JPH11354803A - Thin film transistor and display using the same - Google Patents

Thin film transistor and display using the same

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JPH11354803A
JPH11354803A JP15913298A JP15913298A JPH11354803A JP H11354803 A JPH11354803 A JP H11354803A JP 15913298 A JP15913298 A JP 15913298A JP 15913298 A JP15913298 A JP 15913298A JP H11354803 A JPH11354803 A JP H11354803A
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JP
Japan
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electrode
display
tft
channel
polarity
Prior art date
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JP15913298A
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Japanese (ja)
Inventor
Ryuji Nishikawa
龍司 西川
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Sanyo Electric Co Ltd
Original Assignee
Sanyo Electric Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To suppress the leakage current from occurring by superposing a part of a second electrode on the channel of a thin film transistor connected to a first electrode, in the part of the second electrode adjacent to the first electrode a signal different in polarity from that of a signal applied to the first electrode is applied thereto. SOLUTION: When the polarity of an image signal applied to display electrodes of display pixels b, c, d, g, h, i is positive and that of other display pixels a, e, f is negative, the display electrode of any of the display pixels b, c, d, g, h, i is superposed above the channel of a TFT connected to the display electrode of the display pixel (a), image signals different in polarity are, as a result, applied to display electrodes 16a, 16b above TFT channels 7a, 7b connected to the display electrode 16a, and hence the leak current generation can be suppressed by applying signals of a positive polarity different from that of the display electrodes.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、薄膜トランジスタ
(Thin Film Transi stor、以下、「TFT」と称す
る。)及びそのTFTをスイッチング素子として用いた
表示装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a thin film transistor (hereinafter, referred to as "TFT") and a display device using the TFT as a switching element.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、駆動ドライバ素子あるいは画素駆
動素子として多結晶シリコン膜を能動層として用いたT
FT及びそのTFTをスイッチング素子として用いた表
示装置の開発が進められている。
2. Description of the Related Art In recent years, a TFT using a polycrystalline silicon film as an active layer as a driving driver element or a pixel driving element has been developed.
An FT and a display device using the TFT as a switching element have been developed.

【0003】表示装置としては例えばTFT基板とそれ
に対向して配置された基板とからなる一対の基板を備え
たアクティブマトリクス方式液晶表示装置(Liquid Cry
stalDisplay:以下、「LCD」と称する。)の開発が
進められている。ところが、従来のLCDでは、その両
基板を接着して硬化する際に発生するシール接着剤から
の不純物、あるいは不純物イオン等がTFTの平坦化膜
表面に付着しその平坦化膜表面に電荷を帯びて平坦化膜
等の膜の上下で分極が発生するので、TFTにバックチ
ャネルが形成されてしまいTFTの閾値電圧が変化して
いた。
As a display device, for example, an active matrix type liquid crystal display device (Liquid Cry) including a pair of substrates composed of a TFT substrate and a substrate arranged opposite to the TFT substrate.
stalDisplay: Hereinafter, referred to as “LCD”. ) Is under development. However, in the conventional LCD, impurities or impurity ions from the sealing adhesive generated when the two substrates are bonded and cured are attached to the surface of the flattening film of the TFT, and the surface of the flattening film is charged. As a result, polarization occurs above and below a film such as a flattening film, so that a back channel is formed in the TFT and the threshold voltage of the TFT changes.

【0004】そのため、このTFTをLCDに用いた場
合、TFTの閾値電圧が増加する方向に変化するとTF
Tのオン電流が低下して表示電極に所定の電位が印加さ
れず点欠陥が発生し、逆に閾値電圧が減少する方向に変
化するとオフ電流が増加し同様の点欠陥が発生すること
になり良好な表示が得られないとともに、また各TFT
において閾値電圧がばらつくことになると面内で均一な
明るさの表示を得ることができないという欠点があっ
た。
For this reason, when this TFT is used for an LCD, when the threshold voltage of the TFT changes in the increasing direction, TF
When a predetermined potential is not applied to the display electrode due to a decrease in the ON current of T, a point defect occurs. On the contrary, when the threshold voltage changes in a decreasing direction, the OFF current increases and a similar point defect occurs. Good display cannot be obtained and each TFT
However, when the threshold voltage varies, there is a drawback that a display with uniform brightness cannot be obtained in the plane.

【0005】そこで、図9に示すように表示電極に接続
されたTFTのチャネルにその表示電極を重畳させて設
けることにより分極の発生を抑制していた。
Therefore, as shown in FIG. 9, the generation of polarization is suppressed by providing the display electrode so as to overlap the channel of the TFT connected to the display electrode.

【0006】以下に、表示電極に接続されたTFTのチ
ャネルにその表示電極を重畳させて設けた従来のLCD
について説明する。
A conventional LCD in which a display electrode is provided so as to overlap a channel of a TFT connected to the display electrode is described below.
Will be described.

【0007】図9に従来の表示画素部の平面図を示し、
図10に図9中のB−B線に沿ったLCDの断面図を示
す。
FIG. 9 is a plan view of a conventional display pixel portion.
FIG. 10 is a sectional view of the LCD taken along the line BB in FIG.

【0008】図9に示すように、表示画素部のTFT
は、ゲート信号を供給するゲート信号線Gと映像信号を
供給するドレイン信号線Dとの交差点付近に設けられて
おり、そのソース5は表示電極16に接続されている。
As shown in FIG. 9, a TFT in a display pixel portion
Is provided near an intersection of a gate signal line G for supplying a gate signal and a drain signal line D for supplying a video signal, and the source 5 is connected to the display electrode 16.

【0009】図10に従ってTFTの構造について説明
する。
The structure of the TFT will be described with reference to FIG.

【0010】石英ガラス、無アルカリガラス等からなる
絶縁性基板1上に、クロム(Cr)、モリブデン(M
o)などの高融点金属からなるゲート電極2、ゲート絶
縁膜3、及び多結晶シリコン膜からなる能動層4を順に
形成する。
On an insulating substrate 1 made of quartz glass, non-alkali glass or the like, chromium (Cr), molybdenum (M
a) a gate electrode 2 made of a refractory metal such as o), a gate insulating film 3, and an active layer 4 made of a polycrystalline silicon film.

【0011】その能動層4には、ゲート電極2上のチャ
ネル7と、チャネル7の両側に、チャネル7上のストッ
パ8をマスクにしてイオン注入されて形成されるソース
5及びドレイン6が設けられている。
The active layer 4 is provided with a channel 7 on the gate electrode 2 and on both sides of the channel 7 a source 5 and a drain 6 formed by ion implantation using the stopper 8 on the channel 7 as a mask. ing.

【0012】そして、ゲート絶縁膜3、能動層4及びS
iO2膜等の絶縁膜からなるストッパ8上の全面に、S
iO2膜9、SiN膜10及びSiO2膜11の順に積層
された層間膜12を形成し、ドレイン6に対応して設け
たコンタクトホールにAl等の金属を充填してドレイン
電極13を形成する。更に表面を平坦にする平坦化膜1
5を形成する。そして、その平坦化膜15のソース5に
対応した位置にコンタクトホールを形成し、このコンタ
クトホールを介してソース5とコンタクトしたITO
(Indium Thin Oxide)から成りソース電極14を兼ね
た表示電極16を平坦化膜15上に形成する。そしてそ
の表示電極16の上に、液晶20を配向する配向膜19
を形成する。このとき、表示電極16はチャネル7の上
方に重畳して設けられている。
Then, the gate insulating film 3, the active layer 4, and the S
The entire surface of the stopper 8 made of an insulating film such as an SiO 2 film is
An interlayer film 12 is formed by stacking an iO 2 film 9, a SiN film 10 and a SiO 2 film 11 in this order, and a contact hole provided corresponding to the drain 6 is filled with a metal such as Al to form a drain electrode 13. . Flattening film 1 for further flattening the surface
5 is formed. Then, a contact hole is formed at a position corresponding to the source 5 of the flattening film 15, and the ITO contacting the source 5 through the contact hole is formed.
A display electrode 16 made of (Indium Thin Oxide) and also serving as the source electrode 14 is formed on the flattening film 15. Then, an alignment film 19 for aligning the liquid crystal 20 is provided on the display electrode 16.
To form At this time, the display electrode 16 is provided so as to overlap the channel 7.

【0013】こうして作成されたTFTを備えた絶縁性
基板1と、この基板1に対向した対向電極18及び配向
膜19を備えた対向基板17とを周辺をシール接着剤2
1により接着し、形成された空隙に液晶20を充填して
LCDが完成する。
The insulating substrate 1 provided with the TFT thus prepared and the counter substrate 17 provided with the counter electrode 18 and the alignment film 19 facing the substrate 1 are surrounded by a sealing adhesive 2.
1 and the formed gap is filled with the liquid crystal 20 to complete the LCD.

【0014】[0014]

【発明が解決しようとする課題】ところが、TFTに接
続された表示電極には対向電極の電位を基準として正及
び負の極性の映像信号が交互に印加されている。従っ
て、ある期間正極性の映像信号が印加された場合には閾
値電圧が増加する方向に変化し、負の極性の映像信号が
印加された場合には閾値電圧が減少する方向に変化して
しまう。そのため、このTFTを備えたLCDの場合、
TFTの閾値電圧が増加する方向に変化するとTFTの
オン電流が低下して点欠陥が発生し、逆に閾値電圧が減
少する方向に変化するとオフ電流が増加し同様に点欠陥
が発生することになり良好な表示が得られないととも
に、また各TFTにおいて閾値電圧がばらつくことにな
ると面内で均一な明るさの表示を得ることができないと
いう欠点があった。
However, video signals having positive and negative polarities are alternately applied to the display electrode connected to the TFT with reference to the potential of the counter electrode. Therefore, when a video signal of positive polarity is applied for a certain period, the threshold voltage changes in a direction of increasing, and when a video signal of negative polarity is applied, the threshold voltage changes in a direction of decreasing. . Therefore, in the case of an LCD having this TFT,
When the threshold voltage of the TFT changes in the direction of increasing, the ON current of the TFT decreases and a point defect occurs. On the contrary, when the threshold voltage changes in the direction of decreasing, the off current increases and the point defect similarly occurs. In addition, there is a problem that a good display cannot be obtained, and a display of uniform brightness cannot be obtained in a plane when a threshold voltage varies in each TFT.

【0015】そこで本発明は、上記の従来の欠点に鑑み
て為されたものであり、閾値電圧の安定したTFTを用
いて白抜け等の表示欠陥を低減し、時間が経過しても面
内で均一な明るさの表示を得ることができるLCDを提
供することを目的とする。
In view of the above, the present invention has been made in view of the above-mentioned drawbacks, and uses a TFT having a stable threshold voltage to reduce display defects such as white spots. It is an object of the present invention to provide an LCD capable of obtaining a display with uniform brightness.

【0016】[0016]

【課題を解決するための手段】本発明の薄膜トランジス
タは、第1の電極に隣り合っており該第1の電極に印加
された信号の極性と異なる極性の信号が印加される第2
の電極の一部または該第2の電極に接続された第3の電
極が、前記第1の電極に接続された薄膜トランジスタの
チャネルに重畳して設けられているものである。
According to the present invention, there is provided a thin film transistor which is adjacent to a first electrode and to which a signal having a polarity different from the polarity of a signal applied to the first electrode is applied.
And a third electrode connected to the second electrode is provided so as to overlap a channel of the thin film transistor connected to the first electrode.

【0017】また、前記第2の電極は、前記第1の電極
に走査信号線の延在方向に隣り合った電極である。
Further, the second electrode is an electrode adjacent to the first electrode in a direction in which a scanning signal line extends.

【0018】更に、前記第2の電極は、前記第1の電極
に映像信号線の延在方向に隣り合った電極である。
Further, the second electrode is an electrode adjacent to the first electrode in a direction in which a video signal line extends.

【0019】また本発明の表示装置は、上述のいずれか
の薄膜トランジスタを備えた表示装置である。
A display device according to the present invention is a display device including any one of the above-described thin film transistors.

【0020】[0020]

【発明の実施の形態】以下に本発明のLCDについて説
明する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An LCD according to the present invention will be described below.

【0021】図1に本発明のLCD表示画素部の平面図
を示し、図2に図1中のA−A線に沿ったLCDの断面
図を示す。
FIG. 1 is a plan view of an LCD display pixel portion of the present invention, and FIG. 2 is a cross-sectional view of the LCD taken along line AA in FIG.

【0022】図1に示すように、走査信号線Gと映像信
号Dとに囲まれ、その交差点付近に、表示電極16a,
16bを接続したTFTが設けられている。
As shown in FIG. 1, the display electrodes 16a and 16a are surrounded by a scanning signal line G and a video signal D, and near an intersection thereof.
A TFT connected to the TFT 16b is provided.

【0023】図2に従って図1に示す表示電極16aを
有する表示画素について説明する。
A display pixel having the display electrode 16a shown in FIG. 1 will be described with reference to FIG.

【0024】図2において、石英ガラス、無アルカリガ
ラス等からなる絶縁性基板1上のCr、Mo等の高融点
金属からなるゲート電極2a,2bの形成から平坦化膜
15形成までは従来と同様であるので説明は省略する。
In FIG. 2, the steps from the formation of the gate electrodes 2a and 2b made of a high melting point metal such as Cr and Mo on the insulating substrate 1 made of quartz glass, non-alkali glass or the like to the formation of the flattening film 15 are the same as in the prior art. Therefore, the description is omitted.

【0025】全面に例えば有機樹脂からなる平坦化膜1
5を形成した後、平坦化膜15のソース5に対応した位
置にコンタクトホールを形成し、ソース5にコンタクト
したITO等の透明導電材料から成りソース電極14を
兼ねた透明電極である表示電極16aを形成する。
A flattening film 1 made of, for example, an organic resin over the entire surface
After the formation of the source electrode 14, a contact hole is formed at a position corresponding to the source 5 of the flattening film 15, and the display electrode 16a is a transparent electrode made of a transparent conductive material such as ITO and also serving as the source electrode 14 in contact with the source 5. To form

【0026】このとき、図1及び図2に示すように、表
示電極16aは少なくともチャネル7aを覆うように形
成されている。また、チャネル7bは、走査信号線の延
在する方向の隣り合った表示画素部の表示電極、即ち前
段の走査信号線に接続されたTFTのソースに接続され
た表示電極16bによって覆われている。その表示電極
16a及び16bの上に、液晶20を配向させる配向膜
19を形成する。
At this time, as shown in FIGS. 1 and 2, the display electrode 16a is formed so as to cover at least the channel 7a. In addition, the channel 7b is covered by a display electrode of an adjacent display pixel portion in a direction in which the scanning signal line extends, that is, a display electrode 16b connected to the source of the TFT connected to the preceding scanning signal line. . On the display electrodes 16a and 16b, an alignment film 19 for aligning the liquid crystal 20 is formed.

【0027】対向電極18及び配向膜19を備えた対向
電極基板17と、TFTを形成したTFT基板1とをシ
ール接着剤21で接着し、両基板1,17間に液晶20
を注入してLCDが完成する。
A counter electrode substrate 17 provided with a counter electrode 18 and an alignment film 19 and a TFT substrate 1 on which a TFT is formed are bonded with a sealing adhesive 21, and a liquid crystal 20 is provided between the substrates 1 and 17.
To complete the LCD.

【0028】ここで、ある表示電極に印加される映像信
号の極性と、その表示電極に接続されたTFTのチャネ
ル上方に重畳させる表示電極の映像信号の極性との関係
について説明する。
Here, the relationship between the polarity of the video signal applied to a certain display electrode and the polarity of the video signal of the display electrode superimposed above the channel of the TFT connected to that display electrode will be described.

【0029】図3に互いに隣接する表示画素a,b,
c,d,e,f,g,h,iの表示電極に印加される映
像信号の極性を示す。
FIG. 3 shows display pixels a, b,
Indicates the polarities of the video signals applied to the display electrodes of c, d, e, f, g, h, and i.

【0030】図3(a)に示すように、例えば表示画素
b,c,d,g,h,iの表示電極に印加される映像信
号の極性が正(+)であり、その他の表示画素a,e,
fの表示電極の映像信号の極性が負(−)である場合、
即ち1水平期間ごとに映像信号の極性が異なる場合、表
示画素aを基準に考えると、本実施の形態においては、
表示画素aの表示電極につながっているTFTのチャネ
ル上方に表示画素b,c,d,g,h,iのうちいずれ
かの表示画素の表示電極を重畳させるのである。
As shown in FIG. 3A, for example, the polarity of the video signal applied to the display electrodes of the display pixels b, c, d, g, h, and i is positive (+), and the other display pixels a, e,
When the polarity of the video signal of the display electrode of f is negative (-),
That is, in the case where the polarity of the video signal is different for each horizontal period, in the present embodiment, considering the display pixel a,
The display electrode of any of the display pixels b, c, d, g, h, and i is superimposed above the channel of the TFT connected to the display electrode of the display pixel a.

【0031】また、図3(b)に示すように1フィール
ドごとに映像信号の極性が反転する場合には、表示画素
aを基準に考えると、表示画素aの表示電極につながっ
ているTFTのチャネル上方に、奇数フィールドにおい
て負極性である表示画素c,e,f,hのうちいずれか
の1つの表示画素の表示電極を重畳させるのである。
In the case where the polarity of the video signal is inverted for each field as shown in FIG. 3 (b), the TFT connected to the display electrode of the display pixel a is considered on the basis of the display pixel a. The display electrode of any one of the display pixels c, e, f, and h, which has a negative polarity in the odd field, is superposed above the channel.

【0032】そうすることにより、隣接する表示画素の
表示電極の極性が異なる場合、表示電極16aに接続さ
れたTFTのチャネル7a,7b上方の表示電極16
a,16bには異なる極性の映像信号が印加されること
になるため、従来ある1つの表示電極に印加された映像
信号の極性が負である場合にその表示電極に接続された
TFTのリーク電流が発生していたが、その表示電極と
異なる極性である正極性の信号も印加することにより、
リーク電流の発生を抑制できることになる。
By doing so, when the polarities of the display electrodes of the adjacent display pixels are different, the display electrodes 16 above the channels 7a and 7b of the TFT connected to the display electrode 16a.
Since video signals having different polarities are applied to the a and 16b, when the polarity of the video signal applied to one conventional display electrode is negative, the leakage current of the TFT connected to that display electrode is negative. Was generated, but by applying a positive polarity signal having a polarity different from that of the display electrode,
It is possible to suppress the generation of the leak current.

【0033】従って、TFTの閾値電圧を安定させるこ
とができるため、液晶表示パネルの例えば周辺に発生す
る点欠陥による光の透過、即ち白抜けを減少させること
ができるため面内で均一な明るさの表示の得られるLC
Dを得ることができる。
Therefore, since the threshold voltage of the TFT can be stabilized, light transmission due to a point defect generated, for example, in the periphery of the liquid crystal display panel, that is, white spots can be reduced. LC with the indication of
D can be obtained.

【0034】なお、本発明において第1の表示電極に隣
り合う第2の表示電極とは、図3(a)及び(b)に示
す表示画素aの表示電極を第1の表示電極とすると、表
示画素b,c,d,e,f,g,h,iのうちいずれか
の表示画素の表示電極をいうものとする。また、本発明
は、その第2の表示電極に接続され、例えばAl等の金
属から成る電極をドレイン電極と同時に形成してその電
極をチャネル上方に重畳して設けても良い。
In the present invention, the second display electrode adjacent to the first display electrode means that the display electrode of the display pixel a shown in FIGS. 3A and 3B is the first display electrode. It refers to the display electrode of any of the display pixels b, c, d, e, f, g, h, and i. Further, in the present invention, an electrode made of a metal such as Al may be formed at the same time as the drain electrode and connected to the second display electrode, and the electrode may be provided so as to overlap above the channel.

【0035】ここで、本発明のLCDの特性図を示す。Here, a characteristic diagram of the LCD of the present invention is shown.

【0036】図4に、本発明のLCD(実線)及び従来
のLCD(破線)の特性を示す。動作はノーマリホワイ
トで黒表示信号を与えた場合である。
FIG. 4 shows the characteristics of the LCD of the present invention (solid line) and the conventional LCD (dashed line). The operation is performed when a normally white black display signal is given.

【0037】同図において、横軸はゲートオフマージン
電圧を示し、縦軸にはその電圧におけるパネルの光透過
率を示す。なお、ゲートオフマージン電圧はゲート信号
のオフレベル電圧であり、この電圧が高くなるとゲート
とドレインとの間の電位差が小さくなるためソースとド
レインとの間にリーク電流が流れてしまい表示電極に本
来供給されるべき電圧が印加されなくなり、LCDの表
示としては光が透過する白抜けが発生する。従って、ゲ
ートオフマージン電圧が大きいほどまたは白抜けした箇
所の輝度が低いほど信頼性が高いデバイスであることが
言える。
In the figure, the horizontal axis shows the gate-off margin voltage, and the vertical axis shows the light transmittance of the panel at that voltage. Note that the gate-off margin voltage is the off-level voltage of the gate signal. If this voltage is increased, the potential difference between the gate and the drain becomes smaller, so that a leak current flows between the source and the drain, and the display electrode originally The voltage to be supplied is not applied, and a white spot through which light is transmitted occurs as an LCD display. Therefore, it can be said that the device has higher reliability as the gate-off margin voltage is higher or as the luminance of the white spot is lower.

【0038】同図に示すように、従来のLCDはゲート
オフマージン電圧が高くなると光透過率が最大27%近
傍まで高くなっていた。即ち、従来のLCDでは光が多
く透過する白抜けが発生していたが、本発明のLCDは
それを数%に抑制することができた。即ち、光が抜ける
白抜けが低減していることがわかる。また図5(a)に
本発明のLCDの、図5(b)に従来のLCDのゲート
オフマージン電圧の経時変化量を示す。
As shown in the figure, in the conventional LCD, when the gate-off margin voltage was increased, the light transmittance was increased up to around 27%. That is, in the conventional LCD, white spots through which a large amount of light was transmitted occurred, but in the LCD of the present invention, the white spots could be suppressed to several percent. That is, it can be seen that white spots through which light passes are reduced. FIG. 5A shows the amount of change over time of the gate-off margin voltage of the LCD of the present invention, and FIG.

【0039】同図において、横軸はTFTへの通電時間
を示し、縦軸はその通電時間におけるゲートオフマージ
ン電圧の変化量であるゲートオフマージンシフト電圧を
示す。また、図5(a),(b)における記号◆(黒菱
形)、■(黒四角)はそれぞれLCDパネルの中央部、
周辺部における値を示す。
In the figure, the abscissa indicates the current supply time to the TFT, and the ordinate indicates the gate-off margin shift voltage which is the amount of change of the gate-off margin voltage during the current supply time. The symbols ◆ (black diamond) and ◆ (black square) in FIGS. 5A and 5B represent the center of the LCD panel, respectively.
The values at the periphery are shown.

【0040】図5(b)に示すように、従来のLCDに
おいてゲートオフマージンシフト電圧は通電時間の経過
とともに中央部、周辺部ともに次第に大きくなってい
る。特に周辺部の方がその値が大きくなっている。これ
はシール部からの不純物の影響を受け、時間の経過とと
もにTFTの閾値電圧が小さくなっているためである。
As shown in FIG. 5 (b), in the conventional LCD, the gate-off margin shift voltage gradually increases in the central portion and the peripheral portion as the power-on time elapses. In particular, the value is larger in the peripheral portion. This is because the threshold voltage of the TFT decreases over time due to the influence of impurities from the seal portion.

【0041】これに対して、図5(a)に示すように、
本発明のLCDは従来のように通電時間の経過とともに
大きく変化していないことがわかる。また、中央部と周
辺部とにおいても従来のようにばらついていないことが
わかる。
On the other hand, as shown in FIG.
It can be seen that the LCD of the present invention does not change significantly with the passage of the power-on time as in the prior art. Further, it can be seen that the central portion and the peripheral portion do not vary as in the related art.

【0042】このように、本発明のLCDによれば、映
像信号の極性の異なった隣接する表示画素の表示電極
を、当該表示画素のTFTのチャネル上方に重畳させる
ことにより、パネル内に侵入する不純物の影響によって
当該表示電極のTFTのオフ電流が時間とともに増加し
て白抜けが発生することを抑制し、液晶表示パネル面内
の輝度を均一にすることができる。<第2の実施の形態
>以下に本発明の第2実施形態について説明する。
As described above, according to the LCD of the present invention, the display electrodes of the adjacent display pixels having different polarities of the video signal overlap the channel of the TFT of the display pixel to enter the panel. It is possible to suppress the occurrence of white spots due to an increase in the off-state current of the TFT of the display electrode with time due to the influence of impurities, and to make the luminance in the liquid crystal display panel surface uniform. <Second Embodiment> Hereinafter, a second embodiment of the present invention will be described.

【0043】図6に本発明の第2実施形態の表示画素部
の平面図を示す。
FIG. 6 is a plan view of a display pixel portion according to a second embodiment of the present invention.

【0044】同図に示すように、第2実施形態のTFT
構造は、第1実施形態に示した平坦化膜15までの構造
と同じである。
As shown in the figure, the TFT of the second embodiment
The structure is the same as the structure up to the planarization film 15 shown in the first embodiment.

【0045】第1実施形態と異なる点は、第1実施形態
においては一方のチャネル7aを表示電極16aで、ま
た他方のチャネル7bを前段の表示電極16bで覆って
いたが、本実施形態では他方のチャネル7bを表示電極
16aの左隣、即ち走査信号の延在方向の表示電極16
cで覆っている点である。
The difference from the first embodiment is that, in the first embodiment, one channel 7a is covered by the display electrode 16a and the other channel 7b is covered by the preceding display electrode 16b. Channel 7b is adjacent to the display electrode 16a to the left, that is, the display electrode 16 in the direction in which the scanning signal extends.
c.

【0046】このように、他方のチャネル7bを表示電
極16cで覆った場合にも、第1の実施の形態と同様に
リーク電流の発生を抑制できる。
As described above, even when the other channel 7b is covered with the display electrode 16c, the generation of the leak current can be suppressed as in the first embodiment.

【0047】従って、TFTの閾値電圧を安定させるこ
とができるため、液晶表示パネルの面内での輝度のバラ
ツキを減少させることができる。<第3の実施の形態>
図7に本発明の第3実施形態の表示画素部平面図を示
す。
Accordingly, since the threshold voltage of the TFT can be stabilized, it is possible to reduce the variation in the luminance in the plane of the liquid crystal display panel. <Third embodiment>
FIG. 7 is a plan view of a display pixel portion according to the third embodiment of the present invention.

【0048】同図に示すように、本実施の形態が第1実
施形態と異なる点は、ゲートが1つであるいわゆるシン
グルゲート構造のTFTを備えたLCDである点であ
る。
As shown in the figure, the present embodiment is different from the first embodiment in that it is an LCD having a so-called single gate structure TFT having one gate.

【0049】同図に示すように、表示電極16aが接続
されたTFTのチャネル上方には、表示電極16a、及
び表示電極16aに隣り合った表示画素の表示電極16
bが重畳している。チャネルを覆った両表示電極16
a,16bは両者が接触しない程度に、チャネルと重畳
する面積が同じくらいになるように設ければよい。
As shown in the figure, above the channel of the TFT to which the display electrode 16a is connected, above the display electrode 16a and the display electrode 16 of the display pixel adjacent to the display electrode 16a.
b is superimposed. Both display electrodes 16 covering the channel
What is necessary is just to provide a and 16b so that the area which overlaps with a channel may become the same so that both may not contact.

【0050】このようにいわゆるシングルゲート構造で
も、いわゆるダブルゲート構造と同様の効果が得られ
る。
As described above, even with the so-called single gate structure, the same effect as that of the so-called double gate structure can be obtained.

【0051】また、本実施の形態においては、隣り合う
表示画素の表示電極を映像信号線の延在方向に隣り合っ
た表示電極、即ち前段の走査信号線に接続されたTFT
を介して接続された表示電極としたが、第2実施形態と
同様に走査信号線が延在する方向に隣り合う表示電極を
重畳させても良い。
In this embodiment, the display electrodes of adjacent display pixels are connected to the display electrodes adjacent to each other in the direction in which the video signal lines extend, that is, the TFTs connected to the preceding scanning signal lines.
Although the display electrodes are connected via the same, the adjacent display electrodes may be overlapped in the direction in which the scanning signal lines extend as in the second embodiment.

【0052】なお、本発明において、図8に示すよう
に、第2の表示電極16bに接続され、Al等の金属か
らなる電極23を第1の表示電極16aに接続されたT
FTのチャネル7b上に設けても良い。
In the present invention, as shown in FIG. 8, an electrode 23 made of a metal such as Al is connected to the second display electrode 16b, and an electrode 23 made of metal such as Al is connected to the first display electrode 16a.
It may be provided on the channel 7b of the FT.

【0053】このとき、その電極23はドレイン電極1
3を形成する際に同時に形成すれば良く、また、その電
極23形成のためのマスクパターンもドレイン電極形成
用マスクパターンに追加すれば良いため製造工程を増や
すことなく形成ができる。また、チャネル上方の層間絶
縁膜12上に形成するためチャネル上方の平坦化絶縁膜
上に表示電極を形成した場合と同様にバックチャネルの
発生を抑制することができる。
At this time, the electrode 23 is connected to the drain electrode 1
3 may be formed at the same time as the formation, and a mask pattern for forming the electrode 23 may be added to the mask pattern for forming the drain electrode, so that the formation can be performed without increasing the number of manufacturing steps. In addition, since the display channel is formed on the interlayer insulating film 12 above the channel, the generation of the back channel can be suppressed in the same manner as when the display electrode is formed on the planarization insulating film above the channel.

【0054】なお、上述の各実施の形態においては、本
発明のTFTをLCDに用いた場合について示したが、
本発明はそれに限定されるものではなく、例えば有機E
L(Electro Luminescence)表示装置にも採用が可能で
あり、上述の効果と同様の効果が得られる。なお、有機
EL表示装置に採用する場合には第1または第2の電極
は有機EL素子の陽極または陰極に該当する。
In each of the above embodiments, the case where the TFT of the present invention is used for an LCD has been described.
The present invention is not limited thereto.
The present invention can be applied to an L (Electro Luminescence) display device, and the same effects as those described above can be obtained. Note that, when employed in an organic EL display device, the first or second electrode corresponds to an anode or a cathode of the organic EL element.

【0055】[0055]

【発明の効果】本発明によれば、層間膜、平坦化膜の上
下での分極によるバックチャネル発生を抑制することが
できるとともに、閾値電圧の経時変化を抑制し安定させ
たTFTを得ることができるので、そのTFTを用いる
ことにより白抜け等の表示欠陥を低減し面内で均一な明
るさの表示の得られる表示装置を得ることができる。
According to the present invention, it is possible to obtain a TFT in which back channel generation due to polarization above and below an interlayer film and a flattening film can be suppressed, and a change in threshold voltage with time is suppressed and stabilized. Therefore, by using the TFT, it is possible to obtain a display device in which display defects such as white spots are reduced and display with uniform brightness is obtained in a plane.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の第1実施形態を示すLCDの平面図で
ある。
FIG. 1 is a plan view of an LCD showing a first embodiment of the present invention.

【図2】本発明の第1実施形態を示すLCDの断面図で
ある。
FIG. 2 is a cross-sectional view of the LCD showing the first embodiment of the present invention.

【図3】本発明の表示画素に印加される信号の極性を示
す図である。
FIG. 3 is a diagram illustrating the polarity of a signal applied to a display pixel of the present invention.

【図4】本発明のLCDの特性を示す特性図である。FIG. 4 is a characteristic diagram showing characteristics of the LCD of the present invention.

【図5】本発明のLCDの特性を示す特性図である。FIG. 5 is a characteristic diagram showing characteristics of the LCD of the present invention.

【図6】本発明の第2実施形態を示すLCDの平面図で
ある。
FIG. 6 is a plan view of an LCD showing a second embodiment of the present invention.

【図7】本発明の第3実施形態を示すLCDの平面図で
ある。
FIG. 7 is a plan view of an LCD showing a third embodiment of the present invention.

【図8】本発明の第4実施形態を示すLCDの平面図で
ある。
FIG. 8 is a plan view of an LCD showing a fourth embodiment of the present invention.

【図9】従来のLCDの断面図である。FIG. 9 is a sectional view of a conventional LCD.

【図10】従来のLCDの平面図である。FIG. 10 is a plan view of a conventional LCD.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 絶縁性基板 2 ゲート電極 4 能動層 5 ソース 6 ドレイン 7a,7b チャネル 8 ストッパ 12 層間膜 15 平坦化膜 16 表示電極 16a 表示画素 16b,16c 表示画素16aに隣り合う表示画
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Insulating substrate 2 Gate electrode 4 Active layer 5 Source 6 Drain 7a, 7b Channel 8 Stopper 12 Interlayer film 15 Flattening film 16 Display electrode 16a Display pixel 16b, 16c Display pixel adjacent to display pixel 16a

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 第1の電極に隣り合っており該第1の電
極に印加された信号の極性と異なる極性の信号が印加さ
れる第2の電極の一部または該第2の電極に接続された
第3の電極が、前記第1の電極に接続された薄膜トラン
ジスタのチャネルに重畳して設けられていることを特徴
とする薄膜トランジスタ。
1. A portion of a second electrode adjacent to a first electrode to which a signal having a polarity different from the polarity of a signal applied to the first electrode is connected or connected to the second electrode. A third electrode provided so as to overlap a channel of the thin film transistor connected to the first electrode.
【請求項2】 前記第2の電極は、前記第1の電極に走
査信号線の延在方向に隣り合った電極であることを特徴
とする請求項1に記載の薄膜トランジスタ。
2. The thin film transistor according to claim 1, wherein the second electrode is an electrode adjacent to the first electrode in a direction in which a scanning signal line extends.
【請求項3】 前記第2の電極は、前記第1の電極に映
像信号線の延在方向に隣り合った電極であることを特徴
とする請求項1に記載の薄膜トランジスタ。
3. The thin film transistor according to claim 1, wherein the second electrode is an electrode adjacent to the first electrode in a direction in which a video signal line extends.
【請求項4】 請求項1乃至3のいずれか1項に記載の
薄膜トランジスタを備えたことを特徴とする表示装置。
4. A display device comprising the thin film transistor according to claim 1. Description:
JP15913298A 1998-06-08 1998-06-08 Thin film transistor and display using the same Pending JPH11354803A (en)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2019204107A (en) * 2000-02-29 2019-11-28 株式会社半導体エネルギー研究所 Light-emitting device

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