JPH1163941A - Depth measurement of ferrite decarburized layer - Google Patents

Depth measurement of ferrite decarburized layer

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JPH1163941A
JPH1163941A JP9227069A JP22706997A JPH1163941A JP H1163941 A JPH1163941 A JP H1163941A JP 9227069 A JP9227069 A JP 9227069A JP 22706997 A JP22706997 A JP 22706997A JP H1163941 A JPH1163941 A JP H1163941A
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JP
Japan
Prior art keywords
decarburized layer
depth
pixels
processing target
ferrite
Prior art date
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Application number
JP9227069A
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Japanese (ja)
Inventor
Masaaki Kobayashi
正明 小林
Katsuyasu Aikawa
勝保 相川
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Nireco Corp
Original Assignee
Nireco Corp
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Filing date
Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method which can measure the depth of a ferrite decarburized layer automatically and exactly by using an image processing method. SOLUTION: After the cross-section image of an object to be inspected is shot and image-divided (S1) and shading correction is conducted (S2), binary processing is conducted (S3). A plurality of long divisions to be processed are set in the direction parallel to the surface of the object to be inspected (S4), and the number of white picture elements in the respective divisions to be processed is counted in order from the surface side (S5). It is discriminated whether or not the number of white picture elements is a prescribed value or lower (S6). If it is a prescribed value or lower, a distance to the division to be processed is discriminated as a ferrite decarburized layer depth (S7).

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、鋼材等の表面に現
れるフェライト脱炭層の深さを測定する方法に関するも
のである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for measuring the depth of a ferrite decarburized layer appearing on a surface of a steel material or the like.

【0002】[0002]

【従来の技術】自動車や産業機械等の部材に用いられる
特殊鋼をはじめとする鉄鋼材料(鋼材)は、圧延や熱処
理等の製造過程で雰囲気中の酸素に触れると、鋼材中の
炭素と雰囲気中の酸素が反応し、CO、CO2として鋼
材から散逸する。従って、鋼材の表面及び表面近傍の炭
素含有率が鋼材内部の炭素含有率と異なることになる。
これを脱炭と称し、炭素が少なくなっている部分を脱炭
層と称する。この脱炭層は強度が低いので、鋼材が製品
に加工された場合、強度不足の問題を起こす可能性があ
る。特に、鋼材の表層面近くには、フェライトのみから
なるフェライト脱炭層が存在し、強度上問題となる。
2. Description of the Related Art Steel materials (steel materials) including special steels used for members of automobiles and industrial machines, etc., are exposed to oxygen in the atmosphere during the manufacturing process such as rolling and heat treatment. The oxygen inside reacts and dissipates from the steel as CO and CO 2 . Therefore, the carbon content on the surface and near the surface of the steel material is different from the carbon content inside the steel material.
This is called decarburization, and the portion where carbon is reduced is called a decarburized layer. Since the decarburized layer has low strength, when steel is processed into a product, there is a possibility of causing a problem of insufficient strength. In particular, a ferrite decarburized layer consisting of only ferrite exists near the surface of the steel material, which causes a problem in strength.

【0003】従って、鋼材メーカからユーザへ製品を出
荷する場合、所定処理後のフェライト脱炭層の深さを検
査し、それが許容できる範囲のものであることを保証す
ることが必要である。
[0003] Therefore, when a product is shipped from a steel maker to a user, it is necessary to inspect the depth of the decarburized layer of the ferrite after predetermined treatment and to assure that the depth is within an acceptable range.

【0004】フェライト脱炭層の深さの検査として、鋼
材の一部を切り出して周囲を樹脂で固めたサンプルを作
り、このサンプルの切り出し面を顕微鏡等により拡大し
て検査することが行われてきた。腐食液を用いて腐食さ
せ検鏡した場合、フェライトのみの部分は、他の部分と
比較して色差があるので、写真撮影を行い、鋼材サンプ
ルの深さを調べる方法も行われてきた。
As an inspection of the depth of the decarburized layer of ferrite, a sample in which a part of a steel material is cut out and the periphery thereof is solidified with a resin is produced, and a cut surface of the sample is enlarged and inspected by a microscope or the like. . When corroded using a corrosive liquid and inspected under a microscope, a method of taking a photograph and examining the depth of a steel material sample has also been carried out because the portion of only ferrite has a color difference as compared with other portions.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】以上のように、フェラ
イト脱炭層の深さの測定は目視により行われてきたの
で、人によるバラツキがあり、かつ、検査に熟練を要す
るという問題点があった。
As described above, since the measurement of the depth of the decarburized layer of ferrite has been carried out by visual observation, there is a problem that there is variation between persons and that inspection requires skill. .

【0006】本発明は、このような問題点を解決するた
めになされたもので、画像処理の手法を用いることによ
り、フェライト脱炭層の深さを自動的にかつ正確に測定
する方法を提供することを目的とする。
The present invention has been made to solve such a problem, and provides a method for automatically and accurately measuring the depth of a decarburized ferrite layer by using an image processing technique. The purpose is to:

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】前記課題は、表面から内
面に向かってフィライト脱炭層が存在する被検査対象物
の表面付近の断面を撮像手段により撮影し、撮像された
画像を画素に分解して各画素の明度に対応する値を2値
化し、被検査対象物の表面に平行な方向に長い処理対象
区分を深さ方向に複数設定し、各処理対象区分に含まれ
る、高明度に対応する値を持つ画素の数を、各処理対象
区分毎に計数し、計数値が所定値以下となった処理対象
区分と被検査対象物の表面との距離をもってフェライト
脱炭層の深さとすることを特徴とするフェライト脱炭層
の深さ測定方法(請求項1)により解決される。
The object of the present invention is to take a cross section near the surface of an object to be inspected in which a phyllite decarburized layer is present from a surface to an inner surface by an imaging means, and decompose the taken image into pixels. Binarize the value corresponding to the brightness of each pixel, and set a plurality of processing target sections that are long in the direction parallel to the surface of the inspection object in the depth direction, and correspond to the high brightness included in each processing target section. The number of pixels having a value to be processed is counted for each processing target section, and the distance between the processing target section where the counted value is equal to or less than a predetermined value and the surface of the inspection object is defined as the depth of the ferrite decarburized layer. The feature is solved by a method for measuring the depth of a ferrite decarburized layer (claim 1).

【0008】このような画像処理を行うことにより、フ
ェライト脱炭層を正確に認識できるので、正確な深さ測
定ができる。
By performing such image processing, the ferrite decarburized layer can be accurately recognized, so that accurate depth measurement can be performed.

【0009】2値化に先立って、シェーディング補正を
施すこと(請求項2)により、光源むら等による濃淡度
のばらつきの補正や、2値化レベルの一定化を図ること
ができる。
By performing shading correction prior to binarization (claim 2), it is possible to correct variations in shading due to uneven light sources and to stabilize the binarization level.

【0010】また、処理対象区分に含まれる、高明度に
対応する値を持つ画素の数が所定値以上となっている処
理対象区分のうち、最も被検査対象物の表面側にあるも
のの位置をもって、被検査対象物の表面位置と判定する
こと(請求項3)により、被検査対象物の表面位置を正
確に判断できる。
Further, among the processing target sections in which the number of pixels having a value corresponding to high brightness included in the processing target section is equal to or more than a predetermined value, the position of the processing object section closest to the surface of the inspection object is taken as the position. By determining the surface position of the inspection object (claim 3), the surface position of the inspection object can be accurately determined.

【0011】[0011]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、図
を用いて説明する。図1は、本発明の実施に使用する装
置の構成の例を示すブロック図である。顕微鏡1には、
接眼レンズ部に撮像レンズが取り付けられており、上部
にはこの撮像レンズを通して被検査面を撮像する撮像装
置16が取り付けられている。被検査対象物を載せるス
テージ17は、オートステージドライバ10からの信号
によって平面駆動機構18に設けられたパルスモータが
駆動されることにより、前後左右方向に移動可能とされ
ている。また、オートフォーカスドライバ11により垂
直移動機構19を作動させてステージ17の上下方向の
移動を行い、焦点を合わせるようになっている。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a block diagram showing an example of the configuration of an apparatus used for implementing the present invention. In microscope 1,
An imaging lens is attached to the eyepiece section, and an imaging device 16 for taking an image of the surface to be inspected through the imaging lens is attached to the upper portion. The stage 17 on which the object to be inspected is placed can be moved in the front-rear and left-right directions by driving a pulse motor provided in the plane driving mechanism 18 by a signal from the auto stage driver 10. In addition, the vertical movement mechanism 19 is operated by the auto focus driver 11 to move the stage 17 in the up-down direction to focus.

【0012】A/D変換器2は、撮像装置16からのビ
デオ信号をディジタル信号に変換し、入力バッファはこ
のデータを一時的に格納する。バス4は信号の伝達を行
い、プログラムメモリ5は本装置の動作を規定するプロ
グラムを格納し、CPU6は、このプログラムにより装
置全体の制御を行う。
The A / D converter 2 converts a video signal from the imaging device 16 into a digital signal, and an input buffer temporarily stores the data. The bus 4 transmits signals, the program memory 5 stores a program that defines the operation of the apparatus, and the CPU 6 controls the entire apparatus by using the program.

【0013】画像プロセッサ7は、入力した画像データ
の濃淡画像処理、2値化処理、画像解析等を行う。濃淡
画像メモリ8は、階調のついた濃淡画像データを格納
し、2値化画像メモリ9は2値化されたデータを格納す
る。
The image processor 7 performs grayscale image processing, binarization processing, image analysis, and the like of input image data. The gray image memory 8 stores gray image data with gradation, and the binarized image memory 9 stores binarized data.

【0014】オートステージドライバ10は、CPU6
からの指示により平面移動機構18を制御して、被検査
対象物を載せるステージ17を前後左右方向に移動さ
せ、被検査対象物の位置、領域の設定を行う。オートフ
ォーカスドライバ11は、CPU6からの指示により垂
直移動機構19を制御して、自動的に焦点を合わせる。
The auto stage driver 10 includes a CPU 6
By controlling the plane moving mechanism 18 in accordance with the instruction from, the stage 17 on which the object to be inspected is placed is moved in the front-rear and left-right directions to set the position and area of the object to be inspected. The auto focus driver 11 controls the vertical movement mechanism 19 according to an instruction from the CPU 6 to automatically focus.

【0015】出力バッファ12は、出力するデータを一
旦格納し、D/A変換器13はこれをビデオ信号に変換
してCRT14に表示する。キーボード15、マウス1
5’によりオペレータが指示やデータを入力する。
The output buffer 12 temporarily stores the data to be output, and the D / A converter 13 converts the data into a video signal and displays it on the CRT 14. Keyboard 15, mouse 1
5 'allows the operator to input instructions and data.

【0016】図2は、本発明の実施の形態の例を示すフ
ローチャートである。図2において、実線で囲まれたブ
ロックが請求項1に対応し、破線で囲まれたブロックは
請求項2で付加されたものであり、必要に応じて実施さ
れる。
FIG. 2 is a flowchart showing an example of the embodiment of the present invention. In FIG. 2, blocks enclosed by solid lines correspond to claim 1, and blocks enclosed by broken lines are added in claim 2, and are implemented as necessary.

【0017】まず、ステップS1において、図1に示し
た装置を使用して被検査対象物の表面近くの断面の撮像
を行い、撮像画面を512×512の画素に分割する。
そして、その明度を8ビットすなわち256段階の濃淡
画像として濃淡画像メモリ8内に格納する。
First, in step S1, an image of a cross section near the surface of an object to be inspected is taken using the apparatus shown in FIG. 1, and the image screen is divided into 512 × 512 pixels.
Then, the brightness is stored in the grayscale image memory 8 as a grayscale image of 8 bits, that is, 256 levels.

【0018】次に、ステップS2においてシェーディン
グ補正を行う。シェーディング補正は、照明のむら等に
起因する画像の濃淡ノイズを除去するために広く行われ
ているものであり、公知のものを選択して使用すること
ができるが、この実施の形態においては、ある程度の広
い近傍に対する最大値化処理を行った後、同様の最小値
化処理を行った画像を原画像から引き算し、細かい凹凸
のある画像を得て、これに平均値に近い濃度のバイアス
を加算している。これにより、照明むら等による緩やか
で不均一な背景が修正される。
Next, shading correction is performed in step S2. Shading correction is widely performed in order to remove shading noise of an image due to uneven illumination or the like, and a known one can be selected and used. After performing the maximization process on the wide neighborhood, the image subjected to the similar minimization process is subtracted from the original image to obtain an image with fine irregularities, and a density bias close to the average value is added to this image doing. As a result, a gentle and uneven background due to uneven illumination or the like is corrected.

【0019】広い範囲の最大値化処理としては、41×
41オペレータを用いるとよい。41×41オペレータ
の代わりに、3×3のオペレータ(8近傍オペレータ)
を20回繰り返して類似の効果を短時間で得ることがで
きる。最小値化処理も同様にして8近傍オペレータ処理
を20回繰り返す。
As the maximization processing of a wide range, 41 ×
It is preferable to use 41 operators. 3 × 3 operator (8 neighborhood operators) instead of 41 × 41 operator
Is repeated 20 times to obtain a similar effect in a short time. Similarly, in the minimization processing, the 8-neighbor operator processing is repeated 20 times.

【0020】3×3、すなわち8近傍オペレータの例を
示すと、512×512の画素のうち、i行j列に存在
する画素の階調をxijで示し、処理後のi行j列に存在
する画素の階調をx’ijとすると、x’ij=MAXxmn
(i−1≦m≦i+1、i−1≦n≦i+1)とする
処理とする。最小化処理は、i行j列に存在する画素の
階調をxijで示し、処理後のi行j列に存在する画素の
階調をx’ijとすると、x’ij=MINxmn (i−1
≦m≦i+1、i−1≦n≦i+1)とする処理とす
る。
In the case of 3 × 3, that is, an example of an 8-neighbor operator, among the 512 × 512 pixels, the gradation of the pixel present in the i-th row and the j-th column is represented by x ij , and the processed i-th row and the j-th column are represented by x ij Assuming that the gray level of an existing pixel is x ′ ij , x ′ ij = MAXx mn
(I-1≤m≤i + 1, i-1≤n≤i + 1). Minimization process, 'When ij, x' the gradation of the pixels existing in row i and column j shown in x ij, the gradation of the pixels existing in row i and column j of the processed x ij = MINx mn ( i-1
≦ m ≦ i + 1, i−1 ≦ n ≦ i + 1).

【0021】なお、シェーディング補正は、上記の方法
に限らず、低域通過フィルタ出力を原画像から減算して
もよいし、広域の平均値フィルタの出力を原画像から減
算してもよい。
The shading correction is not limited to the above method. The output of the low-pass filter may be subtracted from the original image, or the output of the wide-range average filter may be subtracted from the original image.

【0022】続いて、ステップS3において、各画素の
明度に対する値の2値化を行う。2値化の閾値は、明ら
かにフィライト脱炭層である部分と、そうでない部分と
の平均値を採用する等により決定する。以下、2値化さ
れた画素のうち、高明度に対応する画素を「白画素」と
呼び、低明度に対応する画素を「黒画素」と呼ぶ。
Subsequently, in step S3, the value for the brightness of each pixel is binarized. The threshold value for binarization is determined by, for example, employing an average value of a portion which is clearly a decarburized layer and a portion which is not. Hereinafter, among the binarized pixels, a pixel corresponding to high brightness is referred to as a “white pixel”, and a pixel corresponding to low brightness is referred to as a “black pixel”.

【0023】次に処理対象区分の設定を行う。この状態
を図3、図4を用いて説明する。図3は、被検査材断面
と画素及び処理対象区分を示す図である。図3におい
て、21は被検査対象物の表面、22はフェライト脱炭
層とそれ以外の部分との境界を示し、ハッチング部分が
フィライト脱炭層以外の部分、表面近くのハッチングの
無い部分がフェライト脱炭層を示す。
Next, a processing target category is set. This state will be described with reference to FIGS. FIG. 3 is a diagram showing a cross section of a material to be inspected, pixels, and processing target divisions. In FIG. 3, reference numeral 21 denotes the surface of the object to be inspected, reference numeral 22 denotes a boundary between the ferrite decarburized layer and other portions, and the hatched portion is a portion other than the phyllite decarburized layer, and the non-hatched portion near the surface is the ferrite decarburized layer. Is shown.

【0024】小さな多数の正方形は画素、A1〜A8
は、処理対象区分を示す。すなわち、図3においては、
各処理対象区分は、被検査対象物の表面21に平行な方
向に14画素、深さ方向に1画素の集合から成り立って
いる。もちろん、処理対象区分における各方向への画素
数は任意に設定できるが、処理対象区分は被検査対象物
の表面に平行な方向に長くする必要がある。
A number of small squares are pixels, A1 to A8
Indicates a processing target category. That is, in FIG.
Each processing target section is composed of a set of 14 pixels in a direction parallel to the surface 21 of the inspection object and one pixel in the depth direction. Of course, the number of pixels in each direction in the processing target section can be set arbitrarily, but the processing target section needs to be lengthened in a direction parallel to the surface of the inspection object.

【0025】図4は、処理対象区分A1〜A8内の、2
値化された後の画素の状態を示したもので、ハッチング
部分が黒画素、そうでない部分が白画素を示す。
FIG. 4 is a diagram showing two of the processing target sections A1 to A8.
The state of the pixel after the value conversion is shown. A hatched portion indicates a black pixel, and a portion other than the hatched portion indicates a white pixel.

【0026】ステップS5において、被検査対象物の表
面に近い側の処理対象区分から順に、当該処理対象区分
中にある白画素の数を計数する。そして、ステップS6
において、その白画素数が、例えば処理対象区分中の全
画素数の95%に相当する数以下になったかどうかを判
別する。
In step S5, the number of white pixels in the processing section is counted in order from the processing section on the side closer to the surface of the inspection object. Then, step S6
In, it is determined whether or not the number of white pixels is equal to or less than 95% of the total number of pixels in the processing target section, for example.

【0027】白画素数が全画素数の95%に相当する数
以下になった場合は、ステップS7に進み、当該処理対
象区分を、フィライト脱炭層の終わりと判断して、表面
から当該処理対象区分までの距離をフェライト脱炭層深
さと判定して処理を終了する。白画素数が全画素数の9
5%に相当する数以下にならない場合は、ステップ5に
戻り、次の(表面から遠い側の)処理対象区分について
の白画素の計数を行う。
If the number of white pixels is equal to or less than 95% of the total number of pixels, the process proceeds to step S7, where the processing target section is determined to be the end of the phyllite decarburized layer, and the processing target division is determined from the surface. The distance to the section is determined as the ferrite decarburized layer depth, and the processing is terminated. The number of white pixels is 9 of the total number of pixels
If the number does not fall below the number corresponding to 5%, the process returns to step 5 and the number of white pixels for the next (farther side from the surface) processing section is counted.

【0028】図4の場合は、処理対象区分A6で、白画
素数が全画素数の95%に相当する数以下になるので、
表面から処理対象区分A6までの距離をフェライト脱炭
層深さとする。
In the case of FIG. 4, the number of white pixels is equal to or less than 95% of the total number of pixels in the processing target section A6.
The distance from the surface to the treatment target section A6 is defined as the ferrite decarburized layer depth.

【0029】なお、最表面においては、被検査対象物が
画素の中に入らず、その結果、黒画素が多くなってしま
うことがある。このような場合に対する対策として、被
検査対象物の表面の判定処理を付加する。すなわち、処
理対象区分のうち、最初に白画素の数が所定値を越えた
ものが被検査対象物の表面に対応すると判断し、フェラ
イト脱炭層の深さ測定の基準面とする。
On the outermost surface, the object to be inspected does not enter the pixels, and as a result, the number of black pixels may increase. As a countermeasure against such a case, a process of determining the surface of the inspection object is added. That is, it is determined that among the processing target sections, the one in which the number of white pixels exceeds a predetermined value first corresponds to the surface of the inspection object, and is set as a reference plane for measuring the depth of the ferrite decarburized layer.

【0030】[0030]

【実施例】前記、本発明の実施の形態に記載した方法を
使用して、フェライト脱炭層の深さ測定を行い、人間に
よる目視データと比較した。その結果、サンプル数1
0、平均誤差0.005mm、標準偏差0.008mmであった。これ
は、自動測定結果として極めて満足のいく値である。
EXAMPLES The depth of the decarburized ferrite layer was measured using the method described in the embodiment of the present invention, and compared with human visual data. As a result, the number of samples is 1
0, the average error was 0.005 mm, and the standard deviation was 0.008 mm. This is a very satisfactory value as an automatic measurement result.

【0031】[0031]

【発明の効果】以上説明したように、本発明において
は、表面から内面に向かってフィライト脱炭層が存在す
る被検査対象物の表面付近の断面を撮像手段により撮影
し、撮像された画像を画素に分解して各画素の明度に対
応する値を2値化し、被検査対象物の表面に平行な方向
に長い処理対象区分を深さ方向に複数設定し、各処理対
象区分に含まれる、高明度に対応する値を持つ画素の数
を、各処理対象区分毎に計数し、計数値が所定値以下と
なった処理対象区分と被検査対象物の表面との距離をも
ってフェライト脱炭層の深さとしているので、フェライ
ト脱炭層の深さを正確に測定することができる。
As described above, according to the present invention, a cross section near the surface of an object to be inspected in which a phyllite decarburized layer is present from the surface toward the inner surface is photographed by the imaging means, and the photographed image is taken as a pixel. The values corresponding to the brightness of each pixel are binarized, and a plurality of sections to be processed that are long in a direction parallel to the surface of the object to be inspected are set in the depth direction. The number of pixels having a value corresponding to the degree is counted for each processing target section, and the depth of the ferrite decarburized layer is determined by the distance between the processing target section where the counted value is equal to or less than a predetermined value and the surface of the inspection object. Therefore, the depth of the ferrite decarburized layer can be accurately measured.

【0032】また、2値化に先立って、シェーディング
補正を施すこと、光源むら等による濃淡度のばらつきの
補正や、2値化レベルの一定化を図ることができる。
Further, shading correction can be performed prior to binarization, correction of unevenness in shading due to uneven light sources, and constant binarization level can be achieved.

【0033】さらに、処理対象区分に含まれる、高明度
に対応する値を持つ画素の数が所定値以上となっている
処理対象区分のうち、最も被検査対象物の表面側にある
ものの位置をもって、被検査対象物の表面位置と判定す
ることにより、被検査対象物の表面位置を正確に判断で
きる。
Further, among the processing target sections in which the number of pixels having a value corresponding to the high brightness included in the processing target section is equal to or more than a predetermined value, the position of the one closest to the surface side of the object to be inspected is defined as By determining the surface position of the inspection target, the surface position of the inspection target can be determined accurately.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明を実施するための装置の構成の例を示す
図である。
FIG. 1 is a diagram showing an example of the configuration of an apparatus for implementing the present invention.

【図2】本発明の実施の形態の例を示すフローチャート
である。
FIG. 2 is a flowchart illustrating an example of an embodiment of the present invention.

【図3】被検査材断面と画素及び処理対象区分を示す図
である。
FIG. 3 is a diagram showing a cross section of a material to be inspected, pixels, and processing target divisions.

【図4】図3に対応する、処理対象区分内の画素の白黒
を示す図である。
FIG. 4 is a diagram corresponding to FIG. 3, showing black and white of a pixel in a processing target section.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 顕微鏡 2 A/D変換器 3 入力バッファ 4 バス 5 プログラムメモリ 6 CPU 7 画像プロセッサ 8 濃淡画像メモリ 9 2値化画像メモリ 10 オートステージドライバ 11 オートフォーカスドライバ 12 出力バッファ 13 D/A変換器 14 CRT 15 キーボード 15’ マウス 16 撮像装置 17 ステージ 18 平面移動機構 19 垂直移動機構 21 被検査対象物表面 22 フェライト脱炭層とそれ以外の部分との境界面 A1〜A8 処理対象区分 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Microscope 2 A / D converter 3 Input buffer 4 Bus 5 Program memory 6 CPU 7 Image processor 8 Grayscale image memory 9 Binary image memory 10 Auto stage driver 11 Auto focus driver 12 Output buffer 13 D / A converter 14 CRT Reference Signs List 15 keyboard 15 'mouse 16 imaging device 17 stage 18 plane moving mechanism 19 vertical moving mechanism 21 surface of inspected object 22 boundary surface between ferrite decarburized layer and other parts A1 to A8 processing target category

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 表面から内面に向かってフィライト脱炭
層が存在する被検査対象物の表面付近の断面を撮像手段
により撮影し、撮像された画像を画素に分解して各画素
の明度に対応する値を2値化し、被検査対象物の表面に
平行な方向に長い処理対象区分を深さ方向に複数設定
し、各処理対象区分に含まれる、高明度に対応する値を
持つ画素の数を、各処理対象区分毎に計数し、計数値が
所定値以下となった処理対象区分と被検査対象物の表面
との距離をもってフェライト脱炭層の深さとすることを
特徴とするフェライト脱炭層の深さ測定方法。
1. A section near the surface of an object to be inspected in which a phyllite decarburized layer exists from a surface to an inner surface is photographed by an imaging means, and the photographed image is decomposed into pixels to correspond to the brightness of each pixel. The values are binarized, and a plurality of processing target sections long in a direction parallel to the surface of the inspection object are set in the depth direction, and the number of pixels having a value corresponding to high brightness included in each processing target section is determined. The depth of the ferrite decarburized layer is characterized in that the distance between the processed section where the count value is equal to or less than a predetermined value and the surface of the inspection object is defined as the ferrite decarburized layer depth. Measuring method.
【請求項2】 2値化に先立って、シェーディング補正
を行うことを特徴とする請求項1に記載のフェライト脱
炭層の深さ測定方法。
2. The method according to claim 1, wherein shading correction is performed prior to binarization.
【請求項3】 処理対象区分に含まれる、高明度に対応
する値を持つ画素の数が所定値以上となっている処理対
象区分のうち、最も被検査対象物の表面側にあるものの
位置をもって、被検査対象物の表面位置と判定すること
を特徴とする請求項1または請求項2に記載のフェライ
ト脱炭層の深さ測定方法。
3. Among the processing target divisions in which the number of pixels having a value corresponding to high brightness included in the processing target division is equal to or more than a predetermined value, the position of the one closest to the surface side of the inspection target is defined as 3. The method for measuring the depth of a decarburized layer of a ferrite according to claim 1, wherein the surface position of the inspection object is determined.
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