JPH113659A - Manufacture of fluorescent surface for cathode-ray tube - Google Patents

Manufacture of fluorescent surface for cathode-ray tube

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JPH113659A
JPH113659A JP15391297A JP15391297A JPH113659A JP H113659 A JPH113659 A JP H113659A JP 15391297 A JP15391297 A JP 15391297A JP 15391297 A JP15391297 A JP 15391297A JP H113659 A JPH113659 A JP H113659A
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JP
Japan
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color
layer
stripe
phosphor
photosensitive film
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JP15391297A
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Japanese (ja)
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Yukio Ito
幸雄 伊東
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Sony Corp
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Publication of JPH113659A publication Critical patent/JPH113659A/en
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  • Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To form a phosphor layer at an ultra-narrow pitch and a black color absorbing layer by repeating each process of coating, exposure and development of photosensitive film per each color at a position to be formed with each color phosphor stripe layer so as to form a photoresist layer. SOLUTION: An inner surface of a panel 11 is coated with a photosensitive film 12 of water soluble ultraviolet hardening resin, and after drying it, a color selecting mechanism 13 is used as an optical mask, and a light source is provided at a position for exposure of a first color, for example green color (G), and the photosensitive film 12 is exposed. A non-hardening resin is eliminated for development by washing with pure water, and a stripe photoresist layer 14 is formed at a position to be formed with a green phosphor stripe layer. In the case of a second color and other following color, a stripe photoresist layer 14 is formed at a position to be formed with each color stripe layer in the similar order. With this structure, slit width of the color selecting mechanism 13 is restricted at minimum, and a carbon-stripe layer at an ultra-narrow pitch is thereby formed.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、カラーテレビジョ
ン受像機等の陰極線管の蛍光面作製方法、特に超細ピッ
チの蛍光面を可能にする蛍光面作製方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for producing a phosphor screen of a cathode ray tube such as a color television receiver, and more particularly to a method for producing a phosphor screen having an ultra-fine pitch.

【0002】[0002]

【従来の技術】カラー陰極線管の蛍光面は、赤、緑及び
青の各蛍光体の間隙に黒色物質等の光吸収層を配置する
ことにより、画面のコンストラストを向上させている。
例えば、光吸収層がストライプ型のカラー蛍光面は、次
のようにして作製される。
2. Description of the Related Art The fluorescent screen of a color cathode ray tube improves the contrast of a screen by arranging a light-absorbing layer of a black substance or the like in a gap between red, green and blue phosphors.
For example, a color phosphor screen having a stripe type light absorbing layer is manufactured as follows.

【0003】先ず図7Aに示すように、陰極線管のパネ
ル11内面に、PVA(ポリビニルアルコール)等の水
溶性紫外線硬化樹脂からなる感光膜12を塗布する。乾
燥後、図7Bに示すように、色選別機構13を通して感
光膜12を紫外線露光する。なお、この例の色選別機構
13としては、多数の細い帯状のグリッド素体8が画面
水平方向に所定ピッチで配列され、各隣り合うグリッド
素体8間に画面垂直方向に長いスリット状の電子ビーム
透過孔(以下、スリットと称する)9が形成された色選
別用電極薄板を、フレームの相対向する支持部材間上に
架張して構成した、いわゆるアパーチャーグリルと称さ
れる色選別機構が用いられる。
First, as shown in FIG. 7A, a photosensitive film 12 made of a water-soluble ultraviolet curable resin such as PVA (polyvinyl alcohol) is applied to the inner surface of a panel 11 of a cathode ray tube. After drying, as shown in FIG. 7B, the photosensitive film 12 is exposed to ultraviolet light through a color selection mechanism 13. As the color selection mechanism 13 of this example, a large number of narrow strip-shaped grid elements 8 are arranged at a predetermined pitch in the horizontal direction of the screen, and a slit-shaped electron element that is long in the vertical direction of the screen between adjacent grid elements 8. A color selection mechanism called a so-called aperture grill, which is formed by stretching a color selection electrode thin plate having a beam transmission hole (hereinafter referred to as a slit) 9 formed between opposing support members of a frame. Used.

【0004】露光の方法は、第6図に示すように、超高
圧水銀ランプ40を第1色目、例えば緑(G)露光時の
位置に設置し、補正レンズ41を介し、色選別機構13
を光学マスクとして感光膜12を紫外線露光する。その
後、第2色目、例えば青(B)露光時の位置、及び第3
色目、例えば赤(R)露光時の位置に超高圧水銀ランプ
40をそれぞれ移動させ、同様にして各色に対応した位
置を露光する。即ち、3回露光した後、図7Cに示すよ
うに、純水による水洗等で未硬化樹脂を除去して現像
し、各色に対応した位置にストライプ状のフォトレジス
ト層14を形成する。
As shown in FIG. 6, an exposure method is such that an ultra-high pressure mercury lamp 40 is installed at a position for the first color, for example, green (G) exposure, and a color selection mechanism 13 is provided via a correction lens 41.
Is used as an optical mask to expose the photosensitive film 12 to ultraviolet light. Then, the second color, for example, the position at the time of blue (B) exposure, and the third color
The ultra-high pressure mercury lamp 40 is moved to a position at the time of exposing a color, for example, red (R), and a position corresponding to each color is similarly exposed. That is, after exposure three times, as shown in FIG. 7C, the uncured resin is removed by washing with pure water or the like, and development is performed to form a striped photoresist layer 14 at a position corresponding to each color.

【0005】次に、図7Dに示すようにフォトレジスト
層14を含む上面全面にカーボンスラリーを塗布し、乾
燥してカーボン膜15を形成する。次に図8Eに示すよ
うに、カーボン膜15上に反転剤16を塗布し、カーボ
ン膜15を浸透した反転剤16により、図8Fに示すよ
うにフォトレジスト層14を分解する。
Next, as shown in FIG. 7D, a carbon slurry is applied to the entire upper surface including the photoresist layer 14 and dried to form a carbon film 15. Next, as shown in FIG. 8E, a reversing agent 16 is applied on the carbon film 15, and the photoresist layer 14 is decomposed by the reversing agent 16 that has permeated the carbon film 15, as shown in FIG. 8F.

【0006】さらに純水により現像、いわゆる反転現像
(即ち、フォトレジスト層14と共にその上に積層した
カーボン層も剥離)して、図8Gに示すように所定パタ
ーンのカーボンストライプ17、即ち黒色ストライプ光
吸収層を形成する。
Further, development with pure water, so-called reversal development (that is, the carbon layer laminated thereon together with the photoresist layer 14 is also stripped) is performed, and as shown in FIG. An absorption layer is formed.

【0007】次に、第1色目の例えば緑色の蛍光体スラ
リーを塗布し、乾燥後、前記露光方法と同様にして紫外
線露光した後、現像処理し、図8Hに示すように、所定
の黒色ストライプ光吸収層間に緑色蛍光体ストライプ1
8Gを形成する。以下同様にして、それぞれ他の黒色ス
トライプ光吸収層間に、第2色目の例えば赤色蛍光体ス
トライプ18R及び第3色目の青色蛍光体ストライプ1
8Bをそれぞれ形成する。しかる後、これら蛍光体層の
上面に中間膜を塗布形成し、さらにアルミニウムのメタ
ルバック層を形成した後、焼成して目的のカラー蛍光面
19が形成される。
Next, the first color, for example, a green phosphor slurry is applied, dried, exposed to ultraviolet rays in the same manner as the above-described exposure method, and then developed to form a predetermined black stripe as shown in FIG. 8H. Green phosphor stripe 1 between light absorbing layers
8G is formed. Similarly, the second color, for example, the red phosphor stripe 18R and the third color blue phosphor stripe 1 are interposed between the other black stripe light absorbing layers.
8B are respectively formed. Thereafter, an intermediate film is applied and formed on the upper surfaces of these phosphor layers, and after a metal back layer of aluminum is formed, firing is performed to form a target color phosphor screen 19.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】これらの各蛍光体層1
8および黒色ストライプ光吸収層17の幅は狭い程、陰
極線管の画像は細密となり、分解能は高くなる。黒色ス
トライプ光吸収層17の幅tは、結果として色選別機構
13のスリット9のピッチpにより決定される。一般
に、 スリット9の幅(W)=〔色選別機構のピッチ(p)〕
×〔色選別用電極薄板の紫外線透過率〕 の関係があり、紫外線透過率はほぼ一定(0.2〜0.
22)とされているので、ピッチpとスリット幅Wとは
比例関係となる。即ち、ピッチpを小さくすることが、
スリット9の幅Wを小さくすることになる。
SUMMARY OF THE INVENTION Each of these phosphor layers 1
The narrower the width of the light absorbing layer 8 and the black stripe light absorbing layer 17, the finer the image of the cathode ray tube and the higher the resolution. The width t of the black stripe light absorbing layer 17 is determined by the pitch p of the slits 9 of the color selection mechanism 13 as a result. Generally, the width (W) of the slit 9 = [pitch (p) of the color selection mechanism]
× [ultraviolet transmittance of the electrode plate for color selection], and the ultraviolet transmittance is almost constant (0.2 to 0.1).
22), the pitch p and the slit width W are in a proportional relationship. That is, to reduce the pitch p,
The width W of the slit 9 is reduced.

【0009】感光膜12の露光に用いる水銀ランプ40
より出射した紫外線は、色選別機構13のスリット9を
通過する時に、フレネル回折と呼ばれる回折作用を受け
る。この為、感光膜12上に生ずる各スリット9におけ
る光強度分布は、方形波状にはならず、いわゆるフレネ
ル分布と呼ばれる多様な形状となる。
A mercury lamp 40 used for exposing the photosensitive film 12
The ultraviolet rays emitted from the slits 9 undergo a diffraction effect called Fresnel diffraction when passing through the slit 9 of the color selection mechanism 13. For this reason, the light intensity distribution in each slit 9 generated on the photosensitive film 12 does not have a square wave shape but has various shapes called a so-called Fresnel distribution.

【0010】例えば、大まかなフレネル分布を決定する
因子であるフレネル指標(F)は、図9に示すように色
選別機構13とパネル11内面間の距離(いわゆるグリ
ルハイト)をGH、スリット幅をW、紫外線の波長をλ
とすると、次の数1の式により示される。
For example, as shown in FIG. 9, the Fresnel index (F), which is a factor that determines the approximate Fresnel distribution, is GH, the distance between the color selection mechanism 13 and the inner surface of the panel 11 (so-called grill height), and W, the slit width. , UV wavelength λ
Then, it is represented by the following equation (1).

【0011】[0011]

【数1】 (Equation 1)

【0012】このフレネル指標(F)が2.0以下の場
合には、このフレネル分布はガウス分布で近似でき、例
えばスリット幅が小さくなると、F値は小さくなる。図
10に、フレネル指標(F)の違いによるガウス分布の
形を示す。図10によれば、スリット9の幅Wが小さく
なる、即ちF値が小さくなると、光強度分布は裾野が広
い形となることが分かる。
When the Fresnel index (F) is 2.0 or less, the Fresnel distribution can be approximated by a Gaussian distribution. For example, as the slit width becomes smaller, the F value becomes smaller. FIG. 10 shows the shape of the Gaussian distribution due to the difference in the Fresnel index (F). According to FIG. 10, when the width W of the slit 9 decreases, that is, when the F-number decreases, the light intensity distribution has a shape with a wide base.

【0013】さらに説明を簡単にするために、これらガ
ウス分布の形状を三角形で近似する。図11は、感光膜
12の受ける各赤,緑,青の3つの光源の位置からの各
紫外線R,G,Bのエネルギー量を、三角形で近似した
ものである。すなわち、三角形の頂点は、それぞれの紫
外線の露光エネルギーの最も高い状態を示しており、三
角形の底辺は、露光エネルギーが0であることを示して
いる。
To further simplify the description, the shapes of these Gaussian distributions are approximated by triangles. FIG. 11 is a graph in which the amount of energy of each of the ultraviolet rays R, G, and B from the positions of the three light sources of red, green, and blue received by the photosensitive film 12 is approximated by a triangle. That is, the vertices of the triangle indicate that the exposure energy of each ultraviolet ray is the highest, and the base of the triangle indicates that the exposure energy is 0.

【0014】図11a,図11b,図11c,図11d
の順にスリット幅が狭くなっている。図11aは、スリ
ット幅Wが充分に広く、各紫外線R,G,Bが重複しな
い状態を示し、同図bは、各紫外線が重複せずに感光膜
12の全面を露光した状態を示し、同図cは隣同士の露
光部分が重複し、同図dは、感光膜12の全面で2つの
露光が重なっている状態を示している。
FIGS. 11a, 11b, 11c and 11d
The slit width becomes smaller in the order of. FIG. 11A shows a state in which the slit width W is sufficiently large and the ultraviolet rays R, G, and B do not overlap, and FIG. 11B shows a state in which the entire surface of the photosensitive film 12 is exposed without the ultraviolet rays overlapping. FIG. 3C shows a state in which adjacent exposure portions overlap, and FIG. 4D shows a state in which two exposures overlap on the entire surface of the photosensitive film 12.

【0015】ところで、感光膜12は、PVA等の感光
剤からなるもので、光吸収量により重合度が規定され
る。感光膜12の重合度が高くなれば、水洗の際に脱落
しなくなり、重合度が低い場合には、水洗により容易に
脱落する。
The photosensitive film 12 is made of a photosensitive agent such as PVA, and the degree of polymerization is determined by the amount of light absorbed. When the degree of polymerization of the photosensitive film 12 is high, the photosensitive film 12 does not fall off when washed with water, and when the degree of polymerization is low, the photosensitive film 12 easily falls off by washing with water.

【0016】従って、従来の露光方法のように、3つの
紫外線R,G,Bを露光させた後に現像する場合には、
図11c,dの点線に示すように、2つの紫外線の光エ
ネルギー量が加算されるので、蛍光体ストライプ層18
を形成する部分と黒色ストライプ光吸収層17を形成す
る部分との感光膜12の重合度の比、すなわち、感光膜
12の水洗に対する強度比が少なくなり、蛍光体ストラ
イプ層18を形成する部分を残して、黒色ストライプ光
吸収層17を形成する部分を、水洗により除去すること
が困難となる。
Therefore, when developing after exposing three ultraviolet rays R, G and B as in the conventional exposure method,
As shown by the dotted lines in FIGS. 11C and 11D, since the light energy amounts of the two ultraviolet rays are added, the phosphor stripe layer 18 is added.
The ratio of the degree of polymerization of the photosensitive film 12 between the portion where the black stripe light absorbing layer 17 is formed and the portion where the black stripe light absorbing layer 17 is formed, that is, the intensity ratio of the photosensitive film 12 with respect to water washing decreases, and the portion where the phosphor stripe layer 18 is formed is It is difficult to remove the portion where the black stripe light absorbing layer 17 is formed by washing with water.

【0017】上記感光膜の重合度の比が、各色紫外線の
光エネルギー量比に比例すると考えられるから、図11
aの光エネルギーの最大値をA値とし、また、三角形の
裾の部分のエネルギー量は、同図a,bでは、露光が重
複しないので三角形のとおりであるが、同図cでは、隣
接する三角形と重複する部分は、隣接する露光量が加算
されるのでB値となる。さらに同図dでは、隣接する三
角形の重複を加算すると、B値とA値とは同じくなる。
Since the ratio of the degree of polymerization of the photosensitive film is considered to be proportional to the ratio of the amount of light energy of ultraviolet light of each color, FIG.
The maximum value of the light energy of a is defined as the A value, and the energy amount at the bottom of the triangle is as shown by the triangle in FIGS. The portion overlapping with the triangle becomes the B value because the adjacent exposure amounts are added. Further, in FIG. 3D, when the overlap of adjacent triangles is added, the B value and the A value become the same.

【0018】ここで、上記A値とB値との関係から(A
−B)/Aは、露光量のコントラスト比と考えられるも
のであり、図11a,bでは、このコントラスト比が
1.0、同図cでは、約0.33程度、同図dでは0と
みなすことができる。通常、感光膜の感光した部分が、
全て水洗等の処理により残存して現像されるわけではな
く、露光量の少ない部分、即ち完全硬化していない(未
硬化)部分も除去される。この残存部分,除去部分の調
整は、水洗の方法によりある程度は調整できるが、感光
剤の重合度の差、即ち露光量のコントラスト比がある程
度大きくないとその調整は難しい。
Here, from the relationship between the A value and the B value, (A
−B) / A is considered to be a contrast ratio of the exposure amount. In FIGS. 11A and 11B, the contrast ratio is 1.0, in FIG. 11C, about 0.33, and in FIG. Can be considered. Usually, the exposed part of the photosensitive film is
All are not left and developed by a process such as washing with water, and a portion having a small exposure amount, that is, a portion that is not completely cured (uncured) is also removed. The adjustment of the remaining portion and the removed portion can be adjusted to some extent by a washing method, but it is difficult to adjust the difference in the degree of polymerization of the photosensitizers, that is, the contrast ratio of the exposure dose to some extent.

【0019】このコントラスト比が0.5以下となる
と、図7のフォトレジスト層14、従って、カーボンス
トライプ層17を形成するのが難しいと言われており、
コントラスト比0では、当然その形成は不可能となる。
従って従来の方法により、スリット9の幅Wを小さくす
れば、隣接する紫外線が重複露光し、露光量のコントラ
スト比が小さくなって現像が困難となるので、スリット
9の幅Wを小さくすることは出来ず、超細ピッチの蛍光
面を作製するのは困難である。
When the contrast ratio is 0.5 or less, it is said that it is difficult to form the photoresist layer 14 of FIG. 7 and therefore the carbon stripe layer 17.
If the contrast ratio is 0, it cannot be formed.
Therefore, if the width W of the slit 9 is reduced by the conventional method, the adjacent ultraviolet rays are overlap-exposed, and the contrast ratio of the exposure amount becomes small, so that the development becomes difficult. Therefore, the width W of the slit 9 cannot be reduced. It is not possible, and it is difficult to produce an ultra-fine pitch phosphor screen.

【0020】本発明は、上記課題に鑑みてなされたもの
であり、超細ピッチの蛍光体層及び黒色光吸収層を形成
する蛍光面の作製方法を提供することを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and has as its object to provide a method for producing a phosphor screen for forming a phosphor layer having a fine pitch and a black light absorbing layer.

【0021】[0021]

【課題を解決するための手段】本発明は、各色毎に感光
材塗布,露光,現像処理を行った後に、パネル全面に、
光吸収材塗布,反転現像を行って蛍光面の光吸収層を形
成する。この蛍光面の作製方法によれば、超細ピッチの
蛍光体層及び黒色光吸収層の形成が可能となる。
According to the present invention, a photosensitive material is applied, exposed, and developed for each color, and then the entire surface of the panel is processed.
A light absorbing material is applied and reversal development is performed to form a light absorbing layer on the phosphor screen. According to this method of forming a phosphor screen, it is possible to form a phosphor layer and a black light absorption layer having a very fine pitch.

【0022】[0022]

【発明の実施の形態】本発明に係る陰極線管の蛍光面作
製方法は、陰極線管の蛍光面の光吸収層形成工程におい
て、各色毎に感光材塗布,露光,現像処理を行った後
に、パネル全面に、光吸収材塗布,反転現像を行う。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The method for producing a phosphor screen of a cathode ray tube according to the present invention comprises the steps of: forming a light absorbing layer on the phosphor screen of the cathode ray tube; A light absorbing material is applied to the entire surface and reversal development is performed.

【0023】以下、図面を参照して説明する。図1〜図
5は、カラー陰極線管において、光吸収層がストライプ
型のカラー蛍光面の作製に本発明を適用した場合であ
る。
Hereinafter, description will be made with reference to the drawings. FIGS. 1 to 5 show a case where the present invention is applied to the production of a color phosphor screen in which a light absorbing layer has a stripe type in a color cathode ray tube.

【0024】図1は本発明に係る陰極線管の蛍光面作製
方法のブロック工程図である。図2〜図5は、本発明に
係る陰極線管の蛍光面作製工程図である。図2A(図1
の工程21参照)に示すように、陰極線管のパネル11
内面に、PVA(ポリビニルアルコール)等の水溶性紫
外線硬化樹脂からなる感光膜12を塗布する。乾燥後、
図2B(図1の工程22,工程23参照)に示すよう
に、前述と同様にして、色選別機構13を光学マスクと
し、光源、例えば水銀ランプ40を、第1色目、例えば
緑色(G)露光時の位置に設置して、感光膜12を露光
する。
FIG. 1 is a block diagram of a method for producing a fluorescent screen of a cathode ray tube according to the present invention. 2 to 5 are process charts for producing a phosphor screen of a cathode ray tube according to the present invention. FIG. 2A (FIG. 1)
As shown in step 21 of FIG.
On the inner surface, a photosensitive film 12 made of a water-soluble ultraviolet curable resin such as PVA (polyvinyl alcohol) is applied. After drying,
As shown in FIG. 2B (see Steps 22 and 23 in FIG. 1), similarly to the above, the color selection mechanism 13 is used as an optical mask, and the light source, for example, the mercury lamp 40 is used as the first color, for example, green (G). The photosensitive film 12 is exposed at the position at the time of exposure.

【0025】次に、図2C(図1の工程24参照)に示
すように、純水による水洗等で未硬化樹脂を除去して現
像し、例えば、緑色蛍光体ストライプ層を形成すべき位
置に、ストライプ状のフォトレジスト層14を形成す
る。
Next, as shown in FIG. 2C (see step 24 in FIG. 1), the uncured resin is removed by washing with pure water or the like and developed, for example, at a position where a green phosphor stripe layer is to be formed. Then, a striped photoresist layer 14 is formed.

【0026】次に、図3D(図1の工程25参照)に示
すように、再びパネル11の内面に感光膜12を塗布す
る。乾燥後、図3E(図1の工程26,工程27参照)
に示すように、色選別機構13を光学マスクとし、光源
を第2色目、例えば青色(B)露光時の位置に移動して
感光膜12を露光する。
Next, as shown in FIG. 3D (see step 25 in FIG. 1), the photosensitive film 12 is applied to the inner surface of the panel 11 again. After drying, FIG. 3E (see steps 26 and 27 in FIG. 1)
As shown in (2), the photosensitive film 12 is exposed by moving the light source to the position for the second color, for example, blue (B) exposure, using the color selection mechanism 13 as an optical mask.

【0027】次に、図3F(図1の工程28参照)に示
すように、純水による水洗等で現像し、例えば青色蛍光
体ストライプ層を形成すべき位置に、ストライプ状のフ
ォトレジスト層14を形成する。
Next, as shown in FIG. 3F (see step 28 in FIG. 1), the photoresist layer 14 is developed by washing with pure water or the like to form a stripe-shaped photoresist layer 14 at a position where a blue phosphor stripe layer is to be formed. To form

【0028】次に、図4G(図1の工程29参照)に示
すように、再びパネル11の内面に感光膜12を塗布す
る。乾燥後、図4H(図1の工程30,工程31参照)
に示すように、色選別機構13を光学マスクとし、光源
を第3色目、例えば赤色(R)露光時の位置に移動して
感光膜12を露光する。
Next, as shown in FIG. 4G (see step 29 in FIG. 1), the photosensitive film 12 is applied to the inner surface of the panel 11 again. After drying, FIG. 4H (see steps 30 and 31 in FIG. 1)
As shown in (1), the color selecting mechanism 13 is used as an optical mask, and the light source is moved to a position for the third color, for example, red (R) exposure, to expose the photosensitive film 12.

【0029】次に図4I(図1の工程32参照)に示す
ように、純水による水洗等で未硬化樹脂を除去して現像
し、例えば赤色蛍光体ストライプ層を形成すべき位置に
ストライプ状のフォトレジスト層14を形成する。
Next, as shown in FIG. 4I (see step 32 in FIG. 1), the uncured resin is removed by washing with pure water or the like and developed, and, for example, a stripe shape is formed at a position where a red phosphor stripe layer is to be formed. Is formed.

【0030】このようにして、各色蛍光体ストライプ層
を形成すべき位置に、ストライプ状のフォトレジスト層
14を形成し、従来と同様に、図5J(図1の工程33
参照)に示すように、フォトレジスト層14を含む上面
全面にカーボンスラリーを塗布し、乾燥してカーボン膜
15を形成する。次に図5K(図1の工程34参照)に
示すように、カーボン膜15上に反転剤16を塗布し、
カーボン膜15を浸透した反転剤16により、フォトレ
ジスト層14を分解する。
In this manner, a stripe-shaped photoresist layer 14 is formed at the position where each color phosphor stripe layer is to be formed.
As shown in (1), a carbon slurry is applied to the entire upper surface including the photoresist layer 14 and dried to form a carbon film 15. Next, as shown in FIG. 5K (see step 34 in FIG. 1), a reversing agent 16 is applied on the carbon film 15,
The photoresist layer 14 is decomposed by the reversing agent 16 that has permeated the carbon film 15.

【0031】次に純水により現像、いわゆる反転現像
(即ち、フォトレジスト層と共にその上に積層したカー
ボン層も剥離)して、図5L(図1の工程35参照)に
示すように所定パターンのカーボンストライプ17、即
ち黒色ストライプ光吸収層を形成する。
Next, development with pure water, so-called reversal development (that is, peeling of the carbon layer laminated thereon together with the photoresist layer) is performed, and a predetermined pattern is formed as shown in FIG. 5L (see step 35 in FIG. 1). A carbon stripe 17, that is, a black stripe light absorbing layer is formed.

【0032】上述の反転現像処理を行った後は、図5M
に示すように、第1色目の例えば緑色の蛍光体スラリー
を塗布し、乾燥後、色選別機構13を介して紫外線露光
し、現像処理して所定のカーボンストライプ17間に緑
色蛍光体ストライプ18Gを形成し(図1の工程36参
照)、以下同様にしてそれぞれ他のカーボンストライプ
17間に、第2色の例えば青色蛍光体ストライプ18B
及び第3色目の赤色蛍光体ストライプ18Rを形成する
(図1の工程37,工程38参照)。しかる後、これら
蛍光体層の上面に中間膜を塗布形成し、さらにアルミニ
ウムのメタルバック層を形成した後、焼成して目的のカ
ラー蛍光面19が形成される。
After performing the above-described reversal development processing, FIG.
As shown in FIG. 7, a green phosphor slurry of the first color, for example, a green phosphor slurry is applied, dried, exposed to ultraviolet light through a color selection mechanism 13, developed, and processed to form a green phosphor stripe 18G between predetermined carbon stripes 17. 1 (see step 36 in FIG. 1), and similarly in the same manner, between each of the other carbon stripes 17, for example, a blue phosphor stripe 18B of the second color.
Then, a red phosphor stripe 18R of the third color is formed (see steps 37 and 38 in FIG. 1). Thereafter, an intermediate film is applied and formed on the upper surfaces of these phosphor layers, and after a metal back layer of aluminum is formed, firing is performed to form a target color phosphor screen 19.

【0033】本発明では、各色蛍光体ストライプ層を形
成すべき位置に、フォトレジスト層14を形成する際
に、感光膜12の塗布,露光,現像を各色毎に繰り返し
行って、フォトレジスト層14を形成するので、他色用
の露光と重複することはない。従って、前記図11によ
り説明したように、露光中心点と端部との露光エネルギ
ーコントラスト比を、充分に設けることが可能であるの
で、色選別機構13のスリット9の幅Wを極小として、
超細ピッチのカーボンストライプ層17を形成すること
が可能である。
In the present invention, when the photoresist layer 14 is formed at the position where the phosphor stripe layer of each color is to be formed, the application, exposure and development of the photosensitive film 12 are repeatedly performed for each color. Is formed, so that there is no overlap with exposure for other colors. Therefore, as described with reference to FIG. 11, since the exposure energy contrast ratio between the exposure center point and the end portion can be sufficiently provided, the width W of the slit 9 of the color selection mechanism 13 is minimized.
It is possible to form the carbon stripe layer 17 having a very fine pitch.

【0034】フォトレジスト層14の幅は、感光膜12
を露光した後の現像時において、現像水の水圧,現像時
間をコントロールすることによって、あるいは、図11
で示された光エネルギー最大値Aをコントロールするこ
とによって所望の幅にコントロールすることができる。
The width of the photoresist layer 14 depends on the width of the photosensitive film 12.
11 is controlled by controlling the water pressure of the developing water and the developing time during the development after the exposure of FIG.
The desired width can be controlled by controlling the maximum value A of the light energy indicated by.

【0035】例えば、14インチのカラー陰極線管で、
ピッチ0.1mm,透過率0.2の場合には、スリット
9の幅(W)は0.02mmとなり、色選別機構13と
感光膜12との間隔(GH)が1.5mm、紫外線の波
長(λ)が0.365μmの場合には、フレネル指数
(F)は、1.21となる。この場合、従来の方法で
は、露光エネルギーコントラスト比がほぼ0となり、フ
ォトレジスト層14を形成することは困難であるが、本
発明の方法によれば、コントラスト比が0.9となり、
実用的にカーボンストライプ層17が得られる。
For example, with a 14-inch color cathode ray tube,
When the pitch is 0.1 mm and the transmittance is 0.2, the width (W) of the slit 9 is 0.02 mm, the distance (GH) between the color selection mechanism 13 and the photosensitive film 12 is 1.5 mm, and the wavelength of the ultraviolet light. When (λ) is 0.365 μm, the Fresnel index (F) is 1.21. In this case, in the conventional method, the exposure energy contrast ratio becomes almost 0, and it is difficult to form the photoresist layer 14. However, according to the method of the present invention, the contrast ratio becomes 0.9,
Practically, the carbon stripe layer 17 is obtained.

【0036】上述した本発明の方法によれば、各スリッ
ト9の中心部に対応する部分と端部に対応する部分との
光エネルギーコントラスト比を大きくすることができ、
スリット9の幅Wの極めて小さい黒色ストライプ光吸収
層17及び蛍光体ストライプ層18を形成することが可
能であり、従って、極めて精細な蛍光面を作製すること
ができる。即ち、カラー陰極線管において、ランディン
グアロアンス向上の為の光吸収層を有する超細ピッチの
カラー蛍光面の形成が可能となる。
According to the method of the present invention described above, the light energy contrast ratio between the portion corresponding to the center of each slit 9 and the portion corresponding to the end can be increased.
It is possible to form the black stripe light absorbing layer 17 and the phosphor stripe layer 18 having the extremely small width W of the slit 9, and therefore, it is possible to produce an extremely fine phosphor screen. That is, in a color cathode ray tube, it is possible to form a super-fine pitch color phosphor screen having a light absorbing layer for improving landing alliance.

【0037】なお、本発明は、上例の他、例えばスロッ
トタイプ,ドットタイプ等他の色選別機構を有する陰極
線管の蛍光面の作製にも適用できる。
The present invention can also be applied to the manufacture of a fluorescent screen of a cathode ray tube having other color selection mechanisms such as a slot type and a dot type in addition to the above examples.

【0038】[0038]

【発明の効果】本発明に係る陰極線管の蛍光面作製方法
は、露光時の色選別機構の各電子ビーム透過孔の中央部
に対応する部分と端部に対応する部分との光エネルギー
コントラストを大きくし、極細ビームの電子ビーム透過
孔を有する色選別機構を光学マスクとして用いた場合で
あっても、水洗,現像が可能となり、極細の光吸収層を
形成することができる。従って、高精細カラー蛍光面を
作製することができる。しかも、本発明の方法は、従来
の設備,方法をそのまま利用できるので、新たな設備投
資は全く不要で、作業に対する新たな教育,習熟も不要
である。
According to the method for producing a fluorescent screen of a cathode ray tube according to the present invention, the light energy contrast between the portion corresponding to the center portion and the portion corresponding to the end of each electron beam transmitting hole of the color selection mechanism at the time of exposure is reduced. Even when a color selection mechanism having an electron beam transmission hole for an ultrafine beam is used as an optical mask, washing and development can be performed, and an ultrafine light absorbing layer can be formed. Therefore, a high-definition color phosphor screen can be manufactured. Moreover, since the method of the present invention can use the conventional equipment and method as it is, no new equipment investment is required, and no new education and learning for work are required.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係る陰極線管の蛍光面作製方法を示す
ブロック工程図である。
FIG. 1 is a block process diagram showing a method for producing a fluorescent screen of a cathode ray tube according to the present invention.

【図2】A〜C 本発明に係る蛍光面作製方法の一例を
示す工程図(その1)である。
FIGS. 2A to 2C are process diagrams (part 1) illustrating an example of a phosphor screen manufacturing method according to the present invention.

【図3】D〜F 本発明に係る蛍光面作製方法の一例を
示す工程図(その2)である。
3A to 3F are process diagrams (part 2) illustrating an example of a phosphor screen manufacturing method according to the present invention.

【図4】G〜I 本発明に係る蛍光面作製方法の一例を
示す工程図(その3)である。
4A to 4G are process diagrams (part 3) illustrating an example of a phosphor screen manufacturing method according to the present invention.

【図5】J〜M 本発明に係る蛍光面作製方法の一例を
示す工程図(その4)である。
FIG. 5 is a process diagram (part 4) showing an example of a phosphor screen manufacturing method according to the present invention.

【図6】感光膜の露光方法の説明図である。FIG. 6 is an explanatory diagram of a method of exposing a photosensitive film.

【図7】A〜D 従来の陰極線管の蛍光面作製方法を示
す工程図(その1)である。
7A to 7D are process diagrams (part 1) showing a conventional method for producing a fluorescent screen of a cathode ray tube.

【図8】E〜H 従来の陰極線管の蛍光面作製方法を示
す工程図(その2)である。
8A to 8H are process diagrams (part 2) showing a conventional method for producing a fluorescent screen of a cathode ray tube.

【図9】紫外線の光路説明図である。FIG. 9 is an explanatory diagram of an optical path of ultraviolet light.

【図10】フレネル指標と波形の相関図である。FIG. 10 is a correlation diagram between a Fresnel index and a waveform.

【図11】紫外線照射エネルギー説明図である。FIG. 11 is an explanatory diagram of ultraviolet irradiation energy.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11パネル、12 感光膜、13 色選別機構、14
フォトレジスト層、15 カーボン膜、16 反転剤、
17 カーボンストライプ,光吸収層、18G 緑色蛍
光体ストライプ、18B 青色蛍光体ストライプ、18
R 赤色蛍光体ストライプ、19 蛍光面、40 水銀
ランプ41 補正レンズ、
11 panel, 12 photosensitive film, 13 color selection mechanism, 14
Photoresist layer, 15 carbon film, 16 reversing agent,
17 carbon stripe, light absorbing layer, 18G green phosphor stripe, 18B blue phosphor stripe, 18
R red phosphor stripe, 19 phosphor screen, 40 mercury lamp 41 correction lens,

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 陰極線管の蛍光面の光吸収層形成工程に
於いて、各色毎に感光材塗布,露光,現像処理を行った
後に、パネル全面に、光吸収材を塗布し、反転現像を行
うことを特徴とする陰極線管の蛍光面作製方法。
In a light absorbing layer forming step on a fluorescent screen of a cathode ray tube, a photosensitive material is applied, exposed and developed for each color, and then a light absorbing material is applied to the entire surface of the panel, and reversal development is performed. A method for producing a fluorescent screen of a cathode ray tube, the method comprising:
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