JPH116636A - 空気の温湿度調整装置 - Google Patents
空気の温湿度調整装置Info
- Publication number
- JPH116636A JPH116636A JP9173085A JP17308597A JPH116636A JP H116636 A JPH116636 A JP H116636A JP 9173085 A JP9173085 A JP 9173085A JP 17308597 A JP17308597 A JP 17308597A JP H116636 A JPH116636 A JP H116636A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 超精密作業を行うためのクリーンルーム内に
区切られた操作室への温湿度の調整された調整空気を供
給するため、クリーンルームの室外に除湿機及び温湿度
調整装置を備え、操作室に配管により連結する手段が採
られている。しかしこの方法では、配管等の関係上、操
作室の設置場所に制限がある等の問題がある。本発明
は、該操作室に供給する空気の温湿度調整装置をユニッ
ト化してクリーンルーム内に設置することを可能とする
ことを目的とする。 【解決手段】 処理空気の温湿度を調整し、これを操作
室２０に供給する空気の温湿度調整装置１において、処
理空気を除湿してドライエアとする乾式除湿機２と、除
湿された空気の温湿度を調整する温湿度調整機構３及び
温湿度を調整された空気を送り出す送風機４とを備え、
これらを１個の筐体５内に収納したことを特徴とする。
区切られた操作室への温湿度の調整された調整空気を供
給するため、クリーンルームの室外に除湿機及び温湿度
調整装置を備え、操作室に配管により連結する手段が採
られている。しかしこの方法では、配管等の関係上、操
作室の設置場所に制限がある等の問題がある。本発明
は、該操作室に供給する空気の温湿度調整装置をユニッ
ト化してクリーンルーム内に設置することを可能とする
ことを目的とする。 【解決手段】 処理空気の温湿度を調整し、これを操作
室２０に供給する空気の温湿度調整装置１において、処
理空気を除湿してドライエアとする乾式除湿機２と、除
湿された空気の温湿度を調整する温湿度調整機構３及び
温湿度を調整された空気を送り出す送風機４とを備え、
これらを１個の筐体５内に収納したことを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、主として超精密作
業を行うためのクリーンルーム内に区切られた操作室へ
の温湿度の調整された調整空気を供給する空気の温湿度
調整装置に関するものである。
業を行うためのクリーンルーム内に区切られた操作室へ
の温湿度の調整された調整空気を供給する空気の温湿度
調整装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】上記空気の温湿度調整装置としては、通
常のエアコンを用いて行われることが多いが、この場合
除湿可能な湿度調整範囲は３０乃至４０％程度であり精
密部品（ＣＤ−Ｒ等の記憶メディア）等の製品管理の基
準を満足できず、精密な温室度装置として、クリーンル
ームの室外に除湿機及び温湿度調整装置を備え、室内に
設置した操作室に配管により連結する手段が採られてい
る。
常のエアコンを用いて行われることが多いが、この場合
除湿可能な湿度調整範囲は３０乃至４０％程度であり精
密部品（ＣＤ−Ｒ等の記憶メディア）等の製品管理の基
準を満足できず、精密な温室度装置として、クリーンル
ームの室外に除湿機及び温湿度調整装置を備え、室内に
設置した操作室に配管により連結する手段が採られてい
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしこの方法では、
配管等の関係上、操作室の設置場所に制限があり、かつ
その配管等に手数を要する等の問題がある。本発明はか
ゝる点に鑑み、該操作室に供給する空気の温湿度調整装
置をユニット化することにより装置全体を移動可能とな
り、クリーンルーム内に設置することを可能とし、これ
により上記操作室への温湿度の調整された空気の供給の
簡素化を計ることを目的とする。
配管等の関係上、操作室の設置場所に制限があり、かつ
その配管等に手数を要する等の問題がある。本発明はか
ゝる点に鑑み、該操作室に供給する空気の温湿度調整装
置をユニット化することにより装置全体を移動可能とな
り、クリーンルーム内に設置することを可能とし、これ
により上記操作室への温湿度の調整された空気の供給の
簡素化を計ることを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の空気の温湿度調整装置に関する第１の発明は、処理空
気の温湿度を調整し、これを操作室に供給する空気の温
湿度調整装置において、処理空気を吸引し除湿してドラ
イエアとする乾式除湿機と、除湿された空気の温湿度を
調整する温湿度調整機構及び温湿度を調整された空気を
送り出す送風機とを備え、これらを１個の筐体内に収納
したことを特徴とする。
の空気の温湿度調整装置に関する第１の発明は、処理空
気の温湿度を調整し、これを操作室に供給する空気の温
湿度調整装置において、処理空気を吸引し除湿してドラ
イエアとする乾式除湿機と、除湿された空気の温湿度を
調整する温湿度調整機構及び温湿度を調整された空気を
送り出す送風機とを備え、これらを１個の筐体内に収納
したことを特徴とする。
【０００５】上記の構成からなる本発明は、乾式除湿
機、温湿度調整機構及び送風機を１個の筐体内に収納し
てユニット化したことにより装置全体がコンパクトとな
って移動可能であり、その設置は操作室に隣接した位置
等任意の場所を選定することができ、更に工事期間を短
縮することができる。
機、温湿度調整機構及び送風機を１個の筐体内に収納し
てユニット化したことにより装置全体がコンパクトとな
って移動可能であり、その設置は操作室に隣接した位置
等任意の場所を選定することができ、更に工事期間を短
縮することができる。
【０００６】また第２の発明は、上記送風機よりの送り
出し空気は操作室に供給され、該操作室からの排出空気
は乾式除湿機に供給される循環回路を形成することを特
徴とする。
出し空気は操作室に供給され、該操作室からの排出空気
は乾式除湿機に供給される循環回路を形成することを特
徴とする。
【０００７】上記の構成からなる本発明は、処理空気を
循環させることにより、その温湿度の調整に省力化を計
ることができる。
循環させることにより、その温湿度の調整に省力化を計
ることができる。
【０００８】
【発明の実施の形態】図は本発明の実施例を示す。図は
クリーンルーム（図示省略）内に設置した操作室２０に
近接して本発明の温湿度調整装置１を設置した例を示
す。この温湿度調整装置１は、処理空気を吸引し除湿す
る乾式除湿機２と、温湿度調整機構３と、温湿度を調整
された空気を送り出す送風機４とを備え、これらを筐体
５内に収納してなる。
クリーンルーム（図示省略）内に設置した操作室２０に
近接して本発明の温湿度調整装置１を設置した例を示
す。この温湿度調整装置１は、処理空気を吸引し除湿す
る乾式除湿機２と、温湿度調整機構３と、温湿度を調整
された空気を送り出す送風機４とを備え、これらを筐体
５内に収納してなる。
【０００９】乾式除湿機２は、例えばシリカゲルを使用
した除湿機を使用した例を示し、該シリカゲルは回転容
器に収納され供給される処理空気導入管６から導入され
る処理空気は、該シリカゲルにより完全に除湿されてド
ライエアとし、これを排出管７から排出される。８は該
シリカゲルを乾燥するための外部空気供給管、９は湿度
を含有する空気の排出管を示し、供給された空気は加熱
されて処理空気中の湿度を吸収したシリカゲルを乾燥す
るようにしたものである。この除湿機２において完全に
除湿された空気は、排出管７から連通路１０を介して温
湿度調整機構３に送られる。
した除湿機を使用した例を示し、該シリカゲルは回転容
器に収納され供給される処理空気導入管６から導入され
る処理空気は、該シリカゲルにより完全に除湿されてド
ライエアとし、これを排出管７から排出される。８は該
シリカゲルを乾燥するための外部空気供給管、９は湿度
を含有する空気の排出管を示し、供給された空気は加熱
されて処理空気中の湿度を吸収したシリカゲルを乾燥す
るようにしたものである。この除湿機２において完全に
除湿された空気は、排出管７から連通路１０を介して温
湿度調整機構３に送られる。
【００１０】温湿度調整機構３は、冷却室１１と加熱室
１２及び加湿機構１３とよりなる。冷却室１１は、適所
例えば図に示す如く筐体５内に設置された冷凍機１４に
より冷却された冷媒を供給される冷却管（図示省略）を
備える。また加熱室１２は電熱器を備え、これら冷却室
１１と加熱室１２とにより送り込まれる空気を所定温度
に設定する。また加湿機構１３は筐体内に設置した加湿
器１５と、この加湿器１５に接続される噴射管１６とよ
りなり、該噴射管１６は加熱室１２の後方に開口され、
送り出された空気に所要の湿度を付与する。この温湿度
調整機構３の排出側は連絡室１７を介して送風機４に連
通される。
１２及び加湿機構１３とよりなる。冷却室１１は、適所
例えば図に示す如く筐体５内に設置された冷凍機１４に
より冷却された冷媒を供給される冷却管（図示省略）を
備える。また加熱室１２は電熱器を備え、これら冷却室
１１と加熱室１２とにより送り込まれる空気を所定温度
に設定する。また加湿機構１３は筐体内に設置した加湿
器１５と、この加湿器１５に接続される噴射管１６とよ
りなり、該噴射管１６は加熱室１２の後方に開口され、
送り出された空気に所要の湿度を付与する。この温湿度
調整機構３の排出側は連絡室１７を介して送風機４に連
通される。
【００１１】この送風機４は、上記温湿度調整機構３に
より温湿度を調整された空気を排出管１８を介して操作
室２０に送り込む。なお、図中１９は筐体の後方に形成
した点検用窓に取付けられる開閉用扉を示す。
より温湿度を調整された空気を排出管１８を介して操作
室２０に送り込む。なお、図中１９は筐体の後方に形成
した点検用窓に取付けられる開閉用扉を示す。
【００１２】この操作室２０は、特に空気の清浄度と共
にその温湿度の厳重な管理の基に作業を行うために設け
られたもので、上方に高精度のエアフイルタＦと、その
下方に照明燈Ｌを配備し、更にその下方に必要によりメ
ッシュフイルタＭＦと散光板２１とを取付ける。Ｍは作
業部屋２２に設けられた加工装置を示す。上記送風機４
より供給される温湿度の調整された空気はエアフイルタ
Ｆの上方の空気供給室２３に供給され、操作室の排気は
排気ダクト２４を介して前記乾式除湿機２の空気導入管
６に返還される。なお、排気ダクト２４の設置位置は実
験結果によれば、操作室の下方ではなく、加工装置Ｍ近
傍とすることが好ましい。
にその温湿度の厳重な管理の基に作業を行うために設け
られたもので、上方に高精度のエアフイルタＦと、その
下方に照明燈Ｌを配備し、更にその下方に必要によりメ
ッシュフイルタＭＦと散光板２１とを取付ける。Ｍは作
業部屋２２に設けられた加工装置を示す。上記送風機４
より供給される温湿度の調整された空気はエアフイルタ
Ｆの上方の空気供給室２３に供給され、操作室の排気は
排気ダクト２４を介して前記乾式除湿機２の空気導入管
６に返還される。なお、排気ダクト２４の設置位置は実
験結果によれば、操作室の下方ではなく、加工装置Ｍ近
傍とすることが好ましい。
【００１３】上記構成において、乾式除湿機２において
除湿された空気は、温湿度調整機構３において所定の温
度湿度に調整されて、送風機４により操作室２０に送り
込む。そして該操作室内の空気は排気ダクト２４を介し
て再び乾式除湿機２に返還され、上記操作を繰り返す。
除湿された空気は、温湿度調整機構３において所定の温
度湿度に調整されて、送風機４により操作室２０に送り
込む。そして該操作室内の空気は排気ダクト２４を介し
て再び乾式除湿機２に返還され、上記操作を繰り返す。
【００１４】なお、上記実施例は温湿度調整装置１を操
作室２０に近接して設けた例を示したが、これは該温湿
度調整装置１を直接操作室２０に接続して設けるように
してもよい。これによるときは、配管を省略することが
できる。また、上記冷凍機１４は水冷式冷凍機を使用
し、該冷凍機のみクリーンルームの室外に設置してもよ
い。
作室２０に近接して設けた例を示したが、これは該温湿
度調整装置１を直接操作室２０に接続して設けるように
してもよい。これによるときは、配管を省略することが
できる。また、上記冷凍機１４は水冷式冷凍機を使用
し、該冷凍機のみクリーンルームの室外に設置してもよ
い。
【００１５】
【発明の効果】以上の如く本発明によるときは、処理空
気を吸引し除湿する乾式除湿機と、除湿された空気の温
湿度を調整する温湿度調整機構及び温湿度を調整された
空気を送り出す送風機とを、１個の筐体内に収納してユ
ニット化としたことにより、装置全体がコンパクト化さ
れ、従って移動可能であり、クリーンルーム内の操作室
に近接、または接続して設置することが容易であると共
に、その湿度調整も１０乃至２０％程度まで可能とな
り、更にまた、加工装置に調整された空気を供給するに
際し、散光板を用いたからその供給は均一に行うことが
できる等の効果を有する。また操作室との接続の簡素化
及び工事期間の短縮を計ることができる。
気を吸引し除湿する乾式除湿機と、除湿された空気の温
湿度を調整する温湿度調整機構及び温湿度を調整された
空気を送り出す送風機とを、１個の筐体内に収納してユ
ニット化としたことにより、装置全体がコンパクト化さ
れ、従って移動可能であり、クリーンルーム内の操作室
に近接、または接続して設置することが容易であると共
に、その湿度調整も１０乃至２０％程度まで可能とな
り、更にまた、加工装置に調整された空気を供給するに
際し、散光板を用いたからその供給は均一に行うことが
できる等の効果を有する。また操作室との接続の簡素化
及び工事期間の短縮を計ることができる。
【図１】本発明の空気の温湿度調整装置の縦断説明図を
示す。
示す。
【図２】図１における空気の温湿度調整装置の右側面図
である。
である。
１ 空気の温湿度調整装置 ２ 乾式除湿機 ３ 温湿度調整機構 ４ 送風機 ５ 筐体 ２０ 操作室
Claims (2)
- 【請求項１】 処理空気の温湿度を調整し、これを操作
室に供給する空気の温湿度調整装置において、処理空気
を吸引し除湿してドライエアとする乾式除湿機と、除湿
された空気の温湿度を調整する温湿度調整機構及び温湿
度を調整された空気を送り出す送風機とを備え、これら
を１個の筐体内に収納したことを特徴とする空気の温湿
度調整装置。 - 【請求項２】 送風機よりの送り出し空気は操作室に供
給され、該操作室からの排出空気は乾式除湿機に供給さ
れる循環回路を形成することを特徴とする請求項１記載
の空気の温湿度調整装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17308597A JP3280605B2 (ja) | 1997-06-13 | 1997-06-13 | 空気の温湿度調整装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17308597A JP3280605B2 (ja) | 1997-06-13 | 1997-06-13 | 空気の温湿度調整装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH116636A true JPH116636A (ja) | 1999-01-12 |
| JP3280605B2 JP3280605B2 (ja) | 2002-05-13 |
Family
ID=15953933
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17308597A Expired - Fee Related JP3280605B2 (ja) | 1997-06-13 | 1997-06-13 | 空気の温湿度調整装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3280605B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6623792B2 (en) * | 2000-02-14 | 2003-09-23 | Sony Corporation | Method for producing optical recording medium |
| WO2020202906A1 (ja) | 2019-03-29 | 2020-10-08 | 日本スピンドル製造株式会社 | 露点温度調節用除湿装置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2020159670A (ja) * | 2019-03-28 | 2020-10-01 | 日本スピンドル製造株式会社 | 低湿空気供給装置 |
-
1997
- 1997-06-13 JP JP17308597A patent/JP3280605B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6623792B2 (en) * | 2000-02-14 | 2003-09-23 | Sony Corporation | Method for producing optical recording medium |
| WO2020202906A1 (ja) | 2019-03-29 | 2020-10-08 | 日本スピンドル製造株式会社 | 露点温度調節用除湿装置 |
| US11874019B2 (en) | 2019-03-29 | 2024-01-16 | Nihon Spindle Manufacturing Co., Ltd. | Dehumidifying device for dew point temperature adjustment |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3280605B2 (ja) | 2002-05-13 |
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Legal Events
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