JPH1137649A - Method and apparatus for drying strip shaped body - Google Patents
Method and apparatus for drying strip shaped bodyInfo
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- JPH1137649A JPH1137649A JP19685497A JP19685497A JPH1137649A JP H1137649 A JPH1137649 A JP H1137649A JP 19685497 A JP19685497 A JP 19685497A JP 19685497 A JP19685497 A JP 19685497A JP H1137649 A JPH1137649 A JP H1137649A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、帯状体に塗布され
た塗布物を乾燥させる帯状体の乾燥方法およびその装置
に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method and an apparatus for drying a strip for drying a material applied to the strip.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来、乾燥装置としては、たとえば陰極
線管シャドウマスクの製造工程において帯状体に塗布さ
れたレジストやニスを乾燥するものが知られている。2. Description of the Related Art Conventionally, as a drying apparatus, for example, a drying apparatus for drying a resist or a varnish applied to a strip in a manufacturing process of a cathode ray tube shadow mask is known.
【0003】そして、陰極線管のシャドウマスクを形成
する際には、帯状体である鉄帯の表裏にレジスト塗布工
程でレジストを塗布し、露光工程でガラス乾板に作画さ
れたパターンを鉄帯の両面に焼き付け、現像工程で鉄帯
に焼き付けたパターンを現像し、エッチング液として塩
化第2鉄溶液を鉄帯の表裏にスプレして、図7に示すよ
うに、シャドウマスク1の有効部2内に所定のパターン
の孔3が形成される。When forming a shadow mask for a cathode ray tube, a resist is applied to the front and back of the iron band, which is a belt-like body, in a resist coating step, and a pattern drawn on a glass dry plate in the exposure step is formed on both sides of the iron band. The pattern baked on the iron band in the developing step is developed, and a ferric chloride solution is sprayed on the front and back of the iron band as an etching solution, and as shown in FIG. Holes 3 having a predetermined pattern are formed.
【0004】そして、この図7に形成されるシャドウマ
スク1の孔3は、一般に丸型で断面は図8に示すよう
に、蛍光面側が大きいすり鉢状の大孔径φAで、電子銃
側が大孔径φAより径寸法の小さいすり鉢状の小孔径φ
Bとなり、これら大孔径φAおよび小孔径φBが開口部
φCで連通した形状に形成される。The hole 3 of the shadow mask 1 formed in FIG. 7 is generally round and has a mortar-shaped large hole diameter φA on the fluorescent screen side and a large hole diameter on the electron gun side as shown in FIG. Mortar-shaped small hole diameter smaller in diameter than φA
B, and the large hole diameter φA and the small hole diameter φB are formed in a shape communicating with each other at the opening φC.
【0005】そして、特にレジストの乾燥工程で乾燥状
態にむらが発生すると、レジストの感度が変化して、エ
ッチングするとシャドウマスクにむらが発生する。[0005] In particular, when unevenness occurs in the dried state in the resist drying step, the sensitivity of the resist changes, and the etching causes unevenness in the shadow mask.
【0006】一方、ディスプレイ管用のシャドウマスク
は、はじめ大孔径側からの所望の深さの孔を穿け、この
孔を穿けた部分に耐エッチング性のニスを埋め込んで乾
燥させた後、小口径側からエッチングし、最後にニスを
剥離して所望の孔径を有するシャドウマスクを形成して
いる。そして、このように2回に分けてエッチングする
ので、2段エッチングと称している。このニスを塗布し
乾燥させる工程では、レジストの乾燥が均一でないと、
ニスの膜厚が変化して耐エッチング性が部分的に変化し
て、むらが生ずるおそれがある。On the other hand, in a shadow mask for a display tube, a hole having a desired depth from the large-diameter side is first formed, an etching-resistant varnish is embedded in a portion where the hole is formed, and then dried. And finally, the varnish is peeled off to form a shadow mask having a desired hole diameter. Since the etching is performed twice in this manner, it is referred to as two-stage etching. In the step of applying and drying this varnish, if the drying of the resist is not uniform,
There is a possibility that the film thickness of the varnish changes and the etching resistance partially changes, causing unevenness.
【0007】したがって、レジストおよびニスの乾燥に
おいては、乾燥状態が悪いとシャドウマスクの品位を著
しく損ねるため、乾燥を均一することが重要課題の一つ
になっている。Therefore, in drying the resist and varnish, if the drying state is poor, the quality of the shadow mask is significantly impaired.
【0008】そして、通常、これらの乾燥装置は、乾燥
装置内の温度を測定して温度が所望の値になるようにヒ
ータを調整するか、あるいは、乾燥の装置の出口にて赤
外線温度計によって帯状体のセンタ部の温度を測定して
ヒータを調整している。[0008] Usually, these drying devices measure the temperature in the drying device and adjust the heater so that the temperature becomes a desired value, or use an infrared thermometer at the outlet of the drying device. The heater is adjusted by measuring the temperature at the center of the strip.
【0009】[0009]
【発明が解決しようとする課題】上述のように、帯状体
を均一に乾燥することが重要であるにもかかわらず、乾
燥内温度あるいは鉄帯のセンタの温度に基づきヒータを
調整するものでは、鉄帯の幅方向に均一な温度分布を得
るのがきわめて難しい問題を有している。As described above, although it is important to dry the strip uniformly, the heater is adjusted based on the internal drying temperature or the temperature of the iron strip center. It is very difficult to obtain a uniform temperature distribution in the width direction of the iron strip.
【0010】本発明は、上記問題点に鑑みなされたもの
で、帯状体を均一に乾燥できる乾燥方法およびその装置
を提供することを目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and has as its object to provide a drying method and an apparatus for uniformly drying a strip.
【0011】[0011]
【課題を解決するための手段】本発明は、帯状体の幅方
向に分割して配設された複数個のヒータで塗布物が塗布
された前記帯状体を長手方向に沿って相対的に移動しな
がら加熱し、前記複数個のヒータで加熱された帯状体の
温度を測定し、この温度分布が測定された帯状体の幅方
向の温度分布を求め、この幅方向の温度分布に基づき前
記ヒータを調節するもので、帯状体の幅方向の温度分布
によりヒータを調節することにより、幅方向の温度分布
がほぼ均一になり、全体の乾燥がほぼ一定になる。According to the present invention, there is provided a belt-like member to which a coating material is applied by a plurality of heaters which are divided in a width direction of the belt-like member and relatively moved along a longitudinal direction. While heating, the temperature of the strip heated by the plurality of heaters is measured, the temperature distribution in the width direction of the strip whose temperature distribution is measured is determined, and the heater is determined based on the temperature distribution in the width direction. By adjusting the heater in accordance with the temperature distribution in the width direction of the belt-like body, the temperature distribution in the width direction becomes substantially uniform, and the overall drying becomes substantially constant.
【0012】また、温度分布を画像処理し、この画像処
理に基づきヒータの調節を演算し、この演算に基づきヒ
ータを調節するもので、温度分布を画像処理してヒータ
の調節を演算し、ヒータを調節するもので、画像処理に
より幅方向の温度分布がよりほぼ均一になり、全体の乾
燥がほぼ一定になる。The temperature distribution is image-processed, the heater adjustment is calculated based on the image processing, and the heater is adjusted based on the calculation. The temperature distribution is image-processed to calculate the heater adjustment. The temperature distribution in the width direction is made more uniform by the image processing, and the overall drying becomes almost constant.
【0013】さらに、ヒータは、帯状体の移動方向に沿
って複数設けられたもので群を形成し、この群毎にヒー
タを調節するもので、群毎にヒータを制御することによ
り、容易に幅方向の温度分布がよりほぼ均一になり、全
体の乾燥がほぼ一定になる。Further, a plurality of heaters are provided along the moving direction of the belt-like body to form a group, and the heater is adjusted for each group. By controlling the heater for each group, the heater can be easily formed. The temperature distribution in the width direction becomes more uniform, and the overall drying becomes almost constant.
【0014】[0014]
【発明の実施の形態】以下、本発明の乾燥装置の一実施
の形態を図面を参照して説明する。なお、図7および図
8に示す従来例に対応する部分には同一符号を付して説
明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One embodiment of the drying apparatus of the present invention will be described below with reference to the drawings. Note that portions corresponding to the conventional example shown in FIGS. 7 and 8 are denoted by the same reference numerals and described.
【0015】まず、シャドウマスクを形成する際には、
図1に示すように、板厚0.10mmから0.22m
m、幅500mmから750mmの帯状体である鉄帯11
から形成され、鉄帯11の表裏にレジスト塗布装置12でレ
ジストを塗布するレジスト塗布工程、図示しない後の工
程になるガラス乾板に作画されたパターンを鉄帯11の両
面に焼き付ける露光工程、および、鉄帯11に焼き付けた
パターンを現像する現像工程、エッチング液である塩化
第2鉄溶液を、鉄帯11の表裏にスプレするエッチング工
程を経て、図7および図8に示すように、所望のパター
ンを有する孔3が形成される。First, when forming a shadow mask,
As shown in FIG. 1, the thickness is 0.10 mm to 0.22 m.
m, iron strip 11 which is a strip with a width of 500 mm to 750 mm
A resist coating step of applying a resist on the front and back of the iron strip 11 with the resist coating device 12, an exposure step of printing a pattern drawn on a glass dry plate to be a later step (not shown) on both sides of the iron strip 11, and As shown in FIGS. 7 and 8, a desired pattern is formed through a developing step of developing the pattern baked on the iron strip 11 and an etching step of spraying a ferric chloride solution as an etchant on the front and back of the iron strip 11. Is formed.
【0016】そして、レジスト塗布工程のレジスト塗布
装置12は、鉄帯11を搬送する移動手段としてのローラ13
が複数設けられ、このローラ13によりテンションをかけ
るとともに鉄帯11の方向を転換し、鉄帯11の上流側に
は、鉄帯11の表面にコーティングローラ14が対向して配
設され、このコーティングローラ14にはパイプドクター
ノズル15が対向して設けられ、このパイプドクターノズ
ル15から塗布物としてのレジスト16が吐出され、コーテ
ィングローラ14を介して鉄帯11の表面にレジスト16が塗
布されるパイプドクターノズル方式である。The resist coating device 12 in the resist coating step includes a roller 13 as a moving means for transporting the iron strip 11.
A plurality of rollers are provided, and the direction of the iron strip 11 is changed while applying tension by the rollers 13, and a coating roller 14 is disposed on the upstream side of the iron strip 11 so as to face the surface of the iron strip 11. The pipe 14 is provided with a pipe doctor nozzle 15 facing the roller 14, and a resist 16 as an application material is discharged from the pipe doctor nozzle 15, and the resist 16 is applied to the surface of the iron strip 11 via the coating roller 14. It is a doctor nozzle method.
【0017】また、このコーティングローラ14の下流側
には、乾燥炉21が設けられている。この乾燥炉21は、上
面にマトリクス状にヒータ2211,2212,……,225n-1,
225nが配設されて鉄帯11上のレジスト16に対向し、それ
ぞれ鉄帯11の長手方向に沿ってブロックが形成されたヒ
ータ群221 ,222 ,223 ,224 ,225 が形成されてい
る。A drying oven 21 is provided downstream of the coating roller 14. The drying furnace 21 includes heaters 22 11 , 22 12 ,.
22 5n are arranged to face the resist 16 on the iron band 11, a longitudinal heater group 22 1 a block is formed along, 22 2, 22 3, 22 4, 22 5, respectively iron band 11 Is formed.
【0018】さらに、乾燥炉21の下流側には、温度を測
定する温度測定手段および温度分布を測定する温度分布
測定手段としてのカメラ25が鉄帯11上に配設され、この
カメラ25はレンズ26が鉄帯27の表面に対向して配設され
ている。なお、カメラ25は乾燥炉21内に設けてもよい。Further, a camera 25 as a temperature measuring means for measuring the temperature and a temperature distribution measuring means for measuring the temperature distribution is disposed on the iron strip 11 downstream of the drying furnace 21. 26 is arranged opposite to the surface of the iron strip 27. Note that the camera 25 may be provided in the drying furnace 21.
【0019】また、図1および図2に示すように、これ
らヒータ2211,2212,……,225n-1,225nには、ヒータ
群221 ,222 ,223 ,224 ,225 に対応して、それぞれ
ヒータ群221 ,222 ,223 ,224 ,225 毎に、ヒータ22
11,2212,……,225n-1,225nの温度を調節する温度調
節手段としての温度調節器311 ,312 ,313 ,314 ,31
5 が取り付けられている。Further, as shown in FIG. 1 and FIG. 2, these heaters 22 11, 22 12, ..., 22 to the 5n-1, 22 5n, the heater group 22 1, 22 2, 22 3, 22 4, 22 5 , the heaters 22 1 , 22 2 , 22 3 , 22 4 , 22 5
Temperature regulators 31 1 , 31 2 , 31 3 , 31 4 , 31 as temperature control means for controlling the temperatures of 11 , 22 12 ,..., 225n-1 , 225n.
5 is installed.
【0020】一方、カメラ25には、画像処理手段として
の画像処理装置32が接続され、この画像処理装置32に
は、図3に示すように、温度調節器311 〜315 に接続さ
れ、これら温度調節器311 〜315 の温度調節状体を画像
処理に基づき設定する演算手段としての演算処理装置33
が接続されるとともに、モニタ装置34が接続されてい
る。Meanwhile, the camera 25 is the image processing apparatus 32 is connected as an image processing unit, the image processing apparatus 32, as shown in FIG. 3, is connected to a temperature controller 31 1-31 5, processor as an arithmetic means for setting, based temperature control shaped body of the temperature controller 31 1-31 5 to the image processing 33
And the monitor device 34 is connected.
【0021】次に、上記実施の形態の動作について説明
する。Next, the operation of the above embodiment will be described.
【0022】まず、鉄帯11をローラ13により搬送し、パ
イプドクターノズル15からコーティングローラ14にレジ
スト16を塗布し、コーティングローラ14に転写した後、
レジスト16を鉄帯11に転写する。First, the iron strip 11 is transported by the roller 13, a resist 16 is applied to the coating roller 14 from the pipe doctor nozzle 15, and is transferred to the coating roller 14.
The resist 16 is transferred to the iron strip 11.
【0023】そして、鉄帯11を水平にしてレジスト16を
上面にし、鉄帯11の表面をヒータ2211,2212,……,22
5n-1,225nにより加熱してレジスト16を乾燥させる。Then, the iron strip 11 is made horizontal with the resist 16 facing upward, and the surface of the iron strip 11 is heated by heaters 22 11 , 22 12 ,.
The resist 16 is dried by heating with 5n-1 and 225n .
【0024】さらに、鉄帯11の表面をカメラ25によって
幅方向を撮像し、撮像された画像信号を画像処理装置32
によって温度分布を求め、画像処理して得られた帯状体
11の温度分布をサーモピュアにより測定する。このサー
モピュアによれば、赤外線により帯状体11の温度分布を
測定することにより、測定された温度によって、図4に
示すように、モニタ装置34上に色付けして表示できる。Further, the surface of the iron strip 11 is imaged in the width direction by the camera 25, and the image signal obtained is imaged by the image processing device 32.
Strip obtained by image processing
The temperature distribution of 11 is measured by thermopure. According to this thermopure, by measuring the temperature distribution of the strip 11 using infrared rays, it is possible to display the color on the monitor device 34 according to the measured temperature as shown in FIG.
【0025】そして、この温度分布の信号は演算処理装
置33によって演算処理し、図5に示すように、幅方向に
5分割された鉄帯11のエリアA1 ,A2 ,A3 ,A4 ,
A5を求め、図6に示すように、それぞれのエリアA1
,A2 ,A3 ,A4 ,A5 毎に鉄帯11の幅方向に対応
する温度を求める。この温度によって、所望の設定温度
Ctになるように、それぞれのエリアA1 ,A2 ,A3
,A4 ,A5 に対応するヒータ群221 ,222 ,223 ,2
24 ,225 の温度を、温度調節器311 ,312 ,313,3
14 ,315 をPID(比例−積分−微分)制御すること
により調整する。The signal of the temperature distribution is subjected to arithmetic processing by the arithmetic processing unit 33, and as shown in FIG. 5, the areas A1, A2, A3, A4, A4, and A5 of the iron strip 11 divided into five in the width direction.
A5 is obtained, and as shown in FIG.
, A2, A3, A4, A5, the temperature corresponding to the width direction of the iron strip 11 is obtained. The respective areas A1, A2, A3 are adjusted so as to reach a desired set temperature Ct by this temperature.
, A4, A5 corresponding heater groups 22 1 , 22 2 , 22 3 , 2
2 4, the temperature of 22 5, a temperature controller 31 1, 31 2, 31 3, 3
1 4, 31 5 and PID adjusted by (proportional - - integral-derivative) control.
【0026】このように、鉄帯11の幅方向の温度分布を
画像処理して演算することにより温度調節器311 ,3
12 ,313 ,314 ,315 を制御して、幅方向に配設され
た複数個のヒータ群221 ,222 ,223 ,224 ,225 を制
御するため、鉄帯11の幅方向を均一な温度分布にするこ
とができ、シャドウマスク1の歩留まりおよび品位を向
上できる。As described above, the temperature distribution in the width direction of the iron strip 11 is image-processed and calculated, whereby the temperature controllers 31 1 , 3
In order to control the heater groups 22 1 , 22 2 , 22 3 , 22 4 , and 25 25 arranged in the width direction, the iron strip 11 is controlled by controlling 1 2 , 31 3 , 31 4 , and 31 5. Can have a uniform temperature distribution in the width direction, and the yield and quality of the shadow mask 1 can be improved.
【0027】なお、上記実施の形態では、レジスト16の
乾燥について説明したが、図8に示す2段エッチングの
場合のニスの乾燥装置にも同様に適応でき、また、シャ
ドウマスクの製造工程だけでなく、シャドウマスク以外
の帯状体の乾燥装置にも対応できる。In the above embodiment, the drying of the resist 16 has been described. However, the present invention can be similarly applied to the varnish drying apparatus in the case of the two-stage etching shown in FIG. In addition, the present invention can be applied to a drying apparatus for a strip other than the shadow mask.
【0028】[0028]
【発明の効果】本発明によれば、幅方向に設けられた複
数個のヒータで加熱された帯状体の温度を測定し、この
温度分布が測定された帯状体の幅方向の温度分布を求
め、この幅方向の温度分布に基づきヒータを調節するの
で、幅方向の温度分布がほぼ均一になり、全体の乾燥を
ほぼ一定にできる。According to the present invention, the temperature of a strip heated by a plurality of heaters provided in the width direction is measured, and the temperature distribution in the width direction of the strip whose temperature distribution is measured is determined. Since the heater is adjusted based on the temperature distribution in the width direction, the temperature distribution in the width direction is substantially uniform, and the entire drying can be substantially constant.
【0029】また、温度分布を画像処理し、この画像処
理に基づきヒータの調節を演算し、この演算に基づきヒ
ータを調節するので、画像処理により幅方向の温度分布
がよりほぼ均一になり、全体の乾燥をほぼ一定にでき
る。Further, since the temperature distribution is image-processed, the heater adjustment is calculated based on the image processing, and the heater is adjusted based on this calculation. Drying can be made almost constant.
【0030】さらに、ヒータは帯状体の移動方向に沿っ
て複数設けられたもので群を形成して群毎にヒータを調
節するので、容易に幅方向の温度分布がよりほぼ均一に
なり、全体の乾燥をほぼ一定にできる。Further, a plurality of heaters are provided along the moving direction of the belt-like body to form a group and the heater is adjusted for each group. Therefore, the temperature distribution in the width direction can be more easily made substantially uniform, and the whole can be easily adjusted. Drying can be made almost constant.
【図1】本発明の乾燥装置の一実施の形態を示す説明図
である。FIG. 1 is an explanatory view showing one embodiment of a drying apparatus of the present invention.
【図2】同上乾燥炉のヒータの配置を示す平面図であ
る。FIG. 2 is a plan view showing an arrangement of heaters in the drying furnace.
【図3】同上乾燥装置の制御系を示すブロック図であ
る。FIG. 3 is a block diagram showing a control system of the drying device.
【図4】同上モニタ装置に表示された鉄帯の温度分布を
示す説明図である。FIG. 4 is an explanatory diagram showing a temperature distribution of the iron strip displayed on the monitor device.
【図5】同上乾燥炉を鉄帯の幅方向に沿って分割したエ
リアを示す説明図である。FIG. 5 is an explanatory diagram showing an area obtained by dividing the drying furnace in the width direction of the iron strip;
【図6】同上演算処理された鉄帯の幅方向の温度分布を
示すグラフである。FIG. 6 is a graph showing a temperature distribution in a width direction of the iron strip subjected to the above-described arithmetic processing.
【図7】シャドウマスクを示す説明図である。FIG. 7 is an explanatory diagram showing a shadow mask.
【図8】シャドウマスクの孔を示す説明図である。FIG. 8 is an explanatory view showing holes of a shadow mask.
11 帯状体としての鉄帯 13 移動手段としてのローラ 16 塗布物としてのレジスト 221 〜225 ヒータ群 2211,2212,……,225n-1,225n ヒータ 25 温度測定手段、温度分布測定手段としてのカメラ 311 〜315 温度調節手段としての温度調節器 32 画像処理手段としての画像処理装置 33 演算手段としての演算処理装置11 Iron band as a band 13 Roller 16 as a moving means 16 Resist 22 1 to 22 5 Heater group 22 11 , 22 12 , ..., 225n-1 , 225n heater 25 Temperature measuring means, temperature distribution Camera 31 1 to 31 5 as measuring means 5 Temperature controller as temperature adjusting means 32 Image processing apparatus as image processing means 33 Arithmetic processing apparatus as arithmetic means
Claims (6)
数個のヒータで塗布物が塗布された前記帯状体を長手方
向に沿って相対的に移動しながら加熱し、 前記複数個のヒータで加熱された帯状体の温度を測定
し、 この温度分布が測定された帯状体の幅方向の温度分布を
求め、 この幅方向の温度分布に基づき前記ヒータを調節するこ
とを特徴とする帯状体の乾燥方法。A heating device that heats the strip, on which the coating material has been applied, while relatively moving the strip along a longitudinal direction by a plurality of heaters that are divided and arranged in the width direction of the strip; The temperature of the band heated by the heater is measured, and the temperature distribution in the width direction of the band whose temperature distribution is measured is obtained, and the heater is adjusted based on the temperature distribution in the width direction. The method of drying the band.
求項1記載の帯状体の乾燥方法。2. The method for drying a belt-shaped body according to claim 1, wherein the temperature distribution is image-processed, the heater adjustment is calculated based on the image processing, and the heater is adjusted based on the calculation.
数設けられたもので群を形成し、 この群毎にヒータを調節することを特徴とする請求項1
または2記載の帯状体の乾燥方法。3. The heater according to claim 1, wherein a plurality of heaters are provided along the moving direction of the strip to form a group, and the heater is adjusted for each group.
Or the method for drying a strip according to 2 above.
物が塗布された帯状体を加熱する複数個のヒータと、 これら複数個のヒータに対して帯状体を長手方向に沿っ
て相対的に移動させる移動手段と、 前記複数個のヒータで加熱された帯状体の温度を測定す
る温度測定手段と、 この温度測定手段で測定された温度に基づき帯状体の温
度分布を求める温度分布測定手段と、 この温度分布測定手段で測定された幅方向の温度分布に
基づき前記ヒータを調節する温度調節手段とを具備した
ことを特徴とする帯状体の乾燥装置。4. A plurality of heaters which are arranged in the width direction of the strip and are heated for heating the strip to which the coating material is applied, and the strip is moved along the longitudinal direction with respect to the plurality of heaters. Moving means for relatively moving; a temperature measuring means for measuring a temperature of the strip heated by the plurality of heaters; and a temperature distribution for obtaining a temperature distribution of the strip based on the temperature measured by the temperature measuring means. An apparatus for drying a belt-shaped body, comprising: a measuring unit; and a temperature adjusting unit that adjusts the heater based on the temperature distribution in the width direction measured by the temperature distribution measuring unit.
を画像処理する画像処理手段と、 この画像処理手段で処理された画像に基づきヒータの調
節を演算する演算手段とを具備したことを特徴とする請
求項4記載の帯状体の乾燥装置。5. An image processing means for performing image processing of a temperature distribution measured by a temperature distribution measuring means, and a calculating means for calculating adjustment of a heater based on an image processed by the image processing means. The apparatus for drying a band-shaped body according to claim 4, wherein
けられた複数で群を形成し、 温度調節手段は、この群毎にヒータを調節することを特
徴とする請求項4および5記載の帯状体の乾燥装置。6. The heater according to claim 4, wherein a plurality of heaters are provided along the longitudinal direction of the strip to form a group, and the temperature adjusting means adjusts the heater for each group. For drying the web.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19685497A JPH1137649A (en) | 1997-07-23 | 1997-07-23 | Method and apparatus for drying strip shaped body |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19685497A JPH1137649A (en) | 1997-07-23 | 1997-07-23 | Method and apparatus for drying strip shaped body |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1137649A true JPH1137649A (en) | 1999-02-12 |
Family
ID=16364771
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP19685497A Pending JPH1137649A (en) | 1997-07-23 | 1997-07-23 | Method and apparatus for drying strip shaped body |
Country Status (1)
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JP (1) | JPH1137649A (en) |
Cited By (4)
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