JPH1137710A - 回転角度検出器 - Google Patents

回転角度検出器

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JPH1137710A
JPH1137710A JP21004897A JP21004897A JPH1137710A JP H1137710 A JPH1137710 A JP H1137710A JP 21004897 A JP21004897 A JP 21004897A JP 21004897 A JP21004897 A JP 21004897A JP H1137710 A JPH1137710 A JP H1137710A
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JP
Japan
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electrode
rotating
voltage
rotation angle
fixed electrode
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JP21004897A
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English (en)
Inventor
Yoshikazu Tominaga
義和 冨永
Takayuki Nakamura
高幸 中村
Kazunari Matsuzaki
一成 松崎
Toshihiro Matsuo
智弘 松尾
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Yaskawa Electric Corp
Original Assignee
Yaskawa Electric Corp
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Publication date
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  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 高分解能が得られ、安定した放電電流が得ら
れる回転角度検出器を提供する。 【解決手段】 回転体1と同一回転角で回転し、同心円
上に等間隔で同一幅に形成された複数のスリット31を
有する円板状の回転電極3と、回転電極3と空隙を介し
て対向する針状の固定電極4と、固定電極4と回転電極
3の間に電圧を印加する放電用の電源5と、固定電極4
と回転電極3の間に発生する放電電流を検出す放電電流
検出器6とを備えた回転角度検出器において、回転電極
3は、導体部の円周方向の断面を鋸歯状に形成してある
ものである。上記のように、導体部の断面が鋸歯状に形
成すると、導体部の数に対応した振幅の大きいパルス状
の信号が得られ、分解能は大きくなる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、回転体の回転角を
コロナ放電を利用して検出する回転角度検出器に関す
る。
【0002】
【従来の技術】従来、回転体の回転角をコロナ放電を利
用した回転角度検出器は、第1の従来技術として、例え
ば図15に示すように、放電パルスをカウントして回転
角を検出するようにしたものが開示されている(例え
ば、特開昭54−28648号公報)。図15におい
て、10はモータ軸などの被測定体となる回転体、11
0は回転体10に固定されたスリップリング、120は
スリップリング110に接触するブラシである。20は
回転体10に同一回転角で回転し得るように固定された
絶縁円板、30は絶縁円板20の一方の円板面に設けた
金属薄膜からなる回転電極で、スリップリング110と
電気的に接続され、図16に示すように、同心円上に放
射状に等間隔で同一幅に形成された複数のスリット31
0を設け、隣り合うスリット310の間に導体部320
が形成されている。40は回転電極30との間に間隔を
あけて配置された固定電極で、スリット310と同心円
上に設けられ、先端を針状に鋭利に形成してある。50
は直流電源からなる放電用電源で、固定電極40と回転
電極30に直流電圧を印加するようにしてある。60は
固定電極40と回転電極30の間に生じる放電電流を検
出する放電電流検出器、610は放電用電源50とブラ
シ120との間に直列に接続した負荷抵抗、620は負
荷抵抗610の両端の電圧を検出して増幅するための増
幅回路である。
【0003】このような構成により、放電用電源50か
らブラシ120を介して固定電極40と回転電極30と
の間に高電圧を印加するとコロナ放電が生じる。この状
態で、回転体10とともに回転電極30を回転させる
と、回転電極30はスリット310と導体部320が円
周方向に交互に配置されているので、固定電極40が回
転電極30の導体部320に対向しているときは、固定
電極40と導体部320との間の空隙の電界強度が強く
なり、コロナ放電が生じて、固定電極40と回転電極3
0とが導通状態となる。固定電極40がスリット310
と対向しているときは、絶縁円板20と対向することに
なるので電界強度が弱くなる。その結果、固定電極40
と回転電極30との間にコロナ放電が生じないので導通
が切れる。したがって、固定電極40と対向する導体で
ある回転電極30の導体部320との間の空隙は回転体
10が回転することによって変動するが、接触に近い導
通となり、低電圧で安定した電流を検出することができ
る。回転体10が回転すると、導通と非導通の状態が交
互に現れるので、負荷抵抗60の両端ではパルス状の電
圧が検出され、増幅回路620により回転角度に比例し
たパルス数の回転角度信号を得ることができる。
【0004】また、第2の従来技術として、回転電極3
0と固定電極40の間隔を狭くするほどコロナ放電開始
電圧と全路絶縁破壊電圧との差が小さくなり、コロナ放
電の状態を維持することが困難である。そのため、回転
電極30の導体部320の表面に絶縁膜を塗布または貼
付することによって、絶縁破壊が生じにくくなり、長期
にわたって放電が安定して行えるようにしたものがある
(例えば、特開平8−286469号公報)。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記第1の
従来技術では、回転角度の検出精度を高めるため、スリ
ット310の数を多くして、1回転内に得られるパルス
数を多くすると、回転電極30の隣接する二つの導体部
320と固定電極40との間に同時に放電が生じる。そ
のため、負荷抵抗60の両端の電圧から得られる検出信
号が平坦となり、パルス信号が得られず、分解能を高く
することができないという問題があった。また、絶縁円
板20を大きくしてスリット310を多くすることはで
きるが、検出器全体が大きくなるという問題があった。
また、回転電極30には円周方向に等間隔に多数の微細
なスリット310を設ける必要があるため、回転電極3
0の径が大きくなったり、スリット310の加工や小型
化が難しく、とくに絶対角度を検出しようとする場合、
絶対角度検出用のスリットを別に設ける必要があり、更
に加工が複雑となって多くの加工時間がかかるという問
題があった。また、パルス波形のみでは絶対位置を求め
ることができない。さらに、回転電極30と固定電極4
0との間の放電のために、それぞれの電極の放電部分が
消耗して変形し、放電が不安定になるなどの問題があっ
た。また、上記第2の従来技術では、導体部320の表
面に絶縁膜を設けてあるので、直流電源を用いると、絶
縁膜が帯電してしまい、連続して放電しなくなるという
問題があった。本発明は、高分解能が得られ、小型で簡
単な構成を備え、安定した連続的な放電電流が得られる
回転角度検出器を提供することを目的とするものであ
る。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明の第1の手段は、回転体と同一回転角で回転
し、同心円上に等間隔で同一幅に形成された複数のスリ
ットを有する円板状の回転電極と、前記回転電極と空隙
を介して対向する針状の固定電極と、前記固定電極と前
記回転電極の間に電圧を印加する放電用の電源と、前記
固定電極と前記回転電極の間に発生する放電電流を検出
する放電電流検出器とを備えた回転角度検出器におい
て、前記回転電極は、導体部の円周方向の断面を鋸歯状
に形成してあるものである。第2の手段は、回転体と同
一回転角で回転し、同心円上に等間隔で同一幅に形成さ
れた複数のスリットを有する円板状の回転電極と、前記
回転電極と空隙を介して対向する針状の固定電極と、前
記固定電極と前記回転電極の間に電圧を印加する放電用
の電源と、前記固定電極と前記回転電極の間に発生する
放電電流を検出する放電電流検出器とを備えた回転角度
検出器において、前記電源は、印加電圧がコロナ放電開
始電圧Vc1の1.5倍以上、火花放電開始電圧Vc3未満
の範囲になるように設定してあるものである。第3の手
段は、回転体と同一回転角で回転し、同心円上に等間隔
で同一幅に形成された複数のスリットを有する円板状の
回転電極と、前記回転電極と空隙を介して対向する針状
の固定電極と、前記固定電極に電圧を印加して放電させ
る電源と、前記固定電極に発生する放電電流を検出する
放電電流検出器とを備えた回転角度検出器において、前
記回転電極は表面に絶縁皮膜を設けてあり、前記固定電
極は円周方向に間隔を開けて2個設けてあり、前記電源
は前記二つの固定電極の間に接続してあり、前記絶縁皮
膜に対して前記二つの固定電極の異なる極性を交互に近
づけて連続して放電させるものである。
【0007】第4の手段は、回転体と同一回転角で回転
し得る円板状の回転電極と、前記回転電極と空隙を介し
て対向する針状の固定電極と、前記固定電極と前記回転
電極の間に電圧を印加する放電用の電源と、前記固定電
極と前記回転電極の間に発生する放電電流を検出する放
電電流検出器とを備えた回転角度検出器において、前記
回転電極は、前記回転体に偏心して取り付けてあり、前
記固定電極は、前記回転電極の外周に空隙を介して対向
すると共に、円周方向に間隔を開けて2個設けられ、か
つそれぞれに前記放電電流検出器を接続してあり、前記
放電電流検出器の出力を受けて角度信号を出力する角度
信号発生器を備えたものである。第5の手段は、回転体
と同一回転角で回転し、同心円上に等間隔で同一幅に形
成された複数のスリットを有する円板状の回転電極と、
前記回転電極と空隙を介して対向する固定電極と、前記
固定電極と前記回転電極の間に電圧を印加する電源とを
備えた回転角度検出器において、前記固定電極に取り付
けた歪みゲージと、前記歪みゲージの出力信号を増幅す
る電圧増幅器とを備えたものである。
【0008】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を図に基づ
いて説明する。図1は本発明の第1の実施例を示す構成
図で、図15に示した従来例とほぼ同じである。図2は
回転電極の(a)側断面図および(b)平面図である。
図1において、1はモータ軸などの被測定体となる回転
体、11は回転体1に固定されたスリップリング、12
はスリップリング11に接触するブラシである。2は回
転体1に固定された絶縁円板、3は絶縁円板2の一方の
円板面に設けた薄膜の導電体からなる回転電極で、スリ
ップリング11と電気的に接続され、図2に示すよう
に、外周付近の同心円上に等間隔で同一幅に形成された
複数のスリット31を設け、隣り合うスリット31の間
に導体部32が形成されている。また、回転電極3は導
体部32の円周方向の断面が鋸歯状に形成され、導体部
32の長手方向に沿って中央部に稜線部321を持つ山
形が形成されている。4は回転電極3と空隙を介して対
向する固定電極で、スリット31と同心円上に設けら
れ、先端を針状に鋭利に形成してある。5は直流電源か
らなる放電用の電源である。6は固定電極4と回転電極
3の間に生じる放電電流を検出する放電電流検出器、6
1は電源5の出力電圧を検出するための負荷抵抗、62
は負荷抵抗61の両端の出力電圧を増幅するための増幅
回路である。
【0009】図3(a),(b)は、このような構成の
1回転分の放電電流の出力電圧を示す特性図である。
(a)は導体部32の表面が平板状のものの放電電流の
電圧波形を示すものであるが、(b)は導体部32の表
面が稜線部321を持ち、断面が鋸歯状に形成されたも
のの放電電流の電圧波形を示す。この結果より、(a)
に示す導体部32が平板状のものは、エッジ効果により
隣接する二つの導体部32と固定電極4との間に同時に
放電が生じ、スリット31の部分に固定電極4が対向し
ているときも放電が切れないため振幅が狭く、分解能は
小さい。しかし、(b)に示す導体部32の断面が鋸歯
状に形成されたものは、隣接する導体部32と固定電極
4との間には同時には放電が発生せず、各導体部32の
稜線部321から放電するため、導体部32の数に対応
した振幅の大きいパルス状の信号が得られ、分解能は大
きくなる。このように、回転電極3の導体部32の円周
方向の断面を鋸歯状に形成することにより、導体部32
の両縁で発生するエッジ効果を低減でき、隣接する導体
部32と固定電極4との間に同時に発生する放電を抑制
できるので、コロナ放電を利用した回転角度検出器の分
解能を高めることができる。
【0010】次に、本発明の第2の実施例について説明
する。図4は本発明の第2の実施例の回転電極3を示す
平面図である。第2の実施例が第1の実施例と異なる点
は、導体部32の断面を長方形にして、印加電圧の値を
変えたものである。すなわち、印加電圧がコロナ放電開
始電圧Vc1の1.5倍以上、火花放電開始電圧Vc3未満
の範囲内に設定して、固定電極4と回転電極3に直流電
圧を印加するようにしてある。
【0011】次に、動作について説明する。図5は空隙
長と印加電圧との関係を示す特性図である。電源5によ
って回転電極3と固定電極4との間に高電圧を印加する
と、コロナ放電が生じる。コロナ放電が開始する電圧値
は、図3に示すように、回転電極3と固定電極4との空
隙長Gによって変わり、コロナ放電は図3に実線で示し
たコロナ放電開始電圧Vc1以上の印加電圧領域で発生す
る。図6(a)および(b)は回転角に対する放電電流
の出力電圧を示す特性図で、回転電極3にスリット31
を18個設け、回転体1を回転させ、固定電極4と回転
電極3との間の印加電圧Vc と、固定電極4と回転電極
3との間の空隙長Gを種々変化させ、実験の結果最適な
印加電圧を選定して、増幅回路7の出力電圧を測定した
結果を示したものである。この場合、(a)は、印加電
圧Vc をコロナ放電開始電圧Vc1からその1.5倍未満
の放電電圧Vc2の範囲内に設定したときの出力電圧を示
す。一方、(b)は、印加電圧Vc を図3に破線で示し
た電圧以上、すなわち、コロナ放電開始電圧Vc1の1.
5倍以上、火花放電開始電圧Vc3未満の範囲内に設定し
たときの出力電圧を示す。この特性図から、(a)の場
合、1回転当たりスリット31の数に対応した18パル
スの検出信号が得られている。また、(b)の場合、1
スリット当たり2個のパルスが得られ、1回転当たり3
6パルスの検出信号が得られている。(b)が(a)に
比べて、1回転あたり2倍のパルスを発生するのは、回
転電極3の導体部32が固定電極4と対向しない領域で
も、最も近い導体部32との間で放電を起こしていると
考えられる。このように、回転電極3と固定電極4との
間に印加する電圧値を、コロナ放電開始電圧Vc1の1.
5倍以上に設定したことで、1スリット当たり2パルス
の検出信号を得ることができ、同じスリット本数で2倍
の分解能を得ることができる。なお、本実施例では薄膜
の導電体からなる回転電極3を、剛性の高い絶縁円板2
の一方の面に固定した構成について説明したが、回転電
極2を剛性の高い導電体によって構成することにより、
直接、回転電極2を回転体1に固定するようにしてもよ
い。また、印加電圧Vc を火花放電開始電圧Vc3未満に
設定する理由は、火花放電領域では、電極の消耗が著し
いためである。
【0012】次に、本発明の第3の実施例について説明
する。図7は本発明の第3の実施例を示す構成図であ
る。上記第1の実施例と異なる点は、回転電極の表面に
絶縁皮膜を設け、かつ、二つの固定電極を用い、固定電
極間に放電電圧を加えるようにしたことである。すなわ
ち、図において、33は回転電極3の導体部32の表面
に被覆した絶縁皮膜である。4a,4bは回転電極3と
空隙を介して対向する二つの固定電極で、スリット31
と同心円上に間隔を開けて設けられ、先端を針状に鋭利
に形成してある。電源5は固定電極4aと4bとの間に
直流電圧を印加するようにしてある。
【0013】次に動作について説明する。図8は動作状
態を示す説明図で、固定電極4aに負(−)、固定電極
4bに正(+)の電圧を印加する。図8(a)に示すよ
うに、回転体1が回転して、導体部32が固定電極4a
に接近すると、固定電極4aから回転電極3側に電子が
移動し、導体部32の表面に設けた絶縁皮膜33の表面
は、(−)が帯電する。次に、回転に伴って、導体部3
2は固定電極4bの近傍に移動し、絶縁皮膜33に
(−)に帯電した電荷は、(+)が印加された固定電極
4bに向かって放電される。したがって、回転電極3が
回転することにより、このような動作を繰り返すので、
固定電極4a,4bと回転電極3との間に連続的な放電
を持続させることができる。
【0014】次に、本発明の第4の実施例について説明
する。図9は本発明の第4の実施例を示す構成図であ
る。図において、回転体1には円板状の回転電極3が偏
心量eだけ偏心して取り付けられており、固定電極4
a,4bは円周方向に間隔を開けて、回転電極3の外周
に空隙を介して対向させてある。40は固定電極4a,
4bを支持する支持部材である。このような構成におい
て、回転体1にはスリップリング11を設けてあり、ブ
ラシ12を介して電源5の一方の電極から回転電極3に
接続するようにしてある。固定電極4a,4bにはそれ
ぞれ、電源5の他方の電極が接続されていると共に、放
電電流検出回路6a,6bを接続してある。放電電流検
出回路6a,6bの出力は角度信号発生器7に入力され
る。
【0015】次に動作について説明する。図10は空隙
長と放電電流との関係を示す特性図、11図は回転角度
と放電電流との関係を示す特性図である。回転体1を回
転すると、回転電極3が偏心しているので、回転電極の
外周と固定電極4a,4bの間の空隙の長さが変化す
る。放電電流と空隙長さとは、図10に示すように、空
隙長さが大きくなると放電電流が低下するという一義的
な関係になっている。そのため、回転電極3の回転によ
り放電電流検出器6a,6bによって検出された電流値
を角度信号発生器7で角度信号に変換することにより、
図11に示すように、回転体1の回転角度を知ることが
できる。また、固定電極4a,4bの間隔を所定の間隔
に設定することにより、放電電流検出器6a,6bによ
って検出された電流値から、90度位相の異なるサイン
カーブを演算することで、回転体1の絶対角度および回
転方向を知ることができる。なお、上記実施例では固定
電極4の数を2個の場合について説明したが、2個以上
であればよく、回転体1の角度変化のみを求める場合に
は、固定電極4を1個にしてもよい。また、角度信号
は、角度信号発生器7に代えてソフトウエアで処理して
求めるようにしてもよい。
【0016】次に、本発明の第5の実施例について説明
する。図12は本発明の第5の実施例を示す側断面図で
ある。上記第1の実施例と異なる点は、固定電極4に歪
みゲージ8を取りつけたことである。すなわち、回転体
1を軸受91を介してハウジング9に支持し、固定電極
4は弾性変形し易くするために、薄板状に形成してハウ
ジング9に設けた絶縁部92に固定してある。固定電極
4の平板部41の先端付近には、図13に示すように、
回転電極3に対向する針部42を設け、平板部41の中
央部には歪みゲージ8を取りつけてある。歪みゲージ8
はその出力信号を電圧増幅器81で増幅して、角度信号
を出力するようにしてある。
【0017】次に、動作について説明する。回転電極3
と固定電極4の間にコロナ放電開始電圧より低い電圧を
印加するとき、回転電極3と固定電極4の間に印加する
電圧を0から次第に高めていくと、コロナ放電開始電圧
以下では放電は発生しないが、回転電極3と固定電極4
の間に吸引力が働き、固定電極4が吸引力による曲げ応
力が発生して僅かに撓む。歪みゲージ8はこの曲げ応力
に応じた歪み量を信号として出力する。この後、回転電
極3が回転すると、スリット31と導体部32とが交互
に固定電極4と対向するので、吸引力が周期的に変化す
る。図14は回転角度と歪みゲージ出力との関係を示す
特性図である。この周期的な吸引力の変化に応じて、固
定電極3に発生する曲げ応力も周期的に変化し、歪みゲ
ージ8からは、電圧増幅器81を介して、図14に示す
ような回転角に応じた正弦波状の角度信号を得ることが
できる。したがって、回転電極3と固定電極4との間に
は、コロナ放電開始電圧以下の以下の印加電圧でも、回
転電極3とともに回転する回転体1の回転角を検出する
ことができ、印加電圧が小さいために電極の消耗を極め
て小さくすることができる。
【0018】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、次
のような効果がある。 (1)回転電極の導体部の円周方向の断面を鋸歯状に形
成することにより、導体部の両縁で発生するエッジ効果
を低減でき、隣接する導体部と固定電極との間に同時に
発生する放電を抑制できるので、コロナ放電を利用した
回転角度検出器の分解能を高めることができる。 (2)回転電極と固定電極との間に印加する電圧値を、
コロナ放電開始電圧Vc1の1.5倍以上に設定すること
により、1スリット当たり2パルスの検出信号を得るこ
とができ、同じスリット本数で2倍の分解能を得ること
ができ、回転角度検出器の小型化が可能となる。 (3)回転電極の表面に絶縁皮膜を設け、かつ、二つの
固定電極を用いることにより、固定電極と回転電極との
間に連続的な放電を持続させることができる。 (4)回転体に円板状の回転電極を偏心して取り付け、
固定電極を回転電極の外周に空隙を介して対向させた簡
単な構成にしてあるので、放電電流検出器によって検出
された電流値を角度信号発生器で角度信号に変換するこ
とにより、容易に回転体の回転角度および絶対角度を知
ることができ、構造が簡単で小型の回転角度検出器を提
供できる。 (5)固定電極に歪みゲージを取りつけ、回転電極と固
定電極の間の周期的な吸引力の変化を検出して回転角を
求めるので、コロナ放電開始電圧以下の以下の印加電圧
でも、回転電極とともに回転する回転体の回転角を検出
することができ、印加電圧が小さいために電極の消耗を
極めて小さくすることができ、寿命の長い回転角度検出
器を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の第1の実施例を示す構成図である。
【図2】 本発明の第1の実施例の回転電極を示す
(a)A−A’断面に沿う断面図および(b)平面図で
ある。
【図3】 本発明の第1の実施例の放電電流の出力電圧
を示す特性図である。
【図4】 本発明の第2の実施例の回転電極を示す平面
図である。
【図5】 本発明の第2の実施例の空隙長と印加電圧と
の関係を示す特性図である。
【図6】 本発明の第2の実施例の出力電圧を示す特性
図である。
【図7】 本発明の第3の実施例を示す構成図である。
【図8】 本発明の第3の実施例の動作を示す説明図で
ある。
【図9】 本発明の第4の実施例を示す構成図である。
【図10】 本発明の第4の実施例の空隙長と放電電流
との関係を示す特性図である。
【図11】 本発明の第4の実施例の回転角度と放電電
流との関係を示す特性図である。
【図12】 本発明の第5の実施例を示す構成図であ
る。
【図13】 本発明の第5の実施例の固定電極を示す斜
視図である。
【図14】 本発明の第5の実施例の回転角度と歪みゲ
ージ出力との関係を示す特性図である。
【図15】 従来例を示す構成図である。
【図16】 従来例の回転電極を示す平面図である。
【符号の説明】
1:回転体、11:スリップリング、12:ブラシ、
2:絶縁円板、3:回転電極、31:スリット、32:
導体部、321:稜線部、33:絶縁皮膜、4、4a,
4b:固定電極、40:支持部材、5:電源、6:放電
電流検出器、61:負荷抵抗、62:増幅回路、7:角
度信号発生器、8:歪みゲージ、81:電圧増幅器、
9:ハウジング、91:軸受、92:絶縁部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 松尾 智弘 福岡県北九州市八幡西区黒崎城石2番1号 株式会社安川電機内

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 回転体と同一回転角で回転し、同心円上
    に等間隔で同一幅に形成された複数のスリットを有する
    円板状の回転電極と、前記回転電極と空隙を介して対向
    する針状の固定電極と、前記固定電極と前記回転電極の
    間に電圧を印加する放電用の電源と、前記固定電極と前
    記回転電極の間に発生する放電電流を検出する放電電流
    検出器とを備えた回転角度検出器において、 前記回転電極は、導体部の円周方向の断面を鋸歯状に形
    成してあることを特徴とする回転角度検出器。
  2. 【請求項2】 回転体と同一回転角で回転し、同心円上
    に等間隔で同一幅に形成された複数のスリットを有する
    円板状の回転電極と、前記回転電極と空隙を介して対向
    する針状の固定電極と、前記固定電極と前記回転電極の
    間に電圧を印加する放電用の電源と、前記固定電極と前
    記回転電極の間に発生する放電電流を検出する放電電流
    検出器とを備えた回転角度検出器において、 前記電源は、印加電圧がコロナ放電開始電圧Vc1の1.
    5倍以上、火花放電開始電圧Vc3未満の範囲になるよう
    に設定してあることを特徴とする回転角度検出器。
  3. 【請求項3】 回転体と同一回転角で回転し、同心円上
    に等間隔で同一幅に形成された複数のスリットを有する
    円板状の回転電極と、前記回転電極と空隙を介して対向
    する針状の固定電極と、前記固定電極に電圧を印加して
    放電させる電源と、前記固定電極に発生する放電電流を
    検出する放電電流検出器とを備えた回転角度検出器にお
    いて、 前記回転電極は表面に絶縁皮膜を設けてあり、 前記固定電極は円周方向に間隔を開けて2個設けてあ
    り、 前記電源は前記二つの固定電極の間に接続してあり、 前記絶縁皮膜に対して前記二つの固定電極の異なる極性
    を交互に近づけて連続して放電させることを特徴とする
    回転角度検出器。
  4. 【請求項4】 回転体と同一回転角で回転し得る円板状
    の回転電極と、前記回転電極と空隙を介して対向する針
    状の固定電極と、前記固定電極と前記回転電極の間に電
    圧を印加する放電用の電源と、前記固定電極と前記回転
    電極の間に発生する放電電流を検出する放電電流検出器
    とを備えた回転角度検出器において、 前記回転電極は、前記回転体に偏心して取り付けてあ
    り、 前記固定電極は、前記回転電極の外周に空隙を介して対
    向すると共に、円周方向に間隔を開けて2個設けられ、
    かつそれぞれに前記放電電流検出器を接続してあり、 前記放電電流検出器の出力を受けて角度信号を出力する
    角度信号発生器を備えたことを特徴とする回転角度検出
    器。
  5. 【請求項5】 回転体と同一回転角で回転し、同心円上
    に等間隔で同一幅に形成された複数のスリットを有する
    円板状の回転電極と、前記回転電極と空隙を介して対向
    する固定電極と、前記固定電極と前記回転電極の間に電
    圧を印加する電源とを備えた回転角度検出器において、 前記固定電極に取り付けた歪みゲージと、前記歪みゲー
    ジの出力信号を増幅する電圧増幅器とを備えたことを特
    徴とする回転角度検出器。
JP21004897A 1997-07-18 1997-07-18 回転角度検出器 Pending JPH1137710A (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010145153A (ja) * 2008-12-17 2010-07-01 Ono Sokki Co Ltd 回転角センサ
JP2010527020A (ja) * 2007-05-15 2010-08-05 カミンス・ターボ・テクノロジーズ・リミテッド 回転機械のセンサ
KR102094410B1 (ko) * 2019-05-16 2020-03-27 고려대학교 세종산학협력단 마찰대전 기반 회전센서

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