子23
に正、あるいは、負電位の高電圧パルスが印可された際
には、従来のESD保護回路と同様に機能する。すなわ
ち、入力端子23に、負電位の高電圧パルスが印加され
たときには、ダイオードD1がONし、入力inの電位
は、ダイオードD1のON電圧でクランプされる。一
方、入力端子23に、正電位の高電圧パルスが印加され
たときには、ダイオードD2がONし、入力inの電位
は、ダイオードD2のON電圧でクランプされる。
The ESD protection circuit 11 has an input terminal 23
When a high voltage pulse of a positive or negative potential is applied to the circuit, it functions in the same manner as a conventional ESD protection circuit. That is, when a negative potential high voltage pulse is applied to the input terminal 23, the diode D1 is turned on, and the potential of the input in is clamped by the ON voltage of the diode D1. On the other hand, when a positive potential high voltage pulse is applied to the input terminal 23, the diode D2 turns on, and the potential of the input in is clamped by the ON voltage of the diode D2.

【0021】一方、入力端子23に入力される信号が通
常レベルの信号であるときには、ESD保護回路11を
構成しているインダクタL1とダイオードD1からなる
GND側の回路は、インダクタL1と寄生容量C1とか
らなる直列共振回路として機能する。そして、VDD側
の回路も、インダクタL2と寄生容量C2とからなる直
列共振回路として機能する。
On the other hand, when the signal input to the input terminal 23 is a normal level signal, the GND side circuit comprising the inductor L1 and the diode D1 constituting the ESD protection circuit 11 includes the inductor L1 and the parasitic capacitance C1. And functions as a series resonance circuit. The circuit on the VDD side also functions as a series resonance circuit including the inductor L2 and the parasitic capacitance C2.

【0022】すなわち、GND側とVDD側に設けられ
ている各回路は、図2に示したように、低周波領域の信
号に対しては、ダイオードの寄生容量の大きさに応じた
インピーダンスを示し、高周波領域の信号に対しては、
インダクタの大きさに応じたインピーダンスを示す回路
(インピーダンスがある周波数(共振周波数)で極小値
を取る回路)として機能する。周知のように、直列共振
回路の周波数・インピーダンス特性は、インダクタの大
きさを調整することにより制御可能である。
That is, as shown in FIG. 2, each circuit provided on the GND side and the VDD side shows an impedance corresponding to the magnitude of the parasitic capacitance of the diode with respect to the signal in the low frequency region. , For signals in the high frequency range,
The circuit functions as a circuit indicating impedance according to the size of the inductor (a circuit that takes a local minimum value at a certain frequency (resonance frequency)). As is well known, the frequency / impedance characteristics of the series resonance circuit can be controlled by adjusting the size of the inductor.

【0023】このため、適当な大きさのインダクタを設
けたESD保護回路11を用いれば、入力信号の周波数
が高くなるにつれインピーダンスが低下していた従来の
ESD保護回路を用いた場合に比して、入力端子23に
入力された高周波信号を、より変化の少ない状態で、高
周波増幅器22などの保護対象回路に渡すことが出来る
ことになる。すなわち、第1実施形態のESD保護回路
11を用いれば、その通常動作時の性能に悪影響を与え
ることなく、高周波増幅器22を静電気による破壊から
保護できることになる。
For this reason, the use of the ESD protection circuit 11 provided with an inductor of an appropriate size makes it possible to reduce the impedance as the frequency of the input signal increases, as compared with the conventional ESD protection circuit. Thus, the high-frequency signal input to the input terminal 23 can be transferred to the protection target circuit such as the high-frequency amplifier 22 with less change. That is, if the ESD protection circuit 11 of the first embodiment is used, the high-frequency amplifier 22 can be protected from destruction by static electricity without adversely affecting the performance during normal operation.

【0024】<第2実施形態>図3に、本発明の第2実
施形態によるESD保護回路の構成を示す。図示したよ
うに、第1実施形態のESD保護回路12は、1つのイ
ンダクタLとダイオードD1、D2とからなる。ダイオ
ードD1のアノードはGNDに接続されている。ダイオ
ードD1のカソードは、ダイオードD2のアノードと接
続されており、ダイオードD2のカソードはVDDに接
続されている。ダイオードD1、D2からなる回路は、
両者の接続点aで、インダクタLを介して、高周波増幅
器22の入力inと入力端子23とを結ぶ信号線に接続
されている。
<Second Embodiment> FIG. 3 shows a configuration of an ESD protection circuit according to a second embodiment of the present invention. As illustrated, the ESD protection circuit 12 according to the first embodiment includes one inductor L and diodes D1 and D2. The anode of the diode D1 is connected to GND. The cathode of the diode D1 is connected to the anode of the diode D2, and the cathode of the diode D2 is connected to VDD. The circuit composed of the diodes D1 and D2 is
At a connection point “a” between the two, a signal line connecting the input “in” of the high-frequency amplifier 22 and the input terminal 23 via the inductor L is connected.

【0025】すなわち、第2実施形態のESD保護回路
12は、第1実施形態のESD保護回路11のインダク
タL1、L2を、1つのインダクタLで置き換えた回路
となっている。このESD保護回路12も、第1実施形
態のESD保護回路11と同様に、低周波に対しては容
量性のインピーダンスを示し、高周波に対しては誘導性
のインピーダンスを示し、容量性から誘導性に変わると
きにインピーダンスが最小値をとることになる。従っ
て、本ESD保護回路12を用いた場合にも、従来のE
SD保護回路を用いた場合に比して、入力端子23に入
力された高周波信号を、より変化の少ない状態で、高周
波増幅器22などの保護対象回路に渡すことが出来るこ
とになる。
That is, the ESD protection circuit 12 of the second embodiment is a circuit in which the inductors L1 and L2 of the ESD protection circuit 11 of the first embodiment are replaced with one inductor L. Like the ESD protection circuit 11 of the first embodiment, the ESD protection circuit 12 also exhibits a capacitive impedance at low frequencies, exhibits an inductive impedance at high frequencies, and changes from capacitive to inductive. , The impedance takes the minimum value. Therefore, even when the present ESD protection circuit 12 is used, the conventional E
As compared with the case where the SD protection circuit is used, the high-frequency signal input to the input terminal 23 can be transferred to a protection target circuit such as the high-frequency amplifier 22 with less change.

【0026】しかも、ESD保護回路12は、1つのイ
ンダクタと2つのダイオードで構成できるので、2つの
インダクタと2つのダイオードからなる第1実施形態の
ESD保護回路11の形成に必要とされる面積よりも、
インダクタ1つ分少ない面積で形成できる回路にもなっ
ている。
In addition, since the ESD protection circuit 12 can be constituted by one inductor and two diodes, the area required for forming the ESD protection circuit 11 of the first embodiment composed of two inductors and two diodes is smaller than the area required for formation. Also,
It is also a circuit that can be formed with an area smaller by one inductor.

【0027】<第3実施形態>図4に、本発明の第3実
施形態を示す。図から明らかなように、第3実施形態の
ESD保護回路13は、第2実施形態のESD保護回路
12(図3)と同様の構成を有する。ただし、第3実施
形態のESD保護回路13のインダクタL'(1)は、高周
波増幅器22のinに繋がるパッド(PAD(in))とは
別に設けられたパッド(PAD(in2))と接続されてお
り、PAD(in2)は、PAD(in)とボンディングワイヤ
ーWによって接続される、高周波増幅器22への信号入
力端子であるパッケージのリード(in)23と、ボンディ
ングワイヤーW2によって接続される。
<Third Embodiment> FIG. 4 shows a third embodiment of the present invention. As is clear from the figure, the ESD protection circuit 13 of the third embodiment has the same configuration as the ESD protection circuit 12 (FIG. 3) of the second embodiment. However, the inductor L '(1) of the ESD protection circuit 13 of the third embodiment is connected to a pad (PAD (in2)) provided separately from the pad (PAD (in)) connected to the in of the high-frequency amplifier 22. The PAD (in2) is connected by a bonding wire W2 to a lead (in) 23 of a package, which is a signal input terminal to the high-frequency amplifier 22 and is connected to the PAD (in) by a bonding wire W.

【0028】このように、ESD保護回路13のインダ
クタL'(1)は、高周波増幅器22への信号が入力される
リード(in)23に、ボンディングワイヤーW2を介して
接続されているので、リード(in)23には、GND側
に、ボンディングワイヤーW2の寄生インダクタ成分
L'(2)とインダクタL'(1)とダイオードD1の寄生容量
C1(図示せず)からなる直列共振回路が設けられてい
ることになる。また、VDD側には、ボンディングワイ
ヤーW2の寄生インダクタ成分L'(2)とインダクタL'
(1)とダイオードD2の寄生容量C2(図示せず)から
なる直列共振回路が設けられていることになる。、従っ
て、ボンディングワイヤーW2とESD保護回路13か
らなる部分は、第2実施形態のESD保護回路12と同
様に、低周波に対しては容量性のインピーダンスを示
し、高周波に対しては誘導性のインピーダンスを示し、
容量性から誘導性に変わるときにインピーダンスが最小
値をとることになる。従って、図4に示した構成によれ
ば、従来のESD保護回路を用いた場合に比して、リー
ド(in)に入力された高周波信号を、より変化の少ない状
態で、高周波増幅器22などの保護対象回路に渡すこと
が出来ることになる。
As described above, since the inductor L '(1) of the ESD protection circuit 13 is connected to the lead (in) 23 to which the signal to the high-frequency amplifier 22 is input via the bonding wire W2, In (in) 23, a series resonance circuit including a parasitic inductor component L '(2) of the bonding wire W2, an inductor L' (1), and a parasitic capacitance C1 (not shown) of the diode D1 is provided on the GND side. Will be. On the VDD side, the parasitic inductor component L '(2) of the bonding wire W2 and the inductor L'
A series resonance circuit including (1) and a parasitic capacitance C2 (not shown) of the diode D2 is provided. Therefore, the portion composed of the bonding wire W2 and the ESD protection circuit 13 exhibits a capacitive impedance at low frequencies and an inductive property at high frequencies, similarly to the ESD protection circuit 12 of the second embodiment. Indicates impedance,
The impedance will take a minimum value when changing from capacitive to inductive. Therefore, according to the configuration shown in FIG. 4, the high-frequency signal input to the lead (in) can be changed with less change in the high-frequency amplifier 22 and the like than in the case of using the conventional ESD protection circuit. It can be passed to the circuit to be protected.

【0029】さらに、ボンディングワイヤーW2の寄生
インダクタンスを利用して、直列共振回路を形成してい
るので、チップ上に形成するインダクタL'(1)は、第2
実施形態のESD保護回路12内のインダクタLよりも
小さなインダクタンスの素子であって良い。すなわち、
第3実施形態の構成を採用すれば、より占有面積の小さ
なインダクタをチップ上に形成するだけで、その通常動
作時の性能に悪影響を与えることなく、高周波増幅器2
2を静電気による破壊から保護できることになる。
Further, since the series resonance circuit is formed by utilizing the parasitic inductance of the bonding wire W2, the inductor L '(1) formed on the chip
An element having an inductance smaller than the inductor L in the ESD protection circuit 12 of the embodiment may be used. That is,
When the configuration of the third embodiment is adopted, the high-frequency amplifier 2 can be formed without forming any inductor having a smaller occupied area on the chip without adversely affecting the performance during the normal operation.
2 can be protected from destruction by static electricity.

【0030】<第4実施形態>図5に、本発明の第4実
施形態を示す。図から明らかなように、第4実施形態の
ESD保護回路14は、第3実施形態のESD保護回路
13(図4)と同様の構成を有する。ただし、第4実施
形態のESD保護回路14のインダクタL''(1)と繋が
れたPAD(in2)は、パッケージのリード(in2)とボンデ
ィングワイヤーW2'によって接続されている。なお、
リード(in2)は、パッケージを動作させる際に、使用さ
れないリードとなっている。
<Fourth Embodiment> FIG. 5 shows a fourth embodiment of the present invention. As is clear from the figure, the ESD protection circuit 14 of the fourth embodiment has the same configuration as the ESD protection circuit 13 (FIG. 4) of the third embodiment. However, the PAD (in2) connected to the inductor L ″ (1) of the ESD protection circuit 14 of the fourth embodiment is connected to the package lead (in2) by the bonding wire W2 ′. In addition,
The lead (in2) is not used when the package is operated.

【0031】リード(in2)は、高周波増幅器22のin
に繋がるパッド(PAD(in))とボンディングワイヤー
W3によって接続されており、PAD(in)は、高周波増
幅器22への信号入力端子であるリード(in)23とボン
ディングワイヤーWによって接続されている。
The lead (in2) is connected to the in
The pad (PAD (in)) is connected to the high frequency amplifier 22 by a bonding wire W and a lead (in) 23 which is a signal input terminal to the high frequency amplifier 22.

【0032】すなわち、ESD保護回路14のインダク
タL''(1)は、高周波増幅器22への信号入力端子であ
るリード(in)に、ボンディングワイヤーW、W3、W
2'を介して接続されている。このため、リード(in)に
は、GND側に、ボンディングワイヤーW、W3、W
2'の寄生インダクタ成分L(4)、L'(3)、L''(2)と、
ESD保護回路14内のインダクタL'(1)と、ダイオー
ドD1の寄生容量C1(図示せず)からなる直列共振回
路が設けられていることになる。また、VDD側には、
同じインダクタ成分とダイオードD2の寄生容量C2
(図示せず)からなる直列共振回路が設けられているこ
とになる。
That is, the inductor L ″ (1) of the ESD protection circuit 14 connects the bonding wires W, W3, W to the lead (in) that is a signal input terminal to the high-frequency amplifier 22.
It is connected via 2 '. For this reason, the bonding wires W, W3, W are connected to the lead (in) on the GND side.
2 ′ parasitic inductor components L (4), L ′ (3), L ″ (2);
This means that a series resonance circuit including the inductor L ′ (1) in the ESD protection circuit 14 and the parasitic capacitance C1 (not shown) of the diode D1 is provided. On the VDD side,
The same inductor component and the parasitic capacitance C2 of the diode D2
(Not shown) is provided.

【0033】ボンディングワイヤーの寄生インダクタ成
分とESD保護回路14内の素子によって形成される各
直列共振回路は、低周波に対しては容量性のインピーダ
ンスを示し、高周波に対しては誘導性のインピーダンス
を示し、容量性から誘導性に変わるときにインピーダン
スが最小値をとることになる。従って、図5に示した構
成によっても、第3実施形態と同様に、リード(in)23
に入力された高周波信号を、変化の少ない状態で、高周
波増幅器22などの保護対象回路に渡すことが出来るこ
とになる。
Each series resonance circuit formed by the parasitic inductor component of the bonding wire and the elements in the ESD protection circuit 14 exhibits a capacitive impedance at low frequencies and an inductive impedance at high frequencies. As shown, when the capacitance changes from inductive to inductive, the impedance takes the minimum value. Therefore, according to the configuration shown in FIG. 5, similarly to the third embodiment, the lead (in) 23
Can be passed to the protection target circuit such as the high-frequency amplifier 22 with little change.

【0034】さらに、複数のボンディングワイヤーの寄
生インダクタンスを利用して、直列共振回路を形成して
いるので、チップ上に形成するインダクタL''(1)は、
第3実施形態のESD保護回路13内のインダクタL'
(1)よりも小さなインダクタンスの素子であって良い。
すなわち、第4実施形態の構成を採用すれば、より占有
面積の小さなインダクタをチップ上に形成するだけで、
通常動作時の性能に悪影響を与えることなく、高周波増
幅器22などの高周波信号を対象とする回路を静電気に
よる破壊から保護できることになる。
Further, since a series resonance circuit is formed by utilizing the parasitic inductance of a plurality of bonding wires, the inductor L ″ (1) formed on the chip is:
Inductor L 'in ESD protection circuit 13 of the third embodiment
The element may have an inductance smaller than that of (1).
That is, if the configuration of the fourth embodiment is adopted, only an inductor having a smaller occupied area is formed on the chip,
Circuits for high-frequency signals such as the high-frequency amplifier 22 can be protected from destruction by static electricity without adversely affecting the performance during normal operation.

【0035】<変形形態>第3実施形態では、PAD(i
n2)とリード(in)をボンディングワイヤーによって接続
しているが、PAD(in2)とPAD(in)を直接ボンディ
ングワイヤーによって接続しても良いことは当然であ
る。また、第4実施形態では、PAD(in2)とPAD(i
n)との電気的接続を実現するために、リード(in2)を2
本のボンディングワイヤーの中継点として用いている
が、リード以外のものをボンディングワイヤーの中継点
として用いても良いことも当然である。
<Modification> In the third embodiment, PAD (i
Although n2) and the lead (in) are connected by a bonding wire, it goes without saying that PAD (in2) and PAD (in) may be directly connected by a bonding wire. In the fourth embodiment, PAD (in2) and PAD (i
n) lead (in2)
Although it is used as a relay point of the bonding wire, it is obvious that something other than the lead may be used as a relay point of the bonding wire.

【0036】[0036]

【発明の効果】本発明によれば、通常動作時の性能に悪
影響を与えることなく、高周波増幅器などの高周波信号
を対象とする回路を静電気による破壊から保護できるこ
とになる。
According to the present invention, a circuit for a high-frequency signal such as a high-frequency amplifier can be protected from destruction by static electricity without adversely affecting the performance during normal operation.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の第1実施形態を説明するための回路図
である。
FIG. 1 is a circuit diagram for explaining a first embodiment of the present invention.

【図2】第1実施形態のESD保護回路の周波数・イン
ピーダンス特性図である。
FIG. 2 is a frequency-impedance characteristic diagram of the ESD protection circuit according to the first embodiment.

【図3】本発明の第2実施形態を説明するための回路図
である。
FIG. 3 is a circuit diagram for explaining a second embodiment of the present invention.

【図4】本発明の第3実施形態を説明するための回路図
である。
FIG. 4 is a circuit diagram for explaining a third embodiment of the present invention.

【図5】本発明の第4実施形態を説明するための回路図
である。
FIG. 5 is a circuit diagram for explaining a fourth embodiment of the present invention.

【図6】従来のESD保護回路を説明するための回路図
である。
FIG. 6 is a circuit diagram for explaining a conventional ESD protection circuit.

【図7】従来のESD保護回路の問題を説明するための
回路図である。
FIG. 7 is a circuit diagram for explaining a problem of a conventional ESD protection circuit.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11〜14、21 ESD保護回路 22 高周波増幅器 23 信号入力端子、リード(in) 11 to 14, 21 ESD protection circuit 22 High frequency amplifier 23 Signal input terminal, lead (in)

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 高周波領域の信号を対象とする信号処理
回路を、静電気から保護するためのESD保護回路であ
って、 インダクタとダイオードを直列に接続した第1回路であ
って、一方の端が、前記信号処理回路への信号入力端子
と前記信号処理回路を接続する信号線である入力信号線
と接続され、他方の端がグラウンドに接続された第1回
路と、 インダクタとダイオードを直列に接続した第2回路であ
って、一方の端が、前記入力信号線と接続され、他方の
端が電源線に接続された第2回路とを備えることを特徴
とするESD保護回路。
1. An ESD protection circuit for protecting a signal processing circuit for a signal in a high frequency region from static electricity, wherein the first circuit includes an inductor and a diode connected in series. A first circuit connected to a signal input terminal to the signal processing circuit and an input signal line serving as a signal line connecting the signal processing circuit, and having the other end connected to ground; and an inductor and a diode connected in series. A second circuit having one end connected to the input signal line and the other end connected to a power supply line.
【請求項2】 高周波領域の信号を対象とする信号処理
回路を、静電気から保護するためのESD保護回路であ
って、 一方の端が、前記信号処理回路への信号入力端子と前記
信号処理回路を接続する信号線である入力信号線に接続
されたインダクタと、 前記インダクタの他方の端とグラウンドとを接続する第
1ダイオードと、 前記インダクタの他方の端と電源線とを接続する第2ダ
イオードと、を備えることを特徴とするESD保護回
路。
2. An ESD protection circuit for protecting a signal processing circuit for a signal in a high frequency range from static electricity, wherein one end has a signal input terminal to the signal processing circuit and the signal processing circuit. An inductor connected to an input signal line that is a signal line connecting the other end of the inductor; a first diode connecting the other end of the inductor to ground; and a second diode connecting the other end of the inductor to a power supply line. And an ESD protection circuit.
【請求項3】 高周波領域の信号を対象とする信号処理
回路と、 前記信号処理回路と接続された信号処理回路用パッド
と、 ESD保護回路用パッドと、 前記ESD保護回路用パッドに一方の端が接続されたイ
ンダクタと、前記インダクタの他方の端とグラウンドと
を接続する第1ダイオードと、前記インダクタの他方の
端と電源線とを接続する第2ダイオードとからなるES
D保護回路とが形成されたチップと、 前記信号処理回路への入力信号が入力されるリードあっ
て、前記信号処理回路用パッドと接続されたリードと、 前記リードと前記ESD保護回路用パッドとを接続する
ボンディングワイヤーとを備えることを特徴とするES
D保護回路を含むパッケージ。
3. A signal processing circuit for a signal in a high frequency region, a signal processing circuit pad connected to the signal processing circuit, an ESD protection circuit pad, and one end of the ESD protection circuit pad. , A first diode connecting the other end of the inductor to ground, and a second diode connecting the other end of the inductor to a power supply line.
A chip on which a D protection circuit is formed; a lead to which an input signal to the signal processing circuit is input; a lead connected to the signal processing circuit pad; the lead and the ESD protection circuit pad; Characterized by comprising a bonding wire for connecting the two.
Package including D protection circuit.
【請求項4】 高周波領域の信号を対象とする信号処理
回路と、 前記信号処理回路と接続された信号処理回路用パッド
と、 ESD保護回路用パッドと、 前記ESD保護回路用パッドに一方の端が接続されたイ
ンダクタと、前記インダクタの他方の端とグラウンドと
を接続する第1ダイオードと、前記インダクタの他方の
端と電源線とを接続する第2ダイオードとからなるES
D保護回路とが形成されたチップと、 前記信号処理回路への入力信号が入力されるリードあっ
て、前記信号処理回路用パッドと第1ボンディングワイ
ヤーによって接続されたリードと、 前記信号処理回路用パッドと前記ESD保護回路用パッ
ドとを接続する第2ボンディングワイヤーとを備えるこ
とを特徴とするESD保護回路を含むパッケージ。
4. A signal processing circuit for signals in a high-frequency region, a signal processing circuit pad connected to the signal processing circuit, an ESD protection circuit pad, and one end of the ESD protection circuit pad. , A first diode connecting the other end of the inductor to ground, and a second diode connecting the other end of the inductor to a power supply line.
A chip on which a D protection circuit is formed; a lead for receiving an input signal to the signal processing circuit; a lead connected to the signal processing circuit pad and a first bonding wire; A package including an ESD protection circuit, comprising: a pad and a second bonding wire connecting the pad for the ESD protection circuit.
【請求項5】 前記ボンディングワイヤーが、1つ以上
の中継点で電気的に接続された複数本のボンディングワ
イヤーからなることを特徴とする請求項3記載のESD
保護回路を含むパッケージ。
5. The ESD according to claim 3, wherein the bonding wire comprises a plurality of bonding wires electrically connected at one or more relay points.
Package containing protection circuit.
【請求項6】 前記第2ボンディングワイヤーが、1つ
以上の中継点で電気的に接続された複数本のボンディン
グワイヤーからなることを特徴とする請求項4記載のE
SD保護回路を含むパッケージ。
6. The E according to claim 4, wherein said second bonding wire comprises a plurality of bonding wires electrically connected at one or more relay points.
Package including SD protection circuit.
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