JPH1159899A - 球状物の供給装置 - Google Patents
球状物の供給装置Info
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- JPH1159899A JPH1159899A JP9224116A JP22411697A JPH1159899A JP H1159899 A JPH1159899 A JP H1159899A JP 9224116 A JP9224116 A JP 9224116A JP 22411697 A JP22411697 A JP 22411697A JP H1159899 A JPH1159899 A JP H1159899A
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- B65G51/00—Conveying articles through pipes or tubes by fluid flow or pressure; Conveying articles over a flat surface, e.g. the base of a trough, by jets located in the surface
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- B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
- B65G47/02—Devices for feeding articles or materials to conveyors
- B65G47/04—Devices for feeding articles or materials to conveyors for feeding articles
- B65G47/12—Devices for feeding articles or materials to conveyors for feeding articles from disorderly-arranged article piles or from loose assemblages of articles
- B65G47/14—Devices for feeding articles or materials to conveyors for feeding articles from disorderly-arranged article piles or from loose assemblages of articles arranging or orientating the articles by mechanical or pneumatic means during feeding
- B65G47/1407—Devices for feeding articles or materials to conveyors for feeding articles from disorderly-arranged article piles or from loose assemblages of articles arranging or orientating the articles by mechanical or pneumatic means during feeding the articles being fed from a container, e.g. a bowl
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】ホッパー等の貯蔵容器から球状物を次の処理又
は製造工程に供給するにあたり、確実かつ円滑に前記球
状物を１個ずつ供給することの可能な球状物の供給装置
を提供する。 【解決手段】球状物の供給装置１を、球状物の貯蔵容器
２に連結された供給管路８と、前記供給管路８から分岐
した分岐管路９と、前記分岐管路９内に加圧流体を導入
する流体供給装置１０とで構成し、前記分岐管路９を介
して前記供給管路８内に噴射される前記加圧流体によっ
て球状物を搬送することとした。
は製造工程に供給するにあたり、確実かつ円滑に前記球
状物を１個ずつ供給することの可能な球状物の供給装置
を提供する。 【解決手段】球状物の供給装置１を、球状物の貯蔵容器
２に連結された供給管路８と、前記供給管路８から分岐
した分岐管路９と、前記分岐管路９内に加圧流体を導入
する流体供給装置１０とで構成し、前記分岐管路９を介
して前記供給管路８内に噴射される前記加圧流体によっ
て球状物を搬送することとした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、球状半導体チップ
等の球状物の処理又は製造工程において、該球状物を次
工程に供給する際に使用される球体物の供給装置に関す
る。
等の球状物の処理又は製造工程において、該球状物を次
工程に供給する際に使用される球体物の供給装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体チップは、板状の単結晶シ
リコンウェハー上に回路パターンを形成していたが、近
年、直径１ｍｍ以下の球状のシリコン上に回路パターン
を形成して半導体素子を製造する技術が開発されてい
る。そして、この球状の半導体素子を効率的に製造する
ためには、各工程を連結してライン化すると共に、各工
程に前記球状シリコンを逐次供給する必要がある。しか
も、この作業は生産性並びに品質の点からも高速処理
と、高い信頼性を要求される。
リコンウェハー上に回路パターンを形成していたが、近
年、直径１ｍｍ以下の球状のシリコン上に回路パターン
を形成して半導体素子を製造する技術が開発されてい
る。そして、この球状の半導体素子を効率的に製造する
ためには、各工程を連結してライン化すると共に、各工
程に前記球状シリコンを逐次供給する必要がある。しか
も、この作業は生産性並びに品質の点からも高速処理
と、高い信頼性を要求される。
【０００３】しかしながら、ホッパー等の貯蔵容器内に
貯蔵された球状物を、配管を介して一個ずつ落下させて
次工程に供給する場合には、図１に示すように、球状物
Ｓが前記貯蔵容器の出口Ｅで石垣を組んだような状態で
集積して該出口Ｅが閉塞するために、前記球状物を次工
程に供給できなくなる場合がある。
貯蔵された球状物を、配管を介して一個ずつ落下させて
次工程に供給する場合には、図１に示すように、球状物
Ｓが前記貯蔵容器の出口Ｅで石垣を組んだような状態で
集積して該出口Ｅが閉塞するために、前記球状物を次工
程に供給できなくなる場合がある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、ホッパー等
の貯蔵容器から球状物を次の処理又は製造工程に供給す
るにあたり、確実かつ円滑に前記球状物を１個ずつ供給
することの可能な球状物の供給装置を提供することをそ
の課題とする。
の貯蔵容器から球状物を次の処理又は製造工程に供給す
るにあたり、確実かつ円滑に前記球状物を１個ずつ供給
することの可能な球状物の供給装置を提供することをそ
の課題とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】そこで、請求項１の発明
では、球状物の供給装置として、球状物の貯蔵容器に連
結された供給管路と、前記供給管路から分岐した分岐管
路と、前記分岐管路内に加圧流体を導入する流体供給装
置とを備えており、前記分岐管路を介して前記供給管路
内に噴射される前記加圧流体によって球状物を搬送する
形式の球状物の供給装置を採用することとした。
では、球状物の供給装置として、球状物の貯蔵容器に連
結された供給管路と、前記供給管路から分岐した分岐管
路と、前記分岐管路内に加圧流体を導入する流体供給装
置とを備えており、前記分岐管路を介して前記供給管路
内に噴射される前記加圧流体によって球状物を搬送する
形式の球状物の供給装置を採用することとした。
【０００６】請求項２の発明では、上記球状物の供給装
置において、前記供給管路に対する前記分岐管路の分岐
角度が４５゜以下とした。
置において、前記供給管路に対する前記分岐管路の分岐
角度が４５゜以下とした。
【０００７】請求項３の発明では、請求項１又は２記載
の球状物の供給装置において、前記貯蔵容器内に加圧流
体導入管の開口端を配設して加圧流体を前記貯蔵容器内
に噴出させることとした。
の球状物の供給装置において、前記貯蔵容器内に加圧流
体導入管の開口端を配設して加圧流体を前記貯蔵容器内
に噴出させることとした。
【０００８】請求項４の発明では、請求項１乃至３いず
れかに記載の球状物の供給装置において、前記分岐管路
の分岐点より下流側の供給管路を、前記分岐管路の延長
線方向に屈折して延設することとした。
れかに記載の球状物の供給装置において、前記分岐管路
の分岐点より下流側の供給管路を、前記分岐管路の延長
線方向に屈折して延設することとした。
【０００９】請求項５の発明では、請求項１乃至４いず
れかに記載の球状物の供給装置において、前記供給管路
の口径が前記球状物の搬送方向に順次小さくなるように
した。
れかに記載の球状物の供給装置において、前記供給管路
の口径が前記球状物の搬送方向に順次小さくなるように
した。
【００１０】なお、本明細書において「流体」とは、活
性ガス、不活性ガス等の気体のみならず、水や各種溶液
等の液体をも含むものとし、「球状物」とは球状シリコ
ンのみならず、様々な材質の球状物を含むものとする。
性ガス、不活性ガス等の気体のみならず、水や各種溶液
等の液体をも含むものとし、「球状物」とは球状シリコ
ンのみならず、様々な材質の球状物を含むものとする。
【００１１】
【発明の実施の形態】この発明は、球状物をパイプ等の
供給管路を介して供給するにあたり、該供給管路に加圧
流体を導入して球状物を加速することにより、高速かつ
確実に該球状物を次工程に供給することに第１の特徴を
有している。
供給管路を介して供給するにあたり、該供給管路に加圧
流体を導入して球状物を加速することにより、高速かつ
確実に該球状物を次工程に供給することに第１の特徴を
有している。
【００１２】そして、前記供給管路内に導入する加圧流
体の導入角度を４５゜以下とすることに第２の特徴を有
している。
体の導入角度を４５゜以下とすることに第２の特徴を有
している。
【００１３】また、球状物の貯蔵容器内に加圧流体導入
管の開口端を配設して加圧流体を噴出して該貯蔵容器内
の球状物を撹拌させることに第３の特徴を有している。
管の開口端を配設して加圧流体を噴出して該貯蔵容器内
の球状物を撹拌させることに第３の特徴を有している。
【００１４】更に、前記供給管路を、前記分岐管路方向
に屈折させることにより球状物加速用の加圧流体の噴射
方向を変更することなく球状物を搬送することに第４の
特徴を、前記供給管路の口径を前記球状物の搬送方向に
順次小さくすることにより、球状物の供給を１個ずつ円
滑に行うことに第５の特徴を有している。
に屈折させることにより球状物加速用の加圧流体の噴射
方向を変更することなく球状物を搬送することに第４の
特徴を、前記供給管路の口径を前記球状物の搬送方向に
順次小さくすることにより、球状物の供給を１個ずつ円
滑に行うことに第５の特徴を有している。
【００１５】
【実施例】以下、図面を参照しつつ、本発明を実施例に
基づき説明する。ただし、本発明を実施例に限定するも
のでは決してない。
基づき説明する。ただし、本発明を実施例に限定するも
のでは決してない。
【００１６】図２は、本発明の供給装置の実施の形態の
一例を示す断面図である。
一例を示す断面図である。
【００１７】１は本発明に係る供給装置であり、貯蔵容
器としてのホッパー２を備えている。ホッパー２内部の
貯蔵空間には閉塞防止用エアー導入管３が配設されてお
り、その一端は図示しない空気供給装置に接続され、他
端は、図３に示すように、ホッパー２の円錐底頂部に設
けられた出口Ｅに臨む位置に開口している。
器としてのホッパー２を備えている。ホッパー２内部の
貯蔵空間には閉塞防止用エアー導入管３が配設されてお
り、その一端は図示しない空気供給装置に接続され、他
端は、図３に示すように、ホッパー２の円錐底頂部に設
けられた出口Ｅに臨む位置に開口している。
【００１８】ここで、閉塞防止用エアー導入管３の開口
端の配設箇所は、球状物Ｓによる出口Ｅの閉塞を防止可
能な位置であれば特に限定されないが、前記エアー導入
管３から噴出される閉塞防止用エアーの流れを出口Ｅの
奥部まで到達させ、しかも、球状物Ｓに前記エアーによ
る撹拌効果を効果的且つ均等に作用させるためには、図
３に示すように、閉塞防止用エアー導入管３の中心軸を
前記出口Ｅの中心軸と同軸とし、かつ、出口Ｅから所定
距離離隔した箇所にその開口端を位置させることが好ま
しい。なお、閉塞防止用エアー導入管３の口径及び噴出
されるエアーの流量又は圧力はその開口端の位置との関
係で、出口Ｅの周辺に球状物Ｓによる閉塞状態が発生し
ないように決定される。
端の配設箇所は、球状物Ｓによる出口Ｅの閉塞を防止可
能な位置であれば特に限定されないが、前記エアー導入
管３から噴出される閉塞防止用エアーの流れを出口Ｅの
奥部まで到達させ、しかも、球状物Ｓに前記エアーによ
る撹拌効果を効果的且つ均等に作用させるためには、図
３に示すように、閉塞防止用エアー導入管３の中心軸を
前記出口Ｅの中心軸と同軸とし、かつ、出口Ｅから所定
距離離隔した箇所にその開口端を位置させることが好ま
しい。なお、閉塞防止用エアー導入管３の口径及び噴出
されるエアーの流量又は圧力はその開口端の位置との関
係で、出口Ｅの周辺に球状物Ｓによる閉塞状態が発生し
ないように決定される。
【００１９】ホッパー２の出口Ｅ側の下方にはジョイン
ト４が連設されており、出口Ｅはジョイント４内のジョ
イントチューブ５に連結されている。ジョイントチュー
ブ５の材質には、樹脂、金属等の様々な材料、或いは前
記各種材料にフッ素樹脂をコーティングしたもの等を用
いることができる。
ト４が連設されており、出口Ｅはジョイント４内のジョ
イントチューブ５に連結されている。ジョイントチュー
ブ５の材質には、樹脂、金属等の様々な材料、或いは前
記各種材料にフッ素樹脂をコーティングしたもの等を用
いることができる。
【００２０】ホッパー２には、ホッパープレート６を介
してバキュームホルダー７が連設されている。バキュー
ムホルダー７内部には、図示されるように、球状物Ｓの
加速管路８及び分岐管路９が穿孔されており、加速管路
８の上端部にはジョイントチューブ５が連結されてい
る。
してバキュームホルダー７が連設されている。バキュー
ムホルダー７内部には、図示されるように、球状物Ｓの
加速管路８及び分岐管路９が穿孔されており、加速管路
８の上端部にはジョイントチューブ５が連結されてい
る。
【００２１】そして、図２に示すように、分岐管路９は
加速管路８の所定箇所から分岐した状態とされている。
このときの分岐角度θは、後述するエアー供給ノズル１
１を介して分岐管路９内に供給される加速用エアーが球
状物Ｓを十分に加速し得るのであれば特に限定されるも
のではないが、少なくとも４５゜以下であることが好ま
しく、特に３０゜以下が好ましい。分岐角度θが４５゜
より大きくなるとジョイントチューブ５内に前記エアー
が逆流して球状物Ｓの移動を妨げるおそれがあるからで
ある。
加速管路８の所定箇所から分岐した状態とされている。
このときの分岐角度θは、後述するエアー供給ノズル１
１を介して分岐管路９内に供給される加速用エアーが球
状物Ｓを十分に加速し得るのであれば特に限定されるも
のではないが、少なくとも４５゜以下であることが好ま
しく、特に３０゜以下が好ましい。分岐角度θが４５゜
より大きくなるとジョイントチューブ５内に前記エアー
が逆流して球状物Ｓの移動を妨げるおそれがあるからで
ある。
【００２２】分岐管路９にはエアー供給ノズル１１が接
続されている。分岐管路９に対するエアー供給ノズル１
１の接続位置は特に限定されるものではないが、そこか
ら供給される加圧用エアーの圧力損失を最小とするため
に、図２に示すように、加速管路８からの分岐点に近接
した位置で分岐管路９に接続することが好ましい。
続されている。分岐管路９に対するエアー供給ノズル１
１の接続位置は特に限定されるものではないが、そこか
ら供給される加圧用エアーの圧力損失を最小とするため
に、図２に示すように、加速管路８からの分岐点に近接
した位置で分岐管路９に接続することが好ましい。
【００２３】エアー供給ノズル１１は、図示しない空気
供給装置から延びるエアー供給チューブ１０の先端に取
り付けられており、球状物Ｓの加速用エアーを分岐管路
９内に噴出する。分岐管路９内に噴出された前記加速用
エアーは上記分岐点から加速管路８内に噴射され、ジョ
イントチューブ５から加速管路８内へと移動してきた球
状物Ｓを加速して送り出す。
供給装置から延びるエアー供給チューブ１０の先端に取
り付けられており、球状物Ｓの加速用エアーを分岐管路
９内に噴出する。分岐管路９内に噴出された前記加速用
エアーは上記分岐点から加速管路８内に噴射され、ジョ
イントチューブ５から加速管路８内へと移動してきた球
状物Ｓを加速して送り出す。
【００２４】なお、前記加速用エアーを供給する空気供
給装置は上記閉塞防止用エアー供給用の空気供給装置と
別体としてもよく、共通のものとしてもよい。
給装置は上記閉塞防止用エアー供給用の空気供給装置と
別体としてもよく、共通のものとしてもよい。
【００２５】バキュームホルダー７の下方には、アダプ
ター１２が連接されている。アダプター１２内には球状
物Ｓの搬送用チューブ１３が配設され、その一端はバキ
ュームホルダー内の加速管路８に連結されており、他端
は図示しない次処理装置に連結されている。搬送用チュ
ーブ１３の材質としては、ジョイントチューブ５と同様
のものを採用することができる。
ター１２が連接されている。アダプター１２内には球状
物Ｓの搬送用チューブ１３が配設され、その一端はバキ
ュームホルダー内の加速管路８に連結されており、他端
は図示しない次処理装置に連結されている。搬送用チュ
ーブ１３の材質としては、ジョイントチューブ５と同様
のものを採用することができる。
【００２６】そして、この実施例においては、ジョイン
トチューブ５、加速管路８及び搬送用チューブ１３が一
直線上に連結されており、これらによって球状物Ｓの供
給管路が形成されている。したがって、球状物Ｓはホッ
パー２から図示しない次処理装置へと、その進路を変更
することなく供給される。
トチューブ５、加速管路８及び搬送用チューブ１３が一
直線上に連結されており、これらによって球状物Ｓの供
給管路が形成されている。したがって、球状物Ｓはホッ
パー２から図示しない次処理装置へと、その進路を変更
することなく供給される。
【００２７】上記した供給装置１の動作について説明す
る。
る。
【００２８】ホッパー２内には直径１ｍｍ程度の球状物
Ｓが多数貯蔵されており、その自重により出口Ｅ周辺に
集積している。しかし、閉塞防止用エアー導入管３がホ
ッパー２内部に垂設されているため、その開口端付近に
は図３に示すような空隙が存在している。
Ｓが多数貯蔵されており、その自重により出口Ｅ周辺に
集積している。しかし、閉塞防止用エアー導入管３がホ
ッパー２内部に垂設されているため、その開口端付近に
は図３に示すような空隙が存在している。
【００２９】この状態で、図示しない空気供給装置から
供給された閉塞防止用エアーが閉塞防止用エアー導入管
３を介してその開口部から噴出されると、図３に示すよ
うに、該エアーの流れはホッパー２の出口Ｅ側に集積し
ている球状物Ｓを撹拌すると共に、球状物Ｓを前記出口
Ｅ方向に押し出し、ジョイントチューブ５内へ送り込
む。
供給された閉塞防止用エアーが閉塞防止用エアー導入管
３を介してその開口部から噴出されると、図３に示すよ
うに、該エアーの流れはホッパー２の出口Ｅ側に集積し
ている球状物Ｓを撹拌すると共に、球状物Ｓを前記出口
Ｅ方向に押し出し、ジョイントチューブ５内へ送り込
む。
【００３０】したがって、ホッパー２の出口Ｅが球状物
Ｓで閉塞されることがなく、また、球状物Ｓは自重及び
前記エアーの送り出し作用によって１個ずつ確実にホッ
パー２内から送り出される。閉塞防止用エアーの放出量
は、球状物Ｓが過度に撹拌されて前記出口Ｅへの移動が
妨げられることのない程度に調節される。
Ｓで閉塞されることがなく、また、球状物Ｓは自重及び
前記エアーの送り出し作用によって１個ずつ確実にホッ
パー２内から送り出される。閉塞防止用エアーの放出量
は、球状物Ｓが過度に撹拌されて前記出口Ｅへの移動が
妨げられることのない程度に調節される。
【００３１】さて、ホッパー２から送り出された球状物
Ｓはジョイントチューブ５を経て加速管路８内に到達す
る。
Ｓはジョイントチューブ５を経て加速管路８内に到達す
る。
【００３２】加速管路８内には、分岐管路９から加速用
エアーが球状物Ｓの搬送方向に向けて噴射されている。
前記加速用エアーは図示しない空気供給装置から供給さ
れ、エアー供給用ノズル１１を介して分岐管路９に導入
されたものであり、その流量及び圧力は任意に調整可能
とされている。
エアーが球状物Ｓの搬送方向に向けて噴射されている。
前記加速用エアーは図示しない空気供給装置から供給さ
れ、エアー供給用ノズル１１を介して分岐管路９に導入
されたものであり、その流量及び圧力は任意に調整可能
とされている。
【００３３】そして、前記加速用エアーの作用により、
分岐管路９の分岐点より上方の加速管路８内は減圧状態
となっており、球状物Ｓを吸引する。したがって、球状
物Ｓは自重及び上記加速エアーの吸引作用によって加速
管路８内を下方に向かって移動し、加速管路８内の分岐
管路９との分岐点に到達すると、前記加速用エアーの作
用により高速に加速されて、搬送用チューブ１３へと送
り出される。
分岐管路９の分岐点より上方の加速管路８内は減圧状態
となっており、球状物Ｓを吸引する。したがって、球状
物Ｓは自重及び上記加速エアーの吸引作用によって加速
管路８内を下方に向かって移動し、加速管路８内の分岐
管路９との分岐点に到達すると、前記加速用エアーの作
用により高速に加速されて、搬送用チューブ１３へと送
り出される。
【００３４】このように、本発明においては、球状物を
供給するにあたり、該球状物を高速で噴射されるエアー
で加速しつつ次工程に供給するので、球状物の供給が次
工程の処理速度に追いつかない等の不都合がない上に、
前記エアーの流量及び噴射圧力を調整することにより球
状物の供給速度を任意に制御することが可能である。ま
た、貯蔵容器内部にもエアーを噴出することにより、球
状物を撹拌しつつ供給するので、貯蔵容器出口が前記球
状物で閉塞され、その送出間隔がばらつくことがない。
供給するにあたり、該球状物を高速で噴射されるエアー
で加速しつつ次工程に供給するので、球状物の供給が次
工程の処理速度に追いつかない等の不都合がない上に、
前記エアーの流量及び噴射圧力を調整することにより球
状物の供給速度を任意に制御することが可能である。ま
た、貯蔵容器内部にもエアーを噴出することにより、球
状物を撹拌しつつ供給するので、貯蔵容器出口が前記球
状物で閉塞され、その送出間隔がばらつくことがない。
【００３５】そして、上記実施例においては、球状物Ｓ
はその進路を変更することなくホッパー２から図示しな
い次処理装置へと供給管路を介して供給される。したが
って、球状物Ｓの供給速度の減少を最小限に抑えること
が可能である。また、球状物Ｓが前記供給管路の内面に
接触する頻度が少ないので、前記球状物Ｓの表面を傷つ
けることなく次処理工程に供給することができる。
はその進路を変更することなくホッパー２から図示しな
い次処理装置へと供給管路を介して供給される。したが
って、球状物Ｓの供給速度の減少を最小限に抑えること
が可能である。また、球状物Ｓが前記供給管路の内面に
接触する頻度が少ないので、前記球状物Ｓの表面を傷つ
けることなく次処理工程に供給することができる。
【００３６】図４は、本発明の球状物の供給装置の実施
の形態の他の一例を示す断面図である。
の形態の他の一例を示す断面図である。
【００３７】１’はこの実施例における球状物Ｓの供給
装置である。ここで、１２’は先端にノズル部１２’ａ
を備えたアダプターであり、図４に示すように、第２の
ホッパー１４とバキュームホルダー７との間に取り付け
られている。さらに、この第２のホッパー１４には搬送
用チューブ１３が連結されている。１５はホッパー２に
配設された、球状物補充用ロートである。なお、図２に
記載される部材と同一の部材については同一符号を付
し、説明を省略する。
装置である。ここで、１２’は先端にノズル部１２’ａ
を備えたアダプターであり、図４に示すように、第２の
ホッパー１４とバキュームホルダー７との間に取り付け
られている。さらに、この第２のホッパー１４には搬送
用チューブ１３が連結されている。１５はホッパー２に
配設された、球状物補充用ロートである。なお、図２に
記載される部材と同一の部材については同一符号を付
し、説明を省略する。
【００３８】この実施例においては、ジョイントチュー
ブ５、加速管路８、アダプター１２’及び搬送用チュー
ブ１３によって球状物Ｓの供給管路が形成されている
が、該供給管路の一部はバキュームホルダー７内の分岐
管路９の延長線上に延設されている。すなわち、図２の
場合と同様に、分岐管路９は加速管路８から分岐角度
θ’をなすように分岐しているが、この実施例では、図
４に示すように、分岐管路９の分岐点より下方の加速管
路８は該分岐管路９の延長線方向に屈折してバキューム
ホルダー７内に穿設されている。前記分岐角度θ’は球
状物Ｓの円滑な進路変更が可能な範囲で適宜設定される
が、好ましくは５゜〜４５゜、特に１０゜〜２０゜の範
囲が好ましい。
ブ５、加速管路８、アダプター１２’及び搬送用チュー
ブ１３によって球状物Ｓの供給管路が形成されている
が、該供給管路の一部はバキュームホルダー７内の分岐
管路９の延長線上に延設されている。すなわち、図２の
場合と同様に、分岐管路９は加速管路８から分岐角度
θ’をなすように分岐しているが、この実施例では、図
４に示すように、分岐管路９の分岐点より下方の加速管
路８は該分岐管路９の延長線方向に屈折してバキューム
ホルダー７内に穿設されている。前記分岐角度θ’は球
状物Ｓの円滑な進路変更が可能な範囲で適宜設定される
が、好ましくは５゜〜４５゜、特に１０゜〜２０゜の範
囲が好ましい。
【００３９】上記した供給装置１’の動作について説明
する。
する。
【００４０】図２の場合と同様に加速管路８内を運ばれ
てきた球状物Ｓは分岐管路９から噴射される高速の加速
用エアーによって加速されるが、その際に進路が変更さ
れる。そして、進路が変更された球状物Ｓはアダプター
１２’内を通過した後に該アダプター１２’のノズル部
１２’ａを介して第２のホッパー１４内に導入され、更
に、搬送用チューブ１３内へ送り出される。
てきた球状物Ｓは分岐管路９から噴射される高速の加速
用エアーによって加速されるが、その際に進路が変更さ
れる。そして、進路が変更された球状物Ｓはアダプター
１２’内を通過した後に該アダプター１２’のノズル部
１２’ａを介して第２のホッパー１４内に導入され、更
に、搬送用チューブ１３内へ送り出される。
【００４１】この実施例においては、分岐管路９から噴
射される高速の加速用エアーの流路を変更する必要がな
いので、球状物を効率良く加速して次工程に供給するこ
とが可能となる。
射される高速の加速用エアーの流路を変更する必要がな
いので、球状物を効率良く加速して次工程に供給するこ
とが可能となる。
【００４２】なお、図４に示す供給装置において、球状
物Ｓの円滑な供給が可能であれば、第２のホッパー１４
を介することなく、搬送用チューブ１３を直接、アダプ
ター１２に連結してもよい。
物Ｓの円滑な供給が可能であれば、第２のホッパー１４
を介することなく、搬送用チューブ１３を直接、アダプ
ター１２に連結してもよい。
【００４３】また、球状物補充用ロート１５は、ホッパ
ー２内の球状物Ｓの量が不足した際に球状物Ｓを補充す
るためのものであり、図４に示す供給装置のみならず、
図２に示す供給装置にも設けることが可能である。
ー２内の球状物Ｓの量が不足した際に球状物Ｓを補充す
るためのものであり、図４に示す供給装置のみならず、
図２に示す供給装置にも設けることが可能である。
【００４４】図５は、本発明の球状物の供給装置の実施
の形態の更に他の一例を示す断面図である。
の形態の更に他の一例を示す断面図である。
【００４５】ここで、８’は加速管路、９’は分岐管路
であり、図２及び図４の場合と同様に、分岐管路９’か
ら加速管路８’に向けて高速の加速用エアーが噴射され
ている。具体的には、図６に詳細に示すように、分岐管
路９’が接続される加速管路８’の外周面から内周面に
かけて多数の貫通孔が設けられており、該貫通孔は角度
αをもって球状物Ｓの搬送方向に傾斜されて穿設されて
いる。前記角度αは前述した分岐角度θと同様に、加速
管路８’内に噴射される加速用エアーが球状物Ｓを十分
に加速し得るのであれば特に限定されるものではない
が、少なくとも４５゜以下であることが好ましく、特に
３０゜以下が好ましい。前記角度αが４５゜より大きく
なると加速管路８’の上流側に前記エアーが逆流して球
状物Ｓの移動を妨げるおそれがある。
であり、図２及び図４の場合と同様に、分岐管路９’か
ら加速管路８’に向けて高速の加速用エアーが噴射され
ている。具体的には、図６に詳細に示すように、分岐管
路９’が接続される加速管路８’の外周面から内周面に
かけて多数の貫通孔が設けられており、該貫通孔は角度
αをもって球状物Ｓの搬送方向に傾斜されて穿設されて
いる。前記角度αは前述した分岐角度θと同様に、加速
管路８’内に噴射される加速用エアーが球状物Ｓを十分
に加速し得るのであれば特に限定されるものではない
が、少なくとも４５゜以下であることが好ましく、特に
３０゜以下が好ましい。前記角度αが４５゜より大きく
なると加速管路８’の上流側に前記エアーが逆流して球
状物Ｓの移動を妨げるおそれがある。
【００４６】１６は口径の大なるチューブであり、図示
を省略する管路を介してホッパー２から一度に供給され
る複数個の球状物Ｓを後述する整列ホッパー１７に導入
する。
を省略する管路を介してホッパー２から一度に供給され
る複数個の球状物Ｓを後述する整列ホッパー１７に導入
する。
【００４７】１７は整列ホッパーであり、出口の口径の
異なる複数の小ホッパー１７ａ〜１７ｅを、該口径が球
状物Ｓの搬送方向に順次小さくなるように連結管１８ａ
〜１８ｅを介して多段に連設した構造を有しており、ホ
ッパーカバー１９とホッパーホルダー２０の間に保持さ
れている。
異なる複数の小ホッパー１７ａ〜１７ｅを、該口径が球
状物Ｓの搬送方向に順次小さくなるように連結管１８ａ
〜１８ｅを介して多段に連設した構造を有しており、ホ
ッパーカバー１９とホッパーホルダー２０の間に保持さ
れている。
【００４８】すなわち、本実施例においては、整列ホッ
パー１７内の球状物Ｓの流路及び連結管１８ａ〜１８ｅ
が球状物Ｓの供給管路の一部を構成している。なお、図
２及び図４に記載される部材と同一の部材については同
一符号を付し、説明を省略する。
パー１７内の球状物Ｓの流路及び連結管１８ａ〜１８ｅ
が球状物Ｓの供給管路の一部を構成している。なお、図
２及び図４に記載される部材と同一の部材については同
一符号を付し、説明を省略する。
【００４９】上記した供給装置の動作について説明す
る。
る。
【００５０】この実施例においては、分岐管路９’から
の加速用エアーの作用により、一度に複数の球状物Ｓが
ホッパー２から高速で搬出され、チューブ１６を介して
整列ホッパー１７に導入される。整列ホッパー１７内で
は、球状物Ｓの通過する管路の口径が順に小さくなるよ
うに設定されているので、高速のエアーの流れが層流化
され、球状物Ｓは次第に整列され、最終的には１列とな
って搬送用チューブ１３に送り出される。
の加速用エアーの作用により、一度に複数の球状物Ｓが
ホッパー２から高速で搬出され、チューブ１６を介して
整列ホッパー１７に導入される。整列ホッパー１７内で
は、球状物Ｓの通過する管路の口径が順に小さくなるよ
うに設定されているので、高速のエアーの流れが層流化
され、球状物Ｓは次第に整列され、最終的には１列とな
って搬送用チューブ１３に送り出される。
【００５１】このようにすることで、多数の球状物を一
度に処理することが可能となり、かつ、最終的には、球
状物Ｓの送出を１個ずつ円滑に行うことが可能となる。
また、ホッパー２の出口の口径を大とすることが可能で
あるために、球状物Ｓによるホッパー２の出口の閉塞を
回避できる。
度に処理することが可能となり、かつ、最終的には、球
状物Ｓの送出を１個ずつ円滑に行うことが可能となる。
また、ホッパー２の出口の口径を大とすることが可能で
あるために、球状物Ｓによるホッパー２の出口の閉塞を
回避できる。
【００５２】なお、この実施例においても、図４に示す
ように、球状物補充用ロート１５をホッパー２に備えて
もよい。
ように、球状物補充用ロート１５をホッパー２に備えて
もよい。
【００５３】
【発明の効果】請求項１の発明では、球状物を供給する
にあたり、該球状物を高速で噴射される加圧流体で加速
しつつ次工程に供給するので、球状物の供給が次工程の
処理速度に追いつかない等の不都合がない上に、前記加
圧流体の流量及び噴射圧力を調整することにより球状物
の供給速度を任意に制御することが可能である。
にあたり、該球状物を高速で噴射される加圧流体で加速
しつつ次工程に供給するので、球状物の供給が次工程の
処理速度に追いつかない等の不都合がない上に、前記加
圧流体の流量及び噴射圧力を調整することにより球状物
の供給速度を任意に制御することが可能である。
【００５４】請求項２の発明では、分岐角度θを４５゜
以下に制限することにより、上記加圧流体が球状物搬送
上流側に逆流することを防止できる。したがって、上記
した効果に加えて、球状物を安定して搬送することがで
きるという効果を奏する。
以下に制限することにより、上記加圧流体が球状物搬送
上流側に逆流することを防止できる。したがって、上記
した効果に加えて、球状物を安定して搬送することがで
きるという効果を奏する。
【００５５】請求項３の発明では、貯蔵容器内の球状物
を加圧流体で撹拌することにより、該球状物による前記
貯蔵容器の出口の閉塞を回避できる。したがって、上記
した効果に加えて、球状物を１個づつ確実に供給管路に
送出することができるという効果を奏する。
を加圧流体で撹拌することにより、該球状物による前記
貯蔵容器の出口の閉塞を回避できる。したがって、上記
した効果に加えて、球状物を１個づつ確実に供給管路に
送出することができるという効果を奏する。
【００５６】請求項４の発明では、分岐管路から供給管
路に噴射される高速の加速用流体の流路を変更する必要
がない。したがって、上記した効果に加えて、球状物を
効率良く加速して次工程に供給することができるという
効果を奏する。
路に噴射される高速の加速用流体の流路を変更する必要
がない。したがって、上記した効果に加えて、球状物を
効率良く加速して次工程に供給することができるという
効果を奏する。
【００５７】請求項５の発明では、分岐管路から噴射さ
れる高速の加速用流体が層流化して球状物を整列させ
る。したがって、上記した効果に加えて、球状物を１個
ずつ円滑に次工程に供給することができるという効果を
奏する。
れる高速の加速用流体が層流化して球状物を整列させ
る。したがって、上記した効果に加えて、球状物を１個
ずつ円滑に次工程に供給することができるという効果を
奏する。
【図１】 ホッパー等の貯蔵容器の出口部分での球状物
の集積状態を示すための拡大断面図。
の集積状態を示すための拡大断面図。
【図２】 本発明の球状物の供給装置の実施の形態の一
例を示す断面図。
例を示す断面図。
【図３】 本発明の球状物の供給装置におけるホッパー
等の貯蔵容器の出口部分での球状物の状態を示すための
拡大断面図。
等の貯蔵容器の出口部分での球状物の状態を示すための
拡大断面図。
【図４】 本発明の供給装置の実施の形態の他の一例を
示す断面図。
示す断面図。
【図５】 本発明の供給装置の実施の形態の更に他の一
例を示す断面図。
例を示す断面図。
【図６】 図５の装置における分岐管路９’と加速管路
８’の関係を示す断面図。
８’の関係を示す断面図。
１、１’ 球状物の供給装置 ２ ホッパー ３ 閉塞防止用エアー導入管 ４ ジョイント ５ ジョイントチューブ ６ ホッパープレート ７ バキュームホルダー ８、８’ 加速管路 ９、９’ 分岐管路 １０ エアー供給チューブ １１ エアー供給ノズル １２、１２’ アダプター １２’ａ ノズル部 １３ 搬送用チューブ １４ 第２のホッパー １５ 補充用ロート １６ チューブ １７ 整列ホッパー １７ａ〜１７ｂ 小ホッパー １８ 連結管 １９ ホッパーカバー ２０ ホッパーホルダー Ｓ 球状物 Ｅ 出口 θ、θ’ 分岐角度 α 貫通孔の穿設角度
Claims (5)
- 【請求項１】 球状物の貯蔵容器に連結された供給管路
と、 前記供給管路から分岐した分岐管路と、 前記分岐管路内に加圧流体を導入する流体供給装置とを
備えており、 前記分岐管路を介して前記供給管路内に噴射される前記
加圧流体によって球状物を搬送することを特徴とする球
状物の供給装置 - 【請求項２】 前記供給管路に対する前記分岐管路の分
岐角度が４５゜以下であることを特徴とする請求項１記
載の球状物の供給装置。 - 【請求項３】 前記貯蔵容器内に加圧流体導入管の開口
端を配設し、加圧流体を前記貯蔵容器内に噴出すること
を特徴とする請求項１又は２記載の球状物の供給装置。 - 【請求項４】 前記分岐管路の分岐点より下流側の供給
管路が、前記分岐管路の延長線方向に屈折して延設され
ることを特徴とする請求項１乃至３いずれかに記載の球
状物の供給装置。 - 【請求項５】 前記供給管路の口径が前記球状物の搬送
方向に順次小さくなることを特徴とする請求項１乃至４
いずれかに記載の球状物の供給装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9224116A JPH1159899A (ja) | 1997-08-20 | 1997-08-20 | 球状物の供給装置 |
| US09/110,660 US6250852B1 (en) | 1997-08-20 | 1998-07-07 | Spherical object supplying apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9224116A JPH1159899A (ja) | 1997-08-20 | 1997-08-20 | 球状物の供給装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1159899A true JPH1159899A (ja) | 1999-03-02 |
Family
ID=16808796
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9224116A Pending JPH1159899A (ja) | 1997-08-20 | 1997-08-20 | 球状物の供給装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6250852B1 (ja) |
| JP (1) | JPH1159899A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014175636A (ja) * | 2013-03-13 | 2014-09-22 | Shimadzu Corp | 基板搬送システム |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000344343A (ja) * | 1999-06-01 | 2000-12-12 | Mitsui High Tec Inc | 球状物の搬送装置および搬送方法 |
| CN104724481B (zh) * | 2013-12-20 | 2017-07-18 | 深圳富泰宏精密工业有限公司 | 筛选机构 |
| CN113510455B (zh) * | 2021-04-30 | 2022-06-24 | 西安秦泰汽车排放技术有限公司 | 一种用于自动排出球类零件的装置 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US1423536A (en) * | 1920-10-29 | 1922-07-25 | Moser Theodor | Appliance for throwing mortar for the plastering of walls and the like |
| US2120003A (en) * | 1937-07-21 | 1938-06-07 | Goodrich Co B F | Dusting apparatus |
| US2688423A (en) * | 1951-07-12 | 1954-09-07 | Nelson L Davis | Plug valve and gas agitating means for storage sumps |
| JPH07212084A (ja) * | 1994-01-24 | 1995-08-11 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 部品供給装置 |
| US5853108A (en) * | 1995-08-21 | 1998-12-29 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Parts feed apparatus and parts feed method |
-
1997
- 1997-08-20 JP JP9224116A patent/JPH1159899A/ja active Pending
-
1998
- 1998-07-07 US US09/110,660 patent/US6250852B1/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014175636A (ja) * | 2013-03-13 | 2014-09-22 | Shimadzu Corp | 基板搬送システム |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US6250852B1 (en) | 2001-06-26 |
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