JPH1144521A - Shadow mask inspecting apparatus - Google Patents
Shadow mask inspecting apparatusInfo
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- JPH1144521A JPH1144521A JP20194497A JP20194497A JPH1144521A JP H1144521 A JPH1144521 A JP H1144521A JP 20194497 A JP20194497 A JP 20194497A JP 20194497 A JP20194497 A JP 20194497A JP H1144521 A JPH1144521 A JP H1144521A
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- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、３次元表面形状を
有するシャドウマスクのマスク面に設けられた無数の微
細穴を高精度かつ高速に検査するシャドウマスク検査装
置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a shadow mask inspection apparatus for inspecting a myriad of fine holes formed on a mask surface of a shadow mask having a three-dimensional surface shape with high accuracy and high speed.
【０００２】[0002]
【従来の技術】ＣＲＴなどのシャドウマスクのマスク面
には無数の微細穴が設けられている。2. Description of the Related Art An infinite number of fine holes are provided on a mask surface of a shadow mask such as a CRT.
【０００３】これらの微細穴の詰まりや穴径異常などの
欠陥を高精度かつ高速に検査するため、各種の自動検査
装置が開発されている。図５は、そのような従来のシャ
ドウマスク検査装置の一例における概略構成を示す模式
図である。[0003] Various automatic inspection apparatuses have been developed to inspect defects such as clogging of fine holes and abnormal diameters of holes with high accuracy and high speed. FIG. 5 is a schematic diagram showing a schematic configuration of an example of such a conventional shadow mask inspection apparatus.
【０００４】図５に示すように、従来のシャドウマスク
検査装置は、成形したシャドウマスク１を固定するホル
ダ２と、シャドウマスク１のマスク面１ａをライン状の
視野で観察するラインセンサカメラ５と、ラインセンサ
カメラ５のフォーカスを合わせるためのフォーカステー
ブル６と、フォーカステーブル６をラインセンサカメラ
５の光軸Ａ方向に移動させるフォーカステーブル駆動用
モータ７と、フォーカステーブル駆動用モータ７の動作
を制御するコントローラ８を具備している。As shown in FIG. 5, a conventional shadow mask inspection apparatus includes a holder 2 for fixing a formed shadow mask 1, a line sensor camera 5 for observing a mask surface 1a of the shadow mask 1 in a linear visual field. A focus table 6 for adjusting the focus of the line sensor camera 5, a focus table driving motor 7 for moving the focus table 6 in the optical axis A direction of the line sensor camera 5, and an operation of the focus table driving motor 7. A controller 8 is provided.
【０００５】従来のシャドウマスク検査装置は以下のよ
うに動作する。まず、マスク面１ａがラインセンサカメ
ラ５に対向するようにシャドウマスク１がホルダ２に固
定される。ついでコントローラ８からの指令によりフォ
ーカステーブル駆動用モータ７が駆動されてフォーカス
テーブルが光軸Ａ方向に移動され、これによってライン
センサカメラ５のフォーカスが合わせられる。そして、
ラインセンサカメラ５によりシャドウマスク１のマスク
面１ａが観察される。この観察結果に基づいて、マスク
面１ａに設けられた無数の微細穴の検査がなされる。[0005] A conventional shadow mask inspection apparatus operates as follows. First, the shadow mask 1 is fixed to the holder 2 such that the mask surface 1a faces the line sensor camera 5. Next, the focus table drive motor 7 is driven by a command from the controller 8 to move the focus table in the direction of the optical axis A, whereby the focus of the line sensor camera 5 is adjusted. And
The line sensor camera 5 observes the mask surface 1a of the shadow mask 1. Based on this observation result, an inspection of the myriad of fine holes provided on the mask surface 1a is performed.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】上記従来の構成では、
成形済シャドウマスク１のマスク面１ａは３次元表面形
状をなすため、マスク面１ａからラインセンサカメラ５
までの光路長が、中央部と両端部との間では大きく変化
し、ラインセンサカメラ５の視野内で、フォーカスが合
わない部分がある。また、たとえフォーカスが合った部
分でも、３次元表面形状のマスク面１ａでは、検査対象
である微細穴がラインセンサカメラ５の光軸Ａ方向から
見て歪んだような形状になってしまう。このため、成形
済シャドウマスク１のマスク面１ａの全面にわたり、正
確な微細穴の形状の検査ができないことがある。In the above-mentioned conventional configuration,
Since the mask surface 1a of the formed shadow mask 1 has a three-dimensional surface shape, the line sensor camera 5
The optical path length up to the center varies greatly between the center and both ends, and there is a part in the field of view of the line sensor camera 5 that is out of focus. Further, even in the focused portion, the fine hole to be inspected has a shape distorted when viewed from the optical axis A direction of the line sensor camera 5 on the mask surface 1a having the three-dimensional surface shape. Therefore, it may not be possible to accurately inspect the shape of the fine hole over the entire mask surface 1a of the formed shadow mask 1.
【０００７】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
であり、その主たる目的とするところは、シャドウマス
クのマスク面の全面にわたり、その微細穴を常に正確に
検査することができるシャドウマスク検査装置を提供す
ることである。The present invention has been made in view of the above circumstances, and a main object of the present invention is to provide a shadow mask inspection method capable of always accurately inspecting fine holes over the entire mask surface of a shadow mask. It is to provide a device.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本願発明は、成形済シャドウマスクのマスク面を観
察するラインセンサカメラと、前記ラインセンサカメラ
をその光軸方向に移動させてフォーカスを合わせるフォ
ーカス機構を具備したシャドウマスク検査装置におい
て、前記マスク面をラインセンサカメラの光軸方向と直
角の軸心まわりに相対回転させる回転機構と、前記回転
機構とフォーカス機構が同期して動作するように両機構
を制御するコントローラを具備してなることを特徴とす
るものである。 このような構成では、回転機構によ
り、シャドウマスクのマスク面がラインセンサカメラの
光軸方向と直角の軸心まわりに相対的に回転されるた
め、マスク面の全面にわたりラインセンサカメラの光軸
方向で観察することができる。このため、マスク面の微
細穴はシャドウマスクの成形形状に起因する歪の影響を
受けることなく本来の欠陥のみを検査できる。In order to achieve the above object, the present invention provides a line sensor camera for observing a mask surface of a molded shadow mask, and a method for moving the line sensor camera in the direction of its optical axis. In a shadow mask inspection apparatus provided with a focus mechanism for adjusting the rotation angle, a rotation mechanism for relatively rotating the mask surface around an axis perpendicular to the optical axis direction of the line sensor camera, and the rotation mechanism and the focus mechanism operate in synchronization. In this way, a controller for controlling both mechanisms is provided. In such a configuration, since the rotating mechanism rotates the mask surface of the shadow mask relatively around an axis perpendicular to the optical axis direction of the line sensor camera, the optical axis direction of the line sensor camera extends over the entire mask surface. Can be observed. For this reason, the fine holes on the mask surface can be inspected only for the original defect without being affected by the distortion caused by the molded shape of the shadow mask.
【０００９】また、コントローラにより、回転機構とフ
ォーカス機構が同期して動作するように制御されるた
め、回転機構によりマスク面が回転して、マスク面から
ラインセンサカメラまでの光路長が変化しても、フォー
カス機構によりこの光路長の変化に応じたフォーカス動
作が同時になされるため、マスク面の全面にわたりフォ
ーカスが常に合った状態で検査できる。Further, since the controller controls the rotation mechanism and the focus mechanism to operate in synchronization, the rotation mechanism rotates the mask surface, and the optical path length from the mask surface to the line sensor camera changes. Also, since the focusing mechanism simultaneously performs the focusing operation in accordance with the change in the optical path length, the inspection can be performed in a state where the entire surface of the mask surface is always in focus.
【００１０】具体的には、前記コントローラが、別途入
力された前記マスク面の形状に基づいて回転機構とフォ
ーカス機構の動作速度データを演算する演算部と、この
演算された各動作速度データを記憶する記憶部と、この
記憶された各動作速度データを所定の時間間隔でホルダ
回転駆動機構とフォーカス機構に同時に送信する送信部
とからなるものとすればよい。More specifically, the controller calculates the operation speed data of the rotation mechanism and the focus mechanism based on the separately input shape of the mask surface, and stores the calculated operation speed data. And a transmitter for simultaneously transmitting the stored operation speed data to the holder rotation drive mechanism and the focus mechanism at predetermined time intervals.
【００１１】その結果、シャドウマスクのマスク面の全
面にわたり、その微細穴を常に正確に検査することがで
きる。As a result, the fine holes can be always accurately inspected over the entire mask surface of the shadow mask.
【００１２】[0012]
【発明の実施の形態】以下、添付の図を参照して本発明
の実施の形態について説明し、本発明の理解に供する。
なお、以下の実施の形態は、本発明を具現化した例であ
って、本発明の技術的範囲を限定する性格のものではな
い。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings to provide an understanding of the present invention.
The following embodiments are examples in which the present invention is embodied, and do not limit the technical scope of the present invention.
【００１３】図１は、本実施の形態にかかるシャドウマ
スク検査装置の概略構成を示す模式図である。図１に示
すように、本実施の形態にかかるシャドウマスク検査装
置（以下、「本装置」という。）は、成形したシャドウ
マスク１を固定するホルダ２と、シャドウマスク１とホ
ルダ２を回転させる回転テーブル３と、回転テーブル３
を駆動する回転テーブル駆動用モータ４と、シャドウマ
スク１のマスク面１ａの凸面側に対向配備され、このマ
スク面１ａをライン状の視野で観察するラインセンサカ
メラ５と、ラインセンサカメラ５のフォーカスを合わせ
るためのフォーカステーブル６と、フォーカステーブル
６がラインセンサカメラ５の光軸Ａ方向に移動するよう
にこのフォーカステーブル６を駆動するフォーカステー
ブル駆動用モータ７と、回転テーブル駆動用モータ４と
フォーカステーブル駆動用モータ７が同期して動作する
ように制御するコントローラ８を具備している。このう
ち、回転テーブル３と回転テーブル駆動用モータ４が回
転機構を構成し、フォーカステーブル６とフォーカステ
ーブル駆動用モータ７がフォーカス機構を構成してい
る。また、回転テーブル３の回転軸Ｂの方向は、ライン
センサカメラ５の光軸Ａ方向と直角の方向とするが、こ
こでは説明の便宜上、図中の上下方向としている。な
お、ラインセンサカメラ５のラインセンサの長手方向が
上下方向にあることは云うまでもない。FIG. 1 is a schematic diagram showing a schematic configuration of a shadow mask inspection apparatus according to the present embodiment. As shown in FIG. 1, a shadow mask inspection apparatus according to the present embodiment (hereinafter, referred to as “this apparatus”) rotates a holder 2 for fixing a formed shadow mask 1 and rotates the shadow mask 1 and the holder 2. Rotary table 3 and rotary table 3
, A rotary table driving motor 4 for driving the mask, a line sensor camera 5 disposed opposite to the convex surface of the mask surface 1a of the shadow mask 1 for observing the mask surface 1a in a line-shaped visual field, and a focus of the line sensor camera 5 A focus table 6, a focus table driving motor 7 for driving the focus table 6 so that the focus table 6 moves in the direction of the optical axis A of the line sensor camera 5, a rotary table driving motor 4, A controller 8 for controlling the table driving motor 7 to operate in synchronization is provided. Of these, the rotary table 3 and the rotary table driving motor 4 constitute a rotating mechanism, and the focus table 6 and the focus table driving motor 7 constitute a focusing mechanism. Further, the direction of the rotation axis B of the turntable 3 is a direction perpendicular to the direction of the optical axis A of the line sensor camera 5, but here, for convenience of explanation, is the vertical direction in the figure. It goes without saying that the longitudinal direction of the line sensor of the line sensor camera 5 is in the vertical direction.
【００１４】図２は、コントローラ８のシステム構成図
である。図１および図２に示すように、コントローラ８
は、別途入力されたシャドウマスク１のマスク面１ａの
形状から回転テーブル３とフォーカステーブル６の移動
速度を計算するためのプログラムを記憶したＲＯＭ１１
と、このプログラムを実行するＣＰＵ１０と、ＣＰＵ１
０により計算された速度データを保存するＲＡＭ１２
と、ＣＰＵ１０に含まれ、ＲＡＭ１２より一定時間間隔
で速度データを保存するレジスタ１３と、ＣＰＵ１０よ
り回転テーブル駆動用モータ４とフォーカステーブル駆
動用モータ７に同時にパルス信号を発信するパルス発信
器１４と、各データおよび信号を授受するためのアドレ
スデータバス１５よりなる。このうち、ＣＰＵ１０とＲ
ＯＭ１１が演算部を構成し、ＲＡＭ１２とレジスタ１３
が記憶部を構成し、パルス発信器１４が送信部を構成し
ている。FIG. 2 is a system configuration diagram of the controller 8. As shown in FIG. 1 and FIG.
Is a ROM 11 storing a program for calculating the moving speed of the rotary table 3 and the focus table 6 from the separately input shape of the mask surface 1a of the shadow mask 1.
And a CPU 10 for executing the program,
RAM 12 for storing speed data calculated by 0
A register 13 included in the CPU 10 for storing speed data from the RAM 12 at regular time intervals, a pulse transmitter 14 for simultaneously transmitting a pulse signal from the CPU 10 to the rotary table driving motor 4 and the focus table driving motor 7, An address data bus 15 for transmitting and receiving data and signals. Of these, CPU 10 and R
The OM 11 forms an operation unit, and the RAM 12 and the register 13
Constitute a storage unit, and the pulse transmitter 14 constitutes a transmission unit.
【００１５】図３は、ＲＯＭ１１に記憶されているプロ
グラムによる処理手順を示すフロー図であり、このプロ
グラムを実行することにより本装置の動作が行なわれ
る。以下、本装置の動作について主として図３を参照し
て説明する。すなわち、図３に示すように、まず、適当
な入力装置（不図示）によりシャドウマスク１のマスク
面１ａの形状寸法、つまりワークサイズを設定する（ス
テップＳ１）。ついで、時間ｔi の時の回転テーブル３
の速度データＶθi 、フォーカステーブル６の速度デー
タＶχi をそれぞれ算出する（ステップＳ２）。FIG. 3 is a flowchart showing a processing procedure according to a program stored in the ROM 11, and the operation of the present apparatus is performed by executing this program. Hereinafter, the operation of the present apparatus will be mainly described with reference to FIG. That is, as shown in FIG. 3, first, the shape and size of the mask surface 1a of the shadow mask 1, ie, the work size, are set by an appropriate input device (not shown) (step S1). Next, the rotary table 3 at the time t i
The velocity data V [theta] i, the velocity data Vkai i of the focus table 6 respectively calculates (step S2).
【００１６】ここで、図４は、事前に記憶しておいたＲ
ＯＭ１１内のプログラムによる速度データの計算例を示
している。図４（ａ）においては、回転テーブル３の時
間ｔ1 ，…，ｔi ，ｔi+1 ，…と速度データ０，…，Ｖ
θi ，Ｖθi+1 ，…の関係１６を記述しており、これに
よりシャドウマスク１のマスク面１ａを全面にわたり走
査するときの回転速度の変化を表している。また、図４
（ｂ）においては、フォーカステーブル６の時間ｔ1 ，
…，ｔi ，ｔi+1 ，…と速度データ０，…，Ｖχi ，Ｖ
χi+1 ，…の関係１７を記述しており、回転テーブル３
の回転速度の変化に対応付けたフォーカステーブル６の
速度の変化を表している。これにより、回転テーブル３
の回転によるマスク面１ａからラインセンサカメラ５ま
での光路長の変化に応じてラインセンサカメラ５のフォ
ーカス合わせができる。さらに、図４（ａ）、（ｂ）に
は、各速度を設定する時間間隔△ｔ（＝ｔi+1 −ｔi ）
をそれぞれ記述している。FIG. 4 is a diagram showing the relationship between R and R stored in advance.
An example of calculation of speed data by a program in the OM 11 is shown. In FIG. 4A, the time t 1 ,..., T i , t i + 1 ,.
The relationship 16 of θ i , Vθ i + 1 ,... is described, and this shows the change in the rotation speed when scanning the entire mask surface 1 a of the shadow mask 1. FIG.
In (b), the time t 1 of the focus table 6,
..., t i , t i + 1 , ... and velocity data 0, ..., V ， i , V
関係 Describes the relationship 17 of i + 1 ,.
Represents the change in the speed of the focus table 6 associated with the change in the rotation speed of the focus table 6. Thereby, the rotary table 3
The focus of the line sensor camera 5 can be adjusted in accordance with the change in the optical path length from the mask surface 1a to the line sensor camera 5 due to the rotation of Further, FIGS. 4A and 4B show a time interval Δt (= t i + 1 −t i ) for setting each speed.
Are described respectively.
【００１７】このように上記プログラムで計算した速度
データＶθi ，Ｖχi から、再び図３に示すように、時
間間隔△ｔごとに、速度データＶθi ，Ｖχi をＲＡＭ
１２へセットする（ステップＳ３）。From the velocity data Vθ i , Vχ i calculated by the above program, the velocity data Vθ i , Vχ i are stored in the RAM at every time interval Δt, as shown in FIG. 3 again.
It is set to 12 (step S3).
【００１８】ついで、速度データＶθi ，Ｖχi をＲＡ
Ｍ１２から読み出し、この速度データＶθi ，Ｖχi を
一定時間間隔のパルス信号としてレジスタ１３にセット
する（ステップＳ４）。このパルス信号を、パルス発信
器１４から回転テーブル駆動用モータ４とフォーカステ
ーブル駆動用モータ７に同時に発信し、これにより回転
テーブル３とフォーカステーブル６を同時に時間間隔△
ｔ分だけ移動させる（ステップＳ５）。Next, the speed data Vθ i , Vχ i are stored in RA
Read from M12, to set the velocity data V [theta] i, the register 13 Vkai i as a pulse signal of a fixed time interval (step S4). This pulse signal is simultaneously transmitted from the pulse transmitter 14 to the rotary table driving motor 4 and the focus table driving motor 7, thereby simultaneously rotating the rotary table 3 and the focus table 6 at the time interval △.
It is moved by t (step S5).
【００１９】そして、速度データが最後になるまで、前
記ステップＳ４およびステップＳ５を繰り返す（ステッ
プＳ６）。Steps S4 and S5 are repeated until the speed data reaches the end (step S6).
【００２０】以上により、本装置によれば、回転テーブ
ル駆動用モータ４で駆動される回転テーブル３により、
シャドウマスク１のマスク面１ａがラインセンサカメラ
５の光軸Ａ方向と直角の軸心まわりに回転させられるた
め、マスク面１ａの全面にわたりラインセンサカメラ５
の光軸Ａ方向で観察することができる。このため、マス
ク面１ａの微細穴はシャドウマスク１の成形形状に起因
する歪の影響を受けることなく本来の欠陥のみを検査で
きる。As described above, according to the present apparatus, the rotary table 3 driven by the rotary table driving motor 4
Since the mask surface 1a of the shadow mask 1 is rotated around an axis perpendicular to the direction of the optical axis A of the line sensor camera 5, the line sensor camera 5 extends over the entire mask surface 1a.
Can be observed in the direction of the optical axis A. For this reason, the fine holes in the mask surface 1a can be inspected only for the original defect without being affected by the distortion caused by the shape of the shadow mask 1.
【００２１】また、コントローラ８により、回転テーブ
ル駆動用モータ４と、フォーカステーブル駆動用モータ
７が同期して動作するように制御されるため、回転テー
ブル３によりマスク面１ａが回転させられて、マスク面
１ａからラインセンサカメラ５までの光路長が変化して
も、フォーカステーブル駆動用モータ７で駆動されるフ
ォーカステーブル６によりこの光路長の変化に応じたフ
ォーカス動作が同時になされるため、マスク面１ａの全
面にわたりフォーカスが常に合った状態で検査できる。Further, since the controller 8 controls the rotary table driving motor 4 and the focus table driving motor 7 to operate synchronously, the rotary table 3 rotates the mask surface 1a, and Even if the optical path length from the surface 1a to the line sensor camera 5 changes, the focus table 6 driven by the focus table driving motor 7 simultaneously performs a focus operation according to the change in the optical path length. Inspection can be performed in a state where the focus is always adjusted over the entire surface of the device.
【００２２】その結果、シャドウマスク１のマスク面１
ａの全面にわたり、その微細穴を常に正確に検査するこ
とができる。As a result, the mask surface 1 of the shadow mask 1
The microholes can always be inspected accurately over the entire surface of a.
【００２３】なお、上記実施の形態では、シャドウマス
ク１のマスク面１ａの凸面側にラインセンサカメラ５を
対向配備しているが、逆に、マスク面１ａの凹面側にラ
インセンサカメラ５を対向配備してもよい。また、上記
実施の形態では、シャドウマスク１のマスク面１ａの回
転軸の方向を上下方向に設定しているが、ラインセンサ
カメラ５の光軸Ａと直角の方向であれば、任意の方向と
してもよい。また、上記実施の形態では、シャドウマス
ク１のマスク面１ａを回転させたが、シャドウマスク１
のマスク面１ａを固定し、ラインセンサカメラ５をその
まわりに回転させてもよい。要は、マスク面１ａをライ
ンセンサカメラ５に対して相対的に回転させればよく、
この場合は、回転機構とフォーカス機構はいずれもライ
ンセンサカメラ５側に設けられることになる。In the above-described embodiment, the line sensor camera 5 is provided so as to face the convex surface of the mask surface 1a of the shadow mask 1. On the contrary, the line sensor camera 5 faces the concave surface of the mask surface 1a. May be deployed. Further, in the above embodiment, the direction of the rotation axis of the mask surface 1a of the shadow mask 1 is set in the up-down direction, but any direction as long as it is perpendicular to the optical axis A of the line sensor camera 5 is set. Is also good. In the above embodiment, the mask surface 1a of the shadow mask 1 is rotated.
May be fixed, and the line sensor camera 5 may be rotated therearound. In short, what is necessary is just to rotate the mask surface 1a relatively to the line sensor camera 5,
In this case, both the rotation mechanism and the focus mechanism are provided on the line sensor camera 5 side.
【００２４】[0024]
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、シャドウマスクのマスク面の微細穴はシャド
ウマスクの成形形状に起因する歪の影響を受けることな
く本来の欠陥のみを検査できる。また、シャドウマスク
のマスク面の全面にわたりフォーカスが常に合った状態
で検査できる。その結果、シャドウマスクのマスク面の
全面にわたり、その微細穴を常に正確に検査することが
できる。As is apparent from the above description, according to the present invention, the fine holes on the mask surface of the shadow mask are inspected for only the original defects without being affected by the distortion caused by the shape of the shadow mask. it can. In addition, the inspection can be performed in a state where the entire mask surface of the shadow mask is always in focus. As a result, the fine holes can be always accurately inspected over the entire mask surface of the shadow mask.
【図１】本発明の実施の形態にかかるシャドウマスク検
査装置の概略構成を示す模式図である。FIG. 1 is a schematic diagram showing a schematic configuration of a shadow mask inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.
【図２】本装置のコントローラのシステム構成図であ
る。FIG. 2 is a system configuration diagram of a controller of the present apparatus.
【図３】本装置のコントローラ内のプログラムによる動
作手順を示すフロー図である。FIG. 3 is a flowchart showing an operation procedure according to a program in a controller of the apparatus.
【図４】本装置のＲＯＭに記憶された速度データの一例
を示す説明図である。FIG. 4 is an explanatory diagram showing an example of speed data stored in a ROM of the apparatus.
【図５】従来の一例におけるシャドウマスク検査装置の
概略構成を示す模式図である。FIG. 5 is a schematic diagram showing a schematic configuration of a shadow mask inspection apparatus according to a conventional example.
１ シャドウマスク ２ ホルダ ３ 回転テーブル（回転機構） ４ 回転テーブル駆動用モータ（回転機構） ５ ラインセンサカメラ ６ フォーカステーブル（フォーカス機構） ７ フォーカステーブル駆動用モータ（フォーカス機
構） ８ コントローラ １０ ＣＰＵ（演算部） １１ ＲＯＭ（演算部） １２ ＲＡＭ（記憶部） １３ レジスタ（記憶部） １４ パルス発信器（発信部） １５ アドレスデータバスReference Signs List 1 shadow mask 2 holder 3 rotary table (rotary mechanism) 4 rotary table drive motor (rotary mechanism) 5 line sensor camera 6 focus table (focus mechanism) 7 focus table drive motor (focus mechanism) 8 controller 10 CPU (calculation unit) 11) ROM (arithmetic unit) 12 RAM (storage unit) 13 register (storage unit) 14 pulse oscillator (oscillation unit) 15 address data bus
Claims (2)
するラインセンサカメラと、前記ラインセンサカメラを
その光軸方向に移動させてフォーカスを合わせるフォー
カス機構を具備したシャドウマスク検査装置において、 前記マスク面をラインセンサカメラの光軸方向に直角の
軸心まわりに相対回転させる回転機構と、前記回転機構
とフォーカス機構が同期して動作するように両機構を制
御するコントローラを具備してなることを特徴とするシ
ャドウマスク検査装置。1. A shadow mask inspection apparatus comprising: a line sensor camera for observing a mask surface of a shaped shadow mask; and a focus mechanism for moving the line sensor camera in an optical axis direction to focus. A rotation mechanism for relatively rotating the optical axis about an axis perpendicular to the optical axis direction of the line sensor camera, and a controller for controlling both mechanisms so that the rotation mechanism and the focus mechanism operate in synchronization. Shadow mask inspection equipment.
記マスク面の形状に基づいて回転機構とフォーカス機構
の動作速度データを演算する演算部と、この演算された
各動作速度データを記憶する記憶部と、この記憶された
各動作速度データを所定の時間間隔でホルダ回転駆動機
構とフォーカス機構に同時に送信する送信部とからなる
請求項１記載のシャドウマスク検査装置。2. An arithmetic unit for calculating operation speed data of a rotation mechanism and a focus mechanism based on a separately input shape of the mask surface, and a storage unit for storing the calculated operation speed data. 2. The shadow mask inspection apparatus according to claim 1, further comprising: a transmission unit for simultaneously transmitting the stored operation speed data to the holder rotation drive mechanism and the focus mechanism at predetermined time intervals.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20194497A JP3811261B2 (en) | 1997-07-28 | 1997-07-28 | Shadow mask inspection system |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20194497A JP3811261B2 (en) | 1997-07-28 | 1997-07-28 | Shadow mask inspection system |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1144521A true JPH1144521A (en) | 1999-02-16 |
| JP3811261B2 JP3811261B2 (en) | 2006-08-16 |
Family
ID=16449371
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| JP20194497A Expired - Fee Related JP3811261B2 (en) | 1997-07-28 | 1997-07-28 | Shadow mask inspection system |
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|---|---|
| JP (1) | JP3811261B2 (en) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN107193321A (en) * | 2017-05-25 | 2017-09-22 | 中国铁道科学研究院 | Handle type position control based on image recognition |
| CN107478413A (en) * | 2017-08-23 | 2017-12-15 | 信利光电股份有限公司 | A kind of angle of view test device |
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1997
- 1997-07-28 JP JP20194497A patent/JP3811261B2/en not_active Expired - Fee Related
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