JPH11512182A - 層状の対象物の構造解析および／または位置検出を行う方法および装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 本発明は、超音波送波器および超音波受波器と対象物に対する支持面とを用いて、超音波により対象物の表面または表面近くの構造解析および／または位置検出を行う装置に関する。本発明の課題は、対象物の表面または表面に近い領域の構造解析および／または位置解析を行う方法および装置を提供し、所望の波特性を得られる、フラットかつコンパクトで小さな構成を達成することである。本発明の方法により、対象物により反射された波および／または散乱された波を固体素子に沿って導波し、かつ解析のための変換器へ導波する。この方法を実施するために適した装置では、支持面として１次元の波または２次元の波の導波に適したプレートが使用され、固体素子の側方に超音波送波器および受波器が配属されている。

Description

【発明の詳細な説明】 層状の対象物の構造解析および／または位置検出を行う方法および装置 本発明は、層状の対象物の構造解析および／または位置検出を超音波により１ つまたは複数の超音波送波器および超音波受波器と対象物に対する支持面とを用 いて行う装置に関する。 層状の対象物の構造を超音波を用いて解析する装置はすでに公知であり、例え ばヨーロッパ特許出願第０２６２１８６号明細書に示されている。この公知の装 置は、反射トモグラフィーの原理に基づいている。前記ヨーロッパ特許出願明細 書によれば指紋に適用されているこの原理は、講演“Ultrasonic setup for fin gerprint pattern detection and evaluation”，Konferenz der Accustical Im aging，1995，Florenzにおいて説明されており、関連の報告書として出版されて いる。公知の実施例においては、支持プレート上に配置される対象物は、密封さ れて流体で充たされたケーシング内に対向して配設される送波器により放射され る。複数の送波器および複数の受波器が支持プレートに対向するケーシング壁上 に配設されるか、または送波器および受波器が１つの支持体上に配置されて所定 の軌道を可動である。この手段により指先または 他のどの対象物も支持プレートのいずれの位置でも検出される。対象物により反 射および後方散乱される波は受波器の１つにより受波される。この受波器は後方 散乱および反射の強度および／または位相に関する情報を、場合により増幅器、 時間制御部、場合により検出器を介して解析および記録のためのコンピュータに 送出する。 この場合に指または他の対象物に放射される超音波は１つまたは複数の送波器 から放射されるバルク波であり、後方散乱および反射される音波も同様である。 これらの音波は２ＭＨｚ以上の領域で振動する。 公知の形式の装置は製造の点できわめて複雑であることがわかっている。これ は特にケーシングが流体で充たされているためである。このためケーシングは完 全に密封されなければならず、変換器を流体中に配置する構成にも問題がある。 さらにこの装置は、流体で充たされたケーシングを有しかつバルク波を使用する ため、比較的大規模なものになる。なぜなら装置の所定のサイズを下回ってはな らないからである。また、支持面は大きなサイズを有することができず、それに より大きな面積を有する対象物の解析、例えば人間の手の解析は不可能である。 さらに別の装置も公知である。この装置は対象物の位置、例えば指の位置を面 上例えば表示装置上で検出することができる（ヨーロッパ特許出願第０５５７４ ４６号明細書およびヨーロッパ特許出願第０５２３２００号明細書）。しかしこ の装置は、対象物の構造例えば指の構造を解析するようには構成されていない。 なぜならこの装置はきわめて小さい分解能しか有さず、またそのような課題も設 定されていないからである。 本発明の課題は、対象物の表面または表面に近い領域の構造解析および／また は位置解析を行う方法および装置を提供し、所望の波特性を得られる、フラット かつ場合によりコンパクトで小さな構成を達成することである。この装置は構成 の点で技術コストが僅かで良好な解析結果を送出しなければならない。 本発明による方法ではプレートが使用され、このプレートは検査すべき層で反 射および／または後方散乱された波をその境界部に沿って導波し、波は側方およ び／または下部に設けられた解析のための変換器に導波される。 驚くべきことに実験に基づいて、この手段によって導波される超音波も、一義 的で再現可能な対象物の構造解析および／または位置解析を可能にすることがわ かった。送波器または受波器はプレートの下部に設けられてもよい。プレートの 材料としてガラス、金属または減衰の小さなクリスタルが使用される。変換器が プレート側方に設けられ、この変換器は同時に送波器および受波器であってよい ことも自明である。なぜな ら超音波が支持プレートの側方で発生されおよび／または受波され、プレート表 面に沿って導波される場合に、再現可能な強い反射および／または散乱がプレー トに存在する層の構造にて生じるからである。特に効率的なのは、水平に偏波さ れたすべり波（ＳＨ波）が使用される場合である。 少なくともプレートの表面は、波を２次元で導波する境界部を形成する。ここ では導波された波または通常の波が送波されるか否かはあまり重要ではないが、 対象物により反射された波および／または後方散乱された波はプレートの１つま たは複数の境界部を介して２次元で導波される。 プレートには１つまたは複数のチャネルを設けることができ、このチャネルに より１次元の波が得られ、チャネルの端部にて受波器に導波される。これらのチ ャネルはプレートの構造の変化例えば厚さの変化により形成可能である。またチ ャネルは、２つの異なる相互に接する材料を使用することにより形成され、光学 的導波体での場合と同様に、導体線路のコアおよびコアのカバーは種々異なる材 料から形成される。 プレートの厚さは１／３ｍｍ〜３ｍｍであり、波長に依存する。すなわち有利 なプレート厚さのサイズは、放射される超音波の波長の５倍〜１０倍の領域にあ る。プレート内にチャネルが設けられる場合には、チャネルの直径は同様に、使 用される超音波の波長の５ 倍〜１０倍に維持される。１次元の導波はさらに、信号が連続して到来し連続し て検出可能である利点を有する。また比較的厚いプレートを使用してもよい。 本発明による装置は公知の装置に対して、フラットな構造でも再現可能で正確 な解析データを得られる利点を有する。さらにこの構成はきわめて単純化されて いる。なぜなら流体で充たされたケーシングを省略できるからである。超音波の 伝播はプレート形の固体素子の内部で保証され、そのため付加的な手段は不要で ある。これにより小さな装置、例えば１つのキーの大きさを有するような装置も 構成可能である。さらに比較的大きなサイズを有して対象物の構造および位置を 解析できる装置も製造することができ、これは例えばコンピュータの制御のため に有利である。これは公知の接触フィールド（タッチパネル）での場合と同様に 、比較的大きな対象物例えば手全体の検出も可能である。 本発明の他の個々の実施の形態は添付の図面に則して説明される。 図１は装置を側方から見た概略図である。図２は図１に示される実施例を上か ら見た図である。図３は１次元の導波体から形成されるプレートの構成を示す図 である。図４はプレートのチャネル特性を示す図である。図５はプレートの２つ の螺旋状のチャネルの構成を示す図である。 図１に図示の実施例では円形のプレート１が示され、このプレートは縁に配設 される変換器３とプレートの下部に配設される変換器２とを有する。図２に上か ら見た図で示される実施例では、変換器４、５がプレートの周囲を円状にとりま いて配設されていることがわかる。これらの変換器は送波器としても受波器とし ても使用される。付加的な下部の変換器２は図２には示されていない。 図１および図２に概略的に示されている装置では超音波領域のすべり波が使用 される。このすべり波はプレート（固体素子）内で１つまたは２つの境界部に沿 って伝播する。 導波される波すなわち全ての次元で拡散するような波も存在する。図１および 図２の実施例のプレートにおいては２次元の波が発生され、一方図３および図４ のように、任意に形成されるチャネルを有するプレートは１次元で拡散する波を 有する。 バルク波を使用する公知の装置と同様に、電気信号が受波変換器から、増幅器 および場合により検出器を介してディジタルアナログ変換器を用いてコンピュー タに供給される。このコンピュータは電気信号からの、解析された層の性質およ び／または位置に関する情報を送出する。 ２次元の波を使用する際に用いられる解析方法は、 において使用される例えばラドン変換に相応する。チャネルを有する変形例はさ らに単純な構成を可能にする。なぜならチャネルの特性に相応する１つまたは複 数の信号の合成しか必要でないからである。 この特性はもちろん、検査すべき層の画像再生が所望される場合にのみ必要な ものである。他の目的が追求される場合には、信号処理の他の方法が使用される 。例えば簡単な信号比較や別の変換手段などが使用される。 本発明による装置のフラットな構成によりさらに簡単に、プレートに配置され る対象物の層構造の検出およびそれに関連する位置の検出が可能になる。なぜな らこのプレートは１次元の導波も可能だからである。１次元の導波による解析の 利点は、走査線的な走査が可能なことである。 １次元の波を発生させるために、プレートは図３に示されるように、相互に並 んで延在する平行なチャネル６から成る。このチャネルの側方の壁は隣接するチ ャネルと接続されている。チャネル６はその端部に複数の変換器を有し、これら の変換器は連続して送波されかつ受波される超音波を電気信号に変換する。 図４においてはチャネル８が示されており、このチャネルはプレート９の面全 体をカバーし、放射される対象物の情報を変換器１０にさらに供給する。 図５においては並列する２つのチャネル１１、１２ が示されており、これらのチャネルは方形の螺旋状に巻回されており、後方散乱 する超音波を受波して変換器１３、１４に導波する。これらの変換器は送出され た信号をコンピュータに供給する。 図示されたチャネルの特性形状は単なる例にすぎず、後方散乱する波を１つの モードで変換器に供給する特性形状であればどのような形状でも適している。

【手続補正書】特許法第１８４条の８第１項 【提出日】１９９７年１０月２４日 【補正内容】 明細書 層状の対象物の構造解析および／または位置検出を行う方法および装置 本発明は、層状の対象物の構造解析および／または位置検出を超音波により１ つまたは複数の超音波送波器および超音波受波器と対象物に対する支持面とを用 いて行う方法に関する。 層状の対象物の構造を超音波を用いて解析する装置はすでに公知であり、例え ばヨーロッパ特許出願第０２６２１８６号明細書に示されている。この公知の装 置は、反射トモグラフィーの原理に基づいている。前記ヨーロッパ特許出願明細 書によれば指紋に適用されているこの原理は、講演“Ultrasonic setup for fin gerprint pattern detection and evaluation”，Konferenz der Accustical Im aging，1995，Florenzにおいて説明されており、関連の報告書として出版されて いる。公知の実施例においては、支持プレート上に配置される対象物は、密封さ れて流体で充たされたケーシング内に対向して配設される送波器により放射され る。複数の送波器および複数の受波器が支持プレートに対向するケーシング壁上 に配設されるか、または送波器および受波器が１つの支持体上に配置されて所定 の軌道を可動である。この手段により指先または 他のどの対象物も支持プレートのいずれの位置でも検出される。対象物により反 射および後方散乱される波は受波器の１つにより受波される。この受波器は後方 散乱および反射の強度および／または位相に関する情報を、場合により増幅器、 時間制御部、場合により検出器を介して解析および記録のためのコンピュータに 送出する。 この場合に指または他の対象物に放射される超音波は１つまたは複数の送波器 から放射されるバルク波であり、後方散乱および反射される音波も同様である。 これらの音波は２ＭＨｚ以上の領域で振動する。 公知の形式の装置は製造の点できわめて複雑であることがわかっている。これ は特にケーシングが流体で充たされているためである。このためケーシングは完 全に密封されなければならず、変換器を流体中に配置する構成にも問題がある。 さらにこの装置は、流体で充たされたケーシングを有しかつバルク波を使用する ため、比較的大規模なものになる。なぜなら装置の所定のサイズを下回ってはな らないからである。また、支持面は大きなサイズを有することができず、それに より大きな面積を有する対象物の解析、例えば人間の手の解析は不可能である。 さらに純粋な位置検出の装置が公知である。この種の接触センサは刊行物、日 本国特許第２１９５２８９号公報に記載されている。このセンサは導波体として 使用される管体から成り、この管体の閉鎖されない端部に、送波器または受波器 として使用される超音波変換器が設けられており、この超音波変換器に伝送回路 、時間測定回路、距離計算器が接続されている。導波体への機械的な圧力に依存 して超音波の反射が求められ、これにより圧力点が算出される。構造解析を前記 明細書のこの装置によって実施することはできない。 さらに別の装置も公知である。この装置は対象物の位置、例えば指の位置を面 上例えば表示装置上で検出することができる（ヨーロッパ特許出願第０５５７４ ４６号明細書およびヨーロッパ特許出願第０５２３２００号明細書）。しかしこ の装置は、対象物の構造例えば指の構造を解析するようには構成されていない。 なぜならこの装置はきわめて小さい分解能しか有さず、またそのような課題も設 定されていないからである。この装置は対象物を介して生じる超音波の減衰のみ を使用するので、機能的にも別の装置である。これにより原理的に構造を読みと ることができない。 本発明の課題は、対象物の表面または表面に近い領域の構造解析および／また は位置解析を行う方法および装置を提供し、所望の波特性を得られる、フラット かつコンパクトで小さな構成を達成することである。この装置は構成の点で、充 分な解析結果を得る際の技術コストが僅かで済むものでなければならない。 この課題は本発明により請求項１および２に記載の の特徴部分により解決される。 驚くべきことに実験に基づいて、この手段によって導波される超音波も、一義 的で再現可能な対象物の構造解析および／または位置解析を可能にすることがわ かった。この場合に任意のサイズのプレートを基にして、請求項２に実施される ように、プレートの側方に複数の受波器、または送波器および受波器が配置され る。送波器または受波器はプレートの下部に設けられてもよい。放射は本発明に よりすべり波（ＳＨ波）すなわち水平に偏波された波により行われる。プレート の材料としてガラス、金属または減衰の小さなクリスタルが使用される。変換器 がプレート側方に設けられ、この変換器は同時に送波器および受波器であってよ いことも自明である。なぜなら超音波が支持プレートの側方で発生されおよび／ または受波され、プレート表面に沿って導波される場合に、再現可能な強い反射 および／または散乱がプレートに存在する層の構造にて生じるからである。 少なくともプレートの表面は、波を２次元で導波する境界部を形成する。ここ では導波された波または通常の波が送波されるか否かはあまり重要ではないが、 対象物により反射された波および／または後方散乱された波はプレートの１つま たは複数の境界部を介して２次元で導波される。 プレートには１つまたは複数のチャネルを設けるこ とができ、このチャネルにより１次元の波が得られ、チャネルの端部にて受波器 に導波される。これらのチャネルはプレートの構造の変化例えば厚さの変化によ り形成可能である。またチャネルは、２つの異なる相互に接する材料を使用する ことにより形成され、光学的導波体での場合と同様に、導体線路のコアおよびコ アのカバーは種々異なる材料から形成される。 プレートの厚さは１／３ｍｍ〜３ｍｍであり、波長に依存する。すなわち有利 なプレート厚さのサイズは、放射される超音波の波長の５倍〜１０倍の領域にあ る。プレート内にチャネルが設けられる場合には、チャネルの直径は同様に、使 用される超音波の波長の５倍〜１０倍に維持される。１次元の導波はさらに、信 号が連続して到来し連続して検出可能である利点を有する。また比較的厚いプレ ートを使用してもよい。 本発明による装置は公知の装置に対して、フラットな構造でも再現可能で正確 な解析データを得られる利点を有する。さらにこの構成はきわめて単純化されて いる。なぜなら流体で充たされたケーシングを省略できるからである。超音波の 伝播はプレート形の固体素子の内部で保証され、そのため付加的な手段は不要で ある。これにより小さな装置、例えば１つのキーの大きさを有するような装置も 構成可能である。さらに比較的大きなサイズを有して対象物の構造および位置を 解析できる装置も製造することができ、これは例えば コンピュータの制御のために有利である。これは公知の接触フィールド（タッチ パネル）での場合と同様に、比較的大きな対象物例えば手全体の検出も可能であ る。 本発明の他の個々の実施の形態は添付の図面に則して説明される。 図１は装置を側方から見た概略図である。図２は図１に示される実施例を上か ら見た図である。図３は１次元の導波体から形成されるプレートの構成を示す図 である。図４はプレートのチャネル特性を示す図である。図５はプレートの２つ の螺旋状のチャネルの構成を示す図である。 図１に図示の実施例では円形のプレート１が示され、このプレートは縁に配設 される変換器３とプレートの下部に配設される変換器２とを有する。図２に上か ら見た図で示される実施例では、変換器４、５がプレートの周囲を円状にとりま いて配設されていることがわかる。これらの変換器は送波器としても受波器とし ても使用される。付加的な下部の変換器２は図２には示されていない。 図１および図２に概略的に示されている装置では超音波領域のすベり波が使用 される。このすべり波はプレート（固体素子）内で１つまたは２つの境界部に沿 って伝播する。 導波される波すなわち全ての次元で拡散するような 波も存在する。図１および図２の実施例のプレートにおいては２次元の波が発生 され、一方図３および図４のように、任意に形成されるチャネルを有するプレー トは１次元で拡散する波を有する。 バルク波を使用する公知の装置と同様に、電気信号が受波変換器から、増幅器 および場合により検出器を介してディジタルアナログ変換器を用いてコンピュー タに供給される。このコンピュータは電気信号からの、解析された層の性質およ び／または位置に関する情報を送出する。 ２次元の波を使用する際に用いられる解析方法は、 において使用される例えばラドン変換に相応する。チャネルを有する変形例はさ らに単純な構成を可能にする。なぜならチャネルの特性に相応する１つまたは複 数の信号の合成しか必要でないからである。 この特性はもちろん、検査すべき層の画像再生が所望される場合にのみ必要な ものである。他の目的が追求される場合には、信号処理の他の方法が使用される 。例えば簡単な信号比較や別の変換手段などが使用される。 本発明による装置のフラットな構成によりさらに簡単に、プレートに配置され る対象物の層構造の検出およびそれに関連する位置の検出が可能になる。なぜな らこのプレートは１次元の導波も可能だからである。 １次元の導波による解析の利点は、走査線的な走査が可能なことである。 １次元の波を発生させるために、プレートは図３に示されるように、相互に並 んで延在する平行なチャネル６から成る。このチャネルの側方の壁は隣接するチ ャネルと接続されている。チャネル６はその端部に複数の変換器を有し、これら の変換器は連続して送波されかつ受波される超音波を電気信号に変換する。 図４においてはチャネル８が示されており、このチャネルはプレート９の面全 体をカバーし、放射される対象物の情報を変換器１０にさらに供給する。 図５においては並列する２つのチャネル１１、１２が示されており、これらの チャネルは方形の螺旋状に巻回されており、後方散乱する超音波を受波して変換 器１３、１４に導波する。これらの変換器は送出された信号をコンピュータに供 給する。 図示されたチャネルの特性形状は単なる例にすぎず、後方散乱する波を１つの モードで変換器に供給する特性形状であればどのような形状でも適している。 請求の範囲 １．超音波送波器および超音波受波器と対象物に対する支持面として使用される プレートとを用いて、超音波により対象物の表面または表面近くの構造解析およ び／または位置検出を行う方法において、 固体素子（１）上に配置される対象物に、水平に偏波された超音波いわゆる すべり波（ＳＨ波）を放射し、 対象物により反射された波および／または散乱された波を固体素子に沿って 導波し、かつ解析のための変換器（３、４、５）へ導波する、ことを特徴とする 超音波により対象物の表面または表面近くの構造解析および／または位置検出を 行う方法。 ２．請求項１に記載の方法を実施するための装置において、 支持面として１次元の波または２次元の波の導波に適したプレート形の固体 素子（１）が使用され、 該固体素子の側方に、すべり波発生のための超音波送波器（４、５）、およ び該すべり波を受波するための受波器（３）が配属されており、 送波および受波は変換器により実施可能である、ことを特徴とする請求項１ に記載の方法を実施するための装置。 ３．プレート形の固体素子（１）はガラス、種々異な る金属、または減衰の小さなクリスタルから成る、請求項２に記載の装置。 ４．対象物にて反射および／または後方散乱された波を導波するために導波体（ ６、８、１１、１２）がプレート（１）内に設けられ、またはプレート（１）を 形成する、請求項２に記載の装置。 ５．導波体としてチャネル（８）または複数のチャネル（６、１１、１２）が設 けられている、請求項４に記載の装置。 ６．前記複数のチャネルはプレート構造（厚み）の変化により形成される、請求 項５に記載の装置。 ７．前記複数のチャネルは２つの材料から形成される、請求項５に記載の装置。 ８．チャネルは導体線路から成り、該導体線路の核はカバーの材料とは異なる材 料から形成される、請求項２に記載の装置。 ９．受波器（３）はプレート（１）の側方に配設され、送波器（２）は該プレー トの下部に配設される、請求項２に記載の装置。 10．プレートの厚さは超音波の波長に依存して選定される、請求項２に記載の装 置。 11．連続して配設される複数のチャネル（６）はプレート内に設けられ、または プレートを形成し、 該チャネルにはチャネル端部に受波器（７）が配置され、該受波器は順次に 読み出される、請求項２ から１０までのいずれか１項に記載の装置。 12．１つまたは複数のチャネル（１１、１２）は方形の螺旋状または円形の螺旋 状に巻回される、請求項２から１１までのいずれか１項に記載の装置。 13．巻回は２つのチャネルに分割されている、請求項１２に記載の装置。 14．チャネル（８）は手前側および向こう側へ巻回されており、チャネルの部分 は相互に平行に延在している、請求項２から１３までのいずれか１項に記載の装 置。 15．プレートは湾曲されている、請求項１に記載の装置。 16．導波体の直径またはチャネルの直径は、超音波の波長の５倍〜１０倍の大き さである、請求項４に記載の装置。 17．電気信号は受波変換器から検出器および／またはアナログディジタル変換器 を介して、更なる処理のためのコンピュータに供給され、 該コンピュータは、解析された対象物の層の位置および／または性質に関す る情報をラドン変換および／または走査線の合成を使用することにより送出する 、請求項２から１６までのいずれか１項に記載の装置。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国 ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＤＥ， ＤＫ，ＥＳ，ＦＩ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，ＩＴ，Ｌ Ｕ，ＭＣ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ)，ＣＡ，ＪＰ，ＫＲ，Ｐ Ｌ，ＲＵ，ＵＳ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．超音波送波器および超音波受波器と対象物に対する支持面として使用される プレートとを用いて、超音波により対象物の表面または表面近くの構造解析およ び／または位置検出を行う方法において、 対象物により反射および／または散乱された波をプレートに沿って導波し、 かつ解析のための変換器へ導波する、ことを特徴とする超音波により対象物の表 面または表面近くの構造解析および／または位置検出を行う方法。 ２．請求項１に記載の方法を実施するための装置において、 支持面として１次元の波または２次元の波の導波に適したプレートが使用さ れ、 側方に受波器（３）、または受波器および送波器（４、５）が配属される、 ことを特徴とする請求項１に記載の方法を実施するための装置。 ３．プレートはガラスまたは種々異なる金属の固体素子（１）から成る、請求項 ２に記載の装置。 ４．対象物にて反射された波および／または後方散乱された波を導波するために 導波体（６、８、１１、１２）がプレート内に設けられ、またはプレートが導波 体を形成する、請求項２に記載の装置。 ５．導波体としてチャネル（８）または複数のチャネ ル（６、１１、１２）が設けられている、請求項４に記載の装置。 ６．前記複数のチャネルはプレート構造（厚み）の変化により形成される、請求 項５に記載の装置。 ７．前記複数のチャネルは２つの材料から形成される、請求項５に記載の装置。 ８．チャネルは導体線路から成り、該導体線路の核はカバーの材料とは異なる材 料から形成される、請求項２に記載の装置。 ９．受波器（３）はプレート（１）の側方に配設されるが、送波器（２）は該プ レートの下部に配設される、請求項２に記載の装置。 10．プレートの厚さは超音波の波長に依存して選定される、請求項２に記載の装 置。 11．複数の連続して配設されるチャネル（６）はプレート内に設けられ、または プレートを形成し、 該チャネルにはチャネル端部に受波器（７）が配置され、該受波器は順次に 読み出される、請求項２から１０までのいずれか１項に記載の装置。 12．１つまたは複数のチャネル（１１、１２）は方形の螺旋状または円形の螺旋 状に巻回される、請求項２から１１までのいずれか１項に記載の装置。 13．巻回は２つのチャネルに分割されている、請求項１２に記載の装置。 14．チャネル（８）は手前側および向こう側へ巻回さ れており、チャネルの部分は相互に平行に延在されている、請求項２から１３ま でのいずれか１項に記載の装置。 15．プレートは湾曲されている、請求項１に記載の装置。 16．導波体の直径またはチャネルの直径は、超音波の波長の５倍〜１０倍の大き さである、請求項４に記載の装置。 17．水平に偏波されたすべり波（ＳＨ波）が使用される、請求項２から１６まで のいずれか１項に記載の装置。 18．電気信号は受波変換器から検出器および／またはアナログディジタル変換器 を介して、更なる処理のためのコンピュータに供給され、 該コンピュータは、解析された対象物の層の位置および／または性質に関す る情報をラドン変換および／または走査線の合成を使用することにより送出する 、請求項２から１７までのいずれか１項に記載の装置。