JPH1144736A - プログラマブル比較器のキャリブレーション装置 - Google Patents

プログラマブル比較器のキャリブレーション装置

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JPH1144736A
JPH1144736A JP9203611A JP20361197A JPH1144736A JP H1144736 A JPH1144736 A JP H1144736A JP 9203611 A JP9203611 A JP 9203611A JP 20361197 A JP20361197 A JP 20361197A JP H1144736 A JPH1144736 A JP H1144736A
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Ando Electric Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 オフセットやゲイン調整用の回路や高精度部
品を必要とせず、調整範囲が広く精度の高いプログラム
比較器のキャリブレーション装置を提供する。 【解決手段】 テストコントローラ11は電源供給回路
3に所定電流値の供給を指示する。電源供給点Psの電
流値は電流電圧変換回路4で電圧値に変換されて比較器
16bに与えられる。比較器16bはDAC16a及び
電流電圧変換回路4の出力電圧の大小関係を比較結果と
して出力する。テストコントローラ11はDAC16a
に与えるデジタルコードを変化させながら大小関係が反
転するデジタルコードを決める。以上の処理を電源供給
回路3の正負の最大供給電流と電流0に対して行い、こ
れら測定値,装置各部を理想的とした場合のデジタルコ
ード,各供給電流値からDAC16aのオフセット及び
ゲインの補正データを算出し、これらを用いてこれ以後
にDAC16aへ与えるデジタルコードを補正する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、IC(集積回路)
テスタ等に用いられ、ICの電源ピン等で測定される電
流値(電圧値)と任意の電流値(電圧値)とを比較する
プログラマブル比較器のためのキャリブレーション装置
に関するものである。
【0002】
【従来の技術】ICテスタを例に挙げると、被測定デバ
イスであるICを試験する場合は、当然ながらICテス
タからICの電源ピンへ電源電流や電源電圧を供給する
こととなる。その際、ICの電源ピンに対して実際に供
給されている電流値は、消費電流としてICの特性を表
す重要なパラメータの一つとなり、ICテスタには、I
Cの消費電流が所期の値となっているかどうか試験可能
であることが求められる。こうした目的を達成するため
に、ICの電源ピン等で測定される電流値(電圧値)を
所望の電流値(電圧値)と比較するためのプログラマブ
ル比較器が用いられている。そして、この種のプログラ
マブル比較器にあっては、各種の計測器と同様、定期的
にキャリブレーション(較正)を行って、常に高精度で
電流値や電圧値を比較できるようにしておく必要があ
る。
【0003】図4は、従来の技術によるプログラマブル
比較器のキャリブレーション装置の回路構成を示したブ
ロック図である。同図に示すように、この回路はテスト
コントローラ1,I/O(入出力)制御回路2,電源供
給回路3,電流電圧変換回路4,プログラマブル比較器
5の各機能ブロックに大別される。テストコントローラ
1は、I/O制御回路2を介して電源供給回路3へ所望
の電流値の発生を指示する。この他にもテストコントロ
ーラ1は、プログラマブル比較器5に対して任意のデジ
タルコードを与え、電流電圧変換回路4とプログラマブ
ル比較器5を用いて、当該デジタルコードに対応した電
流値と電源供給回路3が電源供給点Psに供給する電流
値とを比較させ、その比較結果をプログラマブル比較器
5から取り込むなどする。なお、テストコントローラ1
の機能の詳細は後述する。
【0004】I/O制御回路2は、テストコントローラ
1と電源供給回路3,プログラマブル比較器5の間でそ
れぞれデータを授受するための双方向バッファである。
電源供給回路3は正の最大供給電流〜負の最大供給電流
の範囲の電流値を持つ電流を供給することが可能であ
り、テストコントローラ1から指示される電流値の電流
をICの電源ピン等に相当する電源供給点Psへ供給す
る。図示した通り、この電源供給回路3は、電圧発生器
3a,出力抵抗3b,フォースアンプ3c,バッファ3
d,帰還抵抗3e,センスアンプ3fから構成される。
【0005】この電源供給回路3において、電圧発生器
3aは、I/O制御回路2を通じてテストコントローラ
1から送られるデジタルコードに応じた電圧を出力する
ものであって、DAC(デジタルアナログ変換器)等で
構成される。また、出力抵抗3b,フォースアンプ3
c,帰還抵抗3eは負帰還増幅器を構成しており、出力
抵抗3b及び帰還抵抗3eは負帰還増幅器の利得を決定
するための抵抗器,フォースアンプ3cは負帰還増幅器
の主構成要素たるオペアンプである。さらに、バッファ
3dは電流増幅回路であって、フォースアンプ3cが電
源供給回路3に要求される出力電流を供給できないこと
から必要となるものである。
【0006】また、センスアンプ3fは電源供給点Ps
の電圧を正確にフィードバックするために挿入されたボ
ルテージフォロワアンプである。すなわち、電源供給回
路3は、電源供給点Psに対して設定電圧を正確に供給
する必要があることから、電源供給点Psにおける電圧
を正確にフィードバックする必要がある。しかしなが
ら、負帰還増幅器の帰還経路に電流が流れたのでは正確
な電圧がフィードバックされないので、高入力インピー
ダンスのボルテージフォルワアンプを帰還経路に挿入し
ている。
【0007】電流電圧変換回路4は、電流供給点Psに
供給される電流値を電圧値へ変換するための電流検出抵
抗4aと、この電流検出抵抗4aの両端に生じる電圧値
を増幅してプログラマブル比較器5へ出力する電圧検出
アンプ4bから構成される。プログラマブル比較器5
は、電源供給回路3の供給電流を電流電圧変換回路4で
変換した電圧値と、I/O制御回路2を介してテストコ
ントローラ1から供給されるデジタルコードをアナログ
電圧に変化した電圧値を比較し、その比較結果を端子T
cからテストコントローラ1へ出力する。つまり、プロ
グラマブル比較器5へ供給するデジタルコードを任意に
変化させることで、電源供給回路3が供給する電流値を
任意の電流値と比較してその大小関係を知ることができ
る。なお、デジタルコードは正負の値を取り得る符号付
きの2進数であって、より具体的には、電流供給回路3
の供給可能な「負の最大供給電流」〜「正の最大供給電
流」に対応する形で、”−FULL”コードデータ〜”
+FULL”コードデータの範囲内の値を取り得る。
【0008】このプログラマブル比較器5において、レ
ジスタ5aはテストコントローラ1から与えられるデジ
タルコードを保持している。DAC5bは、レジスタ5
aが保持するデジタルコードをアナログ電圧へ変換する
もので、変換過程におけるゲイン及びオフセットを補正
するためのゲイン調整用端子Tg及びオフセット調整用
端子Toを装備しており、これら各端子に与えられるア
ナログ電圧値に従ってゲイン補正又はオフセット補正が
行われる。
【0009】また、レジスタ5cはテストコントローラ
1からゲイン調整用DAC5dに与えられるゲイン調整
用のデジタルコードを保持するものであって、ゲイン調
整用DAC5dはこのデジタルコードをアナログ電圧に
変換してDAC5bのゲイン調整用端子Tgへ送出す
る。同様に、レジスタ5eはテストコントローラ1から
オフセット調整用DAC5fに与えられるオフセット調
整用のデジタルコードを保持するものであって、オフセ
ット調整用DAC5fはこのデジタルコードをアナログ
電圧に変換してDAC5bのオフセット調整用端子To
へ送出する。
【0010】なお、電源供給回路3,レジスタ5a,レ
ジスタ5c,レジスタ5eは、テストコントローラ1か
ら送出される図示しない選択信号(アドレス信号)によ
ってその何れかが選択されるように構成される。また前
述したように、電源供給回路3にはテストコントローラ
1から電流値を指示するためのデジタルコードが設定さ
れる一方、上記各レジスタに対してもそれぞれデジタル
コードが設定される。
【0011】さらに、比較器5gはDAC25bの出力
電圧値が入力される端子Tin1 と電流電圧変換回路4が
検出した電圧値が入力される端子Tin2 を備えている。
この比較器5gは、これら両端子間の電圧値を比較して
その大小関係を前述した端子Tcへ出力する。また、比
較器5gには、自身が発生させるオフセットを補償する
ために可変抵抗器5hが接続されている。
【0012】上記構成の回路を用いたプログラム比較器
5のキャリブレーションは以下のようにして行われる。
まず、DAC5bのオフセット調整を行うために、下限
値のデジタルコードである”−FULL”コードデータ
をテストコントローラ1からレジスタ5aに書き込んで
DAC5bへ印加する。そして、オフセット調整用のデ
ジタルコードをレジスタ5eに書き込んでオフセット調
整用DAC5fへ印加することにより、これに対応する
電圧値をDAC5bのオフセット調整用端子Toへ与え
ると共に、比較器5gの端子Tin1 の電圧値がDAC5
bの出力振幅の「最大負電圧」となるようにデジタルコ
ードを調整することでオフセットを補正する。
【0013】次に、DAC5bのゲイン調整を行うため
に、上限値のデジタルコードである”+FULL”コー
ドデータをテストコントローラ1からレジスタ5cに書
き込んでDAC5bへ印加する。そして、ゲイン調整用
のデジタルコードをレジスタ5cに書き込んでゲイン調
整用DAC5dへ印加することにより、これに対応する
電圧値をDAC5bのゲイン調整用端子Tgへ与えると
共に、比較器5gの端子Tin1 の電圧値がDAC5bの
出力振幅の「最大正電圧」となるようにデジタルコード
を調整することでゲインを補正する。
【0014】さらに、比較器5gの端子Tin1 に入力さ
れる電圧をゼロに設定するデジタルコードをDAC5b
に与えると共に、端子Tin2 に与える電圧を電圧値
「0」を跨いでわずかに変化させた時に、比較器5gか
ら出力される両電圧値の大小関係が反転するように可変
抵抗器5hを調整することで、比較器5gのオフセット
調整を行う必要もある。加えて、電流電圧変換回路4が
電流検出抵抗4aに流れる電流を電圧に変換する際に
は、その変換誤差が比較器5gの出力誤差となって現れ
ることになる。
【0015】
【発明が解決しようとする課題】このように、上述した
プログラマブル比較器のキャリブレーション装置では、
DAC5bのオフセット及びゲインを調整するために、
オフセット,ゲインそれぞれについてDAC及びレジス
タが必要となる。また、比較器5gのオフセットを調整
するためには調整用の可変抵抗器5hを必要としてい
る。これらの理由から、キャリブレーション装置の回路
構成が複雑化すると共に、装置自体が大型化してしまう
という問題点がある。
【0016】また、上述したように、プログラマブル比
較器5へ与えるデジタルコードが、”+FULL”コー
ドデータ及び”−FULL”コードデータの2つのみで
あるために、オフセット調整やゲイン調整を行ってもそ
の補正の精度があまり良くないという問題もある。さら
には、比較器5gの出力誤差を低減するためには、電流
電圧変換回路4に高精度の部品を用いる必要があって、
装置が高価なものになるという欠点もある。
【0017】本発明は上記の点に鑑みてなされたもので
あり、その目的は、オフセット調整やゲイン調整のため
の回路や高精度の部品を必要とせず、装置自体を安価に
構成できると共に、調整範囲が広くなお且つ精度の高い
キャリブレーションを行うことの可能なプログラム比較
器のキャリブレーション装置を提供することにある。
【0018】
【課題を解決するための手段】以上の課題を解決するた
めに、請求項1記載の発明は、供給されるデジタルコー
ドをアナログ電圧値へ変換する変換手段と、所定の電源
供給点に供給される電流の電流値に対応した電圧値と前
記アナログ電圧値との間の大小関係を決定する比較手段
を有するプログラマブル比較器のキャリブレーション装
置であって、指定された電流値の電流を前記電源供給点
へ供給する電源供給手段と、前記電源供給点を流れる電
流の電流値を電圧値へ変換して前記比較手段へ出力する
電流検出手段と、前記電源供給手段へ”0”の電流値及
び”0”以外の所定電流値の供給を指示し、前記電流検
出手段の出力電圧値に略等しい電圧値を前記変換手段か
ら発生させる実測デジタルコードを前記各供給電流値に
ついて決定すると共に、供給電流値とデジタルコードと
の間の理想特性に基づいて前記各供給電流値に対応する
理想デジタルコードを算出し、前記”0”の電流値に対
応する実測デジタルコードをオフセット補正データと
し、前記各供給電流値に対応する実測デジタルコードと
理想デジタルコードとからゲイン補正データを算出する
算出手段と、前記理想特性に従って前記変換手段へ与え
られるデジタルコードを前記オフセット補正データ及び
前記ゲイン補正データにより補正する補正手段とを備え
たことを特徴としている。
【0019】また、請求項2記載の発明は、請求項1記
載の発明において、前記所定電流は、前記電源供給手段
が供給可能な正の最大電流値〜負の最大電流値の範囲内
で選択された複数個の電流値から成ることを特徴として
いる。また、請求項3記載の発明は、請求項1又は2記
載の発明において、前記電源供給点の電圧値を測定する
電圧測定手段を有し、前記算出手段は、少なくとも前
記”0”の電流値について、前記電源供給手段に指示す
る電流値を変化させながら、前記電圧測定手段によって
測定される前記電源供給点の電圧値を前記指示電流値に
対応した電圧値へ調整することを特徴としている。ま
た、請求項4記載の発明は、請求項1〜3の何れかの項
記載の発明において、前記算出手段は、前記デジタルコ
ードを変化させながら、前記比較手段から出力される前
記大小関係が反転するときの境界のデジタルコードを前
記実測デジタルコードに決定することを特徴としてい
る。
【0020】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の一
実施形態について説明する。図1は、同実施形態による
プログラマブル比較器のキャリブレーション装置の回路
構成を示すブロック図である。同図において、図4に示
す構成要素と同じ機能を有するものについては同一の符
号を付してあり、ここではその説明を省略する。また実
際には、電源供給回路3,電流電圧変換回路4,プログ
ラマブル比較器16(何れも後述)は何れも試験対象と
なるICの電源ピン等の数に応じて設けられているが、
煩雑になるのを避けるため図1ではそれぞれについて1
つだけ図示してある。また、抵抗器17,DMM18
は、切り換え回路19を介して、試験対象となるICの
電源ピン等の数に応じて設けられることになる電源供給
点Ps,Ps,……,Psと接続される。
【0021】さて、図1に示すテストコントローラ11
は、I/O制御回路12を介して、電源供給回路3,演
算器13,メモリ14,デコード回路15,プログラマ
ブル比較器16へ制御信号(即ち、アドレスADRS及
びライト信号WR)を出力してこれら各部を制御するこ
とによって、キャリブレーションに必要となる各種デー
タを取得する。I/O制御回路12は、図4のI/O制
御回路2の機能に加えて、テストコントローラ11から
送られるI/O制御信号が規定するタイミングで上記制
御信号を装置各部へ出力する。また演算器13は、テス
トコントローラ11から送られる制御信号やメモリ14
に格納された情報等に基づいて各種の演算処理を行う。
なお、テストコントローラ11及び演算器13の機能の
詳細は、動作の説明において明らかにする。
【0022】メモリ14は、テストコントローラ11か
ら送られたキャリブレーションに必要な各種データ,演
算器13が行った演算の演算結果,演算器13が演算中
であるか否かを表すフラグ等を記憶する。デコード回路
15は、テストコントローラ11から出力されるアドレ
ADRSス及びライト信号WRに従って、ICの電源ピ
ン毎に存在する複数のプログラマブル比較器16,…
…,16のうち、何れのプログラマブル比較器にデジタ
ルコードを書き込むのか(換言すれば、何れのプログラ
マブル比較器を動作させるのかを表す)制御信号SEL
を出力する。つまり、アドレスADRSはキャリブレー
ションの対象となるICの電源ピン等を選択するための
ものであり、ライト信号WRは選択されたプログラマブ
ル比較器16に対してデジタルコードを書き込むための
タイミング決定信号である。
【0023】プログラマブル比較器16は図示したよう
にDAC16a及び比較器16bから成る。プログラマ
ブル比較器16の機能は、図4のプログラマブル比較器
5に類似しているが、DAC16aがゲインやオフセッ
トの調整機能を装備せず、比較器16bがオフセット調
整機能を有していない点で相違する。DAC16aは、
デコード回路15から送られる制御信号SELで選択さ
れているときに、テストコントローラ11又は演算器1
3から送られるデジタルコードをアナログ電圧へ変換す
る。また比較器16bは、DAC16aの出力電圧が与
えられる端子Tin3 と電流電圧変換回路4の出力電圧が
与えられる端子Tin4 の間の電圧値を比較し、それらの
大小関係を端子Tc及び演算器13へ出力する。
【0024】一方、電源供給回路3の出力端に接続され
た抵抗器17は、電源供給点Psを流れる電流を検出す
るために設けられている。他方、デジタルマルチメータ
(以下、「DMM」と称する)18は、電圧,電流,抵
抗の各測定機能を備えており、抵抗器17の抵抗値を測
定するほか、抵抗器17の端子電圧を測定するもので、
これらの測定結果をテストコントローラ11,演算器1
3へ送出する。なお、本実施形態ではDMM18の電流
測定機能を使用していない。
【0025】次に、図2のフローチャートを参照して上
記構成によるプログラマブル比較器のキャリブレーショ
ン手順について説明する。まず初めに、ユーザはテスト
コントローラ11に対して、複数存在するプログラマブ
ル比較器16のうちの何れをキャリブレーションするの
か指定する。その際、ユーザは複数あるプログラマブル
比較器16の一部あるいはその全部をキャリブレーショ
ン対象として同時指定することができる。その後、指定
したプログラマブル比較器16についてのキャリブレー
ション指示をユーザが行うと、テストコントローラ11
は、まずキャリブレーションに必要となるデータの取得
処理に入る。
【0026】すなわち、ステップS1において、テスト
コントローラ1はDMM18に対して抵抗器17の抵抗
値の測定を指示したのち、得られた抵抗値をDMM18
から読み取ってこれをメモリ14へ格納する。次に、ス
テップS2において、テストコントローラ11はキャリ
ブレーションの対象として指定されているプログラマブ
ル比較器16のうちの何れかを選択し、当該プログラマ
ブル比較器16に付与されたアドレスADRSと電源供
給回路3が供給すべき電流値からなるパラメータ設定デ
ータをメモリ14へ書き込む。このとき、上記のアドレ
スADRSがデコード回路15にも与えられ、デコード
回路15はその後にライト信号WRが与えられた時点
で、アドレスADRSで指定されるプログラマブル比較
器16に対して選択信号SELを送出する。さらに、テ
ストコントローラ11は切り換え回路19を制御して、
選択されたプログラマブル比較器16に対応した電源供
給点Psと、抵抗器17及びDMM18を接続する。
【0027】ここで、本実施形態では電源供給回路3か
ら電源供給点Psへ供給する電流値を「正の最大供給電
流」,「0」,「負の最大供給電流」の3つとしてお
り、これら各電流値についてそれぞれ必要なデータ(詳
細は後述)を取得することでキャリブレーションを行っ
ている。そこで、テストコントローラ11は電源供給回
路3の供給電流値としてこれら3つの電流値を順次メモ
リ14に書き込み、それぞれの電流設定値についてデー
タ取得処理を行うようにしている。つまり、本実施形態
では都合3回のデータ取得処理が行われることとなる。
【0028】次に、ステップS3において、テストコン
トローラ11は演算器13に対して「補正データ取得命
令」を発行してその実行を指示し、自らは演算器処理シ
ーケンスに入る。これによって、テストコントローラ1
1と演算器13は互いに並行して動作可能な状態とな
る。そこで、演算器13はその処理をステップSa1に
進め、メモリ14上に予め設けられている「演算器処理
中フラグ」をセットする。このとき、テストコントロー
ラ11は演算器処理中フラグをメモリ14から定期的に
読み出して、当該フラグが演算器13によってセットさ
れたことを確認する。そしてこれ以後、テストコントロ
ーラ11はステップS4において演算器処理中フラグを
一定周期で読み出してその内容を監視しながら、演算器
13の演算が終了して当該フラグがクリアされるまで待
機する。
【0029】一方、ステップSa2において、演算器1
3は、テストコントローラ11がステップS2でメモリ
14へ書き込んでおいたパラメータ設定データを順次読
み出して演算器13内部へ取り込んでおく。続くステッ
プSa3において、演算器13は取り込んだ情報に基づ
いて電源供給回路3の動作を開始させると共に、指定さ
れている電流値(ちなみに、最初は「正の最大供給電流
値」)を発生するように電源供給回路3へ指示する。
【0030】ここで、電流値「0」を供給する場合、演
算器13はDVM18の電圧測定機能を用いて抵抗器1
7の端子電圧を測定しながら、その電圧値が「0ボル
ト」となるように電源供給回路3に与えるデジタルコー
ドを適宜変化させる。これに対し、「正の最大供給電流
値」又は「負の最大供給電流値」を供給する場合、演算
器13は、設定すべきこれら供給電流値と先に測定して
ある抵抗器17の抵抗値に基づいて、各供給電流値に対
応する電圧値を電源供給点Psで発生させるデジタルコ
ードを算出して電源供給回路3へ与えるようにする。
【0031】このように、電流値「0」を供給する場合
は、電源供給回路3に与えるデジタルコードが後述する
補正演算で直接使用されるという理由で、DMM18が
測定する電源供給点Psの電圧値が正確に「0ボルト」
となるようにデジタルコードを調整している。これに対
し、「正の最大供給電流値」又は「負の最大供給電流
値」を供給する場合は、電源供給回路3が実際に供給す
る電流値とその時点でDAC16aに与えられるデジタ
ルコードが分かっていれば、後述する補正演算に支障を
来すことがない。したがって、電源供給回路3や抵抗器
17の誤差によって、「正の最大供給電流値」又は「負
の最大供給電流値」が完全に真の値に設定されていなく
とも良く、おおよその供給電流値が設定されていれば問
題ない。
【0032】次に、ステップSa4において、演算器1
3がDAC16aへ上記各供給電流値に対応したデジタ
ルコードを送出すると、このデジタルコードがDAC1
6aによってアナログ電圧へ変換されて比較器16bに
与えられる。その際、演算器13はライト信号WRを発
生させることから、選択されているプログラマブル比較
器16に対して制御信号SELが送られて、デジタルコ
ードがDAC16aへ設定される。またこのとき、電流
電圧変換回路4は、電源供給点Psを流れる電流の電流
値に対応した電圧値を検出して比較器16bに供給す
る。これによって、比較器16bは与えられたこれら両
電圧値の比較結果を端子Tcへ出力する。そこで、演算
器13は比較器16bの比較結果を取り込んでこれをメ
モリ14へ格納する。
【0033】次いで、演算器13は、DAC16aへ最
初に設定したデジタルコードの近傍でデジタルコードを
変化させながら、上記と同様にして、比較器16bの出
力を順次取り込んでゆく。そして、演算器13は比較器
16bから取り込んだ複数個の比較結果に基づいて、そ
の大小関係が反転する境界のデジタルコード(実測のデ
ジタルコード)を検索し、続くステップSa5におい
て、検索されたデジタルコードをメモリ14へ書き込
む。つまり、演算器13は、DAC16aに与えるデジ
タルコードの中から、電源供給回路3から供給される電
流値に応じて電流電圧変換回路4が検出する電圧値とD
AC16aの出力電圧値とを略等しくするようなデジタ
ルコードを探し出す。
【0034】以上によって演算器13はテストコントロ
ーラ11から指示された処理を完了したので、ステップ
Sa6においてメモリ14上の演算器処理中フラグをク
リアし、これ以後は、テストコントローラ11から次の
命令が送られてくるのを待ち合わせる。その一方で、演
算器処理中フラグがクリアされることによって、テスト
コントローラ11は演算器13の処理が終了したことを
認識する。そこでステップS5において、テストコント
ローラ11はDMM18に対して抵抗器17の端子電圧
の測定を指示したのち、その測定結果をDMM18から
取り込んでメモリ14へ格納する。次に、テストコント
ローラ11は、ステップS1で測定しておいた抵抗器1
7の抵抗値といま取得した抵抗器17の端子電圧から、
オームの法則に則って電源供給回路3から供給される電
流の電流値を算出する。
【0035】次いで、ステップS6において、テストコ
ントローラ11はステップS5で算出した供給電流値を
もとにして、電源供給回路3,電流電圧変換回路4,プ
ログラマブル比較器16が理想的であるとした場合に、
比較器16bの出力結果を反転させるようなデジタルコ
ードを算出する。すなわち、これら各部が理想的である
場合には、DAC16aに与えられるデジタルコードと
電源供給回路3の供給電流値との関係(「理想特性」)
は予め決まったものとなる。すなわち、理想特性では、
「正の最大供給電流値」に”+FULL”コードデータ
が対応し、「負の最大供給電流値」に”−FULL”コ
ードデータが対応し、電流値「0」に「0」のデジタル
コードが対応しており、供給電流値とデジタルコードデ
ータは比例関係にある(後に触れる図3の点線Qを参
照)。したがって、これら供給電流値とデジタルコード
データの間の比例定数と供給電流値とから理想状態にお
けるデジタルコードが求められる。
【0036】そして、ステップS7において、テストコ
ントローラ11は算出されたデジタルコードを「理想デ
ジタルコード」とし、これを供給電流値と一緒にメモリ
14へ書き込む。次に、ステップS8において、テスト
コントローラ11はいま対象としているプログラマブル
比較器16に関する全ての測定点(即ち、測定を行うべ
き電流値)について、必要なデータを取得したかどうか
を判別する。上述した通り、キャリブレーションに必要
となる電流値は「正の最大供給電流」,「0」,「負の
最大供給電流」の3点であることから、これら全ての供
給電流値に関するデータ取得処理が終わっていないので
あれば、供給電流値を次の電流値に変更したのちにその
処理をステップS2に戻し、上述したステップS2〜S
7(及び演算器13によるステップSa1〜Sa6)の
処理を各供給電流値について行う。
【0037】そして、全ての供給電流値についてステッ
プS2〜S7の処理が行われれば、ステップS8の判定
結果が「YES」となる。そこでステップS9におい
て、テストコントローラ11は演算器13に対して「キ
ャリブレーションデータ演算命令」を発行して自らは演
算器処理シーケンスに入り、テストコントローラ11と
演算器13は再び並行動作状態となる。すなわち、演算
器13は処理をステップSb1に進めて演算器処理中フ
ラグをセットし、その一方で、テストコントローラ11
は演算器処理中フラグがセットされたことを確認したの
ち、演算器処理中フラグが演算器13によりクリアされ
るのをステップS10で待ち続ける。
【0038】次に、演算器13はその処理をステップS
b2に進めて、ステップS7でテストコントローラ11
がメモリ14へ書き込んだ理想デジタルコード及びこれ
に対応する供給電流値と、ステップSa5で演算器13
自身がメモリ14へ書き込んだ実測のデジタルコードと
をそれぞれ読み出す。次いで、ステップSb3におい
て、演算器13は以下に詳述する手順に従ってオフセッ
トデジタルコード及びゲイン補正を算出したのち、続く
ステップSb4においてこれら算出結果をメモリ14へ
書き込み、最後にステップSb6において演算器処理中
フラグをクリアして次の命令が発行されるのを待ち合わ
せる。
【0039】ここで、演算器13が行うオフセットデジ
タルコード及びゲイン補正の算出手順について以下に説
明する。図3は電源供給回路3の供給電流とDAC16
aに与えられるデジタルコードの関係を示したグラフで
あり、DAC16aに関するオフセット及びゲイン補正
についても併せて図示している。図中、a点は実際に電
源供給回路3から電流値「0」の電流が供給された場合
に対応している。ここで、DAC16aに与えられるa
点のデジタルコードは、供給電流値「0」に相当する電
圧値が比較器16bへ与えられたときに、この比較器1
6bの出力結果を反転させる境界のデジタルコードにな
る。同様に、b点は電源供給回路3の供給電流が「正の
最大供給電流」である場合を示しており、c点は電源供
給回路3の供給電流が「負の最大供給電流」である場合
を示している。
【0040】一方、点線Qは、電源供給回路3,電流電
圧変換回路4,プログラマブル比較器16が何れも理想
的な特性であると想定した場合に、電源供給回路3の供
給電流値とDAC16aに設定されるべきデジタルコー
ドとの関係を示している。つまり、前述したように、
「正の最大供給電流」,「0」,「負の最大供給電流」
が供給された場合のデジタルコードがそれぞれ”+FU
LL”,0,”−FULL”となる。また、点線Pは、
点線Qで示される理想特性の勾配を持ちなお且つa点を
通る直線を示している。さらに、「ゲイン補正A」はa
点及びb点を結ぶ直線abと理想特性を表す点線Qに平
行な直線Pとの勾配差を意味し、「ゲイン補正B」はa
点及びc点を結ぶ直線acと直線Pとの勾配差を意味し
ている。
【0041】そして演算器13は、図3のa,b,c各
点のデジタルコード及び供給電流値と、「正の最大供給
電流」の理想デジタルコードに基づいて、キャリブレー
ションに必要となるオフセットデジタルコード,ゲイン
補正A,ゲイン補正Bをそれぞれ以下のように算出す
る。まず、a点のデジタルコードは電源供給回路3の供
給電流が「0」の場合に、比較器16bの出力結果が反
転する境界のデジタルコードである。したがって、この
デジタルコードがそのままオフセットデジタルコードと
なる。
【0042】次に、ゲイン補正A及びゲイン補正Bを求
めるには、まず、理想特性(点線Q)の傾きを次式
(1)により算出する。なお、以下の各式に現れる「傾
き」は、通常用いられる「傾き」とは分子/分母が入れ
替わって定義されている。 理想特性の傾き=正の最大供給電流における理想デジタルコード/ 正の最大供給電流値 …(1) 次に、a点及びb点を結ぶ直線の傾きを次式により求め
る。 直線abの傾き=(b点のデジタルコード−a点のデジタルコード)/ b点の供給電流値 …(2)
【0043】これら(1)式及び(2)式からゲイン補
正Aを次式によって求める。 ゲイン補正A=直線abの傾き/理想特性の傾き ={(b点のデジタルコード−a点のデジタルコード)/ b点の供給電流値}/ (正の最大供給電流値における理想デジタルコード/ 正の最大供給電流値) …(3)
【0044】次に、a点及びc点を結ぶ直線の傾きを次
式によって求める。 直線acの傾き=(a点のデジタルコード−c点のデジタルコード)/ c点の供給電流値 …(4) そして(1)式及び(4)式からゲイン補正Bを次式に
よって求める。 ゲイン補正B=直線acの傾き/理想特性の傾き ={(a点のデジタルコード−c点のデジタルコード)/ c点の電流値}/ (正の最大供給電流値における理想デジタルコード/ 正の最大供給電流値) …(5)
【0045】さて、ステップSb5の処理が終わり、ス
テップS10でテストコントローラ11が演算器13の
処理終了を認識すると、現時点で対象となっているプロ
グラマブル比較器16のキャリブレーションが完了した
ことになる。そこでステップS11において、テストコ
ントローラ11はユーザが指定した全てのプログラマブ
ル比較器に関してキャリブレーションを行ったかどうか
を判別する。キャリブレーションを行うべきプログラマ
ブル比較器16がまだ残っているのであれば、対象とす
るプログラマブル比較器16を次のものに変更して処理
をステップS2に戻し、前述したステップS2〜ステッ
プS10(及び演算器13のステップSa1〜Sa6及
びステップSb1〜Sb5)の処理を繰り返し行う。
【0046】こうしてキャリブレーションが完了して、
その後、実際にICを試験する段階になると、テストコ
ントローラ11は電源供給回路3からICの電源ピンへ
供給している電流値を検証することになる。そこで、テ
ストコントローラ11は被試験ICの消費電流として期
待される電流値に対応する理想特性上のデジタルコード
を(1)式に示す理想特性の傾きから算出する。次い
で、テストコントローラ11は算出された理想デジタル
コードを演算器13へ送出して理想デジタルコードの補
正を指示する。
【0047】これにより演算器13は、メモリ14に格
納されているオフセットデジタルコード,ゲイン補正
A,ゲイン補正Bを用いてテストコントローラ11から
送られた理想デジタルコードの補正演算を行って、その
演算結果をテストコントローラ11へ返送する。テスト
コントローラ11は、アドレスADRSを用いて何れか
のプログラマブル比較器16を選択し、選択されたプロ
グラマブル比較器16のDAC16aへ演算器13から
送られた補正後のデジタルコードを供給する。以上によ
って、電源供給回路3及び電流電圧変換回路4で発生す
る誤差や、プログラマブル比較器16に内在するオフセ
ット及びゲインの誤差が補償されて、正しい比較結果が
端子Tcに得られるようになる。
【0048】ここで、演算器13は送られたデジタルコ
ードの値に応じて以下のようにして補正演算を行う。 テストコントローラ11からのデジタルコード>0の場合 補正後のデジタルコード=ゲイン補正A×テストコントローラ11からのデジ タルコード+オフセットデジタルコード …(6) テストコントローラ11からのデジタルコード≦0の場合 補正後のデジタルコード=ゲイン補正B×テストコントローラ11からのデジ タルコード+オフセットデジタルコード …(7) これら2つの式は、図3で理想特性として示した直線Q
上の点をa点〜b点又はa点〜c点をそれぞれ結ぶ直線
(つまり、現実の回路特性を表す直線)上の点へ変換す
るものである。
【0049】なお、上記実施形態では、供給電流値の測
定点を「正の最大供給電流」,「0」,「負の最大供給
電流」の3点としているが、これ以外の複数の供給電流
値を用いるようにしても良く、そうすることによって、
一層高い精度で補正演算が行えるようになる。また、電
源供給点Psに供給する電流値として負の電流値が不要
であれば、電流値の測定点を「正の最大供給電流」及び
「0」の2点としても良く、また、供給する電流値とし
て正の電流値が不要であれば、電流値の測定点を「負の
最大供給電流」及び「0」の2点としても良い。さら
に、上記実施形態では、テストコントローラ11及び演
算器13を並行動作させているが、演算器13の機能を
テストコントローラ11自体に持たせて演算器13を省
いた構成としても良く、さらには、メモリ14をテスト
コントローラ11に内蔵させるように構成しても良い。
【0050】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
供給されるデジタルコードに対応するアナログ電圧値と
電源供給点を流れる電流に対応する電圧値との間の大小
関係を決定するプログラマブル比較器をキャリブレーシ
ョンするにあたって、”0”の電流値と”0”以外の所
定電流値について、電源供給点の電流に対応する電圧値
に略等しい電圧値が上記アナログ電圧値として得られる
実測デジタルコードを決定すると共に理想特性に基づい
て理想デジタルコードを算出し、算出されたこれらデジ
タルコードからオフセット補正データ及びゲイン補正デ
ータを算出して、実際にプログラマブル比較器を使用す
る段階では、これらの補正データを用いて、理想特性に
従って与えられるデジタルコードを補正するようにして
いる。これにより、従来必要であったオフセット調整や
ゲインの調整のための回路が不要になるとともに、電流
検出手段等を高精度部品で構成する必要がなくなり、装
置を安価に作製できる上に、装置の小型化も図れるとい
う効果がある。
【0051】また、請求項2記載の発明によれば、”
0”以外の所定電流値として複数の電流値を用いるよう
にしたので、供給電流値とデジタルコードとの間の関係
としてより現実に近いものが得られ、さらに精度の高い
キャリブレーションが実現できるという効果がある。ま
た、請求項3記載の発明によれば、少なくとも”0”の
電流値については、電源供給点に供給される電流値を指
示通りの値となるように調整しているので、オフセット
補正データ及びゲイン補正データをより精度良く求める
ことができ、いっそう精確なキャリブレーションが可能
になるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の一実施形態におけるプログラマブル
比較器のキャリブレーション装置の回路構成を示すブロ
ック図である。
【図2】 同実施形態におけるキャリブレーションの手
順を示すフローチャートである。
【図3】 同実施形態における電源供給回路3の供給電
流とDAC16aに与えられるデジタルコードの関係を
示すグラフである。
【図4】 従来の技術におけるプログラマブル比較器の
キャリブレーション装置の回路構成を示すブロック図で
ある。
【符号の説明】
3 電源供給回路 4 電流電圧変換回路 11 テストコントローラ 12 I/O制御回路 13 演算器 14 メモリ 15 デコード回路 16 プログラマブル比較器 16a DAC 16b 比較器 17 抵抗器 18 DMM 19 切り換え回路

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 供給されるデジタルコードをアナログ電
    圧値へ変換する変換手段と、所定の電源供給点に供給さ
    れる電流の電流値に対応した電圧値と前記アナログ電圧
    値との間の大小関係を決定する比較手段を有するプログ
    ラマブル比較器のキャリブレーション装置であって、 指定された電流値の電流を前記電源供給点へ供給する電
    源供給手段と、 前記電源供給点を流れる電流の電流値を電圧値へ変換し
    て前記比較手段へ出力する電流検出手段と、 前記電源供給手段へ”0”の電流値及び”0”以外の所
    定電流値の供給を指示し、前記電流検出手段の出力電圧
    値に略等しい電圧値を前記変換手段から発生させる実測
    デジタルコードを前記各供給電流値について決定すると
    共に、供給電流値とデジタルコードとの間の理想特性に
    基づいて前記各供給電流値に対応する理想デジタルコー
    ドを算出し、前記”0”の電流値に対応する実測デジタ
    ルコードをオフセット補正データとし、前記各供給電流
    値に対応する実測デジタルコードと理想デジタルコード
    とからゲイン補正データを算出する算出手段と、 前記理想特性に従って前記変換手段へ与えられるデジタ
    ルコードを前記オフセット補正データ及び前記ゲイン補
    正データにより補正する補正手段とを備えたことを特徴
    とするプログラマブル比較器のキャリブレーション装
    置。
  2. 【請求項2】 前記所定電流値は、前記電源供給手段が
    供給可能な正の最大電流値〜負の最大電流値の範囲内で
    選択された複数個の電流値から成ることを特徴とする請
    求項1記載のプログラマブル比較器のキャリブレーショ
    ン装置。
  3. 【請求項3】 前記電源供給点の電圧値を測定する電圧
    測定手段を有し、 前記算出手段は、少なくとも前記”0”の電流値につい
    て、前記電源供給手段に指示する電流値を変化させなが
    ら、前記電圧測定手段によって測定される前記電源供給
    点の電圧値を前記指示電流値に対応した電圧値へ調整す
    ることを特徴とする請求項1又は2記載のプログラマブ
    ル比較器のキャリブレーション装置。
  4. 【請求項4】 前記算出手段は、前記デジタルコードを
    変化させながら、前記比較手段から出力される前記大小
    関係が反転するときの境界のデジタルコードを前記実測
    デジタルコードに決定することを特徴とする請求項1〜
    3の何れかの項記載のプログラマブル比較器のキャリブ
    レーション装置。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6690439B2 (en) 2000-12-26 2004-02-10 Lg. Philips Lcd Co., Ltd. Manufacturing method of cholesteric liquid crystal color filter
US6943616B2 (en) 2002-08-28 2005-09-13 Fujitsu Limited Semiconductor integrated circuit device, and adjustment method of semiconductor integrated circuit device

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6417682B1 (en) * 1998-05-19 2002-07-09 Advantest Corporation Semiconductor device testing apparatus and its calibration method
FR2802302B1 (fr) * 1999-12-09 2002-02-15 Sagem Appareil de mesure de l'intensite du courant dans un conducteur
JP2002318267A (ja) * 2001-04-23 2002-10-31 Ando Electric Co Ltd Adコンバータ評価装置
US6504395B1 (en) * 2001-08-30 2003-01-07 Teradyne, Inc. Method and apparatus for calibration and validation of high performance DUT power supplies
EP1669768B1 (en) * 2003-09-09 2009-12-30 Advantest Corporation Calibration comparator circuit
KR101944468B1 (ko) * 2011-04-04 2019-04-30 삼성전자주식회사 컨텐츠를 보호하기 위한 방법, 호스트 장치, 저장 장치 및 기계로 읽을 수 있는 저장 매체
US9009517B2 (en) * 2011-11-16 2015-04-14 Infineon Technologies Ag Embedded voltage regulator trace
US8686884B2 (en) * 2012-08-15 2014-04-01 International Business Machines Corporation Testing of digital to analog converters in serial interfaces
JP6738236B2 (ja) * 2016-08-12 2020-08-12 東京エレクトロン株式会社 デバイス検査回路、デバイス検査装置及びプローブカード
US20210063488A1 (en) * 2019-08-28 2021-03-04 Tektronix, Inc. Signal path calibration of a hardware setting in a test and measurement instrument

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5184062A (en) * 1990-05-11 1993-02-02 Nicolet Instrument Corporation Dynamically calibrated trigger for oscilloscopes
JPH07183346A (ja) * 1993-12-24 1995-07-21 Matsushita Electric Ind Co Ltd 半導体テスト装置
JPH10232268A (ja) * 1997-02-20 1998-09-02 Advantest Corp 半導体試験装置用比較電圧源

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6690439B2 (en) 2000-12-26 2004-02-10 Lg. Philips Lcd Co., Ltd. Manufacturing method of cholesteric liquid crystal color filter
US6943616B2 (en) 2002-08-28 2005-09-13 Fujitsu Limited Semiconductor integrated circuit device, and adjustment method of semiconductor integrated circuit device
US7459960B2 (en) 2002-08-28 2008-12-02 Fujitsu Limited Semiconductor integrated circuit device, and adjustment method of semiconductor integrated circuit device

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