JPH1158347A - Apparatus and method for punching - Google Patents

Apparatus and method for punching

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JPH1158347A
JPH1158347A JP21759097A JP21759097A JPH1158347A JP H1158347 A JPH1158347 A JP H1158347A JP 21759097 A JP21759097 A JP 21759097A JP 21759097 A JP21759097 A JP 21759097A JP H1158347 A JPH1158347 A JP H1158347A
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JP
Japan
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punch
die
green sheet
via holes
punching
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JP21759097A
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Japanese (ja)
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Hideaki Saito
秀昭 斎藤
Ikkan Murakami
一貫 村上
Akio Ishino
昭夫 石野
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Original Assignee
FDK Corp
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To enhance a forming efficiency of a via hole or productivity of a laminated chip component in the case of forming many via holes at a green sheet for constituting the component. SOLUTION: An upper mallet 3 is dropped to engage two punch parts 3a with respective die parts 2a of a mortar 2 in the state that a green sheet 1 is placed on a mortar 2. Thereafter, the mallet 3 is raised, and the parts 2a are drawn from a punched part 3a. Thus, two via holes 5 are simultaneously formed at the sheet 1. Then, the two holes are formed by one hit (one reciprocating operation of the mallet 3).

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、積層チップ部品を
構成するグリーンシートに多数個のビアホールを形成す
る際に適用するに好適なパンチング装置およびパンチン
グ方法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a punching apparatus and a punching method suitable for forming a large number of via holes in a green sheet constituting a laminated chip component.

【0002】[0002]

【従来の技術】図6は従来のパンチング装置の一例を示
す正面図である。
2. Description of the Related Art FIG. 6 is a front view showing an example of a conventional punching device.

【0003】複数枚のグリーンシートを積層した積層チ
ップ部品を製造する際には、グリーンシート同士の回路
接続に先立って各グリーンシートに多数個のビアホール
(直径0.1mm程度の丸孔)を形成するパンチング作業
を実施する。
When manufacturing a multilayer chip component in which a plurality of green sheets are stacked, a large number of via holes (circular holes having a diameter of about 0.1 mm) are formed in each green sheet prior to circuit connection between the green sheets. Carry out punching work.

【0004】従来このパンチング作業においては、図6
に示すように、グリーンシート1を臼2上に載置し、こ
の状態で、上杵3を下降させてそのパンチ部3aを臼2
のダイ部2aに嵌合させた後、上杵3を上昇させてその
パンチ部3aを臼2のダイ部2aから抜くことにより、
グリーンシート1を打ち抜いてビアホール5を形成して
いた。
Conventionally, in this punching operation, FIG.
As shown in the figure, the green sheet 1 is placed on the die 2, and in this state, the upper punch 3 is lowered to move the punch 3a to the die 2.
After the upper punch 3 is lifted up and the punch 3a is removed from the die 2a of the die 2,
The green sheet 1 was punched to form the via hole 5.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかし、これでは1ヒ
ット(上杵3の1回の往復動作)でビアホール5が1個
しかできず、ビアホール5の必要個数に応じたパンチン
グ作業が必要となることから、ビアホール5の形成効率
が悪く、積層チップ部品の生産性が劣るという不都合が
あった。
However, in this case, only one via hole 5 can be formed in one hit (one reciprocating operation of the upper punch 3), and a punching operation corresponding to the required number of via holes 5 is required. Therefore, there is a disadvantage that the formation efficiency of the via hole 5 is low and the productivity of the multilayer chip component is low.

【0006】なお、こうした不都合を解消すべく、上杵
3に複数のパンチ部3aを形成するとともに、臼2に同
数のダイ部2aを形成しておき、1ヒットで複数個のビ
アホール5を同時に形成できるようにすることも考えら
れるが、パンチ部3aとダイ部2aの組合せが増えれば
増えるほど、ダイ部2aに対するパンチ部3aの位置合
わせに手間がかかるばかりか、複数のパンチ部3aのう
ち1つでも破損した場合には上杵3全体を交換しなけれ
ばならず、部品の無駄が生じる点で実用性および経済性
に乏しいという欠点がある。
In order to eliminate such inconvenience, a plurality of punch portions 3a are formed in the upper punch 3, and a same number of die portions 2a are formed in the die 2, so that a plurality of via holes 5 can be simultaneously formed by one hit. Although it is conceivable that the punch 3a can be formed, as the number of combinations of the punch 3a and the die 2a increases, not only does the positioning of the punch 3a with respect to the die 2a take more trouble, but also the If any one of the upper punches 3 is damaged, the entire upper punch 3 must be replaced, and there is a disadvantage in that the parts are wasted and the practicality and economy are poor.

【0007】本発明は、上記事情に鑑み、実用性や経済
性を保持しつつ、ビアホールの形成効率ひいては積層チ
ップ部品の生産性を高めることが可能なパンチング装置
およびパンチング方法を提供することを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION In view of the above circumstances, an object of the present invention is to provide a punching apparatus and a punching method capable of improving the efficiency of forming a via hole and, consequently, the productivity of a laminated chip component while maintaining practicality and economy. And

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】すなわち、本発明のうち
パンチング装置の発明は、上杵(3)を臼(2)に対し
て昇降自在に設けたパンチング装置において、ホルダー
(3b)に形成された複数個のパンチ係合孔(3c)に
それぞれパンチ部(3a)が着脱自在に係合したものを
前記上杵として採用し、本体(2b)に複数のダイ部
(2a)がそれぞれ前記上杵の各パンチ部に対向する形
で形成されたものを前記臼として採用して構成される。
That is, the invention of the punching apparatus of the present invention is a punching apparatus in which an upper punch (3) is provided to be able to move up and down with respect to a die (2), and is formed on a holder (3b). The punches (3a) detachably engaged with the plurality of punch engagement holes (3c) are employed as the upper punches, and the plurality of die portions (2a) are respectively mounted on the main body (2b). A punch formed in such a manner as to face each punch portion of the punch is adopted as the mill.

【0009】また、上記上杵(3)のパンチ係合孔(3
c)およびパンチ部(3a)をテーパ状に形成して構成
される。
The punch engagement hole (3) of the upper punch (3)
c) and the punch portion (3a) are formed in a tapered shape.

【0010】一方、本発明のうちパンチング方法の発明
は、上記パンチング装置を用いてパンチングを行う際
に、臼(2)上にグリーンシート(1)を載置した状態
で、上杵(3)を下降させてそのパンチ部(3a)を前
記臼のダイ部(2a)に嵌合させた後、前記上杵を上昇
させてそのパンチ部を前記臼のダイ部から抜くことによ
り、前記グリーンシートに複数個のビアホール(5)を
同時に形成するようにして構成される。
On the other hand, according to the invention of the punching method of the present invention, when performing punching using the above-described punching apparatus, the upper punch (3) is placed with the green sheet (1) placed on the die (2). Is lowered to fit the punch portion (3a) into the die portion (2a) of the die, and then the upper punch is raised to pull out the punch portion from the die portion of the die, thereby obtaining the green sheet. And a plurality of via holes (5) are formed simultaneously.

【0011】また、上記パンチング装置を用いてパンチ
ングを行う際に、臼(2)上にグリーンシート(1)を
載置した状態で、上杵(3)を下降させてそのパンチ部
(3a)を前記臼のダイ部(2a)に嵌合させた後、前
記上杵を上昇させてそのパンチ部を前記臼のダイ部から
抜くことにより、前記グリーンシートに複数個の第1の
ビアホール(5A)を同時に形成し、次いで、前記上杵
のパンチ部のピッチ(P1、P2)の1/n(nは2以
上の自然数)に等しい距離だけ前記グリーンシートを前
記臼上で移動させ、この状態で、上杵(3)を下降させ
てそのパンチ部(3a)を前記臼のダイ部(2a)に嵌
合させた後、前記上杵を上昇させてそのパンチ部を前記
臼のダイ部から抜くことにより、前記グリーンシートに
複数個の第2のビアホール(5B)を同時に形成するよ
うにして構成される。
When performing punching using the punching apparatus, the upper punch (3) is lowered while the green sheet (1) is placed on the die (2), and the punch portion (3a) is lowered. Is fitted into the die portion (2a) of the mortar, the upper punch is raised, and the punch portion is removed from the die portion of the mortar, so that a plurality of first via holes (5A) are formed in the green sheet. ) Is simultaneously formed, and then the green sheet is moved on the die by a distance equal to 1 / n (n is a natural number of 2 or more) of the pitch (P1, P2) of the punch portion of the upper punch. Then, after lowering the upper punch (3) to fit the punch portion (3a) to the die portion (2a) of the die, the upper punch is raised to move the punch portion from the die portion of the die. By pulling out, a plurality of second vias are attached to the green sheet. Configured so as to simultaneously form holes (5B).

【0012】なお、括弧内の符号は図面において対応す
る要素を表す便宜的なものであり、従って、本発明は図
面上の記載に限定拘束されるものではない。このことは
「特許請求の範囲」の欄についても同様である。
It should be noted that reference numerals in parentheses are for convenience showing corresponding elements in the drawings, and therefore, the present invention is not limited to the description on the drawings. The same applies to the column of “Claims”.

【0013】[0013]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面に
基づいて説明する。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0014】図1は本発明に係るパンチング装置の第1
の実施形態を示す断面図、図2は図1に示すパンチング
装置を構成する臼の平面図、図3は図1に示すパンチン
グ装置によるビアホール形成方法を示す工程図であり、
(a)は基本パターンを示す図、(b)は1/2ピッチ
パターンを示す図、(c)は1/3ピッチパターンを示
す図、図4は本発明に係るパンチング装置の第2の実施
形態を構成する臼の平面図、図5は図4に示すパンチン
グ装置によるビアホール形成方法を示す工程図であり、
(a)は基本パターンを示す図、(b)は1/2ピッチ
パターンを示す図、(c)は1/3ピッチパターンを示
す図である。
FIG. 1 shows a first embodiment of a punching apparatus according to the present invention.
FIG. 2 is a plan view of a die constituting the punching device shown in FIG. 1, FIG. 3 is a process diagram showing a via hole forming method by the punching device shown in FIG.
(A) shows a basic pattern, (b) shows a 1/2 pitch pattern, (c) shows a 1/3 pitch pattern, and FIG. 4 shows a second embodiment of the punching apparatus according to the present invention. FIG. 5 is a process diagram showing a via hole forming method by the punching device shown in FIG. 4,
(A) is a diagram showing a basic pattern, (b) is a diagram showing a ピ ッ チ pitch pattern, and (c) is a diagram showing a 3 pitch pattern.

【0015】本発明に係るパンチング装置は、図1に示
すように、臼2と上杵3から構成されている。臼2は直
方体状の本体2bを有しており、本体2bには2つのダ
イ部2aが形成されている。さらに、各ダイ部2aの下
側には円錐状の開口部2cが形成されている。
The punching device according to the present invention comprises a die 2 and an upper punch 3, as shown in FIG. The mortar 2 has a rectangular parallelepiped main body 2b, and two dies 2a are formed on the main body 2b. Further, a conical opening 2c is formed below each die 2a.

【0016】一方、上杵3は直方体状のホルダー3bを
有しており、ホルダー3bには2個の円錐テーパ状のパ
ンチ係合孔3cが形成されている。各パンチ係合孔3c
にはそれぞれ、当該パンチ係合孔3cの形状に対応した
円錐テーパ状のパンチ部3aが着脱自在に係合してお
り、ホルダー3bの上側には、これらパンチ部3aが上
方に抜けないように押さえ付ける蓋3dが開閉自在に装
着されている。
On the other hand, the upper punch 3 has a rectangular parallelepiped holder 3b, and two conical tapered punch engagement holes 3c are formed in the holder 3b. Each punch engagement hole 3c
, A punch portion 3a having a conical taper shape corresponding to the shape of the punch engagement hole 3c is detachably engaged with the punch engagement hole 3c, and the punch portion 3a is provided above the holder 3b so that the punch portion 3a does not come off. A lid 3d for holding is openably and closably mounted.

【0017】なお、上杵3の各パンチ係合孔3cおよび
各パンチ部3aは、回転加工によって設計寸法どおり高
精度に仕上げ加工されている。
Each of the punch engagement holes 3c and each of the punch portions 3a of the upper punch 3 are finished with high precision according to design dimensions by rotating.

【0018】本発明に係るパンチング装置は以上のよう
な構成を有するので、このパンチング装置を用いてグリ
ーンシート1にビアホールを形成する際には、次の手順
に従ってパンチング作業を実施する。
Since the punching apparatus according to the present invention has the above configuration, when forming a via hole in the green sheet 1 using this punching apparatus, the punching operation is performed according to the following procedure.

【0019】まず、図1に示すように、臼2上にグリー
ンシート1を載置し、上杵3を下降させる。すると、上
杵3の2個のパンチ部3aがそれぞれ臼2のダイ部2a
に嵌合し、グリーンシート1が打ち抜かれて2個のビア
ホール5が同時に形成される。なお、このとき2個のパ
ンチ滓(図示せず)が発生するが、各パンチ滓はそれぞ
れ臼2の各開口部2cから吸引回収される。
First, as shown in FIG. 1, the green sheet 1 is placed on the die 2, and the upper punch 3 is lowered. Then, the two punch portions 3a of the upper punch 3 are respectively connected to the die portions 2a of the die 2.
And the green sheet 1 is punched out to form two via holes 5 at the same time. At this time, two punch residues (not shown) are generated, and each punch residue is sucked and collected from each opening 2 c of the die 2.

【0020】その後、上杵3を上昇させる。すると、上
杵3の2個のパンチ部3aが臼2のダイ部2aから上方
へ抜け、元の状態に戻る。
Thereafter, the upper punch 3 is raised. Then, the two punch portions 3a of the upper punch 3 pass upward from the die portion 2a of the die 2, and return to the original state.

【0021】次いで、グリーンシート1の別の箇所に次
のビアホール5を形成すべく、グリーンシート1を臼2
上で水平方向に移動させ、上杵3を下降させてパンチ部
3aでグリーンシート1を打ち抜いた後、上杵3を上昇
させて各パンチ部3aと各ダイ部2aとの係合状態を解
除する。すると、グリーンシート1にさらに2個のビア
ホール5が形成される。
Next, in order to form the next via hole 5 in another portion of the green sheet 1, the green sheet 1 is
Then, the upper punch 3 is moved downward, the upper punch 3 is lowered, and the green sheet 1 is punched by the punch 3a. Then, the upper punch 3 is raised to release the engagement state between each punch 3a and each die 2a. I do. Then, two more via holes 5 are formed in the green sheet 1.

【0022】以下これを繰り返して、所定の個数(例え
ば、120個)のビアホール5をグリーンシート1に形
成する。この際、1ヒットでビアホール5が2個できる
ので、一定の個数のビアホール5を形成するのに要する
時間は、1ヒットでビアホール5が1個しかできない従
来法と比べて半分で済み、ビアホール5の形成効率が大
幅に向上する。
The above operation is repeated to form a predetermined number (for example, 120) of via holes 5 in the green sheet 1. At this time, since two via holes 5 can be formed with one hit, the time required to form a fixed number of via holes 5 is half that of the conventional method in which only one via hole 5 can be formed with one hit. The formation efficiency is greatly improved.

【0023】こうしてグリーンシート1に所定の個数の
ビアホール5が形成されたところで、パンチング作業が
終了する。
When a predetermined number of via holes 5 are formed in the green sheet 1, the punching operation is completed.

【0024】なお、こうしたパンチング作業において
は、1ヒットで同時に形成される2個のビアホール5A
の間隔は、図3(a)に示すように、2個のパンチ部3
aのピッチP1に一致するが、ビアホール5の間隔をこ
れより小さくしようとする場合には、パンチング方法を
工夫することによってパンチ部3aのピッチP1の1/
n(nは2以上の自然数)に等しい間隔でビアホール5
を形成することができる。
In such a punching operation, two via holes 5A simultaneously formed in one hit are formed.
The interval between the two punch portions 3 as shown in FIG.
a, but if the interval between the via holes 5 is to be made smaller than this, by devising a punching method, the pitch P1 of the punch portion 3a can be reduced to 1/1 of the pitch P1.
n (where n is a natural number of 2 or more)
Can be formed.

【0025】例えば、ビアホール5の間隔をパンチ部3
aのピッチP1の1/2にする場合には、図3(a)に
示すように、上述した手順で2個のビアホール5Aを形
成した後、図3(b)に示すように、グリーンシート1
をパンチ部3aのピッチP1の1/2だけ移動させ、同
じ手順で2個のビアホール5Bを形成すればよい。ま
た、ビアホール5の間隔をパンチ部3aのピッチP1の
1/3にする場合には、図3(a)に示すように、上述
した手順で2個のビアホール5Aを形成した後、図3
(c)に示すように、グリーンシート1をパンチ部3a
のピッチP1の1/3だけ移動させ、同じ手順で2個の
ビアホール5Bを形成し、さらにグリーンシート1をパ
ンチ部3aのピッチP1の1/3だけ移動させ、同じ手
順で2個のビアホール5Cを形成すればよい。
For example, the interval between the via holes 5 is
In the case where the pitch P is set to 1/2 of the pitch P1a, two via holes 5A are formed by the above-described procedure as shown in FIG. 3A, and then the green sheet is formed as shown in FIG. 3B. 1
Is moved by 1 / of the pitch P1 of the punch portion 3a, and two via holes 5B may be formed in the same procedure. When the interval between the via holes 5 is set to 1/3 of the pitch P1 of the punch portion 3a, as shown in FIG. 3A, after two via holes 5A are formed by the above-described procedure, as shown in FIG.
As shown in (c), the green sheet 1 is inserted into the punch 3a.
, And two via holes 5B are formed in the same procedure. Further, the green sheet 1 is moved by 1 / of the pitch P1 of the punch 3a, and two via holes 5C are formed in the same procedure. May be formed.

【0026】ところで、上杵3のパンチ部3aはその先
端が直径0.1mm程度と細く、パンチング作業中に折れ
て破損することがあるが、この場合には、上杵3の蓋3
dを開け、その破損したパンチ部3aを取り除いた後、
新しいパンチ部3aを装着し、蓋3dを閉めればよい。
この際、上杵3のパンチ係合孔3cとパンチ部3aは、
上述したとおり、円錐テーパ状に精度よく加工されてい
るので、パンチ係合孔3cに新しいパンチ部3aを落と
し込むだけでダイ部2aに対する位置合わせが完了し、
位置合わせに手間がかからない。また、上杵3の2個の
パンチ部3aのうち破損したパンチ部3aのみを交換す
ればよく、破損していないパンチ部3aはそのまま継続
して使用できるので、部品の無駄を省くことが可能とな
る。
The tip of the punch 3a of the upper punch 3 is so thin as to have a diameter of about 0.1 mm, and may be broken and damaged during punching work.
d, and after removing the damaged punch portion 3a,
What is necessary is just to mount the new punch part 3a and close the lid 3d.
At this time, the punch engagement hole 3c of the upper punch 3 and the punch portion 3a are
As described above, since it is precisely processed into a conical taper shape, the positioning with respect to the die portion 2a is completed only by dropping a new punch portion 3a into the punch engagement hole 3c,
There is no hassle in positioning. Further, only the damaged punch portion 3a of the two punch portions 3a of the upper punch 3 needs to be replaced, and the undamaged punch portion 3a can be used as it is, so that waste of parts can be reduced. Becomes

【0027】なお、上述の実施形態においては、2つの
ダイ部2aが形成された臼2と2個のパンチ部3aが設
けられた上杵3からなるパンチング装置について説明し
たが、臼2に形成するダイ部2aの数(上杵3に設ける
パンチ部3aの数に等しい)をさらに増やせば、ビアホ
ール5の形成効率を一層向上させることが可能となる。
In the above-described embodiment, the punching device including the die 2 having the two die portions 2a and the upper punch 3 having the two punch portions 3a has been described. If the number of die portions 2a to be formed (equal to the number of punch portions 3a provided on the upper punch 3) is further increased, the formation efficiency of the via hole 5 can be further improved.

【0028】例えば、図4に示すように、ダイ部2aお
よびパンチ部3aの数を4つにした場合には、1ヒット
で4個のビアホール5が形成されるので、ビアホール5
を形成するのに要する時間は従来法の1/4に短縮され
る。
For example, as shown in FIG. 4, when the number of die portions 2a and punch portions 3a is four, four via holes 5 are formed in one hit.
The time required to form is reduced to 1/4 of the conventional method.

【0029】この場合も、1ヒットで同時に形成される
4個のビアホール5Aの間隔は、図5(a)に示すよう
に、4個のパンチ部3aのピッチP1、P2に一致する
が、ビアホール5の間隔をこれより小さくしようとする
場合には、パンチング方法を工夫することによってパン
チ部3aのピッチP1、P2の1/n(nは2以上の自
然数)に等しい間隔でビアホール5を形成することがで
きる。
In this case, the interval between the four via holes 5A simultaneously formed in one hit coincides with the pitches P1 and P2 of the four punch portions 3a as shown in FIG. In order to make the interval 5 smaller than this, the punching method is devised to form the via holes 5 at intervals equal to 1 / n (n is a natural number of 2 or more) of the pitches P1 and P2 of the punch portion 3a. be able to.

【0030】例えば、ビアホール5の間隔をパンチ部3
aのピッチP1、P2の1/2にする場合には、次のよ
うにすればよい。まず、図5(a)に示すように、上述
した手順で4個のビアホール5Aを形成した後、図5
(b)に示すように、グリーンシート1を図5左向きに
パンチ部3aのピッチP1の1/2だけ移動させ、同じ
手順で4個のビアホール5Bを形成する。次いで、グリ
ーンシート1を図5右向きにパンチ部3aのピッチP1
の1/2、図5上向きにパンチ部3aのピッチP2の1
/2だけ移動させ、同じ手順で4個のビアホール5Cを
形成し、さらにグリーンシート1を図5左向きにパンチ
部3aのピッチP1の1/2だけ移動させ、同じ手順で
4個のビアホール5Dを形成する。
For example, the interval between the via holes 5 is
In the case of setting the pitch a to 1/2 of the pitches P1 and P2, the following may be performed. First, as shown in FIG. 5A, after four via holes 5A are formed by the above-described procedure, FIG.
As shown in (b), the green sheet 1 is moved to the left in FIG. 5 by 1 / of the pitch P1 of the punch portion 3a, and four via holes 5B are formed in the same procedure. Next, the green sheet 1 is moved rightward in FIG.
1/2 of FIG. 5 and 1 of the pitch P2 of the punch portion 3a facing upward.
/ 2, and four via holes 5C are formed in the same procedure. Further, the green sheet 1 is moved to the left in FIG. 5 by half the pitch P1 of the punch portion 3a, and four via holes 5D are formed in the same procedure. Form.

【0031】また、ビアホール5の間隔をパンチ部3a
のピッチP1、P2の1/3にする場合には、次のよう
にすればよい。まず、図5(a)に示すように、上述し
た手順で4個のビアホール5Aを形成した後、図5
(c)に示すように、グリーンシート1を図5左向きに
パンチ部3aのピッチP1の1/3だけ移動させて4個
のビアホール5Bを形成する。次いで、グリーンシート
1を図5左向きにパンチ部3aのピッチP1の1/3だ
け移動させて4個のビアホール5Cを形成した後、グリ
ーンシート1を図5右向きにパンチ部3aのピッチP1
の2/3、図5上向きにパンチ部3aのピッチP2の1
/3だけ移動させて4個のビアホール5Dを形成する。
次に、グリーンシート1を図5左向きにパンチ部3aの
ピッチP1の1/3だけ移動させて4個のビアホール5
Eを形成した後、グリーンシート1を図5左向きにパン
チ部3aのピッチP1の1/3だけ移動させて4個のビ
アホール5Fを形成する。さらに、グリーンシート1を
図5右向きにパンチ部3aのピッチP1の2/3、図5
上向きにパンチ部3aのピッチP2の1/3だけ移動さ
せて4個のビアホール5Gを形成した後、グリーンシー
ト1を図5左向きにパンチ部3aのピッチP1の1/3
だけ移動させて4個のビアホール5Hを形成する。最後
に、グリーンシート1を図5左向きにパンチ部3aのピ
ッチP1の1/3だけ移動させて4個のビアホール5I
を形成する。
Further, the interval between the via holes 5 is adjusted by the punch 3a.
In the case where the pitches are set to 1/3 of the pitches P1 and P2, the following may be performed. First, as shown in FIG. 5A, after four via holes 5A are formed by the above-described procedure, FIG.
As shown in (c), the green sheet 1 is moved to the left in FIG. 5 by 1/3 of the pitch P1 of the punch 3a to form four via holes 5B. Next, the green sheet 1 is moved leftward in FIG. 5 by 1/3 of the pitch P1 of the punch portion 3a to form four via holes 5C, and then the green sheet 1 is moved rightward in FIG.
、 Of FIG. 5, and the pitch P2 of the punch portion 3a in FIG.
By moving by / 3, four via holes 5D are formed.
Next, the green sheet 1 is moved to the left in FIG. 5 by 1/3 of the pitch P1 of the punch portion 3a, and the four via holes 5 are formed.
After forming E, the green sheet 1 is moved leftward in FIG. 5 by 1/3 of the pitch P1 of the punch portion 3a to form four via holes 5F. Further, the green sheet 1 is turned rightward in FIG. 5 to 2/3 of the pitch P1 of the punch portion 3a,
After moving upward one-third of the pitch P2 of the punch 3a to form four via holes 5G, the green sheet 1 is moved leftward in FIG. 5 to one-third of the pitch P1 of the punch 3a.
To form four via holes 5H. Finally, the green sheet 1 is moved to the left in FIG.
To form

【0032】また、上述の実施形態においては、上杵3
のパンチ係合孔3cとパンチ部3aが円錐テーパ状であ
る場合について説明したが、これらパンチ係合孔3c、
パンチ部3aの形状は円錐テーパ状に限られず、それ以
外のテーパ状(例えば、三角錐テーパ状や四角錐テーパ
状)を採用してもよい。
In the above embodiment, the upper punch 3
The case where the punch engagement hole 3c and the punch portion 3a are of a conical taper shape has been described.
The shape of the punch portion 3a is not limited to the conical taper shape, but may adopt another taper shape (for example, a triangular pyramid taper or a quadrangular pyramid taper).

【0033】[0033]

【発明の効果】以上説明したように、本発明のうちパン
チング装置の発明によれば、上杵3を臼2に対して昇降
自在に設けたパンチング装置において、ホルダー3bに
形成された複数個のパンチ係合孔3cにそれぞれパンチ
部3aが着脱自在に係合したものを前記上杵3として採
用し、本体2bに複数のダイ部2aがそれぞれ前記上杵
3の各パンチ部3aに対向する形で形成されたものを前
記臼2として採用して構成したので、1ヒットで複数個
のビアホール5を形成できることから、ビアホール5の
形成効率ひいては積層チップ部品の生産性を高めること
が可能となる。しかも、複数のパンチ部3aのうち1つ
が破損した場合、その破損したパンチ部3aのみを交換
すればよいので、部品の無駄を省くことができる点で経
済性に優れる。
As described above, according to the invention of the punching device of the present invention, in the punching device in which the upper punch 3 is provided so as to be able to move up and down with respect to the die 2, a plurality of punches are formed on the holder 3b. The upper punch 3 is formed by detachably engaging a punch portion 3a with a punch engaging hole 3c, and a plurality of die portions 2a are respectively opposed to the punch portions 3a of the upper punch 3 on the main body 2b. Since the die formed as described above is adopted as the die 2, a plurality of via holes 5 can be formed in one hit, so that the formation efficiency of the via holes 5 and the productivity of the laminated chip component can be improved. In addition, when one of the plurality of punch portions 3a is damaged, only the damaged punch portion 3a needs to be replaced, so that it is economical in that parts can be wasted.

【0034】また、上記上杵3のパンチ係合孔3cおよ
びパンチ部3aをテーパ状に形成して構成したので、上
述した効果に加えて、パンチ部3aとダイ部2aの組合
せが多くても、ダイ部2aに対するパンチ部3aの位置
合わせに要する手間を省くことができ、実用性に優れ
る。
Further, since the punch engagement hole 3c and the punch portion 3a of the upper punch 3 are formed in a tapered shape, in addition to the above-described effects, even if the combination of the punch portion 3a and the die portion 2a is large, In addition, the labor required for positioning the punch portion 3a with respect to the die portion 2a can be omitted, and the practicability is excellent.

【0035】一方、本発明のうちパンチング方法の発明
によれば、上記パンチング装置を用いてパンチングを行
う際に、臼2上にグリーンシート1を載置した状態で、
上杵3を下降させてそのパンチ部3aを前記臼2のダイ
部2aに嵌合させた後、前記上杵3を上昇させてそのパ
ンチ部3aを前記臼2のダイ部2aから抜くことによ
り、前記グリーンシート1に複数個のビアホール5を同
時に形成するようにして構成したので、1ヒットで複数
個のビアホール5が形成されることから、ビアホール5
の形成効率ひいては積層チップ部品の生産性が向上す
る。
On the other hand, according to the invention of the punching method of the present invention, when performing the punching using the above-described punching apparatus, the green sheet 1 is placed on the die 2 while
After lowering the upper punch 3 to fit the punch 3a into the die 2a of the die 2, the upper punch 3 is raised and the punch 3a is pulled out of the die 2a of the die 2. Since the plurality of via holes 5 are simultaneously formed in the green sheet 1, the plurality of via holes 5 are formed in one hit.
And the productivity of laminated chip components is improved.

【0036】また、上記パンチング装置を用いてパンチ
ングを行う際に、臼2上にグリーンシート1を載置した
状態で、上杵3を下降させてそのパンチ部3aを前記臼
2のダイ部2aに嵌合させた後、前記上杵3を上昇させ
てそのパンチ部3aを前記臼2のダイ部2aから抜くこ
とにより、前記グリーンシート1に複数個の第1のビア
ホール5Aを同時に形成し、次いで、前記上杵3のパン
チ部3aのピッチP1、P2の1/n(nは2以上の自
然数)に等しい距離だけ前記グリーンシート1を前記臼
2上で移動させ、この状態で、上杵3を下降させてその
パンチ部3aを前記臼2のダイ部2aに嵌合させた後、
前記上杵3を上昇させてそのパンチ部3aを前記臼2の
ダイ部2aから抜くことにより、前記グリーンシート1
に複数個の第2のビアホール5Bを同時に形成するよう
にして構成したので、1ヒットで複数個のビアホール5
が形成されるとともに、ビアホール5の間隔が細分化さ
れることから、ビアホール5の形成効率ひいては積層チ
ップ部品の生産性が一層向上する。
When performing punching using the above-mentioned punching device, the upper punch 3 is lowered while the green sheet 1 is placed on the die 2, and the punch 3a is moved to the die 2a of the die 2. Then, the upper punch 3 is raised and the punch portion 3a is removed from the die portion 2a of the die 2, whereby a plurality of first via holes 5A are simultaneously formed in the green sheet 1, Next, the green sheet 1 is moved on the die 2 by a distance equal to 1 / n (n is a natural number of 2 or more) of the pitches P1, P2 of the punch portions 3a of the upper punch 3, and in this state, the upper punch 3, the punch 3a is fitted to the die 2a of the die 2,
By raising the upper punch 3 and pulling out the punch 3a from the die 2a of the die 2, the green sheet 1 is removed.
Is formed so that a plurality of second via holes 5B are simultaneously formed.
Is formed and the interval between the via holes 5 is subdivided, so that the efficiency of forming the via holes 5 and the productivity of the laminated chip component are further improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係るパンチング装置の第1の実施形態
を示す断面図である。
FIG. 1 is a cross-sectional view showing a first embodiment of a punching device according to the present invention.

【図2】図1に示すパンチング装置を構成する臼の平面
図である。
FIG. 2 is a plan view of a mill constituting the punching device shown in FIG.

【図3】図1に示すパンチング装置によるビアホール形
成方法を示す工程図であり、(a)は基本パターンを示
す図、(b)は1/2ピッチパターンを示す図、(c)
は1/3ピッチパターンを示す図である。
3A to 3C are process diagrams showing a via hole forming method using the punching apparatus shown in FIG. 1, wherein FIG. 3A shows a basic pattern, FIG. 3B shows a 1/2 pitch pattern, and FIG.
FIG. 3 is a diagram showing a ピ ッ チ pitch pattern.

【図4】本発明に係るパンチング装置の第2の実施形態
を構成する臼の平面図である。
FIG. 4 is a plan view of a mill that constitutes a second embodiment of the punching device according to the present invention.

【図5】図4に示すパンチング装置によるビアホール形
成方法を示す工程図であり、(a)は基本パターンを示
す図、(b)は1/2ピッチパターンを示す図、(c)
は1/3ピッチパターンを示す図である。
5A to 5C are process diagrams showing a via hole forming method using the punching apparatus shown in FIG. 4, wherein FIG. 5A shows a basic pattern, FIG. 5B shows a 1/2 pitch pattern, and FIG.
FIG. 3 is a diagram showing a ピ ッ チ pitch pattern.

【図6】従来のパンチング装置の一例を示す正面図であ
る。
FIG. 6 is a front view showing an example of a conventional punching device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1……グリーンシート 2……臼 2a……ダイ部 2b……本体 3……上杵 3a……パンチ部 3b……ホルダー 3c……パンチ係合孔 5……ビアホール P1、P2……パンチ部のピッチ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Green sheet 2 ... Die 2a ... Die part 2b ... Main body 3 ... Upper punch 3a ... Punch part 3b ... Holder 3c ... Punch engagement hole 5 ... Via holes P1, P2 ... Punch part Pitch

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 上杵(3)を臼(2)に対して昇降自在
に設けたパンチング装置において、 ホルダー(3b)に形成された複数個のパンチ係合孔
(3c)にそれぞれパンチ部(3a)が着脱自在に係合
したものを前記上杵として採用し、 本体(2b)に複数のダイ部(2a)がそれぞれ前記上
杵の各パンチ部に対向する形で形成されたものを前記臼
として採用したことを特徴とするパンチング装置。
A punching device provided with an upper punch (3) capable of ascending and descending with respect to a die (2), wherein a plurality of punch engaging holes (3c) formed in a holder (3b) have punch portions (3c). 3a) is detachably engaged as the upper punch, and a main body (2b) in which a plurality of die portions (2a) are formed so as to face each punch portion of the upper punch, respectively. A punching device characterized by being used as a mortar.
【請求項2】 上杵(3)のパンチ係合孔(3c)およ
びパンチ部(3a)をテーパ状に形成したことを特徴と
する請求項1に記載のパンチング装置。
2. The punching device according to claim 1, wherein the punch engagement hole (3c) and the punch portion (3a) of the upper punch (3) are formed in a tapered shape.
【請求項3】 請求項1または請求項2に記載のパンチ
ング装置を用いてパンチングを行う際に、 臼(2)上にグリーンシート(1)を載置した状態で、
上杵(3)を下降させてそのパンチ部(3a)を前記臼
のダイ部(2a)に嵌合させた後、前記上杵を上昇させ
てそのパンチ部を前記臼のダイ部から抜くことにより、
前記グリーンシートに複数個のビアホール(5)を同時
に形成するようにして構成したパンチング方法。
3. When performing punching using the punching apparatus according to claim 1 or 2, the green sheet (1) is placed on a mortar (2).
After lowering the upper punch (3) to fit the punch portion (3a) to the die portion (2a) of the die, raising the upper punch and removing the punch portion from the die portion of the die. By
A punching method wherein a plurality of via holes (5) are simultaneously formed in the green sheet.
【請求項4】 請求項1または請求項2に記載のパンチ
ング装置を用いてパンチングを行う際に、 臼(2)上にグリーンシート(1)を載置した状態で、
上杵(3)を下降させてそのパンチ部(3a)を前記臼
のダイ部(2a)に嵌合させた後、前記上杵を上昇させ
てそのパンチ部を前記臼のダイ部から抜くことにより、
前記グリーンシートに複数個の第1のビアホール(5
A)を同時に形成し、 次いで、前記上杵のパンチ部のピッチ(P1、P2)の
1/n(nは2以上の自然数)に等しい距離だけ前記グ
リーンシートを前記臼上で移動させ、 この状態で、上杵(3)を下降させてそのパンチ部(3
a)を前記臼のダイ部(2a)に嵌合させた後、前記上
杵を上昇させてそのパンチ部を前記臼のダイ部から抜く
ことにより、前記グリーンシートに複数個の第2のビア
ホール(5B)を同時に形成するようにして構成したパ
ンチング方法。
4. When performing punching using the punching device according to claim 1 or 2, the green sheet (1) is placed on a mortar (2).
After lowering the upper punch (3) to fit the punch portion (3a) to the die portion (2a) of the die, raising the upper punch and removing the punch portion from the die portion of the die. By
A plurality of first via holes (5
A) is simultaneously formed, and then the green sheet is moved on the die by a distance equal to 1 / n (n is a natural number of 2 or more) of the pitch (P1, P2) of the punch portion of the upper punch. In this state, the upper punch (3) is lowered, and the punch (3)
a) is fitted to the die part (2a) of the die, and then the upper punch is raised to remove the punch part from the die part of the die, thereby forming a plurality of second via holes in the green sheet. A punching method configured to simultaneously form (5B).
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006335027A (en) * 2005-06-06 2006-12-14 Sanyo Electric Co Ltd Sheet processing device and production method of sheet processing device

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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