JPH1167127A - Image display device and manufacture thereof - Google Patents

Image display device and manufacture thereof

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JPH1167127A
JPH1167127A JP22386597A JP22386597A JPH1167127A JP H1167127 A JPH1167127 A JP H1167127A JP 22386597 A JP22386597 A JP 22386597A JP 22386597 A JP22386597 A JP 22386597A JP H1167127 A JPH1167127 A JP H1167127A
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JP
Japan
Prior art keywords
getter material
getter
image display
scattering prevention
prevention structure
Prior art date
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Pending
Application number
JP22386597A
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Japanese (ja)
Inventor
Osamu Takamatsu
修 高松
Yoshio Suzuki
義勇 鈴木
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Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
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Publication date
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Publication of JPH1167127A publication Critical patent/JPH1167127A/en
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a long-life and high-vacuum image display device which can prevent a getter material from creeping around an image display part, can be evacuated to a high vacuum in a short time, and does not cause uneven pressure in the image display device. SOLUTION: A getter material scatter preventing structure 8 having a movable structure is disposed between an image display area, in which a phosphor plate 7 and a filament 12 are arranged, and a getter 5. The getter material scatter prevention structure 8 switches a opened state into a closed state of the image display area, and vice versa. For example, the vertical state of the image display device turns it into an open state (b) and the horizontal state of it turns it into a closed state (a). Thereby, the getter material can be prevented from scattering to the image display area at getter flashing.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、電子線を蛍光体に
照射することで画像表示を行う表示装置等の画像表示装
置に関する。
[0001] 1. Field of the Invention [0002] The present invention relates to an image display device such as a display device for displaying an image by irradiating a phosphor with an electron beam.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、画像表示装置には、液晶、EL
(エレクトロルミネッセンス)、プラズマ、電子線等を
用いたものがある。電子放出素子には大別して熱電位放
出素子と冷陰極電子放出素子を用いた2種類のものが知
られている。冷陰極電子放出素子には電界放出型(以
下、「FE型」という。)金属/絶縁層/金属型(以
下、「MIM型」という。)や表面伝導型電子放出素子
等がある。
2. Description of the Related Art Conventionally, image display devices include liquid crystal, EL, and the like.
(Electroluminescence), plasma, and electron beams. Generally, two types of electron-emitting devices using a thermal potential emitting device and a cold cathode electron-emitting device are known. The cold cathode electron emission device includes a field emission type (hereinafter, referred to as “FE type”) metal / insulating layer / metal type (hereinafter, referred to as “MIM type”), a surface conduction type electron emission device, and the like.

【0003】FE型の例としては W. P. Dyke & W. W.
Dorn, “Field Emission”, Advance in Electron Phys
ics, 8, 89 (1956) あるいはC. A. Spindt, “Physical
Properties of thin-film field emission cathodes w
ith molybdenium cones ”,J. Appl. Phys., 47, 5248
(1976) 等に開示されたものが知られている。
[0003] An example of the FE type is WP Dyke & WW
Dorn, “Field Emission”, Advance in Electron Phys
ics, 8, 89 (1956) or CA Spindt, “Physical
Properties of thin-film field emission cathodes w
ith molybdenium cones ”, J. Appl. Phys., 47, 5248
(1976) are known.

【0004】MIM型の例としては C. A. Mead,“Oper
ation of Tunnel-Emission Devices”, J. Appl. Phy
s., 32, 646 (1961)等に開示されたものが知られてい
る。
An example of the MIM type is CA Mead, “Oper
ation of Tunnel-Emission Devices ”, J. Appl. Phy
s., 32, 646 (1961) and the like are known.

【0005】表面伝導型電子放出素子型の例としては、
M. I. Elinson, Radio Eng. Electron Phys., 10, 1290
(1965) 等に開示されたものがある。
Examples of the surface conduction electron-emitting device type include:
MI Elinson, Radio Eng. Electron Phys., 10, 1290
(1965).

【0006】表面伝導型電子放出素子は、基板上に形成
された小面積の薄膜に、膜面に平行に電流を流すことに
より、電子放出が生ずる。この表面伝導型電子放出素子
としては、前記エリンソン等によるSnO2 薄膜を用い
たもの、Au薄膜によるもの[G. Dittmer:Thin Solis F
ilms, 9, 317 (1972)]、In23/SnO2薄膜による
もの[M. Hartwell and C. G. Fonstad: IEEE Trans. E
D Conf., 519 (1975)]、カーボン薄膜によるもの[荒木
久 他:真空、第26巻、第1号、22頁(198
3)]等が報告されている。
[0006] In the surface conduction electron-emitting device, electron emission occurs when a current flows in a small-area thin film formed on a substrate in parallel with the film surface. Examples of the surface conduction electron-emitting device include a device using an SnO 2 thin film by Elinson et al. And a device using an Au thin film [G. Dittmer: Thin Solis F.
ilms, 9, 317 (1972)], based on In 2 O 3 / SnO 2 thin film [M. Hartwell and CG Fonstad: IEEE Trans. E
D Conf., 519 (1975)], using a carbon thin film [Hisashi Araki et al .: Vacuum, Vol. 26, No. 1, page 22, (198)
3)] has been reported.

【0007】これらの表面伝導型電子放出素子の典型的
な例として前述のM.ハートウェルの素子構成を図3に
模式的に示す。同図において31は基板である。34は
導電性薄膜で、H型形状のパターンにスパッタで形成さ
れた金属酸化物薄膜等からなり、後述の通電フォーミン
グと呼ばれる通電処理により電子放出部35が形成され
る。なお、図中の素子電極間隔Lは、0.5〜1mm、
W’は、0.1mmと設定されている。
As a typical example of these surface conduction electron-emitting devices, the above-mentioned M.P. FIG. 3 schematically shows a device configuration of the Hartwell. In the figure, 31 is a substrate. Numeral 34 denotes a conductive thin film, which is formed of a metal oxide thin film or the like formed by sputtering in an H-shaped pattern, and the electron emitting portion 35 is formed by an energization process called energization forming described later. In addition, the element electrode interval L in the figure is 0.5 to 1 mm,
W 'is set to 0.1 mm.

【0008】従来、これらの表面伝導型電子放出素子に
おいては、電子放出を行う前に導電性薄膜34を予め通
電フォーミングと呼ばれる通電処理によって電子放出部
35を形成するのが一般的であった。すなわち、通電フ
ォーミングとは前記導電性薄膜34両端の32、33を
通して直流電圧あるいは非常にゆっくりとした昇電圧を
印加通電し、導電性薄膜を局所的に破壊、変形もしくは
変質せしめ、電気的に高抵抗な状態にした電子放出部3
5を形成する。電子放出部35は導電性薄膜34の一部
に亀裂が発生しその亀裂付近から電子放出が行われる。
前記通電フォーミング処理をした表面伝導型電子放出素
子は、上述導電性薄膜34の32、33を通して電圧を
印加し、素子に電流を流すことにより、上述の電子放出
部35より電子を放出せしめるものである。
Conventionally, in these surface conduction electron-emitting devices, before the electron emission, the conductive thin film 34 is generally formed with an electron-emitting portion 35 by an energization process called energization forming. That is, the energization forming means applying a DC voltage or a very slow rising voltage through the 32 and 33 at both ends of the conductive thin film 34 and energizing the same to locally destroy, deform or alter the conductive thin film, thereby increasing the electrical high voltage. Electron emission unit 3 in a resistance state
5 is formed. In the electron emitting portion 35, a crack is generated in a part of the conductive thin film 34, and electrons are emitted from the vicinity of the crack.
In the surface conduction type electron-emitting device subjected to the energization forming process, a voltage is applied through 32 and 33 of the conductive thin film 34 and a current is caused to flow through the device, thereby causing the electron-emitting portion 35 to emit electrons. is there.

【0009】このような電子放出素子から放出される電
子線を用いて蛍光体を励起させる画像表示装置は、一般
に画像表示装置内の真空度を高めることが重要である。
In an image display device that excites a phosphor using an electron beam emitted from such an electron-emitting device, it is generally important to increase the degree of vacuum in the image display device.

【0010】一般に封止された気密容器内を高真空に維
持するためにはゲッタが用いられる。ゲッタは、その一
部が開放された容器に、例えば、蒸発型ゲッタとして、
Ba、SrまたはMg等のゲッタ材を収納し、誘導加熱
や通電加熱等によってゲッタ材を加熱し、蒸発(以下、
フラッシュと称す)させて気密容器内にゲッタ材を付着
させることで、装置内の残留ガス等を前記付着したゲッ
タ材で吸着し、装置内の真空度の維持を図るものであ
る。
In general, a getter is used to maintain the inside of a sealed airtight container at a high vacuum. The getter is in a partially open container, for example, as an evaporable getter.
A getter material such as Ba, Sr, or Mg is stored, and the getter material is heated by induction heating, electric heating, or the like, and is evaporated (hereinafter, referred to as “evaporation”).
By causing the getter material to adhere to the airtight container by flashing), residual gas and the like in the apparatus are adsorbed by the attached getter material, and the degree of vacuum in the apparatus is maintained.

【0011】図4に従来の画像表示装置の一例を示す。
図4において、20、21はガラス等の絶縁物からなる
基板で、21上には蛍光体36が形成されている。以
下、基板20をリアプレート、基板21をフェイスプレ
ートと称す。リアプレート20とフェイスプレート21
は、ガラス等の絶縁物からなる外枠25と低融点ガラス
等によって封着され、排気管40を封止することによっ
て気密容器を形成する。該容器にかかる大気圧は外枠2
5によって支持されている。前記容器内にはゲッタが該
容器中で保持する治具52(以下ゲッタ保持治具52と
呼ぶ)によりゲッタ50が保持されている。ゲッタ50
と蛍光体36とフィラメント37が存在する画像表示部
との間には、ゲッタ材の画像表示部への回り込みを防ぐ
ためゲッタ材飛散防止構造70が設けてある。排気管4
0によって該容器を排気した後、該排気管は封止され
る。その後、ゲッタ50をフラッシュさせて画像表示装
置を完成させる。37は電子線発生源であるフィラメン
トで、フィラメント37を加熱することによって発生し
た熱電子は、コントロールグリッド38により加速され
蛍光体に衝突して画像を表示する。
FIG. 4 shows an example of a conventional image display device.
In FIG. 4, reference numerals 20 and 21 denote substrates made of an insulating material such as glass, on which a phosphor 36 is formed. Hereinafter, the substrate 20 is referred to as a rear plate, and the substrate 21 is referred to as a face plate. Rear plate 20 and face plate 21
Is sealed with an outer frame 25 made of an insulating material such as glass and a low-melting glass or the like, and forms an airtight container by sealing the exhaust pipe 40. The atmospheric pressure applied to the container is
5 supported. A getter 50 is held in the container by a jig 52 held by the getter in the container (hereinafter referred to as a getter holding jig 52). Getter 50
A getter material scattering prevention structure 70 is provided between the fluorescent material 36 and the image display portion having the filament 37 in order to prevent the getter material from entering the image display portion. Exhaust pipe 4
After evacuating the container by zero, the exhaust pipe is sealed. Thereafter, the getter 50 is flashed to complete the image display device. Reference numeral 37 denotes a filament which is an electron beam generating source. Thermions generated by heating the filament 37 are accelerated by the control grid 38 and collide with the phosphor to display an image.

【0012】[0012]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような構成の画像表示装置では以下の問題点があった。
However, the image display device having the above configuration has the following problems.

【0013】ゲッタ材飛散防止構造はゲッタ材をフラッ
シュしたときに装置内に配置された電子線発生源や電子
線発生源を駆動するための配線や蛍光体等にゲッタが付
着し、短絡や電子線発生性能の低下、輝度の低下等を生
じさせないため設けられているが、ゲッタ材の画像表示
部への回り込みを防ぐためには、ゲッタ材飛散防止構造
を可能な限り大きくし、遮蔽効果を高くする必要があ
る。
In the structure for preventing the scattering of the getter material, when the getter material is flashed, the getter adheres to an electron beam generating source disposed in the apparatus, wiring for driving the electron beam generating source, a fluorescent material, etc. Although it is provided in order not to cause a decrease in line generation performance, a decrease in luminance, etc., in order to prevent the getter material from sneaking into the image display portion, the getter material scattering prevention structure is made as large as possible, and the shielding effect is increased. There is a need to.

【0014】一方、ゲッタフラッシュ後ゲッタフラッシ
ュ面によって効率よく画像表示装置内を排気するために
はゲッタ材飛散防止構造部分でのコンダクタンス(気体
分子の流れやすさ)を高くすることが必要である。コン
ダクタンスが低いと画像表示装置内に圧力分布が生じ、
画像表示装置の寿命を縮めてしまうからである。
On the other hand, in order to efficiently exhaust the inside of the image display device by the getter flash surface after the getter flash, it is necessary to increase the conductance (easy flow of gas molecules) in the getter material scattering prevention structure. If the conductance is low, a pressure distribution occurs in the image display device,
This is because the life of the image display device is shortened.

【0015】しかし、ゲッタ材の画像表示部への回り込
みを防ぐためにゲッタ材飛散防止壁を大きくすると、コ
ンダクタンスが低くなり排気能力が低下してしまい、こ
の点が問題となっていた。
However, if the wall for preventing the scattering of the getter material is enlarged in order to prevent the getter material from sneaking into the image display portion, the conductance is reduced and the exhaust capability is reduced, which has been a problem.

【0016】[0016]

【問題を解決するための手段】本発明は、上記従来技術
の有していた問題に鑑みてなされたものであり、ことを
目的とするものである。ゲッタ材が画像表示部に回り込
まず、短時間で高真空に排気でき、かつ画像表示装置内
部に圧力むらを引き起こさない長寿命、高真空の画像表
示装置を提供する。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-mentioned problems of the prior art, and has as its object the purpose of the present invention. Provided is a long-life, high-vacuum image display device in which a getter material can be evacuated to a high vacuum in a short time without sneaking into an image display unit, and which does not cause pressure unevenness inside the image display device.

【0017】すなわち本発明によれば、フェースプレー
トと該フェースプレートに対向して配置されるリアプレ
ートとを含む気密容器を備え、該気密容器内に電子線を
発生させる手段と、該電子線の照射により画像を表示す
る蛍光体と、蒸発型ゲッタと、該ゲッタから蒸発したゲ
ッタ材が前記蛍光体と電子線発生手段が配置される領域
に飛散することを防止するゲッタ材飛散防止構造を配設
してなる画像表示装置において、前記ゲッタ材飛散防止
構造が可動式構造であって前記蛍光体と電子線発生手段
が配置される領域と前記ゲッタとの間に配置され、前記
気密容器の開口状態と閉止状態との切り替えが前記ゲッ
タ材飛散防止構造により行われることを特徴とする画像
表示装置が提供される。
That is, according to the present invention, there is provided an airtight container including a face plate and a rear plate disposed opposite to the face plate, means for generating an electron beam in the airtight container, A phosphor for displaying an image by irradiation, an evaporable getter, and a getter material scattering prevention structure for preventing the getter material evaporated from the getter from scattering to an area where the phosphor and the electron beam generating means are arranged. In the image display device, the getter material scattering preventing structure is a movable structure, and is disposed between the region where the phosphor and the electron beam generating means are disposed and the getter, and the opening of the airtight container is provided. An image display device is provided, wherein switching between a state and a closed state is performed by the getter material scattering prevention structure.

【0018】本発明の画像表示装置において、前記ゲッ
タ材飛散防止構造が、回転軸を中心として自重により転
回する構造とすることもできる。この場合、前記ゲッタ
材飛散防止構造の重心と前記回転軸の重心とが異なる位
置とすることが好ましい。
In the image display apparatus according to the present invention, the getter material scattering preventing structure may be structured so as to be rotated by its own weight about a rotation axis. In this case, it is preferable that the center of gravity of the structure for preventing scattering of the getter material and the center of gravity of the rotating shaft be different from each other.

【0019】また本発明の画像表示装置において、前記
電子線を発生させる手段が表面伝導型電子放出素子とす
ることができる。
In the image display device according to the present invention, the means for generating the electron beam may be a surface conduction electron-emitting device.

【0020】また本発明の画像表示装置において、前記
ゲッタ材飛散防止構造が磁性体を含み、該ゲッタ飛散防
止構造の開口状態と閉止状態との切り替えが、外部磁場
の印可および解除により行われる構造とすることもでき
る。
Further, in the image display device of the present invention, the getter material scattering prevention structure includes a magnetic material, and the switching between the open state and the closed state of the getter scattering prevention structure is performed by applying and releasing an external magnetic field. It can also be.

【0021】また本発明の画像表示装置において、前記
ゲッタ材飛散防止構造が弾性体を含み、該弾性体の復元
力により該ゲッタ材飛散防止構造が開口状態に保持さ
れ、外部磁場の印可により該ゲッタ材飛散防止構造が閉
止状態となる構造とすることもできる。
Further, in the image display device of the present invention, the getter material scattering prevention structure includes an elastic body, the getter material scattering prevention structure is held in an open state by a restoring force of the elastic body, and the getter material scattering prevention structure is applied by an external magnetic field. A structure in which the getter material scattering prevention structure is in a closed state may be adopted.

【0022】さらに、本発明によれば、表示面となる蛍
光体を有するフェースプレートと該フェースプレートに
対向して配置されるリアプレートとを含む気密容器を形
成する第一の工程と、該気密容器内を排気する第二の工
程と、ゲッタを加熱・蒸発させることにより該気密容器
内を高真空状態とする第三の工程とを含む画像表示装置
の製造方法において、前記第二の工程では前記ゲッタ材
飛散防止構造を開口状態とし、前記第三の工程では前記
ゲッタ材飛散防止構造を閉止状態とすることを特徴とす
る画像表示装置の製造方法が提供される。
Further, according to the present invention, a first step of forming an airtight container including a face plate having a phosphor serving as a display surface and a rear plate disposed opposite to the face plate, A second step of exhausting the inside of the container, and a third step of heating and evaporating the getter to make the inside of the hermetic container a high vacuum state, wherein the second step includes: The method for manufacturing an image display device is provided, wherein the getter material scattering prevention structure is opened, and the getter material scattering prevention structure is closed in the third step.

【0023】本発明の画像表示装置の製造方法におい
て、前記ゲッタ材飛散防止構造を回転軸を中心として自
重により転回する構造とし、前記第二の工程では前記密
閉容器を直立状態とすることにより前記ゲッタ材飛散防
止構造を開口状態とし、前記第三の工程では前記密閉容
器を水平状態とすることにより前記ゲッタ材飛散防止構
造を閉止状態とすることができる。
In the method for manufacturing an image display device according to the present invention, the getter material scattering preventing structure is configured to be rotated by its own weight about a rotation axis, and in the second step, the closed container is set in an upright state. The getter material scattering prevention structure can be in an open state, and in the third step, the closed container is in a horizontal state, so that the getter material scattering prevention structure can be in a closed state.

【0024】また、本発明の画像表示装置の製造方法に
おいて、前記ゲッタ材飛散防止構造を磁性体を含む構造
とし、前記第二の工程では外部磁場を印可することによ
り前記ゲッタ材飛散防止構造を開口状態とし、前記第三
の工程では外部磁場を解除することにより前記ゲッタ材
飛散防止構造を閉止状態とすることができる。
In the method for manufacturing an image display device according to the present invention, the getter material scattering prevention structure is a structure including a magnetic material, and in the second step, the getter material scattering prevention structure is applied by applying an external magnetic field. In the third step, the getter material scattering prevention structure can be closed by releasing the external magnetic field in the third step.

【0025】また、本発明の画像表示装置の製造方法に
おいて、前記ゲッタ材飛散防止構造を磁性体を含む構造
とし、前記第二の工程では外部磁場を解除することによ
り前記ゲッタ材飛散防止構造を閉止状態とし、前記第三
の工程では外部磁場を印可することにより前記ゲッタ材
飛散防止構造を開口状態とすることもできる。
In the method for manufacturing an image display device according to the present invention, the getter material scattering prevention structure is a structure including a magnetic material, and in the second step, the getter material scattering prevention structure is released by releasing an external magnetic field. In the third step, the getter material scattering prevention structure may be opened by applying an external magnetic field in the third step.

【0026】本発明の画像表示装置によれば、気密容器
内、画像表示部とゲッタとの間に可動式のゲッタ材飛散
防止構造が設置されているため、ゲッタフラッシュを行
うときにはゲッタ材飛散防止構造を閉口状態の位置に転
回させてゲッタフラッシュを行うことで画像表示部への
ゲッタ材の飛散防止が行える。さらに、ゲッタ材をフラ
ッシュさせた後は、ゲッタ材飛散防止構造を開口状態の
位置に転回させることにより画像表示部からの排気を、
コンダクタンスが高い状態で行うことができる。これに
より、ゲッタ材をフラッシュさせたときのゲッタ材の画
像表示部への回り込みをなくし、さらにゲッタをフラッ
シュさせた後の画像表示装置を高真空にする際、画像表
示装置内に圧力むらのない高真空、長寿命の画像表示装
置が得られる。
According to the image display device of the present invention, since the movable getter material scattering prevention structure is installed in the airtight container and between the image display unit and the getter, the getter material scattering prevention is performed when the getter flush is performed. By turning the structure to the closed position and performing the getter flash, scattering of the getter material to the image display unit can be prevented. Furthermore, after flashing the getter material, the exhaust from the image display unit is turned by turning the getter material scattering prevention structure to the position of the open state,
It can be performed with high conductance. Thereby, when the getter material is flashed, the getter material does not move around to the image display unit, and when the image display device after the getter material is flashed is set to a high vacuum, there is no pressure unevenness in the image display device. A high vacuum, long life image display device can be obtained.

【0027】[0027]

【発明の実施の形態】本発明の画像表示装置についての
一例を、図1に示す。図1(a)、(b)は本発明の画
像表示装置の一例を示す主要断面図である。図1中、1
は絶縁物からなる基板(リアプレート)、2は絶縁物か
らなる基板(フェイスプレート)で基板上に蛍光体7が
形成されている。3は絶縁物からなる外枠、4は排気管
であり、リアプレート1とフェイスプレート2は外枠3
の間隔をおいて外枠3と低融点ガラス等によって封着さ
れる。該容器は、排気管4を通して真空ポンプで排気し
た後封止することにより気密容器を形成する。5は容器
を高真空に排気、維持するための蒸発型ゲッタ、6は前
記ゲッタ5のフラッシュ時に発生する熱で枠が破損しな
いよう設けた治具で、以下ゲッタ保持棒と称す。ゲッタ
5と、蛍光体7とフィラメント12で構成される画像表
示領域との間にはゲッタ材飛散防止構造8を配置する。
ゲッタ材飛散防止構造8は回転体9と軸10および図示
していないが軸支持体から構成されておりリアプレート
1、またはフェイスプレート2、または両プレートに軸
支持体11が接着され配置されている。回転体9は自重
により転回し、ゲッタと画像表示部の間を開口状態にし
たり、閉口状態にしたり可動とすることができる。これ
はゲッタ材のフラッシュ時に画像表示部にゲッタ材が飛
散してこないように設けられているため、それ以外のと
きは開口状態でよい。転回方法としては画像表示装置を
縦や横にすることにより、自重で転回できるものであ
る。なお、回転体の厚みとしては画像表示装置の厚さに
もよるが、排気時のコンダクタンスを高くするために
は、なるべく薄い方がよいが、構造上0.1〜1mm程
度が好ましい。12は電子線発生手段であるフィラメン
トであり、13はフィラメント12から発生した電子を
制御するためのコントロールグリッドである。
FIG. 1 shows an example of an image display device according to the present invention. 1A and 1B are main cross-sectional views showing an example of the image display device of the present invention. In FIG. 1, 1
Is a substrate (rear plate) made of an insulator, and 2 is a substrate (face plate) made of an insulator, on which a phosphor 7 is formed. 3 is an outer frame made of an insulating material, 4 is an exhaust pipe, and the rear plate 1 and the face plate 2 are
Are sealed with the outer frame 3 with a low melting point glass or the like at an interval of. The container is evacuated by a vacuum pump through an exhaust pipe 4 and then sealed to form an airtight container. Reference numeral 5 denotes an evaporable getter for evacuating and maintaining the container at a high vacuum, and reference numeral 6 denotes a jig provided to prevent the frame from being damaged by heat generated when the getter 5 is flushed. A getter material scattering prevention structure 8 is arranged between the getter 5 and an image display area composed of the phosphor 7 and the filament 12.
The getter material scattering prevention structure 8 includes a rotating body 9, a shaft 10, and a shaft support (not shown). The shaft support 11 is bonded to the rear plate 1, the face plate 2, or both plates. I have. The rotator 9 rotates by its own weight, and can open or close the getter and the image display unit, or can be movable. This is provided so that the getter material is not scattered on the image display unit when the getter material is flashed. As a turning method, the image display device can be turned by its own weight by making it vertical or horizontal. Although the thickness of the rotator depends on the thickness of the image display device, it is preferable that the rotator be as thin as possible in order to increase the conductance at the time of evacuation, but it is preferably about 0.1 to 1 mm in terms of structure. Reference numeral 12 denotes a filament as an electron beam generating means, and reference numeral 13 denotes a control grid for controlling electrons generated from the filament 12.

【0028】該画像表示装置の作製は以下のようにして
行われる。フェイスプレート2とリアプレート1上、外
枠3、ゲッタ材飛散防止構造8の軸支持体11及び、排
気管4の配置位置に予め低融点ガラスを塗布しておき、
前記フェイスプレート2とリアプレート1間にゲッタ材
飛散防止構造8の軸支持体11、外枠3、排気管4、フ
ィラメント12、コントロールグリッド13を該位置に
位置決め治具により配置し、低融点ガラスを焼成し前記
部材を固定する。固定後、排気管4によって気密容器内
を真空ポンプを用いて排気し、1×10-6Torr程度
に到達したところで前記排気管4を封止する。ゲッタ5
は排気管4で該気密容器を排気中にベーキングを行い、
脱ガスをしておく。該排気管4を封止した後、気密容器
を図2(a)のように地面と水平方向に保ち、ゲッタ材
飛散防止構造8の回転体9が気密容器の厚さ方向と平行
になるようにしたところでゲッタ5にゲッタ保持棒6を
通じて通電しゲッタ材をフラッシュさせ、ゲッタ材をフ
ェースプレート、リアプレート、外枠、回転体等の表面
に付着させる。
The production of the image display device is performed as follows. A low-melting glass is applied in advance on the face plate 2 and the rear plate 1, the outer frame 3, the shaft support 11 of the getter material scattering prevention structure 8, and the exhaust pipe 4.
The shaft support 11, the outer frame 3, the exhaust pipe 4, the filament 12, and the control grid 13 of the getter material scattering prevention structure 8 are arranged between the face plate 2 and the rear plate 1 by a positioning jig at the positions, and a low melting glass is provided. Is fired to fix the member. After the fixation, the inside of the airtight container is evacuated using a vacuum pump by the exhaust pipe 4, and when the pressure reaches about 1 × 10 −6 Torr, the exhaust pipe 4 is sealed. Getter 5
Performs baking while the airtight container is evacuated by the exhaust pipe 4,
Degas. After sealing the exhaust pipe 4, the airtight container is kept horizontal to the ground as shown in FIG. 2 (a) so that the rotating body 9 of the getter material scattering prevention structure 8 is parallel to the thickness direction of the airtight container. Then, the getter 5 is energized through the getter holding rod 6 to flash the getter material, and the getter material is attached to the surface of the face plate, the rear plate, the outer frame, the rotating body, and the like.

【0029】このとき、ゲッタ5と画像表示領域はゲッ
タ材飛散防止構造8の回転体9により、閉口状態になる
ため、ゲッタ材が画像表示部に回り込むことはない。次
にゲッタフラッシュ後は気密容器を図1(b)のように
地面と垂直方向に保つことにより、ゲッタ5と画像表示
領域はゲッタ材飛散防止構造8の回転体9が自重により
転回し、開口状態になるため付着したゲッタ材により画
像表示領域の排気が行われ、真空度の維持が行われる。
このため回転体9の回転軸を、該回転体の重心と一致さ
せないことにより回転体を自重でスムーズに転回でき
る。このようにして画像表示装置が作製できる。
At this time, the getter 5 and the image display area are closed by the rotating body 9 of the getter material scattering preventing structure 8, so that the getter material does not go around the image display section. Next, after the getter flush, the airtight container is kept perpendicular to the ground as shown in FIG. 1B, so that the getter 5 and the image display area are rotated by the rotating body 9 of the getter material scattering prevention structure 8 by its own weight, and the opening is opened. Because of the state, the image display area is evacuated by the attached getter material, and the degree of vacuum is maintained.
Therefore, the rotating body can be smoothly rotated by its own weight by not making the rotation axis of the rotating body 9 coincide with the center of gravity of the rotating body. Thus, an image display device can be manufactured.

【0030】本発明の画像表示装置は、フェイスプレー
トとリアプレートの間隔が電子線によって、蛍光体を励
起させ画像を表示するために必要な間隔であれば、特に
限定されるものではない。
The image display device of the present invention is not particularly limited as long as the interval between the face plate and the rear plate is necessary to excite the phosphor with an electron beam and display an image.

【0031】本発明の画像表示装置において、使用する
ゲッタとしては蒸発型のものであればよく、その主成分
として例えば、Ba(バリウム)、Ca(カルシウ
ム)、Sr(ストロンチウム)、Ti(チタン)、Zr
(ジルコニウム)、Nb(ニオブ)、Cr(クロム)、
Fe(鉄)、Ni(ニッケル)等が挙げられるが、これ
らに限定されるものではない。また、ゲッタのフラッシ
ュ方法についても、通電加熱、誘導加熱等の方法がある
が、特に限定されるものではない。
In the image display device of the present invention, the getter to be used may be of an evaporating type, and its main components are, for example, Ba (barium), Ca (calcium), Sr (strontium), Ti (titanium). , Zr
(Zirconium), Nb (niobium), Cr (chromium),
Examples include, but are not limited to, Fe (iron) and Ni (nickel). Also, the method of flashing the getter includes methods such as energization heating and induction heating, but is not particularly limited.

【0032】本発明のゲッタ材飛散防止構造は可動式構
造を有する。可動式構造とは、該気密容器内を排気する
工程においては開口状態となり、ゲッタを加熱・蒸発さ
せることにより該気密容器内を高真空状態とする工程に
おいては閉止状態となるような構造をいう。ここで開口
状態とは気密容器が排気口に対して開口状態にあること
をいい、図1(b)のような状態をいう。また閉止状態
とは気密容器が排気口に対して閉止状態にあることをい
い、図1(a)のような状態をいう。
The getter material scattering prevention structure of the present invention has a movable structure. The movable structure refers to a structure that is in an open state in a step of exhausting the inside of the hermetic container, and is in a closed state in a step of making the inside of the hermetic container a high vacuum state by heating and evaporating the getter. . Here, the open state means that the airtight container is in an open state with respect to the exhaust port, and refers to a state as shown in FIG. Further, the closed state means that the airtight container is in a closed state with respect to the exhaust port, and refers to a state as shown in FIG.

【0033】本発明のゲッタ材飛散防止構造は可動型で
あればよく、回転軸を中心として自重により転回する構
造であることが好ましいが、開口状態と閉口状態との切
り替えを可能とするものであれば特に限定されず、スラ
イド等の構造でもよい。また、排気管の位置も、図1の
ような配置に限らず、フェースプレート側あるいはリア
プレート側に配置してもよい。
The getter material scattering prevention structure of the present invention may be any type as long as it is a movable type, and is preferably a structure that turns around its own axis by its own weight. However, it is possible to switch between an open state and a closed state. There is no particular limitation as long as it has a structure such as a slide. Further, the position of the exhaust pipe is not limited to the arrangement shown in FIG. 1 and may be arranged on the face plate side or the rear plate side.

【0034】本発明の画像表示装置において、前記ゲッ
タ保持治具、ゲッタ材飛散防止壁、外枠、フェイスプレ
ート、リアプレート等の低融点ガラスで固定したが、超
音波はんだ、紫外線硬化樹脂等該画像表示装置を気密に
保てる封着材及び、固定材であれば特に限定はされない
が、気密容器の真空度、質を劣化させるガスを放出しな
いものが好ましい。
In the image display device of the present invention, the fixing device is fixed with the low-melting glass such as the getter holding jig, the getter material scattering prevention wall, the outer frame, the face plate and the rear plate. There is no particular limitation as long as it is a sealing material and a fixing material that can keep the image display device airtight, but a material that does not emit a gas that degrades the degree of vacuum and quality of the airtight container is preferable.

【0035】本発明の画像表示装置における、電子の発
生手段としては前記のようなフィラメントを加熱するこ
とによって発生する熱電子源、前記表面伝導型電子放出
素子や、電界放出素子等の冷陰極電子源等、いずれも使
用可能である。
In the image display device of the present invention, the means for generating electrons include a thermionic source generated by heating the filament as described above, a cold cathode electron such as the surface conduction electron-emitting device and a field emission device. Any of them can be used.

【0036】本発明における回転体は、図5、図6のよ
うな構成とすることもできる。図6において、回転体9
の下端がリアプレート1上に回転軸10で接続されたお
り外力により回転可能な構成となっている、さらに回転
体9とリアプレート1の間には弾性体41が設けられて
おり、弾性体41は回転体9をリアプレート1上へ押し
倒す方向に力を加える構成とする。回転体9は全体が磁
性体で構成されているか、もしくは一部に磁性体40が
設けられており、外部からの強力な磁場の印加により弾
性体41を押し縮めて起立させることが可能である。こ
のような構成とすることにより、ゲッタフラッシュ時に
外部磁場42を印加し、回転体9を起立させ閉口状態と
し、ゲッタ材が画像表示部を汚染することを防止するこ
とができる。そしてゲッタフラッシュ後は外部磁場42
を取り除くことにより、弾性体41の復元力によりリア
プレート1上へ倒れた状態となり高い排気コンダクタン
スを実現できる。
The rotator according to the present invention may be configured as shown in FIGS. In FIG. 6, the rotating body 9
The lower end is connected to the rear plate 1 by a rotating shaft 10 and is rotatable by an external force. Further, an elastic body 41 is provided between the rotating body 9 and the rear plate 1. Reference numeral 41 denotes a configuration in which a force is applied in a direction of pushing down the rotating body 9 onto the rear plate 1. The rotating body 9 is entirely made of a magnetic body, or a magnetic body 40 is provided in a part thereof. The elastic body 41 can be compressed and raised by applying a strong magnetic field from outside. . With such a configuration, the external magnetic field 42 is applied at the time of getter flash, and the rotating body 9 is erected to be in the closed state, thereby preventing the getter material from contaminating the image display unit. After the getter flash, the external magnetic field 42
Is removed, the elastic body 41 is rested on the rear plate 1 by the restoring force, and high exhaust conductance can be realized.

【0037】(実施例1)本発明の一実施例について図
を用いて以下に説明する。図1(a)は本発明の一実施
例で用いた画像表示装置の一部を示した平面図であり、
図1(b)は本実施例の画像表示装置の一部を示した駆
動時における断面図である。図1中、1はリアプレー
ト、2はフェイスプレート、3は外枠である。これらに
は青板ガラスを用いた。フェイスプレート2とリアプレ
ート1は外枠を介して低融点ガラス(日本電気硝子
(株)製LS3081)で封着されている。封着は電気
炉を用い410℃で加熱を行った。容器内には電子源と
してW線のフィラメント12、電子線を制御するコント
ロールグリッド13、不図示の陽極上に形成された蛍光
体7及びゲッタ材飛散防止構造の回転体9、回転軸10
が軸支持体(不図示)により配置されている。5は該画
像表示装置を高真空に排気、維持するためのゲッタであ
り、6はゲッタ保持棒でありゲッタフラッシュ時の熱に
より外枠の破損防止、ゲッタに通電を行うため設けたも
のであり、外枠を貫通し外部に取り出されている。フェ
イスプレート2とリアプレート1は外枠の厚さ10mm
間隔で保持されている。ゲッタ材飛散防止構造の回転体
9の厚さは1mmとし、長さは11mm、回転軸10は
リアプレート側から8mmの高さに設置した。封着によ
り作製した気密容器を排気管4を通して真空ポンプによ
って排気し、続けてホットプレートによって加熱、脱ガ
スを行い、真空度が1×10-6Torr以下になったと
ころで排気管をガスバーナーで加熱して封止(閉塞切
断)した。
(Embodiment 1) An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1A is a plan view showing a part of an image display device used in one embodiment of the present invention,
FIG. 1B is a cross-sectional view of a part of the image display device according to the present embodiment during driving. In FIG. 1, 1 is a rear plate, 2 is a face plate, and 3 is an outer frame. For these, blue plate glass was used. The face plate 2 and the rear plate 1 are sealed with a low-melting glass (LS3081 manufactured by Nippon Electric Glass Co., Ltd.) via an outer frame. Sealing was performed at 410 ° C. using an electric furnace. A W-line filament 12 as an electron source, a control grid 13 for controlling the electron beam, a phosphor 7 formed on an anode (not shown), a rotating body 9 having a getter material scattering prevention structure, and a rotating shaft 10 are provided in the container.
Are arranged by a shaft support (not shown). Reference numeral 5 denotes a getter for evacuating and maintaining the image display device in a high vacuum. Reference numeral 6 denotes a getter holding rod, which is provided to prevent damage to the outer frame due to heat at the time of getter flash and to supply current to the getter. , Penetrating the outer frame and being taken out. The face plate 2 and the rear plate 1 have an outer frame thickness of 10 mm
Held at intervals. The thickness of the rotating body 9 of the getter material scattering preventing structure was 1 mm, the length was 11 mm, and the rotating shaft 10 was set at a height of 8 mm from the rear plate side. The hermetically sealed container produced by sealing is evacuated by a vacuum pump through an exhaust pipe 4 and subsequently heated and degassed by a hot plate. When the degree of vacuum becomes 1 × 10 −6 Torr or less, the exhaust pipe is evacuated with a gas burner. It was sealed by heating (closed cutting).

【0038】続いて気密容器を図1(a)のように横に
し、ゲッタ材飛散防止構造の回転体9がゲッタと、蛍光
体と電子線発生手段であるフィラメントが配置された領
域との間を閉口状態にしたところで、ゲッタ5に通電し
ゲッタ材をフラッシュした。
Subsequently, the airtight container is laid down as shown in FIG. 1A, and the rotating body 9 having the getter material scattering prevention structure is positioned between the getter and the region where the fluorescent material and the filament as the electron beam generating means are arranged. When was closed, the getter 5 was energized to flush the getter material.

【0039】次にこのようにして形成した画像表示装置
を図1(b)のように直立させ、ゲッタと、蛍光体と電
子線発生手段であるフィラメントが配置された領域との
間を開口状態にすることでゲッタ材による排気で真空度
を維持する。
Next, the image display device thus formed is erected as shown in FIG. 1B, and an open state is formed between the getter and the region where the fluorescent material and the filament as the electron beam generating means are arranged. By doing so, the degree of vacuum is maintained by the exhaust by the getter material.

【0040】上記実施例の構成で得られた画像表示装置
では、ゲッタフラッシュ面と、蛍光体と電子線発生手段
であるフィラメントが配置された領域との圧力差が少な
い良好なものであった。また、これにより画像表示装置
内の真空度が高く保たれ寿命が向上した。しかも、蛍光
体と電子線発生手段であるフィラメントが配置された領
域へのゲッタ材の回り込みは確認されず良好な表示が行
えることを確認した。
In the image display device obtained by the configuration of the above embodiment, the pressure difference between the getter flash surface and the area where the fluorescent material and the filament as the electron beam generating means are arranged was small and good. In addition, the degree of vacuum in the image display device was kept high and the life was improved. In addition, it was confirmed that the getter material did not enter the region where the fluorescent material and the filament as the electron beam generating means were arranged, and that a favorable display could be performed.

【0041】(実施例2)本実施例では電子線発生源と
して例えば表面伝導型電子放出素子を用いたものについ
て、図2を用いて以下に説明する。図2(a)は表面伝
導型電子放出素子を用いた画像表示装置の主要部を表し
た概略平面図、図2(b)は該表面伝導型電子放出素子
を用いた画像表示装置のA−B概略断面図である。
(Embodiment 2) In this embodiment, a device using, for example, a surface conduction electron-emitting device as an electron beam generating source will be described with reference to FIG. FIG. 2A is a schematic plan view showing a main part of an image display device using a surface conduction electron-emitting device, and FIG. It is B schematic sectional drawing.

【0042】図2において、1はガラス等の絶縁物から
なる基板で、以下該基板1をリアプレートと称す。リア
プレート1上には表面伝導型電子放出素子がマトリック
ス状に配置されて、電子線発生部15を形成している。
In FIG. 2, reference numeral 1 denotes a substrate made of an insulating material such as glass, and the substrate 1 is hereinafter referred to as a rear plate. The surface conduction electron-emitting devices are arranged in a matrix on the rear plate 1 to form an electron beam generator 15.

【0043】2は、リアプレート1と同じ絶縁材の基板
で、基板側から蛍光体17、アルミからなるメタルバッ
ク16の順に形成されている。以下該基板2をフェイス
プレートと称する。リアプレート1とフェイスプレート
2は、ガラス等の絶縁物からなる外枠3と、低融点ガラ
ス(日本電気ガラス(株)製LS3081)によって封
着されており、4mmのスペースで真空容器をなしてい
る。8はゲッタの飛散防止構造で、回転体9、回転軸1
0、軸支持体11より構成されており、リアプレート1
とフェイスプレート2との間に配置される。回転体9の
厚みは1mm、長さは5mmとした。その他の部材等は
実施例1と同様に組み立てた。ゲッタには窒素ドープさ
れたBa−Al−Niゲッタを用い、外部からの加熱に
よってベーキングする。その後回転体9がゲッタと、蛍
光体及び電子線発生手段が配置された領域との間を閉口
状態にした後、ゲッタ5を外部から通電加熱によって9
00℃に加熱しフラッシュさせた。さらに容器を起立さ
せ、回転体9がゲッタと、蛍光体及び電子線発生手段が
配置された領域との間を開口状態にすることで画像表示
装置を完成させた。
Reference numeral 2 denotes a substrate made of the same insulating material as that of the rear plate 1. A phosphor 17 and a metal back 16 made of aluminum are formed in this order from the substrate side. Hereinafter, the substrate 2 is referred to as a face plate. The rear plate 1 and the face plate 2 are sealed with an outer frame 3 made of an insulating material such as glass and a low-melting glass (LS3081 manufactured by NEC Corporation), and form a vacuum container with a space of 4 mm. I have. Reference numeral 8 denotes a getter scattering prevention structure, which includes a rotating body 9 and a rotating shaft 1.
0, a shaft support 11 and a rear plate 1
And the face plate 2. The thickness of the rotating body 9 was 1 mm, and the length was 5 mm. Other members were assembled in the same manner as in Example 1. The getter is a nitrogen-doped Ba-Al-Ni getter, which is baked by external heating. Thereafter, the rotator 9 closes the space between the getter and the region where the phosphor and the electron beam generating means are disposed, and then externally heats the getter 5 by applying current.
Heated to 00 ° C. and flashed. Further, the container was erected, and the rotating body 9 opened the space between the getter and the region where the phosphor and the electron beam generating means were arranged, thereby completing the image display device.

【0044】以上のように構成された画像表示装置にお
いて上記の表面伝導型電子放出素子から放出された電子
は、フェイスプレート2に塗布されているアルミからな
るメタルバックに印加された電圧(1〜10kV)によ
って加速されてフェイスプレートに衝突し、画像を表示
する。
In the image display device configured as described above, electrons emitted from the surface conduction electron-emitting device are applied to a voltage (1 to 1) applied to a metal back made of aluminum applied to the face plate 2. 10 kV), and is collided with the face plate to display an image.

【0045】上記実施例の構成で得られた画像表示装置
では、実施例1と同様な効果が得られることがわかっ
た。さらに電子線発生部にもゲッタの回り込みがなく、
輝度むらが生じることはなかった。
It was found that the image display device obtained by the configuration of the above embodiment can obtain the same effect as that of the first embodiment. Furthermore, there is no getter wrap around the electron beam generator,
No luminance unevenness occurred.

【0046】(実施例3)図5、図6(a)、(b)を
用いて磁性体を備えたゲッタ材飛散防止構造を採用した
本発明の第3の実施例を示す。図6は図5A−Bにおけ
る断面図である。図5、図6において、ゲッタ材飛散防
止構造部以外の構成は実施例2と同様である。
(Embodiment 3) A third embodiment of the present invention employing a getter material scattering prevention structure provided with a magnetic material will be described with reference to FIGS. 5, 6A and 6B. FIG. 6 is a sectional view in FIG. 5A-B. 5 and 6, the configuration other than the getter material scattering prevention structure is the same as that of the second embodiment.

【0047】本実施例においてゲッタ材飛散防止構造は
回転体9とリアプレート上に接した回転軸10、回転体
9の両端に取り付けられた磁性体40及び片方をリアプ
レート1に固定されたバネ41により構成されている。
In this embodiment, the structure for preventing the getter material from scattering includes a rotating shaft 9 in contact with the rotating body 9 and the rear plate, a magnetic body 40 attached to both ends of the rotating body 9, and a spring having one of the springs fixed to the rear plate 1. 41.

【0048】本実施例において磁性体40として厚さ
0.2mm、幅10mmのNiの薄板を回転体9の片側
に取り付けて用いた。
In this embodiment, a Ni thin plate having a thickness of 0.2 mm and a width of 10 mm was used as the magnetic body 40 by attaching it to one side of the rotating body 9.

【0049】磁性体40としてはこの他にFe、Co等
の金属、希土類元素を含む合金等を用いても構わない。
さらに回転体9の片側、もしくは両側に磁性体の薄膜を
真空蒸着、スパッタ、鍍金等によって形成したものを用
いることもできる。
As the magnetic material 40, a metal such as Fe or Co, an alloy containing a rare earth element, or the like may be used.
Further, a magnetic thin film formed on one or both sides of the rotating body 9 by vacuum deposition, sputtering, plating, or the like may be used.

【0050】さらに回転体9そのものを磁性材料を用い
て構成することも可能である。
Further, the rotating body 9 itself can be made of a magnetic material.

【0051】このような構成とし、回転体9が通常時バ
ネ41の復元力によりリアプレート1上に倒れた状態と
なるようにバネの強さを調整しておく。外部より十分な
磁場42を加えることにより磁性体40に働く偶力がバ
ネ41の復元力に勝り回転体9は起立しゲッタ材が飛散
する空間と画像表示素子のある空間を隔離することが可
能となる。この状態にした後ゲッタ5に通電しゲッタ材
をフラッシュしゲッタフラッシュ面43を形成する。
With such a configuration, the strength of the spring is adjusted so that the rotating body 9 falls down on the rear plate 1 by the restoring force of the spring 41 in the normal state. By applying a sufficient magnetic field 42 from the outside, the couple acting on the magnetic body 40 exceeds the restoring force of the spring 41, and the rotating body 9 stands up and can separate the space where the getter material scatters from the space where the image display element is located. Becomes After this state, the getter 5 is energized to flash the getter material to form a getter flash surface 43.

【0052】外部磁場42としてはSm−Co系やNd
−Fe系の強力な永久磁石を用いたがこれは電磁石を用
いても構わない。
As the external magnetic field 42, an Sm-Co type or Nd
Although a strong permanent magnet based on -Fe was used, an electromagnet may be used.

【0053】ゲッタフラッシュ終了後は外部磁場42を
取り除き、再びバネ41の復元力により回転体9をリア
プレート1上へ転倒させ排気コンダクタンスを大きくす
ることができる。
After the end of the getter flash, the external magnetic field 42 is removed, and the rotating body 9 falls over the rear plate 1 again by the restoring force of the spring 41, so that the exhaust conductance can be increased.

【0054】このような機構を用いることにより実施例
1、2に加えてディスプレーを水平に近い状態にして用
いた場合においても内部の真空度をより高い状態に維持
することが可能である。
By using such a mechanism, it is possible to maintain a higher degree of vacuum inside the display even when the display is used near a horizontal state in addition to the first and second embodiments.

【0055】[0055]

【発明の効果】以上説明したように画像表示装置におい
て、蛍光体と電子線発生手段であるフィラメントが配置
された領域とゲッタの間に、可動型のゲッタ材飛散防止
構造を配置することによって、ゲッタフラッシュ時には
蛍光体や電子線発生手段へのゲッタ材の回り込みが発生
せず、かつ蛍光体と電子線発生手段であるフィラメント
が配置された領域とゲッタ材とのコンダクタンスが高く
とれるため、画像表示装置内の真空度むらや低下のな
い、長寿命の画像表示装置が得られることとなる。
As described above, in the image display apparatus, by disposing the movable getter material scattering preventing structure between the area where the fluorescent material and the filament as the electron beam generating means are arranged and the getter, During getter flash, the getter material does not wrap around the phosphor or electron beam generating means, and the conductance between the area where the phosphor and the filament as the electron beam generating means are arranged and the getter material can be high, so that image display is performed. A long-life image display device without unevenness or reduction in the degree of vacuum in the device can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】(a)、(b)は本発明の画像表示装置の一実
施例を示す概略断面図である。
FIGS. 1A and 1B are schematic sectional views showing an embodiment of the image display device of the present invention.

【図2】本発明の一実施例である画像表示装置を示す図
であり、(a)は平面図、(b)は(a)のA−B面に
おける断面図である。
FIGS. 2A and 2B are diagrams showing an image display device according to an embodiment of the present invention, wherein FIG. 2A is a plan view and FIG. 2B is a cross-sectional view taken along a line AB in FIG.

【図3】表面伝導型電子放出素子の平面図である。FIG. 3 is a plan view of the surface conduction electron-emitting device.

【図4】従来の画像表示装置の一例を示す断面図であ
る。
FIG. 4 is a cross-sectional view illustrating an example of a conventional image display device.

【図5】本発明の第3の実施例を示す構成図である。FIG. 5 is a configuration diagram showing a third embodiment of the present invention.

【図6】本発明の第3の実施例を示す断面図である。FIG. 6 is a sectional view showing a third embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 リアプレート 2 フェイスプレート 3 外枠 4 排気管 5 ゲッタ 6 ゲッタ保持棒 7 蛍光体 8 ゲッタ材飛散防止構造 9 回転体 10 回転軸 11 軸支持体 12 フィラメント 13 コントロールグリッド 15 電子線発生部 16 メタルバック 17 蛍光体 31 基板 32 導電性薄膜端部 33 導電性薄膜端部 34 導電性薄膜 35 電子線放出部 36 蛍光体 37 フィラメント 38 コントロールグリッド 40 磁性体 41 バネ 42 外部磁場 43 ゲッタ面 50 ゲッタ 52 治具 70 ゲッタ材飛散防止構造 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Rear plate 2 Face plate 3 Outer frame 4 Exhaust pipe 5 Getter 6 Getter holding bar 7 Phosphor 8 Getter material scattering prevention structure 9 Rotating body 10 Rotating shaft 11 Shaft support 12 Filament 13 Control grid 15 Electron beam generator 16 Metal back 17 Phosphor 31 Substrate 32 Conductive thin film end 33 Conductive thin film end 34 Conductive thin film 35 Electron beam emitting part 36 Phosphor 37 Filament 38 Control grid 40 Magnetic body 41 Spring 42 External magnetic field 43 Getter surface 50 Getter 52 Jig 70 Getter material scattering prevention structure

Claims (10)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 フェースプレートと該フェースプレート
に対向して配置されるリアプレートとを含む気密容器を
備え、該気密容器内に電子線を発生させる手段と、該電
子線の照射により画像を表示する蛍光体と、蒸発型ゲッ
タと、該ゲッタから蒸発したゲッタ材が前記蛍光体と電
子線発生手段が配置される領域に飛散することを防止す
るゲッタ材飛散防止構造を配設してなる画像表示装置に
おいて、前記ゲッタ材飛散防止構造が可動式構造であっ
て前記蛍光体と電子線発生手段が配置される領域と前記
ゲッタとの間に配置され、前記気密容器の開口状態と閉
止状態との切り替えが前記ゲッタ材飛散防止構造により
行われることを特徴とする画像表示装置。
1. An airtight container including a face plate and a rear plate disposed opposite to the face plate, means for generating an electron beam in the airtight container, and displaying an image by irradiating the electron beam. Image obtained by arranging a phosphor to be emitted, an evaporable getter, and a getter material scattering prevention structure for preventing the getter material evaporated from the getter from scattering to a region where the phosphor and the electron beam generating means are arranged. In the display device, the getter material scattering prevention structure is a movable structure, and is disposed between the region where the phosphor and the electron beam generating means are disposed and the getter, and the open state and the closed state of the hermetic container. The image display device is characterized in that the switching of the image is performed by the getter material scattering prevention structure.
【請求項2】 前記ゲッタ材飛散防止構造が、回転軸を
中心として自重により転回することを特徴とする請求項
1に記載の画像表示装置。
2. The image display device according to claim 1, wherein the getter material scattering prevention structure is rotated by its own weight about a rotation axis.
【請求項3】 前記ゲッタ材飛散防止構造の重心と前記
回転軸の重心とが異なる位置にある請求項2に記載の画
像表示装置。
3. The image display device according to claim 2, wherein a center of gravity of the getter material scattering prevention structure and a center of gravity of the rotating shaft are located at different positions.
【請求項4】 前記電子線を発生させる手段が表面伝導
型電子放出素子である請求項1乃至3いずれかに記載の
画像表示装置。
4. The image display device according to claim 1, wherein said means for generating an electron beam is a surface conduction electron-emitting device.
【請求項5】 前記ゲッタ材飛散防止構造が磁性体を含
み、該ゲッタ飛散防止構造の開口状態と閉止状態との切
り替えが、外部磁場の印可および解除により行われる請
求項1乃至4いずれかに記載の画像表示装置。
5. The getter material scattering prevention structure includes a magnetic material, and switching between the open state and the closed state of the getter scattering prevention structure is performed by applying and releasing an external magnetic field. The image display device as described in the above.
【請求項6】 前記ゲッタ材飛散防止構造が弾性体を含
み、該弾性体の復元力により該ゲッタ材飛散防止構造が
開口状態に保持され、外部磁場の印可により該ゲッタ材
飛散防止構造が閉止状態となる請求項1乃至5いずれか
に記載の画像表示装置。
6. The getter material scattering prevention structure includes an elastic body, the getter material scattering prevention structure is kept open by the restoring force of the elastic body, and the getter material scattering prevention structure is closed by application of an external magnetic field. The image display device according to claim 1, wherein the image display device is in a state.
【請求項7】 表示面となる蛍光体を有するフェースプ
レートと該フェースプレートに対向して配置されるリア
プレートとを含む気密容器を形成する第一の工程と、該
気密容器内を排気する第二の工程と、ゲッタを加熱・蒸
発させることにより該気密容器内を高真空状態とする第
三の工程とを含む画像表示装置の製造方法において、前
記第二の工程では前記ゲッタ材飛散防止構造を開口状態
とし、前記第三の工程では前記ゲッタ材飛散防止構造を
閉止状態とすることを特徴とする画像表示装置の製造方
法。
7. A first step of forming an airtight container including a face plate having a phosphor serving as a display surface and a rear plate disposed opposite to the face plate, and a step of evacuating the airtight container. In a method for manufacturing an image display device, the method further comprises: a second step; and a third step of heating and evaporating the getter to make the inside of the hermetic container a high vacuum state. Wherein the getter material scattering preventing structure is closed in the third step.
【請求項8】 前記ゲッタ材飛散防止構造を回転軸周り
に自重により転回する構造とし、前記第二の工程では前
記密閉容器を直立状態とすることにより前記ゲッタ材飛
散防止構造を開口状態とし、前記第三の工程では前記密
閉容器を水平状態とすることにより前記ゲッタ材飛散防
止構造を閉止状態とする請求項7に記載の画像表示装置
の製造方法。
8. The getter material scattering prevention structure is configured to rotate around its own axis by its own weight around the rotation axis, and the getter material scattering prevention structure is opened by setting the closed container upright in the second step. The method according to claim 7, wherein in the third step, the getter material scattering prevention structure is closed by setting the closed container in a horizontal state.
【請求項9】 前記ゲッタ材飛散防止構造を磁性体を含
む構造とし、前記第二の工程では外部磁場を印可するこ
とにより前記ゲッタ材飛散防止構造を開口状態とし、前
記第三の工程では外部磁場を解除することにより前記ゲ
ッタ材飛散防止構造を閉止状態とする請求項7に記載の
画像表示装置の製造方法。
9. The getter material scattering prevention structure has a structure including a magnetic material, and in the second step, the getter material scattering prevention structure is opened by applying an external magnetic field. 8. The method according to claim 7, wherein the getter material scattering prevention structure is closed by releasing the magnetic field.
【請求項10】 前記ゲッタ材飛散防止構造を磁性体を
含む構造とし、前記第二の工程では外部磁場を解除する
ことにより前記ゲッタ材飛散防止構造を閉止状態とし、
前記第三の工程では外部磁場を印可することにより前記
ゲッタ材飛散防止構造を開口状態とする請求項7に記載
の画像表示装置の製造方法。
10. The getter material scattering prevention structure is a structure including a magnetic material, and in the second step, the getter material scattering prevention structure is closed by releasing an external magnetic field;
8. The method according to claim 7, wherein in the third step, the getter material scattering prevention structure is opened by applying an external magnetic field.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100426234B1 (en) * 2000-07-28 2004-04-08 마츠시타 덴끼 산교 가부시키가이샤 Vacuum container and display device

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