JPH11338128A - Photosensitive resinous composition - Google Patents

Photosensitive resinous composition

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Publication number
JPH11338128A
JPH11338128A JP10143138A JP14313898A JPH11338128A JP H11338128 A JPH11338128 A JP H11338128A JP 10143138 A JP10143138 A JP 10143138A JP 14313898 A JP14313898 A JP 14313898A JP H11338128 A JPH11338128 A JP H11338128A
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JP
Japan
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group
substituted
alkyl
atom
ring
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP10143138A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yoshihiro Takagi
良博 高木
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Fujifilm Electronic Materials Co Ltd
Original Assignee
Fujifilm Electronic Materials Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Fujifilm Electronic Materials Co Ltd filed Critical Fujifilm Electronic Materials Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a photosensitive resinous compsn. and a preparation method thereof which can form a rib having good transparency to visible light, improved curing property at the lower part of the rib, good adhesiveness to a profile and a rib forming base, high density and an aspect ratio of >3. SOLUTION: A photosensitive resinous compsn. is characterized in that it comprises at least a photoresist contg. at least an ethylenic unsatd. compd., a sensitizing pigment and a radical polymerization initiator and at least inorg. particles having an average particle diameter of 0.01-10 μm. A method for forming a rib is characterized in that the photosensitive resinous compsn. is provided as a layer on a base for a plasma display and that exposing from the back side of the base and exposing from the front side of the base are carried out at least once respectively.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、新規な感光性樹脂
組成物、特にプラズマディスプレイのリブ形成用の無機
粒子とフォトレジストからなる感光性樹脂組成物及び該
リブ形成方法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a novel photosensitive resin composition, and more particularly to a photosensitive resin composition comprising inorganic particles for forming a rib of a plasma display and a photoresist, and a method for forming the rib.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、プラズマディスプレイ用のリブ等
は、リブ形成用ガラス等を含む組成物をパターン印刷
し、次いで焼成することにより、形成する方法が知られ
ている。しかしながら、近年の高密度化した画素を実現
するために線幅をより狭く、かつ高さをより高くして高
アスペクト比を有したリブが非常に望まれている。
2. Description of the Related Art Heretofore, there has been known a method of forming ribs and the like for a plasma display by pattern-printing a composition containing glass for forming a rib and then firing the composition. However, a rib having a narrower line width and a higher height and a high aspect ratio in order to realize a pixel having a higher density in recent years is highly desired.

【0003】そこで、感光性樹脂組成物を用いたフォト
プロセスが検討されているが、高アスペクト比を実現す
るためには、高さを確保するために塗布、露光、現像の
各工程を複数回行わなければならなかったり、1回の工
程では、リブ下部の硬化度が不足し、リブ断面形状が逆
台形型になってしまったり、リブを担持するベースとの
密着性が低下してしまったり等の問題があった。
Therefore, a photo process using a photosensitive resin composition has been studied, but in order to achieve a high aspect ratio, each step of coating, exposing, and developing is performed several times to secure the height. It must be performed, or in one process, the degree of cure at the bottom of the rib is insufficient, the cross section of the rib becomes an inverted trapezoidal shape, or the adhesion to the base supporting the rib is reduced. And so on.

【0004】このような問題は、フォトレジストに混合
するリブ形成物質である無機粒子を高充填で存在させる
ため、露光時の無機粒子からの光散乱強度が増加するた
めである。また、該露光をレーザー等の直接描画により
可視光、例えばグリーンを用いる場合、光透過性を改善
する感光性樹脂組成物が望まれていた。
[0004] Such a problem is due to the fact that the inorganic particles, which are rib-forming substances mixed with the photoresist, are present at a high filling, so that the light scattering intensity from the inorganic particles during exposure increases. In the case where visible light, for example, green is used for the exposure by direct drawing with a laser or the like, a photosensitive resin composition that improves light transmittance has been desired.

【0005】そこで、無機粒子を高充填としても高密度
かつ高アスペクト比、例えば、高さ100〜150μ
m、アスペクト比3以上のリブが得られるフォトレジス
トを含む感光性樹脂組成物及びそのようなリブ形成法が
望まれていた。
[0005] Therefore, even if the inorganic particles are highly filled, they have a high density and a high aspect ratio, for example, a height of 100 to 150 μm.
There has been a demand for a photosensitive resin composition containing a photoresist capable of obtaining a rib having an m and an aspect ratio of 3 or more, and a method for forming such a rib.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、可視光に対
して透過性が良好で、リブ下部の硬化性が向上し、プロ
ファイル及びリブ形成用ベースとの密着性が良好で、高
密度かつアスペクト比が3以上のリブが形成可能な感光
性樹脂組成物及びそれを用いたリブ形成法を提供するこ
とにある。
DISCLOSURE OF THE INVENTION The present invention has good transparency to visible light, improved curability at the lower part of a rib, good profile and good adhesion to a rib forming base, high density and high density. An object of the present invention is to provide a photosensitive resin composition capable of forming a rib having an aspect ratio of 3 or more, and a rib forming method using the same.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明は、以下の構成か
らなる。 1.少なくともエチレン性不飽和化合物、増感色素及び
ラジカル重合開始剤を含有するフォトレジストおよび平
均粒子径が0.01〜10μmの無機粒子から少なくと
もなることを特徴とする感光性樹脂組成物。
The present invention has the following arrangement. 1. A photosensitive resin composition comprising at least a photoresist containing at least an ethylenically unsaturated compound, a sensitizing dye and a radical polymerization initiator, and inorganic particles having an average particle size of 0.01 to 10 μm.

【0008】2.前記増感色素は、下記A群から選択さ
れる少なくとも1種であることを特徴とする前記1記載
の感光性樹脂組成物。 A群: 下記一般式(I)で表される化合物
[0008] 2. 2. The photosensitive resin composition according to the above item 1, wherein the sensitizing dye is at least one selected from the following group A. Group A: a compound represented by the following general formula (I)

【0009】[0009]

【化5】 Embedded image

【0010】(ただし、式中R1 〜R4 は互いに独立し
て水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、置換アルキル
基、アリール基、置換アリール基、水酸基、アルコキシ
基、置換アルコキシ基、アミノ基、置換アミノ基を表
す。またR1 〜R4 はそれが結合する炭素原子と共に非
金属原子からなる環を形成していてもよい。R5 ,R6
は互いに独立して水素原子、ハロゲン原子、アルキル
基、置換アルキル基、アリール基、置換アリール基、ヘ
テロ芳香族基、アシル基、シアノ基、アルコキシカルボ
ニル基、カルボキシル基、置換アルケニル基を表す。ま
たR5とR6 は共に非金属原子からなる環を形成してい
てもよい。
(Wherein R 1 to R 4 independently represent a hydrogen atom, a halogen atom, an alkyl group, a substituted alkyl group, an aryl group, a substituted aryl group, a hydroxyl group, an alkoxy group, a substituted alkoxy group, an amino group, a substituted amino group. the R 1 to R 4 are ring may be the other to form .R 5 consisting of nonmetallic atoms together with the carbon atoms to which it is attached, R 6
Each independently represents a hydrogen atom, a halogen atom, an alkyl group, a substituted alkyl group, an aryl group, a substituted aryl group, a heteroaromatic group, an acyl group, a cyano group, an alkoxycarbonyl group, a carboxyl group, or a substituted alkenyl group. R 5 and R 6 may together form a ring composed of a nonmetallic atom.

【0011】XはO,S,NH、または置換基を有する
窒素原子を表す。G1 ,G2 は互いに同一でも異なって
いてもよく、各々水素原子、シアノ基、アルコキシカル
ボニル基、置換アルコキシカルボニル基、アリールオキ
シカルボニル基、置換アリールオキシカルボニル基、ア
シル基、置換アシル基、アリールカルボニル基、置換ア
リールカルボニル基、アルキルチオ基、アリールチオ
基、アルキルスルホニル基、アリールスルホニル基、フ
ルオロスルホニル基を表す。ただし、G1 とG2 はそれ
が結合する炭素原子と共に非金属原子からなる環を形成
していてもよい。) 下記一般式(II)で表される化合物
X represents O, S, NH or a nitrogen atom having a substituent. G 1 and G 2 may be the same or different, and each represents a hydrogen atom, a cyano group, an alkoxycarbonyl group, a substituted alkoxycarbonyl group, an aryloxycarbonyl group, a substituted aryloxycarbonyl group, an acyl group, a substituted acyl group, or an aryl group. Represents a carbonyl group, a substituted arylcarbonyl group, an alkylthio group, an arylthio group, an alkylsulfonyl group, an arylsulfonyl group, or a fluorosulfonyl group. However, G 1 and G 2 may form a ring composed of a non-metallic atom together with the carbon atom to which they are bonded. ) A compound represented by the following general formula (II)

【0012】[0012]

【化6】 Embedded image

【0013】(ただし、式中R7 ,R8 は同一でも異な
っていてもよく、水素原子、アルキル基、置換アルキル
基、アルケニル基、置換アルケニル基、アルコキシカル
ボニル基、アリール基、置換アリール基、アルキニル基
または置換アルキニル基を表す。Aは酸素原子、硫黄原
子、アルキル基またはアリール基により置換された炭素
原子、またはアルキル基2個に置換された炭素原子を表
す。
(Wherein R 7 and R 8 may be the same or different and each represents a hydrogen atom, an alkyl group, a substituted alkyl group, an alkenyl group, a substituted alkenyl group, an alkoxycarbonyl group, an aryl group, a substituted aryl group, A represents an alkynyl group or a substituted alkynyl group, wherein A represents a carbon atom substituted by an oxygen atom, a sulfur atom, an alkyl group or an aryl group, or a carbon atom substituted by two alkyl groups;

【0014】Jは含窒素ヘテロ5員環を形成するのに必
要な非金属原子群を表す。Yはフェニル基、置換フェニ
ル基、無置換または置換されたヘテロ芳香族環を表す。
1 は水素原子、アルキル基、置換アルキル基、アリー
ル基、置換アリール基、アルコキシ基、アルキルチオ
基、アリールチオ基、置換アミノ基、アシル基、または
アルコキシカルボニル基を表し、Z1 とYは互いに結合
して環を生成しても良い。) 下記一般式(III)で表される化合物
J represents a group of nonmetallic atoms necessary for forming a nitrogen-containing 5-membered heterocyclic ring. Y represents a phenyl group, a substituted phenyl group, an unsubstituted or substituted heteroaromatic ring.
Z 1 represents a hydrogen atom, an alkyl group, a substituted alkyl group, an aryl group, a substituted aryl group, an alkoxy group, an alkylthio group, an arylthio group, a substituted amino group, an acyl group, or an alkoxycarbonyl group, and Z 1 and Y are mutually bonded To form a ring. ) A compound represented by the following general formula (III)

【0015】[0015]

【化7】 Embedded image

【0016】(ただし、式中R10〜R13は互いに独立し
て水素原子、炭素数1〜6の非置換または置換アルコキ
シ基、炭素数1〜6の非置換または置換アルケニルオキ
シ基、炭素数1〜6の非置換または置換アルキルチオ
基、各アルキル基の炭素数が1〜4であるジアルキルア
ミノ基、水酸基、アシルオキシ基、ハロゲン原子、ニト
ロ基、または複数環基を表す。R10〜R13の2個または
3個と前記R10〜R13の置換基が結合されている環構成
炭素原子とが一緒になり各縮合環が5または6員環であ
る縮合環または縮合環系を形成してもよい。
(Wherein R 10 to R 13 are each independently a hydrogen atom, an unsubstituted or substituted alkoxy group having 1 to 6 carbon atoms, an unsubstituted or substituted alkenyloxy group having 1 to 6 carbon atoms, 1-6 unsubstituted or substituted alkylthio group, a dialkylamino group having a carbon number of 1 to 4 each alkyl group, a hydroxyl group, an acyloxy group, a halogen atom, a nitro group or .R represents multiple ring 10 to R 13, And a ring-constituting carbon atom to which the substituent of R 10 to R 13 is bonded to form a condensed ring or a condensed ring system in which each condensed ring is a 5- or 6-membered ring. You may.

【0017】R9 は水素原子、炭素数1〜4の非置換ま
たは置換アルキル基または炭素数6〜12の非置換また
は置換アリール基、またはR14−CO−を表す。ここ
で、R 14はアルコキシ基、シクロアルコキシ基、水酸
基、アリールオキシ基、アルケニルオキシ基、アラルキ
ルオキシ基、アルコキシカルボニルアルコキシ基、アル
キルカルボニルアルコキシ基、あるいは下記(III-a)〜
(III-c) で表される置換基を表す。
R9Represents a hydrogen atom or a C 1-4 unsubstituted
Or an unsubstituted or substituted alkyl group having 6 to 12 carbon atoms
Is a substituted aryl group, or R14Represents -CO-. here
And R 14Is an alkoxy group, cycloalkoxy group, hydroxyl
Group, aryloxy group, alkenyloxy group, aralkyl
Ruoxy group, alkoxycarbonylalkoxy group, al
A killed carbonyl alkoxy group, or the following (III-a):
Represents a substituent represented by (III-c).

【0018】[0018]

【化8】 Embedded image

【0019】R15〜R18は水素原子、アルキル基、ヒド
ロキシアルキル基、ヒドロキシアルコキシアルキル基、
アルコキシアルキル基、シクロアルキル基を表し、mは
1〜5であり、nは0〜10である。Q1 はシアノ基、
複素環、または−Z2 −R19を表す。ここでR19は炭素
数1〜10の非置換または置換アルキル基、アルケニル
基、またはアルコキシ基、炭素数6〜12の非置換また
は置換アリール基、炭素数6〜12の非置換または置換
アリールオキシ基、または環を構成する炭素原子および
異原子が5〜15個である非置換または置換複素環基、
または水酸基、アシル基を表す。Z2 はカルボニル基、
スルホニル基、スルフィニル基またはアリーレンジカル
ボニル基、−(CH=CH)k(kは1または2)を表
す。) 3.該エチレン性不飽和化合物は、アクリル系化合物で
あることを特徴とする前記1又は2記載の感光性樹脂組
成物。
R 15 to R 18 represent a hydrogen atom, an alkyl group, a hydroxyalkyl group, a hydroxyalkoxyalkyl group,
Represents an alkoxyalkyl group or a cycloalkyl group, m is 1 to 5, and n is 0 to 10. Q 1 is a cyano group,
A heterocyclic or -Z 2 -R 19,. Here, R 19 is an unsubstituted or substituted alkyl group, alkenyl group, or alkoxy group having 1 to 10 carbon atoms, an unsubstituted or substituted aryl group having 6 to 12 carbon atoms, an unsubstituted or substituted aryloxy group having 6 to 12 carbon atoms. An unsubstituted or substituted heterocyclic group having 5 to 15 carbon atoms and hetero atoms constituting the group or the ring,
Or a hydroxyl group or an acyl group. Z 2 is a carbonyl group,
Represents a sulfonyl group, a sulfinyl group or an arylenedicarbonyl group,-(CH = CH) k (k is 1 or 2). ) 3. 3. The photosensitive resin composition according to the above item 1 or 2, wherein the ethylenically unsaturated compound is an acrylic compound.

【0020】4.該フォトレジストは、高分子結合剤及
び/又は架橋剤を含むことを特徴とする前記1〜3の何
れか1項に記載の感光性樹脂組成物。 5.該無機粒子は低融点ガラス粒子、金属粉末、金属酸
化物及び蛍光体から選択される少なくとも1種を含むこ
とを特徴とする前記1〜4の何れか1項に記載の感光性
樹脂組成物。
4. 4. The photosensitive resin composition according to any one of the above items 1 to 3, wherein the photoresist contains a polymer binder and / or a crosslinking agent. 5. The photosensitive resin composition according to any one of the above items 1 to 4, wherein the inorganic particles include at least one selected from low-melting glass particles, metal powders, metal oxides, and phosphors.

【0021】6.プラズマディスプレイのリブ形成用で
あることを特徴とする前記1〜5の何れか1項に記載の
感光性樹脂組成物。 7.前記6に記載の感光性樹脂組成物を層としてプラズ
マディスプレイ用ベース上に設け、該ベースの裏からの
露光処理および該ベースの表からの露光処理を各々少な
くとも1回行うことを特徴とするプラズマディスプレイ
のリブ形成方法。
6. The photosensitive resin composition according to any one of the above items 1 to 5, which is used for forming ribs of a plasma display. 7. 7. A plasma, wherein the photosensitive resin composition according to 6 is provided as a layer on a base for a plasma display, and exposure processing from the back of the base and exposure processing from the front of the base are performed at least once each. Display rib forming method.

【0022】以下、本発明を詳細に説明する。本発明の
感光性樹脂組成物は、特定組成のフォトレジストと特定
サイズの無機粒子からなる。本発明に使用するフォトレ
ジストは、好ましくは、ネガ型である。該フォトレジス
トは、少なくともエチレン性不飽和化合物、上記A群か
ら選択される少なくとも1種の増感色素及びラジカル重
合開始剤からなる。
Hereinafter, the present invention will be described in detail. The photosensitive resin composition of the present invention comprises a photoresist having a specific composition and inorganic particles having a specific size. The photoresist used in the present invention is preferably a negative type. The photoresist comprises at least an ethylenically unsaturated compound, at least one sensitizing dye selected from the above group A, and a radical polymerization initiator.

【0023】本発明に用いられるエチレン性不飽和化合
物としては、特に制限されるべきものではないが、好適
なエチレン性不飽和化合物は、少なくとも2個の末端不
飽和基を有し、活性光線の照射により、光重合が可能な
化合物である(以下、多官能モノマーと略す。)。多官
能モノマーとしては、中でもアクリル系化合物が好まし
い。ここで、アクリル系とは、アクリル酸誘導体及びメ
タアクリル酸誘導体を含む。
The ethylenically unsaturated compound used in the present invention is not particularly limited, but a preferred ethylenically unsaturated compound has at least two terminal unsaturated groups, It is a compound that can be photopolymerized by irradiation (hereinafter abbreviated as polyfunctional monomer). As the polyfunctional monomer, an acrylic compound is particularly preferable. Here, the acrylic type includes an acrylic acid derivative and a methacrylic acid derivative.

【0024】具体的には、特公昭35−5,093号公
報、特公昭35−14,719号公報、特公昭44−2
8,727号公報等に記載される下記の化合物である。
先ずアクリル系化合物としては、アクリル酸エステル類
及びメタクリル酸エステル類が挙げられ、多価アルコー
ルのポリアクリレート類及びポリメタクリレート類(こ
こで「ポリ」とはジ(メタ)アクリレート以上を指
す。)がある。上記多価アルコールとしては、ポリエチ
レングリコール、ポリプロピレングリコール、ポリブチ
レングリコール、ポリシクロヘキセンオキサイド、ポリ
スチレンオキサイド、ポリオキセタン、ポリテトラヒド
ロフラン、シクロヘキサンジオール、キシリレンジオー
ル、ジ−(β−ヒドロキシエトキシ)ベンゼン、グリセ
リン、ジグリセリン、ネオペンチルグリコール、トリメ
チロールプロパン、トリメチロールエタン、ペンタエリ
スリトール、ジペンタエリスリトール、ソルビタン、ソ
ルビトール、ブタンジオール、ブタントリオール、2−
ブテン−1,4−ジオール、2−n−ブチル−2−エチ
ル−プロパンジオール、2−ブテン−1,4−ジオー
ル、3−クロル−1,2−プロパンジオール、1,4−
シクロヘキサンジメタノール、3−シクロヘキセン−
1,1−ジメタノール、デカリンジオール、2,3−ジ
ブロム−2−ブテン−1,4−ジオール、2,2−ジエ
チル−1,3−プロパンジオール、1,5−ジヒドロキ
シ−1,2,3,4−テトラヒドロナフタレン、2,5
−ジメチル−2,5−ヘキサンジオール、2,2−ジメ
チル−1,3−プロパンジオール、2,2−ジフェニル
−1,3−プロパンジオール、ドデカンジオール、メゾ
エリスリトール、2−エチル−1,3−ヘキサンジオー
ル、2−エチル−2−(ヒドロキシメチル)−1,3−
プロパンジオール、2−エチル−2−メチル−1,3−
プロパンジオール、ヘプタンジオール、ヘキサンジオー
ル、3−ヘキセン−2,5−ジオール、ヒドロキシベン
ジルアルコール、ヒドロキシエチルレゾルシノール、2
−メチル−1,4−ブタンジオール、2−メチル−2,
4−ペンタンジオール、ノナンジオール、オクタンジオ
ール、ペンタンジオール、1−フェニル−1,2−エタ
ンジオール、プロパンジオール、2,2,4,4−テト
ラメチル−1,3−シクロブタンジオール、2,3,
5,6−テトラメチル−p−キシレン−α,α′−ジオ
ール、1,1,4,4−テトラフェニル−1,4−ブタ
ンジオール、1,1,4,4−テトラフェニル−2−ブ
チン−1,4−ジオール、1,2,6−トリヒドロキシ
ヘキサン、1,1′−ビ−2−ナフトール、ジヒドロキ
シナフタレン、1,1′−メチレンジ−2−ナフトー
ル、1,2,4−ベンゼントリオール、ビフェノール、
2,2′−ビス(4−ヒドロキシフェニル)ブタン、
1,1−ビス(4−ヒドロキシフェニル)シクロヘキサ
ン、ビス(ヒドロキシフェニル)メタン、カテコール、
4−クロルレゾルシノール、3,4−ジヒドロキシハイ
ドロシンナミックアシッド、ハイドロキノン、ヒドロキ
シベンジルアルコール、メチルハイドロキノン、メチル
−2,4,6−トリヒドロキシベンゾエート、フロログ
ルシノール、ピロガロール、レゾルシノール、グルコー
ス、α−(1−アミノエチル)−p−ヒドロキシベンジ
ルアルコール、2−アミノ−2−エチル−1,3−プロ
パンジオール、2−アミノ−2−メチル−1,3−プロ
パンジオール、3−アミノ−1,2−プロパンジオー
ル、N−(3−アミノプロピル)−ジエタノールアミ
ン、N,N′−ビス−(2−ヒドロキシエチル)ピペラ
ジン、2,2−ビス(ヒドロキシメチル)−2,2′,
2″−ニトリロトリエタノール、2,2−ビス(ヒドロ
キシメチル)プロピオニックアシド、1,3−ビス(ヒ
ドロキシメチル)ウレア、1,2−ビス(4−ピリジ
ル)−1,2−エタンジオール、N−n−ブチルジエタ
ノールアミン、ジエタノールアミン、N−エチレンジエ
タノールアミン、3−メルカプト−1,2−プロパンジ
オール、3−ピペリジノ−1,2−プロパンジオール、
2−(2−ピリジル)−1,3−プロパンジオール、ト
リエタノールアミン、α−(1−アミノエチル)−p−
ヒドロキシベンジルアルコール、3−アミノ−4−ヒド
ロキシフェニルスルホンなどがある。これらのアクリル
酸エステル類、及びメタクリル酸エステル類のうち、最
も好ましいものは、その入手の容易さから、エチレング
リコールジアクリレート、ジエチレングリコールジアク
リレート、トリエチレングリコールジアクリレート、テ
トラエチレングリコールジアクリレート、エチレングリ
コールジメタクリレート、ジエチレングリコールジメタ
クリレート、トリエチレングリコールジメタクリレー
ト、テトラエチレングリコールジメタクリレート、ポリ
エチレングリコールジアクリレート、テトラプロピレン
グリコールジアクリレート、ドデカプロピレングリコー
ルジアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリ
レート、トリメチロールプロパントリメタアクリレー
ト、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ペンタ
エリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトー
ルジアクリレート、ペンタエリスリトールジメタクリレ
ート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、グ
リセリントリアクリレート、ジグリセリンジメタクリレ
ート、1,3−プロパンジオールジアクリレート、1,
2,4−ブタントリオールトリメタクリレート、1,4
−シクロヘキサンジオールジアクリレート、1,5−ペ
ンタンジオールジアクリレート、ネオペンチルグリコー
ルジアクリレート、エチレンオキサイド付加したトリメ
チロールプロパンのトリアクリル酸エステル等である。
Specifically, JP-B-35-5,093, JP-B-35-14,719, and JP-B-44-2.
The following compounds described in JP-A-8,727 and the like.
First, acrylic compounds include acrylic esters and methacrylic esters, and polyacrylates and polymethacrylates of polyhydric alcohols (here, “poly” refers to di (meth) acrylate or higher). is there. Examples of the polyhydric alcohol include polyethylene glycol, polypropylene glycol, polybutylene glycol, polycyclohexene oxide, polystyrene oxide, polyoxetane, polytetrahydrofuran, cyclohexanediol, xylylene diol, di- (β-hydroxyethoxy) benzene, glycerin and diglycol. Glycerin, neopentyl glycol, trimethylolpropane, trimethylolethane, pentaerythritol, dipentaerythritol, sorbitan, sorbitol, butanediol, butanetriol, 2-
Butene-1,4-diol, 2-n-butyl-2-ethyl-propanediol, 2-butene-1,4-diol, 3-chloro-1,2-propanediol, 1,4-
Cyclohexanedimethanol, 3-cyclohexene-
1,1-dimethanol, decalindiol, 2,3-dibromo-2-butene-1,4-diol, 2,2-diethyl-1,3-propanediol, 1,5-dihydroxy-1,2,3 , 4-tetrahydronaphthalene, 2,5
-Dimethyl-2,5-hexanediol, 2,2-dimethyl-1,3-propanediol, 2,2-diphenyl-1,3-propanediol, dodecanediol, mesoerythritol, 2-ethyl-1,3- Hexanediol, 2-ethyl-2- (hydroxymethyl) -1,3-
Propanediol, 2-ethyl-2-methyl-1,3-
Propanediol, heptanediol, hexanediol, 3-hexene-2,5-diol, hydroxybenzyl alcohol, hydroxyethyl resorcinol, 2
-Methyl-1,4-butanediol, 2-methyl-2,
4-pentanediol, nonanediol, octanediol, pentanediol, 1-phenyl-1,2-ethanediol, propanediol, 2,2,4,4-tetramethyl-1,3-cyclobutanediol, 2,3
5,6-tetramethyl-p-xylene-α, α'-diol, 1,1,4,4-tetraphenyl-1,4-butanediol, 1,1,4,4-tetraphenyl-2-butyne -1,4-diol, 1,2,6-trihydroxyhexane, 1,1'-bi-2-naphthol, dihydroxynaphthalene, 1,1'-methylenedi-2-naphthol, 1,2,4-benzenetriol , Biphenol,
2,2'-bis (4-hydroxyphenyl) butane,
1,1-bis (4-hydroxyphenyl) cyclohexane, bis (hydroxyphenyl) methane, catechol,
4-chlororesorcinol, 3,4-dihydroxyhydrocinnamic acid, hydroquinone, hydroxybenzyl alcohol, methylhydroquinone, methyl-2,4,6-trihydroxybenzoate, phloroglucinol, pyrogallol, resorcinol, glucose, α- (1 -Aminoethyl) -p-hydroxybenzyl alcohol, 2-amino-2-ethyl-1,3-propanediol, 2-amino-2-methyl-1,3-propanediol, 3-amino-1,2-propane Diol, N- (3-aminopropyl) -diethanolamine, N, N'-bis- (2-hydroxyethyl) piperazine, 2,2-bis (hydroxymethyl) -2,2 ',
2 ″ -nitrilotriethanol, 2,2-bis (hydroxymethyl) propionic acid, 1,3-bis (hydroxymethyl) urea, 1,2-bis (4-pyridyl) -1,2-ethanediol, N -N-butyldiethanolamine, diethanolamine, N-ethylenediethanolamine, 3-mercapto-1,2-propanediol, 3-piperidino-1,2-propanediol,
2- (2-pyridyl) -1,3-propanediol, triethanolamine, α- (1-aminoethyl) -p-
Examples include hydroxybenzyl alcohol and 3-amino-4-hydroxyphenyl sulfone. Of these acrylates and methacrylates, the most preferred are ethylene glycol diacrylate, diethylene glycol diacrylate, triethylene glycol diacrylate, tetraethylene glycol diacrylate, ethylene glycol Dimethacrylate, diethylene glycol dimethacrylate, triethylene glycol dimethacrylate, tetraethylene glycol dimethacrylate, polyethylene glycol diacrylate, tetrapropylene glycol diacrylate, dodecapropylene glycol diacrylate, trimethylolpropane triacrylate, trimethylolpropane trimethacrylate, penta Erythritol tetraacrylate, Pentaery Lithol triacrylate, pentaerythritol diacrylate, pentaerythritol dimethacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, glycerin triacrylate, diglycerin dimethacrylate, 1,3-propanediol diacrylate, 1,
2,4-butanetriol trimethacrylate, 1,4
-Cyclohexanediol diacrylate, 1,5-pentanediol diacrylate, neopentyl glycol diacrylate, trimethylolpropane triacrylate to which ethylene oxide is added, and the like.

【0025】アクリル系化合物に内、アクリルアミド
類、及びメタクリルアミド類としては、メチレンビスア
クリルアミド、メチレンビスメタクリルアミドのほか、
エチレンジアミン、ジアミノプロパン、ジアミノブタ
ン、ペンタメチレンジアミン、ヘキサメチレン、ビス
(2−アミノプロピル)アミン、ジエチレントリアミン
ジアミン、ヘプタメチレンジアミン、オクタメチレンジ
アミン並びに異種原子により中断されたポリアミン、環
を有するポリアミン(例えばフェニレンジアミン、キシ
リレンジアミン、β−(4−アミノフェニル)エチルア
ミン、ジアミノベンゾイックアシッド、ジアミノトルエ
ン、ジアミノアントラキシン、ジアミノフルオレンな
ど)のポリアクリルアミド及びポリメタクリルアミドが
ある。
Among the acrylic compounds, acrylamides and methacrylamides include methylenebisacrylamide, methylenebismethacrylamide,
Ethylenediamine, diaminopropane, diaminobutane, pentamethylenediamine, hexamethylene, bis (2-aminopropyl) amine, diethylenetriaminediamine, heptamethylenediamine, octamethylenediamine, polyamines interrupted by hetero atoms, polyamines having rings (eg, phenylene Polyacrylamides and polymethacrylamides of diamine, xylylenediamine, β- (4-aminophenyl) ethylamine, diaminobenzoic acid, diaminotoluene, diaminoanthraxine, diaminofluorene and the like.

【0026】N−β−ヒドロキシエチル−β−(メタク
リルアミド)エチルアクリレート、N,N−ビス(β−
メタクリロキシエチル)アクリルアミド、アリルメタク
リレートなどの如き、異なった付加重合性不飽和結合を
2個以上有する化合物も、アクリル系化合物として好適
に用いられる。
N-β-hydroxyethyl-β- (methacrylamido) ethyl acrylate, N, N-bis (β-
Compounds having two or more different addition-polymerizable unsaturated bonds, such as methacryloxyethyl) acrylamide and allyl methacrylate, are also suitably used as the acrylic compound.

【0027】他のエチレン不飽和化合物としては、以下
のものが例示される。例えば、アリル化合物としては、
例えばフタル酸、テレフタル酸、セバシン酸、アジピン
酸、グルタール酸、マロン酸、蓚酸等のジカルボン酸の
ジアリルエステル、例えば、アントラキノンジスルホン
酸、ベンゼンジスルホン酸、2,5−ジヒドロキシ−p
−ベンゼンジスルホン酸、ジヒドロキシナフタレンジス
ルホン酸、ナフタレンジスルホン酸などのジスルホン酸
のジアリルエステル、ジアリルアミドなどがある。
The following are examples of other ethylenically unsaturated compounds. For example, as an allyl compound,
For example, diallyl esters of dicarboxylic acids such as phthalic acid, terephthalic acid, sebacic acid, adipic acid, glutaric acid, malonic acid, oxalic acid, for example, anthraquinone disulfonic acid, benzenedisulfonic acid, 2,5-dihydroxy-p
-Diallyl esters and diallylamides of disulfonic acids such as benzenedisulfonic acid, dihydroxynaphthalenedisulfonic acid and naphthalenedisulfonic acid.

【0028】ビニルエーテル化合物としては、前記多価
アルコールのポリビニルエーテルがあり、例えばエチレ
ングリコールジビニルエーテル、1,3,5−トリ−β
−ビニロキシエトキシベンゼン、1,3−ジ−β−ビニ
ロキシエトキシベンゼン、グリセロールトリビニルエー
テルなどがある。
Examples of the vinyl ether compound include polyvinyl ethers of the above-mentioned polyhydric alcohols, for example, ethylene glycol divinyl ether, 1,3,5-tri-β
-Vinyloxyethoxybenzene, 1,3-di-β-vinyloxyethoxybenzene, glycerol trivinyl ether and the like.

【0029】ビニルエステル類としては、ジビニルサク
シネート、ジビニルアジペート、ジビニルフタレート、
ジビニルテレフタレート、ジビニルベンゼン−1,3−
ジスルホネート、ジビニルブタン−1,4−ジスルホネ
ートなどがある。
As vinyl esters, divinyl succinate, divinyl adipate, divinyl phthalate,
Divinyl terephthalate, divinylbenzene-1,3-
Disulfonate and divinylbutane-1,4-disulfonate.

【0030】スチレン化合物としては、ジビニルベンゼ
ン、p−アリルスチレン、p−イソプロペンスチレンな
どがある。
Examples of the styrene compound include divinylbenzene, p-allylstyrene, p-isopropenestyrene and the like.

【0031】更に、少なくとも二つの水酸基を有するポ
リオール化合物と、やや過剰の少なくとも二つのイソシ
アネート基を有するポリイソシアネート化合物とを反応
させた反応生成物に、少なくとも一つの水酸基と少なく
とも一つのエチレン性不飽和基を有する化合物を反応さ
せて得られる少なくとも二つのエチレン性不飽和基を有
する多官能ウレタン化合物も本発明に好適に用いられ
る。
Furthermore, a reaction product obtained by reacting a polyol compound having at least two hydroxyl groups with a slightly excessive polyisocyanate compound having at least two isocyanate groups is added to a reaction product obtained by reacting at least one hydroxyl group and at least one ethylenically unsaturated compound. A polyfunctional urethane compound having at least two ethylenically unsaturated groups obtained by reacting a compound having a group is also suitably used in the present invention.

【0032】これらの多官能モノマーは単独あるいは二
種以上を併用して用いることができ、フォトレジスト固
形分の5〜90wt%、好ましくは15〜60wt%の範囲
で用いられる。また、本発明に使用されるフォトレジス
トは、バインダー成分として、更に高分子結合剤、架橋
剤等を用いることが好ましい高分子結合剤としては、特
に制限されるものではなく、例えば、広範な種類の合
成、半合成、天然の高分子物質の中から次の条件を満足
するものが好ましく用いられる。即ち、無機粒子との親
和性、及びエチレン性不飽和化合物、ラジカル重合開始
剤、更には他の成分、例えば架橋剤等との相溶性が感光
性樹脂組成物の調製から、保存中に脱混合を起こさない
程度に良いこと、該結合剤自体の強度、延伸性、耐摩耗
性、耐薬品性などが適当であること、更に、高分子結合
剤の分子量、分子間力、硬さ、軟化温度、結晶性、破壊
伸度などが適切なことである。
These polyfunctional monomers can be used alone or in combination of two or more, and are used in the range of 5 to 90% by weight, preferably 15 to 60% by weight of the photoresist solids. Further, the photoresist used in the present invention is not particularly limited as a polymer binder which preferably further uses a polymer binder, a crosslinking agent, and the like as a binder component. Among the synthetic, semi-synthetic and natural polymer substances, those satisfying the following conditions are preferably used. That is, the affinity with the inorganic particles, and the compatibility with the ethylenically unsaturated compound, the radical polymerization initiator, and other components, for example, a crosslinking agent, etc. are demixed during the preparation of the photosensitive resin composition and during storage. That the binder itself has appropriate strength, stretchability, abrasion resistance, chemical resistance, etc., and furthermore, the molecular weight, intermolecular force, hardness, and softening temperature of the polymer binder. , Crystallinity, elongation at break, etc. are appropriate.

【0033】高分子結合剤の具体例を挙げると塩素化ポ
リエチレン、塩素化ポリプロピレンなどの塩素化ポリオ
レフィン、ポリ(メタ)アクリル酸アルキルエステル
(アルキル基としては、メチル基、エチル基、ブチル基
など)、(メタ)アクリル酸と(メタ)アクリル酸アル
キルエステル(アルキル基は同上)との共重合物、ポリ
(メタ)アクリル酸、(メタ)アクリル酸アルキルエス
テル(アルキル基は同上)とアクリロニトリル、塩化ビ
ニル、塩化ビニリデン、スチレン、ブタジエン等のモノ
マーの少くとも一種との共重合物、ポリ塩化ビニル、塩
化ビニルとアクリロニトリルとの共重合物、ポリ塩化ビ
ニリデン、塩化ビニリデンとアクリロニトリルとの共重
合物、酢酸ビニルと塩化ビニルとの共重合物、ポリアク
リロニトリル、アクリロニトリルとスチレンとの共重合
物、アクリロニトリルとブタジエン及びスチレンとの共
重合物、スチレンと無水マレイン酸などの不飽和二塩基
酸無水物との共重合物、ポリビニルブチラール、スチレ
ンブタジエンゴム、塩化ゴム、環化ゴム、アセチルセル
ロースなどのホモポリマー又は共重合物などがある。こ
こで、(メタ)アクリル酸とは、アクリル酸又はメタク
リル酸を意味する。
Specific examples of the polymer binder include chlorinated polyolefins such as chlorinated polyethylene and chlorinated polypropylene, and poly (meth) acrylic acid alkyl esters (alkyl groups include methyl, ethyl and butyl). Copolymer of (meth) acrylic acid and alkyl (meth) acrylate (alkyl group is the same as above), poly (meth) acrylic acid, alkyl (meth) acrylate (alkyl group is the same as above) and acrylonitrile, chloride Copolymers with at least one monomer such as vinyl, vinylidene chloride, styrene, butadiene, polyvinyl chloride, copolymers of vinyl chloride and acrylonitrile, polyvinylidene chloride, copolymers of vinylidene chloride and acrylonitrile, acetic acid Copolymer of vinyl and vinyl chloride, polyacrylonitrile, A copolymer of lonitrile and styrene, a copolymer of acrylonitrile and butadiene and styrene, a copolymer of styrene and an unsaturated dibasic anhydride such as maleic anhydride, polyvinyl butyral, styrene butadiene rubber, chlorinated rubber, Examples include cyclized rubber and homopolymers or copolymers such as acetylcellulose. Here, (meth) acrylic acid means acrylic acid or methacrylic acid.

【0034】該高分子結合剤が共重合物の場合、その成
分モノマーの含有比は広範囲の値をとりうるが、一般に
は共重合物の主体となる特定のモノマーに対して他の共
重合モノマーがモル比で5%以上含まれているものが好
適である。またこれら以外のポリマーであっても、前記
の条件を満たすものであれば、本発明のフォトレジスト
高分子結合剤として用いることが出来る。
When the polymer binder is a copolymer, the content ratio of the component monomers can take a wide range of values, but in general, a specific monomer which is a main component of the copolymer and another copolymer monomer are used. Is preferably contained in a molar ratio of 5% or more. Further, polymers other than these can be used as the photoresist polymer binder of the present invention as long as they satisfy the above conditions.

【0035】上記高分子結合剤の内、特に好適に用いら
れるものは、塩素化ポリエチレン、塩素化ポリプロピレ
ン、ポリメチルメタアクリレート、メチルメタクリレー
ト−アクリロニトリル共重合物(メチルメタクリレート
のモル含量20〜80%)、塩化ビニル−アクリロニト
リル共重合物(塩化ビニルのモル含量20〜80%)、
塩化ビニリデン−アクリロニトリル共重合物(塩化ビニ
リデンのモル含量20〜80%)、スチレン−無水マレ
イン酸共重合物、特願昭59−114736号(高分子
結合剤は、メタクリル酸メチル/メタクリル酸/2−エ
チルヘキシルメタクリレート/ベンジルメタクリレート
四元共重合体である)、特公昭54−34327号(高
分子結合剤は、例えばメタクリル酸メチル/メタクリル
酸2−エチルヘキシル/メタクリル酸の三元共重合体で
ある)、特公昭55−38961号(高分子結合剤は例
えばスチレン/マレイン酸モノ−n−ブチルエステル共
重合体である)、特公昭54−25957号(高分子結
合剤は例えばエチレン/メタクリル酸メチル/アクリル
酸エチル/メタクリル酸の四元共重体である)、特開昭
52−99810号(高分子結合剤は例えばメタクリル
酸ベンジル/メタクリル酸共重合体である)、特公昭5
8−12577号(高分子結合剤は例えばアクリロニト
リル/メタクリル酸2−エチルヘキシル/メタクリル酸
の三元共重合体である)および特公昭55−6210号
(高分子結合剤は例えばメタクリル酸メチル/アクリル
酸エチル/アクリル酸の三元共重合体とイソプロパノー
ルで一部分エステル化したスチレン/マレイン酸無水物
共重合体の2種である)の各公報または明細書に記載の
高分子結合剤などである。
Of the above-mentioned polymer binders, particularly preferably used are chlorinated polyethylene, chlorinated polypropylene, polymethyl methacrylate, methyl methacrylate-acrylonitrile copolymer (molar content of methyl methacrylate: 20 to 80%). , Vinyl chloride-acrylonitrile copolymer (vinyl chloride molar content 20-80%),
Vinylidene chloride-acrylonitrile copolymer (molar content of vinylidene chloride 20-80%), styrene-maleic anhydride copolymer, Japanese Patent Application No. 59-114736 (The polymer binder is methyl methacrylate / methacrylic acid / 2 -Ethylhexyl methacrylate / benzyl methacrylate quaternary copolymer) and JP-B-54-34327 (the polymer binder is, for example, a terpolymer of methyl methacrylate / 2-ethylhexyl methacrylate / methacrylic acid). JP-B-55-38961 (polymer binder is, for example, styrene / maleic acid mono-n-butyl ester copolymer) and JP-B-54-25957 (polymer binder is, for example, ethylene / methyl methacrylate / A quaternary copolymer of ethyl acrylate / methacrylic acid), and JP-A-52-99810. (Polymeric binder is, for example, benzyl methacrylate / methacrylic acid copolymer), JP-B-5
No. 8-12577 (the polymer binder is, for example, a terpolymer of acrylonitrile / 2-ethylhexyl methacrylate / methacrylic acid) and JP-B-55-6210 (the polymer binder is, for example, methyl methacrylate / acrylic acid). And styrene / maleic anhydride copolymers partially esterified with isopropanol, and the like.

【0036】これらの高分子結合剤は、単独もしくは併
用して用いてもよいが、二種以上のフォトレジストの調
製から、感光性樹脂組成物の層形成に至る工程中および
得られる感光性樹脂組成物の保存中に脱混合を起さない
程度に互いに相溶性のあるポリマーを適当な比で混合し
てて用いることが出来る。このような高分子結合剤の分
子量は、ポリマーの種類によって広範な値をとりうる
が、一般的には5,000〜2,000,000、より
好ましくは、50,000〜1,000,000の範囲
のものが本発明に好適に用いられる。
These polymer binders may be used alone or in combination. However, during the steps from the preparation of two or more photoresists to the formation of a layer of the photosensitive resin composition and the resulting photosensitive resin, Polymers compatible with each other so as not to cause demixing during storage of the composition can be used by mixing them in an appropriate ratio. The molecular weight of such a polymer binder can take a wide range depending on the type of the polymer, but is generally 5,000 to 2,000,000, more preferably 50,000 to 1,000,000. Those in the range are preferably used in the present invention.

【0037】上記高分子結合剤の量はフォトレジストの
固形分に対して5〜95wt%、好ましくは40〜80wt
%である。
The amount of the polymer binder is from 5 to 95 wt%, preferably from 40 to 80 wt%, based on the solid content of the photoresist.
%.

【0038】また、本発明に使用され得る架橋剤として
は、上記エチレン不飽和化合物及び/又は高分子結合剤
等と架橋反応が可能なものが好ましく、特に制限される
べきものではないが、例えば、シラン系架橋剤が好まし
い。シラン系架橋剤としては、例えば、
The crosslinking agent that can be used in the present invention is preferably a crosslinking agent capable of performing a crosslinking reaction with the above-mentioned ethylenically unsaturated compound and / or polymer binder, and is not particularly limited. And a silane-based crosslinking agent are preferred. Examples of the silane-based crosslinking agent include, for example,

【0039】[0039]

【化9】 Embedded image

【0040】等が挙げられ、And the like.

【0041】[0041]

【化10】 Embedded image

【0042】が好ましいものとして例示できる。架橋剤
は、フォトレジスト固形分に対して通常、5〜95重量
%、好ましくは10〜90重量%の範囲で用いることが
できる。架橋剤が適量から少なくなると感度が低下し、
膜減りが増加し、プロファイルが悪化する傾向がある。
また、架橋剤が適量から多くなると現像性が悪化し現像
残りが生じやすくなる傾向がある。
Is preferred. The crosslinking agent can be used in a range of usually 5 to 95% by weight, preferably 10 to 90% by weight based on the solid content of the photoresist. When the amount of the crosslinking agent decreases from the appropriate amount, the sensitivity decreases,
The film loss tends to increase and the profile tends to deteriorate.
Further, when the amount of the crosslinking agent is increased from an appropriate amount, the developability tends to deteriorate, and the development residue tends to be easily generated.

【0043】本発明に用いられる増感色素としては、特
に制限されるべきものではないが、例えば、4,4−ビ
ス(ジメチルアミノ)カルコン、4,4−ビス(ジエチ
ルアミノ)カルコン、2,4−ジエチルチオキサント
ン、イソプロプリチオキサントン、2,3−ビス(4−
ジエチルアミノベンザル)シクロペンタノン、2,6−
ビス(4−ジメチルアミノベンザル)シクロヘキサノ
ン、2,6−ビス(4−ジメチルアミノベンザル)−4
−メチルヘキサノン、ミヒラ−ケトン、4,4−ビス
(ジエチルアミノ)−ベンゾフェノン、p−ジメチルア
ミノベンジリデンインダノン、N−フェニル−N−エチ
ルエタノールアミン、N−フェニルエタノールアミン、
N−トリルジエタノールアミン、ジメチルアミノ安息香
酸イソアミル、ジエチルアミノ安息香酸イソアミル、3
−フェニル−5−ベンゾイルチオテトラゾール、1−フ
ェニル−5−エトキシカルボニルチオテトラゾール、2
−(p−ジメチルアミノフェニルピニレン)−イソナフ
トチアゾール、1,3−ビス(4−ジメチルアミノベン
ザル)アセトン、1,3−カルボニル−ビス(4−ジエ
チルアミノベンザル)アセトン等が挙げられ、好ましく
は、上記一般式(I)、一般式(II)または一般式(II
I)で表される化合物から選択される。
The sensitizing dye used in the present invention is not particularly limited. For example, 4,4-bis (dimethylamino) chalcone, 4,4-bis (diethylamino) chalcone, 2,4 -Diethylthioxanthone, isoproprithioxanthone, 2,3-bis (4-
Diethylaminobenzal) cyclopentanone, 2,6-
Bis (4-dimethylaminobenzal) cyclohexanone, 2,6-bis (4-dimethylaminobenzal) -4
-Methylhexanone, Michler's ketone, 4,4-bis (diethylamino) -benzophenone, p-dimethylaminobenzylideneindanone, N-phenyl-N-ethylethanolamine, N-phenylethanolamine,
N-tolyldiethanolamine, isoamyl dimethylaminobenzoate, isoamyl diethylaminobenzoate, 3
-Phenyl-5-benzoylthiotetrazole, 1-phenyl-5-ethoxycarbonylthiotetrazole, 2
-(P-dimethylaminophenylpinylene) -isonaphthothiazole, 1,3-bis (4-dimethylaminobenzal) acetone, 1,3-carbonyl-bis (4-diethylaminobenzal) acetone, and the like, Preferably, the above general formula (I), general formula (II) or general formula (II
It is selected from the compounds represented by I).

【0044】一般式(I)において、R1 〜R4 のアル
キル基としては、メチル、エチル、t−ブチル等炭素数
1〜20個までのものを用いることができる。また、ア
リール基としては、フェニル等炭素数1〜10個までの
ものを用いることができる。さらに、R1 〜R4 のアル
コキシ基としては、メトキシ、エトキシ、ブトキシ等炭
素数1〜6個までのものを用いることができる。加え
て、R1 〜R4 の置換アミノ基としてはメチルアミノ、
ジメチルアミノ、ジエチルアミノ、ジフェニルアミノ、
ピペリジノ、モルホリノ等炭素数1〜20個を有するア
ルキルアミノ基、アリールアミノ基を用いることができ
る。
In the general formula (I), as the alkyl group for R 1 to R 4 , those having 1 to 20 carbon atoms such as methyl, ethyl and t-butyl can be used. Further, as the aryl group, those having 1 to 10 carbon atoms such as phenyl can be used. Further, as the alkoxy group for R 1 to R 4 , those having 1 to 6 carbon atoms such as methoxy, ethoxy, butoxy and the like can be used. In addition, as the substituted amino group for R 1 to R 4 , methylamino,
Dimethylamino, diethylamino, diphenylamino,
An alkylamino group having 1 to 20 carbon atoms and an arylamino group such as piperidino and morpholino can be used.

【0045】これらのアルキル基、アリール基、アルコ
キシ基、アルキルアミノ基、アリールアミノ基は、置換
基を有していても良い。また、置換基としては、フッ
素、塩素、臭素等のハロゲン原子、エトキシカルボニル
基等のアルコキシカルボニル基、メトキシ、エトキシ等
のアルコキシ基、フェニルなどのアリール基、シアノ基
等がある。R1 〜R4 がそれと結合させる炭素原子と共
に非金属原子から成る環を形成する場合、環を含む構造
としては下記(A)、(B)、(C)に示すものが挙げ
られる。
These alkyl group, aryl group, alkoxy group, alkylamino group and arylamino group may have a substituent. Examples of the substituent include a halogen atom such as fluorine, chlorine and bromine, an alkoxycarbonyl group such as an ethoxycarbonyl group, an alkoxy group such as methoxy and ethoxy, an aryl group such as phenyl, and a cyano group. When R 1 to R 4 form a ring composed of a nonmetallic atom together with a carbon atom bonded thereto, examples of the structure containing a ring include those shown in the following (A), (B) and (C).

【0046】[0046]

【化11】 Embedded image

【0047】また、R5 ,R6 がアシル基の場合、アセ
チル、ベンゾイル等の炭素数1〜10個のアルキル基、
アリール基を有するもの、アルコキシカルボニル基の場
合エトキシカルボニル等炭素数1〜6個のアルキル基を
有するものがあげられる。さらに、置換アルケニル基の
場合スチリル基等炭素数2〜10個のものを、ヘテロ芳
香族基の場合、下記(D)〜(F)に示すものを用いる
ことができる。
When R 5 and R 6 are acyl groups, an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms such as acetyl and benzoyl;
Examples thereof include those having an aryl group and those having an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms such as ethoxycarbonyl in the case of an alkoxycarbonyl group. Further, in the case of a substituted alkenyl group, those having 2 to 10 carbon atoms such as a styryl group can be used, and in the case of a heteroaromatic group, those shown in the following (D) to (F) can be used.

【0048】[0048]

【化12】 Embedded image

【0049】また、R5 ,R6 は共にそれと結合させる
炭素原子と共に環を形成していても良い。例としては下
記(G)に示される構造が挙げられる。
Further, both R 5 and R 6 may form a ring together with the carbon atom bonded thereto. Examples include the structure shown in (G) below.

【0050】[0050]

【化13】 Embedded image

【0051】Xが置換基を有する窒素の場合、置換基と
してはR1 〜R6 で挙げたアルキル基、アリール基と同
等のものを用いることができる。G1 ,G2 は互いに同
一でも異なっていてもよく、各々水素原子、シアノ基、
エトキシカルボニル基等の炭素数1〜10個のアルキル
基を有するアルコキシカルボニル基、フェノキシカルボ
ニル基等炭素数6〜10個のアリール基を有するアリー
ルオキシカルボニル基、アセチル基、プロピオニル基等
炭素数1〜6個のアシル基、ベンゾイル基等炭素数7〜
11個のアリールカルボニル基、メチルチオ基、エチル
チオ基等炭素数1〜6個のアルキルチオ基、フェニルチ
オ基等炭素数6〜10個のアリールチオ基、フェニルス
ルホニル基等の炭素数6〜10個のアリールスルホニル
基、メチルスルホニル基、エチルスルホニル基等の炭素
数1〜6個のアルキルスルホニル基、またはフルオロス
ルホニル基を表わす。
When X is a nitrogen having a substituent, the substituent may be the same as the alkyl and aryl groups described for R 1 to R 6 . G 1 and G 2 may be the same or different, and each represents a hydrogen atom, a cyano group,
An alkoxycarbonyl group having an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms such as an ethoxycarbonyl group, an aryloxycarbonyl group having an aryl group having 6 to 10 carbon atoms such as a phenoxycarbonyl group, an acetyl group, a propionyl group having 1 to 1 carbon atoms. 7 to 7 carbon atoms such as acyl group and benzoyl group
C1-C6 arylthio groups such as 11-arylcarbonyl group, methylthio group, ethylthio group, etc. C1-C6 alkylthio group, C6-C10 arylthio group such as phenylthio group, and C6-C10 arylsulfonyl such as phenylsulfonyl group Represents an alkylsulfonyl group having 1 to 6 carbon atoms such as a group, a methylsulfonyl group, an ethylsulfonyl group, or a fluorosulfonyl group.

【0052】これらのアルコキシカルボニル基、アリー
ルオキシカルボニル基、アシル基、アリールカルボニル
基、アルキルチオ基、アリールチオ基、アリールスルホ
ニル基、アルキルスルホニル基は置換基を有していても
良く置換基としては、塩素等のハロゲン原子、炭素数1
〜6個のアルキル基を有するアルコキシカルボニル基、
カルボキシル基、炭素数6〜10個のアリール基、炭素
数1〜6個のアルコキシ基、シアノ基が挙げられる。ま
たアリールオキシカルボニル基、アリールカルボニル
基、アリールチオ基、アリールスルホニル基の場合上記
の置換基の外にメチル基等の炭素数1〜6個のアルキル
基も用いることができる。
These alkoxycarbonyl group, aryloxycarbonyl group, acyl group, arylcarbonyl group, alkylthio group, arylthio group, arylsulfonyl group and alkylsulfonyl group may have a substituent, and the substituent may be chlorine. Halogen atom, etc., carbon number 1
An alkoxycarbonyl group having from 6 to 6 alkyl groups,
Examples thereof include a carboxyl group, an aryl group having 6 to 10 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 6 carbon atoms, and a cyano group. In the case of an aryloxycarbonyl group, an arylcarbonyl group, an arylthio group, or an arylsulfonyl group, an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms such as a methyl group can be used in addition to the above substituents.

【0053】またG1 とG2 はそれが結合する炭素原子
と共に非金属原子から成る環を形成する場合、環として
は通常メロシアニン色素で酸性核として用いられるもの
で以下のものを挙げることができる。 (a) 1,3−ジカルボニル核、例えば1,3−イン
ダンジオン、1,3−シクロヘキサンジオン、5,5−
ジメチル−1,3−シクロヘキサンジオン、1,3−ジ
オキサン−4,6−ジオンである。
When G 1 and G 2 form a ring consisting of a nonmetal atom together with the carbon atom to which they are bonded, the ring is usually a merocyanine dye used as an acidic nucleus. . (A) 1,3-dicarbonyl nucleus, for example, 1,3-indandione, 1,3-cyclohexanedione, 5,5-
Dimethyl-1,3-cyclohexanedione and 1,3-dioxane-4,6-dione.

【0054】(b) ピラゾリノン核、例えば3−メチ
ル−1−フエニル−2−ピラゾリン−5−オン、1−フ
ェニル−2−ピラゾリン−5−オン、1−(2−ベンゾ
チアゾイル)−3−メチル−2−ピラゾリン−5−オン
である。 (c) イソオキサゾリノン核、例えば3−フェニル−
2−イソオキサゾリン−5−オン、3−メチル−2−イ
ソオキサゾリン−5−オン等である。
(B) pyrazolinone nucleus, for example, 3-methyl-1-phenyl-2-pyrazolin-5-one, 1-phenyl-2-pyrazolin-5-one, 1- (2-benzothiazoyl) -3- Methyl-2-pyrazolin-5-one. (C) isoxazolinone nucleus, for example 3-phenyl-
2-isoxazolin-5-one, 3-methyl-2-isoxazolin-5-one and the like.

【0055】(d) オキシインドール核、例えば1−
アルキル−2,3−ジヒドロ−2−オキシインドールで
ある。 (e) 2,4,6−トリケトヘキサヒドロピリミジン
核、例えばバルビツル酸または2−チオバルビツル酸及
びその誘導体である。かかる誘導体としては、1−メチ
ル、1−エチル等の1−アルキル体、1,3−ジエチ
ル、1,3−ジブチル等の1,3−ジアルキル体、1,
3−ジフェニル、1,3−ジ(p−クロロフェニル)、
1,3−ジ(p−エトキシカルボニルフェニル)等の
1,3−ジアリール体、1−エチル−3−フェニル等の
1−アルキル−3−アリール体などが挙げられる。
(D) Oxindole nucleus, for example, 1-
Alkyl-2,3-dihydro-2-oxindole. (E) 2,4,6-triketohexahydropyrimidine nucleus, for example barbituric acid or 2-thiobarbituric acid and its derivatives. Examples of such derivatives include 1-alkyl compounds such as 1-methyl and 1-ethyl; 1,3-dialkyl compounds such as 1,3-diethyl and 1,3-dibutyl;
3-diphenyl, 1,3-di (p-chlorophenyl),
Examples thereof include 1,3-diaryl compounds such as 1,3-di (p-ethoxycarbonylphenyl) and 1-alkyl-3-aryl compounds such as 1-ethyl-3-phenyl.

【0056】(f) 2−チオ−2,4−チアゾリジン
ジオン核、例えばローダニン及びその誘導体である。か
かる誘導体としては3−エチルローダニン、3−アリル
ローダニン等の3−アルキルローダニン、3−フェニル
ローダニン等の3−アリールローダニン等が挙げられ
る。 (g) 2−チオ−2,4−オキサゾリジンジオン(2
−チオ−2,4−(3H,5H)−オキサゾールジオ
ン)核、例えば2−エチル−2−チオ−2,4−オキサ
ゾリジンジオンである。
(F) 2-thio-2,4-thiazolidinedione nucleus, for example, rhodanine and its derivatives. Such derivatives include 3-alkyl rhodanines such as 3-ethyl rhodanine and 3-allyl rhodanine, and 3-aryl rhodanines such as 3-phenyl rhodanine. (G) 2-thio-2,4-oxazolidinedione (2
-Thio-2,4- (3H, 5H) -oxazoledione) nucleus, for example 2-ethyl-2-thio-2,4-oxazolidinedione.

【0057】(h) チアナフテノン核、例えば3(2
H)−チアナフテノンおよび3(2H)−チアナフテノ
ン−1,1−ジオキサイドである。 (i) 2−チオ−2,5−チアゾリジンジオン核、例
えば3−エチル−2−チオ−2,5−チアゾリジンジオ
ンである。 (j) 2,4−チアゾリジンジオン核、例えば2,4
−チアゾリジンジオン、3−エチル−2,4−チアゾリ
ジンジオン、3−フェニル−2,4−チアゾリジンジオ
ンである。
(H) Thianaphthenone nucleus, for example, 3 (2
H) -thianaphthenone and 3 (2H) -thianaphthenone-1,1-dioxide. (I) 2-thio-2,5-thiazolidinedione nucleus, for example, 3-ethyl-2-thio-2,5-thiazolidinedione. (J) 2,4-thiazolidinedione nucleus, for example, 2,4
-Thiazolidinedione, 3-ethyl-2,4-thiazolidinedione and 3-phenyl-2,4-thiazolidinedione.

【0058】(k) チアゾリジオン核、例えば4−チ
アゾリジノン、3−エチル−4−チアゾリジノンであ
る。 (l) 4−チアゾゾリノン核、例えば2−エチルメル
カプト−5−チアゾリン−4−オン、2−アルキルフェ
ニルアミノ−5−チアゾリン−4−オンである。
(K) Thiazolidione nucleus, for example, 4-thiazolidinone, 3-ethyl-4-thiazolidinone. (L) 4-thiazozolinone nucleus, for example, 2-ethylmercapto-5-thiazolin-4-one, 2-alkylphenylamino-5-thiazolin-4-one.

【0059】(m) 2−イミノ−2−オキソゾリン−
4−オン(凝ヒダントイン)核である。 (n) 2,4−イミダゾリジンジオン(ヒダントイ
ン)核、例えば、2,4−イミダゾリジンジオン、3−
エチル−2,4−イミダゾリジンジオンである。 (o) 2−チオ−2,4−イミダゾリジンジオン(2
−チオヒダントイン)核、例えば2−チオ−2,4−イ
ミダゾリジンジオン、3−エチル−2−チオ−2,4−
イミダゾリジンジオンである。
(M) 2-imino-2-oxozoline-
It is a 4-one (coagulation hydantoin) nucleus. (N) 2,4-imidazolidinedione (hydantoin) nucleus, for example, 2,4-imidazolidinedione, 3-
Ethyl-2,4-imidazolidinedione. (O) 2-thio-2,4-imidazolidinedione (2
-Thiohydantoin) nuclei such as 2-thio-2,4-imidazolidinedione, 3-ethyl-2-thio-2,4-
It is imidazolidinedione.

【0060】(p) 2−イミダゾリン−5−オン核、
例として2−n−プロピル−メルカプト−2−イミダゾ
リン−5−オンである。 (q) フラン−5−オンである。
(P) 2-imidazolin-5-one nucleus,
An example is 2-n-propyl-mercapto-2-imidazolin-5-one. (Q) Furan-5-one.

【0061】本発明で用いられる前記一般式(I)で表
される化合物は、一般式(I−a)又は(I−b)で表
される化合物および(I−c)で表される化合物から合
成することができる。
The compound represented by the general formula (I) used in the present invention includes a compound represented by the general formula (Ia) or (Ib) and a compound represented by the formula (Ic) Can be synthesized from

【0062】[0062]

【化14】 Embedded image

【0063】(上式でL1 ,L2 はアルキル基、Za -
はアニオンを表わす) 本発明で用いられる一般式(I)で表される化合物の具
体例を下記に示す。
[0063] (L 1, L 2 in the above formula is an alkyl group, Za -
Represents an anion) Specific examples of the compound represented by formula (I) used in the present invention are shown below.

【0064】[0064]

【化15】 Embedded image

【0065】[0065]

【化16】 Embedded image

【0066】[0066]

【化17】 Embedded image

【0067】[0067]

【化18】 Embedded image

【0068】[0068]

【化19】 Embedded image

【0069】[0069]

【化20】 Embedded image

【0070】[0070]

【化21】 Embedded image

【0071】[0071]

【化22】 Embedded image

【0072】次に一般式(II)で表される増感色素につい
て説明する。式(II)において、R7 、R8 は水素原子、
アルキル基、置換アルキル基、アルケニル基、置換アル
ケニル基、アルコキシカルボニル基、アリール基、置換
アリール基、アルキニル基、置換アルキニル基を表し、
同じでも異なっていても良い。 アルキル基としては炭
素原子数が1から20までの直鎖状、分岐状、および環
状のアルキル基をあげることができ、その具体例として
は、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペン
チル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル
基、デシル基、ウンデシル基、ドデシル基、トリデシル
基、ヘキサデシル基、オクタデシル基、エイコシル基、
イソプロピル基、イソブチル基、s−ブチル基、t−ブ
チル基、イソペンチル基、ネオペンチル基、1−メチル
ブチル基、イソヘキシル基、2−エチルヘキシル基、2
−メチルヘキシル基、シクロヘキシル基、シクロペンチ
ル基、2−ノルボニル基をあげることができる。これら
の中では、炭素原子数1から12までの直鎖状、炭素原
子数3から12までの分岐状、ならびに炭素原子数5か
ら10までの環状のアルキル基がより好ましい。
Next, the sensitizing dye represented by formula (II) will be described. In the formula (II), R 7 and R 8 are a hydrogen atom,
Alkyl group, substituted alkyl group, alkenyl group, substituted alkenyl group, alkoxycarbonyl group, aryl group, substituted aryl group, alkynyl group, represents a substituted alkynyl group,
They may be the same or different. Examples of the alkyl group include linear, branched, and cyclic alkyl groups having 1 to 20 carbon atoms, and specific examples thereof include a methyl group, an ethyl group, a propyl group, a butyl group, and a pentyl group. Group, hexyl group, heptyl group, octyl group, nonyl group, decyl group, undecyl group, dodecyl group, tridecyl group, hexadecyl group, octadecyl group, eicosyl group,
Isopropyl, isobutyl, s-butyl, t-butyl, isopentyl, neopentyl, 1-methylbutyl, isohexyl, 2-ethylhexyl, 2
-Methylhexyl, cyclohexyl, cyclopentyl, and 2-norbornyl groups. Among them, linear alkyl groups having 1 to 12 carbon atoms, branched alkyl groups having 3 to 12 carbon atoms, and cyclic alkyl groups having 5 to 10 carbon atoms are more preferable.

【0073】置換アルキル基の置換基としては、水素を
除く一価の非金属原子団が用いられ、好ましい例として
は、ハロゲン原子(−F、−Br、−Cl、−I)、ヒ
ドロキシル基、アルコキシ基、アリーロキシ基、メルカ
プト基、アルキルチオ基、アリルーチオ基、アルキルジ
チオ基、アリールジチオ基、アミノ基、N−アルキルア
ミノ基、N,N−ジアルキルアミノ基、N−アリールア
ミノ基、N,N−ジアリールアミノ基、N−アルキル−
N−アリールアミノ基、アシルオキシ基、カルバモイル
オキシ基、N−アルキルカルバモイルオキシ基、N−ア
リールカルバモイルオキシ基、N,N−ジアルキルカル
バモイルオキシ基、N,N−ジアリールカルバモイルオ
キシ基、N−アルキル−N−アリールカルバモイルオキ
シ基、アルキルスルホキシ基、アリールスルホキシ基、
アシルチオ基、アシルアミノ基、N−アルキルアシルア
ミノ基、N−アリールアシルアミノ基、ウレイド基、
N′−アルキルウレイド基、N′,N′−ジアルキルウ
レイド基、N′−アリールウレイド基、N′,N′−ジ
アリールウレイド基、N′−アルキル−N′−アリール
ウレイド基、
As the substituent for the substituted alkyl group, a monovalent nonmetallic atomic group other than hydrogen is used. Preferred examples thereof include a halogen atom (—F, —Br, —Cl, —I), a hydroxyl group, Alkoxy, aryloxy, mercapto, alkylthio, allyl-thio, alkyldithio, aryldithio, amino, N-alkylamino, N, N-dialkylamino, N-arylamino, N, N- Diarylamino group, N-alkyl-
N-arylamino group, acyloxy group, carbamoyloxy group, N-alkylcarbamoyloxy group, N-arylcarbamoyloxy group, N, N-dialkylcarbamoyloxy group, N, N-diarylcarbamoyloxy group, N-alkyl-N An arylcarbamoyloxy group, an alkylsulfoxy group, an arylsulfoxy group,
Acylthio group, acylamino group, N-alkylacylamino group, N-arylacylamino group, ureido group,
N'-alkylureido groups, N ', N'-dialkylureido groups, N'-arylureido groups, N', N'-diarylureido groups, N'-alkyl-N'-arylureido groups,

【0074】N−アルキルウレイド基、N−アリールウ
レイド基、N′−アルキル−N−アルキルウレイド基、
N′−アルキル−N−アルキルウレイド基、N′,N′
−ジアルキル−N−アルキルウレイド基、N′,N′−
ジアルキル−N−アリールウレイド基、N′−アリール
−N−アルキルウレイド基、N′−アリール−N−アリ
ールウレイド基、N′,N′−ジアリール−N−アルキ
ルウレイド基、N′,N′−ジアリール−N−アリール
ウレイド基、N′−アルキル−N′−アリール−N−ア
ルキルウレイド基、N′−アルキル−N′−アリール−
N−アリールウレイド基、アルコキシカルボニルアミノ
基、アリーロキシカルボニルアミノ基、N−アルキル−
N−アルコキシカルボニルアミノ基、N−アルキル−N
−アリーロキシカルボニルアミノ基、N−アリール−N
−アルコキシカルボニルアミノ基、N−アリール−N−
アリロキシカルボニルアミノ基、ホルミル基、アシル
基、カルボキシル基、アルコキシカルボニル基、アリー
ロキシカルボニル基、カルバモイル基、N−アルキルカ
ルバモイル基、N,N−ジアルキルカルバモイル基、N
−アリールカルバモイル基、N,N−ジアリールカルバ
モイル基、N−アルキル−N−アリールカルバモイル
基、アルキルスルフィニル基、アリールスルフィニル
基、アルキルスルフィニル基、アリールスルフィニル
基、スルフォ基(-SO3H)及びその共役塩基基(以下、
スルホナト基と称す)、アルコキシスルホニル基、アリ
ーロキシスルホニル基、スルフィナモイル基、N−アル
キルスルフィナモイル基、N,N−ジアルキルスルフィ
ナモイル基、N−アリールスルフィナモイル基、N,N
−ジアリールスルフィナモイル基、N−アルキル−N−
アリールスルフィナモイル基、
N-alkylureido, N-arylureido, N'-alkyl-N-alkylureido,
N'-alkyl-N-alkylureido groups, N ', N'
-Dialkyl-N-alkylureido group, N ', N'-
Dialkyl-N-arylureido, N'-aryl-N-alkylureido, N'-aryl-N-arylureido, N ', N'-diaryl-N-alkylureido, N', N'- Diaryl-N-arylureido group, N'-alkyl-N'-aryl-N-alkylureido group, N'-alkyl-N'-aryl-
N-arylureido group, alkoxycarbonylamino group, aryloxycarbonylamino group, N-alkyl-
N-alkoxycarbonylamino group, N-alkyl-N
-Aryloxycarbonylamino group, N-aryl-N
-Alkoxycarbonylamino group, N-aryl-N-
Aryloxycarbonylamino group, formyl group, acyl group, carboxyl group, alkoxycarbonyl group, aryloxycarbonyl group, carbamoyl group, N-alkylcarbamoyl group, N, N-dialkylcarbamoyl group, N
- arylcarbamoyl group, N, N- di arylcarbamoyl group, N- alkyl -N- arylcarbamoyl group, an alkylsulfinyl group, an arylsulfinyl group, an alkylsulfinyl group, an arylsulfinyl group, a sulfo group (-SO 3 H) and its conjugate Base group (hereinafter,
Sulfonato group), alkoxysulfonyl group, aryloxysulfonyl group, sulfinamoyl group, N-alkylsulfinamoyl group, N, N-dialkylsulfinamoyl group, N-arylsulfinamoyl group, N, N
-Diarylsulfinamoyl group, N-alkyl-N-
Arylsulfinamoyl group,

【0075】スルファモイル基、N−アルキルスルファ
モイル基、N,N−ジアルキルスルファモイル基、N−
アリールスルファモイル基、N,N−ジアリールスルフ
ァモイル基、N−アルキル−N−アリールスルファモイ
ル基、ホスフォノ基(−PO3H2)及びその共役塩基基
(以下、ホスフォナト基と称す)、ジアルキルホスフォ
ノ基(-PO3(アルキル)2)、ジアリールホスフォノ基
(-PO3(アリール)2)、アルキルアリールホスフォノ基
(-PO3(アルキル)(アリール))、モノアルキルホス
フォノ基(-PO3H(アルキル))及びその共役塩基基
(以後、アルキルホスフォナト基と称す)、モノアリー
ルホスフォノ基(-PO3H(アリール))及びその共役塩
基基(以後、アリールホスフォナト基と称す)、ホスフ
ォノオキシ基(-OPO3H2)及びその共役塩基基(以後、
ホスフォナトオキシ基と称す)、ジアルキルホスフォノ
オキシ基(-OPO3(アルキル)2)、ジアリールホスフォ
ノオキシ基(-OPO3(アリール)2)、アルキルアリール
ホスフォノオキシ基(-OPO3(アルキル)(アリー
ル))、モノアルキルホスフォノオキシ基(−OPO3H
(アルキル))及びその共役塩基基(以後、アルキルホ
スフォナトオキシ基と称す)、モノアリールホスフォノ
オキシ基(-OPO3H(アリール))及びその共役塩基基
(以後、アリールフォスホナトオキシ基と称す)、シア
ノ基、ニトロ基、アリール基、アルケニル基、アルキニ
ル基等が挙げられる。
Sulfamoyl, N-alkylsulfamoyl, N, N-dialkylsulfamoyl, N-
Arylsulfamoyl group, N, N-diarylsulfamoyl group, N-alkyl-N-arylsulfamoyl group, phosphono group (—PO 3 H 2 ) and its conjugate base group (hereinafter, referred to as phosphonate group) , dialkyl phosphono group (2 -PO 3 (alkyl)), diaryl phosphono group (-PO 3 (aryl) 2), alkyl aryl phosphono group (-PO 3 (alkyl) (aryl)), monoalkyl phosphono Group (—PO 3 H (alkyl)) and its conjugate base group (hereinafter referred to as alkylphosphonate group), monoarylphosphono group (—PO 3 H (aryl)) and its conjugate base group (hereinafter, arylphosphonate) Phonooxy group (-OPO 3 H 2 ) and its conjugated base group (hereinafter, referred to as “onato group”).
Phosphodiesterase referred to isocyanatomethyl group), dialkyl phosphonooxy group (-OPO 3 (alkyl) 2), diaryl phosphonooxy group (-OPO 3 (aryl) 2), alkylaryl phosphonooxy group (-OPO 3 (alkyl ) (Aryl)), monoalkylphosphonooxy group (—OPO 3 H
(Alkyl)) and its conjugate base group (hereinafter, referred to as alkylphosphonatooxy group), monoarylphosphonooxy group (—OPO 3 H (aryl)) and its conjugate base group (hereinafter, arylphosphonatooxy group) ), A cyano group, a nitro group, an aryl group, an alkenyl group, an alkynyl group and the like.

【0076】これらの置換基におけるアルキル基の具体
例としては、前述のアルキル基があげられ、アリール基
の具体例としては、フェニル基、ビフェニル基、ナフチ
ル基、トリル基、キシリル基、メシチル基、クメニル
基、クロロフェニル基、ブロモフェニル基、クロロメチ
ルフェニル基、ヒドロキシフェニル基、メトキシフェニ
ル基、エトキシフェニル基、フェノキシフェニル基、ア
セトキシフェニル基、ベンゾイロキシフェニル基、メチ
ルチオフェニル基、フェニルチオフェニル基、メチルア
ミノフェニル基、ジメチルアミノフェニル基、アセチル
アミノフェニル基、カルボキシフェニル基、メトキシカ
ルボニルフェニル基、エトキシフェニルカルボニル基、
フェノキシカルボニルフェニル基、N−フェニルカルバ
モイルフェニル基、フェニル基、シアノフェニル基、ス
ルホフェニル基、スルホナトフェニル基、ホスホノフェ
ニル基、ホスホナトフェニル基等が挙げることができ
る。
Specific examples of the alkyl group in these substituents include the aforementioned alkyl groups, and specific examples of the aryl group include phenyl, biphenyl, naphthyl, tolyl, xylyl, mesityl, Cumenyl group, chlorophenyl group, bromophenyl group, chloromethylphenyl group, hydroxyphenyl group, methoxyphenyl group, ethoxyphenyl group, phenoxyphenyl group, acetoxyphenyl group, benzoyloxyphenyl group, methylthiophenyl group, phenylthiophenyl group, Methylaminophenyl group, dimethylaminophenyl group, acetylaminophenyl group, carboxyphenyl group, methoxycarbonylphenyl group, ethoxyphenylcarbonyl group,
Examples include a phenoxycarbonylphenyl group, an N-phenylcarbamoylphenyl group, a phenyl group, a cyanophenyl group, a sulfophenyl group, a sulfonatophenyl group, a phosphonophenyl group, and a phosphonatophenyl group.

【0077】また、アルケニル基の例としては、ビニル
基、1−プロペニル基、1−ブチニル基、シンナミル
基、2−クロロ−1−エテニル基、等があげられ、アル
キニル基の例としては、エチニル基、1−プロピニル
基、1−ブチニル基、トリメチルシリルエチニル基等が
あげられる。アシル基(RCO−)におけるRとしては、
水素、ならびに上記のアルキル基、アリール基を挙げる
ことができる。これら置換基の内、更により好ましいも
のとしてはハロゲン原子(−F、−Br、−Cl、−
I)、アルコキシ基、アリーロキシ基、アルキルチオ
基、アリールチオ基、N−アルキルアミノ基、N,N−
ジアルキルアミノ基、アシルオキシ基、N−アルキルカ
ルバモイルオキシ基、N−アリールカルバモイルオキシ
基、アシルアミノ基、ホルミル基、アシル基、カルボキ
シル基、アルコキシカルボニル基、アリーロキシカルボ
ニル基、カルバモイル基、N−アルキルカルバモイル
基、N,N−ジアルキルカルバモイル基、N−アリール
カルバモイル基、N−アルキル−N−アリールカルバモ
イル基、スルフォ基、スルホナト基、スルファモイル
基、N−アルキルスルファモイル基、N,N−ジアルキ
ルスルファモイル基、N−アリールスルファモイル基、
N−アルキル−N−アリールスルファモイル基、ホスフ
ォノ基、ホスフォナト基、ジアルキルホスフォノ基、ジ
アリールホスフォノ基、モノアルキルホスフォノ基、ア
ルキルホスフォナト基、モノアリールホスフォノ基、ア
リールホスフォナト基、ホスフォノオキシ基、ホスフォ
ナトオキシ基、アリール基、アルケニル基があげられ
る。
Examples of the alkenyl group include a vinyl group, a 1-propenyl group, a 1-butynyl group, a cinnamyl group and a 2-chloro-1-ethenyl group. Examples of the alkynyl group include an ethynyl group. Group, 1-propynyl group, 1-butynyl group, trimethylsilylethynyl group and the like. As R in the acyl group (RCO-),
Examples include hydrogen, and the above-described alkyl and aryl groups. Of these substituents, an even more preferred one is a halogen atom (-F, -Br, -Cl,-
I), an alkoxy group, an aryloxy group, an alkylthio group, an arylthio group, an N-alkylamino group, N, N-
Dialkylamino group, acyloxy group, N-alkylcarbamoyloxy group, N-arylcarbamoyloxy group, acylamino group, formyl group, acyl group, carboxyl group, alkoxycarbonyl group, aryloxycarbonyl group, carbamoyl group, N-alkylcarbamoyl group , N, N-dialkylcarbamoyl, N-arylcarbamoyl, N-alkyl-N-arylcarbamoyl, sulfo, sulfonato, sulfamoyl, N-alkylsulfamoyl, N, N-dialkylsulfamoyl A group, an N-arylsulfamoyl group,
An N-alkyl-N-arylsulfamoyl group, a phosphono group, a phosphonate group, a dialkylphosphono group, a diarylphosphono group, a monoalkylphosphono group, an alkylphosphonato group, a monoarylphosphono group, an arylphosphonate group, Examples include a phosphonooxy group, a phosphonatoxy group, an aryl group, and an alkenyl group.

【0078】具体例としては、クロロメチル基、ブロモ
メチル基、2−クロロエチル基、トリフルオロメチル
基、メトキシメチル基、メトキシエトキシエチル基、ア
リルオキシメチル基、フェノキシメチル基、メチルチオ
メチル基、トリルチオメチル基、エチルアミノエチル
基、ジエチルアミノプロピル基、モルフォリノプロピル
基、アセチルオキシメチル基、ベンゾイルオキシメチル
基、N−シクロヘキシルカルバモイルオキシエチル基、
N−フェニルカルバモイルオキシエチル基、アセチルア
ミノエチル基、N−メチルベンゾイルアミノプロピル
基、2−オキソエチル基、2−オキソプロピル基、カル
ボキシプロピル基、メトキシカルボニルエチル基、アリ
ルオキシカルボニルブチル基、クロロフェノキシカルボ
ニルメチル基、カルバモイルメチル基、N−メチルカル
バモイルエチル基、N,N−ジプロピルカルバモイルメ
チル基、N−(メトキシフェニル)カルバモイルエチル
基、N−メチル−N−(スルフォフェニル)カルバモイ
ルメチル基、スルフォブチル基、スルフォナトブチル
基、スルファモイルブチル基、N−エチルスルファモイ
ルメチル基、N,N−ジプロピルスルファモイルプロピ
ル基、N−トリルスルファモイルプロピル基、N−メチ
ル−N−(ホスフォノフェニル)スルファモイル基、オ
クチル基、ホスフォノブチル基、ホスフォナトヘキシル
基、ジエチルホスフォノブチル基、ジフェニルホスフォ
ノプロピル基、メチルホスフォノブチル基、メチルホス
フォナトブチル基、トリルホスフォノヘキシル基、トリ
ルホスフォナトヘキシル基、ホスフォノオキシプロピル
基、ホスフォナトオキシブチル基、ベンジル基、フェネ
チル基、α−メチルベンジル基、1−メチル−1−フェ
ニルエチル基、p−メチルベンジル基、シンナミル基、
アリル基、1−プロペニルメチル基、2−ブテニル基、
2−メチルアリル基、2−メチルプロペニルメチル基、
2−プロピニル基、2−ブチニル基、3−ブチニル基等
を挙げることができる。
Specific examples include chloromethyl, bromomethyl, 2-chloroethyl, trifluoromethyl, methoxymethyl, methoxyethoxyethyl, allyloxymethyl, phenoxymethyl, methylthiomethyl, and tolylthiomethyl. Group, ethylaminoethyl group, diethylaminopropyl group, morpholinopropyl group, acetyloxymethyl group, benzoyloxymethyl group, N-cyclohexylcarbamoyloxyethyl group,
N-phenylcarbamoyloxyethyl group, acetylaminoethyl group, N-methylbenzoylaminopropyl group, 2-oxoethyl group, 2-oxopropyl group, carboxypropyl group, methoxycarbonylethyl group, allyloxycarbonylbutyl group, chlorophenoxycarbonyl Methyl group, carbamoylmethyl group, N-methylcarbamoylethyl group, N, N-dipropylcarbamoylmethyl group, N- (methoxyphenyl) carbamoylethyl group, N-methyl-N- (sulfophenyl) carbamoylmethyl group, sulfobutyl Group, sulfonatobutyl group, sulfamoylbutyl group, N-ethylsulfamoylmethyl group, N, N-dipropylsulfamoylpropyl group, N-tolylsulfamoylpropyl group, N-methyl-N- ( Phosphono Enyl) sulfamoyl, octyl, phosphonobutyl, phosphonatohexyl, diethylphosphonobutyl, diphenylphosphonopropyl, methylphosphonobutyl, methylphosphonatobutyl, tolylphosphonohexyl, tolylphospho Onatohexyl group, phosphonooxypropyl group, phosphonateoxybutyl group, benzyl group, phenethyl group, α-methylbenzyl group, 1-methyl-1-phenylethyl group, p-methylbenzyl group, cinnamyl group,
Allyl group, 1-propenylmethyl group, 2-butenyl group,
2-methylallyl group, 2-methylpropenylmethyl group,
Examples thereof include a 2-propynyl group, a 2-butynyl group, and a 3-butynyl group.

【0079】アリール基としては1個から3個のベンゼ
ン環が縮合環を形成したもの、ベンゼン環と5員不飽和
環が縮合環を形成したものを挙げることができる。また
置換アリール基の置換基としては、前述の置換アルキル
基の置換基を挙げることができる。これらの具体例とし
ては、フェニル基、ナフチル基、アントリル基、フェナ
ントリル基、インデニル基、アセトナフテニル基、フル
オレニル基を挙げることがでぎる。
Examples of the aryl group include those in which one to three benzene rings form a condensed ring and those in which a benzene ring and a 5-membered unsaturated ring form a condensed ring. Examples of the substituent of the substituted aryl group include the substituents of the above-mentioned substituted alkyl group. Specific examples thereof include a phenyl group, a naphthyl group, an anthryl group, a phenanthryl group, an indenyl group, an acetonaphthenyl group, and a fluorenyl group.

【0080】アルケニル基としては、炭素原子数1〜2
0までの直鎖状、分岐状および環状のアルケニル基を挙
げることができる。また置換アルケニル基の置換基とし
ては、置換アルキル基で述ベた置換基を挙げることがで
き、これらの具体例としては、ビニル基、1−プロペニ
ル基、1−ブテニル基、1−メチル−1−プロペニル
基、スチリル基、2−ペンテニル基、2−シクロヘキシ
ニル基などを挙げることができる。
The alkenyl group may have 1 to 2 carbon atoms.
Up to 0 straight, branched and cyclic alkenyl groups can be mentioned. Examples of the substituent of the substituted alkenyl group include the substituents described for the substituted alkyl group. Specific examples thereof include a vinyl group, a 1-propenyl group, a 1-butenyl group, and a 1-methyl-1 group. -Propenyl, styryl, 2-pentenyl, 2-cyclohexynyl and the like.

【0081】アルキニル基としては、炭素数1〜20ま
での直鎖状、分岐状のアルキニル基を挙げることができ
る。
Examples of the alkynyl group include linear and branched alkynyl groups having 1 to 20 carbon atoms.

【0082】また置換アルキニル基の置換基としては、
置換アルキル基で述べた置換基を挙げることができ、こ
れらの具体例としては、エチニル、2−フェニルエチニ
ル、1−ブチニル基等を挙げることができる。アルコキ
シカルボニル基としては、炭素原子数1から10までの
直鎖状、分岐状および環状のアルキル基がオキシカルボ
ニル基に結合した残基を挙げることができ、その具体例
としては、メトキシカルボニル基、エトキシカルボニル
基、プロポキシカルボニル基、ブトキシカルボニル基、
sec−ブトキシカルボニル基、tert−ブトキシカ
ルボニル基を挙げることができる。
The substituent of the substituted alkynyl group includes
The substituents described for the substituted alkyl group can be mentioned, and specific examples thereof include ethynyl, 2-phenylethynyl, 1-butynyl group and the like. Examples of the alkoxycarbonyl group include a residue in which a linear, branched, or cyclic alkyl group having 1 to 10 carbon atoms is bonded to an oxycarbonyl group. Specific examples thereof include a methoxycarbonyl group, Ethoxycarbonyl group, propoxycarbonyl group, butoxycarbonyl group,
Examples thereof include a sec-butoxycarbonyl group and a tert-butoxycarbonyl group.

【0083】以上、R7 ,R8 について述べたが、本発
明においてはアルキル基、置換アルキル基、アルケニル
基、置換アルケニル基、アルキニル基、置換アルキニル
基が好適である。
Although R 7 and R 8 have been described above, in the present invention, an alkyl group, a substituted alkyl group, an alkenyl group, a substituted alkenyl group, an alkynyl group, and a substituted alkynyl group are preferred.

【0084】一般式(II)のAは酸素原子、硫黄原子、
アルキル基又はアリール基により置換された炭素原子、
またはアルキル基2個に置換された炭素原子を表す。A
中のアリール基、アルキル基としては、R7 ,R8 にお
いて述べたものを挙げることができる。一般式(II)に
おいてJがA、CおよびNと協働して完成する含窒素五
員環の例としては、以下のものが挙げられる。
A in the general formula (II) represents an oxygen atom, a sulfur atom,
A carbon atom substituted by an alkyl or aryl group,
Or a carbon atom substituted by two alkyl groups. A
Examples of the aryl group and the alkyl group therein include those described for R 7 and R 8 . Examples of the nitrogen-containing five-membered ring completed by J in cooperation with A, C and N in the general formula (II) include the following.

【0085】[0085]

【化23】 Embedded image

【0086】(a−1)〜(a−4)の式中の置換基E
はハメットのρ値が−0.9から+0.5までの範囲に
あるものである。その例としては、水素原子、メチル
基、イソプロピル基、tert−ブチル基、フェニル
基、トリフルオロメチル基、アセチル基、エトキシカル
ボニル基、カルボキシル基、カルボキシラト基(−CO
- )、アミノ基、メチルアミノ基、ジメチルアミノ
基、エチルアミノ基、ジエチルアミノ基、アセチルアミ
ノ基、−PO3H基、メトキシ基、エトキシ基、プロポ
キシ基、イソプロポキシ基、ブトキシ基、ベンジルオキ
シ基、フェノキシ基、ヒドロキシ基、アセトキシ基、メ
チルチオ基、エチルチオ基、イソプロピルチオ基、メル
カプト基、アセチルチオ基、チオシアノ基(−SC
N)、メチルスルフィニル基、エチルスルフィニル基、
メチルスルホニル基、エチルスルホニル基、アミノスル
ホニル基、ジメチルスルホニル基、(−S+ (C
3)2 )、スルホナト基、(−SO2 - )、弗素原子、
塩素原子、臭素原子、沃素原子、ヨージル基、トリメチ
ルシリル基(−Si(CH3)3 )、トリエチルシリル
基、トリメチルスタニル基(−Sn(CH3)3 )を挙げる
ことができる。これらの置換基のうちで好ましいもの
は、水素原子、メチル基、エチル基、メトキシ基、エト
キシ基、ジメチルアミノ基、ジエチルアミノ基、塩素原
子、臭素原子である。
The substituent E in the formulas (a-1) to (a-4)
Means that the Hammett ρ value is in the range of -0.9 to +0.5
There is something. Examples include hydrogen, methyl
Group, isopropyl group, tert-butyl group, phenyl
Group, trifluoromethyl group, acetyl group, ethoxycal
Bonyl group, carboxyl group, carboxylate group (-CO
O -), Amino group, methylamino group, dimethylamino
Group, ethylamino group, diethylamino group, acetylamino
No group, -POThreeH group, methoxy group, ethoxy group, propo
Xy, isopropoxy, butoxy, benzyloxy
Groups, phenoxy groups, hydroxy groups, acetoxy groups,
Tylthio, ethylthio, isopropylthio, mel
Capto group, acetylthio group, thiocyano group (-SC
N), a methylsulfinyl group, an ethylsulfinyl group,
Methylsulfonyl group, ethylsulfonyl group, aminosulfon
Honyl group, dimethylsulfonyl group, (-S+(C
HThree)Two), A sulfonato group, (—SOTwo -), A fluorine atom,
Chlorine, bromine, iodine, iodyl, trimethyl
Lucyl group (-Si (CHThree)Three), Triethylsilyl
Group, trimethylstannyl group (-Sn (CHThree)Three)
be able to. Preferred among these substituents
Represents a hydrogen atom, a methyl group, an ethyl group, a methoxy group,
Xyl group, dimethylamino group, diethylamino group, chlorine atom
Child, bromine atom.

【0087】一般式(II)におけるYの例を以下に示
す。置換フェニル基の置換基としては上述のEと同じも
のが挙げられる。多核芳香環としては、ナフチル基、ア
ンスリル基、フェナンスリル基が挙げられ、これらは上
述の置換基Eにより置換されていても良い。ヘテロ芳香
環の例としては2−フリル基、3−フリル基、2−チエ
ニル基、3−チエニル基、2−ピロリル基、3−ピロリ
ル基が挙げられ、これらは上述の置換基Eによって置換
されていても良い。
Examples of Y in the general formula (II) are shown below. Examples of the substituent of the substituted phenyl group include the same as those described above for E. Examples of the polynuclear aromatic ring include a naphthyl group, an anthryl group, and a phenanthryl group, and these may be substituted with the substituent E described above. Examples of the heteroaromatic ring include a 2-furyl group, a 3-furyl group, a 2-thienyl group, a 3-thienyl group, a 2-pyrrolyl group, and a 3-pyrrolyl group, which are substituted by the substituent E described above. May be.

【0088】また、一般式(II)におけるZ1 の例を以
下に述べる。アルキル基、置換アルキル基、アリール
基、置換アリール基としては、一般式(II)のR7 とR
8 の例として述べたものと同じものを挙げることができ
る。アルキルチオ基、アリールチオ基としては炭素原子
数1〜10までの直鎖状、分岐状、および環状のアルキ
ル基、炭素原子数1〜20までのアリール基がチオ基
(イオウ原子)に結合した残基を挙げることができ、そ
の具体例としてはメチルチオ基、エチルチオ基、プロピ
ルチオ基、ブチルチオ基、sec−ブチルチオ基、te
rt−ブチルチオ基、フェニルチオ基、ナフチルチオ基
などを挙げることができる。
An example of Z 1 in the general formula (II) will be described below. Examples of the alkyl group, substituted alkyl group, aryl group and substituted aryl group include R 7 and R
The same ones as mentioned in the example 8 can be mentioned. Examples of the alkylthio group and the arylthio group include a linear, branched, and cyclic alkyl group having 1 to 10 carbon atoms and a residue in which an aryl group having 1 to 20 carbon atoms is bonded to a thio group (sulfur atom). Specific examples thereof include methylthio, ethylthio, propylthio, butylthio, sec-butylthio, and te.
Examples thereof include an rt-butylthio group, a phenylthio group, and a naphthylthio group.

【0089】アルコキシル基としては炭素原子数が1か
ら10までの直線状、分岐状および環状のアルキル基が
オキシ基(酸素原子)に結合した残基を挙げることがで
き、その具体例としてはメトキシル基、エトキシル基、
プロポキシル基、ブトキシル基、sec−ブトキシル
基、tert−ブトキシル基を挙げることができる。置
換アミノ基としては炭素数が1から10までの直線状、
分岐状および環状のアルキル基により置換されたアミノ
基を挙げることができ、その具体例としてはジメチルア
ミノ基、ジエチルアミノ基、ジプロピルアミノ基を挙げ
ることができる。
Examples of the alkoxyl group include a residue in which a linear, branched or cyclic alkyl group having 1 to 10 carbon atoms is bonded to an oxy group (oxygen atom). Group, ethoxyl group,
Examples include a propoxyl group, a butoxyl group, a sec-butoxyl group, and a tert-butoxyl group. As the substituted amino group, a linear group having 1 to 10 carbon atoms,
An amino group substituted by a branched or cyclic alkyl group can be mentioned, and specific examples thereof include a dimethylamino group, a diethylamino group, and a dipropylamino group.

【0090】アシル基としては水素原子、炭素原子数1
から10まで、好ましくは同じく1から6までの直線
状、分岐状または環状のアルキル基、フェニル基または
ナフチル基がカルボニルに結合した残基を挙げることが
でき、その具体例としては、ホルミル基、アセチル基、
プロピオニル基、ブチリル基、バレリル基、ベンゾイル
基、ナフトイル基を挙げることができる。
The acyl group includes a hydrogen atom and a carbon atom of 1
To 10, preferably 1 to 6 also include a residue in which a linear, branched or cyclic alkyl group, phenyl group or naphthyl group is bonded to carbonyl, and specific examples thereof include a formyl group, Acetyl group,
Examples include a propionyl group, a butyryl group, a valeryl group, a benzoyl group, and a naphthoyl group.

【0091】アルコキシカルボニル基としては、炭素原
子数1から10までの直線状、分岐状または環状のアル
キル基がオキシカルボニル基に結合した残基を挙げるこ
とができ、その具体例としては、メトキシカルボニル
基、エトキシカルボニル基、プロポキシカルボニル基、
ブトキシカルボニル基、sec−ブトキシカルボニル
基、tert−ブトキシカルボニル基を挙げることがで
ぎる。
Examples of the alkoxycarbonyl group include a residue in which a linear, branched or cyclic alkyl group having 1 to 10 carbon atoms is bonded to an oxycarbonyl group. Group, ethoxycarbonyl group, propoxycarbonyl group,
Butoxycarbonyl group, sec-butoxycarbonyl group, tert-butoxycarbonyl group.

【0092】また、YとZ1 とが互いに結合して形成す
る環の例を以下に示す。
Examples of the ring formed by combining Y and Z 1 with each other are shown below.

【0093】[0093]

【化24】 Embedded image

【0094】[0094]

【化25】 Embedded image

【0095】一般式(II)で表される化合物群は、「Ru
ll. Soc. Chimie Belges」誌第57巻第364〜372
頁(1948年)抄録:「Chemical Abstracts」誌第4
4巻第60e〜61d欄(1950年))に記載の方法
に従って合成することができる。以下に一般式(II)で
表される化合物の具体例を示す。
The group of compounds represented by the general formula (II) is “Ru
ll. Soc. Chimie Belges, Vol. 57, 364-372
Page (1948) Abstract: Chemical Abstracts, No. 4
The compound can be synthesized according to the method described in Vol. 4, columns 60e to 61d (1950). Specific examples of the compound represented by the general formula (II) are shown below.

【0096】[0096]

【化26】 Embedded image

【0097】[0097]

【化27】 Embedded image

【0098】[0098]

【化28】 Embedded image

【0099】[0099]

【化29】 Embedded image

【0100】[0100]

【化30】 Embedded image

【0101】[0101]

【化31】 Embedded image

【0102】[0102]

【表1】 [Table 1]

【0103】[0103]

【表2】 [Table 2]

【0104】次に、本発明に使用される一般式(III)で
表される増感色素について述べる。式中R10〜R13は互
いに独立して水素原子、炭素数1〜6の非置換または置
換アルコキシ基、炭素数1〜6の非置換または置換アル
ケニルオキシ基、炭素数1〜6の非置換または置換アル
キルチオ基、各アルキル基の炭素数が1〜4であるジア
ルキルアミノ基、水酸基、アシルオキシ基、ハロゲン原
子、ニトロ基、または複数環基を表す。R10〜R13の2
個または3個と前記R10〜R13の置換基が結合されてい
る環構成炭素原子とが一緒になり各縮合環が5または6
員環である縮合環または縮合環系を形成してもよい。
Next, the sensitizing dye represented by formula (III) used in the present invention will be described. In the formula, R 10 to R 13 independently represent a hydrogen atom, an unsubstituted or substituted alkoxy group having 1 to 6 carbon atoms, an unsubstituted or substituted alkenyloxy group having 1 to 6 carbon atoms, an unsubstituted having 1 to 6 carbon atoms. Or a substituted alkylthio group, a dialkylamino group having 1 to 4 carbon atoms in each alkyl group, a hydroxyl group, an acyloxy group, a halogen atom, a nitro group, or a multiple ring group. 2 of R 10 to R 13
Or three and the ring-constituting carbon atoms to which the substituents of R 10 to R 13 are bonded to form a condensed ring of 5 or 6
A fused ring or fused ring system that is a membered ring may be formed.

【0105】R9 は水素原子、炭素数1〜4の非置換ま
たは置換アルキル基または炭素数6〜12の非置換また
は置換アリール基、またはR14−CO−を表す。ここ
で、R 14はアルコキシ基、シクロアルコキシ基、水酸
基、アリールオキシ基、アルケニルオキシ基、アラルキ
ルオキシ基、アルコキシカルボニルアルコキシ基、アル
キルカルボニルアルコキシ基、あるいは(III-a)〜(II
I-c)で表される置換基(R 15〜R18は水素原子、アルキ
ル基、ヒドロキシアルキル基、ヒドロキシアルコキシア
ルキル基、アルコキシアルキル基、シクロアルキル基を
表す。)を表す。
R9Represents a hydrogen atom or a C 1-4 unsubstituted
Or an unsubstituted or substituted alkyl group having 6 to 12 carbon atoms
Is a substituted aryl group, or R14Represents -CO-. here
And R 14Is an alkoxy group, cycloalkoxy group, hydroxyl
Group, aryloxy group, alkenyloxy group, aralkyl
Ruoxy group, alkoxycarbonylalkoxy group, al
A killed carbonyl alkoxy group, or (III-a) to (II
The substituent represented by I-c) (R Fifteen~ R18Is a hydrogen atom,
Group, hydroxyalkyl group, hydroxyalkoxyl
Alkyl, alkoxyalkyl and cycloalkyl groups
Represent. ).

【0106】Q1 は−CN、複素環、−Z2 −R19を示
し、R19はメチル、エチル、プロピル、イソプロピル、
t−ブチル、イソブチル、ブチル、アミル、ヘキシル、
ヘプチル、オクチル、ノニル、デシルおよびシクロペン
チル、シクロヘキシル等のようなシクロアルキルを含む
炭素数1〜10のアルキル;置換アルキル;フェニルの
ようなアリール;ニトロ、アルコキシ、ハロゲン、カル
ボアルコキシ、アルキル、アリール、カルボキシ、ヒド
ロキシ、アミノ、ジアルキルアミノまたはトリアルキル
アンモニウム等の置換アミノ等で置換された置換アリー
ル;メトキシ、エトキシ、ブトキシ等のアルコキシ;フ
ェノキシ等のアリールオキシ;環構成炭素および異原子
の数が約5〜15の複素環基、例えば式
Q 1 represents -CN, a heterocyclic ring, -Z 2 -R 19 , wherein R 19 is methyl, ethyl, propyl, isopropyl,
t-butyl, isobutyl, butyl, amyl, hexyl,
C1-C10 alkyl, including heptyl, octyl, nonyl, decyl and cycloalkyl such as cyclopentyl, cyclohexyl, etc .; substituted alkyl; aryl such as phenyl; nitro, alkoxy, halogen, carboalkoxy, alkyl, aryl, carboxy A substituted aryl substituted with a substituted amino or the like such as hydroxy, amino, dialkylamino or trialkylammonium; an alkoxy such as methoxy, ethoxy, butoxy; an aryloxy such as phenoxy; 15 heterocyclic groups, for example of the formula

【0107】[0107]

【化32】 Embedded image

【0108】(式中、R41はメチル、エチル、プロピ
ル、イソプロピル、ブチル、n−ブチル、イソブチル、
s−ブチル等を含む炭素数1〜4のアルキルであり、X
-はFSO3 -、Br4 -、p−トルエンスルホネート、ハ
ロゲン(例えば、Cl、Br、I)等を含む陰イオンで
ある)のピリジニウム;ニコチニル;ニコチニウム;フ
リル;2−ベンゾフラニル;2−チアゾリル;2−チエ
ニル等;または式
(Wherein R 41 is methyl, ethyl, propyl, isopropyl, butyl, n-butyl, isobutyl,
alkyl having 1 to 4 carbon atoms including s-butyl and the like;
- the FSO 3 -, Br 4 -, p-toluenesulfonate, halogen (e.g., Cl, Br, I) is an anion, and the like) of pyridinium; nicotinyl; Nikochiniumu; furyl; 2- benzofuranyl; 2-thiazolyl; 2-thienyl or the like; or a formula

【0109】[0109]

【化33】 Embedded image

【0110】(式中R42〜R46は上記の置換基と同様な
基から選ばれる)で表わされる3−置換クマリニル、ア
セチルなどのアシル基であり、Z2 はカルボニル、スル
ホニル、スルフィニルまたはアリーレンジカルボニルか
ら選ばれる結合基である。R19のアリール基としては、
フェニル基、ナフチル基、インデニル基等が挙げられ
る。
(Wherein R 42 to R 46 are selected from the same groups as the above-mentioned substituents), and is an acyl group such as 3-substituted coumarinyl, acetyl, etc., and Z 2 is carbonyl, sulfonyl, sulfinyl or aryl. A bonding group selected from range carbonyl. As the aryl group for R 19 ,
Examples include a phenyl group, a naphthyl group and an indenyl group.

【0111】また、複素環としては下式のような構造を
有するものを挙げることができる。
Examples of the heterocyclic ring include those having the following structure.

【0112】[0112]

【化34】 Embedded image

【0113】ここで、Mは−CH又は窒素原子、Tは−
CH2−、NH、Sを表し、Wは、1核又は2核の縮合
多環芳香族炭化水素残基もしくは1核又は2核の芳香族
複素環基を表す。具体的には、
Here, M is -CH or a nitrogen atom, and T is-
CH 2 —, NH, and S are represented, and W represents a mononuclear or dinuclear fused polycyclic aromatic hydrocarbon residue or a mononuclear or dinuclear aromatic heterocyclic group. In particular,

【0114】[0114]

【化35】 Embedded image

【0115】等を挙げることができる。式(III)の増感
色素の例としては、以下のものを挙げることができる。 3−ベンゾイル−5,7−ジメトキシクマリン 3−ベンゾイル−7−メトキシクマリン 3−ベンゾイル−6−メトキシクマリン 3−ベンゾイル−8−エトキシクマリン 7−メトキシ−3−(p−ニトロベンゾイル)クマリン 3−ベンゾイルクマリン 3−(p−ニトロベンゾイル)クマリン 3−ベンゾイルベンゾ〔f〕クマリン 3,3′−カルボニルビス(7−メトキシクマリン) 3−アセチル−7−メトキシクマリン 3−ベンゾイル−6−ブロモクマリン 3,3′−カルボニルビスクマリン 3−ベンゾイル−7−ジメチルアミノクマリン 3,3′−カルボニルビス(7−ジエチルアミノクマリ
ン) 3−カルボキシクマリン 3−カルボキシ−7−メトキシクマリン 3−エトキシカルボニル−6−メトキシクマリン 3−エトキシカルボニル−7−メトキシクマリン 3−アセチルベンゾ〔f〕クマリン 3−アセチル−7−メトキシクマリン 3−(1−アダマントイル)−7−メトキシクマリン 3−ベンゾイル−7−ヒドロキシクマリン 3−ベンゾイル−6−ニトロクマリン 3−ベンゾイル−7−アセトクマリン 3−ベンゾイル−7−ジエチルアミノクマリン 7−ジメチルアミノ−3−(4−ヨードベンゾイル)ク
マリン 7−ジエチルアミノ−3−(4−ジエチルアミノベンゾ
イル)クマリン 7−メトキシ−3−(4−メトキシベンゾイル)クマリ
ン 3−(4−ニトロベンゾイル)ベンゾ〔f〕クマリン 3−(4−エトキシシンナモイル)−7−メトキシクマ
リン 3−(4−ジメチルアミノシンナモイル)クマリン 3−(4−ジフェニルアミノシンナモイル)クマリン 3−〔(3−メチルベンゾチアゾール−2−イリデン)
アセチル〕クマリン 3−〔(1−メチルナフト[1,2−d]チアゾール−
2−イリデン)アセチル〕クマリン 3,3′−カルボニルビス(6−メトキシクマリン) 3,3′−カルボニルビス(7−アセトキシクマリン) 3,3′−カルボニルビス(7−ジメチルアミノクマリ
ン) 3,3′−カルボニルビス−(5,7−ジイソプロポキ
シ)クマリン 3,3′−カルボニルビス−(5,7−ジ−n−プロポ
キシ)クマリン 3,3′−カルボニルビス−(5,7−ジ−n−ブトキ
シ)クマリン 3−シアノ−6−メトキシクマリン 3−シアノ−7−メトキシクマリン 7−メトキシ−3−フェニルスルホニルクマリン 7−メトキシ−3−フェニルスルフィニルクマリン 1,4−ビス(7−ジエチルアミノ−3−クマリルカル
ボニル)ベンゼン 7−ジエチルアミノ−5′,7′−ジメトキシ−3,
3′−カルボニルビスクマリン 7−ジメチルアミノ−3−テノイルクマリン 7−ジエチルアミノ−3−フロイルクマリン 7−ジエチルアミノ−3−テノイルクマリン 3−ベンゾイル−7−(1−ピロリジニル)クマリン 5,7,6′−トリメトキシ−3,3′−カルボニルビ
スクマリン 5,5,7′−トリメトキシ−3,3′−カルボニルビ
スクマリン 7−ジエチルアミノ−6′−メトキシ−3,3′−カル
ボニルビスクマリン 3−ニコチノイル−7−メトキシクマリン 3−(2−ベンゾフラニルカルボニル)−7−メトキシ
クマリン 3−(7−メトキシ−3−クマリノイル)−1−メチル
ピリミジウムフロロサルフェート 3−(5,7−ジエトキシ−3−クマリノイル−1−メ
チルピリミジウムフロロボレート N−(7−メトキシ−3−クマリノイルメチル)ピリジ
ニウムブロミド 9−(7−ジエチルアミノ−3−クマリノイル)−1,
2,4,5−テトラヒドロ−3H,6H,10H〔1〕
ベンゾピラノ[a,9a・l−gh]キノラジン−10
−オン 及び、下記化学式(III-1)〜(III-15)で表される化合物
である。
And the like. Examples of the sensitizing dye of the formula (III) include the following. 3-benzoyl-5,7-dimethoxycoumarin 3-benzoyl-7-methoxycoumarin 3-benzoyl-6-methoxycoumarin 3-benzoyl-8-ethoxycoumarin 7-methoxy-3- (p-nitrobenzoyl) coumarin 3-benzoyl Coumarin 3- (p-nitrobenzoyl) coumarin 3-benzoylbenzo [f] coumarin 3,3'-carbonylbis (7-methoxycoumarin) 3-acetyl-7-methoxycoumarin 3-benzoyl-6-bromocoumarin 3,3 '-Carbonylbiscoumarin 3-benzoyl-7-dimethylaminocoumarin 3,3'-carbonylbis (7-diethylaminocoumarin) 3-carboxycoumarin 3-carboxy-7-methoxycoumarin 3-ethoxycarbonyl-6-methoxycoumarin3- Ethoxycal Nyl-7-methoxycoumarin 3-acetylbenzo [f] coumarin 3-acetyl-7-methoxycoumarin 3- (1-adamantoyl) -7-methoxycoumarin 3-benzoyl-7-hydroxycoumarin 3-benzoyl-6-nitro Coumarin 3-benzoyl-7-acetocoumarin 3-benzoyl-7-diethylaminocoumarin 7-dimethylamino-3- (4-iodobenzoyl) coumarin 7-diethylamino-3- (4-diethylaminobenzoyl) coumarin 7-methoxy-3- (4-methoxybenzoyl) coumarin 3- (4-nitrobenzoyl) benzo [f] coumarin 3- (4-ethoxycinnamoyl) -7-methoxycoumarin 3- (4-dimethylaminocinnamoyl) coumarin 3- (4- Diphenylaminocinnamoyl) coumarin 3-[(3-methylbenzothiazole-2-ylidene)
Acetyl] coumarin 3-[(1-methylnaphtho [1,2-d] thiazole-
2-ylidene) acetyl] coumarin 3,3'-carbonylbis (6-methoxycoumarin) 3,3'-carbonylbis (7-acetoxycoumarin) 3,3'-carbonylbis (7-dimethylaminocoumarin) 3,3 '-Carbonylbis- (5,7-diisopropoxy) coumarin 3,3'-carbonylbis- (5,7-di-n-propoxy) coumarin 3,3'-carbonylbis- (5,7-di- n-butoxy) coumarin 3-cyano-6-methoxycoumarin 3-cyano-7-methoxycoumarin 7-methoxy-3-phenylsulfonylcoumarin 7-methoxy-3-phenylsulfinylcoumarin 1,4-bis (7-diethylamino-3 -Coumarylcarbonyl) benzene 7-diethylamino-5 ', 7'-dimethoxy-3,
3'-carbonylbiscoumarin 7-dimethylamino-3-thenoylcoumarin 7-diethylamino-3-furoylcoumarin 7-diethylamino-3-thenoylcoumarin 3-benzoyl-7- (1-pyrrolidinyl) coumarin 5,7, 6'-trimethoxy-3,3'-carbonylbiscoumarin 5,5,7'-trimethoxy-3,3'-carbonylbiscoumarin 7-diethylamino-6'-methoxy-3,3'-carbonylbiscoumarin 3-nicotinoyl -7-methoxycoumarin 3- (2-benzofuranylcarbonyl) -7-methoxycoumarin 3- (7-methoxy-3-coumarinoyl) -1-methylpyrimidium fluorosulfate 3- (5,7-diethoxy-3 -Coumarinoyl-1-methylpyrimidium fluoroborate N- (7-methoxy 3 Kumari hexanoyl methyl) pyridinium bromide 9- (7-diethylamino-3-Kumarinoiru) -1,
2,4,5-tetrahydro-3H, 6H, 10H [1]
Benzopyrano [a, 9a.l-gh] quinolazine-10
And compounds represented by the following chemical formulas (III-1) to (III-15).

【0116】[0116]

【化36】 Embedded image

【0117】[0117]

【化37】 Embedded image

【0118】これらの一般式(I)〜(III)で表した増
感色素は、単独で用いても2種以上を併用してもよい。
これらの増感色素の使用量は、エチレン性不飽和二重結
合を有する化合物100重量部に対し、0.05〜30
重量部、好ましくは、0.1〜20重量部、さらに好ま
しくは0.2〜10重量部である。
The sensitizing dyes represented by formulas (I) to (III) may be used alone or in combination of two or more.
These sensitizing dyes are used in an amount of 0.05 to 30 parts by weight per 100 parts by weight of the compound having an ethylenically unsaturated double bond.
Parts by weight, preferably 0.1 to 20 parts by weight, more preferably 0.2 to 10 parts by weight.

【0119】次に、本発明で使用されるラジカル重合開
始剤について説明する。ラジカル重合開始剤は特に制限
されるものではないが、下記(イ)〜(ヌ)に示される
化合物が好ましい。 (イ)炭素−ハロゲン結合を有する化合物 (ロ)下記一般式(IV)で示されるケトン化合物
Next, the radical polymerization initiator used in the present invention will be described. The radical polymerization initiator is not particularly limited, but the compounds shown in the following (a) to (nu) are preferable. (A) Compound having a carbon-halogen bond (b) Ketone compound represented by the following general formula (IV)

【0120】[0120]

【化38】 Embedded image

【0121】(ただしArは下記(VI-a) または(VI-
b) で表される芳香族基であり、またR 20、R21は水素
原子またはアルキル基を表し、またR20、R21は互いに
連結してアルキレン基を表してもよい。
(Where Ar is the following (VI-a) or (VI-a)
b) an aromatic group represented by 20, Rtwenty oneIs hydrogen
Represents an atom or an alkyl group;20, Rtwenty oneAre each other
It may be linked to represent an alkylene group.

【0122】[0122]

【化39】 Embedded image

【0123】上記式中R22〜R26は互いに同一でも異な
っていてもよく、各々水素原子、アルキル基、置換アル
キル基、アルケニル基、アリール基、置換アリール基、
水酸基、アルコキシ基、−S−R28基、−SO−R
28基、−SO2−R28基を表すが、R22〜R26の少なく
とも一つは−S−R28基、−SO−R28基、−SO2
2 8基であり、R28はアルキル基、アルケニル基を表
す。R27は水素原子、アルキル基またはアシル基を表
し、Y1は水素原子または
In the above formula, R 22 to R 26 may be the same or different, and each represents a hydrogen atom, alkyl group, substituted alkyl group, alkenyl group, aryl group, substituted aryl group,
Hydroxyl group, alkoxy group, -SR 28 group, -SO-R
28 groups represent a -SO 2 -R 28 group, at least one -S-R 28 group of R 22 ~R 26, -SO-R 28 group, -SO 2 -
A R 2 8 group, R 28 represents an alkyl group, an alkenyl group. R 27 represents a hydrogen atom, an alkyl group or an acyl group, and Y 1 represents a hydrogen atom or

【0124】[0124]

【化40】 Embedded image

【0125】を表す。R29は前記R20と、またR30は前
記R21と同義である。) (ハ)下記一般式中(V)で表されるケトオキシム化合
Represents the following. R 29 has the same meaning as R 20, and R 30 has the same meaning as R 21 . (C) a ketoxime compound represented by (V) in the following general formula

【0126】[0126]

【化41】 Embedded image

【0127】(ただし式中R31,R32は同一でも異なっ
ていてもよく、置換基、不飽和結合を含んでいてもよい
炭化水素基あるいはヘテロ環基を表す。R33,R34は同
一でも異なっていてもよく、置換基、不飽和結合を含ん
でいてもよい炭化水素基、ヘテロ環基、ヒドロキシ基、
置換オキシ基、メルカプト基、置換チオ基を表す。また
33,R34は互いに結合して環を形成し、−O−,−N
37−,−O−CO−,−NH−CO−,−S−および
/または、−SO2−を環の連結主鎖に含んでいてもよ
い炭素数2〜8のアルキレン基を表す。R37は水素原
子、または置換基、不飽和結合を含んでいてもよい炭化
水素基、あるいは置換カルボニル基を表す。R35,R36
は水素原子、置換基、不飽和結合を含んでいてもよい炭
化水素基、あるいは置換カルボニル基を示す。 (ニ)有機過酸化物 (ホ)下記一般式(VI)で表されるチオ化合物
(Wherein, R 31 and R 32 may be the same or different and each represents a substituent or a hydrocarbon group or a heterocyclic group which may contain an unsaturated bond. R 33 and R 34 are the same. Or may be different, a substituent, a hydrocarbon group which may contain an unsaturated bond, a heterocyclic group, a hydroxy group,
Represents a substituted oxy group, a mercapto group, or a substituted thio group. R 33 and R 34 are bonded to each other to form a ring, and —O— and —N
R 37 —, —O—CO—, —NH—CO—, —S— and / or —SO 2 — represent an alkylene group having 2 to 8 carbon atoms which may be contained in the ring main chain. R 37 represents a hydrogen atom, a substituent, a hydrocarbon group optionally having an unsaturated bond, or a substituted carbonyl group. R 35 , R 36
Represents a hydrogen atom, a substituent, a hydrocarbon group which may contain an unsaturated bond, or a substituted carbonyl group. (D) Organic peroxide (e) Thio compound represented by the following general formula (VI)

【0128】[0128]

【化42】 Embedded image

【0129】(ただし式中R38はアルキル基、アリール
基または置換アリール基を示し、R39は水素原子または
アルキル基を示す。またR38とR39は互いに結合して酸
素、硫黄、窒素原子から選ばれたヘテロ原子を含んでも
よい5員〜7員環を形成するのに必要な非金属原子群を
表す。) (ヘ)ヘキサアリールビイミダゾール (ト)芳香族オニウム塩 (チ)ケトオキシムエステル (リ)N−フェニルグリシン (ヌ)チタノセン化合物
(Wherein R 38 represents an alkyl group, an aryl group or a substituted aryl group, R 39 represents a hydrogen atom or an alkyl group. R 38 and R 39 are bonded to each other to form an oxygen, sulfur, nitrogen atom Represents a group of nonmetallic atoms necessary for forming a 5- to 7-membered ring which may contain a heteroatom selected from the group consisting of: (f) hexaarylbiimidazole (g) aromatic onium salt (h) ketoxime Ester (li) N-phenylglycine (nu) titanocene compound

【0130】上記(イ)炭素−ハロゲン結合を有する化
合物としては、下記一般式(VII)〜(XIII) で示される
化合物が好ましい。 一般式(VII)
As the compound (a) having a carbon-halogen bond, compounds represented by the following formulas (VII) to (XIII) are preferable. General formula (VII)

【0131】[0131]

【化43】 Embedded image

【0132】(式中、Xはハロゲン原子を表わす。Y2
は−CX3、−NH2、−NHR47、−NR47、−OR47
を表わす。ここでR47はアルキル基、置換アルキル基、
アリール基、置換アリール基を表わす。またR48は−C
3、アルキル基、置換アルキル基、アリール基、置換
アリール基、置換アルケニル基を表わす。)で表わされ
る化合物。 一般式(VIII)
(Wherein X represents a halogen atom; Y 2
Is -CX 3, -NH 2, -NHR 47 , -NR 47, -OR 47
Represents Here, R 47 is an alkyl group, a substituted alkyl group,
Represents an aryl group or a substituted aryl group. R 48 is -C
X 3 represents an alkyl group, a substituted alkyl group, an aryl group, a substituted aryl group, or a substituted alkenyl group. ). General formula (VIII)

【0133】[0133]

【化44】 Embedded image

【0134】(ただし、R49は、アルキル基、置換アル
キル基、アルケニル基、置換アルケニル基、アリール
基、置換アリール基、ハロゲン原子、アルコキシ基、置
換アルコキシ基、ニトロ基又はシアノ基であり、Xはハ
ロゲン原子であり、nは1〜3の整数である。)で表わ
される化合物。
(Where R 49 is an alkyl group, a substituted alkyl group, an alkenyl group, a substituted alkenyl group, an aryl group, a substituted aryl group, a halogen atom, an alkoxy group, a substituted alkoxy group, a nitro group or a cyano group; Is a halogen atom, and n is an integer of 1 to 3.).

【0135】一般式(IX) R50−Z3−CH2-mm−R51 (IX) (ただし、R50は、アリール基又は置換アリール基であ
り、R51は−CO−NR 5253、または、
Formula (IX) R50-ZThree-CH2-mXm-R51 (IX) (However, R50Is an aryl group or a substituted aryl group
R51Is -CO-NR 52R53Or

【0136】[0136]

【化45】 Embedded image

【0137】又はハロゲンであり、Z3 は−CO−、−
CS−又は−SO2 −であり、R52、R53はアルキル
基、置換アルキル基、アルケニル基、置換アルケニル
基、アリール基又は置換アリール基であり、R54は一般
式(VII)中のR47と同じであり、mは1又は2であ
る。)で表わされる化合物。 一般式(X)
Or Z 3 is -CO-,-
CS- or -SO 2 - and is, R 52, R 53 is an alkyl group, a substituted alkyl group, an alkenyl group, a substituted alkenyl group, an aryl group or a substituted aryl group, R 54 is R in the general formula (VII) Same as 47 , m is 1 or 2. ). General formula (X)

【0138】[0138]

【化46】 Embedded image

【0139】ただし、式中R55は置換されていてもよい
アリール基又は複素環式基であり、R56は炭素原子1〜
3個を有するトリハロアルキル基又はトリハロアルケニ
ル基であり、pは1、2又は3である。
Wherein R 55 is an optionally substituted aryl group or a heterocyclic group, and R 56 is
A trihaloalkyl or trihaloalkenyl group having three, and p is 1, 2 or 3.

【0140】一般式(XI)Formula (XI)

【0141】[0141]

【化47】 Embedded image

【0142】(ただし、Lは水素原子又は式:CO−
(R57n (CX3)m で表される置換基(nは0〜2で
あり、mは1〜3である)であり、Dは置換又は非置換
のアルキレン基であり、Q2はイオウ、セレン又は酸素
原子、ジアルキルメチレン基、アルケン−1,2−イレ
ン基、1,2−フェニレン基又はN−R58基であり、D
+Q2 は一緒になって3又は4異環を形成し、R58はア
ルキル基、アラルキル基又はアルコキシアルキル基であ
り、R57は炭素環式又は複素環式の芳香族基であり、X
は塩素、臭素又はヨウ素原子であり、q=0及びr=1
であるか又はq=1及びr=1又は2である。)で表わ
される、トリハロゲノメチル基を有するカルボニルメチ
レン複素環式化合物。
(Where L is a hydrogen atom or a compound of the formula: CO—
(R 57) n (CX 3 ) substituents represented by m (n is 0 to 2, m is 1 to 3) and, D is a substituted or unsubstituted alkylene group, Q 2 Is a sulfur, selenium or oxygen atom, a dialkylmethylene group, an alkene-1,2-ylene group, a 1,2-phenylene group or an NR 58 group;
+ Q 2 together form a 3 or 4 heterocycle, R 58 is an alkyl, aralkyl or alkoxyalkyl group, R 57 is a carbocyclic or heterocyclic aromatic group, X
Is a chlorine, bromine or iodine atom, q = 0 and r = 1
Or q = 1 and r = 1 or 2. A) a carbonylmethylene heterocyclic compound having a trihalogenomethyl group;

【0143】一般式(XII)Formula (XII)

【0144】[0144]

【化48】 Embedded image

【0145】(ただし、Xはハロゲン原子であり、tは
1〜3の整数であり、sは1〜4の整数であり、R59
水素原子又はCH3-tt基であり、R60はs価の置換さ
れていてもよい不飽和有機基である)。で表わされる、
4−ハロゲノ−5−(ハロゲノメチル−フェニル)−オ
キサゾール誘導体。
(Where X is a halogen atom, t is an integer of 1 to 3, s is an integer of 1 to 4, R 59 is a hydrogen atom or a CH 3-t Xt group, 60 is an s-valent optionally substituted unsaturated organic group). Represented by
4-halogeno-5- (halogenomethyl-phenyl) -oxazole derivatives.

【0146】一般式(XIII)Formula (XIII)

【0147】[0147]

【化49】 Embedded image

【0148】(ただし、Xはハロゲン原子であり、vは
1〜3の整数であり、uは1〜4の整数であり、R61
水素原子又はCH3-vv基であり、R62はu価の置換さ
れていてもよい不飽和有機基である)。で表わされる、
2−(ハロゲノメチル−フェニル)−4−ハロゲノ−オ
キサゾール誘導体。
(Where X is a halogen atom, v is an integer of 1-3, u is an integer of 1-4, R 61 is a hydrogen atom or a CH 3-v Xv group, 62 is a u-valent unsaturated organic group which may be substituted). Represented by
2- (halogenomethyl-phenyl) -4-halogeno-oxazole derivatives.

【0149】このような炭素−ハロゲン結合を有する化
合物としては、たとえば、若林ら著、Bull. Chem. Soc.
Japan, 42, 2924 (1969)記載の化合物、たとえば、2
−フェニル−4,6−ビス(トリクロルメチル)−S−
トリアジン、2−(p−クロルフェニル)−4,6−ビ
ス(トリクロルメチル)−S−トリアジン、2−(p−
トリル)−4,6−ビス(トリクロルメチル)−S−ト
リアジン、2−(p−メトキシフェニル)−4,6−ビ
ス(トリクロルメチル)−S−トリアジン、2−
(2′,4′−ジクロルフェニル)−4,6−ビス(ト
リクロルメチル)−S−トリアジン、2,4,6−トリ
ス(トリクロルメチル)−S−トリアジン、2−メチル
−4,6−ビス(トリクロルメチル)−S−トリアジ
ン、2−n−ノニル−4,6−ビス(トリクロクメチ
ル)−S−トリアジン、2−(α,α,β−トリクロル
エチル)−4,6−ビス(トリクロルメチル)−S−ト
リアジン等が挙げられる。その他、英国特許第1388
492号明細書記載の化合物、たとえば、2−スチリル
−4,6−ビス(トリクロルメチル)−S−トリアジ
ン、2−(p−メチルスチリル)−4,6−ビス(トリ
クロルメチル)−S−トリアジン、2−(p−メトキシ
スチリル)−4,6−ビス(トリクロルメチル)−S−
トリアジン、2−(p−メトキシスチリル)−4−アミ
ノ−6−トリクロルメチル−S−トリアジン等、特開昭
53−133428号公報記載の化合物、たとえば、2
−(4−メトキシ−ナフト−1−イル)−4,6−ビス
−トリクロルメチル−S−トリアジン、2−(4−エト
キシ−ナフト−1−イル)−4,6−ビス−トリクロル
メチル−S−トリアジン、2−〔4−(2−エトキシエ
チル)−ナフト−1−イル〕−4,6−ビス−トリクロ
ルメチル−S−トリアジン、2−(4,7−ジメトキシ
−ナフト−1−イル〕−4,6−ビス−トリクロルメチ
ル−S−トリアジン、2−(アセナフト−5−イル)−
4,6−ビス−トリクロルメチル−S−トリアジン等、
独国特許第3337024号明細書記載の化合物、たと
えば下記の化合物を挙げることができる。
Compounds having such a carbon-halogen bond are described, for example, in Wakabayashi et al., Bull. Chem. Soc.
Japan, 42 , 2924 (1969).
-Phenyl-4,6-bis (trichloromethyl) -S-
Triazine, 2- (p-chlorophenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -S-triazine, 2- (p-
Tolyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -S-triazine, 2- (p-methoxyphenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -S-triazine, 2-
(2 ', 4'-dichlorophenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -S-triazine, 2,4,6-tris (trichloromethyl) -S-triazine, 2-methyl-4,6- Bis (trichloromethyl) -S-triazine, 2-n-nonyl-4,6-bis (triclomethyl) -S-triazine, 2- (α, α, β-trichloroethyl) -4,6-bis ( Trichloromethyl) -S-triazine and the like. In addition, British Patent No. 1388
No. 492, for example, 2-styryl-4,6-bis (trichloromethyl) -S-triazine, 2- (p-methylstyryl) -4,6-bis (trichloromethyl) -S-triazine , 2- (p-methoxystyryl) -4,6-bis (trichloromethyl) -S-
Compounds described in JP-A-53-133428, such as triazine and 2- (p-methoxystyryl) -4-amino-6-trichloromethyl-S-triazine;
-(4-methoxy-naphth-1-yl) -4,6-bis-trichloromethyl-S-triazine, 2- (4-ethoxy-naphth-1-yl) -4,6-bis-trichloromethyl-S -Triazine, 2- [4- (2-ethoxyethyl) -naphth-1-yl] -4,6-bis-trichloromethyl-S-triazine, 2- (4,7-dimethoxy-naphth-1-yl] -4,6-bis-trichloromethyl-S-triazine, 2- (acenaphth-5-yl)-
4,6-bis-trichloromethyl-S-triazine and the like,
The compounds described in German Patent No. 3337024, for example, the following compounds can be mentioned.

【0150】[0150]

【化50】 Embedded image

【0151】[0151]

【化51】 Embedded image

【0152】また、F.C. Schaefer等によるJ. Org. Che
m.; 29, 1527 (1964)記載の化合物、たとえば2−メチ
ル−4,6−ビス(トリブロムメチル)−S−トリアジ
ン、2,4,6−トリス(トリブロムメチル)−S−ト
リアジン、2,4,6−トリス(ジブロムメチル)−S
−トリアジン、2−アミノ−4−メチル−6−トリブロ
ムメチル−S−トリアジン、2−メトキシ−4−メチル
−6−トリクロルメチル−S−トリアジン等を挙げるこ
とができる。
Also, J. Org. Che by FC Schaefer et al.
m .; 29, 1527 (1964), for example, 2-methyl-4,6-bis (tribromomethyl) -S-triazine, 2,4,6-tris (tribromomethyl) -S-triazine, 2,4,6-tris (dibromomethyl) -S
-Triazine, 2-amino-4-methyl-6-tribromomethyl-S-triazine, 2-methoxy-4-methyl-6-trichloromethyl-S-triazine and the like.

【0153】更に特開昭62−58241号公報記載の
化合物、たとえば下記の化合物を挙げることができる。
Further, there may be mentioned the compounds described in JP-A-62-58241, for example, the following compounds.

【0154】[0154]

【化52】 Embedded image

【0155】[0155]

【化53】 Embedded image

【0156】更に特開昭5−281728号公報記載の
化合物、例えば下記の化合物等を挙げることができる。
Further, there may be mentioned the compounds described in JP-A-5-281728, such as the following compounds.

【0157】[0157]

【化54】 Embedded image

【0158】あるいはさらに M.P.Hutt, E.F.Elslager
およびL.M.Werbel著 Journal of Heterocyclic Chemist
ry第7巻(No.3)、第511頁以降(1970年)に
記載されている合成方法に準じて当業者が容易に合成す
ることができる次のような化合物群を挙げることができ
る。
Alternatively, MPHutt, EFElslager
And LMWerbel, Journal of Heterocyclic Chemist
The following compound groups that can be easily synthesized by those skilled in the art according to the synthesis method described in ry Vol. 7 (No. 3), pp. 511 et seq. (1970) can be mentioned.

【0159】[0159]

【化55】 Embedded image

【0160】[0160]

【化56】 Embedded image

【0161】[0161]

【化57】 Embedded image

【0162】[0162]

【化58】 Embedded image

【0163】[0163]

【化59】 Embedded image

【0164】[0164]

【化60】 Embedded image

【0165】[0165]

【化61】 Embedded image

【0166】[0166]

【化62】 Embedded image

【0167】[0167]

【化63】 Embedded image

【0168】あるいは、ドイツ特許第2641100号
明細書に記載されているような化合物、例えば、4−
(4−メトキシ−スチリル)−6−(3,3,3−トリ
クロルプロペニル)−2−ピロン及び4−(3,4,5
−トリメトキシ−スチリル)−6−トリクロルメチル−
2−ピロン、あるいはドイツ特許第3333450号明
細書に記載されている化合物、例えば、
Alternatively, compounds such as those described in DE-A-2641100, for example 4-
(4-methoxy-styryl) -6- (3,3,3-trichloropropenyl) -2-pyrone and 4- (3,4,5
-Trimethoxy-styryl) -6-trichloromethyl-
2-pyrone or the compounds described in DE 33 33 450, for example,

【0169】[0169]

【化64】 Embedded image

【0170】あるいはドイツ特許第3021590号明
細書に記載の化合物群、
Alternatively, a group of compounds described in German Patent No. 3021590,

【0171】[0171]

【化65】 Embedded image

【0172】あるいはドイツ特許第3021599号明
細書に記載の化合物群例えば、
Alternatively, a group of compounds described in German Patent No. 3021599, for example,

【0173】[0173]

【化66】 Embedded image

【0174】を挙げることができる。The following can be mentioned.

【0175】次に、上記(ロ)の一般式(IV)で示される
ケトン化合物について説明する。式中、R20、R21は水
素原子もしくは炭素原子数1〜8のアルキル基を示す。
またR20、R21は結合してアルキレン基を表してもよ
い。Arである(IV-a) 及び(VI-b) 中のR22〜R
26は、互いに独立して、水素原子、ハロゲン原子、炭素
原子数1〜12のアルキル基、炭素原子数3〜12のア
ルケニル基、アリール基、炭素原子数1〜12のアルコ
キシ基、水酸基、−S−R28基、−SO−R28基、−S
2−R28基を表し、R27は水素原子、または炭素原子
数1〜12のアルキル基、または炭素原子数2〜13の
アシル基を示す。これらのアルキル基、アリール基、ア
ルケニル基、アシル基は更に炭素原子数1〜6の置換基
で置換されていても良い。
Next, the ketone compound represented by the above general formula (IV) (II) will be described. In the formula, R 20 and R 21 represent a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms.
R 20 and R 21 may combine to represent an alkylene group. R 22 to R in (IV-a) and (VI-b) which are Ar
26 independently of one another are a hydrogen atom, a halogen atom, an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, an alkenyl group having 3 to 12 carbon atoms, an aryl group, an alkoxy group having 1 to 12 carbon atoms, a hydroxyl group,- SR- 28 group, -SO-R- 28 group, -S
Represents an O 2 —R 28 group, wherein R 27 represents a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, or an acyl group having 2 to 13 carbon atoms. These alkyl group, aryl group, alkenyl group, and acyl group may be further substituted with a substituent having 1 to 6 carbon atoms.

【0176】Y1 中のR29はR20と、またR30はR21
同義である。具体的な例としては、米国特許4,31
8,791号、欧州特許0284561A号各明細書に
記載の下記化合物を挙げることができる。
R 29 in Y 1 has the same meaning as R 20, and R 30 has the same meaning as R 21 . A specific example is disclosed in U.S. Pat.
The following compounds described in JP-A-8,791 and European Patent 0284561A can be exemplified.

【0177】[0177]

【化67】 Embedded image

【0178】[0178]

【化68】 Embedded image

【0179】次に、上記(ハ)の一般式(V)で示され
るケトオキシム化合物について説明する。式中、R31
32は同一または異なり、置換基を有していても良く不
飽和結合を含んでいても良い炭化水素基、或いは、ヘテ
ロ環基を表す。R33、R34は同一または異なり、水素原
子、置換基を有していても良く不飽和結合を含んでいて
も良い炭化水素基、ヘテロ環基、ヒドロキシル基、置換
オキシ基、メルカプト基、置換チオ基を表す。また、R
33、R34は互いに結合して環を形成し、−O−、−NR
37−、−O−CO−、−S−、及び−SO2−を環の連
結主鎖に含んでいても良い炭素数2から8のアルキレン
基を表す。R37は水素原子、または置換基、不飽和結合
を含んでいてもよい炭化水素基、あるいは置換カルボニ
ル基を表す。
Next, the ketoxime compound represented by the above formula (C) and represented by the general formula (V) will be described. Wherein R 31 ,
R 32 is the same or different and represents a hydrocarbon group which may have a substituent and may contain an unsaturated bond, or a heterocyclic group. R 33 and R 34 are the same or different and are a hydrogen atom, a hydrocarbon group which may have a substituent or may contain an unsaturated bond, a heterocyclic group, a hydroxyl group, a substituted oxy group, a mercapto group, a substituted Represents a thio group. Also, R
33 and R 34 are bonded to each other to form a ring, -O-, -NR
37 -, - O-CO - , - S-, and -SO 2 - represents an alkylene group having from 2 carbon atoms which may contain a linking backbone of the ring 8. R 37 represents a hydrogen atom, a substituent, a hydrocarbon group optionally having an unsaturated bond, or a substituted carbonyl group.

【0180】R35、R36は水素原子、置換基を有してい
ても良く不飽和結合を含んでいても良い炭化水素基、或
いは置換カルボニル基を表す。具体的な化合物として、
以下のものを挙げることができるがこれに限定されるも
のではない。
R 35 and R 36 represent a hydrogen atom, a hydrocarbon group which may have a substituent or may contain an unsaturated bond, or a substituted carbonyl group. As specific compounds,
The following can be mentioned, but not limited thereto.

【0181】[0181]

【化69】 Embedded image

【0182】[0182]

【化70】 Embedded image

【0183】[0183]

【化71】 Embedded image

【0184】[0184]

【化72】 Embedded image

【0185】[0185]

【化73】 Embedded image

【0186】上記(ニ)の有機過酸化物としては、分子
中に酸素−酸素結合を有する化合物を挙げることができ
る。例えば、メチルエチルケトンパーオキサイド、シク
ロヘキサノンパーオキサイド、3,3,5−トリメチル
シクロヘキサノンパーオキサイド、メチルシクロヘキサ
ノンパーオキサイド、アセチルアセトンパーオキサイ
ド、1,1−ビス(ターシャリィブチルパーオキシ)−
3,3,5−トリメチルシクロヘキサン、1,1−ビス
(ターシャリィブチルパーオキシ)シクロヘキサン、
2,2−ビス(ターシャリィブチルパーオキシ)ブタ
ン、ターシャリィブチルハイドロパーオキサイド、クメ
ンハイドロパーオキサイド、ジイソプロピルベンゼンハ
イドロパーオキサイド、パラメタンハイドロパーオキサ
イド、2,5−ジメチルヘキサン−2,5−ジハイドロ
パーオキサイド、1,1,3,3−テトラメチルブチル
ハイドロパーオキサイド、ジターシャリィブチルパーオ
キサイド、ターシャリィブチルクミルパーオキサイド、
ジクミルパーオキサイド、ビス(ターシャリィブチルパ
ーオキシイソプロピル)ベンゼン、2,5−ジメチル−
2,5−ジ(ターシャリィブチルパーオキシ)ヘキサ
ン、2,5−ジメチル−2,5−ジ(ターシャリィブチ
ルパーオキシ)ヘキシン−3、アセチルパーオキサイ
ド、イソブチルパーオキサイド、オクタノイルパーオキ
サイド、デカノイルパーオキサイド、ラウロイルパーオ
キサイド、3,5,5−トリメチルヘキサノイルパーオ
キサイド、過酸化こはく酸、過酸化ベンゾイル、
Examples of the organic peroxide (d) include compounds having an oxygen-oxygen bond in the molecule. For example, methyl ethyl ketone peroxide, cyclohexanone peroxide, 3,3,5-trimethylcyclohexanone peroxide, methylcyclohexanone peroxide, acetylacetone peroxide, 1,1-bis (tert-butylperoxy)-
3,3,5-trimethylcyclohexane, 1,1-bis (tert-butylperoxy) cyclohexane,
2,2-bis (tert-butylperoxy) butane, tertiarybutyl hydroperoxide, cumene hydroperoxide, diisopropylbenzene hydroperoxide, paramethane hydroperoxide, 2,5-dimethylhexane-2,5-di Hydroperoxide, 1,1,3,3-tetramethylbutyl hydroperoxide, ditertiary butyl peroxide, tertiary butyl cumyl peroxide,
Dicumyl peroxide, bis (tert-butylperoxyisopropyl) benzene, 2,5-dimethyl-
2,5-di (tert-butylperoxy) hexane, 2,5-dimethyl-2,5-di (tert-butylperoxy) hexyne-3, acetyl peroxide, isobutyl peroxide, octanoyl peroxide, deca Noyl peroxide, lauroyl peroxide, 3,5,5-trimethylhexanoyl peroxide, succinic peroxide, benzoyl peroxide,

【0187】2,4−ジクロロベンゾイルパーオキサイ
ド、メタ−トルオイルパーオキサイド、ジイソプロピル
パーオキシジカーボネート、ジ−2−エチルヘキシルパ
ーオキシジカーボネート、ジ−2−エトキシエチルパー
オキシジカーボネート、ジメトキシイソプロピルパーオ
キシカーボネート、ジ(3−メチル−3−メトキシブチ
ル)パーオキシジカーボネート、ターシャリィブチルパ
ーオキシアセテート、ターシャリィブチルパーオキシピ
バレート、ターシャリィブチルパーオキシネオデカノエ
ート、ターシャリィブチルパーオキシオクタノエート、
ターシャリィブチルパーオキシ−3,5,5−トリメチ
ルヘキサノエート、ターシャリィブチルパーオキシラウ
レート、ターシャリィブチルパーオキシベンゾエート、
ジターシャリィブチルパーオキシイソフタレート、2,
5−ジメチル−2,5−ジ(ベンゾイルパーオキシ)ヘ
キサン、ターシャリィブチル過酸化マレイン酸、ターシ
ャリィブチルパーオキシイソプロピルカーボネート、
3,3′,4,4′−テトラ−(t−ブチルパーオキシ
カルボニル)ベンゾフェノン、3,3′,4,4′−テ
トラ−(t−アミルパーオキシカルボニル)ベンゾフェ
ノン、3,3′,4,4′−テトラ−(t−ヘキシルパ
ーオキシカルボニル)ベンゾフェノン、3,3′,4,
4′−テトラ−(t−オクチルパーオキシカルボニル)
ベンゾフェノン、3,3′,4,4′−テトラ(クミル
パーオキシカルボニル)ベンゾフェノン、3,3′,
4,4′−テトラ−(p−イソプロピルクミルパーオキ
シカルボニル)ベンゾフェノン、カルボニルジ(t−ブ
チルパーオキシ二水素二フタレート)、カルボニルジ
(t−ヘキシルパーオキシ二水素二フタレート)等があ
る。
2,4-dichlorobenzoyl peroxide, meta-toluoyl peroxide, diisopropylperoxydicarbonate, di-2-ethylhexylperoxydicarbonate, di-2-ethoxyethylperoxydicarbonate, dimethoxyisopropylperoxy Carbonate, di (3-methyl-3-methoxybutyl) peroxydicarbonate, tertiary butyl peroxypivalate, tertiary butyl peroxypivalate, tertiary butyl peroxy neodecanoate, tertiary butyl peroxyoctano Eat,
Tertiary butyl peroxy-3,5,5-trimethylhexanoate, tertiary butyl peroxy laurate, tertiary butyl peroxy benzoate,
Ditertiary butyl peroxyisophthalate, 2,
5-dimethyl-2,5-di (benzoylperoxy) hexane, tertiary butyl peroxide maleic acid, tertiary butyl peroxyisopropyl carbonate,
3,3 ', 4,4'-tetra- (t-butylperoxycarbonyl) benzophenone, 3,3', 4,4'-tetra- (t-amylperoxycarbonyl) benzophenone, 3,3 ', 4 , 4'-Tetra- (t-hexylperoxycarbonyl) benzophenone, 3,3 ', 4,
4'-tetra- (t-octylperoxycarbonyl)
Benzophenone, 3,3 ', 4,4'-tetra (cumylperoxycarbonyl) benzophenone, 3,3',
4,4'-tetra- (p-isopropylcumylperoxycarbonyl) benzophenone, carbonyldi (t-butylperoxydihydrogen diphthalate), carbonyldi (t-hexylperoxydihydrogen diphthalate) and the like.

【0188】これらの中で、3,3′,4,4′−テト
ラ−(t−ブチルパーオキシカルボニル)ベンゾフェノ
ン、3,3′,4,4′−テトラ−(t−アミルパーオ
キシカルボニル)ベンゾフェノン、3,3′,4,4′
−テトラ−(t−キシルパーオキシカルボニル)ベンゾ
フェノン、3,3′,4,4′−テトラ(t−オクチル
パーオキシカルボニル)ベンゾフェノン、3,3′,
4,4′−テトラ(クミルパーオキシカルボニル)ベン
ゾフェノン、3,3′,4,4′−テトラ(p−イソプ
ロピルクミルパーオキシカルボニル)ベンゾフェノン、
ジ−t−ブチルジパーオキシイソフタレートなどの過酸
化エステル系が好ましい。
Of these, 3,3 ', 4,4'-tetra- (t-butylperoxycarbonyl) benzophenone and 3,3', 4,4'-tetra- (t-amylperoxycarbonyl) Benzophenone, 3,3 ', 4,4'
-Tetra- (t-xylperoxycarbonyl) benzophenone, 3,3 ', 4,4'-tetra (t-octylperoxycarbonyl) benzophenone, 3,3',
4,4'-tetra (cumylperoxycarbonyl) benzophenone, 3,3 ', 4,4'-tetra (p-isopropylcumylperoxycarbonyl) benzophenone,
Peroxide esters such as di-t-butyldiperoxyisophthalate are preferred.

【0189】上記(ホ)チオ化合物は、前記一般式(VI)
で示される。一般式(VI)におけるR38、R39のアルキル
基としては炭素原子数1〜4個のものが好ましい。また
38のアリール基としてはフェニル、ナフチルのような
炭素原子数6〜10個のものが好ましく、置換アリール
基としては、上記のようなアリール基に塩素原子のよう
なハロゲン原子、メチル基のようなアルキル基、メトキ
シ基、エトキシ基のようなアルコキシ基で置換されたも
のが含まれる。
The above (e) thio compound has the general formula (VI)
Indicated by The alkyl group of R 38 and R 39 in the general formula (VI) is preferably one having 1 to 4 carbon atoms. The aryl group of R 38 is preferably a group having 6 to 10 carbon atoms such as phenyl and naphthyl. As the substituted aryl group, a halogen atom such as a chlorine atom and a methyl group And those substituted with an alkoxy group such as an alkyl group, a methoxy group or an ethoxy group.

【0190】一般式(VI)で示されるチオ化合物の具体例
としては、下表に示すような化合物が挙げられる。
Specific examples of the thio compound represented by the general formula (VI) include the compounds shown in the following table.

【0191】[0191]

【表3】 [Table 3]

【0192】[0192]

【表4】 [Table 4]

【0193】[0193]

【表5】 [Table 5]

【0194】本発明に使用される成分(ヘ)のヘキサア
リールビイミダゾールとしては、2,2′−ビス(o−
クロロフェニル)−4,4′,5,5′−テトラフェニ
ルビイミダゾール、2,2′−ビス(o−ブロモフェニ
ル)−4,4′,5,5′−テトラフェニルビイミダゾ
ール、2,2′−ビス(o,p−ジクロロフェニル)−
4,4′,5,5′−テトラフェニルビイミダゾール、
2,2′−ビス(o−クロロフェニル)−4,4′,
5,5′−テトラ(m−メトキシフェニル)ビイミダゾ
ール、2,2′−ビス(o,o′−ジクロロフェニル)
−4,4′,5,5′−テトラフェニルビイミダゾー
ル、2,2′−ビス(o−ニトロフェニル)−4,
4′,5,5′−テトラフェニルビイミダゾール、2,
2′−ビス(o−メチルフェニル)−4,4′,5,
5′−テトラフェニルビイミダゾール、2,2′−ビス
(o−トリフルオロメチルフェニル)−4,4′,5,
5′−テトラフェニルビイミダゾール等が挙げられる。
ケトオキシムエステルとしては、3−ベンゾイロキシイ
ミノブタン−2−オン、3−アセトキシイミノブタン−
2−オン、3−プロピオニルオキシイミノブタン−2−
オン、2−アセトキシイミノペンタン−3−オン、2−
アセトキシイミノ−1−フェニルプロパン−1−オン、
2−ベンゾイロキシイミノ−1−フェニルプロパン−1
−オン、3−p−トルエンスルホニルオキシイミノブタ
ン−2−オン、2−エトキシカルボニルオキシイミノ−
1−フェニルプロパン−1−オン等が挙げられる。
The hexaarylbiimidazole of the component (f) used in the present invention includes 2,2'-bis (o-
(Chlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenylbiimidazole, 2,2'-bis (o-bromophenyl) -4,4', 5,5'-tetraphenylbiimidazole, 2,2 ' -Bis (o, p-dichlorophenyl)-
4,4 ', 5,5'-tetraphenylbiimidazole,
2,2'-bis (o-chlorophenyl) -4,4 ',
5,5'-tetra (m-methoxyphenyl) biimidazole, 2,2'-bis (o, o'-dichlorophenyl)
-4,4 ', 5,5'-tetraphenylbiimidazole, 2,2'-bis (o-nitrophenyl) -4,
4 ', 5,5'-tetraphenylbiimidazole, 2,
2'-bis (o-methylphenyl) -4,4 ', 5
5'-tetraphenylbiimidazole, 2,2'-bis (o-trifluoromethylphenyl) -4,4 ', 5
5'-tetraphenylbiimidazole and the like.
Examples of the ketoxime ester include 3-benzoyloximinobtan-2-one and 3-acetoxyiminobutan-
2-one, 3-propionyloxy iminobutan-2-
On, 2-acetoxyiminopentan-3-one, 2-
Acetoxyimino-1-phenylpropan-1-one,
2-benzoyloxyimino-1-phenylpropane-1
-One, 3-p-toluenesulfonyloxyimiminobtan-2-one, 2-ethoxycarbonyloxyimino-
1-phenylpropan-1-one and the like.

【0195】また、上記(ト)芳香族オニウム塩として
は、周期律表の第V、VI及びVII族の元素、具体的には
N、P、As、Sb、Bi、O、S、Se、Te、またはIの芳香
族オニウム塩が含まれる。このような芳香族オニウム塩
としては、特公昭52−14277号、特公昭52−1
4278号、特公昭52−14279号各公報に示され
ている化合物を挙げることができ、具体的には、以下の
化合物を挙げることができる。
The (g) aromatic onium salts include elements of Groups V, VI and VII of the Periodic Table, specifically N, P, As, Sb, Bi, O, S, Se, Te or I aromatic onium salts are included. Examples of such aromatic onium salts include JP-B-52-14277 and JP-B-52-1.
No. 4278 and JP-B No. 52-14279 can be mentioned, and specifically, the following compounds can be mentioned.

【0196】[0196]

【化74】 Embedded image

【0197】[0197]

【化75】 Embedded image

【0198】[0198]

【化76】 Embedded image

【0199】[0199]

【化77】 Embedded image

【0200】[0200]

【化78】 Embedded image

【0201】[0201]

【化79】 Embedded image

【0202】[0202]

【化80】 Embedded image

【0203】これらの中で好ましいものは、BF4塩、
又はPF4塩の化合物さらに好ましくは芳香族ヨードニ
ウム塩のBF4塩、又はPF4塩である。
Of these, preferred are BF 4 salts,
Or a compound of a PF 4 salt, more preferably a BF 4 salt or a PF 4 salt of an aromatic iodonium salt.

【0204】上記(チ)ケトオキシムエステルとして
は、3−ベンゾイロキシイミノブタン−2−オン、3−
アセトキシイミノブタン−2−オン、3−プロピオニル
オキシイミノブタン−2−オン、2−アセトキシイミノ
ペンタン−3−オン、2−アセトキシイミノ−1−フェ
ニルプロパン−1−オン、2−ベンゾイロキシイミノ−
1−フェニルプロパン−1−オン、3−p−トルエンス
ルホニルオキシイミノブタン−2−オン、2−エトキシ
カルボニルオキシイミノ−1−フェニルプロパン−1−
オン等が挙げられる。
Examples of the above (t) ketoxime esters include 3-benzoyloximinobtan-2-one,
Acetoxyiminobutan-2-one, 3-propionyloxyiminobutan-2-one, 2-acetoxyiminopentan-3-one, 2-acetoxyimino-1-phenylpropan-1-one, 2-benzoyloxyimino-
1-phenylpropan-1-one, 3-p-toluenesulfonyloxyimiminobtan-2-one, 2-ethoxycarbonyloxyimino-1-phenylpropan-1-
ON and the like.

【0205】上記(ヌ)チタノセン化合物は、前記した
増感色素との共存下で光照射した場合、活性ラジカルを
発生し得るチタノセン化合物であれば、例えば、特開昭
59−152396号、特開昭61−151197号公
報に記載されている公知の化合物を適宜選択して用いる
ことができる。更に具体的には、ジ−シクロペンタジエ
ニル−Ti−ジ−クロライド、ジ−シクロペンタジエニ
ル−Ti−ビス−フェニル、ジ−シクロペンタジエニル
−Ti−ビス−2,3,4,5,6−ペンタフルオロフ
ェニ−1−イル、ジ−シクロペンタジエニル−Ti−ビ
ス−2,3,5,6−テトラフルオロフェニ−1−イ
ル、ジ−シクロペンタジエニル−Ti−ビス−2,4,
6−トリフルオロフェニ−1−イル、ジ−シクロペンタ
ジエニル−Ti−ビス−2,6−ジフルオロフェニ−1
−イル、ジ−シクロペンタジエニル−Ti−ビス−2,
4−ジフルオロフェニ−1−イル、ジ−メチルシクロペ
ンタジエニル−Ti−ビス−2,3,4,5,6−ペン
タフルオロフェニ−1−イル、ジ−メチルシクロペンタ
ジエニル−Ti−ビス−2,3,5,6−テトラフルオ
ロフェニ−1−イル、ジ−メチルシクロペンタジエニル
−Ti−ビス−2,4−ジフルオロフェニ−1−イル、
ビス(シクロペンタジエニル)−ビス(2,6−ジフル
オロ−3−(ピリ−1−イル)フェニル)チタニウム等
を挙げることができる。
The (nu) titanocene compound is a titanocene compound capable of generating an active radical when irradiated with light in the presence of the above-mentioned sensitizing dye, and is, for example, disclosed in JP-A-59-152396 and JP-A-59-152396. Known compounds described in JP-A-61-151197 can be appropriately selected and used. More specifically, di-cyclopentadienyl-Ti-di-chloride, di-cyclopentadienyl-Ti-bis-phenyl, di-cyclopentadienyl-Ti-bis-2,3,4,5 , 6-Pentafluorophenyl-1-yl, di-cyclopentadienyl-Ti-bis-2,3,5,6-tetrafluorophenyl-1-yl, di-cyclopentadienyl-Ti-bis-2 , 4,
6-trifluorophenyl-1-yl, di-cyclopentadienyl-Ti-bis-2,6-difluorophenyl-1
-Yl, di-cyclopentadienyl-Ti-bis-2,
4-difluorophenyl-1-yl, di-methylcyclopentadienyl-Ti-bis-2,3,4,5,6-pentafluorophenyl-1-yl, di-methylcyclopentadienyl-Ti-bis -2,3,5,6-tetrafluorophenyl-1-yl, di-methylcyclopentadienyl-Ti-bis-2,4-difluorophenyl-1-yl,
Bis (cyclopentadienyl) -bis (2,6-difluoro-3- (pyr-1-yl) phenyl) titanium and the like can be mentioned.

【0206】これらの(イ)〜(ヌ)のラジカル重合開
始剤は、単独でまたは2種以上併用して用いることがで
きる。使用量はエチレン性不飽和化合物100重量部に
対して0.05〜100重量部、好ましくは1〜80重
量部、更に好ましくは3〜50重量部の範囲が適当であ
る。ラジカル重合開始剤が不適当に多い場合には有効光
線の遮断等好ましくない結果を生じる傾向がある。本発
明におけるラジカル重合開始剤の量は、エチレン性不飽
和化合物と必要に応じて添加される高分子結合剤との合
計に対して0.01重量%から60重量%の範囲で使用
するのが好ましい。より好ましくは、1重量%から30
重量%で良好な結果を得る。
These radical polymerization initiators (a) to (nu) can be used alone or in combination of two or more. The use amount is suitably from 0.05 to 100 parts by weight, preferably from 1 to 80 parts by weight, more preferably from 3 to 50 parts by weight, based on 100 parts by weight of the ethylenically unsaturated compound. When the amount of the radical polymerization initiator is inappropriately large, undesired results such as blocking of effective light tend to occur. The amount of the radical polymerization initiator used in the present invention is in the range of 0.01% by weight to 60% by weight based on the total amount of the ethylenically unsaturated compound and the polymer binder optionally added. preferable. More preferably, from 1% by weight to 30%
Good results are obtained with% by weight.

【0207】また、本発明の感光性樹脂組成物において
は、露光部分と未露光部分の色別を行う目的で、有機ハ
ロゲン化合物とロイコ色素を含有させることができる。
有機ハロゲン化物としては前述のラジカル重合開始剤
(イ)炭素−ハロゲン結合を有する化合物が一般に使用
される。この様な焼き出し剤として本発明に用いられる
有機ハロゲン化合物の量はフォトレジスト固形分に対し
0.001重量%から5重量%の範囲である。さらに好
ましくは、0.005重量%から1重量%である。
Further, the photosensitive resin composition of the present invention may contain an organic halogen compound and a leuco dye for the purpose of distinguishing the color of the exposed portion and the unexposed portion.
As the organic halide, the above-mentioned radical polymerization initiator (a) a compound having a carbon-halogen bond is generally used. The amount of the organic halogen compound used in the present invention as such a printing-out agent ranges from 0.001% by weight to 5% by weight based on the solid content of the photoresist. More preferably, it is 0.005% by weight to 1% by weight.

【0208】本発明に使用しうるロイコ色素の代表的な
ものとしては、次のものが含まれる。トリス(p−ジメ
チルアミノフェニル)メタン、ロイコクリスタルバイオ
レット、トリス(p−ジエチルアミノフェニル)メタ
ン、トリス(p−ジメチルアミノ−o−メチルフェニ
ル)メタン、トリス(p−ジエチルアミノ−o−メチル
フェニル)メタン、ビス(p−ジブチルアミノフェニ
ル)−〔p−(2−シアノエチル)メチルアミノフェニ
ル〕メタン、ビス(p−ジメチルアミノフェニル)−2
−キノリルメタン、トリス(p−ジプロピルアミノフェ
ニル)メタン等のアミノトリアリールメタン類、3,6
−ビス(ジエチルアミノ)−9−フェニルキサンテン、
3−アミノ−6−ジメチルアミノ−2−メチル−9−
(o−クロロフェニル)キサンテン等のアミノキサンテ
ン類、3,6−ビス(ジエチルアミノ)−9−(o−エ
トキシカルボニルフェニル)チオキサンテン、3,6−
ビス(ジメチルアミノ)チオキサンテン等のアミノチオ
キサンテン類、3,6−ビス(ジエチルアミノ)−9,
10−ジヒドロ−9−フェニルアクリジン、3,6−ビ
ス(ベンジルアミノ)−9,10−ジヒドロ−9−メチ
ルアクリジン等のアミノ−9,10−ジヒドロアクリジ
ン類、3,7−ビス(ジエチルアミノ)フェノキサジン
等のアミノフェノキサジン類、3,7−ビス(エチルア
ミノ)フェノチアジン等のアミノフェノチアジン類、
3,7−ビス(ジエチルアミノ)−5−ヘキシル−5,
10−ジヒドロフェナジン等のアミノジヒドロフェナジ
ン類、ビス(p−ジメチルアミノフェニル)アニリノメ
タン等のアミノフェニルメタン類、4−アミノ−4′−
ジメチルアミノジフェニルアミン、4−アミノ−α,β
−ジシアノヒドロケイ皮酸メチルエステル等のアミノヒ
ドロケイ皮酸類、1−(2−ナフチル)−2−フェニル
ヒドラジン等のヒドラジン類、1,4−ビス(エチルア
ミノ)−2,3−ジヒドロアントラキノン等のアミノ−
2,3−ジヒドロアントラキノン類、N,N−ジエチル
−p−フェネチルアニリン等のフェネチルアニリン類、
10−アセチル−3,7−ビス(ジメチルアミノ)フェ
ノチアジン等の塩基性NH基を含むロイコ色素のアシル
誘導体、トリス(4−ジエチルアミノ−o−トリル)エ
トキシカルボニルメタン等の酸化し得る水素をもってい
ないが、発色化合物に酸化しうるロイコ様化合物、ロイ
コインジゴイド色素、米国特許第3,042,515号
及び同第3,042,517号各明細書に記載されてい
るような発色形に酸化しうるような有機アミン類。この
型の代表的な化合物としては、次のものを挙げることが
できる。4,4′−エチレンジアミン、ジフェニルアミ
ン、N,N−ジメチルアニリン、4,4′−メチレンジ
アミントリフェニルアミン、N−ビニルカルバゾール。
これらのうち特に好ましいものはロイコクリスタルバイ
オレットである。
Typical leuco dyes usable in the present invention include the following. Tris (p-dimethylaminophenyl) methane, leuco crystal violet, tris (p-diethylaminophenyl) methane, tris (p-dimethylamino-o-methylphenyl) methane, tris (p-diethylamino-o-methylphenyl) methane, Bis (p-dibutylaminophenyl)-[p- (2-cyanoethyl) methylaminophenyl] methane, bis (p-dimethylaminophenyl) -2
Aminotriarylmethanes such as quinolylmethane and tris (p-dipropylaminophenyl) methane;
-Bis (diethylamino) -9-phenylxanthene,
3-amino-6-dimethylamino-2-methyl-9-
Aminoxanthenes such as (o-chlorophenyl) xanthene, 3,6-bis (diethylamino) -9- (o-ethoxycarbonylphenyl) thioxanthene, 3,6-
Aminothioxanthenes such as bis (dimethylamino) thioxanthene, 3,6-bis (diethylamino) -9,
Amino-9,10-dihydroacridines such as 10-dihydro-9-phenylacridine, 3,6-bis (benzylamino) -9,10-dihydro-9-methylacridine, and 3,7-bis (diethylamino) phenoxy Aminophenoxazines such as sagin; aminophenothiazines such as 3,7-bis (ethylamino) phenothiazine;
3,7-bis (diethylamino) -5-hexyl-5,
Aminodihydrophenazines such as 10-dihydrophenazine; aminophenylmethanes such as bis (p-dimethylaminophenyl) anilinomethane; 4-amino-4'-
Dimethylaminodiphenylamine, 4-amino-α, β
-Aminohydrocinnamic acids such as methyl-dicyanohydrocinnamate, hydrazines such as 1- (2-naphthyl) -2-phenylhydrazine, 1,4-bis (ethylamino) -2,3-dihydroanthraquinone and the like Amino-
Phenethylanilines such as 2,3-dihydroanthraquinones and N, N-diethyl-p-phenethylaniline;
It has no oxidizable hydrogen such as an acyl derivative of a leuco dye containing a basic NH group such as 10-acetyl-3,7-bis (dimethylamino) phenothiazine and tris (4-diethylamino-o-tolyl) ethoxycarbonylmethane. , A leuco-like compound which can be oxidized to a color-forming compound, a leucoin digoid dye, which can be oxidized to a color-forming form as described in U.S. Pat. Nos. 3,042,515 and 3,042,517. Such organic amines. The following may be mentioned as typical compounds of this type. 4,4'-ethylenediamine, diphenylamine, N, N-dimethylaniline, 4,4'-methylenediaminetriphenylamine, N-vinylcarbazole.
Of these, particularly preferred is leuco crystal violet.

【0209】該ロイコ色素の量はフォトレジスト固形分
当り、0.01〜10重量%の範囲で、更に好ましくは
0.05〜5重量%の範囲である。
The amount of the leuco dye is in the range of 0.01 to 10% by weight, more preferably 0.05 to 5% by weight, based on the solid content of the photoresist.

【0210】本発明においては、フォトレジストを着色
させたり、保存安定性を付与したりする目的に染料を用
いることができる。好適な染料の例は、ブリリアントグ
リーン硫酸塩、エオシン、エチルバイオレット、エリス
ロシンB、メチルグリーン、クリスタルバイオレット、
ベイシックフクシン、フェノールフタレイン、1,3−
ジフェニルトリアジン、アリザリンレッドS、チモール
フタレイン、メチルバイオレット2B、キナルジンレッ
ド、ローズベンガル、メタニル−イエロー、チモールス
ルホフタレイン、キシレノールブルー、メチルオレン
ジ、オレンジN、ジフェニルチオカルバゾン、2,7−
ジクロロフルオレセイン、パラメチルレッド、コンゴー
レッド、ベンゾプルプリン4B、α−ナフチル−レッ
ド、ナイルブルーA、フェナセタリン、メチルバイオレ
ッド、マラカイトグリーンシュウ酸塩、パラフクシン、
オイルブルー#603〔オリエント化学工業(株)
製〕、ローダミンB、ローダミン6G等である。
In the present invention, a dye can be used for the purpose of coloring a photoresist or imparting storage stability. Examples of suitable dyes include brilliant green sulfate, eosin, ethyl violet, erythrosin B, methyl green, crystal violet,
Basic fuchsin, phenolphthalein, 1,3-
Diphenyltriazine, alizarin red S, thymolphthalein, methyl violet 2B, quinaldine red, rose bengal, methanil-yellow, thymol sulfophthalein, xylenol blue, methyl orange, orange N, diphenylthiocarbazone, 2,7-
Dichlorofluorescein, paramethyl red, congo red, benzopurpurine 4B, α-naphthyl-red, nile blue A, phenacetaline, methyl violet, malachite green oxalate, parafuchsin,
Oil Blue # 603 [Orient Chemical Industry Co., Ltd.
Manufactured), rhodamine B, rhodamine 6G and the like.

【0211】特に好ましい染料は、マラカイトグリーン
シュウ酸塩である。
A particularly preferred dye is malachite green oxalate.

【0212】本発明のフォトレジストには、更に熱重合
禁止剤を加えることが好ましい。熱重合禁止剤の具体例
としては、例えば、p−メトキシフェノール、ハイドロ
キノン、アルキルまたはアリール置換ハイドロキノン、
t−ブチルカテコール、ピロガロール、塩化第一銅、ク
ロラニール、ナフチルアミン、β−ナフトール、2,6
−ジ−t−ブチル−p−クレゾール、ピリジン、ニトロ
ベンゼン、ジニトロベンゼン、p−トルイジン、メチレ
ンブルー、有機銅、サリチル酸メチルなどがある。これ
らの熱重合禁止剤は、多官能モノマーに対して0.00
1〜5重量%の範囲で含有されるのが好ましい。
It is preferable to add a thermal polymerization inhibitor to the photoresist of the present invention. Specific examples of the thermal polymerization inhibitor include, for example, p-methoxyphenol, hydroquinone, alkyl or aryl-substituted hydroquinone,
t-butylcatechol, pyrogallol, cuprous chloride, chloranil, naphthylamine, β-naphthol, 2,6
-Di-t-butyl-p-cresol, pyridine, nitrobenzene, dinitrobenzene, p-toluidine, methylene blue, organic copper, methyl salicylate and the like. These thermal polymerization inhibitors are used in an amount of 0.00
It is preferably contained in the range of 1 to 5% by weight.

【0213】本発明においては、膜物性をコントロール
するために、可塑剤を添加してもよく、代表例として
は、ジメチルフタレート、ジエチルフタレート、ジブチ
ルフタレート、ジイソブチルフタレート、ジオクチルフ
タレート、オクチルカプリールフタレート、ジシクロヘ
キシルフタレート、ジトリデシルフタレート、ブチルベ
ンジルフタレート、ジイソデシルフタレート、ジアリー
ルフタレートなどのフタル酸エステル類、ジメチルグリ
コースフタレート、エチルフタリールエチルグリコレー
ト、メチルフタリールエチルグリコレート、ブチルフタ
リールブチルグリコレート、トリエチレングリコールジ
カプリル酸エステルなどのグリコールエステル類、トリ
クレジールフォスフェート、トリフェニルフォスフェー
トなどの燐酸エステル類、ジイソブチルアジペート、ジ
オクチルアジペート、ジメチルセバケート、ジブチルセ
バケート、ジオクチルセバケート、ジブチルマレートな
どの脂肪酸二塩基酸エステル類、ベンゼンスルホンアミ
ド、p−トルエンスルホンアミド、N−n−ブチルアセ
トアミドなどのアミド類、クエン酸トリエチル、グリセ
リントリアセチルエステル、ラウリル酸ブチルなどがあ
る。
In the present invention, a plasticizer may be added to control the physical properties of the film. Representative examples include dimethyl phthalate, diethyl phthalate, dibutyl phthalate, diisobutyl phthalate, dioctyl phthalate, octyl capryl phthalate, Phthalates such as dicyclohexyl phthalate, ditridecyl phthalate, butyl benzyl phthalate, diisodecyl phthalate, diaryl phthalate, dimethyl glycolose phthalate, ethyl phthalyl ethyl glycolate, methyl phthalyl ethyl glycolate, butyl phthalyl butyl glycolate, triethylene Glycol esters such as glycol dicaprylate, and phosphate esters such as tricresyl phosphate and triphenyl phosphate. , Diisobutyl adipate, dioctyl adipate, dimethyl sebacate, dibutyl sebacate, dioctyl sebacate, fatty acid dibasic acid esters such as dibutyl malate, benzenesulfonamide, p-toluenesulfonamide, N-n-butylacetamide and the like Examples include amides, triethyl citrate, glycerin triacetyl ester, and butyl laurate.

【0214】本発明においては、ベースとの密着性を向
上させるために、公知のいわゆる密着促進剤を用いるこ
とができる。例えば、特公昭50−9177号、特公昭
54−5,292号、特公昭55−22,481号、特
開昭51−64,919号、特開昭51−64,920
号、特開昭50−63,087号、特開昭52−2,7
24号、特開昭53−702号、特開昭53−124,
541号、特開昭53−124,594号、特開昭54
−133,585号、特開昭54−133,586号、
特開昭55−65,947号、特公昭57−46,05
3号、特公昭57−46,054号、特開昭56−1
1,904号、特公昭57−21,697号、特開昭5
6−75,642号、特開昭56−67,844号、特
公昭57−40,500号、特開昭56−99,202
号、特開昭56−100,803号、特開昭57−6
0,327号、特開昭57−62,047号、DAS
2,448,850号、US4,629,679号、特
公昭57−49,894号、特開昭57−148,39
2号、特開昭57−192,946号、特開昭58−1
00,844号、特開昭59−113,432号、特開
昭59−125,725号、特開昭59−125,72
6号、特開昭59−125,727号、特開昭59−1
25,728号、特開昭59−152,439号、特開
昭59−154,440号、特開昭59−154,44
1号、特開昭59−165,051号、特開昭60−1
2,543号、特開昭60−12,544号、特開昭6
0−135,931号、特開昭60−138,540
号、特開昭60−146,233号、特開昭61−4,
038号、特開昭61−6,644号、特開昭61−
6,646号、特開昭61−166,541号、特開昭
61−172,139号、特開昭61−186,952
号、特開昭61−190,330号、特開昭61−19
8,146号、特開昭61−223,836号、特開昭
61−282,835号、特開昭61−360,237
号、特開昭62−91,935号、特開昭62−96,
939号、特開昭62−180,354号、特開昭62
−180,355号、特開昭62−180,356号、
特開昭62−180,357号、特開昭62−181,
303号、特開昭62−208,042号、特開昭62
−240,950号、特開昭62−277,405号、
特開昭62−286,035号、特開昭62−290,
702号、特公昭63−13,526号、特開昭63−
24,243号、特開昭63−57,622号、特開昭
63−61,241号各公報または明細書に記載の化合
物がある。
In the present invention, a known so-called adhesion promoter can be used to improve the adhesion to the base. For example, JP-B-50-9177, JP-B-54-5,292, JP-B-55-22,481, JP-A-51-64,919, and JP-A-51-64,920.
JP-A-50-63,087, JP-A-52-2,7
No. 24, JP-A-53-702, JP-A-53-124,
No. 541, JP-A-53-124594, JP-A-54
-133,585, JP-A-54-133,586,
JP-A-55-65,947 and JP-B-57-46,05.
No. 3, JP-B-57-46,054, JP-A-56-1
No. 1,904, JP-B-57-21,697, JP-A-5
6-75,642, JP-A-56-67,844, JP-B-57-40,500, JP-A-56-99,202.
JP-A-56-100,803, JP-A-57-66-1
0,327, JP-A-57-62,047, DAS
No. 2,448,850, US Pat. No. 4,629,679, JP-B-57-49,894, JP-A-57-148,39.
No. 2, JP-A-57-192,946, JP-A-58-1
00,844, JP-A-59-113,432, JP-A-59-125,725, JP-A-59-125,72.
6, JP-A-59-125,727, JP-A-59-1
25,728, JP-A-59-152,439, JP-A-59-154,440, JP-A-59-154,44
No. 1, JP-A-59-165,051, JP-A-60-1
2,543, JP-A-60-12,544 and JP-A-6
0-135,931, JP-A-60-138,540
JP-A-60-146,233, JP-A-61-4,
No. 038, JP-A-61-6,644, JP-A-61-644
No. 6,646, JP-A-61-166,541, JP-A-61-172,139, JP-A-61-186,952
No., JP-A-61-190,330, JP-A-61-19
8,146, JP-A-61-223,836, JP-A-61-282,835, JP-A-61-360,237
JP-A-62-91,935, JP-A-62-96,
939, JP-A-62-180,354, JP-A-62
-180,355, JP-A-62-180,356,
JP-A-62-180,357, JP-A-62-181,
No. 303, JP-A-62-208,042, JP-A-62
-240,950, JP-A-62-277,405,
JP-A-62-286,035, JP-A-62-290,
No. 702, JP-B-63-13,526 and JP-A-63-63.
There are compounds described in JP-A-24-243, JP-A-63-57,622, JP-A-63-61,241 and the specification.

【0215】具体的には、ベンズイミダゾール、ベンズ
オキサゾール、ベンズチアゾール、2−メルカプトベン
ズイミダゾール、2−メルカプトベンズオキサゾール、
2−メルカプトベンズチアゾール、3−モルホリノメチ
ル−1−フェニル−トリアゾール−2−チオン、3−モ
ルホリノメチル−5−フェニル−オキサジアゾール−2
−チオン、5−アミノ−3−モルホリノメチル−チアジ
アゾール−2−チオン、2−メルカプト−5−メチルチ
オ−チアジアゾールなどがある。
Specifically, benzimidazole, benzoxazole, benzothiazole, 2-mercaptobenzimidazole, 2-mercaptobenzoxazole,
2-mercaptobenzthiazole, 3-morpholinomethyl-1-phenyl-triazole-2-thione, 3-morpholinomethyl-5-phenyl-oxadiazole-2
-Thione, 5-amino-3-morpholinomethyl-thiadiazole-2-thione, 2-mercapto-5-methylthio-thiadiazole and the like.

【0216】特に好ましい化合物としては3−モルホリ
ノメチル−1−フェニルトリアゾール−2−チオンが挙
げられる。次に本発明に使用される無機粒子について述
べる。本発明の無機粒子は、平均粒子径が0.01〜1
0μm、好ましくは0.05〜5μmのものであり、そ
の素材は特に限定されるべきものではない。また、無機
粒子の形状も特に制限されるべきものではないが、球
形、楕円形等が好ましい。尚、本発明で言う平均粒子径
とは、粒子の最大長径の平均を言う。
A particularly preferred compound is 3-morpholinomethyl-1-phenyltriazole-2-thione. Next, the inorganic particles used in the present invention will be described. The inorganic particles of the present invention have an average particle size of 0.01 to 1
The thickness is 0 μm, preferably 0.05 to 5 μm, and the material is not particularly limited. The shape of the inorganic particles is not particularly limited, but is preferably spherical, elliptical, or the like. In addition, the average particle diameter referred to in the present invention refers to an average of the maximum major diameter of the particles.

【0217】無機粒子の素材としては、好ましくは、ガ
ラス粒子、金属粉末、金属酸化物及び蛍光体等が挙げら
れる。ガラスとしては、融点(Tm)の低い低融点ガラ
スが好ましい。本発明では、Tmは、感光性樹脂組成物
が設けられる基板素材あるいは被絶縁物、基板上にパタ
ーン化される無機構造体の素材により選定されるが、通
常、350〜800℃、好ましくは400〜650℃の
範囲である。
As the material of the inorganic particles, glass particles, metal powders, metal oxides, phosphors and the like are preferable. As the glass, a low melting point glass having a low melting point (Tm) is preferable. In the present invention, Tm is selected depending on the material of the substrate on which the photosensitive resin composition is provided or the material to be insulated, or the material of the inorganic structure to be patterned on the substrate. ~ 650 ° C.

【0218】ガラス組成は、特に制限されるべきもので
はないが、本発明に用いるフォトレジスト及び無機化合
物や金属化合物と親和性があり、フォトレジストに均一
に分散可能であるように適宜調整されたものが好まし
い。また、他の無機粒子についてもこのような特性を有
していることが好ましい。例えば、ガラス組成として
は、SiO2 、Al2 3 、B2 2 、CaO、Mg
O、BaO、ZnO、Na2 O、K2 O、Li2 O、F
2 3 、PbO、CeO2 、ZrO2 、TiO2 、S
2 3 、BiO、Bi2 3 、P2 5、As
2 3 、CoO、Cr2 3 、Ag、Au、F、Cl、
Br等から少なくとも1種以上適宜選定すればよい。
The glass composition is not particularly limited, but is appropriately adjusted so as to have an affinity for the photoresist and the inorganic compound or the metal compound used in the present invention, and to be able to be uniformly dispersed in the photoresist. Are preferred. Further, it is preferable that other inorganic particles also have such characteristics. For example, as the glass composition, SiO 2 , Al 2 O 3 , B 2 O 2 , CaO, Mg
O, BaO, ZnO, Na 2 O, K 2 O, Li 2 O, F
e 2 O 3 , PbO, CeO 2 , ZrO 2 , TiO 2 , S
b 2 O 3 , BiO, Bi 2 O 3 , P 2 O 5 , As
2 O 3 , CoO, Cr 2 O 3 , Ag, Au, F, Cl,
At least one kind may be appropriately selected from Br and the like.

【0219】通常、無機構造体をガラス基板上に形成す
る場合、ガラス組成としては、酸化珪素は3〜80重量
%の範囲で配合することが挙げられる。3重量%未満の
場合はガラス層の緻密性、強度や安定性が低下し、また
熱膨張係数が所望の値から外れ、ガラス基板とのミスマ
ッチが起こりやすい。
Usually, when the inorganic structure is formed on a glass substrate, the glass composition may be such that silicon oxide is blended in the range of 3 to 80% by weight. If the content is less than 3% by weight, the denseness, strength and stability of the glass layer are reduced, and the coefficient of thermal expansion deviates from desired values, so that a mismatch with the glass substrate is likely to occur.

【0220】ガラス粒子として、酸化ビスマス、酸化鉛
のうち少なくとも1種類を含有し、その含有率の合計が
5〜60重量%のもの、あるいは酸化ホウ素、酸化ビス
マスもしくは酸化鉛を合計で8〜60重量%含有し、か
つ、酸化リチウム、酸化ナトリウム、酸化カリウムのう
ち少なくとも1種類を3〜15重量%含有するものは、
通常、融点が低い。
Glass particles containing at least one of bismuth oxide and lead oxide and having a total content of 5 to 60% by weight, or boron oxide, bismuth oxide or lead oxide having a total content of 8 to 60% by weight. Those containing at least one of lithium oxide, sodium oxide and potassium oxide in an amount of 3 to 15% by weight,
Usually, the melting point is low.

【0221】金属粉末としては、例えば、銀、白金、
金、ニッケル、パラジウム、タングステン、ルテニウム
等やこれらの合金(珪素、炭素、リン、等を含んでもよ
い)が挙げられる。金属酸化物としては、例えば、硼
素、アルミニウム、バリウム、カルシウム、マグネシウ
ム、チタン、亜鉛、鉄、銅、錫、ジルコニウム等の酸化
物が挙げられ、中でもアルミナが好ましい。これら金属
酸化物の金属原子は、1種でも複数でもよい。これら、
金属酸化物はセラミック構造をとることができる。
Examples of the metal powder include silver, platinum,
Examples include gold, nickel, palladium, tungsten, ruthenium, and alloys thereof (which may include silicon, carbon, phosphorus, and the like). Examples of the metal oxide include oxides such as boron, aluminum, barium, calcium, magnesium, titanium, zinc, iron, copper, tin, and zirconium, with alumina being preferred. One or more metal atoms of these metal oxides may be used. these,
The metal oxide can have a ceramic structure.

【0222】本発明は、種々の金属酸化物を添加するこ
とによって、焼成後の無機構造体に着色することができ
る。例えば、感光性樹脂組成物中に黒色の金属酸化物を
1〜10重量%含むことによって、黒色のパターンの無
機構造体を形成することができる。この際に用いる黒色
の金属酸化物として、Cr、Fe、Co、Mn、Cuの
酸化物の内、少なくとも1種、好ましくは3種以上を含
むことによって、黒色化が可能になる。特に、FeとM
nの酸化物をそれぞれ0.5重量%以上含有することに
よって、より黒色のパターンを形成できる。
In the present invention, the inorganic structure after firing can be colored by adding various metal oxides. For example, when the photosensitive resin composition contains 1 to 10% by weight of a black metal oxide, an inorganic structure having a black pattern can be formed. Blackening can be achieved by including at least one, and preferably three or more, of oxides of Cr, Fe, Co, Mn, and Cu as the black metal oxide used at this time. In particular, Fe and M
By containing 0.5% by weight or more of each oxide of n, a blacker pattern can be formed.

【0223】さらに、黒色以外に、赤、青、緑等に発色
する無機顔料を添加したペーストを用いることによっ
て、各色のパターンの無機構造体を形成できる。これら
の着色パターンは、プラズマディスプレイのカラーフィ
ルターなどに好適に用いることができる。本発明に使用
される蛍光体としては、特に制限されるべきものではな
いが、紫外線励起型蛍光体が、挙げられ、たとえば 赤色=Y23:Eu,Y2SiO5:Eu,Y2Al
512:Eu,YVO4:Eu,(Y,Gd)BO3:E
u,YBO3:Eu,Zn3(PO42: Eu,GdB
3:Eu,ScBO3:Eu,LuBO3:Eu 緑色=Zn2SiO4:Mn,BaAl1219:Mn,B
aMgAl1423: Mn,SrAl1219:Mn,Z
nAl1219:Mn,CaAl1219:Mn 青色=B
aMgAl1423:Eu,BaMgAl1627:Eu,
2SiO5:Ce等を例示することができる。
Further, by using a paste to which an inorganic pigment that develops a color such as red, blue, or green in addition to black is added, an inorganic structure having a pattern of each color can be formed. These coloring patterns can be suitably used for a color filter of a plasma display and the like. The phosphor used in the present invention is not particularly limited, but includes an ultraviolet-excited phosphor, for example, red = Y 2 O 3 : Eu, Y 2 SiO 5 : Eu, Y 2 Al
5 O 12: Eu, YVO 4 : Eu, (Y, Gd) BO 3: E
u, YBO 3 : Eu, Zn 3 (PO 4 ) 2 : Eu, GdB
O 3 : Eu, ScBO 3 : Eu, LuBO 3 : Eu Green = Zn 2 SiO 4 : Mn, BaAl 12 O 19 : Mn, B
aMgAl 14 O 23 : Mn, SrAl 12 O 19 : Mn, Z
nAl 12 O 19 : Mn, CaAl 12 O 19 : Mn Blue = B
aMgAl 14 O 23 : Eu, BaMgAl 16 O 27 : Eu,
Y 2 SiO 5 : Ce and the like can be exemplified.

【0224】本発明においては、無機粒子として、低融
点ガラス粒子と共に他の無機粒子、例えば、アルミナ粒
子を含むことが好ましい。この無機粒子として、低融点
ガラス粒子とアルミナ粒子を用いる場合、無機粒子組成
としては、低融点ガラス粒子は無機粒子全体に対して通
常、20〜90重量%、好ましくは35〜85重量%の
範囲である。
In the present invention, it is preferable that other inorganic particles, for example, alumina particles are contained as the inorganic particles together with the low melting point glass particles. When low-melting glass particles and alumina particles are used as the inorganic particles, the low-melting glass particles generally have a composition in the range of 20 to 90% by weight, preferably 35 to 85% by weight based on the entire inorganic particles. It is.

【0225】無機粒子としては、その焼成温度は、低い
方が熱エネルギーの節減になり、かつ基板、フィルター
その他の材料選択の範囲が広がるので、また、焼成時に
基板ガラスのそり等の不具合を生じさせないためにも、
線熱膨張係数が50〜90×10-7、さらには、60〜
90×10-7のガラス微粒子を用いることが望ましい。
As for the inorganic particles, the lower the firing temperature, the lower the heat energy and the wider the range of selection of the substrate, filter and other materials. In order not to let
The coefficient of linear thermal expansion is 50 to 90 × 10 −7 ,
It is desirable to use glass particles of 90 × 10 −7 .

【0226】また、本発明に用いられる無機粒子とし
て、成分の異なる微粒子を組み合わせて用いること、特
に、融点の異なるガラス微粒子やセラミックス微粒子を
用いることによって、焼成時の収縮率を抑制することが
できる。本発明の感光性樹脂組成物は、含有される無機
粒子が焼成により形成される無機体を任意の露光領域に
対応して形成することができるから、該無機体の形状乃
至パターンとその用途は特に制限されるべきものではな
い。例えば、無機体は、回路乃至導体、抵抗体、蛍光
体、隔壁等のリブ等に用いられるが、本発明の感光性樹
脂組成物は、プラズマディスプレイのリブ形成用に好適
である。
The shrinkage rate during firing can be suppressed by using a combination of fine particles having different components as the inorganic particles used in the present invention, particularly, by using glass fine particles or ceramic fine particles having different melting points. . Since the photosensitive resin composition of the present invention can form an inorganic body formed by baking the contained inorganic particles corresponding to an arbitrary exposed region, the shape or pattern of the inorganic body and its use are There is no particular limitation. For example, an inorganic substance is used for a circuit or a conductor, a resistor, a phosphor, a rib of a partition wall, and the like, and the photosensitive resin composition of the present invention is suitable for forming a rib of a plasma display.

【0227】また、プラズマディスプレイのリブ形成方
法としては、特に制限されるべきものではないが、本発
明の感光性樹脂組成物を層としてプラズマディスプレイ
用ベース上に設け、該ベースの裏からの露光処理および
該ベースの表からの露光処理を各々少なくとも1回行う
ことが好ましい。ここで、ベースの裏からの露光は、ベ
ースを通してベース上の感光性樹脂組成物層の下部近傍
(即ち、ベースにより近い領域)により多くの光を照射
することにより下部の感光性樹脂組成物の光硬化性をよ
り向上させようとするもので、よりプロファイルの向上
が期待できるものである。従って、ベース材料としては
少なくとも光透過性のものである必要がある。また、ベ
ースの表からの露光処理は、通常行われている層へ直接
露光することである。
The method for forming the ribs of the plasma display is not particularly limited. However, the photosensitive resin composition of the present invention is provided as a layer on a base for a plasma display, and the backside of the base is exposed to light. It is preferable to carry out the treatment and the exposure treatment from the table of the base at least once each. Here, the exposure from the back of the base is performed by irradiating more light to the vicinity of the lower portion of the photosensitive resin composition layer on the base (that is, an area closer to the base) through the base to thereby expose the lower photosensitive resin composition. It is intended to further improve the photocurability and can be expected to further improve the profile. Therefore, the base material needs to be at least light transmissive. The exposure process from the base table is to directly expose the layer which is usually performed.

【0228】感光性樹脂組成物の層を形成する方法は、
公知のコート法、例えば、スクリーン印刷、カーテンフ
ローコート、スプレーコート、ロールコート、ブレード
コート、バーコート等が挙げられる。また、感光性樹脂
組成物の粘度は、通常、100〜100,000cps
(センチポイズ)であるが、塗布法により異なる。例え
ばスクリーン印刷法では、好ましくは15,000〜7
0,000cpsの範囲である。
The method for forming the layer of the photosensitive resin composition is as follows.
Known coating methods include, for example, screen printing, curtain flow coating, spray coating, roll coating, blade coating, bar coating and the like. The viscosity of the photosensitive resin composition is usually 100 to 100,000 cps.
(Centipoise), depending on the application method. For example, in a screen printing method, preferably 15,000 to 7
It is in the range of 000 cps.

【0229】粘度は、フォトレジストの種類、無機粒子
サイズ、その割合、所望により添加される溶剤、その
他、可塑剤、増粘剤等により適宜調整することができ
る。本発明の感光性樹脂組成物は、フォトレジストと無
機粒子とから少なくとも構成されるが、無機粒子はフォ
トレジスト中に均一に分散されていることが必要であ
り、その分散法としては、特に制限されるべきものでは
ないが、フォトレジスト、無機粒子及び溶剤からなる混
合物を混練、分散する方法、フォトレジスト中に無機粒
子を添加して混練、分散する方法、両者の溶剤分散物を
混練、分散する方法等が例示される。尚、フォトレジス
ト中に無機粒子が均一に分散されるのであれば、溶剤は
必ずしも必要ではない。
The viscosity can be appropriately adjusted by the type of the photoresist, the size of the inorganic particles, the proportion thereof, the solvent added as required, other plasticizers, thickeners and the like. The photosensitive resin composition of the present invention is at least composed of a photoresist and inorganic particles, but the inorganic particles need to be uniformly dispersed in the photoresist, and the dispersion method is particularly limited. Although not to be performed, a method of kneading and dispersing a mixture of photoresist, inorganic particles and a solvent, a method of adding and kneading inorganic particles in a photoresist, and a method of dispersing, and kneading and dispersing both solvent dispersions And the like. Note that a solvent is not necessarily required as long as the inorganic particles are uniformly dispersed in the photoresist.

【0230】本発明の感光性樹脂組成物において、フォ
トレジスト(固形分)と無機粒子との配合割合は、フォ
トレジスト(固形分)対無機粒子が1/99〜99/
1、好ましくは5/95〜80/20の範囲である。溶
剤としては、例えばメタノール、エタノール、n−プロ
パノール、イソプロパノール、n−ブタノール、sec
−ブタノール、n−ヘキサノール等のアルコール類、ア
セトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケト
ン、シクロヘキサノン、ジイソブチルケトンなどのケト
ン類、酢酸エチル、酢酸ブチル、酢酸−n−アミル、蟻
酸メチル、プロピオン酸エチル、フタル酸ジメチル、安
息香酸エチルなどのエステル類、トルエン、キシレン、
ベンゼン、エチルベンゼンなどの芳香族炭化水素類、四
塩化炭素、トリクロロエチレン、クロロホルム、1,
1,1−トリクロロエタン、塩化メチレン、モノクロロ
ベンゼン、などのハロゲン化炭化水素類、テトラヒドロ
フラン、ジエチルエーテル、エチレングリコールモノメ
チルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテ
ル、1−メトキシ−2−プロパノールなどのエーテル
類、ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホオキサイド
などがある。
In the photosensitive resin composition of the present invention, the mixing ratio of the photoresist (solid content) and the inorganic particles is 1/99 to 99/99 of the photoresist (solid content) and the inorganic particles.
1, preferably in the range of 5/95 to 80/20. Examples of the solvent include methanol, ethanol, n-propanol, isopropanol, n-butanol and sec.
Alcohols such as butanol and n-hexanol, ketones such as acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone and diisobutyl ketone, ethyl acetate, butyl acetate, n-amyl acetate, methyl formate, methyl propionate and ethyl phthalate , Esters such as ethyl benzoate, toluene, xylene,
Aromatic hydrocarbons such as benzene and ethylbenzene, carbon tetrachloride, trichloroethylene, chloroform,
Halogenated hydrocarbons such as 1,1-trichloroethane, methylene chloride, monochlorobenzene, etc., ethers such as tetrahydrofuran, diethyl ether, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, 1-methoxy-2-propanol, dimethylformamide , Dimethyl sulfoxide and the like.

【0231】上記溶剤には、界面活性剤を加えることも
できる。具体的には、ポリオキシエチレンラウリルエー
テル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオ
キシエチレンセチルエーテル、ポリオキシエチレンオレ
イルエーテル等のポリオキシエチレンアルキルエーテル
類、ポリオキシエチレンオクチルフェノールエーテル、
ポリオキシエチレンノニルフェノールエーテル等のポリ
オキシエチレンアルキルアリルエーテル類、ポリオキシ
エチレン・ポリオキシプロピレンブロックコポリマー
類、ソルビタンモノラウレート、ソルビタンモノパルミ
テート、ソルビタンモノステアレート、ソルビタンモノ
オレエート、ソルビタントリオレエート、ソルビタント
リステアレート等のソルビタン脂肪酸エステル類、ポリ
オキシエチレンソルビタンモノラウレート、ポリオキシ
エチレンソルビタンモノパルミテ−ト、ポリオキシエチ
レンソルビタンモノステアレート、ポリオキシエチレン
ソルビタントリオレエート、ポリオキシエチレンソルビ
タントリステアレート等のポリオキシエチレンソルビタ
ン脂肪酸エステル類等のノニオン系界面活性剤、アルキ
ルジ(アミノエチル)グリシン、アルキルポリアミノエ
チルグリシン塩酸塩、2−アルキル−N−カルボキシエ
チル−N−ヒドロキシエチルイミダゾリニウムベタイン
やN−テトラデシル−N,N−ベタイン型等の両性界面
活性剤、また、塗布性を良化するための界面活性剤、例
えば特開昭62−170950号公報に記載されている
ようなフッ素系界面活性剤等を添加することができる。
A surfactant may be added to the above solvent. Specifically, polyoxyethylene lauryl ether, polyoxyethylene stearyl ether, polyoxyethylene cetyl ether, polyoxyethylene alkyl ethers such as polyoxyethylene oleyl ether, polyoxyethylene octyl phenol ether,
Polyoxyethylene alkyl allyl ethers such as polyoxyethylene nonylphenol ether, polyoxyethylene / polyoxypropylene block copolymers, sorbitan monolaurate, sorbitan monopalmitate, sorbitan monostearate, sorbitan monooleate, sorbitan trioleate, Sorbitan fatty acid esters such as sorbitan tristearate, polyoxyethylene sorbitan monolaurate, polyoxyethylene sorbitan monopalmitate, polyoxyethylene sorbitan monostearate, polyoxyethylene sorbitan trioleate, polyoxyethylene sorbitan tristearate Nonionic surfactants such as polyoxyethylene sorbitan fatty acid esters such as acrylates, alkyldi (aminoethyl) Good amphoteric surfactants such as glycine, alkylpolyaminoethylglycine hydrochloride, 2-alkyl-N-carboxyethyl-N-hydroxyethylimidazolinium betaine and N-tetradecyl-N, N-betaine type, For example, a surfactant such as a fluorine-based surfactant described in JP-A-62-170950 can be added.

【0232】これらの界面活性剤は単独で添加してもよ
いし、また、いくつかの組み合わせで添加することもで
きる。上記界面活性剤の感光性樹脂組成物中に占める割
合は、通常、5重量%以下、好ましくは1重量%以下で
ある。ベース素材としては、ガラス、セラッミクス、ポ
リマーフィルム等が挙げられる。
These surfactants may be added alone or in some combination. The proportion of the surfactant in the photosensitive resin composition is usually 5% by weight or less, preferably 1% by weight or less. Examples of the base material include glass, ceramics, and a polymer film.

【0233】露光処理は、公知の手段、例えば、フォト
マスクを通してもしくは可視光レーザー光、Arイオン
レーザー光などで直接露光することができ、露光領域に
対応した無機体のプロファイルを形成することができ
る。露光装置としては、ステッパー型、プロキシミティ
型等が挙げられる。また、ベースを搬送しながら露光処
理を行ってもよい。
In the exposure treatment, exposure can be performed directly by a known means, for example, through a photomask or with visible light laser light, Ar ion laser light, or the like, and an inorganic substance profile corresponding to the exposed region can be formed. . Examples of the exposure apparatus include a stepper type and a proximity type. Further, the exposure processing may be performed while transporting the base.

【0234】露光処理の光としては、特に制限されるべ
きものではないが、可視光、紫外線、電子線、X線、レ
ーザー光等を挙げることができる。本発明では、露光処
理を裏からも行うので、露光条件を従来より緩和するこ
とができ、省エネ効果も期待できる。例えば、紫外線を
用いる場合、露光条件として、裏から露光量10〜1,
000mJ/cm2 、表から露光量5〜800mJ/c
2 の処理が好適な処理として例示される。
The light for the exposure treatment is not particularly limited, but includes visible light, ultraviolet light, electron beam, X-ray, laser light and the like. In the present invention, since the exposure processing is performed from behind, the exposure conditions can be relaxed as compared with the conventional case, and an energy saving effect can be expected. For example, when ultraviolet rays are used, the exposure conditions are as follows:
000 mJ / cm 2 , exposure amount 5 to 800 mJ / c from the table
The processing of m 2 is exemplified as a suitable processing.

【0235】また、所望により、露光後80〜130℃
程度の温度で加熱する工程を付加してもよい。露光後の
現像法としては、浸漬法、スプレー法、ブラシ法等が挙
げられる。また、現像液としては、アルカリ類の水溶
液、或いはそれにアルコール類等の有機溶媒や界面活性
剤等添加したもの等が挙げられる。
If desired, after exposure, the temperature is 80 to 130 ° C.
A step of heating at about the temperature may be added. Examples of the developing method after exposure include an immersion method, a spray method, and a brush method. Examples of the developing solution include an aqueous solution of an alkali or a solution to which an organic solvent such as an alcohol or a surfactant is added.

【0236】アルカリ類としては、水酸化カリウム、炭
酸ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、メタケイ酸ナトリウ
ム、アンモニア等の無機アルカリ類、エチルアミン、n
−プロピルアミン等の第一アミン類、ジエチルアミン、
ジ−n−ブチルアミン等の第二アミン類、トリエチルア
ミン、メチルジエチルアミン等の第三アミン類、ジメチ
ルエタノールアミン、トリエタノールアミン等のアルコ
ールアミン類、テトラメチルアンモニウムヒドロキシ
ド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド等の第四ア
ンモニウム塩、ピロール、ピペリジン等の環状アミン類
等を挙げることができる。
Examples of the alkalis include inorganic alkalis such as potassium hydroxide, sodium carbonate, sodium silicate, sodium metasilicate, and ammonia; ethylamine;
Primary amines such as -propylamine, diethylamine,
Secondary amines such as di-n-butylamine; tertiary amines such as triethylamine and methyldiethylamine; alcohol amines such as dimethylethanolamine and triethanolamine; and quaternary amines such as tetramethylammonium hydroxide and tetraethylammonium hydroxide. Examples thereof include ammonium salts, cyclic amines such as pyrrole and piperidine.

【0237】また、現像時の温度は、通常、15〜30
℃であるが、18〜28℃で行うことが好ましい。次に
現像で得られた所望のパターンは、焼成を行うことによ
り、パターン化した無機体を得ることができる。焼成雰
囲気、温度等の条件は、感光性樹脂組成物の成分や基板
の種類に応じて選定される。焼成雰囲気としては、空気
中、窒素や水素等の分圧を適宜調整した雰囲気等が挙げ
られる。炉は、バッチ式、連続型等が挙げられる。
The temperature during development is usually from 15 to 30.
C., but preferably at 18 to 28C. Next, the desired pattern obtained by the development can be baked to obtain a patterned inorganic substance. Conditions such as the firing atmosphere and the temperature are selected according to the components of the photosensitive resin composition and the type of the substrate. Examples of the firing atmosphere include an atmosphere in which the partial pressure of nitrogen, hydrogen, or the like is appropriately adjusted in the air. Examples of the furnace include a batch type and a continuous type.

【0238】焼成時の温度は、通常、350〜800℃
で行われる。ガラス基板上にパターン加工する場合は、
400〜650℃、10〜180分間の保持が一般的で
ある。また、以上の塗布層形成、露光、現像、焼成の各
工程間に、乾燥乃至予備反応のために通常、50〜12
0℃の加熱工程を設けてもよい。
The firing temperature is usually from 350 to 800 ° C.
Done in When patterning on a glass substrate,
Holding at 400 to 650 ° C. for 10 to 180 minutes is common. In addition, during the above-described steps of forming a coating layer, exposing, developing, and firing, usually 50 to 12 for drying or preliminary reaction.
A 0 ° C. heating step may be provided.

【0239】[0239]

【実施例】以下、本発明の具体的実施例を説明するが、
本発明は、これに限定されるものではない。尚、「部」
とは「重量部」を示す。 実施例1 下記に示した成分を混合して均一な感光性樹脂組成物を
調製した。 エチレン性不飽和化合物 ポリプロピレングリコールジアクリレート(平均分子量822) 6.5部 テトラエチレングリコールジメタクリレート 1.5部 増感色素I−5 0.05部 ラジカル重合開始剤 VII−1 0.1部 高分子結合剤 42.9部 メタクリル酸メチル/メタクリル酸/2−エチルヘキシル メタクリレート/ベンジルメタクリレート共重合体(モル比 55/28.8/11.7/4.5、重量平均分子量9万) の35重量%溶液(溶媒はメチルエチルケトン/1−メトキ シ−2−プロパノール=2/1(重量比) 架橋剤 下記化合物 15部
Hereinafter, specific examples of the present invention will be described.
The present invention is not limited to this. In addition, "part"
Means "parts by weight". Example 1 A uniform photosensitive resin composition was prepared by mixing the following components. Ethylenically unsaturated compound Polypropylene glycol diacrylate (average molecular weight: 822) 6.5 parts Tetraethylene glycol dimethacrylate 1.5 parts Sensitizing dye I-5 0.05 parts Radical polymerization initiator VII-1 0.1 parts Polymer Binder 42.9 parts 35% by weight of methyl methacrylate / methacrylic acid / 2-ethylhexyl methacrylate / benzyl methacrylate copolymer (molar ratio 55 / 28.8 / 11.7 / 4.5, weight average molecular weight 90,000) Solution (solvent: methyl ethyl ketone / 1-methoxy-2-propanol = 2/1 (weight ratio) Crosslinking agent 15 parts of the following compound

【0240】[0240]

【化81】 Embedded image

【0241】 p−トルエンスルホンアミド 0.5部 マラカイトグリーンシュウ酸塩(1%メタノール溶液) 1.625部 3−モルホリノメチル−1−フェニルトリアゾール−2− チオン 0.01部 フェニルトリブロモメチルスルホン 0.05部 ロイコクリスタルバイオレット 0.20部 鉛含有低融点ガラス 70部 (平均粒子径1μm、融点560℃)P-toluenesulfonamide 0.5 part malachite green oxalate (1% methanol solution) 1.625 parts 3-morpholinomethyl-1-phenyltriazole-2-thione 0.01 part phenyltribromomethylsulfone 0 .05 parts Leuco Crystal Violet 0.20 parts Lead-containing low-melting glass 70 parts (average particle diameter 1 μm, melting point 560 ° C)

【0242】次にプラズマディスプレイ用ガラスベース
上に乾燥厚みで200μmの感光性樹脂組成物の層を設
けた。そして、アルゴンレーザを用い、レーザー走査に
てピッチ300μm、線幅60μm(以下、パターン
1)、及びビッチ100μm、線幅30μm(以下、パ
ターン2)の各々のパターンを層に100mJ/cm2
の光量で露光を行い、その後、NaOH0.5%水溶液
に浸漬して現像を行った。また、上記乾燥厚みを150
μmに代えた以外は、パターン1と同様のレーザーを用
いて露光、現像したもの(パターン3)、パターン2と
同様のレーザーを用いて露光、現像したもの(パターン
4)を作成した。
Next, a layer of a photosensitive resin composition having a dry thickness of 200 μm was provided on a glass base for a plasma display. Then, using an argon laser, each pattern of a pitch of 300 μm, a line width of 60 μm (hereinafter referred to as pattern 1), a bitch of 100 μm, and a line width of 30 μm (hereinafter referred to as pattern 2) was formed by laser scanning with a layer of 100 mJ / cm 2.
And then immersed in a 0.5% aqueous solution of NaOH for development. In addition, the dry thickness is 150
Except for changing to μm, a sample exposed and developed using the same laser as in pattern 1 (pattern 3) and a sample exposed and developed using the same laser as in pattern 2 (pattern 4) were prepared.

【0243】現像されたパターン1〜4を有したガラス
ベースを乾燥した後、590℃、120分間焼成を行
い、リブを形成した。 実施例2 実施例1において、露光条件をベースの裏からの露光と
ベースの表からの露光を各々1回下記露光量にて露光す
ることに変更した以外は実施例1と同様に焼成を行い、
リブを形成した。
The glass base having the developed patterns 1 to 4 was dried and baked at 590 ° C. for 120 minutes to form ribs. Example 2 Baking was performed in the same manner as in Example 1 except that the exposure conditions were changed from the back exposure of the base and the exposure from the front of the base to exposure once each at the following exposure amount. ,
Ribs were formed.

【0244】1回当たりの露光条件: ベースの裏からの露光:露光量:20mJ/cm2 ベースの表からの露光:露光量:100mJ/cm2 上記のようにして得られたリブのリブとガラスベースと
の密着性は全て良好であった。また、得られたプロファ
イルを下記により評価し、結果を表6に示した。
Exposure conditions per exposure: Exposure from the back of the base: Exposure amount: 20 mJ / cm 2 Exposure from the base table: Exposure amount: 100 mJ / cm 2 The adhesion to the glass base was all good. The obtained profile was evaluated as follows, and the results are shown in Table 6.

【0245】評価 ◎:ベースに対し垂直方向の断面において、リブのベー
ス近傍の部分が山の裾野状を呈し、その上部は矩形状を
呈している。 ○:ベースに対し垂直方向の断面において、リブのベー
ス近傍の部分の欠落もなく全体的に矩形状を呈してい
る。
Evaluation ◎: In a cross section perpendicular to the base, the portion of the rib near the base has a foot shape of a mountain, and the upper portion has a rectangular shape. :: In a cross section perpendicular to the base, the rib has a rectangular shape as a whole without any missing portion near the base.

【0246】[0246]

【表6】 [Table 6]

【0247】上表より、本発明の感光性樹脂組成物から
得られたリブは、高密度にもかかわらず、ベースとの密
着性にも優れ、かつプロファイルに優れていることが分
かる。また、本発明の裏からの露光を併用する方法を用
いることにより、プロファイルの改善を計ることができ
ることが分かる。
From the above table, it can be seen that the ribs obtained from the photosensitive resin composition of the present invention have excellent adhesion to the base and excellent profile despite high density. In addition, it can be seen that the profile can be improved by using the method of the present invention that uses exposure from behind.

【0248】[0248]

【発明の効果】本発明は、高感度かつ高解像力のあるネ
ガ型フォトレジストと特定範囲の平均粒子径を有する無
機粒子を組み合わせたことにより、プロファイル及びベ
ースとの密着性が良好で、高密度かつ高アスペクト比の
プラズマディスプレイ用のリブを提供することができ
る。
According to the present invention, by combining a negative photoresist having high sensitivity and high resolution with inorganic particles having an average particle diameter in a specific range, good adhesion to a profile and a base and high density can be obtained. Further, a rib for a plasma display having a high aspect ratio can be provided.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 FI H01J 9/02 H01J 9/02 F 17/49 17/49 Z ──────────────────────────────────────────────────の Continued on the front page (51) Int.Cl. 6 Identification code FI H01J 9/02 H01J 9/02 F 17/49 17/49 Z

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 少なくともエチレン性不飽和化合物、増
感色素及びラジカル重合開始剤を含有するフォトレジス
トおよび平均粒子径が0.01〜10μmの無機粒子か
ら少なくともなることを特徴とする感光性樹脂組成物。
1. A photosensitive resin composition comprising at least a photoresist containing at least an ethylenically unsaturated compound, a sensitizing dye and a radical polymerization initiator, and inorganic particles having an average particle diameter of 0.01 to 10 μm. Stuff.
【請求項2】 前記増感色素は、下記A群から選択され
る少なくとも1種であることを特徴とする請求項1記載
の感光性樹脂組成物。 A群: 下記一般式(I)で表される化合物 【化1】 (ただし、式中R1 〜R4 は互いに独立して水素原子、
ハロゲン原子、アルキル基、置換アルキル基、アリール
基、置換アリール基、水酸基、アルコキシ基、置換アル
コキシ基、アミノ基、置換アミノ基を表す。またR1
4 はそれが結合する炭素原子と共に非金属原子からな
る環を形成していてもよい。R5 ,R6 は互いに独立し
て水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、置換アルキル
基、アリール基、置換アリール基、ヘテロ芳香族基、ア
シル基、シアノ基、アルコキシカルボニル基、カルボキ
シル基、置換アルケニル基を表す。またR5とR6 は共
に非金属原子からなる環を形成していてもよい。Xは
O,S,NH、または置換基を有する窒素原子を表す。
1 ,G2 は互いに同一でも異なっていてもよく、各々
水素原子、シアノ基、アルコキシカルボニル基、置換ア
ルコキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、
置換アリールオキシカルボニル基、アシル基、置換アシ
ル基、アリールカルボニル基、置換アリールカルボニル
基、アルキルチオ基、アリールチオ基、アルキルスルホ
ニル基、アリールスルホニル基、フルオロスルホニル基
を表す。ただし、G1 とG2 はそれが結合する炭素原子
と共に非金属原子からなる環を形成していてもよい。) 下記一般式(II)で表される化合物 【化2】 (ただし、式中R7 ,R8 は同一でも異なっていてもよ
く、水素原子、アルキル基、置換アルキル基、アルケニ
ル基、置換アルケニル基、アルコキシカルボニル基、ア
リール基、置換アリール基、アルキニル基または置換ア
ルキニル基を表す。Aは酸素原子、硫黄原子、アルキル
基またはアリール基により置換された炭素原子、または
アルキル基2個に置換された炭素原子を表す。Jは含窒
素ヘテロ5員環を形成するのに必要な非金属原子群を表
す。Yはフェニル基、置換フェニル基、無置換または置
換されたヘテロ芳香族環を表す。Z1 は水素原子、アル
キル基、置換アルキル基、アリール基、置換アリール
基、アルコキシ基、アルキルチオ基、アリールチオ基、
置換アミノ基、アシル基、またはアルコキシカルボニル
基を表し、Z1 とYは互いに結合して環を生成しても良
い。) 下記一般式(III)で表される化合物 【化3】 (ただし、式中R10〜R13は互いに独立して水素原子、
炭素数1〜6の非置換または置換アルコキシ基、炭素数
1〜6の非置換または置換アルケニルオキシ基、炭素数
1〜6の非置換または置換アルキルチオ基、各アルキル
基の炭素数が1〜4であるジアルキルアミノ基、水酸
基、アシルオキシ基、ハロゲン原子、ニトロ基、または
複数環基を表す。R10〜R13の2個または3個と前記R
10〜R13の置換基が結合されている環構成炭素原子とが
一緒になり各縮合環が5または6員環である縮合環また
は縮合環系を形成してもよい。R9 は水素原子、炭素数
1〜4の非置換または置換アルキル基または炭素数6〜
12の非置換または置換アリール基、またはR14−CO
−を表す。ここで、R 14はアルコキシ基、シクロアルコ
キシ基、水酸基、アリールオキシ基、アルケニルオキシ
基、アラルキルオキシ基、アルコキシカルボニルアルコ
キシ基、アルキルカルボニルアルコキシ基、あるいは下
記(III-a)〜(III-c) で表される置換基を表す。 【化4】 15〜R18は水素原子、アルキル基、ヒドロキシアルキ
ル基、ヒドロキシアルコキシアルキル基、アルコキシア
ルキル基、シクロアルキル基を表し、mは1〜5であ
り、nは0〜10である。Q1 はシアノ基、複素環、ま
たは−Z2 −R19を表す。ここでR19は炭素数1〜10
の非置換または置換アルキル基、アルケニル基、または
アルコキシ基、炭素数6〜12の非置換または置換アリ
ール基、炭素数6〜12の非置換または置換アリールオ
キシ基、または環を構成する炭素原子および異原子が5
〜15個である非置換または置換複素環基、または水酸
基、アシル基を表す。Z2 はカルボニル基、スルホニル
基、スルフィニル基またはアリーレンジカルボニル基、
−(CH=CH)k(kは1または2)を表す。)
2. The sensitizing dye is selected from the following group A:
2. The method according to claim 1, wherein the at least one kind is selected from the group consisting of:
Photosensitive resin composition. Group A: a compound represented by the following general formula (I):(However, R in the formula1~ RFourAre independently a hydrogen atom,
Halogen atom, alkyl group, substituted alkyl group, aryl
Group, substituted aryl group, hydroxyl group, alkoxy group, substituted
Represents a xy group, an amino group, or a substituted amino group. Also R1~
RFourIs a non-metallic atom together with the carbon atom to which it is attached.
May form a ring. RFive, R6Are independent of each other
Hydrogen, halogen, alkyl, substituted alkyl
Group, aryl group, substituted aryl group, heteroaromatic group,
Sil group, cyano group, alkoxycarbonyl group, carboxy
Represents a sil group or a substituted alkenyl group. Also RFiveAnd R6Is
May form a ring composed of a non-metallic atom. X is
O, S, NH, or a nitrogen atom having a substituent.
G1, GTwoMay be the same or different from each other.
Hydrogen atom, cyano group, alkoxycarbonyl group,
Alkoxycarbonyl group, aryloxycarbonyl group,
Substituted aryloxycarbonyl group, acyl group, substituted acyl
Group, arylcarbonyl group, substituted arylcarbonyl
Group, alkylthio group, arylthio group, alkylsulfo
Nil group, arylsulfonyl group, fluorosulfonyl group
Represents Where G1And GTwoIs the carbon atom to which it is attached
May form a ring composed of a non-metallic atom together. ) A compound represented by the following general formula (II):(However, R in the formula7, R8May be the same or different
Hydrogen, alkyl, substituted alkyl, alkenyl
Group, substituted alkenyl group, alkoxycarbonyl group,
Reel, substituted aryl, alkynyl or substituted
Represents a rukinyl group. A is an oxygen atom, a sulfur atom, an alkyl
A carbon atom substituted by a group or an aryl group, or
Represents a carbon atom substituted by two alkyl groups. J is nitrogen-containing
Non-metallic atoms necessary to form a 5-membered heterocyclic ring
You. Y is a phenyl group, a substituted phenyl group, unsubstituted or substituted
Represents a substituted heteroaromatic ring. Z1Is a hydrogen atom, al
Kill group, substituted alkyl group, aryl group, substituted aryl
Group, alkoxy group, alkylthio group, arylthio group,
Substituted amino group, acyl group, or alkoxycarbonyl
Z represents a group1And Y may combine with each other to form a ring
No. ) A compound represented by the following general formula (III):(However, R in the formulaTen~ R13Are independently a hydrogen atom,
An unsubstituted or substituted alkoxy group having 1 to 6 carbon atoms, carbon number
1-6 unsubstituted or substituted alkenyloxy groups, carbon number
1-6 unsubstituted or substituted alkylthio groups, each alkyl
Dialkylamino group having 1 to 4 carbon atoms, hydroxyl
Group, acyloxy group, halogen atom, nitro group, or
Represents a multiple ring group. RTen~ R13Two or three of the above and R
Ten~ R13And the ring-constituting carbon atom to which the substituent of
A fused ring wherein each fused ring is a 5- or 6-membered ring
May form a fused ring system. R9Is hydrogen atom, carbon number
1-4 unsubstituted or substituted alkyl groups or 6-carbon atoms
12 unsubstituted or substituted aryl groups, or R14-CO
Represents-. Where R 14Is an alkoxy group, cycloalkoxy
Xy, hydroxyl, aryloxy, alkenyloxy
Group, aralkyloxy group, alkoxycarbonyl alcohol
A xy group, an alkylcarbonylalkoxy group, or
Represents a substituent represented by any of the following (III-a) to (III-c). Embedded imageRFifteen~ R18Is a hydrogen atom, an alkyl group, a hydroxyalkyl
Group, hydroxyalkoxyalkyl group, alkoxyl
Represents an alkyl group or a cycloalkyl group, and m is 1 to 5.
And n is 0 to 10. Q1Is a cyano group, a heterocyclic ring,
Or -ZTwo-R19Represents Where R19Has 1 to 10 carbon atoms
An unsubstituted or substituted alkyl group, alkenyl group, or
Alkoxy group, unsubstituted or substituted ant having 6 to 12 carbon atoms
Unsubstituted or substituted aryloxy having 6 to 12 carbon atoms
5 carbon atoms and hetero atoms constituting the xy group or the ring
Up to 15 unsubstituted or substituted heterocyclic groups, or hydroxyl
Represents an acyl group. ZTwoIs carbonyl group, sulfonyl
Group, sulfinyl group or arylenedicarbonyl group,
-(CH = CH)k(K is 1 or 2). )
【請求項3】 該エチレン性不飽和化合物は、アクリル
系化合物であることを特徴とする請求項1又は2記載の
感光性樹脂組成物。
3. The photosensitive resin composition according to claim 1, wherein the ethylenically unsaturated compound is an acrylic compound.
【請求項4】 該フォトレジストは、高分子結合剤及び
/又は架橋剤を含むことを特徴とする請求項1〜3の何
れか1項に記載の感光性樹脂組成物。
4. The photosensitive resin composition according to claim 1, wherein the photoresist contains a polymer binder and / or a crosslinking agent.
【請求項5】 該無機粒子は低融点ガラス粒子、金属粉
末、金属酸化物及び蛍光体から選択される少なくとも1
種を含むことを特徴とする請求項1〜4の何れか1項に
記載の感光性樹脂組成物。
5. The inorganic particles include at least one selected from low-melting glass particles, metal powders, metal oxides and phosphors.
The photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 4, comprising a seed.
【請求項6】 プラズマディスプレイのリブ形成用であ
ることを特徴とする請求項1〜5の何れか1項に記載の
感光性樹脂組成物。
6. The photosensitive resin composition according to claim 1, which is used for forming ribs of a plasma display.
【請求項7】 請求項6に記載の感光性樹脂組成物を層
としてプラズマディスプレイ用ベース上に設け、該ベー
スの裏からの露光処理および該ベースの表からの露光処
理を各々少なくとも1回行うことを特徴とするプラズマ
ディスプレイのリブ形成方法。
7. The photosensitive resin composition according to claim 6 is provided as a layer on a base for a plasma display, and exposure processing from the back of the base and exposure processing from the front of the base are performed at least once each. A method of forming a rib for a plasma display.
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