JPH1142730A - Thermal conductivity interface for electronic device - Google Patents

Thermal conductivity interface for electronic device

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JPH1142730A
JPH1142730A JP9189542A JP18954297A JPH1142730A JP H1142730 A JPH1142730 A JP H1142730A JP 9189542 A JP9189542 A JP 9189542A JP 18954297 A JP18954297 A JP 18954297A JP H1142730 A JPH1142730 A JP H1142730A
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JP
Japan
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thermally conductive
conductive interface
mechanically compliant
compliant
interface
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JP9189542A
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Japanese (ja)
Inventor
E Burgerson Steven
イー.バーガーソン スチーブン
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Bergquist Co Inc
Original Assignee
Bergquist Co Inc
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Publication date
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Publication of JPH1142730A publication Critical patent/JPH1142730A/en
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/0001Technical content checked by a classifier
    • H01L2924/0002Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00

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  • Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)
  • Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
  • Silicon Polymers (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide interface, which has excellent mechanical, electrical, thermal, and chemical characteristics, and can be assembled in low pressure flow by constructing a laminated sheet having specified outer layers arranged on both sides of a specified base. SOLUTION: Thermal conductivity interface having mechanical adaptability is composed of a laminated sheet having outer layers arranged on both sides of a base, which is selected from a layer group comprising glass fiber, aluminum foil, expanded metal, polyimide, or polyester. The outer layers have construction represented by a formula (R1 is selected from a group composed of a hydrogen, hydroxyl, or methyl group, and x is an integer having 1-1,000 value), and are composed of organosiloxane having approximately 10-10,000 centipoise viscosity, and poly-dimethyl siloxane having, for example, a hydrogenated end. And they are constructed of reactive product composed of a mixture with a dihydryl aliphatic chain extender having approximately 10-10,000 centipoise viscosity. The reactive product is filled with fine particle solid of approximately 10-60% amount in volume, and the rest is the reactive product.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は1995年5月19
日に出願された「電子装置用熱伝導性インタフェース」
と称する出願番号第08/445,048号の一部継続
出願である。
[0001] The present invention relates to the present invention on May 19, 1995.
"Thermal Conductive Interface for Electronic Devices"
No. 08 / 445,048.

【0002】本発明は一般に印刷回路板をヒートシン
ク、金属シャーシー、またはヒートスプレッダーに電気
的に絶縁する及び熱で結合するために使用する機械的順
応性ある熱伝導性インタフェースに関する。本発明のイ
ンタフェース材料は非常に望ましい電気的および機械的
諸特性を有し、そして熱が装置からフレーム、シャーシ
ー、ヒートスプレッダー、またはその他の支持体表面へ
伝導することを必要とする実際上すべての電子装置の組
み立てに使用される事ができる。
The present invention generally relates to a mechanically compliant, thermally conductive interface used to electrically insulate and thermally couple a printed circuit board to a heat sink, metal chassis, or heat spreader. The interface materials of the present invention have very desirable electrical and mechanical properties, and practically all of the materials that require heat to be conducted from the device to the frame, chassis, heat spreader, or other support surface. Can be used to assemble electronic devices.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】過去において、いろい
ろな機械的順応性ある熱伝導性インタフェースの考案
が、フレーム、シャーシー、ヒートスプレッダーなどの
ヒートシンクから電子装置を絶縁するために提案され
た。これらのインタフェースはかなり有用でありそして
かなり満足なものであったが、本発明の配合物は極めて
良好な機械的特性、優れた電気的特性、および格別な熱
的ならびに化学的特性と組み合わせる適合性の見地から
幾多の利点を提供する。これらの利点は制御された分子
量のシリコーンの使用のおかげで、また場合により感圧
接着剤層の表面被覆の使用により役立たせることができ
る。かくして、本発明の熱的インタフェースの仕組み
は、機械的、電気的、熱的および化学的諸特性を害した
り犠牲にしたりまたはさもなくば妨げたりすることなし
に組み立ての相対的配置に一致させるため低圧流動によ
る組み立てを可能にする。
In the past, various mechanically compliant, thermally conductive interface devices have been proposed to insulate electronic devices from heat sinks such as frames, chassis, heat spreaders, and the like. While these interfaces have been fairly useful and quite satisfactory, the formulations of the present invention have very good mechanical properties, good electrical properties, and compatibility with exceptional thermal and chemical properties Offers a number of advantages in terms of These advantages can be benefited by the use of controlled molecular weight silicones and, optionally, by the use of a surface coating of the pressure sensitive adhesive layer. Thus, the thermal interface scheme of the present invention matches the relative positioning of the assembly without harming, sacrificing or otherwise impeding the mechanical, electrical, thermal and chemical properties. Enables assembly by low pressure flow.

【0004】[0004]

【課題を解決するための手段】本発明の熱伝導性インタ
フェース材料は、熱伝導性の電気的絶縁性微粒子、例え
ば、アルミナおよび窒化ホウ素、により充填された非常
に順応性あるシリコーンポリマーから成る部材を含む。
そのシリコーンはつぎの構造式
SUMMARY OF THE INVENTION A thermally conductive interface material of the present invention is a member comprising a highly compliant silicone polymer filled with thermally conductive electrically insulating particulates, such as alumina and boron nitride. including.
The silicone has the following structural formula

【化3】 (式中R1 は水素、ヒドロキシルまたはメチル基から成
る群より選択され、また式中xは1〜1000の値を有
する整数を表す)を有する慣用のオルガノシロキサンで
ある。
Embedded image Wherein R 1 is selected from the group consisting of hydrogen, hydroxyl or methyl groups, and wherein x represents an integer having a value from 1 to 1000, which is a conventional organosiloxane.

【0005】典型的には、前記材料は上記の構造の液体
オルガノシロキサンと、次の構造式
Typically, the material comprises a liquid organosiloxane of the above structure and the following structural formula

【化4】 (式中R2 は水素、メチルまたはヒドロキシ基のいずれ
かを表し、また式中yは1〜1000の値を有する整数
を表す)を有する水素化物末端のポリジメチルシロキサ
ン材料のような連鎖延長剤との反応生成物として製造さ
れる。
Embedded image A chain extender, such as a hydride terminated polydimethylsiloxane material, having the formula wherein R 2 represents either a hydrogen, methyl or hydroxy group and y represents an integer having a value from 1 to 1000. Produced as a reaction product with

【0006】このタイプの連鎖延長剤をオルガノシロキ
サンのポリマーの分子量を調節するために使用すること
は、勿論、よく知られている。また、それらの材料を反
応させるための方法および技術は当業者に周知であり、
そして一般にそれらの材料を混合することおよび白金触
媒と硬化抑制剤、例えば環式ビニルシロキサン、の存在
で120℃に約5分間加熱することから成る。
The use of chain extenders of this type for controlling the molecular weight of organosiloxane polymers is, of course, well known. Also, methods and techniques for reacting those materials are well known to those skilled in the art,
And generally comprises mixing the materials and heating to 120 ° C. for about 5 minutes in the presence of a platinum catalyst and a cure inhibitor such as a cyclic vinyl siloxane.

【0007】その他の種類の材料は次の式Other types of materials have the formula

【化5】 (式中xのyに対するモル比は10%より100%まで
変わることがある)のようなコポリマーを使用する。ヒ
ドロメチルシロキサンとジメチルシロキサンのコポリマ
ーが知られている。この種類の材料は加橋剤として働
く。その他の型の材料に含まれるものは、例えば、次式
Embedded image (Where the molar ratio of x to y can vary from 10% to 100%). Copolymers of hydromethylsiloxane and dimethylsiloxane are known. This type of material acts as a crosslinking agent. Other types of materials include, for example,

【化6】 のような三官能価および四官能価ヒドロシロキサンであ
る。
Embedded image And trifunctional and tetrafunctional hydrosiloxanes.

【0008】前記のポリマー材料のための適当な担体と
して、これもまた良好な機械的、電気的、および熱的諸
特性を有する担体を与えるために、ガラス繊維の層が用
いられることがあり、そしてそれはこの用途によく適し
ている。約1〜4オンス/平方ヤードの密度を有するガ
ラス繊維が、好ましくは3ミルの厚さを有する担体で使
用されることがある。
[0008] As a suitable carrier for the above-mentioned polymer materials, a layer of glass fibers may be used, again to give a carrier having good mechanical, electrical and thermal properties, And it is well suited for this application. Glass fibers having a density of about 1 to 4 ounces / square yard may be used in carriers having a thickness of preferably 3 mils.

【0009】実際の使用の際に、本発明の完成された熱
伝導性インタフェース材料は20ミル〜500ミルの範
囲内の厚さを有することが好ましく、そしてこの範囲の
厚さにより実質上全般的な使用を可能にする望ましい全
体にわたる熱抵抗を与え、同様にそのインタフェースの
ために適当な順応性を与える。電気的諸特性は、勿論、
上限に近い厚さで強められるが、しかし、材料の破壊電
圧は十分に高いので、約125ミルまで及びそれ以上に
わたる厚さの使用を可能ならしめる。ある用途において
は、約15ミル程の少ない厚さを有する材料が使用され
ることがあり、また他のある用途のためには、その場合
操作条件は利用できる熱抵抗が十分に低いので約500
ミルにまでにわたる厚さを許す。
[0009] In practical use, the finished thermally conductive interface material of the present invention preferably has a thickness in the range of 20 mils to 500 mils, and a thickness in this range will result in a substantially overall thickness. It provides the desired overall thermal resistance to allow for efficient use, as well as providing adequate compliance for the interface. Electrical properties, of course,
A thickness near the upper limit is enhanced, but the breakdown voltage of the material is high enough to allow the use of thicknesses up to about 125 mils and beyond. In some applications, materials having thicknesses as low as about 15 mils may be used, and for some other applications, the operating conditions may be about 500
Allows thickness up to the mill.

【0010】その他の担体も使用されることがあり、そ
れらは1ミル〜10ミルの厚さにおいてさまざまなアル
ミニウム箔を含む。例えば、KaptonTMのようなポ
リイミド(アミド)フィルムは1ミル〜3ミルの厚さで
使用されることがある。1ミル〜10ミルの範囲の厚さ
のポリエステルフィルムもまた役立つと判ることもあ
る。前記組成物はまたいろいろな形に射出成形されるこ
ともあり、またはその代わりに、強化材と共にまたはな
しにシートにプレス成形されることもある。
[0010] Other supports may also be used, including various aluminum foils in thicknesses of 1 mil to 10 mils. For example, a polyimide (amide) film such as Kapton may be used at a thickness of 1 mil to 3 mils. Polyester films ranging in thickness from 1 mil to 10 mils may also prove useful. The composition may also be injection molded into various shapes, or alternatively, may be pressed into sheets with or without reinforcement.

【0011】ある用途においては、主な表面の片面また
は両面上に感圧接着剤の被覆を与えることが望ましい。
本質的にポリジメチルシロキサンから成る感圧接着剤が
適当に使用されてよい。これらの用途のあるものでは、
実際の最終的使用または組み立て作業に先立って熱伝導
性インタフェース材料の取扱いを容易にするため剥離フ
ィルムを利用することが望ましいことがある。
In some applications, it may be desirable to provide a pressure sensitive adhesive coating on one or both major surfaces.
A pressure-sensitive adhesive consisting essentially of polydimethylsiloxane may suitably be used. In some of these applications,
It may be desirable to utilize a release film to facilitate handling of the thermally conductive interface material prior to actual end use or assembly operations.

【0012】本発明の特徴は以下の明細書、添付の特許
請求の範囲および付属の図面の一覧によりさらに十分と
理解されるであろう。
[0012] The features of the present invention will be more fully understood from the following specification, appended claims and appended drawings.

【0013】[0013]

【発明の実施の形態】本発明の好ましい実施態様によれ
ば、機械的順応性ある熱伝導性インタフェース材料また
はパッドはガラス繊維担体を使用し、そしてその担体の
両側に配置されているその順応性材料の層により製造さ
れる。前記順応性ある材料はアルミナと窒化ホウ素およ
びそれらの混合物から成る群より選択される特定の充填
物を添加された圧縮するまたは圧縮できるシリコーンポ
リマーから成る。もし望ましければ、そしてある種の用
途には、その二つの主な表面のいずれかの上に、感圧接
着剤が使用されることがあり、そしてその感圧接着剤に
よりある種の用途および状態において組み立ておよび製
造を容易にすることがある。
In accordance with a preferred embodiment of the present invention, the mechanically compliant, thermally conductive interface material or pad uses a fiberglass carrier, and its compliant material disposed on both sides of the carrier. Manufactured by layers of material. The compliant material comprises a compressible or compressible silicone polymer loaded with a specific filler selected from the group consisting of alumina and boron nitride and mixtures thereof. If desired, and for certain applications, a pressure sensitive adhesive may be used on either of the two main surfaces, and the pressure sensitive adhesive may be used for certain applications and The condition may facilitate assembly and manufacture.

【0014】実施例 本発明の機械的順応性ある熱伝導性インタフェース材料
は以下に記載の特定の例に従って製造されることができ
る。
EXAMPLES The mechanically compliant, thermally conductive interface material of the present invention can be manufactured according to the specific examples described below.

【0015】例 1 構造式 EXAMPLE 1 Structural formula

【化7】 を有し、式中R1 はメチル基を表すオルガノシロキサン
が選択され、そしてその材料は液体であって1000セ
ンチポアズの粘度を有する。この材料を本質的に水素化
物を末端とするポリジメチルシロキサンから成りそして
500センチポイズの粘度を有するジヒドロール脂肪族
連鎖延長剤と混合する。そのような連鎖延長剤は、勿
論、市場で入手できる。
Embedded image Wherein R 1 represents a methyl group, and the material is liquid and has a viscosity of 1000 centipoise. This material is mixed with a dihydrol aliphatic chain extender consisting essentially of hydride terminated polydimethylsiloxane and having a viscosity of 500 centipoise. Such chain extenders are, of course, commercially available.

【0016】それらの反応物を混合してから、本質的に
白金酸のジビニル付加物から成る触媒を約25ppm添
加した。その材料を、中央の位置にガラス繊維の担体が
配置されている容器の中に入れた。それからその混合物
を150℃で10分間硬化させた。ガラス繊維担体は2
オンス/平方ヤードの密度と4ミルの厚さを有してい
た。本質的にポリジメチルシロキサンから成る感圧接着
剤の層をその上の表面に塗った。この接着剤の薄膜はシ
リコーンと相容性があるのでその表面に結合する。それ
からその複合材料は、注文のまたは一般の用途のため要
求されることのある切断またはその他の加工のため準備
される。ポリエチレンから成る剥離フィルムが典型的に
下表面層として用いられ、そして、勿論、必要な期間そ
の順応性ある熱伝導性インタフェースと共に留まること
になる。完成したときその複合材料の全体の厚さは80
ミルであった。
After mixing the reactants, about 25 ppm of a catalyst consisting essentially of a divinyl adduct of platinic acid was added. The material was placed in a container in which the glass fiber carrier was located in a central position. The mixture was then cured at 150 ° C. for 10 minutes. Glass fiber carrier is 2
It had a density of ounces / square yard and a thickness of 4 mils. A layer of pressure-sensitive adhesive consisting essentially of polydimethylsiloxane was applied to the surface thereon. The adhesive film is compatible with the silicone and bonds to its surface. The composite is then prepared for cutting or other processing that may be required for custom or general use. A release film made of polyethylene is typically used as the lower surface layer and will, of course, stay with the flexible thermally conductive interface for as long as necessary. When completed, the overall thickness of the composite is 80
It was a mill.

【0017】例 2 例1のオルガノシロキサンを、本質的に水素化物を末端
とするポリジメチルシロキサンから成りそして100セ
ンチポイズの粘度を有する連鎖延長剤と共に使用した。
加工条件は例1と同じであり、そして機械的順応性ある
熱伝導性インタフェース材料がそれから形成された。こ
の材料に約5ミクロンの平均粒径を有する本質的にアル
ミナから成る微粒子固体を充填した。その複合体は29
重量%のアルミナを含み、残部はポリマーである。その
ような材料は、勿論、市場で入手できる。全体の厚さは
25ミルである。
Example 2 The organosiloxane of Example 1 was used with a chain extender consisting essentially of hydride terminated polydimethylsiloxane and having a viscosity of 100 centipoise.
The processing conditions were the same as in Example 1, and a mechanically compliant thermally conductive interface material was formed therefrom. This material was filled with a particulate solid consisting essentially of alumina having an average particle size of about 5 microns. The complex is 29
% Alumina by weight, with the balance being polymer. Such materials are, of course, commercially available. The total thickness is 25 mil.

【0018】例 3 構造式 Example 3 Structural formula

【化8】 を有し、式中R1 がメチル基を表すオルガノシロキサン
が選択され、そしてその材料は液体であって100セン
チポアズの粘度を有する。この材料を本質的に水素化物
を末端とするポリジメチルシロキサンから成るジヒドリ
ル脂肪族連鎖延長剤と混合する。そのような連鎖延長剤
は、勿論、市場で入手できる。
Embedded image Wherein R 1 represents a methyl group, and the material is liquid and has a viscosity of 100 centipoise. This material is mixed with a dihydryl aliphatic chain extender consisting essentially of hydride terminated polydimethylsiloxane. Such chain extenders are, of course, commercially available.

【0019】それらの反応物を混合してから、約25p
pmの本質的に白金から成る触媒を添加し、そしてその
材料を中央のガラス繊維担体が配置されている容器の中
に入れた。それからその混合物を150℃で10分間硬
化させた。ガラス繊維担体は2オンス/平方ヤードの密
度と4ミルの厚さを有していた。本質的にポリジメチル
シロキサンから成る感圧接着剤の層をその上の表面に塗
った。この接着剤の薄膜はシリコーンと相容性があるの
でその表面に結合する。それからその複合材料は、特注
のまたは一般の用途のため要求されることのある切断ま
たはその他の加工のため準備される。ポリエチレンから
成る剥離フィルムが典型的に下表面層として用いられ、
そして、勿論、必要に応じその順応性ある熱伝導性イン
タフェースと共に留まることになる。完成したときその
複合材料の全体の厚さは125ミルであった。
After the reactants have been mixed,
pm of a catalyst consisting essentially of platinum was added and the material was placed in a container in which the central glass fiber carrier was located. The mixture was then cured at 150 ° C. for 10 minutes. The glass fiber carrier had a density of 2 oz / square yard and a thickness of 4 mils. A layer of pressure-sensitive adhesive consisting essentially of polydimethylsiloxane was applied to the surface thereon. The adhesive film is compatible with the silicone and bonds to its surface. The composite is then prepared for cutting or other processing that may be required for custom or general use. A release film composed of polyethylene is typically used as the lower surface layer,
And, of course, will stay with the flexible thermal interface as needed. When completed, the overall thickness of the composite was 125 mils.

【0020】例 4 構造式 EXAMPLE 4 Structural formula

【化9】 を有し、式中R1 がメチル基を表す比較的大きい分子量
のオルガノシロキサンが選択され、そしてその材料は液
体であって500センチポアズの粘度を有する。この材
料を本質的に水素化物を末端とするポリジメチルシロキ
サンから成るジヒドロキシ脂肪族連鎖延長剤と混合す
る。そのような連鎖延長剤は、勿論、市場で入手でき
る。
Embedded image A relatively high molecular weight organosiloxane is selected, wherein R 1 represents a methyl group, and the material is liquid and has a viscosity of 500 centipoise. This material is mixed with a dihydroxy aliphatic chain extender consisting essentially of hydride terminated polydimethylsiloxane. Such chain extenders are, of course, commercially available.

【0021】それらの反応物を混合してから、約25p
pmの本質的に白金から成る触媒を添加し、そしてその
材料を中央のガラス繊維担体が配置されている容器の中
に入れた。それからその混合物を150℃で10分間硬
化させた。ガラス繊維担体は2オンス/平方ヤードの密
度と80ミルの厚さを有していた。本質的にポリジメチ
ルシロキサンから成る感圧接着剤の層をその上の表面に
塗った。この接着剤の薄膜はシリコーンと相容性がある
のでその表面に結合する。それからその複合材料は、特
注のまたは一般の用途のため要求されることのある切断
またはその他の加工のため準備される。ポリプロピレン
から成る剥離フィルムが典型的に下面層として用いら
れ、そして、勿論、必要に応じその順応性ある熱伝導性
インタフェースと共に留まることになる。
After the reactants have been mixed,
pm of a catalyst consisting essentially of platinum was added and the material was placed in a container in which the central glass fiber carrier was located. The mixture was then cured at 150 ° C. for 10 minutes. The glass fiber carrier had a density of 2 ounces per square yard and a thickness of 80 mils. A layer of pressure-sensitive adhesive consisting essentially of polydimethylsiloxane was applied to the surface thereon. The adhesive film is compatible with the silicone and bonds to its surface. The composite is then prepared for cutting or other processing that may be required for custom or general use. A release film of polypropylene is typically used as the bottom layer and will, of course, remain with its conformable thermally conductive interface if desired.

【0022】例 5 構造式 EXAMPLE 5 Structural formula

【化10】 を有し、式中R1 がメチル基を表す比較的低い分子量の
オルガノシロキサンが選択され、そしてその材料は液体
であって10センチポアズの粘度を有する。この材料を
本質的に水素化物を末端とするポリジメチルシロキサン
から成るジヒドロキシ脂肪族連鎖延長剤と混合する。そ
のような連鎖延長剤は、勿論、市場で入手できる。
Embedded image And a relatively low molecular weight organosiloxane wherein R 1 represents a methyl group, and the material is liquid and has a viscosity of 10 centipoise. This material is mixed with a dihydroxy aliphatic chain extender consisting essentially of hydride terminated polydimethylsiloxane. Such chain extenders are, of course, commercially available.

【0023】それらの反応物を混合してから、約25p
pmの本質的に白金から成る触媒を添加し、そしてその
材料を中央のガラス繊維担体が配置されている容器の中
に入れた。それからその混合物を150℃で10分間硬
化させた。ガラス繊維担体は2オンス/平方ヤードの密
度と40ミルの厚さを有していた。本質的にポリジメチ
ルシロキサンから成る感圧接着剤の層をその上の表面に
塗った。この接着剤の薄膜はシリコーンと相容性がある
のでその表面に結合する。それからその複合材料は、特
注のまたは一般の用途のため要求されることのある切断
またはその他の加工のため準備される。ポリエチレンか
ら成る剥離フィルムが典型的に下表面層として用いら
れ、そして、勿論、必要に応じその順応性ある熱伝導性
インタフェースと共に留まることになる。
After the reactants have been mixed,
pm of a catalyst consisting essentially of platinum was added and the material was placed in a container in which the central glass fiber carrier was located. The mixture was then cured at 150 ° C. for 10 minutes. The glass fiber carrier had a density of 2 ounces per square yard and a thickness of 40 mils. A layer of pressure-sensitive adhesive consisting essentially of polydimethylsiloxane was applied to the surface thereon. The adhesive film is compatible with the silicone and bonds to its surface. The composite is then prepared for cutting or other processing that may be required for custom or general use. A release film of polyethylene is typically used as the lower surface layer and will, of course, remain with its conformable thermally conductive interface if desired.

【0024】完成された製品の代表的特性 上記のように、本発明の機械的順応性ある熱伝導性イン
タフェース材料の機械的、電気的、熱的および化学的諸
特性は優秀であることが判った。負荷された力に対する
圧縮の例を図3に示すが、そこでこの曲線は加えられて
いるいろいろな負荷力により発揮される望ましいおよび
予測できる圧縮を例示している。その他の特性に関し
て、表I,IIおよびIII は重要であると思われる。これ
らの表を下に示す。
Representative Properties of the Finished Product As noted above, the mechanically compliant, thermally conductive interface material of the present invention has been found to have excellent mechanical, electrical, thermal and chemical properties. Was. An example of compression versus applied force is shown in FIG. 3, where this curve illustrates the desired and predictable compression exerted by the various applied loading forces. With respect to other properties, Tables I, II and III appear to be important. These tables are shown below.

【0025】[0025]

【表1】 表 I 代表的な電気特性 破壊電圧:厚さ(インチ) ボルトAC 試験法 0.20 7000 ASTM D−149 0.050 10000 ASTM D−149 0.060 12000 ASTM D−149 0.080 20000以上 ASTM D−149 0.125 20000以上 ASTM D−149TABLE I Representative electrical properties Breakdown voltage: thickness (inches) volts AC test method 0.20 7000 ASTM D-149 0.050 10,000 ASTM D-149 0.060 12000 ASTM D-149 0.080 20,000 or more ASTM D-149 0.125 20,000 or more ASTM D-149

【0026】[0026]

【表2】 表 II 代表的な機械特性 厚さ 0.020″〜0.500″ ASTM D−374 色 ピンク 視覚 圧縮係数 300 PSI ASTM D−1621 圧縮たわみ 10% 30 PSI ASTM D−575 50% 200 PSI ASTM D−575 圧縮永久歪み 65%TABLE II Representative Mechanical Properties Thickness 0.020 "-0.500" ASTM D-374 Color Pink Visual Compression Coefficient 300 PSI ASTM D-1621 Compression Deflection 10% 30 PSI ASTM D-575 50% 200 PSI ASTM D-575 Compression set 65%

【0027】[0027]

【表3】 表 III 熱特性 (代表的に例1のインタフェース、厚さ80ミルを使用する) 熱抵抗 熱抵抗 (℃/W) 厚さ (ASTM D−54P)圧力(psi) (−220まで) (ミル) (℃−in2 /W) 25 6 20 0.46 50 5 30 0.70 100 4 40 0.93 200 3 50 1.16 60 1.39 80 1.85 125 2.90TABLE III Thermal properties (typically using interface of Example 1, thickness 80 mils) Thermal resistance Thermal resistance (° C / W) Thickness (ASTM D-54P) Pressure (psi) (up to -220 ) ) (Mill) (° C-in 2 / W) 256 20 0.46 50 5 30 0.70 100 4 40 0.93 200 350 50 1.16 60 1.39 80 1.85 125 2.90

【0028】本発明のインタフェースの他の形態が使用
されおよび製造されることがあり、また他の技術が同様
にそれらの調製のために利用されることがあることは、
勿論、理解されるであろう。
It is noted that other forms of the interfaces of the present invention may be used and manufactured, and that other techniques may be utilized for their preparation as well.
Of course, it will be understood.

【0029】例 6 例1に従って製造されたインタフェースに、ポリジメチ
ルシロキサンから成る感圧接着剤の表面層を塗ったが、
その際感圧接着剤の層は1ミルの厚さを有していた。こ
の材料はシリコーンと相容性があってそれによく結合し
た。感圧接着剤層が用いられるとき、第2の剥離フィル
ムが使用されることがあり、あるいはその代わりに材料
はロールの形に包装されることもある。
EXAMPLE 6 An interface manufactured according to Example 1 was coated with a surface layer of a pressure-sensitive adhesive consisting of polydimethylsiloxane.
The layer of pressure-sensitive adhesive had a thickness of 1 mil. This material was compatible with the silicone and bonded well to it. When a pressure sensitive adhesive layer is used, a second release film may be used, or alternatively, the material may be packaged in a roll.

【0030】いま図面の4A〜4Eに注意を向けると、
図4Aは配合における変化により達成される粘度の等圧
線を表す。図4Aを精査すると100センチポアズの添
加の劇的な効果が証明される。図4Cは最終製品の硬度
特性に低い粘度のジビニルシリコーンの著しい効果を示
す。
Turning now to FIGS. 4A to 4E,
FIG. 4A depicts the isobar of viscosity achieved by a change in formulation. Inspection of FIG. 4A demonstrates the dramatic effect of the addition of 100 centipoise. FIG. 4C shows the significant effect of low viscosity divinyl silicone on the hardness properties of the final product.

【0031】例 7 複合混合物の設計実験が反応生成物の諸特性へのいろい
ろな反応物の効果を測定するために企てられた。反応生
成物はアルミナと、各例においてアルミナ含有量が次の
ようになるように混合された。 アルミナ(平均粒径、5ミクロン)=71重量% ポリマー成分=29重量% (a)1000cpsジビニルシリコーン(x1 )=1
〜100モル% (b)100cpsジビニルシリコーン(x2 )=0〜
100モル% (c)500cpsジビニルシリコーン(x3 )=0〜
100モル% これらの反応物はガラス繊維を存在させずに例1に記載
の条件に従って混合して処理された。
EXAMPLE 7 A composite mixture design experiment was undertaken to determine the effect of various reactants on the properties of the reaction product. The reaction product was mixed with alumina such that the alumina content in each case was as follows: Alumina (average particle size, 5 microns) = 71% by weight Polymer component = 29% by weight (a) 1000 cps divinyl silicone (x 1 ) = 1
-100 mol% (b) 100 cps divinyl silicone (x 2 ) = 0
100 mol% (c) 500 cps divinyl silicone (x 3 ) = 0
100 mol% These reactants were mixed and processed according to the conditions described in Example 1 without the presence of glass fibers.

【0032】デザインマトリックスが作られ、それらの
結果がコンピュータで分析された。測定された図4A〜
4Eに記載の諸特性は次のようである。 (a)センチポアズ粘度(図4A) (b)10%圧縮力(初めの厚さの10%の圧縮を達成
するのに要する力)(ASTM−D−575)(図4
B) (c)50%圧縮力(初めの厚さの50%の圧縮を達成
するのに要する力)(ASTM−D−575)(図4
B) (d)溶媒吸収百分率(24時間)(図4D) および (e)圧縮永久歪み(ASTM−D−395)(図4
E)
A design matrix was created and the results were analyzed by computer. FIG.
The properties described in 4E are as follows. (A) Centipoise viscosity (FIG. 4A) (b) 10% compression force (force required to achieve 10% compression of initial thickness) (ASTM-D-575) (FIG. 4)
B) (c) 50% compression force (force required to achieve 50% compression of initial thickness) (ASTM-D-575) (FIG. 4)
B) (d) Percentage of solvent absorption (24 hours) (FIG. 4D) and (e) Compression set (ASTM-D-395) (FIG. 4)
E)

【0033】例 8 例2の各反応物を反応生成物を調製するために用いた。
その際反応生成物に微粒子の黒鉛を充填した。その材料
は50重量%の黒鉛を含み、残部はポリマーであった。
全体の厚さ25ミルの優れた熱特性を有する材料が得ら
れた。
Example 8 Each reactant of Example 2 was used to prepare a reaction product.
At that time, the reaction product was filled with fine graphite particles. The material contained 50% by weight of graphite, with the balance being polymer.
A material having excellent thermal properties with an overall thickness of 25 mils was obtained.

【0034】一般組み立て配置 いま図5および図6に注意を向けると、一般的に示され
た全体の電子装置20はその上に配置された電気および
電子構成部分の形の回路アレイ22を有するベースまた
はシャーシー部材を含む。回路構成部分は典型的に固体
能動部分、例えば、トランジスター、マイクロチップな
どを23−23におけるように含む。アレイ22はまた
24−24に例示されているような多数の受動部分を抵
抗器、コンデンサーなどの形で含み、これら全ては基板
25の上に配置されている。全体の組み立ては囲い板部
材26の中に収容されており、そこで囲い板26はシャ
ーシー21と共同して完全な囲い込みを形成する。一般
的に示された機械的順応性ある、熱伝導性インタフェー
ス部材27はシャーシー21および回路アレイ22の両
者の上表面と囲い板26の反対側の内表面28の間に挿
入される。
General Assembly Configuration Turning now to FIGS. 5 and 6, the entire electronic device 20 shown generally is a base having a circuit array 22 in the form of electrical and electronic components disposed thereon. Or it includes a chassis member. Circuit components typically include solid-state active components, such as transistors, microchips, etc., as in 23-23. Array 22 also includes a number of passive portions, such as illustrated in 24-24, in the form of resistors, capacitors, etc., all of which are disposed on substrate 25. The entire assembly is housed in shroud member 26, where shroud 26 cooperates with chassis 21 to form a complete enclosure. A generally shown mechanically compliant, thermally conductive interface member 27 is inserted between the upper surface of both the chassis 21 and the circuit array 22 and the inner surface 28 opposite the shroud 26.

【0035】こんどは図6にも注意を向けると、順応性
ある熱伝導性インタフェースパッド27の回路構成部品
と接触する部分はその平らな平面のまたは長方形の形状
から変形して流動し、それにより個々の回路構成部品を
包み込みかつその中に形成された空洞の中に収容する。
図6において、回路基板25の2個のマイクロチップ2
3−23は、図解された結果を達成するため流動して構
成部品による要求される形状に適合する順応性ある熱伝
導性インタフェースとそれらが組み合わされた形に図解
されている。本発明の配合物の非常に望ましい流動特性
の故に、順応性ある熱伝導性インタフェースパッド27
は、極めて低い圧力の下に変形し、そして個々の回路構
成部品のリード線およびその他の精巧な部分の完全な状
態を妨害し、破壊し、さもなくば干渉することがない。
Turning now also to FIG. 6, the portion of the compliant, thermally conductive interface pad 27 that contacts the circuit component deforms and flows from its planar or rectangular shape, thereby causing it to flow. The individual circuit components are wrapped and housed in cavities formed therein.
In FIG. 6, two microchips 2 on a circuit board 25
3-23 are illustrated as compliant thermal conductive interfaces and their combination that flow to conform to the shape required by the components to achieve the illustrated results. Because of the highly desirable flow properties of the formulation of the present invention, the compliant heat conductive interface pad 27
Will deform under very low pressure and will not interrupt, destroy, or otherwise interfere with the integrity of the individual circuit component leads and other elaborate parts.

【0036】組み立て品から熱の発散を増すために、熱
伝導性の層が28と30に図解されており、そこではこ
れらの層がその働きを強めている。
To increase the heat dissipation from the assembly, thermally conductive layers are illustrated at 28 and 30, where these layers enhance their work.

【0037】これらの図から確かめられ得るように、機
械的順応性ある熱伝導性インタフェースは、インタフェ
ースを構成する柔軟な材料が流動してその内部に自然の
空洞を形成するような物理特性を所有する。その製品の
低いジュロメーター硬さはインタフェース部材に回路組
み立て品の不規則な表面に形を合わせることを可能にす
る。その低いジュロメーター硬さの故に、約10psi
ほどの低い圧力は典型的に前記の結果を達成するために
必要なすべてである。
As can be seen from these figures, the mechanically compliant, thermally conductive interface possesses the physical properties such that the flexible material comprising the interface flows to form a natural cavity therein. I do. The low durometer of the product allows the interface member to conform to the irregular surfaces of the circuit assembly. About 10 psi due to its low durometer hardness
Moderately low pressures are typically all that is required to achieve the above results.

【0038】本発明の精神および範囲を逸脱することな
く上記に与えられた特定の例に対して様々な部分的改変
がなされることがあるのは、勿論、理解されることであ
ろう。
It will, of course, be understood that various partial modifications may be made to the specific examples provided above without departing from the spirit and scope of the invention.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】図1は本発明に従って製造された順応性ある熱
伝導性インタフェースを使用するある組み立て品を通し
てとられた断面図である。
FIG. 1 is a cross-sectional view taken through an assembly using a compliant, thermally conductive interface made in accordance with the present invention.

【図2】図2はある注文により作った本発明に従って製
造されたインタフェース装置の形状を示す斜視図であ
る。
FIG. 2 is a perspective view showing the shape of an interface device manufactured according to the present invention, which is made to order;

【図3】図3は本発明に従って製造された順応性ある熱
伝導性インタフェースについて負荷された力に対する圧
縮百分率を示すグラフである。
FIG. 3 is a graph showing percent compression versus applied force for a compliant thermally conductive interface made in accordance with the present invention.

【図4A〜4E】図4A〜4Eはそれぞれ粘度(図4
A)、初めの厚さの10%の圧縮を達成するために要し
た力(図4B)、初めの厚さの50%の圧縮を達成する
ために要した力(図4C)、溶媒の吸収におけるレスポ
ンス(図4D)、および圧縮永久歪み(図4E)の等圧
線を示す組成のグラフである。
4A to 4E each show a viscosity (FIG.
A), the force required to achieve 10% compression of the initial thickness (FIG. 4B), the force required to achieve 50% compression of the initial thickness (FIG. 4C), solvent absorption 5 is a graph of the composition showing the response (FIG. 4D) and the isobar of the compression set (FIG. 4E).

【図5】図5は組み立て品の構成部分として本発明のイ
ンタフェース材料を使用する代表的な組み立て品を図解
する、分解組み立ての形での、斜視図である。
FIG. 5 is a perspective view, in the form of an exploded assembly, illustrating a representative assembly using the interface material of the present invention as a component of the assembly.

【図6】図6は図5に図解された組み立て品を通してと
られた垂直断面図であって、インタフェース材料が回路
組み立て品を含む構成部分に適合している様子を示して
いる。
FIG. 6 is a vertical cross-sectional view taken through the assembly illustrated in FIG. 5, showing that the interface material is compatible with the component containing the circuit assembly.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 FI H01L 23/36 G06F 1/00 360C // B32B 27/00 101 H01L 23/36 D ──────────────────────────────────────────────────の Continued on the front page (51) Int.Cl. 6 Identification symbol FI H01L 23/36 G06F 1/00 360C // B32B 27/00 101 H01L 23/36 D

Claims (13)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 電子装置との組み合わせにおいてマウン
ト用障壁として使用するためのヒートシンクと電子装置
の間に挿入する機械的に順応性のある熱伝導性インタフ
ェースであって、 (a)支持体およびその支持体の両側に配置された外層
を有する積層板から成り、前記支持体はガラス繊維、ア
ルミニウム箔、銅箔、エキスパンドメタル、ポリイミド
(アミド)、およびポリエステルの各層から成る群より
選択されること、および(b)前記外層は構造式 【化1】 (式中R1 は水素、ヒドロキシルまたはメチル基から成
る群より選択され、またxは1〜1000の値を有する
整数を表す)を有し、かつ約10〜10,000センチ
ポアズの粘度を有するオルガノシロキサンと、構造式 【化2】 (式中R2 は水素、メチルおよびヒドロキシ基から成る
群より選択され、またyは1〜1000の値を有する整
数を表す)を有し、かつ約10〜10,000センチポ
アズの粘度を有する連鎖延長剤との混合物の反応生成物
から成り、かつ前記オルガノシロキサン反応生成物は体
積で約10%〜60%の量の微粒子固体で充填されてい
て、残りは該反応生成物であること、を特徴とする前記
のインタフェース。
A mechanically compliant, thermally conductive interface inserted between a heat sink and an electronic device for use as a mounting barrier in combination with the electronic device, comprising: (a) a support and its support; Comprising a laminate having outer layers disposed on both sides of a support, wherein the support is selected from the group consisting of layers of glass fiber, aluminum foil, copper foil, expanded metal, polyimide (amide), and polyester; And (b) the outer layer has the structural formula Wherein R 1 is selected from the group consisting of hydrogen, hydroxyl or methyl groups, and x represents an integer having a value of 1 to 1000, and having a viscosity of about 10 to 10,000 centipoise. Siloxane and structural formula Wherein R 2 is selected from the group consisting of hydrogen, methyl and hydroxy groups, and y represents an integer having a value of 1 to 1000, and having a viscosity of about 10 to 10,000 centipoise. Comprising a reaction product of a mixture with an extender, and wherein the organosiloxane reaction product is packed with a particulate solid in an amount of about 10% to 60% by volume, with the remainder being the reaction product. The interface as recited above.
【請求項2】 該微粒子固体はアルミナ、窒化ホウ素、
黒鉛、ホウ化チタン、アルミナ三水和物、窒化アルミ
ナ、およびそれらの混合物から成る群より選択されるこ
とを特徴とする請求項1に記載の機械的順応性ある熱伝
導性インタフェース。
2. The particulate solid is alumina, boron nitride,
The mechanically compliant, thermally conductive interface of claim 1, wherein the interface is selected from the group consisting of graphite, titanium boride, alumina trihydrate, alumina nitride, and mixtures thereof.
【請求項3】 該微粒子固体は約1〜50ミクロンの粒
径範囲を有するアルミナであることを特徴とする請求項
2に記載の機械的順応性ある熱伝導性インタフェース。
3. The thermally compliant thermally conductive interface of claim 2, wherein said particulate solid is alumina having a particle size range of about 1 to 50 microns.
【請求項4】 該順応性ある熱伝導性インタフェースは
0.010インチ〜1.00インチの厚さを有すること
を特徴とする請求項1に記載の機械的順応性ある熱伝導
性インタフェース。
4. The mechanically compliant thermally conductive interface of claim 1, wherein said compliant thermally conductive interface has a thickness between 0.010 inches and 1.00 inches.
【請求項5】 厚さが20〜1000ミルである請求項
4に記載の機械的順応性ある熱伝導性インタフェース。
5. The mechanically compliant thermally conductive interface of claim 4, wherein the thickness is between 20 and 1000 mils.
【請求項6】 該オルガノシロキサンは本質的にポリジ
メチルシロキサンから成ることを特徴とする請求項1に
記載の機械的順応性ある熱伝導性インタフェース。
6. The mechanically compliant thermally conductive interface of claim 1, wherein said organosiloxane consists essentially of polydimethylsiloxane.
【請求項7】 該連鎖延長剤は水素化物を末端とするポ
リジメチルシロキサンから成ることを特徴とする請求項
6に記載の機械的順応性ある熱伝導性インタフェース。
7. The mechanically compliant, thermally conductive interface of claim 6, wherein said chain extender comprises hydride terminated polydimethylsiloxane.
【請求項8】 該連鎖延長剤はヒドロキシを末端とする
ポリジメチルシロキサンから成ることを特徴とする請求
項7に記載の機械的順応性ある熱伝導性インタフェー
ス。
8. The mechanically compliant, thermally conductive interface of claim 7, wherein said chain extender comprises hydroxy-terminated polydimethylsiloxane.
【請求項9】 71重量%のアルミナ及び残りがポリジ
メチルシロキサンから成る混合物であり、かつ初めの厚
さの10%の圧縮を達成するために要する力の範囲は1
0〜200psiの範囲内にある請求項7に記載の機械
的順応性ある熱伝導性インタフェース。
9. A mixture consisting of 71% by weight alumina and the balance polydimethylsiloxane, and the range of forces required to achieve a compression of 10% of the original thickness is 1%.
The mechanically compliant, thermally conductive interface of claim 7, which is in the range of 0-200 psi.
【請求項10】 71重量%のアルミナ及び残りがポリ
ジメチルシロキサンから成る混合物であり、かつ初めの
厚さの50%の圧縮を達成するために要する力の範囲は
40〜1000psiの範囲内にある請求項7に記載の
機械的順応性ある熱伝導性インタフェース。
10. A mixture comprising 71% by weight of alumina and the balance consisting of polydimethylsiloxane and the force required to achieve a compression of 50% of the original thickness is in the range of 40 to 1000 psi. A mechanically compliant, thermally conductive interface according to claim 7.
【請求項11】 熱伝導率が0.5W/m・K(ワット
毎メートル毎ケルビン)〜4W/m・Kの範囲内にある
請求項6に記載の機械的順応性ある熱伝導性インタフェ
ース。
11. The mechanically compliant thermally conductive interface according to claim 6, wherein the thermal conductivity is in the range of 0.5 W / m · K (watt per meter per kelvin) to 4 W / m · K.
【請求項12】 充填物が黒鉛である請求項6に記載の
機械的順応性ある熱伝導性インタフェース。
12. The mechanically compliant thermally conductive interface according to claim 6, wherein the filler is graphite.
【請求項13】 粘度が10〜1000センチポアズの
範囲内にある請求項1に記載の機械的順応性ある熱伝導
性インタフェース。
13. The mechanically compliant, thermally conductive interface of claim 1, wherein the viscosity is in the range of 10 to 1000 centipoise.
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Cited By (6)

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KR20220064667A (en) * 2020-11-12 2022-05-19 성균관대학교산학협력단 Soft-rigid-soft multi layer Thermal InterFace material, preparing method of the same, and heat radiating system including the same

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